TW493202B - Method to manufacture a discharge-lamp with electrode-holder - Google Patents

Description

493202 A7 __ B7 五、發明說明（0 技術領域 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明涉及一種放電燈之製造方法，此放電燈包括： 一個放電管（其中塡入一種放電介質）及一個在放電管中 與管壁相隔開而延伸之電極。在製造放電管時一種泵桿 安裝在放電管上，藉此泵桿可使放電管被抽成真空及/ 或以放電介質塡入且放電管隨後被封閉。 先前技藝 在製成放電管時，一種小管或類似物被一起熔化成泵 桿，此泵桿經由放電管壁而突起。在放電管密封至泵桿 之後，在泵桿上由外部連接一個真空泵且放電管被抽真 空至所期望之欠壓（under pressure)。然後此放電管藉 由泵桿而以放電介質（通常是氣體或氣體混合物）塡入。 此氣體放電管中之氣體比例適當地調整之後，形成此泵 桿所用之小管熔合於放電管之外部（通常是較靠近放電 管處），以便完全真空密閉此封閉整個放電管。通常須 使泵桿安裝於放電管上，使泵桿不伸入於放電管之內壁。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一種特殊形式之放電燈是一種具有介電質阻障式放電作 用之放電燈。電極及/或反電極或多個反電極藉由至少一 種介電質而與放電管內部中之放電現象相隔開。但本發明 不限於此種介電質阻障式放電用之放電燈。 在此種放電燈中，在電極和反電極（其可能存在於放電 管中或放電管管上）之間施加一種電壓，這樣在放電介質 中在電極和反電極之間即會造成一種放電現象。在此種放 電中會釋放一種非調諧性（incoherent)之光束。依據放電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 493202 A7 B7 五、發明說明（2) 燈之構造且特別是依據放電介質之形式而可發出紫外或紅 外光或可見。此種燈例如已描述在DE 1 96 36 965 A1中。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在所謂以雙極性和所謂以單極性操作之放電燈之間須加 以區別。 在單極性放電燈中，二個電極中之一永久性地形成陽性 ，而另一個電極則形成陰極。因此，藉由介電質使陽極與 放電現象相隔開即已足夠。放電管壁此處亦可用作介電質 。在此種情況下放電管中只存在陰極，陽極則安裝在放電 管壁外部。此時陽極可爲金糊（paste)或鉑糊所構成之條 片，其直接施加在管壁上。 在雙極性放電燈具，此二個電極不會互相突顯出來，此 二個電極是由介電質所屏蔽。藉由適當之電壓切換，則其 中一個電極一下子形成陽極而另一個電極另一瞬間亦形成 陽極。此放電燈較佳是以有限序列之最短之電壓脈波（其 具有較大之重複頻率）來供電。這可參閱W0 94/ 23442。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 已很淸楚的是：一種成功且有效之放電是與電極至反電 極之距離有關。這在放電燈中特別是與介電質阻障式放電 有關，其中此效率是與放電管中放電區之正確幾何形成很 有關係。由於此種與電極幾何形狀之相關性，則電極位置 之很小之改變會使放電燈之效率大大地減少。 本發明之描沭 本發明之目的是提供一種成本有利且簡易之方法以製造 此放電燈，其中在製造時以及後來使用中均可確保此電極 有正確之位置。 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）~" "" 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 493202 A7 B7 五、發明說明（3) 此目的是以下述方式達成：在放電管中配置一種由非導 電性材料所構成之支件，其可使電極固定在放電管中一預 定之位置，且此支件或此支件之一部份是以泵桿或泵桿之 一部份構成或用作泵桿。 依據本發明，在製造此放電燈時所需之泵桿同時用作支 件或支件之一部份。