JP2012124354A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、赤外線センサー及び超音波センサー - Google Patents
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- ノズル開口に連通する圧力発生室と、
圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、
前記圧電体層は、Ａサイトに、カリウム、ナトリウム、及びビスマスを含み、Ｂサイトにニオブ、鉄、及びクロムを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記複合酸化物は、ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスとクロム酸ビスマスとの混晶としての組成比を有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記複合酸化物は、クロムとニオブとのモル比（クロム／ニオブ）が０．０３以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記複合酸化物は、クロムとニオブとのモル比（クロム／ニオブ）が０．０５以上０．０８以下であることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、厚さが１μｍ以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜５のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備え、
前記圧電体層は、Ａサイトに、カリウム、ナトリウム、及びビスマスを含み、Ｂサイトにニオブ、鉄、及びクロムを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなることを特徴とする圧電素子。 - 請求項７に記載の圧電素子を具備することを特徴とする赤外線センサー。
- 請求項７に記載の圧電素子を具備することを特徴とする超音波センサー。
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