JP5644581B2 - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents
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Description
複数のノズルが形成されているノズル板と、前記ノズル板上に配置されている振動板と、前記振動板と前記ノズル板との間の空間が隔壁により隔てられている複数の液室と、前記振動板上の前記液室が形成される面とは反対側の面に共通電極、圧電体及び個別電極が順次積層されている圧電素子と、を有するインクジェットヘッドであって、
前記圧電素子が形成されている前記振動板上に、第一の開口部が形成されている第一の絶縁膜及び第二の開口部が形成されている第二の絶縁膜が順次積層されており、
前記第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、前記個別電極から第一の配線が引き出されており、
前記第一の配線上に、第三の開口部が形成されている第三の絶縁膜が形成されており、
前記第三の開口部を介して、前記第一の配線と駆動回路を電気的に接続する第二の配線が引き出されており、
前記第三の絶縁膜は前記液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、
前記第二の絶縁膜の、前記第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が5〜40nmであり、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が100nm又はそれより厚い、インクジェットヘッドが提供される。
次に、本発明に係る3種類の絶縁膜について、詳細に説明する。
《液室基板》
液室基板112の材料としては、特に限定されないが、一般的には面方位(100)又は(111)のシリコン単結晶基板をフォトリソグラフィ法や異方性エッチングすることにより形成することができる。また、振動版112aは、Si、SiO2、Si3N4等をプラズマCVD法等により積層することができる。
振動板112aの形成方法としては、特に限定されないが、スパッタ法、ゾルゲル法等が挙げられる。
共通電極121の材料としては、特に限定されないが、導電性金属酸化物等が挙げられる。具体的には、化学式ABO3で記述され、A=Sr、Ba、Ca、La、 B=Ru、Co、Ni、を主成分とする複合酸化物があり、SrRuO3やCaRuO3、これらの固溶体である(Sr1−x Cax)O3のほか、LaNiO3やSrCoO3、さらにはこれらの固溶体である(La, Sr)(Ni1−y Coy)O3 (y=1でも良い)が挙げられる。それ以外の酸化物材料として、IrO2、RuO2も挙げられる。他にも、高い耐熱性と低い反応性を有するルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、プラチナ(Pt)の白金族金属や、これら白金族金属を含む合金材料等を使用することができる。また、これらの金属層を作製した後に、前記導電性酸化物層を積層して使用しても良い。
圧電体122の材料としては、特に限定されないが、PZT等の複合金属酸化物を使用することができる。PZTとはジルコン酸鉛(PbZrO3)とチタン酸鉛(PbTiO3)の固溶体である。例えば、PbZrO3とPbTiO3の比率が53:47の割合で、化学式で示すとPb(Zr0.53、Ti0.47)O3、一般にはPZT(53/47)と示されるPZT等を使用することができる。
個別電極123の材料としては、特に限定されないが、共通電極と同様に導電性金属酸化物及び、導電性金属酸化物と金属の積層体を使用することができる。
配線140及び配線150の材料としては、特に限定されないが、Ag合金、Cu、Al、Au、Pt、Ir等が挙げられる。
図2に、本発明のインクジェット記録装置の一例を示す。なお、図2(a)及び(b)は、それぞれインクジェット記録装置の斜視図及びその機構部の側面図である。
酢酸鉛三水和物をメトキシエタノールに溶解させた後、脱水し、酢酸鉛三水和物のメトキシエタノール溶液を得た。一方、イソプロポキシドチタン、イソプロポキシドジルコニウムをメトキシエタノールに溶解させた後、アルコール交換反応及びエステル化反応を進行させた。次に、酢酸鉛三水和物のメトキシエタノール溶液を加え、0.5mol/LのPZT前駆体溶液を得た。このとき、熱処理中のいわゆる鉛抜けによる結晶性の低下を防ぐため、化学量論組成に対して、鉛を10モル%過剰にした。
(100)面を主面とするシリコンウェハ上に、振動板として膜厚が1μmの熱酸化膜を形成し、さらに、膜厚が50nmチタン膜、膜厚が200nmの白金膜、膜厚が100nmのSrRuO膜をスパッタにより成膜した。
ZrO膜(絶縁膜132)の膜厚を100nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、9nmであった。
Al2O3膜(絶縁膜131)の膜厚を20nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、25nmであった。
ZrO膜(絶縁膜132)の膜厚を300nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、35nmであった。
SiO2膜(絶縁膜132)を、プラズマCVDにより500nm成膜した以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、38nmであった。
ZrO膜(絶縁膜132)の膜厚を50nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜厚は、6nmであった。
