DE19953531A1 - Entladungslampe mit Elektrodenhalterung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Entladungslampe, die vorzugsweise für dielektrisch behinderte Entladungen ausgelegt ist. Die Neuerung besteht darin, daß eine Halterung eingesetzt wird, um eine in dem Entladungsgefäß der Entladungslampe von den Gefäßwänden beabstandet verlaufende Elektroden in ihrer Position einzustellen und zu sichern. Diese Halterung dient gleichzeitig als Pumpstengel.

Description

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Entladungslampe mit einem mit einem Entladungsmedium gefüllten Entladungsgefäß und mit einer im Entladungsgefäß von den Gefäßwänden beabstandet verlaufenden Elektrode, wobei bei der Herstellung des Entladungsgefäßes ein Pumpsten­ gel am Entladungsgefäß angebracht wird, durch welchen das Entladungsge­ fäß evakuiert und/oder mit dem Entladungsmedium gefüllt wird und wel­ cher anschließend verschlossen wird.

Stand der Technik

Üblicherweise wird als Pumpstengel bei der Herstellung des Entladungsge­ fäßes ein Röhrchen oder ähnliches mit eingeschmolzen, welches durch eine Wandung des Entladungsgefäßes hindurchragt. Nachdem das Entladungs­ gefäß dann bis auf den Pumpstengel dicht verschlossen ist, wird an den Pumpstengel außen eine Evakuierungspumpe angeschlossen und das Entla­ dungsgefäß bis auf den gewünschten Unterdruck evakuiert. Anschließend wird das Entladungsgefäß durch den Pumpstengel mit dem Entladungsme­ dium, in der Regel ein Gas oder Gasgemisch, gefüllt. Nachdem die Gasver­ hältnisse im Entladungsgefäß passend eingestellt sind, wird das den Pump­ stengel bildende Röhrchen außerhalb des Entladungsgefäßes, in der Regel relativ nah am Entladungsgefäß abgeschmolzen, um das gesamte Entla­ dungsgefäß vollständig vakuumdicht zu verschließen. Üblicherweise wird der Pumpstengel so am Entladungsgefäß angebracht, daß er nicht in das In­ nere des Entladungsgefäßes hineinragt.

Eine spezielle Art von Entladungslampen sind Entladungslampen mit die­ lektrisch behinderter Entladung. Hierbei werden die Elektrode und/oder eine Gegenelektrode bzw. mehrere Gegenelektroden durch mindestens ein Dielektrikum von der Entladung im Inneren des Entladungsgefäßes ge­ trennt. Die Erfindung richtet sich nicht ausschließlich, jedoch bevorzugt auf solche Entladungslampen für dielektrisch behinderte Entladungen.

In derartigen Entladungslampen wird zwischen die Elektrode und eine Ge­ genelektrode, die sich ebenfalls im Entladungsgefäß oder am Entladungsge­ fäß befindet, eine Spannung angelegt, wodurch es zwischen der Elektrode und der Gegenelektrode im Entladungsmedium zu einer Entladung kommt. Bei dieser Entladung wird inkohärente Strahlung freigesetzt. Je nach Art des Lampenaufbaus und insbesondere des Entladungsmediums wird ultraviolet­ te oder infrarote Strahlung oder sichtbares Licht abgestrahlt. Eine derartige Lampe wird beispielsweise in der DE 196 36 965 A1 beschrieben.

Man unterscheidet zwischen sogenannten bipolar und sogenannten unipolar betriebenen Entladungslampen.

Im Fall einer unipolaren Entladungslampe bildet eine der beiden Elektroden permanent die Anode und die andere Elektrode die Kathode. Es reicht dabei aus, die Anode durch das Dielektrikum von der Entladung zu trennen. Als Dielektrikum kann hierbei auch die Gefäßwandung dienen. In diesem Fall befindet sich in dem Entladungsgefäß lediglich die Kathode, wogegen die Anode bzw. die Anoden außen auf die Gefäßwandung aufgebracht sind. Hierbei kann es sich z. B. um Streifen aus einer Gold- oder Platinpaste han­ deln, die direkt auf die Gefäßwandung aufgedruckt sind.

