JP2014054802A - 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属から成り、基板201または成膜振動板202との界面に密着層203を介して設けられる第1の電極204と、酸化物から成る第2の電極205と、電気―機械変換膜206と、酸化物から成る第3の電極207と、金属から成る第4の電極208と、がこの順に形成される電気機械変換素子200であって、第4の電極208、第3の電極207から電気−機械変換膜206までをエッチングして個別化する際に、第2の電極205をエッチングストップ層とし、第3の電極207および第4の電極208を個別電極213、第1の電極204および第2の電極205を共通電極214とし、個別電極213および共通電極213に、コンタクトホール212を有する絶縁保護膜209を形成するに際し、共通電極214の最表面が第2の電極205となり、個別電極213の最表面が第4の電極208となるようにする。
【選択図】図2
Description
本実施形態に係る電気機械変換素子(電気機械変換素子200)は、金属から成り、基板(基板201)または下地膜(成膜振動板202)上との界面に密着層(密着層203)を介して設けられる第1の電極(第1の電極204)と、酸化物から成る第2の電極(第2の電極205)と、電気―機械変換膜(電気―機械変換膜206)と、酸化物から成る第3の電極(第3の電極207)と、金属から成る第4の電極(第4の電極208)と、がこの順に形成される電気機械変換素子であって、第4の電極、第3の電極から電気−機械変換膜までをエッチングして個別化する際に、第2の電極をエッチングストップ層とし、第3の電極および第4の電極を個別電極(個別電極214)、第1の電極および第2の電極を共通電極(共通電極213)とし、個別電極および共通電極に、コンタクトホール(コンタクトホール212)を有する絶縁保護膜(絶縁保護膜209)を形成するに際し、コンタクトホールを通じた共通電極の最表面が第2の電極となり、個別電極の最表面が第4の電極となるようにしたものである。なお、括弧内は実施形態での符号、適用例を示す。
基板201としては、シリコン単結晶基板を用いることが好ましい。また、その厚みは、通常100〜600μmであることが好ましい。面方位としては、(100)、(110)、(111)と3種あるが、半導体産業では一般的に(100)、(111)が広く使用されており、本実施形態においては、主に(100)の面方位を持つ単結晶基板を主に使用した。
上述のように、電気機械変換素子200によって発生した力を受けて、振動板(下地、成膜振動板)202が変形変位して、圧力室のインク滴を吐出させる。そのため、下地202としては所定の強度を有したものであることが好ましい。
ルテニウム、酸化タンタル、酸化ハフニウム、酸化オスミウム、酸化レニウム、酸化ロジ
ウム、酸化パラジウム及びそれらの化合物等であり、これらをスパッタ法もしくは、So
l−gel法(ゾルゲルプロセス)を用いてスピンコーターにて作製することができる。
密着層203は、チタン(Ti)をスパッタ成膜後、RTA(rapid thermal
annealing)装置を用いて、650〜800℃(750℃以上が好ましい)、1〜30分、O2雰囲気でチタン膜を熱酸化して、チタン膜を酸化チタン膜にする。
第1の電極204および第4の電極208には金属材料が用いられる。金属材料としては、高い耐熱性と低い反応性を有する白金を用いることが一般的であるが、鉛に対しては十分なバリア性を持つとはいえない場合もあるため、イリジウムや白金−ロジウムなどの白金族元素や、これら合金膜を用いても良い。なお、白金を使用する場合には下地(特にSiO2)との密着性が悪いために、先の密着層203を先に積層することが好ましい。
第2の電極205および第3の電極207には、SrRuO3を用いることが好ましい。また、Srx(A)(1−x)Ruy(B)(1−y)、A=Ba,Ca、B=Co,Ni、x、y=0〜0.5で記述されるような材料を用いることもできる。
電気−機械変換膜206の材料としては、PZTを主に使用する。PZTとはジルコン酸鉛(PbTiO3)とチタン酸(PbTiO3)の固溶体で、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成はPbTiO3とPbTiO3の比率が53:47の割合である。化学式では、Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3、一般には、PZT(53/47)と示される。PZT以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することもできる。
