KR100465607B1 - 방전 램프 제조방법 - Google Patents

방전 램프 제조방법 Download PDF

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KR100465607B1
KR100465607B1 KR10-2001-7008550A KR20017008550A KR100465607B1 KR 100465607 B1 KR100465607 B1 KR 100465607B1 KR 20017008550 A KR20017008550 A KR 20017008550A KR 100465607 B1 KR100465607 B1 KR 100465607B1
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Abstract

본 발명은 유전체 장벽 방전을 위해 바람직하게 구성되는 방전 램프(1)를 생산하기 위한 방법과 관련된다. 지지부는 상기 방전 램프(1)의 방전관(2)내에 전극(6)을 세트시키고 고정시키기 위하여 사용되며, 상기 전극은 관 벽(3)으로부터 멀리 떨어져 놓여진다. 상기 지지부는 동시에 펌핑 막대 (pumping rod)로서 작용한다.

Description

방전 램프 제조방법{DISCHARGE LAMP COMPRISING AN ELECTRODE SUPPORT}
방전관의 벽을 관통하여 돌출하는 작은 관 또는 그와 같은 것은 방전관의 생산 동안에 배기관으로서 통상적으로 통합된다. 방전관이 배기관과 별도로 밀봉된 후에, 방출 펌프(evacuating pump)가 배기관에 외부적으로 연결되고, 방전관은 목적하는 감소된 압력으로 배기된다. 그 후에 방전관은 배기관을 통하여 일반적으로 가스 또는 가스 혼합물인 방전 매체로 충전된다. 방전관내의 가스 상태가 적당히 조절된 후에, 배기관을 형성하는 작은 관은 완벽히 밀폐된(vacuum-tight) 형태로 방전관을 봉인하기 위하여, 방전관의 외부에, 일반적으로 방전관에 비교적 가깝게 용융된다. 배기관은 통상적으로 방전관 내부까지 돌출하지 않는 방식으로 방전관에 제공된다.
유전체 장벽 방전에 의한 방전 램프는 특별한 형태의 방전 램프이다. 이러한 경우에, 전극 및/또는 하나의 반대 전극 또는 다수의 반대 전극은 적어도 하나의 유전체에 의해 방전관 내부에서의 방전으로부터 분리된다. 본 발명은 배타적이지는 않지만 유전체 장벽 방전을 위한 그러한 방전 램프에 바람직하게 적합하다.
그러한 방전 램프에서, 전압은 전극과 방전관의 내부 또는 방전관 상에 위치한 반대 전극 사이에 인가되어, 그 결과 방전 매체 내에서 상기 전극과 상기 반대 전극 사이에 방전이 발생한다. 이러한 방전동안에 인코히어런트 복사(incoherent radiation)가 방출된다. 램프 설계의 형태, 그리고 특히 방전 매체에 따라 자외선 또는 적외선 복사 또는 가시광선이 복사된다. 그러한 램프는 예를 들면, DE 196 36 965 A1에서 상술된다.
소위 바이폴라 모드(bipolar mode)와 소위 유니폴라 모드(unipolar mode)에서 동작되는 방전 램프는 구별된다.
유니폴라 방전 램프의 경우에, 두 전극 중 하나는 영구적으로 양극(anode)을 형성하고, 다른 전극은 음극(cathode)을 형성한다. 그리고 나서, 유전체에 의해 양극은 방전으로부터 충분히 분리된다. 관벽은 이를 위한 유전체로서 사용될 수도 있다. 이 경우에, 단지 음극만이 방전관 내에 위치되는 반면에, 양극 또는 양극들은 방전관의 관벽에 외부적으로 제공된다. 예를 들면, 이러한 것들은 방전관의 관벽에 직접 도금된 금 또는 백금 페이스트의 스트립(strip)을 포함한다.
바이폴라 방전 램프의 경우에, 두 개의 전극은 서로 구별되지 않으며, 둘 다 유전체에 의해 가려진다(screen). 대응하는 전압 교번(alternation)에 의해, 우선 한 전극, 그리고 나서 다른 전극이 양극을 형성한다. 바람직하게, 방전 램프에는 반복 고주파수에서 대체로 극히 짧은 전압 펄스의 제한되지 않은 시퀀스가 공급된다. 이러한 내용은 WO 94/23442에서 참조된다.