Al2O3膜(絶縁膜131)の膜厚を10nmとした以外は、実施例1と同様にインクジェットヘッドを作製した。絶縁膜133が形成されていない領域の、絶縁膜132の膜 厚は、2nmであった。
実施例及び比較例で作製したインクジェットヘッドの電気特性を評価した。次に、80℃/85%の環境下にインクジェットヘッドを100時間放置した後に、電気特性を評価した。なお、電気特性は、FCE−1(東陽テクニカ社製)を用い、150kV/cmの電界強度での飽和分極Ps(μC/cm2)を測定した。
110 液室
111 ノズル基板
111a ノズル
112 液室基板
112a 振動板
112b 隔壁
120 圧電素子
121 共通電極
122 圧電体
123 個別電極
131、132、133 絶縁膜
131a、132a、133a 開口部
131b、132b、133b 開口部
140、150 配線
Claims (6)
- 複数のノズルが形成されているノズル板と、前記ノズル板上に配置されている振動板と、前記振動板と前記ノズル板との間の空間が隔壁により隔てられている複数の液室と、前記振動板上の前記液室が形成される面とは反対側の面に共通電極、圧電体及び個別電極が順次積層されている圧電素子と、を有するインクジェットヘッドであって、
前記圧電素子が形成されている前記振動板上に、第一の開口部が形成されている第一の絶縁膜及び第二の開口部が形成されている第二の絶縁膜が順次積層されており、
前記第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、前記個別電極から第一の配線が引き出されており、
前記第一の配線上に、第三の開口部が形成されている第三の絶縁膜が形成されており、
前記第三の開口部を介して、前記第一の配線と駆動回路を電気的に接続する第二の配線が引き出されており、
前記第三の絶縁膜は前記液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、
前記第二の絶縁膜の、前記第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が5〜40nmであり、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が100nm又はそれより厚い、インクジェットヘッド。 - 前記第三の絶縁膜はエッチングによりパターン化されており、
前記第二の絶縁膜は、前記エッチングする際の前記第一の絶縁膜に対する保護層である、請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記第二の絶縁膜は、
ZrO、TiO、TaO及びSiOから成る群から選ばれる1種類又は2種類以上の材料を含み、ALD法により形成される、若しくは、
SiO又はSiNのいずれかの材料を含み、p−CVD法により形成される、請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド。 - 前記第一の絶縁膜は、膜厚が20〜100nmである、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 前記該第一の絶縁膜は、ALD法により形成される、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置。
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US5918354A (en) * | 1996-04-02 | 1999-07-06 | Seiko Epson Corporation | Method of making a piezoelectric element |
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EP1671794A4 (en) * | 2003-09-24 | 2009-04-08 | Seiko Epson Corp | LIQUID JET HEAD AND METHOD FOR PRODUCING THE JET HEAD AND LIQUID JET DEVICE |
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JP4337096B2 (ja) * | 2004-03-23 | 2009-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエータ及びこれを備えた液体噴射装置並びに圧電アクチュエータの製造方法 |
JP2006217721A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP4645816B2 (ja) * | 2005-03-01 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007261216A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置 |
JP2010069750A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法、インクジェット式記録装置 |
JP2010179622A (ja) * | 2009-02-09 | 2010-08-19 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、および液体噴射ヘッドの製造方法 |
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