絶縁保護膜209は、成膜・エッチングの工程による圧電素子へのダメージを防ぐとともに、大気中の水分が透過しづらい材料を選定する必要があるため、緻密な無機材料・アルミナ膜、シリコン酸化膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜等)とする必要がある。なお、有機材料では十分な保護性能を得るためには膜厚を厚くする必要があるため適さない。絶縁保護膜209を厚い膜とした場合、振動板の振動変位を著しく阻害してしまうため、吐出性能の低いインクジェットヘッドなってしまうためである。
第5の電極209および第6の電極210は、Ag合金,Cu,Al,Al合金,Au,Pt,Irのいずれかから成る金属電極材料であることが好ましい。作製方法としては、スパッタ法、スピンコート法を用いて作製し、その後フォトリソグラフィ、エッチング等により所望のパターンを得る。
図6に液滴吐出ヘッドが複数配置された液滴吐出ヘッドを示す。以上説明した電気機械変換素子200(204〜211(215))を吐出駆動手段として用い、密着層203、振動板202、基板201を形成し、さらに、圧力室216を形成するために裏面からのエッチング除去、ノズル217を有するノズル板218を接合することで、1ノズルの液滴吐出ヘッドが構成される。なお、液体供給手段、流路、流体抵抗等の図示は省略している。
次に、以上説明した電気機械変換素子200(204〜211(215))を有する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置(液滴吐出装置、画像形成装置)の一例について図7および図8を参照して説明する。なお、図7はインクジェット記録装置の斜視説明図、図8はインクジェット記録装置の機構部の側面説明図である。
シリコンウェハに熱酸化膜(膜厚1μm)を形成し、層間膜(密着層203)として、チタン膜(膜厚30nm)をスパッタ装置にて成膜した後に、RTAを用いて750℃にて熱酸化し、引き続き第1の電極204として白金膜(膜厚100nm)、第2の電極205としてSrRuO膜(膜厚60nm)をスパッタ成膜した。スパッタ成膜時の基板加熱温度については550℃にて成膜を実施した。次に、電気−機械変換膜206としてPb:Zr:Ti=114:53:47に調整された溶液を準備し、スピンコート法により膜を成膜した。
第1の電極204の膜厚を180nm、第2の電極205の膜厚を150nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子200を作製した。
第1の電極204の膜厚を150nm、第2の電極205の膜厚を50nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子200を作製した。
第1の電極204の膜厚を80nm、第2の電極205の膜厚を40nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子200を作製した。
第4の電極208のスパッタ成膜後、東京応化社製フォトレジスト(TSMR8800)をスピンコート法で成膜し、通常のフォトリソグラフィでレジストパターンを形成した後、ICPエッチング装置(サムコ製)を用いて図3に示すようなパターン(素子構成2とする)を作製した以外は、実施例1と同様の電気−機械変換素子200を作製した。
絶縁保護膜209として、ALD工法を用いてAL2O3膜を50nm成膜した後に、2層目の絶縁保護膜215としてCVD法によりSiO2膜を500nm成膜し、図5(素子構成3とする)に示すように、エッチングによりコンタクトホール212を形成した以外は、実施例1と同様の電気−機械変換素子200を作製した。
第4の電極208のスパッタ成膜後、東京応化社製フォトレジスト(TSMR8800)をスピンコート法で成膜し、通常のフォトリソグラフィでレジストパターンを形成した後、ICPエッチング装置(サムコ製)を用いて第2の電極205の形成範囲の異なる図9に示すようなパターン(素子構成4とする)を作製した以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子を作製した。
第1の電極204の膜厚を280nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子を作製した。
第2の電極205の膜厚を30nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子を作製した。
第1の電極204の膜厚を150nm、第2の電極205の膜厚を200nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子を作製した。
第1の電極204の膜厚を30nm、第2の電極膜厚を60nmとした以外は実施例1と同様の電気−機械変換素子を作製した。
実施例1〜6、比較例1〜5で作製した電気−機械変換素子について、第2の電極膜を電気−機械変換素子の作製とは別にシリコンウェハに熱酸化膜(膜厚1μm)を形成したウェハ上に同条件で成膜を行い、4端子法にて第2の電極膜の比抵抗を測定した。
82 印字機構部
83 用紙
