JP2007137735A - Iii族窒化物結晶およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】GaN結晶は、下地体5と、GaN結晶530,550とを備える。下地体5は、サファイア基板501と、GaN膜502とからなる。GaN膜502は、貫通転位5021を有する。GaN結晶530は、下地体5のGaN膜502上に結晶成長され、各々が斜めファセット521を有する複数のドメイン520からなる。GaN結晶550は、GaN結晶530上に形成され、複数のドメイン540からなる。
【選択図】図7
Description
図1は、この発明の実施の形態1における結晶成長装置の概略断面図である。図1を参照して、この発明の実施の形態1における結晶成長装置100は、反応容器10と、外部反応容器20と、配管30,40と、抑制/導入栓50と、加熱装置60,70,80と、ガス供給管90,110と、バルブ120,121,160と、圧力調整器130と、ガスボンベ140と、排気管150と、真空ポンプ170と、圧力センサー180と、金属融液190とを備える。
図15は、実施の形態2における結晶成長装置の概略断面図である。図15を参照して、実施の形態2における結晶成長装置100Aは、図1に示す結晶成長装置100にベローズ200、支持装置210、上下機構220、振動印加装置230および振動検出装置240を追加したものであり、その他は、結晶成長装置100と同じである。
図23は、実施の形態3における結晶成長装置の概略断面図である。図23を参照して、実施の形態3における結晶成長装置100Bは、図1に示す結晶成長装置100の配管40および加熱装置80を削除したものであり、その他は、結晶成長装置100と同じである。
Claims (26)
- アルカリ金属元素を含むIII族窒化物結晶であって、
下地体と、
少なくとも一部が前記下地体に接して形成され、貫通転位の方向を前記下地体からの結晶成長方向と異なる方向へ曲げる第1のIII族窒化物結晶と、
前記第1のIII族窒化物結晶に接して形成され、前記結晶成長方向と略垂直な結晶成長表面を有する第2のIII族窒化物結晶とを備えるIII族窒化物結晶。 - 前記第1のIII族窒化物結晶は、c面およびc軸に平行な面以外の結晶成長表面を有する、請求項1に記載のIII族窒化物結晶。
- 前記第2のIII族窒化物結晶は、前記c軸方向の結晶成長方向を有する、請求項1または請求項2に記載のIII族窒化物結晶。
- 前記下地体は、前記III族窒化物結晶と異なる材料からなる基板である、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物結晶。
- 前記下地体は、
前記III族窒化物結晶と異なる材料からなる基板と、
前記基板上に形成され、貫通転位を有する第3のIII族窒化物結晶とを含み、
前記第1のIII族窒化物結晶は、少なくとも一部が前記第3のIII族窒化物結晶に接して形成される、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物結晶。 - 前記第3のIII族窒化物結晶は、所定の間隔で配置された複数の結晶からなる、請求項5に記載のIII族窒化物結晶。
- 前記所定の間隔は、前記第2のIII族窒化物を用いて作製される半導体デバイスのサイズに応じて決定される、請求項6に記載のIII族窒化物結晶。
- 前記下地体は、III族窒化物結晶からなる、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物結晶。
- 前記下地体は、
III族窒化物結晶からなる種結晶と、
前記種結晶に接して形成され、貫通転位を有する第3のIII族窒化物結晶とを含み、
前記第1のIII族窒化物結晶は、少なくとも一部が前記第3のIII族窒化物結晶に接して形成される、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物結晶。 - 前記第3のIII族窒化物結晶は、106〜1010cm−2の貫通転位密度を有する、請求項5から請求項9のいずれか1項に記載のIII族窒化物結晶。
- アルカリ金属とIII族金属とを含む混合融液を保持する反応容器を備える結晶成長装置を用いて下地体上にIII族窒化物結晶を製造する製造方法であって、
不活性ガスまたは窒素ガス雰囲気中で前記アルカリ金属および前記III族金属を前記反応容器内に入れる第1の工程と、
前記反応容器内の容器空間に窒素原料ガスを充填する第2の工程と、
前記反応容器を結晶成長温度に加熱する第3の工程と、
貫通転位の方向を前記下地体からの結晶成長方向と異なる方向へ曲げる第1のIII族窒化物結晶を前記下地体上に結晶成長させる第4の工程と、
前記結晶成長方向と略垂直な結晶成長表面を有する第2のIII族窒化物結晶を少なくとも一部が前記第1のIII族窒化物結晶に接するように結晶成長させる第5の工程と、
前記容器空間内の圧力が所定の圧力に保持されるように前記窒素原料ガスを前記反応容器内へ供給する第6の工程とを備える製造方法。 - 前記第4の工程は、c面およびc軸に平行な面以外の結晶成長表面を有するように前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項11に記載の製造方法。
- 前記第4の工程は、前記混合融液中で新たな核が発生しない結晶成長条件の範囲において、前記アルカリ金属と前記III族金属との混合比と、前記容器空間における前記窒素原料ガス圧とを制御して前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項12に記載の製造方法。
- 前記第4の工程は、前記混合比が相対的に大きいとき、前記窒素原料ガス圧を相対的に低くして前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させ、前記混合比が相対的に小さいとき、前記窒素原料ガス圧を相対的に高くして前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項13に記載の製造方法。
- 前記第5の工程は、前記アルカリ金属および前記III族金属と異なる添加物を前記混合融液に追加して前記第2のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項11から請求項14のずれか1項に記載の製造方法。
- 前記第5の工程は、前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させる結晶成長条件において前記添加物を前記混合融液に追加して前記第2のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項15に記載の製造方法。
- 前記アルカリ金属は、ナトリウムであり、
前記III族金属は、ガリウムであり、
前記添加物は、リチウムである、請求項15または請求項16に記載の製造方法。 - 前記ナトリウムと前記ガリウムとからなる混合融液中における前記リチウムの濃度は、0.5〜0.8mol%の範囲である、請求項17に記載の製造方法。