Im Fall der bipolaren Entladungslampe sind die beiden Elektroden nicht ge­ geneinander ausgezeichnet und beide durch ein Dielektrikum abgeschirmt. Durch entsprechenden Spannungswechsel bildet mal die eine Elektrode und mal die andere Elektrode die Anode. Vorzugsweise werden die Entladungs­ lampen mit einer im Prinzip unbeschränkten Folge von äußerst kurzen Spannungspulsen mit hoher Wiederholfrequenz gespeist. Hierzu wird ver­ wiesen auf die WO94/23442.

Es ist klar, daß eine erfolgreiche und effiziente Entladung von dem Abstand der Elektrode zu den Gegenelektroden abhängt. Insbesondere trifft dies bei Entladungslampen mit einer dielektrisch behinderten Entladung zu, bei de­ nen die Effizienz stark von der genauen Geometrie der Entladungsbereiche im Entladungsgefäß abhängt. Aufgrund dieser Abhängigkeit von der Elek­ trodengeometrie würden bereits geringe Veränderungen in der Lage einer Elektrode zu einer großen Effizienzminderung der Entladungslampe führen.

Darstellung der Erfindung

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein kostengünstiges, einfa­ ches Verfahren zur Herstellung einer Entladungslampe anzugeben, bei dem ein genauer Sitz der Elektrode während der Herstellung und im späteren Gebrauch gewährleistet ist.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß in dem Entladungsgefäß eine Halte­ rung aus nicht leitendem Material angeordnet wird, welche die Elektrode an einer vorgegebenen Position im Entladungsgefäß fixiert und diese Halterung oder ein Teil dieser Halterung als Pumpstengel oder Teil eines Pumpstengels ausgebildet und verwendet wird.

Erfindungsgemäß wird also der ohnehin bei der Herstellung einer Entla­ dungslampe benötigte Pumpstengel gleichzeitig dazu verwendet, als Halte­ rung oder Teil einer Halterung zu dienen. Dadurch ist eine sichere Positio­ nierung der Elektrode während der Herstellung im späteren Gebrauch mög­ lich, wobei zusätzliche Verfahrensschritte minimiert werden können oder auf zusätzliche Verfahrensschritte sogar ganz verzichtet werden kann. D. h. die Produktion wird durch das erfindungsgemäße Verfahren gar nicht oder nur unwesentlich verteuert.

Die Halterung bzw. der als Pumpstengel dienende Teil der Halterung kann im Prinzip jede beliebige Form aufweisen, die geeignet ist, die Elektrode ent­ sprechend zu fixieren bzw. zu unterstützen. Zur Verwendung als Pumpsten­ gel ist lediglich notwendig, daß der entsprechende Teil der Halterung eine von außen nach innen in das Entladungsgefäß durchgehende Öffnung und eine Möglichkeit zum dichten Anschluß der Evakuierungs- und Befüllungs­ anlage aufweist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird der als Pumpstengel dienende Teil der Halterung in Form eines Rohrs ausgebildet, welches mit einem Ende durch eine Wandung des Entladungs­ gefäßes in das Entladungsgefäß hineinragt. Hierzu ist im Grunde nur eine Verlängerung der bisher verwendeten üblichen Pumpstengel notwendig.

Dieses Verfahren ist besonders dann vorteilhaft, wenn die Elektrode eine längliche, sich im wesentlichen in eine Haupterstreckungsrichtung erstrek­ kende Form aufweist. Die Halterung kann so ausgebildet sein, daß sie ein langgestrecktes, in der Haupterstreckungsrichtung der Elektrode verlaufen­ des Stützelement aufweist, welches die Elektrode auf mindestens einem Teil­ bereich unterstützt, wobei das Stützelement und die Elektrode koaxial oder parallel zueinander ausgerichtet werden.

In diesem Fall kann als Stützelement bzw. Stützrohr der oben genannte, nach innen verlängerte Pumpstengel verwendet werden. Es kann folglich durch entsprechende Anordnung des in das Entladungsgefäß hineinragenden Roh­ res zur Elektrode eine einfache, sichere Unterstützung der Elektrode ge­ währleistet werden.