성공적이고 효율적인 방전은 전극에서 반대 전극까지의 거리와 관련된다는 것은 명백하다. 이것은 유전체 장벽 방전을 갖는 방전 램프의 경우와 특히 관련되며, 효율은 방전관내의 방전 영역의 정확한 형상에 매우 의존한다. 전극 형상의 의존도 때문에, 전극 위치의 작은 변화조차도 방전 램프의 큰 효율 감소를 가져온다.
본 발명은 방전 매체로 충전된 방전관을 가지며, 상기 방전관내의 관벽으로부터 떨어져서 놓여진 전극을 갖는 방전 램프를 생산하기 위한 방법에 관한 것으로, 상기 방전관의 생산 동안에 상기 방전관은 배기관을 통하여 상기 방전 매체가 배기 및/또는 충전되고, 이어서 배기관은 밀봉되어 상기 방전관에 제공된다.
도 1은 원통형 방전관, 및 지지관에 의해 유지되는 축형 중심 전극을 갖는 방전 램프의 도식적인 측면도를 나타낸다.
도 2는 지지관과 스페이서 형태의 추가적인 프레임을 갖는, 도 1에 따른 방전관의 횡단면을 나타낸다.
도 3은 지지관과 유지 디스크 형태의 다른 추가 프레임을 갖는, 도 1에 따른 방전관의 횡단면을 나타낸다.
도 4는 방전관의 관벽 사이에 가로방향으로 놓여지는 다수의 유지 막대와 배기관으로 사용되는 것 중 하나를 포함하는 다른 프레임을 갖는, 도 1에 따른 방전관의 횡단면을 나타낸다.
도 5는 중심축에 놓여지는 지지관과 방사상으로 놓여지는 다수의 횡단 지지부를 갖는, 도 1에 따른 방전관에 따른 횡단면을 나타낸다.
본 발명의 목적은 생산과 그 후 사용동안에 전극의 정확한 배치가 보장되는 방전 램프를 생산하기 위한 저렴하고 간단한 방법을 제공하기 위한 것이다.
이러한 목적은 방전관 내의 미리 결정된 위치에 전극을 고정시키는 비전도성 물질로 이루어진 프레임이 방전관 내에 배열되고, 이러한 프레임 또는 이러한 프레임의 일부가 배기관 또는 배기관의 일부로서 설계되고 사용됨으로써 달성된다.
본 발명에 따르면, 방전 램프의 생산을 위해 요구되는 배기관은 프레임 또는 프레임의 일부로서 작용하기 위하여 동시에 사용된다. 생산과 그 후의 사용동안에 전극의 신뢰성 있는 위치 지정이 가능하고, 그리고 추가적인 방법 단계가 최소화될 수 있거나, 또는 추가적인 방법 단계가 회피될 수도 있다. 다시 말하면, 본 발명에 따른 방법에 의해 생산비용은 증가되지 않거나 또는 단지 조금 증가된다.
배기관으로서 사용되는 프레임 또는 프레임의 일부는 대체로 전극을 고정하거나 또는 지지하기에 적합한 임의의 형태를 가질 수 있다. 배기관으로서의 사용을 위하여, 프레임의 대응하는 일부가 외부로부터 방전관 내부로 통과하는 개구부와 방출 및 충전 시스템의 밀폐된 연결 가능성을 갖는 것만이 필요하다.
본 발명에 따른 방법의 바람직한 실시예에서, 배기관으로 사용된 프레임의 일부는 관 형태로 설계되며, 배기관은 방전관의 벽을 관통하는 일단부에 의해 방전관 안으로 돌출한다. 이러한 목적으로, 이제까지 사용된 통상적인 배기관을 연장시키는 것만이 기본적으로 필요하다.
이러한 방법은 특히, 전극이 주 확장 방향(main extending direction)으로 연장하는 긴 형태를 가질 때 유리하다. 프레임은 전극의 주 확장 방향으로 연장하며, 적어도 하나의 보조 영역에 걸쳐 전극을 지지하는 길게 연장된 지지요소를 갖도록 설계될 수 있으며, 상기 지지요소와 전극은 서로 동축으로 또는 평행하게 정렬된다.
이러한 경우에서, 전술된 내부로 연장된 배기관은 지지 요소 또는 지지관으로서 사용될 수 있다. 전극에 대하여 방전관 내부로 돌출하는 지지관의 대응 배열에 의하여, 전극의 간단하고 신뢰성 있는 지지를 보장하는 것이 가능하다.