- 前記下地体を前記混合融液中に浸漬させる第7の工程をさらに備える、請求項11から請求項18のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記下地体を前記混合融液と前記容器空間との気液界面に接触させる第7の工程をさらに備える、請求項11から請求項18のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記第1および第2のIII族窒化物結晶の成長とともに、結晶成長表面が前記気液界面に接するように前記下地体を移動させる第8の工程をさらに備える、請求項20に記載の製造方法。
- 前記下地体は、前記III族窒化物結晶と異なる材料からなる基板である、請求項11から請求項21のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記下地体は、
前記III族窒化物結晶と異なる材料からなる基板と、
前記基板上に形成され、貫通転位を有する第3のIII族窒化物結晶とを含み、
前記製造方法の前記第4の工程は、前記第3のIII族窒化物結晶に接して前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項11から請求項21のいずれか1項に記載の製造方法。 - 前記第3のIII族窒化物結晶は、各々が所定の幅を有し、所定の間隔で配置された複数の結晶からなる、請求項23に記載の製造方法。
- 前記下地体は、III族窒化物結晶からなり、貫通転位を有する低品位種結晶である、請求項11から請求項21のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記下地体は、
III族窒化物結晶からなる種結晶と、
前記種結晶に接して形成され、貫通転位を有する第3のIII族窒化物結晶とを含み、
前記製造方法の前記第4の工程は、前記第3のIII族窒化物結晶に接して前記第1のIII族窒化物結晶を結晶成長させる、請求項11から請求項21のいずれか1項に記載の製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011241127A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Ihi Corp | 窒化ガリウム結晶製造装置のガリウム供給管閉塞防止方法及び装置 |
US8440017B2 (en) | 2009-02-16 | 2013-05-14 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for growing group 13 nitride crystal and group 13 nitride crystal |
JP2015051904A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法、13族窒化物結晶、及び13族窒化物結晶基板 |
JP2015151293A (ja) * | 2014-02-13 | 2015-08-24 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法、及び13族窒化物結晶 |
JP2015168609A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法 |
JP2015214458A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法、及び13族窒化物結晶 |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1775356A3 (en) | 2005-10-14 | 2009-12-16 | Ricoh Company, Ltd. | Crystal growth apparatus and manufacturing method of group III nitride crystal |
JP4856934B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2012-01-18 | 株式会社リコー | GaN結晶 |
JP5129527B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2013-01-30 | 株式会社リコー | 結晶製造方法及び基板製造方法 |
JP4932545B2 (ja) * | 2007-03-06 | 2012-05-16 | 株式会社リコー | 電子写真感光体およびそれを用いた画像形成方法、画像形成装置並びに画像形成用プロセスカートリッジ |
US7718002B2 (en) * | 2007-03-07 | 2010-05-18 | Ricoh Company, Ltd. | Crystal manufacturing apparatus |
JP2012012259A (ja) | 2010-07-01 | 2012-01-19 | Ricoh Co Ltd | 窒化物結晶およびその製造方法 |
JP5729182B2 (ja) | 2010-08-31 | 2015-06-03 | 株式会社リコー | n型III族窒化物単結晶の製造方法、n型III族窒化物単結晶および結晶基板 |
JP5842490B2 (ja) | 2011-09-14 | 2016-01-13 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶、及び13族窒化物結晶基板 |
JP6098028B2 (ja) | 2011-09-14 | 2017-03-22 | 株式会社リコー | 窒化ガリウム結晶、13族窒化物結晶、13族窒化物結晶基板および製造方法 |
JP5953683B2 (ja) | 2011-09-14 | 2016-07-20 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶、及び13族窒化物結晶基板 |
JP5953684B2 (ja) | 2011-09-14 | 2016-07-20 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005206409A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイスおよびシステム |
JP2005247594A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイス |
JP2005247625A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および基板および半導体デバイス |
Family Cites Families (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5021119A (en) * | 1987-11-13 | 1991-06-04 | Kopin Corporation | Zone-melting recrystallization process |
US5888837A (en) * | 1996-04-16 | 1999-03-30 | General Electric Company | Chip burn-in and test structure and method |