Selbstverständlich kann es sich auch um ein anders geformtes Stützelement, beispielsweise ein längliches, plattenförmiges Stützelement oder Ähnliches handeln, welches mit einem entsprechenden Rohrteil versehen ist oder eine entsprechende Bohrung aufweist. Genauso kann auch die Elektrode eine be­ liebige Form aufweisen. So kann es sich beispielsweise um Längsstreifen, Wellenform, beispielsweise in Sinusform, zickzackförmige Elektroden, eine Wendel oder dergleichen handeln.

Bei einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel verläuft die Elektro­ de zumindest auf einem Teilbereich der Längserstreckung wendelförmig um das Stützelement herum. Die Vorteile dieser Wendelelektrode und der dabei entstehenden Struktur der Entladungen sind in der bereits zitierten DE 196 36 965 A1 dargestellt.

Die Elektrode kann in Form einer entsprechend strukturierten leitfähigen Beschichtung, beispielsweise aus Gold- oder Platinpaste, auf die Halterung oder ein Element der Halterung aufgebracht sein. So kann z. B. auf diese Weise eine wendelförmige Innenelektrode auf einem in Erstreckungsrich­ tung der Elektrode verlaufenden Stützstab oder Stützrohr aufgebracht sein. Streifenförmige, wellenförmige oder zickzackförmige Elektroden können beispielsweise auf einem länglichen, plattenförmigen Stützelement aufge­ bracht sein.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform handelt es sich um ein zylinderförmiges Entladungsgefäß mit einer sich entlang der Zylinderachse erstreckenden Innenelektrode und einem Stützelement. Es handelt sich hier­ bei folglich um eine Entladungslampe mit einer zentrischen bzw. konzentri­ schen mittleren Elektrode. Es bietet sich dabei an, auf die Gefäßwandungen mehrere parallel zur Zylinderachse verlaufende streifenförmige Gegenelek­ troden aufzubringen. Auf diese Weise kann der gesamte Entladungsraum effektiv genutzt werden, wobei die dazu notwendige geometrische Anord­ nung relativ einfach zu erzeugen ist. Das hierbei auftretende Problem einer exakten zentrischen bzw. konzentrischen Lage der mittleren Elektrode bei der Herstellung und dem dauernden Betrieb wird durch die Erfindung ge­ löst.

Das Stützelement, beispielsweise in Form des als Pumpstengel dienenden Stützrohrs, ragt vorteilhafterweise von einer einem Lampensockel gegenü­ berliegenden Stirnseite in das Entladungsgefäß hinein und ist an der entspre­ chenden Stirnwand befestigt. Insbesondere bei längeren Entladungsgefäßen kann aber auch eine beiderseitige Sockelung vorteilhaft sein. Dann ist auch die Seite des Pumpstengels von einem Sockel übergriffen.

Selbstverständlich kann das Stützelement bzw. das Rohr auch so lang sein, daß die Elektrode auf der gesamten Länge unterstützt wird.

Vorzugsweise werden in das Stützrohr entlang der Längserstreckung eine oder mehrere die Rohrwandung durchdringende Öffnungen eingebracht, welche sich innerhalb des Entladungsgefäßes befinden. Über diese Öffnun­ gen ist eine bessere und effektivere Abpumpung bzw. Befüllung des Entla­ dungsgefäßes möglich.

Das Entladungsgefäß ist bei einer bevorzugten Ausführungsform auf einer Seite durch Quetschen verschlossen. Hierbei wird eine Metallfolie mit einge­ bettet, die als elektrische Durchführung für die Innenelektrode dient. Diese ist an der Metallfolie befestigt, beispielsweise angelötet, und wird zum Teil mit einem Ende mit eingequetscht, so daß die Elektrode auf einer Seite durch die Quetschung gehalten wird.

