JP5196105B2 - 圧電素子、液体噴射ヘッド、並びに、プリンタ - Google Patents
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基体と、
前記基体の上方に形成された下部電極と、
前記下部電極の上方に形成され、アモルファス状態である第1バッファ層と、
前記第1バッファ層の上方に形成され、塩化ナトリウム型構造の金属酸化物からなり、(100)に配向している第2バッファ層と、
前記第2バッファ層の上方に形成され、ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含む。
前記圧電体層は、擬立方晶の表示で(100)に配向していることができる。
前記圧電体層の結晶構造は、モノクリニック構造であることができる。
前記第1バッファ層は、導体からなることができる。
前記第1バッファ層は、ホウ化コバルト鉄からなることができる。
前記金属酸化物は、酸化マグネシウムであることができる。
前記ペロブスカイト型酸化物は、一般式ABO3で示され、
前記Aは、鉛(Pb)を含み、
前記Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むことができる。
前記下部電極は、結晶からなることができる。
前記下部電極は、白金族金属からなることができる。
前記第1バッファ層は、前記下部電極の直接上に形成されており、
前記第2バッファ層は、前記第1バッファ層の直接上に形成されており、
前記圧電体層は、前記第2バッファ層の直接上に形成されていることができる。
圧力室に通じるノズル孔を有するノズル板と、
前記ノズル板の上方に形成された上述した圧電素子と、を含み、
前記圧力室は、前記基体の有する基板の開口部から構成されることができる。
上述した液体噴射ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを往復動させるヘッドユニット駆動部と、
前記ヘッドユニットおよび前記ヘッドユニット駆動部を制御する制御部と、を含むことができる。
前記基体の上方に下部電極を形成する工程と、
前記下部電極の上方に、アモルファス状態の第1バッファ層を形成する工程と、
前記第1バッファ層の上方に、塩化ナトリウム型構造の金属酸化物からなるように、(100)に配向する第2バッファ層を形成する工程と、
前記第2バッファ層の上方に、ペロブスカイト型酸化物からなるように圧電体層を形成する工程と、
前記圧電体層の上方に上部電極を形成する工程と、を含む。
(100)配向度(%)={a/(a+b+c)}×100
である。また、圧電体層の各面の表示は、擬立方晶の表示である。
Claims (12)
- 下部電極と、
前記下部電極の上方に形成された塩化ナトリウム型構造の金属酸化物層と、
前記金属酸化物層の上方に形成されたペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層と、
前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含む圧電素子であって、
前記圧電体層は、結晶構造がモノクリニック構造であり、擬立方晶の表示で(100)に配向していることを特徴とする圧電素子。 - 前記金属酸化物は、酸化マグネシウムを含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電素子。
- 前記ペロブスカイト型酸化物は、一般式ABO3で示され、
前記Aは、鉛を含み、
前記Bは、ジルコニウムおよびチタンのうち、少なくとも1種を含むことを特徴する請求項1または請求項2に記載の圧電素子。 - 前記下部電極は、結晶からなることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記下部電極は、白金族金属からなることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記金属酸化物層は、前記下部電極の直接上に形成されており、
前記圧電体層は、前記金属酸化物層の直接上に形成されており、
前記上部電極は、前記圧電体層の直上に形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の圧電素子。 - 前記下部電極と前記金属酸化物層との間にアモルファス層が設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の圧電素子。
- 前記アモルファス層は、導体からなることを特徴とする請求項7に記載の圧電素子。
- 前記アモルファス層は、ホウ化コバルト鉄を含むことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の圧電素子。
- 前記アモルファス層は、前記下部電極の直接上に形成されており、
前記金属酸化物層は、前記アモルファス層の直接上に形成されており、
前記圧電体層は、前記金属酸化物層の直接上に形成されており、
前記上部電極は、前記圧電体層の直接上に形成されていることを特徴とする請求項7〜請求項9のいずれかに記載の圧電素子。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載の圧電素子を有する、液体噴射ヘッド。
- 請求項1乃至10のいずれかに記載の圧電素子を有する、プリンタ。
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