JP4192220B2 - 結晶成長装置および製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、この発明の実施の形態1による結晶成長装置の概略断面図である。図1を参照して、この発明の実施の形態1による結晶成長装置100は、反応容器10と、外部反応容器20と、配管30と、ポーラスプラグ40と、加熱装置50,60と、ガス供給管70,80と、バルブ90,91,140と、圧力調整器110と、ガスボンベ120と、排気管130と、真空ポンプ150と、圧力センサー160と、金属融液170とを備える。
図7は、実施の形態2による結晶成長装置の概略断面図である。図7を参照して、実施の形態2による結晶成長装置200は、反応容器210と、外部反応容器220と、加熱装置230,240と、ガス供給管250,260と、バルブ270,280,330,340と、圧力調整器290と、ガスボンベ300と、排気管310,320と、真空ポンプ350と、圧力センサー360,370とを備える。
)の粉を焼結して容器211を作製してもよい。
図10は、実施の形態3による結晶成長装置の概略断面図である。図10を参照して、実施の形態3による結晶成長装置100Bは、図1に示す結晶成長装置100から金属融液170を削除したものであり、その他は、結晶成長装置100と同じである。
図13は、実施の形態4による結晶成長装置の概略断面図である。図13を参照して、実施の形態4による結晶成長装置100Cは、図1に示す結晶成長装置100の配管30を配管301に代え、金属融液170を金属融液192に代え、加熱装置61を追加したものであり、その他は、結晶成長装置100と同じである。
Claims (13)
- アルカリ金属とIII族金属とを含む混合融液を保持する反応容器と、前記反応容器の周囲を覆う外部反応容器と、ガス供給装置と、前記ガス供給装置から前記外部反応容器内へ窒素原料ガスを供給する配管と、前記混合融液を結晶成長温度に加熱する加熱装置と、を備えるIII族窒化物の結晶成長装置において、
前記配管は前記外部反応容器に接続され、多孔質部材が前記配管内に設けられており、前記多孔質部材は、前記外部反応容器内側に金属融液を表面張力により保持しており、結晶成長によって前記反応容器内の窒素原料ガスが消費されたときには、前記金属融液と前記多孔質部材とを介して窒素原料ガスを前記外部反応容器内へ供給する結晶成長装置。 - 前記金属融液は、アルカリ金属融液からなる、請求項1に記載の結晶成長装置。
- 前記多孔質部材の温度は、前記金属融液が実質的に蒸発しない温度に設定される、請求項1に記載の結晶成長装置。
- 前記配管は、重力方向において前記外部反応容器の下側から該外部反応容器に接続され、前記多孔質部材は、前記外部反応容器と前記配管との連結部よりも前記配管側内に配置される、請求項1に記載の結晶成長装置。
- 前記反応容器内の前記混合融液に接する容器空間に連通する前記外部反応容器内の空間と前記金属融液との第1の界面または該第1の界面付近における第1の温度は、前記容器空間と前記混合融液との第2の界面または該第2の界面付近における第2の温度以上である、請求項3または請求項4に記載の結晶成長装置。
- 前記第1の温度は、前記第2の温度に略一致する、請求項5に記載の結晶成長装置。
- アルカリ金属とIII族金属とを含む混合融液を保持する反応容器と、前記反応容器の周囲を覆う外部反応容器と、ガス供給装置と、前記ガス供給装置から前記外部反応容器内へ窒素原料ガスを供給するガス供給管と、を備えるIII族窒化物結晶の結晶成長装置であって、
前記反応容器は、その下部領域が多孔質部材により形成されるとともに、前記下部領域が前記混合融液により満たされており、結晶成長によって前記反応容器内の窒素原料ガスが消費されたときには、前記混合融液と前記多孔質部材とを介して前記窒素原料ガスを前記反応容器内へ供給することを特徴とする結晶成長装置。 - 前記多孔質部材は、金属またはセラミックスの焼結体からなる、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結晶成長装置。
- 前記多孔質部材は、金属ワイヤーの集合体からなる、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の結晶成長装置。
- 外部反応容器に覆われた反応容器内にアルカリ金属とIII族金属とを含む混合融液と窒素原料ガスを保持し、前記混合融液を結晶成長温度に加熱してIII族窒化物の結晶を製造する結晶製造方法であって、
前記外部反応容器に窒素原料ガスを供給する経路中に多孔質部材によって金属融液を保持する工程と、
結晶成長によって前記反応容器内の窒素原料ガスが消費されたときには、前記金属融液と前記多孔質部材とを介し前記窒素原料ガスを供給することを特徴とする結晶製造方法。 - 前記製造方法は、前記多孔質部材の温度を前記金属融液が前記多孔質部材を介して実質的に蒸発しない温度に保持する工程をさらに備える、請求項10に記載の結晶製造方法。
- 前記金属融液は、アルカリ金属融液である、請求項10または請求項11に記載の結晶製造方法。
- 外部反応容器に覆われた反応容器内にアルカリ金属とIII族金属とを含む混合融液と窒素原料ガスを保持し、前記混合融液を結晶成長温度に加熱してIII族窒化物の結晶を製造する結晶製造方法であって、
前記反応容器の下部領域を多孔質部材によって形成し、該多孔質部材からなる下部領域を満たすように前記混合融液を保持する工程と、
前記外部反応容器内へ窒素原料ガスを供給する工程と、
結晶成長によって前記反応容器内の窒素原料ガスが消費されたときには、前記混合融液と前記多孔質部材とを介して前記反応容器内へ前記窒素原料ガスを供給することを特徴とする結晶製造方法。
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