JP2002216985A - インコヒーレント放出放射源の作動方法 - Google Patents

インコヒーレント放出放射源の作動方法

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JP2002216985A JP2001347842A JP2001347842A JP2002216985A JP 2002216985 A JP2002216985 A JP 2002216985A JP 2001347842 A JP2001347842 A JP 2001347842A JP 2001347842 A JP2001347842 A JP 2001347842A JP 2002216985 A JP2002216985 A JP 2002216985A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】放射発生の効率を著しく改善する。 【解決手段】封入ガス（５）の作動圧力は約１ｋＰａ
（＝１０ｍｂａｒ）以上であり、電極３、４間に一連の
両極性の電圧パルスが供給され、個々の電圧パルスｎは
電圧Ｕｐn（ｔ）とパルス時間Ｔｐnとで表され、電圧パ
ルスｎは５００ｎｓ〜１ｍｓの大きさの値と電圧Ｕｏn
（ｔ）とを持つ休止時間Ｔｏnによってその後続の電圧
パルスｎ＋１から分離され、パルス時間Ｔｐnの期間中
電圧Ｕｐn（ｔ）は封入ガス５内へ有効電力が入力さ
れ、休止時間Ｔｏnの期間中電圧Ｕｏn（ｔ）は封入ガス
５がその前の電圧パルス前の状態に似た状態へ復帰する
ように選定され、Ｕｐn（ｔ）、Ｔｐn、Ｕｏn（ｔ）、
Ｔｏnの大きさは電極３、４間にガス室に対して鮮明に
区画された細く明るく発光する放電線条に比較して低い
電流密度の放電パターンが生成するように設定される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は請求項１の前文に記
載されたインコヒーレント放出放射源の作動方法に関す
る。放射発生メカニズムとして放電容器の内部に発生し
た放電が使用され、その場合少なくとも１つの電極と放
電との間に誘電体層が配置され、それゆえこの型の放電
は無声放電又は誘電体妨害放電又は誘電体バリア放電と
称されている。インコヒーレント放出放射源とは紫外線
及び赤外線放射器ならびに特に可視光線を放射する放電
ランプである。本発明は低圧封入ガスならびに高圧封入
ガスおよび低圧と高圧の間の範囲に位置する全てのガス
圧に適する。
【０００２】
【従来の技術】この種の放電の励起は通常例えばドイツ
連邦共和国特許出願公開第４０２２２７９号公報及び第
４２０３５９４号公報ならびに米国特許第５１１７１６
０号明細書に記載されているように交流電圧によって行
われる。励起周波数は交流電流の周波数と数ＭＨｚとの
間の範囲（ドイツ連邦共和国特許出願公開第４０２２２
７９号公報参照）又は２０〜１００ｋＨｚの範囲（米国
特許第５１１７１６０号明細書参照）に選定される。
【０００３】この作動方式の欠点は技術的に重要な出力
密度の際の所望の放射発生量が比較的少ない点である。
標準的な紫外線効率は１ｋＷ／ｍ2の面積出力密度の場
合の１０％と１０Ｗ／ｍ2の２０％との間の大きさであ
る（１９９２年１０月７日のカールスルーエ大学の光技
術研究所での研究サークルＵＶ、ＩＲの第３会期、及び
１９９２年にブタペストで開催された光源の科学及びテ
クノロジーに関する第６回国際シンポジウムで発表され
たカールスルーエ大学のエム・ナイガー、ＬＴＩの「誘
電体バリア放電：特殊光源」参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は所望の
放射発生の効率を著しく改善することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明によれ
ば請求項１の特徴事項によってことによって解決され
る。本発明の有利な実施態様は請求項２以下に記載され
ている。
【０００６】本発明の基本思想は、誘電体妨害放電が繰
返してパルス作動され、それにより連続的な電気エネル
ギーの入力自体が個別放電の高い出力密度にも拘わらず
期間Ｔｏn（以下においいては“休止時間”と称する）
によって規定されて中断されることにある。個々の期間
の長さは、別の電気エネルギーの入力が所望の放射へ僅
かな効率で変換されると直ちにエネルギーの入力又は詳
細に言えば有効電力の入力がほぼ終了するようにすると
いう要求、もしくは所望の放射の効率的な放出を新たに
励起することができる（それにより時間平均で放射効率
が最適化される）ようにするために、封入ガスが再び緩
和されると直ちに“休止時間”が終了するようにすると
いう要求から与えられる。このようにして電気エネルギ
ーを紫外線に変換するために例えば６５％以上の効率が
得られ、このことは従来方式で作動される誘電体妨害放
電に比べて何倍もの増大になる。
【０００７】通常は同一極性の一連の電圧パルス又は極
性のみが変わる一連の電圧パルスが使用され、その場合
電圧パルスの全個数ｎは原理上制限されない。しかしな
がら特別な事例では規則的に変化する一連の電圧パルス
も使用可能である。またパルス列は完全に不規則であっ
てもよい。（例えば装飾照明の場合には人間の目で認識
可能な光効果が生ずるように複数のパルスが１つの束に
纏められる。）
【０００８】パルス時間Ｔｐnの期間中、電極間には電
圧パルスＵｐn（ｔ）が印加され、その場合有効電力が
入力される。その時間的経過は原理上固定されず、例え
ば次のような色々の形状から選択することができる。
【０００９】ａ）単極性形状。 この電圧はパルス時間Ｔｐnの期間中はその符号を変え
ない。これにはとりわけ台形状、三角形状、湾曲状の電
圧パルス、特に放物線状電圧パルス及び正弦波状半波が
属し、その場合正及び負の値がある（例示的に負の値み
のが示されている図６ａ参照）。
【００１０】ｂ）両極性形状。 この電圧はパルス時間Ｔｐnの期間中はその符号を変
え、その場合形状は正符号ならびに負符号で始まること
ができる。このための例は、図６ｂに示されているよう
に、１つの正弦波の正の半波と負の半波とが直ぐに続く
２つの半波、正の三角波と負の三角波とが直ぐに続く２
