JP4314498B2 - 圧電素子、液体噴射ヘッド、およびプリンタ - Google Patents
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Description
基体と、
前記基体の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、一般式ABO3で示され、該Aは、鉛(Pb)を含み、該Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、
前記圧電体層は、ZrおよびTiに対するZrの組成の異なる領域を少なくとも2つ有する。
前記圧電体層の前記領域は、第1領域および該第1領域の上方に形成された第2領域を有し、
前記第1領域のZrおよびTiに対するZrの組成は、前記第2領域のZrおよびTiに対するZrの組成よりも大きいことができる。
前記圧電体層の前記領域は、下方のものほど、ZrおよびTiに対するZrの組成が大きいことができる。
前記圧電体層の前記領域は、層状構造であることができる。
前記圧電体層は、擬立方晶の表示で(100)に配向していることができる。
前記圧電体層の結晶構造は、ロンボヘドラル構造またはモノクリニック構造であることができる。
圧力室に通じるノズル孔を有するノズル板と、
前記ノズル板の上方に形成された上述した圧電素子と、を含み、
前記圧力室は、前記基板の開口部から構成されることができる。
上述した液体噴射ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを往復動させるヘッドユニット駆動部と、
前記ヘッドユニットおよび前記ヘッドユニット駆動部を制御する制御部と、を含むことができる。
圧電素子の耐久性(%)=
{(最終の弾性板の変位量−最初の弾性板の変位量)/最初の弾性板の変位量}×100
である。
Claims (5)
- 基体と、
前記基体の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、一般式ABO3で示され、該Aは、鉛(Pb)を含み
、該Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物か
らなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、
前記圧電体層は、前記下部電極に接して形成された第1層と、前記第1層に接して形成された第2層を含み、前記第1層においてZrとTiに対するZrの組成比は0.55であって、かつ前記第2層においてZrとTiに対するZrの組成比が0.5である、圧電素子。 - 請求項1において、
前記圧電体層は、擬立方晶の表示で(100)に配向している、圧電素子。 - 請求項1または2において、
前記圧電体層の結晶構造は、ロンボヘドラル構造またはモノクリニック構造である、圧
電素子。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の圧電素子を有する、液体噴射ヘッド。
- 請求項4に記載の液体噴射ヘッドを有する、プリンタ。
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