因此在製造期間以及後來使用時可對 此電極作可靠之定位，> 這樣可使額外之步驟最少化或完全 不需要額外之步驟。即藉由本發明之方法不會使生長成本 太貴或只貴一些。 該支件或該支件之作爲泵桿用之部份在原理上可具有任 意之形式，其適合用來固定此電極或支撐此電極。爲了用 作泵桿，只須使此支件之相對應之部份具有一種由外向 內徑過此放電管之開口且可密閉地連接此真空-及塡料設 備。 在本發明之方法之較佳實施形式中，此支件之用作泵桿 之部份是以一種管構成，其一端經由放電管壁而伸入放電 管中。基本上只須使目前使用之一般泵桿延長即可。 若電極具有一*種長形之在主延伸方向中延伸之形式’則 上述方法是特別有利的。可構成此支件，使其具有一種縱 向延伸之在電極之主延伸方向中延伸之支持件，其至少在 一個部份區域中支撐此電極。此支持件及電極是共軸的或 互相平行而對準。 在此種情況下，可使用上述向內延長之泵桿作爲支持件 或支持管。因此，藉由此管向內伸入至放電管中而至電極 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------訂·--------線— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 叩3202 A7 —_______B7____ 五、發明說明（4) 所形成之此種配置可使電極獲得簡易且可靠之支撐。 當然亦可使用其它形式之支持件’例如’長形’板形之 支持件或類似之支持件’其設有適當之管件或具有適當之 鑽孔。電極同樣可具有任意之形式’因此可爲長條形’波 形（例如，正弦形式，鋸齒形）’螺旋形或其它類似形狀。 在特別有利之實施形式中’電極至少在縱向延伸之部份 區域中以螺旋形式圍繞該支持件而延伸。此種螺旋式電極 以及因此而形成之放電結構之優點已顯示在 DE 196 36 965 A1 中。 此電極可以已適當地結構化之導電層（例如，由金糊或 鉑糊所構成）形成而施加在該支件或該支件之元件上。因 此，以此種方式可施加一種螺旋形之內電極於一種在此 電極之延伸方向中延伸之支持棒上或支持管上。條形，波 形或齒形電極例如可施加在長形或板形之支持件上。 在特別有利之實施形式中，其可涉及一種圓柱形之放電 管，其具有一種沿著圓柱軸而延伸之內電極及一種支持件 ，其因此涉及一種具有集中式或同心式中央電極之放電燈 。因此，在放電管壁上施加多個平行於圓柱軸而延伸之條 形反電極。以此種方式可有效地使用整個放電空間，此時 可較簡易地產生所需之幾何配置。在該中央電極製造期間 及持續地操作時正確地確定中心或同心位置時所產生之問 題是藉由本發明來解決。 該支持件（其形式可爲一種作爲泵桿用之支持管）較佳是 可由面對燈座之正面伸入放電管中且固定在相對應之正側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------訂---------線—AWI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 493202 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（5) 壁上。特別是在較長之放電管中，一種二側式底座是有利 的。此種泵桿之此側亦可搭接一種底座。 當然後支持件或該管亦可很長，使電極支撐在整個長度 上。 較佳是在此支件管中沿著縱向延伸方向安裝一個或多個 穿過此管壁之開口，這些開口位於放電管之內部。經由這 些開口，這些開口位於放電管之內部。經由這些開口可較 佳地且有效地對放電管進行抽氣或塡料。 此放電管在較佳之實施形式中可藉由擠壓法而密封在一 側上。一種金屬箱一起被埋入，此金屬范作爲內電極用之 電性引導用。內電極固定在金屬箔（例如，以焊接方式固 定）且其一部份是與一個末端一起被擠壓，使此電極可藉 由擠壓而固定在一個側面上。 爲了防止此電極在該支持件之縱向中移動，則此支持件 可有利地具有一種垂直於此支持件之縱向而延伸之固定凸 起或固定凹口。此種固定凸起可以是一種粒結，鼻件或刺 狀物等等，而該固定凹口可以是一種導槽或類似物。藉由 此種粒結或鼻件，例如可確保一種螺旋線（其圍繞該支持 管而延伸或沿著一種支持棒而延伸）不會發生縱向偏移。 