つの三角波、正の矩形波”又は台形波と負の矩形波”又
は台形波とが直ぐに続く２つの“矩形波”又は台形波で
あり、その場合エッジは異なった立上がり時間もしくは
立下がり時間を持つことができる。
【００１１】ｃ）上記ａ）、ｂ）から成る幾つか（好適
には２つ又は３つ）の波形要素の時間的な連なり。 この電圧Ｕｐn（ｔ）は種々異なった値を取ることがで
き、特に短時間の間は値０を取ることもでき、それゆえ
個々の波形要素は、電圧が値０を持つ時間領域によって
も分離することができる（図６ｃ参照）。特に個々の波
形要素は繰返すことができる。
【００１２】図６ａ〜ｃには例として可能な電圧波形の
選択が示されている。さらに多くの個数の別の波形を考
えることができる。特に電気信号は、図６ａ〜ｃには示
されていないが、実際上何時も有限の立上がり時間及び
立下がり時間、オーバーシュート及びアンダーシュート
を有している。
【００１３】休止時間Ｔｏnの期間中の電圧波形には、
主として有効電力が入力されないように電圧Ｕｏ
n（ｔ）が選定されることが要求される。再点弧電圧よ
り小さい適当な低電圧値が長時間の間、場合によって全
休止時間Ｔｏnの期間中続けられる。その際休止時間の
期間中短時間でも、すなわちパルス時間Ｔｐnより著し
く短い時間でも、同様に電圧ピークが発生することは排
除されない。
【００１４】Ｕｐnの標準的な絶対値は数ｋＶである。
Ｕｏnは好適には０Ｖ近辺の値である。Ｔｐn及びＴｏn
の値は標準的にはμｓ範囲にあり、通常ＴｐnはＴｏnよ
り明らかに短い。
【００１５】放電に対する本発明の作動規準は主として
励起パラメータＴｐn、Ｔｏn及び電圧振幅Ｕｐnを適当
に選定することによって達成され、その場合これらの大
きさは特に効率的な作動に適するように互いに調整され
る。さらにパルス波形が重要である。
【００１６】個々の事例において、３つの励起パラメー
タＴｐn、Ｔｏn及びＵｐn（ｔ）のために選定されるべ
き値は、放電の形状、封入ガスの種類及びガス圧、なら
びに電極構成、及び誘電体層の種類及び厚みに依存す
る。本発明の作動規準による放電が起こると、所望の放
射発生量は最高になる。
【００１７】予め定められたランプ封入物のために放電
内で起こる衝突の割合及びその結果としての放射発生の
割合も主として電子密度ｎe及び電子のエネルギー分布
によって決定される。本発明による作動方法によれば、
時間に依存するこれらの大きさは、Ｔｐn、Ｔｏn及び電
圧振幅Ｕｐnもしくは放射発生用のパルス波形を適当に
選定することによって、最適に調整することが可能であ
る。
【００１８】交流電圧点灯に比較して、本発明は意識的
に補助パラメータすなわち“休止時間”Ｔｏを利用す
る。この補助パラメータを用いることによって初めて高
出力密度の場合でも目的に適うようにキャリヤ密度の時
間的及び空間的変化ならびにエネルギー分布関数をコン
トロールすることができる。交流電圧を使用する従来技
術の場合、この大きさの目的に適ったコントロールは周
波数に関して大きく制限されていた。本発明によって初
めて、技術的に注目される出力密度を持つ誘電体妨害放
電の効率を、従来の放射源との交換性が与えられるよう
に、増大させることが可能になる。
【００１９】本発明の作動規準においては、電極間に
は、種々に形成された標準的には線条状又はねじ状放電
パターンの代わりに、多数の同種の、平面図においてす
なわち放電に垂直に、デルタ（Δ）状放電パターンが発
生し、この放電パターンは（瞬時的な）陽極方向へそれ
ぞれ広がることがわかる。この放電パターンは好適には
ｋＨｚ範囲の繰返し周波数で発生するので、観察者は図
９ａの写真図に示されているような人間の目の時間的分
解能に相当する“平均”放電パターンだけに気付くこと
になる。両側誘電体妨害放電の電圧パルスの極性が変わ
る場合、２つのデルタ状放電パターンの重なりが見え
る。１つ又は２つの誘電体によって妨害される例えば２
つの縦長の電極が平行に対向配置されると、個々の放電
パターンは縦長の電極に対して横切るように向けられて
互いに並んで現れる（図９ａ、ｂ参照）。パラメータを
適当に選定すると、例えば適当な低圧力を選べば、個別
パターンの並列は拡散するように見える唯一つの放電に
なる。放電パターンは例えば透明なランプガラス球内で
直接観察することができる。
【００２０】本発明の重要な利点は放電容器内へ入力す
る電力密度の変化に対して個々の放電パターンの特別な
安定性にある。電圧パルスの振幅Ｕｐnが大きくなって
も、個々の放電パターンはその基本的な形状を変えな
い。閾値を上回ると放電パターンの１つから別の類似の
パターンが生じる。電圧パルスの振幅の増大によって入
力電力が増大すると、主として上述した個々の放電パタ
ーンの個数が増大する。その場合このパターンの品質、
特にその外観及びその効率的な放射特性は変わらないま
まである。
【００２１】このような挙動は、放電体積を最適に利用
する３個以上の電極を使用することによって、予め定め
られた放電体積内へ入力可能な電力を有意義により一層
高めることを初めて可能にする。例えば、放電容器の内
部の中心に配置された１つの内部電極に複数の外部電極
を放電容器の外壁上に対称に配置して対向させることが
できる。若干の個数の外部電極を用いることによって、
放電容器の体積から最大に引出し可能な放射パワーを高
めることができる。というのは、放電パターンは中心の
内部電極から出発してそれぞれ外部電極へ向かって燃焼
し、それゆえ適当な電力入力の場合放電容器の体積を益
々占めるようになるからである。
【００２２】このことの他に、電極を軸平行に配置した
場合、電力及び光束が放電容器の長さに比例して変化す
るという別の利点が得られる。この場合電界は放電容器
の長手軸線にほぼ垂直に位置するので、放電容器の長さ
はほぼ任意に長くすることができ、その場合例えば従来
の管状放電ランプの場合には通常行われていたように必
要な点弧電圧を相応して高めることは必要ない。それゆ
え、動作特性のためにこの種の放電の場合放電容器の体
積ならびに電極の個数もしくは放電パターンの燃焼が起
こる平面の個数が考慮されなければならない。５０ｃｍ
の長さ、２４ｍｍの直径及び封入ガスとしてのキセノン
を有する管状ランプの場合、“放電面”当たり標準的に
１５Ｗの有効電力を入力することができる。
