JP2011156845A - 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011156845A JP2011156845A JP2010022839A JP2010022839A JP2011156845A JP 2011156845 A JP2011156845 A JP 2011156845A JP 2010022839 A JP2010022839 A JP 2010022839A JP 2010022839 A JP2010022839 A JP 2010022839A JP 2011156845 A JP2011156845 A JP 2011156845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- liquid
- conductive
- forming member
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【解決手段】ノズルプレート22の少なくとも第1の面、第2の面、及び、ノズル27の内周面に、導電膜46が連続した状態で形成され、第1の面において導電部材(ユニット固定板17、ヘッドカバー18)と導通される領域以外の部分に撥液層49が形成され、導電部材が、第1の面における撥液層が形成されていない導通領域50に対して導通し、且つ、電気的に接地される。
【選択図】図6
Description
導電性を有し、前記ノズル形成部材の前記第1の面に接触する導電部材と、
を備え、
前記ノズル形成部材の少なくとも第1の面、第2の面、及び、ノズルの内周面に亘って、導電膜が連続した状態で形成され、
前記ノズル形成部材の第1の面において前記導電部材と導通される領域以外の部分に撥液層が形成され、
前記導電部材は、前記ノズル形成部材の第1の面における撥液層が形成されていない領域に対して導通し、且つ、電気的に接地されていることを特徴とする。
なお、導電部材がノズル形成部材に接触する状態には、直接接触する状態のみならず、例えば、接着剤等を介して間接的に接触する状態も含まれる。
前記ノズル形成部材の少なくとも第1の面、第2の面、及び、ノズルの内周面に亘って、導電膜を連続した状態で形成する工程と、
前記第1の面における前記導電部材と導通される領域以外の部分に撥液層を形成する工程と、
前記導電部材を、前記ノズル形成部材の第1の面における撥液層が形成されていない領域に対して接触させて当該ノズル形成部材と導通させた状態で取り付ける工程と、
前記導電部材を電気的に接地する工程と、
を含むことを特徴とする。
ケース15は、内部にヘッドユニット16や集束流路(図示せず)を収容する箱体状部材であり、上面側に針ホルダ19が形成されている。この針ホルダ19は、インク導入針20を取り付けるための板状部材であり、本実施形態においてはインクカートリッジ7のインク色に対応させて8本のインク導入針20がこの針ホルダ19に横並びに配設されている。このインク導入針20は、インクカートリッジ7内に挿入される中空針状の部材であり、先端部に設けられた導入孔(図示せず)からインクカートリッジ7内に貯留されたインクをケース15内の集束流路を通じてヘッドユニット16側に導入するようになっている。
本実施形態におけるヘッドユニット16は、ノズルプレート22、流路基板23、共通液室基板24、及び、コンプライアンス基板25(保護基板)から概略構成され、これらの部材を積層した状態でユニットケース26に取り付けられている。
そして、これらのノズルプレート22、流路基板23、共通液室基板24、コンプライアンス基板25、及び、ユニットケース26は、接着剤や熱溶着フィルム等を間に配置して積層した状態で加熱することで相互に接合される。
そして、各ヘッドユニット16は、インクカートリッジ7からのインクをインク導入路42を通じてインク導入口40から共通液室32側に取り込み、共通液室32からノズル27に至るインク流路(液体流路の一種)をインクで満たす。そして、駆動IC38からの駆動信号を圧電素子35に供給してこの圧電素子35を撓み変形させることによって対応する圧力室31内のインクに圧力変動を生じさせ、このインクの圧力変動を利用してノズル27からインクを噴射させる。
図6は、ノズルプレート22の製造工程について説明する模式図である。
本実施形態におけるノズルプレート22の材料としては、上述したシリコン単結晶基板22′が用いられ、1つの基板22′から複数のノズルプレート22が作製される。この基板22′に対して、図6(a)に示すように、まずドライエッチングによってノズル27が形成される(ノズル形成工程)。次に、図6(b)に示すように、インクが噴射される側の面(図で下側の面。以下、第1の面)、この面とは反対側の面(図で上側の面。以下、第2の面)、及びノズル27の内周面に、導電膜46が形成される(導電膜形成工程)。この導電膜46は、導電性を有し、尚且つ、耐インク性を有するものが望ましく、本実施形態においては、タンタル酸化物膜から構成される。この導電膜46は、化学蒸着(CVD)法により形成され、その膜厚は、100nm程度である。導電膜46は、上記のように、少なくとも上記の第1の面(特に、導電部材が接触する領域(以下、導通領域50))、第2の面(特に、インク流路のインクが接触する領域)、及び、ノズル27の内周面に形成され、且つ、これらの領域の導電膜46が互いに連続していれば良い。勿論、これらの領域以外、例えば、ノズルプレート22の側面にも導電膜46が形成される構成を採用することもできる。
Claims (5)
- 液体を噴射するノズルが形成され、液体が噴射される側の第1の面とは反対側の第2の面が液体流路の一部を区画する非導電性のノズル形成部材と、
導電性を有し、前記ノズル形成部材の前記第1の面に接触する導電部材と、
を備え、
前記ノズル形成部材の少なくとも第1の面、第2の面、及び、ノズルの内周面に亘って、導電膜が連続した状態で形成され、
前記ノズル形成部材の第1の面において前記導電部材と導通される領域以外の部分に撥液膜が形成され、
前記導電部材は、前記ノズル形成部材の第1の面における撥液膜が形成されていない領域に対して導通し、且つ、電気的に接地されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記ノズル形成部材は、シリコン単結晶基板から成ることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記導電膜が、酸化タンタルから成ることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液体噴射ヘッド。
- 前記導電部材と前記ノズル形成部材とが導電性接着剤で接合されたことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 液体を噴射するノズルが形成され、液体が噴射される側の第1の面とは反対側の第2の面が液体流路の一部を区画する非導電性のノズル形成部材と、導電性を有し、前記ノズル形成部材の前記第1の面に接触する導電部材と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ノズル形成部材の少なくとも第1の面、第2の面、及び、ノズルの内周面に亘って、導電膜を連続した状態で形成する工程と、
前記第1の面における前記導電部材と導通される領域以外の部分に撥液膜を形成する工程と、
前記導電部材を、前記ノズル形成部材の第1の面における撥液膜が形成されていない領域に対して接触させて当該ノズル形成部材と導通させた状態で取り付ける工程と、
前記導電部材を電気的に接地する工程と、
を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010022839A JP2011156845A (ja) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010022839A JP2011156845A (ja) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011156845A true JP2011156845A (ja) | 2011-08-18 |
Family
ID=44589227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010022839A Withdrawn JP2011156845A (ja) | 2010-02-04 | 2010-02-04 | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011156845A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014124874A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014124882A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014124877A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014124879A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014151469A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
