JPH081671U

JPH081671U - 高出力ビーム発生装置

Info

Publication number: JPH081671U
Application number: JP004374U
Authority: JP
Inventors: フォンアルクスクリストフ; シュトゥッツシュテファン
Original assignee: Heraeus Noblelight GmbH
Current assignee: Heraeus Noblelight GmbH
Priority date: 1990-10-22
Filing date: 1996-05-21
Publication date: 1996-12-17
Anticipated expiration: 2006-10-22
Also published as: EP0482230B1; DE59009300D1; EP0482230A1; JP2580266Y2; US5283498A; JPH04264349A

Abstract

(57)【要約】【目的】当該モジュラー構成に基づき経済的に作製可
能、かつ、著しく大きな面状ビーム発生器の構成を可能
にする高出力ビーム発生器を実現することが本考案の目
的である【構成】ＵＶ高出力ビーム発生器において矩形状横断
面の石英成形体の内部に内部電極（７）を有する複数の
誘電体管（６）が設けられている。管の内部空間は放電
条件下でＵＶビームを発生する充填ガスで充填されてい
る。給電構成は次のようになされている、即ち、隣接す
る誘電体管（６）間で放電部（１７）が形成されるよう
になされている。この構成はコンパクト性、経済性、サ
ービス容易性のすぐれた特長がある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は放電条件下でビームを送出する充填ガスで充填された放電空間と、電極とを有し、該電極は対をなして１つ又は複数の高電圧源に接続されており、ここにおいて、異なった電位におかれている２つの電極間に誘電材が設けられており該誘電材は上記放電空間にｘ接している紫外線用高出力ビーム発生装置に関する。

【０００２】本考案は例えば、ヨーロッパ特許出願公開第０３６３８３２号公報に示されているような従来技術に係る。

【０００３】

【従来の技術】

次に技術的背景及び従来技術に就いて説明する。

【０００４】光化学的手法の産業上の利用度は適当なＵＶ（紫外線）−源の利用可能性に著しく依存する。旧来のＵＶ−発生器は幾つかの個別の波長例えば１８５ｎｍの場合水銀−低圧ランプ、殊に２５４ｎｍの場合、低い程度から中間程度のＵＶ−強度のビームを送出する。実際に高いＵＶ−出力は高圧ランプＸｅ，Ｈｇからのみ得られるが、それら高圧ランプはそれのビームを比較的大きな波長領域に亙って分布させる。新規なエキシマレーザでは光化学的基礎実験用の幾つかの新しい波長域が開発されたが、目下のところコスト上の理由から産業上のプロセスには例外的な場合においてしか適しない。

【０００５】前述のヨーロッパ特許出願中、又は議事録“ＮｅｕｅＵＶ− ｕｎｄＶＵＶ−Ｅｘｃｉｍｅｒｓｔｒａｈｌｅｒ”Ｕ．Ｋｏｇｅｌｓｃｈａｔｚ及びＢ．Ｅｌｉａｓｓｏｎ、著述、ドイツ化学者協会光化学部門講演第１０回会議、ヴユルツブルク（ドイツ連邦共和国）、１９８７年１１月１８−２０日（１０．ＶｏｒｔｒａｇｓｔａｇｕｎｇｄｅｒＧｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔＤｅｕｔｓｃｈｅｒＣｈｅｍｉｋｅｒ，ＦａｃｈｇｒｕｐｐｅＰｈｏｔｏｃｈｅｍｉｅ，Ｗｕｅｒｚｂｕｒｇ（ＢＲＤ）１８．−２０．Ｎｏｖｅｍｂｅｒ１９８７）には新たなエキシマビーム発生器（装置）が記載されている。この新規な型式のビーム発生器は、暗流ないし無声電気放電においてもエキシマビームを発生し得るという技術事項を基礎とし、オゾン発生において大規模技術で使用される放電型式に基く。そのような放電にてたんに短時間（＜１μｓｅｃ）存在する電流フィラメント中、電子パルスにより希ガス原子が励起されこれら原子はさらに励起されて分子複合体の励起（エキシマ化）が行なわれる。それらのエキシマはたんに数ｎｓｅｃのみ生起し、分解の際ビームの形でそれの結合エネルギを送出する。その際そのビームの波長領域は充填ガスの組成に応じてＵＶ−Ａ、ＵＶ−Ｂ、ＵＶ−Ｃ又は可視のスペクトル領域に位置し得る。