84 給紙カセット
85 手差しトレイ
86 排紙トレイ
91 主ガイドロッド
92 従ガイドロッド
93 キャリッジ
94 記録ヘッド
95 インクカートリッジ
97 主走査モータ
98 駆動プーリ
99 従動プーリ
100 タイミングベルト
101 給紙ローラ
102 フリクションパッド
103 ガイド部材
104 搬送ローラ
105 搬送コロ
106 先端コロ
107 副走査モータ
109 印写受け部材
111 搬送コロ
112 拍車
113 排紙ローラ
114 拍車
115,116 ガイド部材
200 電気機械変換素子
201 基板
202 成膜振動板(下地)
203 密着層
204 第1の電極
205 第2の電極
206 電気−機械変換膜
207 第3の電極
208 第4の電極
209 絶縁保護膜
210 第5の電極
211 第6の電極
212 コンタクトホール
213 共通電極(下部電極)
214 個別電極(上部電極)
215 2層目の絶縁保護膜
216 圧力室
217 ノズル
218 ノズル板
901 圧力室
902 ノズル
903 ノズル板
904 圧力室基板(Si基板)
905 振動板(下地)
906 下部電極
907 電気−機械変換膜
908 上部電極
909 電気機械変換素子
Claims (10)
- 金属から成り、基板または下地膜上との界面に密着層を介して設けられる第1の電極と、酸化物から成る第2の電極と、電気―機械変換膜と、酸化物から成る第3の電極と、金属から成る第4の電極と、がこの順に形成される電気機械変換素子であって、
前記第4の電極、前記第3の電極から前記電気−機械変換膜までをエッチングして個別化する際に、前記第2の電極をエッチングストップ層とし、
前記第3の電極および前記第4の電極を個別電極、前記第1の電極および第2の電極を共通電極とし、
前記個別電極および前記共通電極に、コンタクトホールを有する絶縁保護膜を形成するに際し、
前記コンタクトホールを通じた前記共通電極の最表面が前記第2の電極となり、前記個別電極の最表面が前記第4の電極となるようにしたことを特徴とする電気機械変換素子。 - 金属から成り、基板または下地膜上との界面に密着層を介して設けられる第1の電極と、酸化物から成る第2の電極と、電気―機械変換膜と、酸化物から成る第3の電極と、金属から成る第4の電極と、がこの順に形成される電気機械変換素子であって、
前記第4の電極、前記第3の電極から前記電気−機械変換膜までをエッチングして個別化する際に、前記第2の電極をエッチングストップ層とし、
前記第3の電極および前記第4の電極を個別電極、前記第1の電極および第2の電極を共通電極とし、
前記個別電極および前記共通電極に、コンタクトホールを有する絶縁保護膜を形成するに際し、
前記コンタクトホールを通じた前記共通電極の最表面が前記第1の電極となり、前記個別電極の最表面が前記第4の電極となるようにしたことを特徴とする電気機械変換素子。 - 前記共通電極として、前記コンタクトホールを介し、前記第2の電極、または第1の電極および前記第2の電極と導通する第5の電極と、
前記個別電極として、前記コンタクトホールを介し、前記第4の電極と導通する第6の電極と、が形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の電気機械変換素子。 - 前記第2の電極は、ルテニウム酸ストロンチウムから構成され、電気抵抗率が5×10−3[Ω・cm]以下であることを特徴とする請求項1から3までのいずれかに記載の電気機械変換素子。
- 前記第2の電極の膜厚は、40〜150nmであることを特徴とする請求項1から4までのいずれかに記載の電気機械変換素子。
- 前記第1の電極は、白金から構成され、膜厚が80〜200nmであることを特徴とする請求項1から5までのいずれか記載の電気機械変換素子。
- 前記密着層が設けられ、
該密着層は、チタンから構成され、膜圧が10〜50nmであることを特徴とする請求項1から6までのいずれかに記載の電気機械変換素子。 - 前記絶縁保護膜は、アルミナ膜、シリコン酸化膜、窒化シリコン膜、または酸化窒化シリコン膜のいずれかからなる無機膜であることを特徴とする請求項1から7までのいずれかに記載の電気機械変換素子。
- 液滴を吐出するノズルと、
該ノズルが連通する加圧室と、
該加圧室内の液体を昇圧させる吐出駆動手段と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記吐出駆動手段として、前記加圧室の壁の一部を振動板で構成し、
該振動板に請求項1から8までのいずれかに記載の電気機械変換素子を配置したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項9に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
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