【００２３】Ｔｐn及び／又はＴｏn及び／又はＵｐ
n（ｔ）が好適に選定されない場合、ガス室に対して鮮
明に区画された細く明るく発光する１つ又は複数の“放
電線条”が統計的に現れる。この放電線条は本発明によ
る放電パターンを犠牲にして図１０ｂの写真図から分か
るように放電容器の内部の広範囲に亘って延びる。それ
ゆえ、この“放電線条”はその形状ならびにそのスペク
トル放射分布が本発明の作動規準による放電形状とは明
らかに異なって見え、望ましくない。というのは、その
放電線条は電流輸送を小さな横断面内へ集中させ、これ
によって高いキャリヤ密度がとりわけ高い消光率と共に
生じ、その結果所望の放射の発生効率が減少するからで
ある。
【００２４】このような現象からＵｐn（ｔ）、Ｔｐn及
びＴｏnに関して本発明の作動規準に好適な値を得るた
めの一般的な規定を導出することができる。放電点弧
後、Ｕｐn（ｔ）、Ｔｐn及びＴｏnは、本発明の作動規
準における所望の電力が入力されるように、すなわち上
述した放電パターンが見えるように選定されるべきであ
る。すなわち驚くべきことにこの放電パターンが丁度存
在する時、電子密度と電子のエネルギー分布関数とは損
失を最小にする値を取ることが判明した。
【００２５】上述した３つの作動パラメータの各々はキ
ャリヤ密度の時間的及び空間的パターンならびに電子の
エネルギー分布関数をコントロールする。上述した大き
さに対するそれぞれのコントロールは大きく異なるの
で、パラメータの選択は効率的な放電モードを達成する
ための残りのパラメータの値範囲を粗く決定する。
【００２６】電圧パルスの振幅Ｕｐnの標準的な値はｃ
ｍ火花長及びパスカル封入圧当たり約０．０１〜２Ｖの
範囲であり、パルス時間Ｔｐnは約１ｎｓ〜５０μｓの
大きさであり、そして休止時間Ｔｏnは約５００ｎｓ〜
１ｍｓの大きさである。本発明の作動規準のために作動
圧力は１００Ｐａ〜３ＭＰａの範囲、特に約１ｋＰａ
（＝１０ｍｂａｒ）以上であるのが有利である。中圧範
囲（例えば１０ｋＰａ）では、これは特にｃｍ火花長当
たり１００Ｖ〜２０ｋＶの範囲の電圧パルスの振幅Ｕｐ
nを意味する。高圧範囲（例えば１ＭＰａ）では、これ
は特にｃｍ火花長当たり１０ｋＶ〜２００ｋＶの範囲の
電圧パルスの振幅Ｕｐnを意味する。
【００２７】電気的な安全性の理由から、外部電極は好
適にはアース電位に接続され、内部電極は高電圧に接続
される。これによって電圧印加部分の十分な接触保護が
可能になる。放電容器は電極を含めて外管の内部に配置
することができる。これによって外部電極がアース電位
に接続されていない場合にも接触保護が図れる。導電性
電極材料として電流の流れ得る全ての材料、及び電解質
を使用することができる。
【００２８】片側誘電体妨害放電、すなわち少なくとも
１つの誘電体非妨害形電極のために、放電容器の内部す
なわちガス室ではさらに、この内部電極はパルス時間の
開始時に（放電容器の内部又は外部の）誘電体妨害形電
極に対して負極性を含むようにされる（電力入力に関し
て重要ではないが起こり得る正の針状前駆パルスは除
く）。その後極性はパルス時間の期間中変えることがで
きる。
【００２９】本発明による作動方法は、原則的に変えら
れることなく又は有利な作用を失うことなく、両側誘電
体妨害放電（全電極が誘電体によって放電から分離さ
れ、その場合この誘電体は放電容器自体であってもよ
い。）にも適する。全ての電極が誘電体によって妨害さ
れる場合、極性の時間的な連なり及び極性自体は重要で
はない。
【００３０】原則的に電極は全てをガス室の外部に、例
えば放電容器の外表面上に、又は電極の或る個数を放電
容器の外部におよび或る個数を放電容器の内部に、なら
びに全てを放電容器の内部すなわちガス室内に設けるこ
とができる。最後の事例においては、少なくとも１つの
電極は誘電体によって覆われ、残りの電極に対して逆極
性を取る必要がある。
【００３１】特に、放電容器の内部に腐食性媒質が存在
する場合のために、電極が媒質に直接接触しないように
すると有利である。というのは、内部電極の腐食が有効
に防止され得るからである。このことは全ての電極が放
電容器の外部に配置されるか又は放電容器内に設けられ
た電極が誘電体層によって覆われることにより達成され
る。
【００３２】本発明においては大面積の電極は無くされ
る。電極によって遮られる放射の量は非常に少ない。誘
電体妨害形電極のために、全電極面積と誘電体に接触す
る電極面積との比は有利にはできる限り小さくされる。
特に優れた実施例においては誘電体妨害形電極は放電容
器の外壁上に設けられた狭い条帯として実施される。同
様に格子状外部電極、例えば金網、孔明き板又は類似の
ものも適する。放電容器の体積を最高に利用し得るため
に、内部電極は好適には放電の方向にできる限り小さい
広がりを有する。特に優れた実施例においては内部電極
は棒として実施される。
【００３３】片側又は両側妨害放電はできる限り多数の
放電容器形状、特に、従来方式で作動させられる誘電体
妨害放電の場合例えばヨーロッパ特許出願公開第０３８
５２０５号公報、ヨーロッパ特許第０３１２７３２号明
細書、ヨーロッパ特許出願公開第０４８２２３０号、第
０３６３８３２号、第０４５８１４０号、第０４４９０
１８号及び第０４８９１８４号公報に開示されているよ
うな全ての放電容器形状を使用することができる。
【００３４】横断面の小さい放電容器内には好適には電
極は対応する陽極と陰極との間の間隔ができる限り大き
くなるように配置される。例えば、小さい横断面を持つ
円筒状放電容器に対しては内部電極は好適には放電容器
の内部に偏心して配置され、外部電極は直径方向に対向
して外壁上に固定される。放電路の伸長は電極を区分す
ることによって補助的に助成することができる。このた
めに内部電極及び外部電極は放電を始めるかもしくは抑
制する２つの異なった領域を交互に有する。電極はその
場合それぞれ２つの異なった領域が対向するように配置
される。これによって半径方向の放電パターンが抑制さ
れる。放電はむしろ対向電極の最も近い隣りの領域に対
して斜めに起こる。このことは例えば電極が補助誘電体
層を備えた領域を交互に有することによって実現するこ
とができる。
【００３５】大きい横断面の場合内部電極は好適には放