US5868837A (en) | 1997-01-17 | 1999-02-09 | Cornell Research Foundation, Inc. | Low temperature method of preparing GaN single crystals |
JP3929657B2 (ja) | 1999-09-29 | 2007-06-13 | 株式会社リコー | 結晶成長方法およびiii族窒化物結晶の製造方法 |
JP4056664B2 (ja) | 1999-10-18 | 2008-03-05 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
US6592663B1 (en) * | 1999-06-09 | 2003-07-15 | Ricoh Company Ltd. | Production of a GaN bulk crystal substrate and a semiconductor device formed on a GaN bulk crystal substrate |
JP4094780B2 (ja) | 1999-08-24 | 2008-06-04 | 株式会社リコー | 結晶成長方法および結晶成長装置並びにiii族窒化物結晶の製造方法および結晶製造装置 |
JP4011828B2 (ja) | 1999-06-09 | 2007-11-21 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の結晶成長方法及びiii族窒化物結晶の製造方法 |
JP3868156B2 (ja) | 1999-08-24 | 2007-01-17 | 株式会社リコー | 結晶成長方法および結晶成長装置およびiii族窒化物結晶 |
JP2002134416A (ja) | 2000-10-19 | 2002-05-10 | Ricoh Co Ltd | p型3族窒化物の結晶成長方法および製造方法、並びに半導体素子 |
JP3966682B2 (ja) | 2000-10-19 | 2007-08-29 | 株式会社リコー | 結晶成長方法、結晶成長装置、結晶製造装置および結晶の製造方法 |
US6780239B2 (en) * | 2000-10-19 | 2004-08-24 | Ricoh Company, Ltd. | Crystal growth method, crystal growth apparatus, group-III nitride crystal and group-III nitride semiconductor device |
JP4055110B2 (ja) | 2000-10-24 | 2008-03-05 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
JP2003160398A (ja) | 2001-11-21 | 2003-06-03 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長方法およびiii族窒化物結晶成長装置 |
US7001457B2 (en) * | 2001-05-01 | 2006-02-21 | Ricoh Company, Ltd. | Crystal growth method, crystal growth apparatus, group-III nitride crystal and group-III nitride semiconductor device |
JP4245822B2 (ja) | 2001-05-01 | 2009-04-02 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
JP4640899B2 (ja) | 2001-06-28 | 2011-03-02 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶成長装置 |
JP4551026B2 (ja) | 2001-05-17 | 2010-09-22 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶成長装置およびiii族窒化物結晶成長方法 |
JP4381638B2 (ja) | 2001-11-26 | 2009-12-09 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の結晶製造方法 |
JP4048476B2 (ja) | 2001-05-22 | 2008-02-20 | 株式会社リコー | 観察機能付iii族窒化物結晶製造装置および窒化物結晶製造方法 |
JP2003313099A (ja) | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長装置 |
JP2003238296A (ja) | 2001-12-05 | 2003-08-27 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長方法およびiii族窒化物結晶成長装置 |
US6949140B2 (en) * | 2001-12-05 | 2005-09-27 | Ricoh Company, Ltd. | Crystal growth method, crystal growth apparatus, group-III nitride crystal and group-III nitride semiconductor device |
JP4278330B2 (ja) | 2002-01-10 | 2009-06-10 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶製造方法およびiii族窒化物結晶製造装置 |
JP4014411B2 (ja) | 2002-01-18 | 2007-11-28 | 株式会社リコー | Iii族窒化物の結晶製造方法 |
JP4801315B2 (ja) | 2002-01-29 | 2011-10-26 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
JP4159303B2 (ja) | 2002-03-28 | 2008-10-01 | 株式会社リコー | Iii族窒化物の結晶製造方法およびiii族窒化物の結晶製造装置 |
JP4077643B2 (ja) | 2002-03-28 | 2008-04-16 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶成長装置およびiii族窒化物結晶成長方法 |
JP4094878B2 (ja) | 2002-04-04 | 2008-06-04 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶製造方法およびiii族窒化物結晶製造装置 |
JP4053336B2 (ja) | 2002-04-08 | 2008-02-27 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶製造方法およびiii族窒化物結晶製造装置 |
