JP2012104658A5 - - Google Patents
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- ノズル開口に連通する圧力室と、
圧電体と、前記圧電体に設けられた第１電極及び第２電極を有する圧電素子と、
を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方は、白金を含み、
前記圧電体は、
ニオブ酸カリウムナトリウム及び鉄酸ビスマスを含む複合酸化物からなり、
ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスのモル数の和に対する鉄酸ビスマスのモル数の比が、０．９９％以上１０％以下であり、かつ、
ニオブのモル数に対するカリウムとナトリウムのモル数の和の比が、１０１％以上１２０％以下であり、かつ、
鉄酸ビスマスとニオブ酸カリウムナトリウム中のニオブに対するナトリウムとカリウムのモル数の比が１０４％以上１２５％である、液体噴射ヘッド。 - 請求項１に記載の液体噴射ヘッドを備えた、液体噴射装置。
- 圧電体と、前記圧電体に設けられた第１電極及び第２電極を有する圧電素子であって、
前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方は、白金を含み、
前記圧電体は、
ニオブ酸カリウムナトリウム及び鉄酸ビスマスを含む複合酸化物からなり、
ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスのモル数の和に対する鉄酸ビスマスのモル数の比が、０．９９％以上１０％以下であり、かつ、
ニオブのモル数に対するカリウムとナトリウムのモル数の和の比が、１０１％以上１２０％以下であり、かつ、
鉄酸ビスマスとニオブ酸カリウムナトリウム中のニオブに対するナトリウムとカリウムのモル数の比が１０４％以上１２５％である、圧電素子。 - 白金を含む第１電極を形成する工程と、
前駆体溶液を前記第１電極上に塗布し、前記第１電極上に塗布された前記前駆体溶液を結晶化させることにより、ニオブ酸カリウムナトリウム及び鉄酸ビスマスを含む圧電体を
形成する工程と、
前記圧電体上に第２電極を形成する工程と、
を有し、
前記前駆体溶液は、
ニオブ、カリウム、ナトリウム、鉄及びビスマスの有機金属化合物を含み、
ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスのモル数の和に対する鉄酸ビスマスのモル数の比が、０．９９％以上１０％以下であり、かつ、
ニオブのモル数に対するカリウムとナトリウムのモル数の和の比が、１０１％以上１２０％以下であり、かつ、
鉄酸ビスマスとニオブ酸カリウムナトリウム中のニオブに対するナトリウムとカリウムのモル数の比が１０４％以上１２５％である、圧電素子の製造方法。
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