물론, 지지 요소는 다른 방식으로 형성될 수도 있다. 예를 들면, 대응하는 지지관 일부가 제공되거나 또는 대응하는 구멍을 갖는 길게 연장된 판 모양의 지지 요소 또는 그와 같은 종류로 형성될 수 있다. 또한, 전극은 목적하는 형태를 가질 수도 있다. 이를테면, 길이 형태의 스트립, 파형 예를 들면 사인 형태(sine shape), 지그재그로된 전극, 코일 또는 그와 같은 종류를 포함한다.
특별히 바람직한 실시예에서, 전극은 적어도 길이 방향의 보조영역상의 지지 요소 주위에 코일 형태로 놓여진다. 이러한 코일 전극의 이점과 방전의 결과 생기는 구조의 이점은 종전에 인용된 DE 196 36 965 A1에 나타난다.
전극은 구조화된 도전 코팅 예를 들면, 금 또는 백금 페이스트의 형태로 프레임 또는 프레임의 요소에 제공될 수 있다. 이를테면, 코일형태의 내부 전극은 전극의 확장방향으로 연장하는 지지 막대 또는 지지관에 이러한 방식으로 제공될 수 있다. 스트립, 파형 또는 지그재그의 형태로 된 전극은 예를 들면 길게 연장된 판 모양의 지지 요소에 제공될 수 있다.
특정한 바람직한 실시예에서, 방전관은 원통 축을 따라 연장하는 내부 전극 및 지지 요소를 갖는 원통형이다. 그 결과, 방전 램프는 중심 또는 동심의 중앙 전극을 갖는다. 이러한 경우에 원통 축과 평행하게 연장하는 다수의 스트립 형태의 반대 전극이 관벽에 제공되기에 적합하다. 이러한 방식에서 전체 방전 공간은 효과적으로 사용될 수 있으며, 이를 위해 필요한 기하학적인 배열은 비교적 간단하게 생성된다. 그 후에 발생하는 생산과 일정한 동작동안에 중앙 전극의 정확한 중심 또는 동심 위치의 문제는 본 발명에 의해 해결된다.
배기관으로 사용되는, 예를 들면 지지관의 형태로 된 지지 요소는 램프 캡 반대편의 측단부에서 방전관 내부로 돌출하며, 대응하는 단부 표면에 고정된다. 그러나, 특히 상당히 긴 방전관의 경우에는 양 측면상의 캡핑(capping)도 유리하다. 배기관 측면은 캡에 의해 덮여진다.
물론, 지지 요소 또는 지지관도 전극이 전체적으로 지지될 정도로 충분히 길 수 있다.
바람직하게, 관벽을 관통하며, 방전관 내부에 위치한 하나 이상의 개구부가 길이방향을 따라 지지관에 형성된다. 이러한 개구부를 통하여, 방전관의 더욱 효율적인 펌핑과 충전이 가능하다.
바람직한 실시예에서, 방전관은 핀칭(pinching)에 의해 한쪽 측면이 봉인된다. 이러한 경우, 금속 박이 함께 매립되고, 내부 전극을 위한 전기 관통 접속(feed-through)으로 작용한다. 상기 내부 전극은 상기 금속 박에 고정되고 예를 들면 납땜되고 일단부에 부분적으로 함께 조여져서(co-pinch), 상기 전극은 상기 핀치 봉인(pinch seal)에 의해 한쪽 측면 상에 유지된다.
지지 요소의 길이 방향으로 전극이 변위되는 것을 막기 위하여, 상기 지지요소는 상기 지지 요소의 길이방향에 대하여 가로방향으로 연장되는 유지 돌출부(retaining projection)를 갖거나 또는 유지 리세스(retaining recess)를 갖는다. 상기 유지 돌출부는 대응하는 범프(bumps), 러그(lugs), 스파이크(spikes) 등을 포함하며, 상기 유지 리세스는 홈(groove) 또는 그와 같은 종류의 것이다. 그러한 범프 또는 러그를 사용하면, 지지관 또는 지지 막대 주위로 연장하는 도선 코일은 예를 들면 길이방향 변위에 대하여 매우 안전하게 고정된다.
프레임의 다른 실시예에서, 스페이서(spacer)가 전극의 주 확장 방향에 대하여 가로방향으로 전극과 관벽 사이에 놓여진다. 그러한 스페이서는 관벽에 고정되며 적당한 위치에서 전극을 유지시키는 고리모양 요소, 작은 관 또는 핀(pin)이 된다. 이러한 다수의 스페이서는 전극의 주 확장 방향을 따라 바람직하게 사용된다. 물론, 배기관으로서 기능할 수 있도록, 스페이서 중 적어도 하나에 대응하는 구멍이 형성되어야 한다.