電容器の内部の中心に配置され、その場合複数の外部電
極が外壁上に、その外周に亘って対称に分散されて固定
されると有利である。
【００３６】放電容器の形状は原則的には無理に予め定
める必要はない。用途に応じて、放電容器壁は所望の放
射に対して（少なくともアパーチュアーの内部で）必要
な透明性を有する材料から構成されなければならない。
誘電体障壁としては、例えばホウケイ酸塩ガラス（例え
ばＤＵＲＡＮ（登録商標）（ショット社））、石英ガラ
ス、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＦ2、ＬｉＦ、ＢａＴｉＯ3等のよう
な、使用された高電圧による破壊に耐える電気絶縁性材
料（誘電体）が適する。誘電体の種類及び厚みによって
放電パターンをコントロールすることができる。特に、
適当に小さい比誘電率を持つ特に十分な厚みの誘電体
は、比較的小さい電子密度を有する本発明による放電パ
ターンの形成を助成するのに、すなわち高い電子密度及
び電流密度を有する不所望な放電パターンの形成を防止
するのに適する。簡単に言うと、このことは一方では、
変移電流密度によって惹き起こされる誘電体での局部的
電圧降下が誘電体の厚みに比例しその誘電率に反比例す
ることから生じる。他方では、誘電体での電圧降下は電
流密度の増大を妨げる。
【００３７】放射のスペクトル組成は主として封入ガス
に依存し、例えば可視光線、赤外線又は紫外線領域に位
置することができる。封入ガスとして原理上例えばドイ
ツ連邦共和国特許出願公開第４０２２２７９号公報、ヨ
ーロッパ特許出願公開第０４４９０１８号、第０２５４
１１１号、第０３２４９５３号、及び第０３１２７３２
号公報に開示されている従来方式で作動させられる誘電
体体妨害放電に使用することのできる全ての封入物、な
らびにエキシマーレーザもしくはエキシプレックスレー
ザにおいて既に使用されている封入物（例えばアイ・エ
ス・ラコバ及びエス・アイ・ヤコブレンコ著「エキシプ
レックスレーザの活性媒質（レビュー）」Ｓｏｖ．Ｊ．
Ｑｕａｎｔｕｍ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ．１０（４）、１９
８０年４月発行、第３８９頁ならびにシーエッチ・ケー
・ローデス著「エキシマーレーザ」シュプリンガー社、
１９８年発行参照）が適する。これにはとりわけ希ガス
及びその混合物、希ガスとハロゲン又はハロゲン化合物
との混合物、金属蒸気及びその混合物、希ガスと金属蒸
気との混合物、希ガスと金属蒸気及びハロゲン又はハロ
ゲン化合物との混合物、さらに上述した封入物に添加す
ることのできる次の元素、すなわち水素、デューテリウ
ム、酸素、窒素、窒素酸化物、一酸化炭素、二酸化炭
素、硫黄、ヒ素、セレン及びリンのうちの１つ又はそれ
らの組合わせが属する。特に、エキシマー放電での本発
明による作動方法に基づく非常に効率的な紫外線発生
は、例えばヨーロッパ特許出願公開第０４８２２３０号
公報に記載されている紫外線高出力放射器の別の応用分
野を開く。これにはとりわけレジストの硬化、表面の変
化、飲料水等の無生化、及び環境内の公害物質の紫外線
による分解のような光化学プロセスが属する。特に最後
に挙げた使用範囲のために、放電を照射されるべき媒質
の直ぐ近くにもたらすこと、すなわち放射の短波成分の
管壁による減衰を防止するために、気密に閉鎖された放
電容器を無くすと有利である。特に紫外線もしくは真空
紫外線発生の際に別の重要な利点、すなわち本発明の作
動方法により得ることのできる高い紫外線発生量が示さ
れる。すなわち従来技術による比較可能な放射輝度の紫
外線もしくは真空紫外線とは異なり、水による冷却を無
くすことができる。他の有利な用途は、紫外線が適当な
蛍光体によって電磁スペクトルの可視領域へ変換される
ことによる照明である。
【００３８】本発明の別の利点は、外部の電流制限を必
要としない点、ランプを調光可能である点、複数のラン
プの並列点灯を１つの電源のみで可能である点、そして
放射発生の高効率を光技術において同時に必要な出力密
度と共に得ることができる点である。
【００３９】本発明の優れた実施形態において、放電容
器は放電の際に発生する光を特に好適なスペクトル範囲
へ転移させるために蛍光体膜を備える。蛍光体被膜は低
圧ランプならびに高圧ランプにおいても使用することが
できる。この場合、公知の蛍光体もしくは混合物を使用
することができる。蛍光ランプにとって青、緑及び赤を
発光する蛍光体の組合わせは特に有効である。好適な青
色蛍光体は特に二価ユーロピウムを用いて活性化された
アルミン酸バリウムマグネシウム（ＢａＭｇＡｌ
10Ｏ17：Ｅｕ2+）である。緑色成分として特にテルビウ
ム又はマンガンで活性化された蛍光体を使用することが
できる。例えばテルビウムで活性化されたケイ酸イット
リウム（Ｙ2ＳｉＯ5：Ｔｂ）又はリン酸ランタン（Ｌａ
ＰＯ4：Ｔｂ）もしくは二価マンガンを用いて活性化さ
れたケイ酸亜鉛（Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ）又はアルミン酸
マグネシウム（ＭｇＡｌ2Ｏ4：Ｍｎ）がある。有利な赤
色成分は、三価ユーロピウムを用いて活性化された蛍光
体、例えば酸化イットリウム（Ｙ 2Ｏ3：Ｅｕ3+）、又は
イットリウム及び／又はガドリニウムのホウ酸塩があ
る。詳細にはＹＢＯ3：Ｅｕ3+、ＧｄＢＯ3：Ｅｕ3+及び
混合されたホウ酸塩（Ｇｄ、Ｙ）ＢＯ3：Ｅｕ3+であ
る。
【００４０】温光色のランプ用としては青色成分の量を
少なくするか又は完全に省略することができる（通常の
蛍光ランプにおいて知られている処置方法に相当す
る）。
【００４１】特殊演色性を有するランプには、青緑色ス
ペクトル領域で放出する成分、例えば二価ユーロピウム
を用いて活性化された蛍光体が適する。この用途にはリ
ン酸ストロンチウムボロＳｒ6ＢＰ5Ｏ20：Ｅｕ2+が好適
である。
【００４２】本発明は特に蛍光ランプの分野に突破口を
与える。封入物は水銀を無くすこと、及びそれにも拘わ
らず従来の蛍光ランプの内部紫外線効率に相当する内部
紫外線効率を得ることに初めて成功した。従来の蛍光ラ
ンプに比較してそれによってさらに次の付加的な利点が