Um eine Verschiebung der Elektrode in der Längsrichtung des Stützelements zu verhindern, weist dies vorteilhafterweise einen sich quer zur Längsrich­ tung des Stützelements erstreckenden Haltevorsprung oder eine Halteaus­ nehmung auf. Bei dem Haltevorsprung kann es sich um entsprechende Noppen, Nasen, Dornen etc. handeln, bei der Halteausnehmung um eine Nut oder dgl. Durch derartige Noppen oder Nasen kann beispielsweise eine Drahtwendel, welche um ein Stützrohr oder einen Stützstab verläuft, sehr gut gegen eine Längsverschiebung gesichert werden.

Eine alternative Ausführungsform der Halterung sieht vor, daß sich zwi­ schen der Elektrode und einer Gefäßwandung quer zur Haupterstreckungs­ richtung der Elektrode ein Abstandshalter befindet. Bei einem derartigen Abstandshalter kann es sich um eine hakenartiges Element, ein Röhrchen oder einen Stift handeln, welcher an einer Gefäßwandung befestigt ist und die Elektrode in der Position hält. Vorzugsweise werden entlang der Haupt­ längserstreckung der Elektrode mehrere solche Abstandshalter eingesetzt. Um die Funktion als Pumpstengel zu ermöglichen, muß in mindestens einem der Abstandhalter selbstverständlich eine entsprechende Bohrung einge­ bracht sein.

Selbstverständlich ist es auch möglich, ein beispielsweise rohrförmiges Stütz­ element und zusätzlich quer dazu verlaufende Abstandshalter zu verwen­ den. Dies bietet sich insbesondere bei der Herstellung von sehr langen Lam­ pen an.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform dieses zusätzlichen Abstandshalters zur Fixierung des Stützelements handelt es sich um eine quer zur Haupt­ erstreckungsrichtung der Elektrode angeordnete, zwischen den Gefäßwän­ den erstreckende Haltescheibe, durch welche die Elektrode mit dem Steck­ element an einer vorgegebene Position hindurch verläuft. Durch eine derar­ tige Haltescheibe ist eine sichere Positionierung in jede Richtung gewährlei­ stet.

Beschreibung der Zeichnungen

Die Erfindung wird im Folgenden unter Hinweis auf die beigefügten Zeich­ nungen anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die dargestell­ ten Merkmale können nicht nur in den genannten Kombinationen sondern auch einzeln oder in anderen Kombinationen erfindungswesentlich sein. Es stellen dar

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer Entladungslampe mit einem zylindrischen Entladungsgefäß und einer axialen zentralen Elek­ trode, welche durch ein Stützrohr gehalten wird,

Fig. 2 einen Querschnitt durch ein Entladungsgefäß gemäß Fig. 1, mit einem Stützrohr und einer zusätzlichen Halterung in Form eines Abstandshalters,

Fig. 3 einen Querschnitt durch ein Entladungsgefäß gemäß Fig. 1, mit einem Stützrohr und einer alternativen zusätzlichen Halterung in Form einer Haltescheibe,

Fig. 4 einen Querschnitt durch ein Entladungsgefäß gemäß Fig. 1 mit einer alternativen Halterung aus mehreren quer zwischen den Wandungen des Entladungsgefäßes verlaufenden Haltestäben, von denen einer als Pumpstempel verwendet wird.

Fig. 5 einen Querschnitt durch ein Entladungsgefäß gemäß Fig. 1 mit einem axial verlaufenden Stützrohr und mehreren radial verlau­ fenden Querstützen.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Ent­ ladungslampe. Diese Entladungslampe 1 weist ein Entladungsgefäß 2 aus Quarzglas auf, welches auf einer Seite in einem Sockel 5 gehaltert ist.

Das Innere des Entladungsgefäßes 2 ist mit einem Entladungsmedium ge­ füllt. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine Ex­ cimer-Entladungslampe, die mit Xenon gefüllt ist. Mit einer solchen Excimer- Entladungslampe wird mit hoher Effizienz VUV-Strahlung erzeugt, welche industriell beispielsweise bei der Reinigung von Wafern, zur Ozonprodukti­ on oder zur Wasserreinhaltung eingesetzt wird.