該支件之另一種實施形式是··在電極和放電管壁之間垂 直於電極之主延伸方向中存在著一種間隔支件。此種間隔 支件是一種鈎形之元件，小管或一種銷’其固定在放電管 壁上且使電極支撐在其位置中。較佳是沿著此電極之主縱 向延伸方向而使用多個此種間隔支件。爲了能達成泵桿之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂---------線— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 493202 A7 B7 五、發明說明（6) 功能，則在至少一個間隔支件中當然必須設置一個相對應 之鑽孔。 當然亦可使用一種管形之支持件以及另一個與其垂直而 延伸之間隔支件。這特別是在製造很長之燈具時是需要 的。 在較佳之實施形式中，固定該支持件所用之上述之另一 個間隔支件是一種垂直於電極之主延伸方向而配置之在放 電管壁之間延伸之支持圓板，經此圓板使電極及插塞件在 一預定之位置上穿過而延伸。藉由此種支持圓板，則可在 每一方向中確保一種穩固定之定位作用。 圖式之描述 本發明以下將參考附圖依據實施例來詳述。所示之特徵 不只可以上述方式組合，而且亦可單獨或以其它方式組合 都具有，而且亦可單獨或以其它方式組合都具有創新性。 圖式簡單說明： 第1圖 具有圓柱形放電和軸向中心電極之放電燈之側 視圖，此電極由一種支持管所固定。 第2圖是第1圖之放電管之橫切面，其具有一個支持 管及另一個間隔支件形式之支件。 第3圖是第1圖之放電管之橫切面，其具有一個支持 管及另一個支持圓板形式之支件。 第4圖是第1圖之放電管之橫切面，其具有另一種由 多個在放電管壁之間垂直延伸之支持棒所構成之支件，其 中一個支持棒用作泵柱。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂-------！線— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 493202 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7) 第5圖 是第1圖之放電管之橫切面，其具有一種軸向 延伸之支持管及多個徑向延伸之橫向支件。 第1圖是本發明放電燈之第一實施例。放電燈1具有由 石英玻璃構成之放電管2，放電管2固定在底座5之一側 上。 放電管2之內部是以放電介質塡入。本實施例涉及一種 準分子（excimer)放電燈，其內部塡入氣（Xe)。利用此種 準分子放電燈可以較高之效率產生一種VUV輻射，其在工 業上在淨化晶圓時用來產生臭氧或用來排水而保持淨化。 此燈在圓柱形放電管內含有一種位於中心之螺旋形電極 6，其是一種陰極且處於一種負的高壓位準。放電管2之外 側存在多個平行於圓柱軸而延伸之條形電極7，其是一種 陽極，其藉由放電管2之壁3而與放電空間相隔開。此種 燈因此用於介電質阻障式放電中。 此燈1具有一個軸向支持管9以作爲支件1 0，其由面對 此燈座5之正側壁4而伸入此放電管2之內部。螺旋形之 電極6有一部份是圍繞此支持管9而延伸。爲了防止螺旋 形電極6在軸向中偏移，則須在支持管9上一種粒結形式 之固定凸起12。 此支件由非導電性材料（例如，玻璃，石英玻璃或陶瓷） 所構成。 首先，此放電管2在面對此燈座之正側壁4上封閉，此 支持管9密封在正側壁4中之中央開口 8中且被固定。爲 了形成此正側壁4及此密封之支持管9，則須對敞開（open ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 493202 A7 B7 五、發明說明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之圓柱形放電管加熱且此支持管9藉由適當之輔助劑而固 定，圓柱形壁在加熱作用下向內縮。但此種密封亦藉由褅 壓法達成。 然後此底座區內部中之螺旋線6在真空密封此圓柱形放 電管2時一起被擠壓（圖中未示出）。此螺旋線6藉由支持 管9而固定在相面對之正側壁4之區域中。 爲了施加此螺旋線6至支持管9上或安裝此支持管9於 螺旋線6中，此螺旋線6須以螺栓固定於支持管9上，此 固定凸起1 2可在螺距之間移動。 