もたらされる。周囲温度の光束への影響及びガラス球黒
化を生ずることなく、問題のないコールドスタートが可
能となる。さらに、寿命を制限する電極（例えば発光体
ペーストを備えた白熱陰極）、重金属及び放射性部品
（グロースタータ）を必要としない。白熱電球及び白熱
陰極を持つ放電ランプとは異なり、放射は電極への点灯
電圧の印加直後に大きな遅れなく放出される（純粋放電
の発光遅れは約１０μｓ、蛍光体を含めて約６ｍｓであ
る。これに比較して白熱電球の応答時間は約２００ｍｓ
の範囲にある。）。このことは特に灯光信号装置、交通
・信号照明装置にとって利点がある。
【００４３】
【発明の実施の形態】本発明を以下において幾つかの実
施例に基づいて詳細に説明する。図１は新しい方法に基
づいて作動させることのできる棒状放電容器の本発明に
よる実施例の一部を断面で示した概略縦断面図である。
図２ａは図１に示された放電容器のＡ−Ａ線に沿った概
略横断面図である。図２ｂは本発明による放電容器の他
の実施例の概略横断面図である。図２ｃは本発明による
放電容器の別の実施例の概略横断面図である。図３ａは
図１に示された片側誘電体妨害形放電ランプの陰極−陽
極間の本発明による優れた電圧波形の概略図である。図
３ｂは両側誘電体妨害形放電ランプを本発明によって点
灯するために使用することのできる電圧波形の概略図で
ある。図４ａは本発明による方法に基づいて点灯するこ
とのできる平面形放射器の形をした放電ランプの本発明
による他の実施例の一部の概略縦断面図である。図４ｂ
は図４ａに示された放電ランプの横断面図である。図５
ａは本発明による方法に基づいて点灯することのできる
エジソンねじ込み口金を備えた従来のランプの形をした
放電ランプの本発明による別の実施例の側面図である。
図５ｂは図５ａに示された放電ランプのＡ−Ａ線に沿っ
た横断面図である。図６ａは負の値を持つ本発明による
電圧パルスＵｐ（ｔ）の幾つかの単極性波形の概略図で
ある。図６ｂは本発明による電圧パルスＵｐ（ｔ）の幾
つかの両極性波形の概略図である。図６ｃは図６ａ及び
図６ｂに示された個々の波形要素の組合わせによって発
生された電圧パルスＵｐ（ｔ）の本発明による波形の概
略図である。図７は本発明による点灯方式（１７３ｈＰ
ａのＸｅ、パルス周波数２５ｋＨｚ）で電圧Ｕ（ｔ）、
電流Ｉ（ｔ）及び電力Ｐ（ｔ）＝Ｕ（ｔ）・Ｉ（ｔ）を
測定した時間変化図である。図８は時間軸を変えて示し
た図７に相当する図である。図９ａ、ｂは本発明による
放電パターンの写真図である。図１０ａ〜ｄは不所望な
放電パターンへの移行を示す写真図である。
【００４４】図１に基づいて本発明を特に簡単な実施例
で説明する。２００ｈＰａの圧力でキセノンを封入され
た中圧放電ランプ１の一部が縦断面図にて示されてい
る。５９０ｍｍの長さ、２４ｍｍの直径及び０．８ｍｍ
の壁厚を有し長手軸線を規定するガラス製円筒状放電容
器２の内部には、２．２ｍｍの直径を有する特殊鋼製の
棒の形態の軸線平行な内部電極３が配置されている。放
電容器２の外部には、軸線平行に配置されて電源に電気
的に接続される２ｍｍ幅の２つの高導電性銀製条帯４
ａ、４ｂから構成された外部電極が配設されている。個
々の高導電性銀条帯４ａ、４ｂはこの実施例に示されて
いるように金属リングによって相互に結合されて電源に
共通に電気的に接続される。その際、放電を乱さないよ
うにするために、金属リングを十分狭く成形するように
注意する必要がある。変形例として高導電性銀条帯４
ａ、４ｂは供給電圧に別々に接続することもできる。内
部電極３は弓形金具状リード線１４に電気的に接続する
ことができる。このリード線１４は皿状封着部１６によ
って放電容器２に気密に結合された挟搾部１５を介して
外部へ導かれている。
【００４５】この実施例の変形例では放電容器は金属リ
ングの領域に例えば膨出部の形の径大部を有する。これ
によってこの領域に擾乱的な寄生放電が生成するのが阻
止される。上記実施例の特に優れた変形例では棒状内部
電極は一方の端部のみが第１皿状封着部に固定結合され
る。他方の自由端部は中心軸線で第２皿状封着部に固定
された円筒状スリーブ内へ（間隙嵌めのように）緩く導
かれる。このことは内部電極が例えば高電力の連続作動
にて加熱される際に軸線方向へ妨げられることなく膨張
することができるという利点を有する。そうでなければ
放電容器内に不所望な材料応力が発生するか電極が曲げ
られてしまうおそれがある。因みにこの変形例の上述し
た利点はその有利な作用が本発明による作動方式に限定
されるのではなく、類似の型の全てのランプに原理上適
している。
【００４６】図２ａは図１に示された放電ランプの横断
面図を示す。内部電極３は中心に配置され、放電容器２
の外壁上には２つの電極４ａ、４ｂがその外壁の周囲上
に対称に分割されて配置されている。
【００４７】放電ランプ１を本発明によって点灯するた
めに必要な電圧供給の原理構成は同様に図１に概略的に
示されている。一連のパルス、すなわち電圧パルスの形
状及び期間と休止時間の期間とはパルス発生器１０で発
生され、次の電力増幅器１１によって増幅される。一連
のパルスが内部電極３に印加される様子が概略的に示さ
れている。高電圧変圧器１２は電力増幅器１１の信号を
必要な高電圧に変換する。ランプはパルス状直流電圧で
点灯される。図３ａに示されている負の矩形パルスが使
用される。この矩形パルスは次のパラメータすなわちパ
ルス時間Ｔｐ＝２μｓ、休止時間Ｔｏ＝２５μｓ、Ｔｐ
期間中の電圧振幅Ｕｐ−３ｋＶ及びＴｏ期間中の電圧振
幅Ｕｐ０Ｖを有している。
【００４８】放電容器の内壁はさらに蛍光体膜６によっ
て被覆されている。この実施例において放電によって特
に放出された紫外線は蛍光体膜６によって光スペクトル
の可視領域に変換され、それゆえランプは特に照明用に
適している。その場合次の成分を有する３波長域発光形
蛍光体が使用される。青色成分はＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：
Ｅｕ2+、緑色成分はＹ2ＳｉＯ5：Ｔｂ、及び赤色成分は
Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ3+である。これによって３７ｌｍ／Ｗのラ
ンプ効率が得られる。演色性として４０００Ｋの色温度
