JP7059604B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents
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Description
表面に表面処理膜が形成されたヘッド構成部材を有し、
前記表面処理膜は、Siを含む酸化膜であり、
前記酸化膜は、不動態膜を形成する遷移金属を含み、
前記表面処理膜は、前記ヘッド構成部材との界面近傍におけるSiの含有率が、前記表面処理膜の内部におけるSiの含有率より高く、かつ、20at%以上であり、
前記Siの含有率が高い領域の厚みは3~7nmの範囲であり、
前記表面処理膜と、前記ヘッド構成部材との界面におけるSiO 2 膜の占有面積率が70%以上である
構成とした。
する。
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
10 共通液室
20 アクチュエータ基板
50 保持基板
100 液体吐出ヘッド
112 表面処理膜
200 ヘッド構成部材
403 キャリッジ
404 液体吐出ヘッド
440 液体吐出ユニット
Claims (12)
- 表面に表面処理膜が形成されたヘッド構成部材を有し、
前記表面処理膜は、Siを含む酸化膜であり、
前記酸化膜は、不動態膜を形成する遷移金属を含み、
前記表面処理膜は、前記ヘッド構成部材との界面近傍におけるSiの含有率が、前記表面処理膜の内部におけるSiの含有率より高く、かつ、20at%以上であり、
前記Siの含有率が高い領域の厚みは3~7nmの範囲であり、
前記表面処理膜と、前記ヘッド構成部材との界面におけるSiO 2 膜の占有面積率が70%以上である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記表面処理膜は、前記ヘッド構成部材との界面近傍における前記遷移金属の含有率が、10at%以下である
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記表面処理膜の内部におけるSiの含有率が、10at%以上15at%以下である
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記表面処理膜の内部における前記遷移金属の含有率が、15at%以上である
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 前記表面処理膜は、前記ヘッド構成部材との界面とは反対側の表面におけるSiの含有率が、前記表面処理膜の内部におけるSiの含有率より高く、かつ、20at%以上である
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 前記表面処理膜は、第4族又は第5族から選ばれる遷移金属を少なくとも一種以上含んでいる
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 前記ヘッド構成部材は、液体の流路を形成する流路形成部材である
ことを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 前記流路形成部材は、他のヘッド構成部材と接着剤で接合されている
ことを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記ヘッド構成部材は、液体を吐出するノズル板であり、
前記ノズル板の吐出面に前記表面処理膜が形成され、
前記表面処理膜の表面に撥液膜が形成されている
ことを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
- 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項10に記載の液体吐出ユニット。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項10若しくは11に記載の液体吐出ユニットを備えている
ことを特徴とする液体を吐出する装置。
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