물론, 전극의 주 확장 방향에 대하여 가로방향으로 연장하는 관 모양의 지지 요소 및 추가적인 스페이서를 사용할 수도 있다. 이것은 특히, 매우 긴 램프의 생산에 적합하다.
바람직한 실시예에서, 지지 요소를 고정시키기 위한 이러한 추가적인 스페이서는 유지 디스크이며, 상기 유지 디스크는 전극의 주 확장 방향에 대하여 가로방향으로 배열되며, 관벽 사이로 연장되고, 삽입 요소를 갖는 전극은 유지 디스크에 의해 미리 결정된 위치에 놓여진다. 그러한 유지 디스크는 모든 방향에서 신뢰성 있는 위치지정을 보장한다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조하고, 예시적인 실시예의 도움으로 이하에서 더욱 상세하게 설명될 것이다. 개시되어 있는 특징들은 상술된 결합뿐만 아니라 개별적으로 또는 다른 결합인 발명에도 필수적이다.
도 1은 본 발명에 따른 방전 램프의 제 1 실시예를 도시한다. 이러한 방전 램프(1)는 캡(5)의 한쪽 측면에 설치된 석영 유리로 만들어진 방전관(2)을 갖는다.
상기 방전관(2)의 내부는 방전 매체로 충전된다. 본 발명의 예시적인 실시예에서, 램프는 크세논(xenon)으로 충전된 엑시머(excimer)방전 램프이다. 그러한 엑시머 방전 램프를 사용하면, VUV 복사가 고효율로 생산되며, 이것은 예를 들면, 산업적으로 웨이퍼 세척용, 오존 생산용, 또는 물 오염 제어용으로 사용된다.
원통형 방전 디바이스 내부에, 상기 램프는 코일형태의 중심 전극(6)을 갖는다. 이것은 음의 고전압에서 음극이다. 상기 방전관(2)의 외부에는 상기 원통 축에 평행하게 연장하는 다수의 스트립 형태의 전극(7)이 있다. 이것들은 양극이다. 그것들은 상기 방전관(2)의 관벽(3)에 의해 방전 공간으로부터 분리된다. 따라서, 램프는 유전체 장벽 방전을 위해 설계된다.
프레임으로서, 램프(1)는 램프 캡(5) 반대편의 종단벽(4)으로부터 상기 방전관(2)의 내부로 돌출하는 축 방향의 지지관(9)을 갖는다. 상기 코일형태의 전극(6)은 부분적으로 이러한 지지관(9) 둘레에 감겨진다. 축 방향으로 코일형태의 전극(6)의 변위를 막기 위하여, 범프(bump) 형태로 된 유지 돌출부(retaining projection)(12)가 상기 지지관(9) 상에 형성된다.
상기 프레임은 비도전 물질 예를 들면 유리, 석영 유리 또는 세라믹으로 만들어진다.
상기 방전관(2)은 우선 캡 영역 반대편의 상기 종단벽(4)에서 봉인되며, 상기 지지관(9)은 상기 종단벽(4)내의 중앙 개구부(8)에서 밀봉 및 고정된다. 지지관(9)을 둘러싸고 있는 종단벽(4)을 형성하기 위하여, 개방된 원통관은 가열되고, 상기 지지관(9)은 적당한 보조기구에 의해 지지되며, 상기 원통 벽은 열의 영향으로 안쪽으로 수축한다. 그러나, 이러한 봉인은 핀칭에 의해 수행될 수도 있다.
그리고 나서, 상기 코일(6)은 원통형 방전관(2)의 진공 밀폐 봉인에 의해 캡 영역 내부에 함께 조여진다(미도시). 반대편의 종단벽(4) 영역에서, 코일은 상기 지지관(9)에 의해 유지된다.
상기 코일(6)을 상기 지지관(9)에 제공하기 위하여, 또는 상기 코일(6)속에 상기 지지관(9)을 삽입하기 위하여, 상기 코일(6)은 상기 지지관(9)에 감겨지며, 코일 감김 사이에서 움직이는 유지 돌출부(12)를 가진다.
상기 지지관(9)을 통하여 상기 방전관(2) 밖으로 가스를 배출하고, 상기 지지관(9)을 통하여 가스를 충전함으로써, 상기 지지관(9)은 배기관으로서 동시에 사용된다. 매우 긴 방전 램프의 경우에, 방전관의 신속하고 효과적인 펌핑을 허용하기 위하여, 지지관(9)의 측면에 상기 지지관(9)을 따라 적어도 하나, 바람직하게는 다수의 개구부(11)를 배열하는 것이 편리하다.