の際にＲａ＞８０を達成することができた。蛍光体によ
って検出された真空紫外線発生量は約６５％である。こ
のランプの幾つかの他の封入物の例及び作動データは表
１に示されている。この表においてｐはガス圧、Ｕｐは
電圧パルスの最大値、ｕｐは火花長（１．２ｃｍ）及び
圧力に関する電圧パルスの最大値、そしてηVUVは得ら
れた真空紫外線発生量を表す。入力電力はそれぞれ１８
Ｗ、パルス期間Ｔｐ（最大値のそれぞれ１０％の立上が
りと立下がりとの間の時間）は約１．５μｓ（１μｓの
半値幅の場合）、休止時間Ｔｏは約２７μｓである。
【００４９】 ［表１］ p(Xe) [hPa] p(Ne) [hPa] Up [kV] up [V/cm Pa] ηvuv [%] １００ − ２．４１ ０.２００ ５５ １３３ − ２．３９ ０．１５０ ６０ ２００ − ２．９５ ０．１２３ ６５ ２００ ７３３ ３．５０ ０．０３１ ６０
【００５０】別の実施例が図２ｂに示されている。内部
電極３´は内壁の近くへ偏心しかつ円筒状放電容器の長
手軸線に平行に配置され、外部電極４´は直径上に対向
配置されて外壁に固定されている。このような配置は小
断面の円筒状放電容器の場合に特に有利である。という
のは、一方では放電は放電容器の内部を直径上に延び、
他方では外壁は外部電極としての１つの高導電性銀条帯
のみによって覆われている、すなわち放射面が図２ａの
ように第２の外部電極によってより一層縮小されないか
らである。
【００５１】図２ｃに示された更に別の実施例において
は、図２ａと同じように内部電極３は放電容器２の内部
の中心に配置されている。放電容器２の外壁の周囲に対
称的に分散されて４つの外部電極４´ａ、４´ｂ、４´
ｃ、４´ｄが設けられており、それゆえこの構成は大断
面、従って大外被面を持つ放電容器に特に適している。
これによって放電は図２ａ及び図２ｂのように第１面だ
けでなく、他の第２面でも発生し、それによって放電容
器２の体積は放射発生のために図２ａ及び図２ｂの実施
例の場合よりも良好に利用される。
【００５２】別の実施例においては、図１に示された棒
形ランプの内壁は蛍光体被膜６の代わりに例えばＭｇＦ
2、Ａｌ2Ｏ3又はＣａＦ2から成る紫外線及び真空紫外線
反射被膜を有する。その場合、内壁に設けられた特にラ
ンプ軸線に平行な狭い１つの条帯だけは被覆されない。
外部電極は紫外線及び真空紫外線が妨げられずにこの条
帯を透過して放出されるように配置される。この実施例
は広げられた対象物の効率的な真空紫外線照射、例えば
リソグラフィにおける露光に特に好適である。この実施
例の優れた変形例においては、内部電極は第２の外部電
極によって置換される。これによって紫外線及び真空紫
外線は妨げられずに被膜で反射され、条帯状透明領域を
透過して外部へ放出される。
【００５３】図３ａには片側誘電体妨害放電用に好適な
本発明による内部電極（陰極）−外部電極（陽極）間の
電圧パルス波形が概略的に示されている。電圧波形は、
内部電極の電圧パルスが負符号で開始しかつ休止時間に
よって分離されるならば、図３ａの実施例の波形とは異
ならせることができる。
【００５４】図３ｂには極性がパルス毎に変化するパル
ス波形が概略的に示されている。このパルス波形は両側
誘電体妨害放電のみに適し、その場合最初のパルスは任
意の極性で開始できる。
【００５５】図４ａには本発明による方法によって点灯
される片側誘電体妨害形放電ランプの他の実施例の平面
図、図４ｂにはその断面図が示されている。このランプ
は、上側放射面７ａ及びこれに平行な下側放射面７ｂを
有し、これらに対して内部電極３及び外部電極４が垂直
に向けられて多数の平行な放電室８を形成するように交
互に配置されている平面形放射器である。それぞれ隣接
する外部電極及び内部電極は誘電体層及びガス封入放電
室８によって分離され、隣接する内部電極は誘電体層の
みによって分離されている。本発明による作動方法は単
一の電源１３のみを用いて多数の並列接続された放電室
８への給電を可能にする。放電容器の内壁は蛍光体膜６
によって被覆されている。平面形放射器は両側誘電体妨
害放電室を結合することによっても同様に実現可能であ
る。
【００５６】図５ａには放電ランプの他の実施例の側面
図、図５ｂにはその横断面図が示されている。この放電
ランプは外部形状がエジソン口金９を有する従来のラン
プに似ており、新しい方法によって点灯することができ
る。放電容器２の内部には中心に、断面が対称十字の形
に一致する細長い内部電極３が配置されている。放電容
器２の外壁には、４つの外部電極４´ａ、４´ｂ、４´
ｃ、４´ｄが内部電極の４つの長手側面に対向配置され
て放電パターンが互いに垂直でランプ軸線を横切る２つ
の平面内でほぼ発生するようにその４つの外部電極が設
けられている。
【００５７】上述した実施例の別の優れた変形例におい
ては、内部電極は円形断面及び２ｍｍの直径を持つ特殊
鋼製の棒から構成される。この棒は０．７ｍｍの厚みの
ガラスから成る円筒状放電容器２の内部の中心軸線に配
置される。放電容器は約５０ｍｍの直径を有し、反口金
側端部にポンプ短管を有し、このポンプ短管内には内部
電極の反口金側端部が導入される。放電容器の内部は１
７３ｈＰａの圧力でキセノンが封入される。外部電極は
軸平行でかつ放電容器の外壁上に均等に分割して配置さ
れた１２個の１ｍｍ幅かつ８ｃｍ長の高導電性銀条帯に
よって実現される。外部電極は口金の領域において外壁
に設けられたリング状高導電性銀条帯によって相互に電
気的に接続される。放電容器の内壁は蛍光体膜６によっ
て被覆される。その場合、青色成分ＢａＭｇＡｌ
10Ｏ17：Ｅｕ2+、緑色成分ＬａＰＯ4：（Ｔｂ3+、Ｃｅ
3+）、及び赤色成分（Ｇｄ、Ｙ）ＢＯ3：Ｅｕ3+を有す
る３波長域発光形蛍光体が使用される。それによって４
０ｌｍ／Ｗのランプ効率が得られた。色温度は４０００
Ｋであり、ＣＩＥに基づく標準色度図による色位置は座
標ｘ＝０．３８及びｙ＝０．３７７を有する。電圧Ｕ
（ｔ）、電流Ｉ（ｔ）及び電力Ｐ（ｔ）の時間的変化は
図７に示され、また時間尺度を変えて図８に示されてい
る。外部電極に対する内部電極の電圧最大値は約−４ｋ
Ｖである。パルス時間（最大値の半分の際の時間）及び
