JP5196183B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電アクチュエーター - Google Patents
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Description
図1に示すように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には酸化膜からなる弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁11によって区画された圧力発生室12がその幅方向(短手方向)に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向一端部側には、インク供給路13と連通路14とが隔壁11によって区画されている。また、連通路14の一端には、各圧力発生室12の共通のインク室(液体室)となるリザーバー100の一部を構成する連通部15が形成されている。
Claims (8)
- ノズルに連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に設けられて前記圧力発生室内に前記ノズルから液滴を噴射させるための圧力を発生させる圧電素子とを具備し、
前記圧電素子は、第1の電極と、該第1の電極上に形成される圧電体層と、該圧電体層上に形成される第2の電極とで構成され、
前記圧電体層の内部には、当該圧電体層の面内方向に沿って脱分極領域が前記第1の電極及び前記第2の電極に接触することなく形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記圧電体層は、一般式がABO3で示されるペロブスカイト構造を有し、前記脱分極領域は、前記圧電体層の構成元素が欠損している領域であることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、鉛、ジルコニウム及びチタンを少なくとも構成元素として含むことを特徴とする請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記脱分極領域が、前記圧電体層の面内方向に沿って層状に形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記脱分極領域が、前記圧電体層内に点在していることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記脱分極領域の誘電率は、当該脱分極領域を除く前記圧電体層の誘電率の95%以上であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜6の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
- 基板上に設けられる第1の電極と、該第1の電極上に形成される圧電体層と、該圧電体層上に形成される第2の電極とで構成される圧電素子を具備し、
前記圧電体層の内部には、当該圧電体層の面内方向に沿って脱分極領域が前記第1の電極及び前記第2の電極に接触することなく形成されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。
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