상기 지지관(9)은 종단벽(4)내에 수용될 수도 있을 뿐만 아니라, 전체 방전관(2)을 통하여 상기 캡 영역(5)까지 길게 연장될 수도 있으며, 예를 들면, 생산동안에 동시에 함께 성형되는 상기 캡 영역(5)내의 종단벽에 선택적으로 고정될 수도 있다. 상기 코일(6)은 실시예에서 도시된 대로 도선 코일이다. 그러나, 이와는 달리, 상기 코일은 예를 들면, 금 또는 백금 페이스트 또는 그와 같은 종류의 도전 페이스트에 의해 상기 지지관(9)에 제공될 수도 있다. 캡 영역 내에 함께 조여지는 연속적인 지지관(9)의 경우에, 핀치 영역내의 상기 전극(6)이 도선 또는 금속 박에 의해 형성되고, 상기 핀치 부분 위의 방전관(2) 내부에 형성된다면, 상기 전극은 상기 지지관(9)상에 구조화된 도전 코팅으로 구성되며, 하부 코일 영역은 도선 또는 금속 박으로 구성되고, 상부 코일 영역은 대응되게 서로 연결되는 것이 유리하다.
본 발명에 따른 프레임 때문에, 도 1에 의해 도시된 실시예에 따라 거의 그러한 길이로 램프를 생산할 수 있다. 현재, 그러한 프레임 없이 20㎝ 길이가 생산될 수 있으며, 상기 전극(6)의 신뢰성 있는 배치가 없다면 위험해진다. 실험을 기초로 하여, 85㎝ 이상의 길이를 갖는 램프가 본 발명에 따른 방식으로 현재 생산되고 있다.
도 2 내지 도 5는 프레임의 다른 실시예를 각각 보여준다.
도시된 실시예에서, 상기 지지관(9)은 비교적 길다. 다른 실시예에서(미도시), 지지관은 단지 약 2㎝ 이고, 약 12㎝ 코일을 종단부 영역에만 지지한다.
도 2에서 나타난 실시예는 관벽(3)에 일단부가 고정된, 예를 들면 일체로 용융된 고리 형태의 스페이서(14)를 포함하며, 추가적으로 확장방향에 대하여 가로방향으로 상기 지지관(9)을 고정시킨다. 매우 긴 거리에 걸쳐 이러한 방식으로 상기 코일(6)을 갖는 상기 지지관(9)을 신뢰성 있게 유지하기 위하여, 다수의 스페이서(14)가 세로 확장방향을 따라 배열되며, 스페이서는 다른 방향으로 방사상 밖으로 향하게 연장하기도 한다. 그러한 스페이서 고리(14) 사이의 적당한 거리는 약 15㎝이다.
도 3은 코일(6)을 갖는 지지관(9)이 중앙에 놓이는 연속적인 유지 디스크(15)를 스페이서로서 도시한다. 이러한 유지 디스크(15)는 관벽(3)에 대한 모든 측면 상에서 상기 코일(6)을 갖는 상기 지지관(9)을 추가적으로 지지한다.
도 4는 2개의 유지 막대(16, 17)의 형태로 된 프레임을 도시하고, 상기 유지 막대는 상기 코일(6)의 세로방향으로 연속적으로 연장하며, 한 측면에서 다른 측면으로 상기 방전관(3)을 통하여 가로방향으로 각각 연장된다. 이러한 유지 막대는 적어도 한 측면상의 상기 관벽(3)에 예를 들면 일체로 용융되어 고정된다. 이러한 유지 막대(16, 17) 중 적어도 하나는 한 지점에서 구획(19)을 거쳐 상기 방전관(2)으로부터 돌출하는 중공 배기관(hollow exhaust tube)(17)으로 설계되고, 상기 방전관(2)내에 적어도 하나, 바람직하게는 다수의 개구부(20)를 갖는다. 게다가 이러한 형태에서, 만약 다수의 그러한 막대(16, 17)가 상기 코일(6)의 세로방향으로 연속적으로 사용된다면 편리하다.
도 5에 따른 실시예에서, 축 형태로 연장하는 지지관(9)이 또 사용된다. 이러한 축 형태로 연장하는 지지관(9)은 방사상으로 연장하는 다수의 횡단 지지부 (18)에 의해 지지되며, 상기 횡단 지지부는 상기 지지관(9)과 상기 방전관(2)의 관벽(3) 사이로 연장된다.