休止時間はそれぞれ約１．２μｓ及び約３７．５μｓで
ある。図８においてはさらに電圧Ｕ（ｔ）の第２の主パ
ルスの前に小振幅の４つの前駆パルスが明らかに認めら
れる。電流Ｉ（ｔ）及び電力Ｐ（ｔ）の対応する変化か
ら明らかなように、この前駆パルスの期間中には電流は
流れず、従って同様に電力はガス中へ与えられない。そ
れゆえ、この種の前駆パルスは本発明による点灯方式に
とって害にならない。２５ｋＨｚのパルス周波数の場
合、約６５％の真空紫外線発生量が達成された。
【００５８】上述した実施例の別の変形例においては、
放電容器は紫外線及び真空紫外線透過材料、例えばＳＵ
ＰＲＡＳＩＬ（登録商標）石英ガラス（ヘラオイス・ク
ヴァルツシュメルツエ有限会社）から構成される。この
変形例は例えば光化学における真空紫外線放射器として
好適である。別の変形例においては内部電極はガラスに
よって覆われる。このことは腐食性媒質、例えば希ガス
ハロゲン化物を使用する際に特に有利である。というの
は、このようにして内部電極の腐食が防止されるからで
ある。
【００５９】図９ａ、ｂは単極性電圧パルスを用いて発
生された本発明による放電パターンの写真図を示す。図
９ａの場合には両側誘電体妨害放電が使用されている。
円筒管状ガラス製放電容器はその外壁に直径上に対向し
て軸線方向に配置された２つの外部電極を備えている。
放電容器の内部で両外部電極の結合面内には緑がかった
Δ状放電パターンが一列に配置されている。Δ状放電パ
ターンの狭い最下点はそれぞれ陰極側内壁で開始して放
電容器の内壁の陽極側にまで広がっている。図９ｂの場
合には片側誘電体妨害放電が使用されている。放電装置
は図９ａの放電装置とは金属製の棒状補助内部電極だけ
が異なっている。この内部電極は陰極として作用し、放
電容器の内部の中心軸線に配置されている。内部電極の
表面から個々のΔ状放電パターンが両外部電極のそれぞ
れ１つへ広がっている。特に図９ｂからはっきり分かる
ように、これらのパターンはほぼ均一に拡散して発光し
ている。そのパターンは狭い陰極側終点にそれぞれ１つ
のパーセント的に非常に小さい若干明るい発光領域を有
している。さらに、高い一様性は注目に値する。この一
様性は個々のパターンの相互間隔並びに相互比較による
個々のパターンの形状及び輝度分布に関係する。
【００６０】この多数の同種のパターンが明白なコント
ラストにて図１０ａ〜ｄの写真図に示されている。これ
らの図はこの順序にて不所望な放電パターンへ徐々に移
行する様子を示している。図１０ａ（この放電装置は図
９ｂにおける放電装置と同じである）では、本発明によ
る幾つかのΔ状放電パターンがまだ認められる。放電装
置の図の左下領域では既にＹに似たパターンが形成され
ている。図の上領域（図中央部の若干左側）では、線条
状に明るく発光するパターンが幾つかの元々右側に隣接
するΔ状放電パターンを犠牲にして形成されている。放
電容器の内壁での高い輝度はこの領域での沿面放電を示
唆している。図１０ｂに示された放電領域は図１０ａに
比べてさらに減少した紫外線効率を有している。元々こ
の領域に存在するパターンの個数はさらに減少してい
る。図１０ｃ及び図１０ｄでは両側（放電装置は図９ａ
における放電装置と同じ）もしくは片側誘電体妨害放電
が使用されている。両ケースにおいてはまだ線条状パタ
ーンが見られる。陽極の領域では放電容器の内壁上にそ
れぞれ２つの条帯状沿面放電が認められる。これらは明
るく発光する湾曲状パターン内へＹ状に繋がっている。
このパターンは対向する陰極側内壁上で２つの類似の条
帯状沿面放電（図１０ｃ参照）に分割され、もしくは片
側誘電体妨害放電の場合には陰極上で終了する。
【００６１】本発明は上述した実施例に限定されない。
特に、異なった実施例の個々の利点は互いに適当に組合
わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】棒状放電容器の本発明による実施例の一部を断
面で示した概略縦断面図
【図２】図２ａは図１に示された放電容器のＡ−Ａ線に
沿った概略横断面図、図２ｂは本発明による放電容器の
他の実施例の概略横断面図、図２ｃは本発明による放電
容器の別の実施例の概略横断面図
【図３】図３ａは図１に示された片側誘電体妨害形放電
ランプの陰極−陽極間の本発明による優れた電圧波形の
概略図、図３ｂは両側誘電体妨害形放電ランプを本発明
によって点灯するために使用することのできる電圧波形
の概略図
【図４】図４ａは本発明による方法に基づいて点灯する
ことのできる平面形放射器の形をした放電ランプの本発
明による他の実施例の一部の概略縦断面図、図４ｂは図
４ａに示された放電ランプの横断面図
【図５】図５ａは本発明による方法に基づいて点灯する
ことのできるエジソンねじ込み口金を備えた従来のラン
プの形をした放電ランプの本発明による別の実施例の側
面図、図５ｂは図５ａに示された放電ランプのＡ−Ａ線
に沿った横断面図
【図６】図６ａは負の値を持つ本発明による電圧パルス
Ｕｐ（ｔ）の幾つかの単極性波形の概略図、図６ｂは本
発明による電圧パルスＵｐ（ｔ）の幾つかの両極性波形
の概略図、図６ｃは図６ａ及び図６ｂに示された個々の
波形要素の組合わせによって発生された電圧パルスＵｐ
（ｔ）の本発明による波形の概略図
【図７】本発明による点灯方式で電圧Ｕ（ｔ）、電流Ｉ
（ｔ）及び電力Ｐ（ｔ）＝Ｕ（ｔ）・Ｉ（ｔ）を測定し
た時間変化図
【図８】時間軸を変えて示した図７に相当する図
【図９】本発明による放電パターンの写真図
【図１０】不所望な放電パターンへの移行を示す写真図
【符号の説明】
１ 放電ランプ ２ 放電容器 ３ 内部電極 ４ａ，４ｂ 条帯（外部電極） １０ パルス発生器 １４ リード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 391045794 パテント−トロイハント−ゲゼルシヤフト フユア エレクトリツシエ グリユーラ ンペン ミツト ベシユレンクテル ハフ ツング ＰＡＴＥＮＴ−ＴＲＥＵＨＡＮＤ−ＧＥＳ ＥＬＬＳＣＨＡＦＴ ＦＵＲ ＥＬＥＫＴ ＲＩＳＣＨＥ ＧＬＵＨＬＡＭＰＥＮ Ｍ ＩＴ ＢＥＳＣＨＲＡＮＫＴＥＲ ＨＡＦ ＴＵＮＧ ドイツ連邦共和国ミユンヘン （番地な し) (72)発明者 フオルコンマー、フランク ドイツ連邦共和国 デー‐82131 ガウチ ング ノイリーダーシュトラーセ 18 (72)発明者 ヒチユケ、ロタール ドイツ連邦共和国 デー‐81739 ミユン ヘン アルノ‐アスマン‐シユトラーセ 13 Ｆターム(参考） 3K072 AA00 AA01 AA10 AA11 AA19 AA20 AB01 AC01 AC02 AC04 AC11 AC12 AC15 CA16 DA04 GB20