此支持管9同時用作泵柱，其方式是藉由支持管9來對 放電管2進行泵抽且經由此管9而以氣體塡入。在較長之 放電管中重要的是沿著支持管9而在此管之各側壁中配置 至少一個（較佳是多個）開口 1 1，以便可對此放電管進行一 種快速且有效之泵軸作用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此支持管9當然不只可固定在正側壁4中，而且亦經由 整個放電管2直至底座區5中而延伸且需要時亦可固定在 底座區5中之正側壁中，這例如在製造時可同時被擠壓而 達成。螺旋線亦可藉由導電式（例如，金糊，鉑糊或類似物） 而施加在支持管9上。在一種連貫式支持管9(其一起在底 座區中被擠壓）中，若電極6在擠壓在擠壓區中由一條線或 金屬箔所構成且在擠壓位置上方之放電管2內部中此電極 由支持管9上之已結構化之導電層所構成時是有利的’當 然此螺旋線之由該線或金屬箔所構成之下部區以及此螺旋 線之上部區可互相接觸著。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 外3202 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（9) 由於本發明之支件，則可依據第1圖之實施例以幾乎任 意之長度來形成此燈。目前在不設置此種支件時可製成之 最大長度是20cm而不會使電極6之穩固性受到危害。硏究 結果顯示目前以本發明之方式可製成較85cm還長之燈。 第2 - 5圖分別顯示此支件之其它實施例。 在所示之實施例中，支持管9較長。在另一未顯示之實 施例中，此支持管只有2公分（cm)長且只在末端區域中支 撐1 2 c m長之螺旋線。 在第2圖所示之實施例中，其是一種鈎形之間隔支件14 ，其在末端處固定在放電管壁3上（例如，以熔合固定方 式）且此支持管9在垂直於延伸方向中另外被固定，爲了以 此種方式使此支持管9及螺旋線6穩定地固定在較長之區 段上，則可沿著縱向延伸方向配置多個此種間隔支件14， 這可有利地在不同之徑向方向中向外延伸。此種間隔支件 之小鈎1 4相互間之距離有利大小是1 5 cm。 第3圖是以連貫式固定圓板1 5作爲間隔支件，該支持管 9及螺旋線6經由此固定圓板1 5之中央而延伸。此固定圓 板1 5除了針對放電管壁3來支撐所有側面之外亦可支撐此 支持9及螺旋線6。 第4圖顯示一種支件，其形式是二個在螺旋線6之縱向 中依序延伸之固定棒1 6，1 7，其垂直於放電管3而由一個 壁側延伸至另一個壁側。這些固定棒以至少一端固定至壁 面3(例如，以熔合方式固定）。這些固定棒16，17中至少 一種是以中空之泵桿Π構成，此泵桿1 7在一個位置處以 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------------訂---------線--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 493202 A7 B7 五、發明說明（3 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一個區段19由放電管2中突出且在放電管2中具有至少一 個（較佳是多個）開口 2 0。在此種形式中若多個棒1 6 ’ 1 7依 序使用在螺旋線6之縱向延伸方向中時是有利的。 在第5圖之實施例中亦使用一種軸向延伸之支持管9。此 種支持管9由多個徑向延伸之橫向支件1 8 (其在支持管9和 此放電管2之側壁3之間延伸）所支撐。 在其它未顯示之實施例中，軸向延伸之支持管不是在螺 旋線6內部中延伸而是在螺旋線6外部延伸。因此，螺旋 形之內電極6藉由介電質（即，支持管之壁面）而與放電空 間相隔開。此種燈可用於雙極性操作中。其它可能之方式 是：此電極可完全由介電質材料所圍繞，例如，使此電極 熔合於介電質材料中。此電極亦可具有任意之形式。在此 種情況下此電極可近似於（guaS1)整合在此支件中。 符號之說明 1 ......放電燈 2 ......放電管 3 ......放電管壁 4 ......正側壁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 ......燈座 6，7 ....電極 8 ......