【０００６】ごく最近ではその種高出力ビーム発生器に対する需要が増大している、それというのは当該ビーム発生器の特別な性質、特性が多くの適用分野、化学物理プロセス技術、グラヒック産業、被覆技術における適用、応用面を可能にしているからである。従ってできるだけモジュラー式に構成された動作確実な経済性のあるＵＶビーム発生器に対する大きな必要性が存している。

【０００７】

【考案の目的】

本考案の目的ないし課題とするところは、当該従来技術を基にして、当該モジュラー構成に基づき経済的に作製可能、かつ、また著しく大きな面状ビーム発生装置の構成を可能にするＵＶ−又はＶＵＶ−ビーム等の紫外光用の高出力ビーム発生装置を提供することにある。

【０００８】上記課題の解決のため本考案によれば、冒頭に述べた形式の上位概念による高出力ビーム発生装置において、上記放電空間は発生されたビームに対して少なくとも部分的に透過性を有する管によって仕切形成されており、上記管内には相互に且上記透過性管から間隔保持されている誘電体管が内部電極と共に配置されており、上記透過性管の自由空間中に暗流ないし無声放電部が形成されるように装置構成されているのである。

【０００９】十分高い交流電圧の印加の際、電極から誘電体と隣接する放電空間を通って再び誘電体に達して隣接する電極に至る多数の部分放電が形成される。それら放電によっては使用可能なＵＶ−光ビームが発射生成され、これらビームは管壁を通って出射する。ここにおいて公知の構成と異なって、放電チャネルの全長の拡がりがビーム発生のため有効利用される。

【００１０】本考案の高出力ビーム発生器の作製が簡単化され、従来ビーム発生器におけるより有利なコストで済む。例えば多くの寸法のものが存在する市販の石英管を使用し得る。仕切りをするガラス／石英−材料に対してもそれほど高い要求が課せられないで済む。それというのは、当該の仕切り壁はたんに有効照射ビームに対してだけ透過性であればよく、放電の負荷を受けないからである。それにより、ビーム発生器の比較的高い寿命が得られる。また、ギャップ幅、及びそれのトレランスはそれほどクリティカルでない。今や、トレランスに関して比較的わずかな要求のため著しく大きな面状ビーム発生器が実現され得、これら発生器は著しく壁厚に構成され得る。実際上放電空間の全長がエミッションに寄与するので、ＵＶ収率（効率）は著しく高い。電極格子又は部分透過性の層の透過損失は生じない。

【００１１】公知技術におけると異なって、本考案の装置では生成さるべきＵＶビームに対する誘電体を最適化し得る、それというのは、上記誘電体はＵＶ光に対して透過性である必要がなく、それにより、特別な適用面に対して特に高い効率が期待され得るからである。経済的重要性のあるそのような適用面には例えば他の放電の予備イオン化目的用の強力なＵＶビーム発生源例えばレーザ、ＵＶ露光による表面の処理、化学的プロセス（新しい化学物質材料又は表面の準備的処理作製）及び被覆手法（ＵＶ−支援補強のＣＶＤ又はプラズマＣＶＤ、光−ＣＶＤがあり、ここでは処理さるべきサブストレートが適当な充填ガスのもとでＵＶ光源にできるだけ密にないし近くにもたらされる。

【００１２】次に本考案を実施例を用いて説明する。

【００１３】

【実施例】

図１及び図２の面状ビーム発生器では広幅面２，３と狭幅面４，５を有する石英管１中に内部電極７を有する誘電体管６が設けられている。上記誘電体管は相互に、かつ石英管１の壁から間隔保持されている。上記誘電体６は例えば石英小管であり、それの内端８は融着され、即ち封着されている（図２参照）。内部電極７は石英小管中に嵌込まれている金属棒である。それの代わりに誘電体材により取囲まれた金属棒又は金属線であってもよい。石英管１の両狭幅面４，５及び広幅面３の１つは外側にアルミニウム層９を有する。当該の３つの被覆部は相互に電気的に絶縁されていなくてよい。アルミニウム層９は有利に蒸着され、フレーム照射され、プラズマ照射され又はスパッタリングされ、反射体（レフレクタ）として用いられる。