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 非導電性材料から成る少なくとも部分的
    に透明な放電容器（２）が封入ガス（５）を封入され、
    少なくとも２つの電極（３、４）が封入ガス（５）の近
    くに設けられてリード線によって電気エネルギー供給源
    （１０〜１２）に接続され、電極（４）と封入ガス
    （５）との間には誘電体層が配置されているインコヒー
    レント放出放射源を誘電体妨害放電によって作動させる
    方法において、封入ガス（５）の作動圧力は約１ｋＰａ
    以上であり、電気エネルギー供給源は電極（３、４）間
    に一連の両極性の電圧パルスを供給し、個々の電圧パル
    スｎは電圧Ｕｐn（ｔ）と１ｎｓ〜５０μｓの大きさの
    パルス時間Ｔｐnとで表され、それぞれ電圧パルスｎは
    ５００ｎｓ〜１ｍｓの大きさの値と電圧Ｕｏn（ｔ）と
    を持つ休止時間Ｔｏnによってその後続の電圧パルスｎ
    ＋１から分離され、パルス時間Ｔｐnの期間中電圧Ｕｐn
    （ｔ）は封入ガス（５）内へ有効電力が入力するように
    選定され、休止時間Ｔｏnの期間中電圧Ｕｏn（ｔ）は封
    入ガス（５）がそれぞれその前の電圧パルスＵｐ
    n（ｔ）前の状態に似た状態へ復帰し得るように選定さ
    れ、Ｕｐn（ｔ）、Ｔｐn、Ｕｏn（ｔ）、Ｔｏnの大きさ
    は電極（３、４）間にガス室に対して鮮明に区画された
    細く明るく発光する放電線条に比較して低い電流密度の
    放電パターンが生成するように設定されることを特徴と
    するインコヒーレント放出放射源の作動方法。
  2. 【請求項２】 Δの頂点と逆向きΔの頂点とを向かい合
    わせて配置した形状である２つのΔ状放電パターンの鏡
    像的な重なりから成る 状放電パターンが生じることを特徴とする請求項１記載
    の方法。
  3. 【請求項３】 個々の放電パターンの間隔がＵｐ
    n（ｔ）、Ｔｐn、Ｕｏn（ｔ）、Ｔｏnの大きさの選定に
    よって、ガス圧力の低い際に全放電面が“カーテン”状
    放電パターンで放射するように減少させられ得ることを
    特徴とする請求項１記載の方法。
  4. 【請求項４】 休止時間Ｔｏnは個々の放電パターンの
    体積の時間平均値が最大になるように選定されることを
    特徴とする請求項１乃至３の１つに記載の方法。
  5. 【請求項５】 パルス時間Ｔｐnの期間中、電極（３、
    ４）間の電圧Ｕｐn（ｔ）として、放電の再点弧電圧に
    合わせた値が選定されることを特徴とする請求項１乃至
    ４の１つに記載の方法。
  6. 【請求項６】 電圧Ｕｐn（ｔ）、Ｕｏn（ｔ）及びパル
    ス時間Ｔｐn、休止時間Ｔｏnは封入圧力、封入物の種
    類、火花長、誘電体及び電極構成に合わせられることを
    特徴とする請求項５記載の方法。
  7. 【請求項７】 電圧Ｕｐn（ｔ）は三角形状、矩形状、
    台形状、階段状、湾曲状、放物線状、正弦波状の形状の
    １つ又は複数から直接に又は近似的に構成されることを
    特徴とする請求項６記載の方法。
  8. 【請求項８】 パルス時間Ｔｐnの期間中、電極（３、
    ４）間の電圧Ｕｐn（Ｔ）として、誘電体によって惹起
    された電圧降下を加えて、少なくとも再点弧電圧に相当
    する最大値が選定されることを特徴とする請求項７記載
    の方法。
  9. 【請求項９】 電圧パルスの最大値はｃｍ火花長及びパ
    スカル封入圧当たり０．０１〜２Ｖの範囲にあることを
    特徴とする請求項８記載の方法。
  10. 【請求項１０】 電圧は周期的であることを特徴とする
    請求項１記載の方法。
  11. 【請求項１１】 少なくとも１つの電極においては誘電
    体層が放電容器（２）の壁によって形成されることを特
    徴とする請求項１記載の方法。
  12. 【請求項１２】 全電極面積と誘電体に接触する電極面
    積との比はできる限り小さいことを特徴とする請求項１
    記載の方法。
  13. 【請求項１３】 放電容器（２）内に配置された１つ又
    は複数の棒状又は条帯状の電極を使用する場合、この電
    極は中心に又は偏心して配置され、電極が誘電体によっ
    て被覆されていることを特徴とする請求項１乃至１２の
    １つに記載の方法。
  14. 【請求項１４】 放電容器の外部に配置された１つ又は
    複数の電極を使用する場合、この電極は条帯状に形成さ
    れていることを特徴とする請求項１又は１２又は１３記
    載の方法。
  15. 【請求項１５】 放電容器（２）は管から構成され、そ
    の長手軸線に内部電極（３）が配置され、その外壁に少
    なくとも１つの外部電極（４）が設けられていることを
    特徴とする請求項１記載の方法。
  16. 【請求項１６】 放電容器はほぼ円筒状をして一端部に
    口金（９）を備え、放電容器の内部には片側を固定され
    た中心棒状内部電極（３）が設けられ、放電容器の外壁
    には少なくとも１つの条帯状電極（４´ａ、４´ｂ、４
    ´ｃ、４´ｄ）が配置されることを特徴とする請求項１
    記載の方法。
  17. 【請求項１７】 内部電極（３）は円形断面を有するこ
    とを特徴とする請求項１６記載の方法。
  18. 【請求項１８】 ガス室を画成する壁は少なくとも一部
    分が蛍光体（６）によって被覆されていることを特徴と
    する請求項１乃至１７の１つに記載の方法。
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