JP5463816B2 - 液滴噴射ヘッド、液滴噴射装置及び圧電アクチュエーター - Google Patents
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第1振動板と、前記第1振動板上に形成された第2振動板と、前記第2振動板上に形成された第1導電層と、前記第1導電層上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2導電層と、を有する圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第2振動板は、ヤング率が230GPa以上270GPa以下である酸化ジルコニウムからなる。
前記第2振動板は、単斜晶及び正方晶を含む酸化ジルコニウムからなってもよい。
前記第1振動板は、酸化シリコンからなってもよい。
前記第1導電層は、白金からなってもよい。
前記振動板は、正方晶を1%以下含んでもよい。
前記振動板は、厚さ10nm以上1000nm以下であってもよい。
この液滴噴射ヘッドでは、前記振動板を駆動する周波数は、2.38MHz以上2.42MHz以下であってもよい。
これらのいずれかに記載された液滴噴射ヘッドを含む。
本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600の要部を模式的に示す断面図である。図2は、本実施形態に係る液滴噴射ヘッド600の分解斜視図であり、通常使用される状態とは上下を逆に示したものである。
以下、図面を参照して、本実施形態に係る液滴噴射ヘッドの製造方法について説明する。
以下に、実験例を示し、本発明をさらに説明するが、本発明は、以下の実験例によって何ら限定されるものではない。
本実験例においては、振動板2を以下の条件で形成し、各条件で形成された第2振動板2bのヤング率を測定した。
次に、アニール温度の条件ごとに、第2振動板2bの周波数特性を測定した。本実験例においては、第2振動板2bの厚さは400nm、第2振動板2bに対して垂直に見た場合における圧力室622の大きさ及び形状は39μm×700μmの平行四辺形である。また、本実験例においては、第1導電層10と第2導電層20との間に最大10V程度の直流バイアスを印加した状態で、500mV程度の微小振幅の交流波によって容量を測定することにより周波数特性を測定した。
次に、アニール温度の条件ごとに、第2振動板2bの結晶状態をラマン分析により観測した。測定条件としては、励起レーザーの波長は514.5nm、測定温度は4.2K、測定構成はバックスキャッタリング配置、対物レンズは50倍、測定時間は20分である。
次に、本実施形態に係る液滴噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図10は、本実施形態に係る液滴噴射装置700を模式的に示す斜視図である。液滴噴射装置700は、本発明に係る液滴噴射ヘッドを有する。以下では、液滴噴射装置700が上述の液滴噴射ヘッド600を有するインクジェットプリンターである場合について説明する。
Claims (8)
- 第1振動板と、前記第1振動板上に形成された第2振動板と、前記第2振動板上に形成された第1導電層と、前記第1導電層上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2導電層と、を有する圧電アクチュエーターを備えた液滴噴射ヘッドであって、
前記第2振動板は、ヤング率が230GPa以上270GPa以下である酸化ジルコニウムからなり、
前記第2振動板の共振周波数は、2.38MHz以上2.42MHz以下であることを特徴とする液滴噴射ヘッド。 - 前記第2振動板は、単斜晶と正方晶とを含むことを特徴とする請求項1に記載の液滴噴射ヘッド。
- 前記第1振動板は、酸化シリコンからなることを特徴とする請求項1及び2の何れかに記載の液滴噴射ヘッド。
- 前記第1導電層は、白金からなることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の液滴噴射ヘッド。
- 前記第2振動板は、正方晶を1%以下含むことを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の液滴噴射ヘッド。
- 前記振動板は、厚さ10nm以上1000nm以下である請求項1乃至5の何れかに記載の液滴噴射ヘッド。
- 請求項1乃至6の何れかに記載の液滴噴射ヘッドを具備することを特徴とする液滴噴射装置。
- 第1振動板と、前記第1振動板上に形成された第2振動板と、前記第2振動板上に形成された第1導電層と、前記第1導電層上に形成された圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2導電層と、を有する圧電アクチュエーターであって、
前記第2振動板は、ヤング率が230GPa以上270GPa以下である酸化ジルコニウムからなり、
前記第2振動板の共振周波数は、2.38MHz以上2.42MHz以下であることを特徴とする圧電アクチュエーター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009214152A JP5463816B2 (ja) | 2009-09-16 | 2009-09-16 | 液滴噴射ヘッド、液滴噴射装置及び圧電アクチュエーター |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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JP2011062871A JP2011062871A (ja) | 2011-03-31 |
JP5463816B2 true JP5463816B2 (ja) | 2014-04-09 |
Family
ID=43949660
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009214152A Active JP5463816B2 (ja) | 2009-09-16 | 2009-09-16 | 液滴噴射ヘッド、液滴噴射装置及び圧電アクチュエーター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5463816B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004042190A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-02-12 | Nippon Tungsten Co Ltd | 放電加工用電極 |
JP4776154B2 (ja) * | 2003-09-03 | 2011-09-21 | キヤノン株式会社 | 圧電体素子、インクジェット記録ヘッド、圧電体素子の製造方法 |
JP4858670B2 (ja) * | 2004-12-20 | 2012-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射装置 |
JP2009045871A (ja) * | 2007-08-22 | 2009-03-05 | Panasonic Corp | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、及びインクジェット式記録装置 |
-
2009
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Publication number | Publication date |
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JP2011062871A (ja) | 2011-03-31 |
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