開口 9 ......支持管 10 .....支件 12.....固定凸起 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 493202 A7 B7 五、發明說明（ll) 14 .....間隔支件 15 .....固定圓板 16,17.....固定棒 18 .....橫向支件 19 .....區段 20 .....開□ -------------------訂---------線！# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 第891 233 1 5號「具有電極支件之放電燈之製造方法」專利案 (91年3月修正） 六申請專利範圍 1. 一種放電燈（1)之製造方法，此放電燈包含··一個以放電 介質塡入之放電管（2); —個在放電管（2)中與放電管壁（3) 相隔開而延伸之電極（6)，在製造此種放電管（2) 時於 放電管（2)上施加一種泵桿，藉此泵桿使放電管（2)被抽成 真空及/或以放電介質塡入此放電管（2)中，然後密封此 放電管，本方法之特徵爲：在放電管（2)中配置一種由非 導電性材料所構成之支件（10，14-18)，此支件使電極（6) 固定在放電管（2)中一種預定之位置處，且此種支件（1〇， 14-18)或此種支件（10，14-18)之一部份構成（且用作）此泵 桿或用作此泵桿之一部份。 2. 如申請專利範圍第1項之製造方法，其中此支件（丨0)之作 爲栗桿用之此部份是以管（9)之形式構成，此管（9)以一個 末端經由放電管（2)之管壁（4)而伸入放電管（2)中。 3. 如申請專利範圍第1或2項之製造方法，其中在此管（9) 之壁中沿著其縱向延伸方向而在放電管（2)中安裝一個穿 過管壁之開口（11)。 4. 如申請專利範圍第1項之方法，其中此電極（6)具有一種 長形之在主延伸方向中延伸之形式。 5·如申請專利範圍第1或2項之製造方法，其中此支件（10) 具有一種在電極（6)之主延伸方向中以縱向方式延伸之支 持件（10)，此支持件在至少一個部份區域上支撐此電極 493202 六、申請專利範圍 (6) 〇 6·如申請專利範圍第5項之製造方法，其中此支持件（1〇)是 以支持管（9)構成，其用作泵桿。 7·如申請專利範圍第5項之製造方法，其中須配置此電極（6) 及/或此支持件（1〇)，使此電極（6)至少在其縱向延伸之 部份區域上以螺旋線形式環繞此支持件（10)而延伸。 8·如申請專利範圍第1或2項之製造方法，其中此放電管（2) 是圓柱形的且此電極（6)及/或此支持件（1〇)沿著圓柱軸 而對準。 9·如申請專利範圍第1或2項之製造方法，其中此支持件（10) 由一個面對燈座（5)之正側伸入放電管（2)中且固定在正側 壁（4)中或其上。 10. 如申請專利範圍第7項之製造方法，其中此支持件（10)由 一個面對燈座（5)之正側伸入放電管（2)中且固定在正側壁 (4)中或其上。 11. 如申請專利範圍第1或2項之製造方法，其中此支持件（！ 0) 設有一種垂直於此支持件之縱向而延伸之固定凸起（12)或 固定凹口。 1Z如申請專利範圍第7項之製造方法，其中此支持件（1〇)設 有一種垂直於此支持件之縱向而延伸之固定凸起（12)或固 定凹口。 ΊΟ六Π由 493202 六、申請專利範圍 件之一部份。 14.如申請專利範圍第13項之製造方法，其中使用一種垂直 於電極（6)之主延伸方向而配置之在放電管壁（3)之間延伸 之固定圓板（15)作爲間隔支件，電極（6)和支持件（9，10) 在一預定之位置經由此固定圓板（15)而延伸。 15·如申請專利範圍第14項之製造方法，其中此電極以一種 已結構化之導電層而施加在支件上。 16·如申請專利範圍第15項之製造方法，其中此電極至少一 部份配置於此支件之至少一部份之內部中。 17·如申請專利範圍第14項之製造方法，其中此電極至少一 部份配置於一種支持管之內部中。 18·如申請專利範圍第15項之製造方法，其中此電極以螺旋 方式在支持管之內部中延伸且至少配置在其燈之延伸方 向之部份區域上。 19·如申請專利範圍第15項之製造方法，其中此支件是由玻 璃，石英玻璃或陶瓷所製成。 20·如申_利範圍第U 2項之製造方法，其中此放電燈⑴ 是用於介電質阻障式放電中。