JP2020172050A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社リコー | ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置 |
CN112088094A (zh) * | 2018-05-09 | 2020-12-15 | 柯尼卡美能达株式会社 | 喷墨头以及图像形成方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006289838A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Seiko Epson Corp | 撥液性部材、ノズルプレート及びそれを用いた液体噴射ヘッドならびに液体噴射装置 |
JP2007015356A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007062367A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009166278A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド及び画像記録方法 |
JP2009184176A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Seiko Epson Corp | ノズル基板、ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
-
2010
- 2010-02-04 JP JP2010022839A patent/JP2011156845A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006289838A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Seiko Epson Corp | 撥液性部材、ノズルプレート及びそれを用いた液体噴射ヘッドならびに液体噴射装置 |
JP2007015356A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2007062367A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009166278A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Konica Minolta Ij Technologies Inc | インクジェットヘッド及び画像記録方法 |
JP2009184176A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Seiko Epson Corp | ノズル基板、ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014124874A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014124882A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014124877A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014124879A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2014151469A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Seiko Epson Corp | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
CN112088094A (zh) * | 2018-05-09 | 2020-12-15 | 柯尼卡美能达株式会社 | 喷墨头以及图像形成方法 |
JPWO2019215851A1 (ja) * | 2018-05-09 | 2021-05-13 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及び画像形成方法 |
JP7124866B2 (ja) | 2018-05-09 | 2022-08-24 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及び画像形成方法 |
CN112088094B (zh) * | 2018-05-09 | 2022-12-13 | 柯尼卡美能达株式会社 | 喷墨头以及图像形成方法 |
US11807004B2 (en) | 2018-05-09 | 2023-11-07 | Konica Minolta, Inc. | Inkjet head and image forming method |
JP2020172050A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社リコー | ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置 |
JP7322478B2 (ja) | 2019-04-09 | 2023-08-08 | 株式会社リコー | ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6264421B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
US8348394B2 (en) | Liquid ejecting head | |
JP5573221B2 (ja) | 液体噴射ヘッド用配線部材、及び、液体噴射ヘッド | |
JP2011156845A (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5776880B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5376157B2 (ja) | 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 | |
JP2014054835A (ja) | 液体噴射装置 | |
JP2014037133A (ja) | 液体噴射装置 | |
JP2011104850A (ja) | 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置 | |
JP2014151536A (ja) | 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 | |
US8336994B2 (en) | Droplet ejection device and manufacturing method thereof | |
JP2014237276A (ja) | 流路ユニットおよび流路ユニットを搭載した液体噴射装置 | |
JP2012218255A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2011189585A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
US8162449B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP6424935B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、および液体噴射装置 | |
JP2008200911A (ja) | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
JP2021053902A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび記録装置 | |
JP2009034862A (ja) | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
JP5928690B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
TW201641299A (zh) | 墨水噴頭、及噴墨印表機 | |
JP2010228276A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 | |
JP2013111767A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2022072670A (ja) | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009196240A (ja) | 液体噴射ヘッドおよびプリンタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20130911 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140527 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20140716 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |