JP6260858B2 - 電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 Download PDFInfo
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Description
また、上記電気機械変換素子に保護膜を作成する場合、その保護膜の膜厚が厚くなっていくと電気機械変換素子の変形量が低下していく傾向がある。特に、電気機械変換素子の上面部分に形成される保護膜の膜厚が厚いと電気機械変換素子の変形量が低下しやすい。そのため、保護膜の形成にあたっては電気機械変換素子の第2の電極の上面部分に形成される保護膜による電気機械変換素子の変形量の低下を抑制したいという要請がある。
図1(a)及び(b)は液滴吐出ヘッドの基本構成部分である液滴吐出部10の概略構成を示す構成例を示す概略構成図である。図1(a)は液滴吐出部10の上面図であり、図1(b)は図1(a)の矢視A−A’断面図である。また、図2は、液滴吐出部10における液室基板上の振動板及び圧電素子の層構造の一例を示す断面図であり、図1(a)中の矢視A−A’と直交する方向の断面図である。
基板14としては、シリコン単結晶基板を用いることが好ましく、通常100[μm]以上600[μm]以下の範囲の厚みを持つことが好ましい。面方位としては、(100)、(110)、(111)と3種あるが、半導体産業では一般的に(100)、(111)が広く使用されており、本構成例においては、主に(100)の面方位を持つ単結晶基板を主に使用した。また、図1に示すような液室(圧力室)13を作製していく場合、エッチングを利用してシリコン単結晶基板を加工していく。この場合のエッチング方法としては、異方性エッチングを用いることが一般的である。異方性エッチングとは結晶構造の面方位に対してエッチング速度が異なる性質を利用したものである。例えばKOH等のアルカリ溶液に浸漬させた異方性エッチングでは、(100)面に比べて(111)面は約1/400程度のエッチング速度となる。従って、面方位(100)では約54°の傾斜を持つ構造体が作製できるのに対して、面方位(110)では深い溝をほることができるため、より剛性を保ちつつ、配列密度を高くすることができることが分かっている。本構成例としては(110)の面方位を持った単結晶基板を使用することも可能である。但し、この場合、マスク材であるSiO2もエッチングされてしまうため、この点も留意して利用することが好ましい。
図1に示すように電気機械変換素子としての圧電素子16によって発生した力を受けて、その下地の振動板15が変形して、液室(圧力室)13のインクなどの液体の液滴を吐出させる。そのため、振動板15としては所定の強度を有したものであることが好ましい。材料としては、Si、SiO2、Si3N4などを例えばCVD(Chemical Vapor Deposition:化学気相成長)法により作製したものが挙げられる。さらに図1に示すような共通電極(下部電極)161及び圧電膜162の線膨張係数に近い材料を選択することが好ましい。特に、圧電膜162としては、一般的に材料としてPZTが使用される場合が多い。従って、振動板15の材料は、PZTの線膨張係数8×10−6(1/K)に近い5×10−6(1/K)以上10×10−6(1/K)以下の範囲の線膨張係数を有した材料が好ましい。さらには7×10−6(1/K)以上9×10−6(1/K)以下の範囲の線膨張係数を有した材料がより好ましい。具体的な材料としては、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化イリジウム、酸化ルテニウム、酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化オスミウム、酸化レニウム、酸化ロジウム、酸化パラジウム及びそれらの化合物等が挙げられる。これらの材料を、例えばスパッタ法又はゾルゲル法を用いてスピンコーターにて作製することができる。膜厚としては0.1[μm]以上10[μm]以下の範囲が好ましく、0.5[μm]以上3[μm]以下の範囲がさらに好ましい。この範囲より小さいと、図1に示すような液室(圧力室)13の加工が難しくなる。また、上記範囲より大きいと振動板15が変形しにくくなり、インク滴などの液滴の吐出が不安定になる。
共通電極(第1の電極)161としては、金属もしくは金属と酸化物からなっていることが好ましい。ここで、どちらの材料も振動板15と共通電極161を構成する金属膜との間に密着層を入れて剥がれ等を抑制するように工夫している。以下に密着層含めて金属電極膜及び酸化物電極膜の詳細について記載する。
密着層は、例えば次のように形成する。Tiをスパッタ成膜後、成膜したチタン膜をRTA(Rapid Thermal Annealing)装置を用いて熱酸化して酸化チタン膜にする。熱酸化の条件は、例えば、650[℃]以上800[℃]以下の範囲の温度、1[分]以上30[分]以下の範囲の処理時間、及びO2雰囲気である。酸化チタン膜を作成するには反応性スパッタでもよいがチタン膜の高温による熱酸化法が望ましい。反応性スパッタによる作製では、シリコン基板を高温で加熱する必要があるため、特別なスパッタチャンバ構成を必要とする。さらに、一般の炉による酸化よりも、RTA装置による酸化の方がチタン酸化膜の結晶性が良好になる。なぜなら、通常の加熱炉による酸化によれば、酸化しやすいチタン膜は、低温においてはいくつもの結晶構造を作るため、一旦、それを壊す必要が生じるためである。したがって、昇温速度の速いRTAによる酸化の方が良好な結晶を形成するために有利になる。また、Ti以外の材料としては、Ta、Ir、Ru等の材料を用いることもできる。密着層の膜厚としては、10[nm]以上50[nm]以下の範囲が好ましく、15[nm]以上30[nm]以下の範囲がさらに好ましい。この範囲以下の場合においては、密着性に懸念がある。また、この範囲以上になってくると、下部電極の表面粗さが大きくなり圧電膜との密着性が低下し、圧電膜の結晶性に悪影響を及ぼしインク吐出に十分な変位が得られないような不具合が発生する。
金属電極膜の金属材料としては、従来から高い耐熱性と低い反応性を有する白金が用いられているが、鉛に対しては十分なバリア性を持つとはいえない場合もあり、イリジウムや白金−ロジウムなどの白金族元素や、これらの合金膜も挙げられる。また、白金を使用する場合には下地(特にSiO2)との密着性が悪いために、前述の密着層を先に積層することが好ましい。作製方法としては、スパッタ法や真空蒸着等の真空成膜が一般的である。膜厚としては、80[nm]以上200[nm]以下の範囲が好ましく、100[nm]以上150[nm]以下の範囲がより好ましい。この範囲より薄い場合においては、共通電極161として十分な電流を供給することができなくなり、液滴の吐出をする際に不具合が発生する。さらに、この範囲より厚い場合においては、白金族元素の高価な材料を使用する場合においては、コストアップとなる。また、白金を材料とした場合においては、膜厚を厚くしていたったときに表面粗さが大きくなり、その上に作製する酸化物電極膜やPZTの表面粗さや結晶配向性に影響を及ぼして、インク吐出に十分な変位が得られないような不具合が発生する。
酸化物電極膜の材料としてはTiを用いることが好ましい。成膜方法についてはスパッタ法により作製される。酸化方法としては密着層と同様にRTA装置を用いて、例えば、650[℃]以上800[℃]以下の範囲の温度、1[分]以上30[分]以下の範囲の処理時間、及びO2雰囲気で酸化処理を行う。その理由も密着層の項で述べたものと同様である。成膜されるTiOX膜厚としては、3[nm]以上15[nm]以下の範囲が好ましい。またスパッタ成膜材料として、上記Ti以外にもTi/Ir、PbO/TiOX、LNOなどが好ましい。
圧電膜162の材料としては、PZTを主に使用した。PZTとはジルコン酸鉛(PbTiO3)とチタン酸(PbTiO3)の固溶体で、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成はPbZrO3とPbTiO3の比率が53:47の割合で、化学式で示すとPb(Zr0.53,Ti0.47)O3、一般PZT(53/47)と示される。PZT以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することも可能である。これら材料は一般式ABO3で記述され、A=Pb、Ba、Sr、 B=Ti、Zr、Sn、Ni、Zn、Mg、Nbを主成分とする複合酸化物が該当する。その具体的な記述として(Pb1−x,Ba)(Zr,Ti)O3、(Pb1−x,Sr)(Zr,Ti)O3、これはAサイトのPbを一部BaやSrで置換した場合である。このような置換は2価の元素であれば可能であり、その効果は熱処理中の鉛の蒸発による特性劣化を低減させる作用を示す。
また、圧電膜162の比誘電率としては600以上2000以下の範囲になっていることが好ましく、さらに1200以上1600以下の範囲になっていることが好ましい。このとき、この範囲よりも小さいときには十分な変形(変位)特性が得られず、この範囲より大きくなると、分極処理が十分行われず、連続駆動後の変位劣化については十分な特性が得られないといった不具合が発生する。
個別電極(第2の電極)163としては、金属もしくは酸化物と金属からなっていることが好ましい。以下に酸化物電極膜及び金属電極膜の詳細について記載する。
酸化物電極膜の材料としては、SrRuO3(以下、適宜「SRO」と略す。)を用いることが好ましい。SrRuO3以外にも、Srx(A)(1−x)Ruy(1−y)、A=Ba、Ca、B=Co、Ni、x、y=0〜0.5で記述されるような材料も挙げられる。酸化物電極膜は例えばスパッタ法等の成膜方法により作製することができる。酸化物電極膜(SRO膜)の膜厚としては、20[nm]以上80[nm]以下の範囲が好ましく、40[nm]以上60[nm]以下の範囲がさらに好ましい。この膜厚範囲よりも薄いと初期変形(変位)や変形(変位)の劣化特性については十分な特性が得られない。また、この範囲を超えると、その後に成膜した圧電膜(PZT膜)の絶縁耐圧が非常に悪く、リークしやすくなる。
金属電極膜の材料等については、前述の共通電極(第1の電極)161で使用した金属電極膜について記載したものと同様なものを挙げることができる。金属電極膜の膜厚としては30[nm]以上200[nm]以下の範囲が好ましく、50[nm]以上120[nm]以下の範囲がさらに好ましい。この範囲より薄い場合においては、個別電極163として十分な電流を供給することができなくなり、液滴を吐出する際に不具合が発生する。また、上記範囲より厚いと、白金族元素の高価な材料を使用する場合にコストアップとなる。また、白金を材料とした場合に膜厚を厚くしていたったときに表面粗さが大きくなり、絶縁保護膜を介して配線などを作製する際に、膜剥がれ等のプロセス不具合が発生しやすくなる。
成膜・エッチングの工程による圧電素子へのダメージを防ぐとともに、大気中の水分が透過しづらい材料を選定する必要があるため、第1の絶縁保護膜17の材料は緻密な無機材料とする必要がある。また、第1の絶縁保護膜17として有機材料を用いる場合は、十分な保護性能を得るために膜厚を厚くする必要があるため、適さない。第1の絶縁保護膜17を厚い膜とした場合、振動板15の振動を著しく阻害してしまうため、吐出性能の低い液滴吐出ヘッドになってしまう。薄膜で高い保護性能を得るには、酸化物,窒化物,炭化膜を用いるのが好ましいが、第1の絶縁保護膜17の下地となる電極材料、圧電体材料及び振動板材料と密着性が高い材料を選定する必要がある。また、第1の絶縁保護膜17の成膜法も、圧電素子16を損傷しない成膜方法を選定する必要がある。すなわち、反応性ガスをプラズマ化して基板上に堆積するプラズマCVD法やプラズマをターゲット材に衝突させて飛ばすことで成膜するスパッタリング法は好ましくない。第1の絶縁保護膜17の好ましい成膜方法としては、蒸着法、ALD(Atomic Layer Deposition:原子層堆積)法などが例示できるが、使用できる材料の選択肢が広いALD法が好ましい。好ましい材料としては、Al2O3,ZrO2,Y2O3,Ta2O3,TiO2などのセラミクス材料に用いられる酸化膜が例として挙げられる。特にALD法を用いることで、膜密度の非常に高い薄膜を作製し、プロセス中でのダメージを抑制することができる。
第2の絶縁保護膜18としては、任意の酸化物,窒化物,炭化物又はこれらの複合化合物を用いることができ、また、半導体デバイスで一般的に用いられるSiO2を用いることもできる。第2の絶縁保護膜18の成膜は任意の手法を用いることができ、例えばCVD法、スパッタリング法、ALD法等が例示できる。電極形成部等のパターン形成部の段差被覆を考慮すると等方的に成膜できるCVD法を用いることが好ましい。第2の絶縁保護膜18の膜厚は共通電極(下部電極)161と個別電極の配線21との間に印加される電圧で絶縁破壊されない膜厚とする必要がある。すなわち第2の絶縁保護膜18に印加される電界強度を、絶縁破壊しない範囲に設定する必要がある。さらに、第2の絶縁保護膜18の下地の表面性やピンホール等を考慮すると、第2の絶縁保護膜18の膜厚は200[nm]以上必要であり、さらに好ましくは500[nm]以上である。
配線21、22及びパッド電極(不図示)の材料は、Ag合金、Cu、Al、Au、Pt、Irのいずれかから成る金属電極材料であることが好ましい。これらの電極の作製方法としては、スパッタ法、スピンコート法を用いて作製し、その後フォトリソエッチング等により所望のパターンを得る。膜厚としては、0.1[μm]以上20[μm]以下の範囲が好ましく、0.2[μm]以上10[μm]以下の範囲がさらに好ましい。この範囲より小さいと抵抗が大きくなり電極に十分な電流を流すことができなくなりヘッド吐出が不安定になる。一方、この範囲より大きいとプロセス時間が長くなる。また、共通電極161及び個別電極163に接続されるコンタクトホール部(例えば10[μm]×10[μm])での接触抵抗としては、共通電極161に対して10[Ω]以下、個別電極163に対して1[Ω]以下が好ましい。さらに好ましくは、共通電極161に対して5[Ω]以下、個別電極163に対して0.5[Ω]以下である。この範囲を超えると十分な電流を供給することができなくなり、液滴を吐出をする際に不具合が発生する。
第3の絶縁保護膜19としての機能は、共通電極用の第1の配線21や個別電極用の第2の配線22の保護層としての機能を有するパシベーション層である。前述の図1に示したように、個別電極163の引き出し部(不図示)と共通電極161の引き出し部(コンタクトホール18a)とを除き、個別電極163及び共通電極161を被覆する。これにより、電極材料に安価なAlもしくはAlを主成分とする合金材料を用いることができる。その結果、低コストかつ信頼性の高い液滴吐出ヘッド(インクジェットヘッド)とすることができる。第3の絶縁保護膜19の材料としては、任意の無機材料、有機材料を使用することができるが、透湿性の低い材料とする必要がある。無機材料としては、酸化物、窒化物、炭化物等が例示でき、有機材料としてはポリイミド、アクリル樹脂、ウレタン樹脂等が例示できる。ただし、有機材料の場合には厚膜とすることが必要となるため、パターニングに適さない。そのため、薄膜で配線保護機能を発揮できる無機材料とすることが好ましい。特に、Al配線上にSi3N4を用いることが、半導体デバイスで実績のある技術であるため好ましい。また、膜厚は200[nm]以上とすることが好ましく、さらに好ましくは500[nm]以上である。膜厚が薄い場合は十分なパシベーション機能を発揮できないため、配線材料の腐食による断線が発生し、インクジェットの信頼性を低下させてしまう。
図3は、液滴吐出部の製造プロセスの一例を説明するためのフローチャートである。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93を備えている。また、このキャリッジ93に搭載したインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部82等を収納している。また、記録装置本体81の下方部には前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット(或いは給紙トレイでもよい。)84を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができる。そして、給紙カセット84或いは手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。
(態様A)
基板14又は下地膜上に共通電極161などの第1の電極を形成するステップと、第1の電極上に圧電膜162などの電気機械変換膜を形成するステップと、電気機械変換膜上に個別電極163などの第2の電極を形成するステップと、第2の電極の上面と電気機械変換膜及び第2の電極の側壁面とを保護するように第1の絶縁保護膜17などの第1の保護膜を形成するステップと、を含む電気機械変換素子の製造方法であって、第1の保護膜のうち電気機械変換膜及び第2の電極の側壁面を保護している部分に第2の絶縁保護膜18などの第2の保護膜を選択的に形成するステップを、更に含む。
これによれば、上記実施形態について説明したように、第1の保護膜を形成した後、その第1の保護膜のうち電気機械変換膜の側壁面を保護している部分の上にさらに第2の保護膜を形成している。これにより、電気機械変換膜の側壁面を保護している部分の保護膜の膜厚を厚くすることができる。従って、電気機械変換素子上に保護膜を形成した後の後工程としてレジストパターン形成及びエッチング処理を行う場合、電気機械変換膜の側壁面に残しておきたい保護膜がエッチングされてなくなるオーバーエッチングの発生を防止できる。
しかも、上記第2の保護膜は、第1の保護膜のうち電気機械変換膜の側壁面を保護している部分に選択的に形成され、電気機械変換素子の変形量に影響が出やすい電気機械変換素子の第2の電極の上面部分には第2の保護膜が形成されない。従って、第2の電極の上面と電気機械変換膜及び第2の電極の側壁面とを保護するように第1の保護膜を形成するときに第1の保護膜の全体を厚めに形成する場合とは異なり、保護膜による電気機械変換素子の変形量の低下を抑制することができる。
よって、保護膜による電気機械変換素子の変形量の低下を抑制するとともに、電気機械変換膜の側壁面を保護する保護膜がオーバーエッチングされることによる電気機械変換膜の損傷を防止することができる。
(態様B)
上記態様Aにおいて、第2の保護膜を層間膜として形成する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、層間膜を形成する工程で第2の保護膜を形成することができるので、新たな工程を加えることなく第2の保護膜を形成できる。よって、生産効率の低下や製造コストの上昇を防ぐことができる。
(態様C)
上記態様A又はBにおいて、第2の保護膜はSiO2からなる膜である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、SiO2からなる膜はエッチングされ難いため、電気機械変換膜の側壁面を保護する保護膜のオーバーエッチングをより確実に防止することができる。
(態様D)
上記態様A乃至Cのいずれかにおいて、第2の保護膜の膜厚は10[nm]以上及び500[nm]以下である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、第2の保護膜のエッチング耐性を確保して電気機械変換膜の側壁面を保護する保護膜のオーバーエッチングを確実に防止するとともに、電気機械変換素子のアクチュエータとしての機能を維持することができる。
(態様E)
上記態様A乃至Dのいずれかにおいて、第1の保護膜をALD(原子層堆積)法により形成する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、カバレッジの優れた第1の保護膜を形成することができる。
(態様F)
上記態様A乃至Eのいずれかにおいて、第1の保護膜はAl2O3からなる膜である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、透湿性の低い良質な第1の保護膜を得ることができる。
(態様G)
上記態様A乃至Fのいずれかにおいて、第1の保護膜の膜厚は30[nm]以上及び80[nm]以下である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、第1の保護膜における十分な保護機能(バリア性)を確保しつつ、電気機械変換素子のアクチュエータとしての機能を維持することができる。
(態様H)
上記態様A乃至Gのいずれかにおいて、基板14又は下地膜の表面と第1の保護膜の側面とのなす角度が、基板又は下地膜の表面と電気機械変換膜の側面とのなす角度よりも小さい。
これによれば、上記実施形態について説明したように、電気機械変換素子の端部における応力の集中が緩和され、長寿命化を図ることができ、信頼性が向上する。
(態様I)
上記態様A乃至Hのいずれかの電気機械変換素子の製造方法により得られた電気機械変換素子である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、電気機械変換膜の損傷や膜浮きがない電気機械変換素子が得られる。
(態様J)
液滴を吐出するノズル11と、ノズル11が連通する液室13と、液室13内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを備えた液滴吐出部10などの液滴吐出ヘッドにおいて、圧力発生手段として、液室13の壁の一部を構成する振動板15と、振動板15上に設けられた上記態様Iの電気機械変換素子とを備える。
これによれば、上記実施形態について説明したように、電気機械変換膜の損傷や膜浮きがない電気機械変換素子によって液室13内の液体に圧力を発生させることができるので、安定した液滴吐出特性が得られる。
(態様K)
上記態様Jにおいて、振動板15上に配置された電気機械変換素子を構成する電気機械変換膜が、液室13を形成する壁の位置よりも内側になるように配置されている。
これによれば、上記実施形態について説明したように、振動板15の十分な変形(表面変位)を得ることができ、より安定した液滴吐出特性が得られる。
(態様L)
インク滴吐出装置として上記態様J又Kの液滴吐出ヘッドを備えた画像形成装置である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、安定した液滴吐出特性により、高品質な画像が得られる。
11 ノズル
12 ノズル基板
13 液室(圧力室)
14 基板(液室基板)
15 振動板
16 圧電素子
161 共通電極(下部電極)
162 圧電膜(圧電体)
163 個別電極(上部電極)
17 第1の絶縁保護膜
18 第2の絶縁保護膜
18a コンタクトホール
19 第3の絶縁保護膜
20 サブフレーム
21,22 配線
23 密着層
107 記録ヘッド
Claims (12)
- 基板又は下地膜上に第1の電極を形成するステップと、
前記第1の電極上に電気機械変換膜を形成するステップと、
前記電気機械変換膜上に第2の電極を形成するステップと、
前記第2の電極の上面と側壁面及び前記電気機械変換膜の上面と側壁面を保護するように第1の保護膜を形成するステップと、
前記第1の保護膜のうち、前記電気機械変換膜の側壁面を保護している部分の上には第2の保護膜を形成し、前記電気機械変換膜の上面と前記第2の電極の上面を保護している部分の上には前記第2の保護膜を形成しないように、前記第2の保護膜を選択的に形成するステップと、を含むことを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1の電気機械変換素子の製造方法において、
前記第2の保護膜を層間膜として形成することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1又は2の電気機械変換素子の製造方法において、
前記第2の保護膜はSiO2からなる膜であることを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれかの電気機械変換素子の製造方法において、
前記第2の保護膜の膜厚は10[nm]以上及び500[nm]以下であることを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1乃至4のいずれかの電気機械変換素子の製造方法において、
前記第1の保護膜をALD(原子層堆積)法により形成することを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかの電気機械変換素子の製造方法において、
前記第1の保護膜はAl2O3からなる膜であることを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1乃至6のいずれかの電気機械変換素子の製造方法において、
前記第1の保護膜の膜厚は30[nm]以上及び80[nm]以下であることを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 請求項1乃至7のいずれかの電気機械変換素子の製造方法において、
前記基板又は前記下地膜の表面と前記第1の保護膜の側面とのなす角度が、該基板又は該下地膜の表面と前記電気機械変換膜の側面とのなす角度よりも小さいことを特徴とする電気機械変換素子の製造方法。 - 基板又は下地膜上の第1の電極と、
前記第1の電極上の電気機械変換膜と、
前記電気機械変換膜上の第2の電極と、
前記第2の電極の上面と側壁面及び前記電気機械変換膜の上面と側壁面を覆う第1の保護膜と、を備えた電気機械変換素子であって、
前記第1の保護膜のうち、
前記電気機械変換膜の側壁面を覆っている部分の上には第2の保護膜が設けられており、
前記電気機械変換膜の上面と前記第2の電極の上面を覆っている部分の上には第2の保護膜は設けられていない、ことを特徴とする電気機械変換素子。 - 液滴を吐出するノズルと、該ノズルが連通する加圧室と、該加圧室内の液体に圧力を発生させる圧力発生手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記圧力発生手段は、前記加圧室の壁の一部を構成する振動板と、該振動板上に設けられた請求項9の電気機械変換素子と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項10の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記振動板の上に配置された前記電気機械変換素子を構成する電気機械変換膜が、前記加圧室を形成する壁の位置よりも内側になるように配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - インク滴吐出装置として請求項10又は11の液滴吐出ヘッドを備える画像形成装置。
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