JP4271408B2 (ja) | 2002-04-22 | 2009-06-03 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶製造方法 |
JP4056785B2 (ja) | 2002-04-22 | 2008-03-05 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の製造方法およびiii族窒化物結晶の製造装置 |
JP4560287B2 (ja) | 2002-11-08 | 2010-10-13 | 株式会社リコー | Iii族窒化物の結晶製造方法 |
US7220311B2 (en) * | 2002-11-08 | 2007-05-22 | Ricoh Company, Ltd. | Group III nitride crystal, crystal growth process and crystal growth apparatus of group III nitride |
JP4508613B2 (ja) | 2002-11-26 | 2010-07-21 | 株式会社リコー | Iii族窒化物の結晶製造方法 |
US7524691B2 (en) * | 2003-01-20 | 2009-04-28 | Panasonic Corporation | Method of manufacturing group III nitride substrate |
JP4216612B2 (ja) | 2003-01-29 | 2009-01-28 | 株式会社リコー | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
JP4248276B2 (ja) | 2003-03-17 | 2009-04-02 | 株式会社リコー | Iii族窒化物の結晶製造方法 |
US7261775B2 (en) * | 2003-01-29 | 2007-08-28 | Ricoh Company, Ltd. | Methods of growing a group III nitride crystal |
JP4414241B2 (ja) | 2003-03-25 | 2010-02-10 | 株式会社リコー | Iii族窒化物の結晶製造方法 |
US7309534B2 (en) * | 2003-05-29 | 2007-12-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Group III nitride crystals usable as group III nitride substrate, method of manufacturing the same, and semiconductor device including the same |
US7227172B2 (en) * | 2003-10-20 | 2007-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Group-III-element nitride crystal semiconductor device |
JP4192220B2 (ja) * | 2005-08-10 | 2008-12-10 | 株式会社リコー | 結晶成長装置および製造方法 |
JP4856934B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2012-01-18 | 株式会社リコー | GaN結晶 |
JP4647525B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2011-03-09 | 日本碍子株式会社 | Iii族窒化物結晶の製造方法 |
-
2005
- 2005-11-21 JP JP2005335684A patent/JP4856934B2/ja active Active
-
2006
- 2006-11-20 US US11/561,662 patent/US8323404B2/en active Active
-
2012
- 2012-10-08 US US13/647,194 patent/US9365948B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005206409A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイスおよびシステム |
JP2005247594A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイス |
JP2005247625A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および基板および半導体デバイス |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8440017B2 (en) | 2009-02-16 | 2013-05-14 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for growing group 13 nitride crystal and group 13 nitride crystal |
US8729672B2 (en) | 2009-02-16 | 2014-05-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for growing group 13 nitride crystal and group 13 nitride crystal |
JP2011241127A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Ihi Corp | 窒化ガリウム結晶製造装置のガリウム供給管閉塞防止方法及び装置 |
JP2015051904A (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-19 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法、13族窒化物結晶、及び13族窒化物結晶基板 |
JP2015151293A (ja) * | 2014-02-13 | 2015-08-24 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法、及び13族窒化物結晶 |
JP2015168609A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-09-28 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法 |
JP2015214458A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-03 | 株式会社リコー | 13族窒化物結晶の製造方法、及び13族窒化物結晶 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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