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形成含氮化钒的层的方法及包含其的结构
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2020-04-24 |
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바나듐 보라이드 및 바나듐 포스파이드 층을 포함한 구조체를 형성하는 방법
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2020-04-24 |
2021-11-04 |
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바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
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다중 전구체를 사용하여 실리콘 게르마늄 균일도를 제어하기 위한 방법
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붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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