JP2015112877A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 複数の静電アクチュエータを含むプリントヘッドであって、各静電アクチュエータが、
   半導体基材アセンブリを覆い、第１の部分を含むパターニングされた第１の伝導性層と、
   前記パターニングされた第１の伝導性層の第１の部分と物理的および電気的に接触した第１の部分を有するパターニングされた第２の伝導性層であって、前記前記パターニングされた第２の伝導性層の前記第１の部分は、アクチュエータ電極の少なくとも一部である、第２の伝導性層と、
   前記半導体基材アセンブリを覆い、側壁を含む第１の誘電体層と、
   前記第１の誘電体層を覆う第２の誘電体層であって、前記側壁が、前記第２の誘電体層の下において側方に埋め込まれ、凹部を提供する第２の誘電体層と、
   前記第２の誘電体層上の前記第２の伝導性層の第２の部分と、
   前記第２の伝導性層の前記第２の部分に拡散接合したアクチュエータ膜と、
   を含む、プリントヘッド。
2. 前記第２の伝導性層の前記第１の部分が、前記凹部内に縁部を含む、請求項１に記載のプリントヘッド。
3. 前記第２の伝導性層が、自己パターニングされた層である、請求項１に記載のプリントヘッド。
4. 前記パターニングされた第１の伝導性層の前記第１の部分および前記第２の伝導性層の前記第１の部分の下層となる第３の誘電体層をさらに含み、前記側壁が、前記第２の誘電体層と前記第３の誘電体層との間に埋め込まれる、請求項１に記載のプリントヘッド。
5. 前記第１の伝導性層と前記第２の伝導性層の前記第１の部分との間に介在された第３の誘電体層をさらに含み、前記側壁が、前記第２の誘電体層と前記第３の誘電体層との間で埋め込まれる、請求項１に記載のプリントヘッド。
6. 前記パターニングされた第１の伝導性層が、前記複数の静電アクチュエータのために複数のトレースを提供する複数の第２の部分をさらに含み、
   前記複数のトレースが、前記第２の伝導性層の前記第１の部分と前記半導体基材アセンブリとの間に直接挿入される、請求項１に記載のプリントヘッド。
7. 前記パターニングされた第１の伝導性層の前記第１の部分が第１の幅を含み、
   前記パターニングされた第２の伝導性層の前記第１の部分が、前記第１の幅よりも広い第２の幅を含む、請求項１に記載のプリントヘッド。
8. プリンタであって、
   複数の静電アクチュエータを含むプリントヘッドを備え、
   各静電アクチュエータが、
   半導体基材アセンブリを覆い、第１の部分を含むパターニングされた第１の伝導性層と、
   前記パターニングされた第１の伝導性層の第１の部分と物理的および電気的に接触した第１の部分を有するパターニングされた第２の伝導性層であって、前記前記パターニングされた第２の伝導性層の前記第１の部分は、アクチュエータ電極の少なくとも一部である、第２の伝導性層と、
   前記半導体基材アセンブリを覆い、側壁を含む第１の誘電体層と、
   前記第１の誘電体層を覆う第２の誘電体層であって、前記側壁が、前記第２の誘電体層の下において側方に埋め込まれ、凹部を提供する第２の誘電体層と、
   前記第２の誘電体層上の前記第２の伝導性層の第２の部分と、
   前記第２の伝導性層の前記第２の部分に拡散接合したアクチュエータ膜と、
   を含む、プリンタ。
9. 前記第２の伝導性層の前記第１の部分が、前記凹部内に縁部を含む、請求項８に記載のプリンタ。
10. 前記第２の伝導性層が、自己パターニングされた層である、請求項８に記載のプリンタ。
11. 前記パターニングされた第１の伝導性層の前記第１の部分および前記第２の伝導性層の前記第１の部分の下層となる第３の誘電体層をさらに含み、前記側壁が、前記第２の誘電体層と前記第３の誘電体層との間に埋め込まれる、請求項８に記載のプリンタ。
12. 前記第１の伝導性層と前記第２の伝導性層の前記第１の部分との間に介在された第３の誘電体層をさらに含み、前記側壁が、前記第２の誘電体層と前記第３の誘電体層との間で埋め込まれる、請求項８に記載のプリンタ。
13. 前記パターニングされた第１の伝導性層が、前記複数の静電アクチュエータのために複数のトレースを提供する複数の第２の部分をさらに含み、
    前記複数のトレースが、前記第２の伝導性層の前記第１の部分と前記半導体基材アセンブリとの間に直接挿入される、請求項８に記載のプリンタ。
14. 前記パターニングされた第１の伝導性層の前記第１の部分が第１の幅を含み、
    前記パターニングされた第２の伝導性層の前記第１の部分が、前記第１の幅よりも広い第２の幅を含む、請求項８に記載のプリンタ。