JP2020019204A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
しかし、流路形成部材と表面処理膜の密着性向上については記載されておらず、検討されていない。
しかし、有機膜では水分の透過を完全に遮断できないため、インクなどに腐食されにくい材料を流路形成部材として使用しなければならないという問題がある。
しかし、表面処理膜としてのSiO2膜は、強いアルカリ性の液体に対して水酸化物に変化し、イオン化されやすくなり、液中に溶け出してしまうため、結果として流路形成部材が損傷するという問題がある。
「液体吐出ヘッド」とは、ノズルから液体を吐出・噴射する機能部品である。
吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ(積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子)、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
本実施形態に係る液体吐出ヘッドの基本構成を説明する。
図1は本実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図であり、図2は図1における液室長辺方向の断面模式図、図3は図1における液室短辺方向の断面模式図である。なお、本実施形態の液体吐出ヘッドは圧電型アクチュエータを有する液体吐出ヘッドとしている。
これを繰り返すことにより、液滴(液体)を連続的に吐出でき、液体吐出ヘッドに対向して配置した被記録媒体(用紙)に画像を形成する。
次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの詳細について、製造方法を示しつつ説明する。
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法は、流路形成部材における液体の流路に膜厚2nm以上の自然酸化膜を形成する工程と、流路形成部材の表面の汚染物を除去する工程と、自然酸化膜上に表面処理膜を形成する工程と、を有し、必要に応じてその他の工程を有する。
次いで、サブフレーム基板200とアクチュエータ基板100とを接合する。接合方法は、特に制限されるものではなく、適宜変更することが可能である。
自然酸化膜の膜厚としては、2nm以上であり、2nm未満であると、C、F等の汚染物の除去が十分に行えない。
図4(A)に、図2におけるA領域の拡大模式図を示す。図4(A)は、サブフレーム基板200の貫通孔部60における液体と接する部分に表面処理膜52が形成されていることを示している。なお、図4(A)では、自然酸化膜の図示を省略している。
なお、図5は1層目のSiO2膜の膜厚が0.1〜2nmの場合の例であり、図6は1層目のSiO2膜の膜厚が2〜4nmの場合の例である。
そして、上記工程で得られたアクチュエータ基板100と接合させる。接合方法は、公知の方法により行うことができる。本実施形態では接着剤を用いて行う。
次に、本発明の液体吐出ユニットについて、図8〜図10を用いて説明する。
このキャリッジ403には、本発明に係る液体吐出ヘッド404及びヘッドタンク441を一体にした液体吐出ユニット440を搭載している。液体吐出ユニット440の液体吐出ヘッド404は、例えば、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド404は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
図1〜図3に示されるSiからなるアクチュエータ基板100に振動板3、圧電体素子2を形成し、更に層間絶縁膜45、接続孔30、配線パターン42、引き出し配線40、引き出し配線パッド41を形成した。
次いで、Siからなるサブフレーム基板に対して、リソエッチ法により貫通孔部60、空隙部67を形成し、サブフレーム基板200とアクチュエータ基板100とを接合した。次いで、アクチュエータ基板100に対して、ICPエッチャーを用い、CF4ガスを用いてドライエッチングで加工し、加圧液室5を形成した。
また、ALD処理中にALD装置内でO3処理を5分間行った。O3処理は表面処理膜を成膜する前に行った。
なお、本実施例における観察結果は図7に示されるものであった。
また、XPS分析を行ったところ、TaSiOxとして観測され、Ta−Siの結合状態で得られた膜であった。
実施例1において、下記表1に示す通りに変更した以外は実施例1と同様とした。
<スクラッチ強度>
スクラッチ強度については、表面処理膜の密着力評価となり、レスカ社製scratch試験装置(CSR−5000)を用いた。評価するときの圧子状態によっても密着力が異なるため、今回の評価では球形圧子を用いて、スタイラス径は15μmを用いて実施している。20mN以上が好ましい。
信頼性試験については、図12及び図13に示すインクジェット記録装置を用い、HCT(ヒートサイクルテスト)を実施し、−70℃〜30℃の温度サイクル(9サイクル)を行った。試験後に吐出評価を実施し、不具合有無について確認している。
[評価基準]
OK:吐出不良の不具合なし
NG:吐出不良の不具合あり
2 圧電体素子
3 振動板
4 加圧液室隔壁
5 加圧液室
6 ノズル孔
7 流体抵抗部
8 個別液滴供給孔
9 共通液滴流路
10 共通電極
11 個別電極
12 圧電体
30 接続孔
31 流路形成部材
32 自然酸化膜
40 引き出し配線
41 引き出し配線パッド
42 配線パターン
45 層間絶縁膜
50 パッシベーション膜
52 表面処理膜
52a、52c、52x SiO2膜
52b、52y Ta2O5膜
60 貫通孔部
61 個別貫通部
66 液滴供給口
67 空隙部
100 アクチュエータ基板
200 サブフレーム基板
300 ノズル基板
401 ガイド部材
403 キャリッジ
404 液体吐出ヘッド
405 主走査モータ
406 駆動プーリ
407 従動プーリ
408 タイミングベルト
412 搬送ベルト
413 搬送ローラ
414 テンションローラ
440 液体吐出ユニット
441 ヘッドタンク
442 カバー
443 コネクタ
444 流路部品
456 チューブ
491A、491B 側板
491C 背板
493 主走査移動機構
610 接着剤
Claims (12)
- 液体の流路を形成する流路形成部材を有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路形成部材は、Siからなり、前記液体の流路において、最表面に2nm以上の自然酸化膜が形成され、該自然酸化膜上に表面処理膜が接して形成されており、
前記自然酸化膜と前記表面処理膜との界面は、C量及びF量が5atomic%以下であることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記表面処理膜は、Siを含む酸化膜であり、前記流路形成部材との界面がシロキサン結合していることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記表面処理膜は、第4族及び第5族から選ばれる遷移金属を少なくとも一種含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記表面処理膜は、Hf、Ta及びZrから選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記表面処理膜は、前記流路形成部材との界面がSiO2膜で形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記表面処理膜は、前記流路形成部材との界面におけるSiO2膜の膜厚が0.1nm以上10nm以下であることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記表面処理膜は、Ta−Siの結合状態を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出ユニット。
- 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化したことを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ユニット。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項8若しくは9に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
- 液体の流路を有する流路形成部材を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成部材における前記液体の流路に膜厚2nm以上の自然酸化膜を形成する工程と、
前記流路形成部材の表面の汚染物を除去する工程と、
前記自然酸化膜上に表面処理膜を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記表面処理膜は、ALD(Atomic Layer Deposition)法により形成することを特徴とする請求項11に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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