【００１４】図２から明かなように、石英管１はそれの端面にて絶縁材料からなる板１０，１１により封止されている。これら板は例えば端面に接着されたり、又は石英板又はガラス板の場合上記の端壁で閉鎖（封着）されている。上記板１０，１１は貫通孔１２を有し、この貫通孔中に交互に石英管１の両側から誘電体管６が嵌め込れており、その中に取付けられ封着されている。組込個所に対向する端部にて誘電体管は融着又は接着されている。長く延在するビーム発生器の場合、誘電体管６は自由端部８にて管状支持部材１３に保持されており、この支持部材中には上記端部が入り込む。付加的支持体１４を管中央にて任意に設けてもよい（図６参照）。充填接続部１５を介しては石英管１の内部空間を排気し、次いで充填ガスで充填することができる。

【００１５】図２から明かなように交流電源１６からのビーム発生器の給電が行なわれ、ここにおいて、交互に隣接する内部電極７が交流電源１６に接続されている。後に図９を用いて更に詳述するように複数の交流電源を使用することもできる。その際放電部１７は各２つの隣接する誘電体管６間の中間空間に形成される。

【００１６】交流電源１６は基本的にオゾン発生器の給電に用いられ得るようなものに相応する。典型的には上記交流電源は電極形状、放電空間内の圧力、充填ガスの組成に依存して、数ＭＨｚまでの交流電流の領域における周波数のもとで数１００Ｖ〜２００００Ｖのオーダの可調整の交流電圧を送出する。

【００１７】石英管１の内部は放電条件下でビームを送出する充填ガスで充填される、例えば、水銀、希ガス、希ガス−金属蒸気−混合物、希ガス−ハロゲン混合物、で充填され、場合により付加的な別の希ガス、有利にはＡｒ、Ｈｅ、Ｎｅ、を緩衝ガスとして用いて充填される。

【００１８】その際、ビームの所望のスペクトル組成に応じて、下記の表による物質／物質混合物を用い得る。

【００１９】充填ガスビームヘリウム６０−１００ｎｍネオン８０− ９０ｎｍアルゴン１０７−１６５ｎｍアルゴン＋フッ素１８０−２００ｎｍアルゴン＋塩素１６５−１９０ｎｍ，２５０−２７０ｎｍアルゴン＋クリプトン＋塩素１６５−１９０ｎｍ，２００−２４０ｎｍキセノン１２０−１９０ｎｍチッ素３３７−４１５ｎｍクリプトン１２４ｎｍ，１４０−１６０ｎｍクリプトン＋フッ素２４０−２５５ｎｍクリプトン＋塩素２００−２４０ｎｍ，４６０−６００ｎｍ水銀１８５ｎｍ，２５４ｎｍ，２９５−３１５ｎｍ，３６５ｎｍ，３６６ｎｍセレン１９６，２０４，２０６ｎｍ重水素１５０−２５０ｎｍキセノン＋フッ素３４０−３６０ｎｍ，４００−５５０ｎｍキセノン＋塩素３００−３２０ｎｍそのほかに、下記の別の充填ガスが用いられ得る。

【００２０】 − 希ガス（Ａｒ，Ｈｅ，Ｎｅ，Ｘｅ）又はガス入り水銀(Ｈｇ)、ないし、Ｆ_２，Ｊ_２，Ｂｒ_２，Ｃｌ_２から成る蒸気、又は化合物（これは放電中１つ又は複数の原子Ｆ，Ｉ，Ｂｒ又はＣｌを分解分離する）。

【００２１】 − 希ガス（Ａｒ，Ｈｅ，Ｋｒ，Ｎｒ，Ｘｅ）又はＯ_２入りＨｇ、又は化合物（これは放電中１つ又は複数のＯ−原子を分解、分離する）； − 希ガス（Ａｒ，Ｈｅ，Ｋｒ，Ｎｅ，Ｘｅ）形成される部分放電（ｍｉｃｒｏｄｉｓｃｈａｒｇｅ）において、電子エネルギ分布が、誘電体管６の壁厚、それの誘電特性、誘電体管６間の間隔、充填ガスの圧力および／又は温度により最適に調整され得る。

【００２２】各２つの隣接する電極７間の電圧の印加の際、多数の放電チャネル１７が形成され得、それら放電チャネルによってはＵＶ光が発射放出されこのＵＶ光は石英管１の透過性広幅面２を通って外に向って送出される。

【００２３】図３に示すように、石英管１の狭幅面上の金属性の反射体層９は外部電極として使用され得る。その場合、電気的接触接続は、素線（リッツ）帯状体１８又はばね性接触条片により行なわれ得る。この場合、両外部電極が、同一の電位、例えばアース電位におかれるようにするため、奇数の誘電体管６を設けると好適である。その際、最も外側の誘電体管６と、石英管１の狭幅面４，５との間に放電部１７ａが形成される。

【００２４】地対称出力側を有する電流給電装置において、その際使用される構成部分の絶縁負荷が、片側給電のものにおけるより小であるので、その種装置はより経済的である。図４には地対称の出力側は電流給電装置による図３のビーム発生器の給電構成が示してある。隣接する内部電極７間にそのつど、交流電源１６の出力電圧全体が加わり、一方、外部誘電体管６の内部電極７と外部電極９との間に出力電圧の半分が加わる。それに相応して、誘電体管６間の間隔も、石英管１の狭幅面と両外部誘電体管６との間隔より大である。

【００２５】上記の種類の高出力ビーム発生器はそれの新規な幾何学的形状に基づき著しく簡単に冷却され得る。図５に示すように、石英管１はＵ字状の横断面の相応に設計された金属成形体１９、例えばアルミニウム又は銅から成るものであって、例えば成形体長手方向に延在する冷却媒体孔２０の設けられているものの中に挿入され得る。

【００２６】石英管１の狭幅面４，５とＵ字状成形体の脚部との間にばね性を有する金属性接触条片２１が挿入されており、この条片は管長全体に亙って延在している。この条片は層９の電気的接触接続のほかに、金属成形体１９の脚部間の空間中にて石英管１の位置固定のためにも用いられる。場合により、熱伝導性のペースト３０から成る中間層が、成形体底部と石英管１との間に設けて熱伝達移行を改善し得る。図４におけると類似して、給電が行なわれる、即ち、金属成形体１９はアース電位におかれる。勿論、図２又は図３に示すように給電を行なうこともできる。

【００２７】本考案の前述の実施例は一連の利点を有し、これらの利点を以下まとめてある。

【００２８】 − 多くの寸法サイズのものが入手可能な市販の石英成形体を石英管１に対して使用でき、それらは高い機械的負荷耐力の点ですぐれている − 本考案により可能なモジュラ構成法による、現存する照射装置の簡単な拡大 − （高電圧電位のもとにおかれる）電極がそれの接続部と共に簡単な手段で接触上の危険なしに安全に構成され得る − 地対称出力電圧を有する電流給電装置の使用により経済的給電が可能である − 相互に無関係の複数の電流給電ユニットの使用が可能である − ワイヤネット、ワイヤ格子又は透過性の外部電極が省かれ、それによりビーム発生器の清掃が例えばグラフィック産業における使用の際、簡単化され得る − ＵＶ光の透過に関与するビーム発生器の石英部分が、放電破壊作用の負荷を受けない − アルミニウム蒸着により、生じるビームの大部分が有効に利用される − 冷却を含めた装置機構全体が扁平にかつそれの面拡がりにおいてほぼ任意の大きさに構成され得、従って著しく多くの適用面に適する。

【００２９】本考案により規定される枠を逸脱することなく、前述のＵＶ−高出力ビーム発生器の多数の変形が可能であり、これらに就いては以下説明する。

【００３０】而して、図２〜４による構成に対する石英管１の奇数個の構成の代わりに、偶数個の構成の変化形を設け得る。石英管１における誘電体管６の唯１つの代わりに図７に示すように２つ以上の層を設け得る。その一方の層の誘電体管６は隣接する層の誘電体管に対して管間隔の半分だけずらされている。各層の誘電体管６は並列接続されており、交流電源１６の両極に接続されている。放電チャネルは一方の層から次の層へ放電空間を通って斜めに延びている。

【００３１】更に、本考案によれば例えば図１又は図３による複数の個別ビーム発生器を１つの共通の冷却部材中に埋込む（図９に示すように）ことが可能である。ここには例３にて成形体長手方向に延びるＵ字状横断面のチャネルをアルミニウム−又は銅成形体１９ａは有する。それらチャネル中には図５に類似して石英管１が挿入されており、それらの石英管の構成については図１、３又は５に関連して詳細に説明してある。給電はそれまでの実施例と類似して行なわれ得る。それと異なっている点は図９かわ明かなように、個々のビーム発生器は別個の交流電源１６ａ，１６ｂ，１６ｃに接続されている。この手段は次のような場合必要とされる、即ち、多数のビーム発生器の給電のために唯１つの源で十分でない場合必要とされる。