Die Lampe weist innerhalb des zylindrischen Entladungsgeräts eine zentri­ sche wendelförmige Elektrode 6 auf. Es handelt sich hierbei um die Kathode, die auf einer negativen Hochspannung liegt. Auf der Außenseite des Entla­ dungsgefäßes 2 befinden sich mehrere parallel zur Zylinderachse verlaufen­ de streifenförmige Elektroden 7. Hierbei handelt es sich um die Anoden. Sie sind durch die Wandung 3 des Entladungsgefäßes 2 vom Entladungsraum getrennt. Die Lampe ist somit für dielektrisch behinderte Entladungen aus­ gelegt.

Als Halterung 10 weist die Lampe 1 ein axiales Stützrohr 9 auf, welches von der dem Lampensockel 5 gegenüberliegenden Stirnwandung 4 in das Innere des Entladungsgefäßes 2 hineinragt. Die wendelförmige Elektrode 6 ist teil­ weise um dieses Stützrohr 9 herum geführt. Um eine Verschiebung der wen­ delförmigen Elektrode 6 in axialer Richtung zu verhindern, ist am Stützrohr 9 ein Haltevorsprung 12 in Form eines Noppens ausgebildet.

Die Halterung besteht aus einem nichtleitenden Material, beispielsweise Glas, Quarzglas oder Keramik.

Zunächst wird das Entladungsgefäß 2 auf der dem Sockelbereich gegenü­ berliegenden Stirnwandung 4 geschlossen, wobei das Stützrohr 9 in einer zentrischen Öffnung 8 in der Stirnwandung 4 dicht eingeschlossen und fi­ xiert wird. Zur Bildung der Stirnwand 4 mit dem eingeschlossenen Stützrohr 9 wird das offene zylinderförmige Gefäß erhitzt und das Stützrohr 9 durch geeignete Hilfsmittel gehalten, während die Zylinderwandung unter der Wärmeeinwirkung nach innen einfällt. Dieser Verschluß kann aber auch durch eine Quetschung erfolgen.

Anschließend wird die Wendel 6 innerhalb des Sockelbereichs beim vaku­ umdichten Verschließen des zylindrischen Entladungsgefäßes 2 mit einge­ quetscht (nicht sichtbar). Im Bereich der gegenüberliegenden Stirnwandung 4 wird sie durch das Stützrohr 9 gehalten.

Zum Aufbringen der Wendel 6 auf das Stützrohr 9 bzw. zum Einbringen des Stützrohrs 9 in die Wendel 6 wird die Wendel 6 auf das Stützrohr 9 aufge­ schraubt, wobei sich der Haltevorsprung 12 zwischen den Wendelgängen bewegt.

Das Stützrohr 9 wird gleichzeitig als Pumpstengel verwendet, indem durch das Stützrohr 9 das Entladungsgefäß 2 abgepumpt und über das Rohr 9 mit Gas befüllt wird. Bei längeren Entladungslampen ist es sinnvoll, daß entlang des Stützrohrs 9 in den Rohrseitenwänden mindestens eine, vorzugsweise mehrere Öffnungen 11 angeordnet sind, um ein schnelles und effektives Ab­ pumpen des Entladungsgefäßes zu ermöglichen.

Selbstverständlich kann das Stützrohr 9 nicht nur in der Stirnwandung 4 gehalten werden, sondern sich längs durch das gesamte Entladungsgefäß 2 bis in den Sockelbereich 5 hindurch erstrecken und gegebenenfalls auch in der Stirnwandung im Sockelbereich 5 befestigt sein, beispielsweise bei der Produktion gleich mit eingepreßt werden. Bei der Wendel 6 kann es sich wie im gezeigten Ausführungsbeispiel um eine Drahtwendel handeln. Alternativ kann die Wendel jedoch auch auf das Stützrohr 9 mittels einer leitfähigen Paste, beispielsweise Gold- oder Platinpaste oder ähnlichem, aufgebracht sein. Im Falle eines durchgehenden Stützrohrs 9, welches im Sockelbereich mit eingequetscht wird, ist es vorteilhaft, wenn die Elektrode 6 im Quetsch­ bereich von einem Draht oder einer Metallfolie gebildet wird und innerhalb des Entladungsgefäßes 2 oberhalb der Quetschstelle die Elektrode dann aus der strukturierten, leitfähigen Beschichtung auf dem Stützrohr 9 besteht, wobei selbstverständlich der untere aus Draht oder der Metallfolie bestehen­ de Bereich der Wendel und der obere Bereich der Wendel entsprechend un­ tereinander kontaktiert sind.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Halterung ist es möglich, Lampen gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 in nahezu beliebiger Länge herzu­ stellen. Derzeit sind ohne eine solche Halterung maximal Längen von 20 cm produzierbar, ohne daß ein sicherer Sitz der Elektrode 6 gefährdet ist. Ver­ suchsweise werden derzeit auf die erfindungsgemäße Weise Lampen mit einer Länge von mehr als 85 cm hergestellt.