다른 실시예에서(미도시), 상기 축 형태로 연장하는 지지관은 상기 코일(6) 내부가 아니라 상기 코일(6) 외부에 놓여진다. 그러므로, 내부 코일 형태 전극(6)은 유전체, 즉 상기 지지관의 관벽에 의해 방전 공간으로부터 분리된다. 그러한 램프는 바이폴라 동작에 적합하다. 이와 다른 방법은 전극을 유전 물질로 완전히 둘러싸는 것이다. 예를 들면, 전극을 유전 물질에 용융하는 것이다. 전극은 어느 목적하는 형태를 다시 가질 수 있다. 이러한 경우, 전극은 프레임에 준 통합(quasi-integrated)된다.

Claims (18)

  1. 방전 매체로 충전된 방전관(2)을 포함하며, 상기 방전관(2)내의 관벽(3)으로부터 떨어져서 연장하는 전극(6)을 포함하는 방전 램프(1)의 제조방법으로서,
    상기 방전관(2)의 생산 동안에 배기관을 통하여 상기 방전관(2)에는 상기 방전 매체가 배기 및/또는 충전되고, 이어서 상기 배기관은 밀봉되어 상기 방전관(2)에 제공되며,
    상기 방전관(2)내의 미리 결정된 위치에 상기 전극(6)을 고정시키는 비도전성 물질로 만들어진 프레임(9 및 14-18)이 상기 방전관(2)내에 배열되고, 상기 프레임(9 및 14-18) 또는 상기 프레임(9 및 14-18)의 일부가 배기관 또는 배기관의 일부로서 설계되어 사용되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    배기관으로 사용되는 상기 프레임의 일부가 관(9) 형태로 설계되고, 상기 관(9)은 상기 방전관(2)의 벽(4)을 통하여 일단부가 상기 방전관(2) 안으로 돌출하는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 관(9)의 벽을 관통하는 개구부(11)가 상기 관(9)의 벽에 상기 방전관(2)의 길이방향을 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전극(6)은 주 확장 방향으로 충분히 연장되는 길게 늘어난 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 전극(6)의 주 확장 방향으로 연장하며, 적어도 하나의 보조영역(sub-region)상에서 상기 전극(6)을 지지하는 길게 늘어난 지지 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 지지 요소는 배기관으로 사용되는 지지관(9)으로서 설계되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 전극(6) 및/또는 상기 지지 요소는 상기 전극(6)이 적어도 그 길이 방향의 보조영역상에서 상기 지지 요소 둘레를 코일 형태로 연장하는 방식으로 배열되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 방전관(2)은 원통형이며, 상기 전극(6) 및/또는 상기 지지 요소는 상기 원통 축을 따라 정렬되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지 요소는 램프 캡(5) 반대편의 단부로부터 상기 방전관(2) 안으로 제공되며, 종단벽(4) 내부 또는 종단벽(4)에 고정되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  10. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 지지 요소에는 상기 지지 요소의 길이방향에 대하여 가로로 연장하는 유지 돌출부(retaining projection)(12) 또는 유지 리세스가 제공되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  11. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 주 확장 방향에 대하여 가로로 연장하는 스페이서(14, 15)는 상기 전극(6) 및/또는 지지 요소와 관벽(3) 사이의 프레임 또는 프레임의 일부로서 배열되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    유지 디스크(retaining disk)(15)가 스페이서(15)로서 사용되며, 상기 유지 디스크(15)는 상기 전극(6)의 주 확장 방향에 대하여 가로로 배열되어 상기 관벽(3) 사이로 연장되며, 상기 전극(6)과 상기 지지 요소가 상기 유지 디스크를 통하여 소정의 위치에 놓여지는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  13. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전극은 구조화된 도전 코팅의 형태로 상기 프레임에 제공되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  14. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 전극은 상기 프레임의 적어도 일부 내부에 적어도 부분적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 전극은 지지관의 내부에 적어도 부분적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 전극은 적어도 램프 확장의 보조영역상에 배열되며, 상기 지지관 내부에서 코일 형태로 연장하는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  17. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 프레임은 유리, 석영유리 또는 세라믹으로부터 제조되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
  18. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 방전 램프(1)는 유전체 장벽 방전(dielectric barrier discharge)을 위해 설계되는 것을 특징으로 하는 방전 램프 제조방법.
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