【００３２】これまでの本考案の実施例はすべて矩形横断面の石英管に係わっている。２つの同軸的に相互に入り組み合って配置されている石英管２３，２４を配置することは本考案の枠内である。内部電極７は図２又は３に類似して交互に交流電源１６の両端子に接続されており、但し、図１に類似して内部電極７の第１のグループの内部電極７は一方の端面にて相互に接続されており、他方の群の内部電極７は管２３，２４の他方の端面にてまとめられている。図２に類似して内部空間２２は石英管２３，２４の両端面にて各１つのリング状のカバー２５により封止されており、このカバーは同時に誘電体管６に対する保持体でもある。

【００３３】当該装置機構を外部又は内部ビーム発生器として構成するかに応じて、内部石英管２３の内面上にないし外部石英管２４の外面上に、反射体（レフレクタ）として用いられるアルミニウム層９が設けられるとよい。図５の構成によれば、図８の円形ビーム発生器においてもビーム発生器の強制冷却のための手法、例えば、内部石英管２３の内部空間２６を通っての冷却剤の通過伝導により、又は、当該内部空間の、冷却体での充填（図示せず）により冷却手法が可能である。内部ビーム発生器において外部石英管２４の外側外とうが冷却剤で周りを洗われる（さらされる）か、又は固有の冷却体が外部石英管２４にかぶさって曲げられるとよい。その場合、帯状材料、例えば帯状シート又は帯状紙用の照射装置の例としては図１０に示すような装置構成が有利である。照射さるべき材料３１はドラム３２上に施される。良好な熱伝導性の材料、例えば銅又はアルミニウムから成る冷却部材１９ｂは管長手方向に延在する冷却孔２０を有する管部分（これはドラム３２に適合されている）から成る。上記管部分の内壁は矩形状横断面を有する開放チャネル３３を有し、この開放チャネル中には図１又は図３の石英成形体が挿入されていて、この中に取付けられている。給電はこれまでの実施例に類似して行なわれる。

【００３４】円形の（丸い）誘電体管６及び内部電極７の代わりに、すべての実施例においてほぼ任意の横断面を有する電極をも使用できる。更に、誘電体材６からの熱放出の改善のため、内部電極７を中空電極として構成することが可能である。

【００３５】

【考案の効果】

本考案によれば、当該モジュラー構成に基づき経済的に作製可能、かつ、著しく大きな面状ビーム発生器の構成を可能にする高出力ビーム発生器を実現できる効果が奏される。

【図面の簡単な説明】

【図１】片側の発射放出を行なう面状ビーム発生器の第
１実施例の横断面図である。

【図２】図１の線Ａ−Ａによる面状ビーム発生器を略
示、給電部と共に示す縦断面図である。

【図３】外部管の狭幅面に配置された外部電極と、片側
アースされた電圧源による給電部とを有する、図１，２
の面状ビーム発生器の第１変形の断面図である。

【図４】外部管の狭幅側に設けられた外部電極と地対称
の給電部とを有する、図１，２の面状ビーム発生器の第
２変形の断面図である。

【図５】外部冷却手段を有する、図１，２の面状ビーム
発生器の断面図である。

【図６】長く延びたビーム発生器の場合における誘電体
管の支持の手段を示す略示図である。

【図７】石英管の内部に１つより多くの層の誘電体管を
有するそれまで述べた構成法に代る構成例の断面略図で
ある。

【図８】シリンダー状ビーム発生器の形態の本考案の実
施例を部分的に横断面として、部分的に端面図として示
す図である。

【図９】１つの共通の冷却部材中に複数のビーム発生器
を有する、図５の実施例の変化形の断面略図である。

【図１０】わん曲した冷却部材の内面上に複数のビーム
発生器を有する、図９の実施例の変形の断面略図であ
る。

【符号の説明】

１石英管２，３１の広幅面４，５１の狭幅面６誘導体管７内部電極８６の内側端部９アルミニウム層１０，１１板１２１０，１１における貫通孔１３保護部材１４管中央における付加的管接続部１５充填管接続部１６交流電源１７；１７ａ放電（部）１８リッツ線帯状体１９金属成形体（冷却体）２０１９における冷却剤孔２１ばね性接触条片２２２３と２４との間の中間空間２３，２４円形横断面付石英管２５カバー３０熱伝導ペースト３１材料帯状体３２ドラム３３１９ａ，１９ｂにおける矩形状横断面付チャネ
ル