Die Fig. 2-5 zeigen jeweils alternative Ausführungsbeispiele für eine Hal­ terung.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Stützrohr 9 relativ lang. Bei einem anderen, nicht dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Stützrohr nur ca. 2 cm lang und unterstützt eine ca. 12 cm lange Wendel nur im Endbe­ reich.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um ei­ nen hakenförmigen Abstandshalter 14, welcher an einem Ende an der Ge­ fäßwandung 3 befestigt, beispielsweise festgeschmolzen ist und das Stütz­ rohr 9 zusätzlich quer zur Erstreckungsrichtung fixiert. Um auf diese Weise das Stützrohr 9 mit der Wendel 6 auf einer längeren Strecke sicher zu halten, können entlang der Längserstreckungsrichtung mehrere solcher Abstands­ halter 14 angeordnet sein, wobei diese auch vorteilhafterweise radial in un­ terschiedliche Richtungen nach außen verlaufen. Ein günstiger Abstand sol­ cher Abstandshalterhäkchen 14 zueinander liegt bei ca. 15 cm.

Fig. 3 zeigt als Abstandshalter eine durchgehende Haltescheibe 15, durch die in der Mitte das Stützrohr 9 mit der Wendel 6 verläuft. Diese Halteschei­ be 15 stützt das Stützrohr 9 mit der Wendel 6 zusätzlich zu allen Seiten ge­ genüber den Gefäßwänden 3 ab.

Fig. 4 zeigt eine Halterung in Form von zwei in der Längsrichtung der Wendel 6 hintereinander verlaufenden Haltestäben 16, 17, welche sich je­ weils quer durch das Entladungsgefäß 3 von einer Wandseite zur anderen erstrecken. Diese Haltestäbe sind an mindestens einer Seite an der Wandung 3 befestigt, beispielsweise festgeschmolzen. Mindestens einer dieser Halte­ stäbe 16, 17 ist als hohler Pumpstengel 17 ausgebildet, der an einer Stelle mit einem Abschnitt 19 aus dem Entladungsgefäß 2 herausragt und im Entla­ dungsgefäß 2 mindestens eine, vorzugsweise mehrere, Öffnungen 20 auf­ weist. Auch bei dieser Version ist es sinnvoll, wenn mehrere solcher Stäbe 16, 17 in der Längserstreckung der Wendel 6 hintereinander verwendet werden.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 wird wiederum ein axial ver­ laufendes Stützrohr 9 verwendet. Dieses axial verlaufende Stützrohr 9 wird von mehreren radial verlaufenden Querstützen 18, welche sich zwischen dem Stützrohr 9 und der Seitenwandung 3 des Entladungsgefäßes 2 erstrek­ ken, gestützt.

Bei einem weiteren nicht dargestellten Ausführungsbeispiel verläuft das axi­ al verlaufende Stützrohr nicht innerhalb der Wendel 6 sondern außerhalb der Wendel 6. Somit ist auch die innere wendelförmige Elektrode 6 vom Entladungsraum durch ein Dielektrikum, nämlich die Wandung des Stütz­ rohrs, getrennt. Eine derartige Lampe bietet sich für einen bipolaren Betrieb an. Eine weitere Alternative besteht darin, die Elektrode vollkommen mit dielektrischem Material zu umgeben, beispielsweise die Elektrode in dielek­ trisches Material einzuschmelzen. Hierbei kann die Elektrode wiederum eine beliebige Form aufweisen. In diesem Fall wird die Elektrode quasi in die Hal­ terung integriert.