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｓ 3/03 Ｈ０１Ｓ 3/03 Ｚ 3/038 Ｂ 3/097 3/097 Ａ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】放電条件下でビームを送出する充填ガス
で充填された放電空間と、電極（７）とを有し、該電極
は対をなして１つ又は複数の高電圧源（１６）に接続さ
れており、ここにおいて、異なった電位におかれている
２つの電極（７）間に誘電材（６）が設けられており該
誘電材は上記放電空間に接している紫外線用高出力ビー
ム発生装置において、上記放電空間は発生されたビームに対して少なくとも部
分的に透過性を有する石英管（１）によって仕切形成さ
れており、上記石英管（１）内には、相互に且上記透過
性石英管（１；２３；２４）から間隔保持されている誘
電体管（６）が内部電極（７）と共に配置されており、
上記透過性管（１）の自由空間中に暗流ないし無声放電
部（１７）が形成されるように装置構成されており、上
記管は矩形横断面を有する石英管として構成されている
ことを特徴とする高出力ビーム発生装置。
【請求項２】上記内部電極(７)は１つの層で配置され
ており、その際、隣接する内部電極(７)は夫々高電圧源
(１６)の２つの極に接続されている請求項１記載の装
置。
【請求項３】上記内部電極（７）は複数の層で配置さ
れており、その際、各層のすべての内部電極（７）が並
列接続され、かつ層ごとに高電圧源（１６）の２つの電
極に接続されている請求項１記載の装置。
【請求項４】上記石英管（１）の４つの管壁のうちの
３つ（３，４，５）は外部の反射層（９）、例えば蒸着
されたアルミニウム層を有している請求項１から３まで
のいずれか１項記載の装置。
【請求項５】冷却のため上記管（１）は部分的に冷却
体（１９；１９ａ；１９ｂ）により取囲まれているか、
又はその中に配置されている請求項１から４までのいず
れか１項記載の装置。
【請求項６】矩形横断面を有する管の場合冷却体（１
９；１９ａ；１９ｂ）中に１つ又は複数の開放通路（３
３）が設けられており、該開放通路中には当該の単数な
いし複数の管（１）が挿入、ないしその中に保持されて
いる請求項５記載の装置。
【請求項７】放電条件下でビームを送出する充填ガス
で充填された放電空間と、電極（７）とを有し、該電極
は対をなして１つ又は複数の高電圧源（１６）に接続さ
れており、ここにおいて、異なった電位におかれている
２つの電極（７）間に誘電材（６）が設けられており該
誘電材は上記放電空間に接している紫外線用高出力ビー
ム発生装置において、上記放電空間は発生されたビームに対して少なくとも部
分的に透過性を有する石英管（１）によって形成されて
おり、上記石英管（１）内には、相互に且上記透過性石
英管（１；２３；２４）から間隔保持されている誘電体
管（６）が内部電極（７）と共に配置されており、上記
透過性管（１）の自由空間中に暗流ないし無声放電部
（１７）が形成されるように装置構成されており、更
に、上記放電空間は同軸的に入り組み合っている２つ
の管（２３，２４）により形成されており、上記誘電体
管（６）は上記管間にリング状空間（２５）内に配置さ
れていることを特徴とする高出力ビーム発生装置。
【請求項８】内部管（２３）の内面、又は外部管（２
４）の外面が、反射層（９）、例えば、蒸着されたアル
ミニウム層を施されている請求項４記載の装置。
【請求項９】当該の１つの管（１）ないし複数管（２
３，２４）は両端にて板（１０，１１）ないしカバー
（２５）を用いて閉鎖されており、上記板ないしカバー
は誘電体管（６）に対する支持体として用いられる、請
求項１から８までのうち何れか１項記載の装置。
【請求項１０】上記誘電体管（６）の自由端（８）は
保持体に対向する板（１０，１１，２５）にて支持部材
（１３）を用いて支持されおよび／又は管中央部分にて
付加的支持体（１４）を用いて支持されている請求項１
から９までのいずれか１項記載の装置。