Claims (18)

1. Verfahren zur Herstellung einer Entladungslampe (1) mit einem mit einem Entladungsmedium gefüllten Entladungsgefäß (2) und mit einer im Entladungsgefäß (2) von den Gefäßwänden (3) beabstandet verlau­ fenden Elektrode (6), wobei bei der Herstellung des Entladungsgefäßes (2) ein Pumpstengel am Entladungsgefäß (2) angebracht wird, durch welchen das Entladungsgefäß (2) evakuiert und/oder mit dem Entla­ dungsmedium befüllt wird, und welcher anschließend dicht verschlos­ sen wird, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Entladungsgefäß (2) ei­ ne Halterung (10, 14-18) aus nichtleitendem Material angeordnet wird, welche die Elektrode (6) an einer vorgegebenen Position im Entla­ dungsgefäß (2) fixiert, und diese Halterung (10, 14-18) oder ein Teil dieser Halterung (10, 14-18) als Pumpstengel oder Teil eines Pump­ stengels ausgebildet und verwendet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der als Pumpstengel dienende Teil der Halterung (10) in Form eines Rohrs (9) ausgebildet wird, welches mit einem Ende durch eine Wandung (4) des Entladungsgefäßes (2) in das Entladungsgefäß (2) hineinragt.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in die Wandungen des Rohrs (9) entlang seiner Längserstreckung im Entla­ dungsgefäß (2) eine die Rohrwandung durchdringende Öffnung (11) eingebracht wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (6) eine längliche, sich im wesentlichen in eine Haupterstrek­ kungsrichtung erstreckende Form aufweist.

5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Halterung (10) ein langgestrecktes in der Haupt­ erstreckungsrichtung der Elektrode (6) verlaufendes Stützelement (10) aufweist, welches die Elektrode (6) auf mindestens einem Teilbereich unterstützt.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Stütz­ element (10) als Stützrohr (9) ausgebildet ist, welches als Pumpstengel verwendet wird.

7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (6) und/oder das Stützelement (10) so angeordnet werden, daß die Elektrode (6) zumindest auf einem Teilbereich ihrer Längs­ erstreckung wendelförmig um das Stützelement (10) herum verläuft.

8. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Entladungsgefäß (2) zylinderförmig ist und die Elek­ trode (6) und/oder das Stützelement (10) entlang der Zylinderachse ausgerichtet werden.

9. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Stützelement (10) von einer einem Lampensockel (5) gegenüberliegenden Stirnseite in das Entladungsgefäß (2) hineingeführt und in oder an der Stirnwand (4) befestigt wird.

10. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Stützelement (10) mit einem sich quer zur Längsrich­ tung des Stützelements erstreckenden Haltevorsprung (12) oder einer Halteausnehmung versehen wird.

11. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß als Halterung oder Teil der Halterung zwischen der Elek­ trode (6) und/oder einem Stützelement (9, 10) und einer Gefäßwan­ dung (3) ein sich quer zur Haupterstreckungsrichtung erstreckender Abstandshalter (14, 15) angeordnet wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Ab­ standshalter (15) eine quer zur Haupterstreckungsrichtung der Elektro­ de (6) angeordnete, sich zwischen den Gefäßwänden (3) erstreckende Haltescheibe (15) verwendet wird, durch welche die Elektrode (6) und das Stützelement (9, 10) an einer vorgegebenen Position hindurch ver­ läuft.

13. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Elektrode in Form einer strukturierten, leitfähigen Be­ schichtung auf die Halterung aufgebracht wird.

14. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Elektrode zumindest teilweise innerhalb zumindest eines Teils der Halterung angeordnet wird.

15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Elek­ trode zumindest teilweise innerhalb eines Stützrohres angeordnet wird.

16. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Elek­ trode zumindest auf einem Teilbereich ihrer Lampenstreckung wendel­ förmig innerhalb des Stützrohrs verlaufend angeordnet wird.

17. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Halterung aus Glas, Quarzglas oder Keramik herge­ stellt wird.

18. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Entladungslampe (1) für dielektrisch behinderte Ent­ ladungen ausgelegt wird.