JPH11329364A - 紫外光発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】光強度分布の一様化が容易で、斑のない照射が
行えるとともに従来の紫外光発生装置に比して大幅に耐
用寿命の長期化が図れ、かつ少ない消費電力で効率よく
高強度の紫外光発光ができ、しかも薄型コンパクトな紫
外光発生装置を提供することを目的とする。 【解決手段】薄い平板状で、互いに対向する表裏板が紫
外光を透過する誘電体で構成され、内部に紫外光発光種
を含む気体が封入された気密性容器２１と、表裏板２
２，２３の外面にそれぞれ設けられ、交差状または平行
に組合った多数の線状要素を格子状または平行に組合せ
て線状要素間に光が透過できる開口部を形成した外部金
属電極２５，２６と、これら両外部金属電極と対向する
配置で容器の表裏板間の中間位置に内装された薄板状の
内部金属電極２７と、各電極に接続された放電プラズマ
発生用の励起電源２９とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えば水処理用殺菌
装置等に適用される紫外光（ＵＶ）発生装置に係り、特
に光強度の一様化、耐用寿命長期化、消費電力の効率化
等を図った紫外光発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の紫外光発生装置として
は、例えば図１３に示すように、円筒状の低圧ガス放電
管が主に用いられていた。この装置では、石英等によっ
て構成された円筒容器１の端部に熱陰極２が設けられ、
その円筒容器１内に紫外光発光種を含んだガス３が充満
されている。

【０００３】そして、熱陰極２から放出された熱電子が
放電管両端に印加した電界により加速され、内部に封入
されているガス３中の発光種と衝突して励起され、その
結果、発光種から紫外光が放射されようになっている。

【０００４】また従来では、特開平６−１５０８８２号
公報等で示されているように、液晶ディスプレイ等の照
明用光源として適用される冷陰極面発光ランプも開発さ
れている。この光源では、発光種を含む空間に一組の電
極を対向設置し、この電極間に高電圧を印加することに
より放電を発生させ、発光種を励起して発光させるよう
になっている。

【０００５】さらに、特開平７−２７２６９３号で示さ
れているように、誘電体バリア放電を用いた光源も開発
されている、この光源では図１４に示すように、石英に
よって構成された円筒容器４の中心部に、石英５で覆わ
れた金属電極棒６を貫通するとともに、円筒容器４の外
周に外部金網電極７を巻装した構成となっている。そし
て、外部金網電極７および金属棒６に電圧を印加するこ
とにより、容器４内のガス３中の発光種を励起、発光さ
せて、容器４の外周側に紫外光を出力させるようになっ
ている。

【０００６】さらにまた、特開平６−３１０１０６号公
報で示されているように、バリア放電ランプを薄箱状に
変形させたものも提案されている、この光源では図１５
に示すように、紫外光を透過する一組の平行な誘電体
８，８とその間に設けた枠状の絶縁体９とにより薄箱状
の容器１０を構成し、各誘電体９の外面に網状金属電極
１１と板状金属電極１２とをそれぞれ取り付けるととも
に、容器１０内に発光種を含むガス３を充満させたもの
である。そして、各電極１１，１２に励起電源１３から
交流電圧を印加することにより各誘電体８の内面側に微
少な放電プラズマｂを発生させ、先の低圧放電と同様に
発光種を励起、発光させて、網状金属電極１１の開口部
分を介して外部に紫外光ａを出力させるようになってい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術の円
筒型光源（図１３および図１４）では、紫外光が円筒容
器１，４を中心としてその周囲に放射状に発生するた
め、例えば角型通水路の両側にこの光源を林立状態で配
置して殺菌処理装置などに適用する場合、照射方向が異
なって照射強度の均一化を図ることが困難であった。

【０００８】また、熱陰極２を用いた構成（図１３）で
は、熱陰極２の寿命が短いという欠点があり、また冷陰
極型の照明ランプの場合には、動作電圧が比較的高いた
め、装置構成が大型化するとともに大掛りな電源装置が
必要になり、また大型化した場合、放電が均一に行われ
ず、局所集中し易いため、均一な発光を得ることが困難
であった。

【０００９】さらに、誘電体バリア放電を用いた従来の
構成（図１４および図１５）では、冷陰極ランプと同様
に放電開始電圧が高いという欠点があるとともに、薄箱
状のタイプ（図１５）では一方の電極を板状金属電極１
２として光が取り出させない構成としてあるため、光利
用率の向上や発光の均一化等が実用上困難であった。

【００１０】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、光強度分布の一様化が容易で、斑のない照射が
行えるとともに従来の紫外光発生装置に比して大幅に耐
用寿命の長期化が図れ、かつ少ない消費電力で効率よく
高強度の紫外光発光ができ、しかも薄型コンパクトな紫
外光発生装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、請求項１の発明では、薄い平板状で、互いに対向
する表裏板が紫外光を透過する誘電体で構成され、その
内部に紫外光発光種を含む気体が封入された気密性容器
と、前記表裏板の外面にそれぞれ設けられ、交差状また
は平行に組合った多数の線状要素を格子状または平行に
組合せてその線状要素間に光が透過できる開口部を形成
した外部金属電極と、これら両外部金属電極と対向する
配置で前記容器の表裏板間の中間位置に内装された薄板
状の内部金属電極と、前記各電極に接続された放電プラ
ズマ発生用の励起電源とを備えたことを特徴とする紫外
光発生装置を提供する。

【００１２】このように、本発明では薄い平板状容器の
中間部に薄板状の内部金属電極を設置し、両電極の一方
にのみ誘電体が設置される構造により、電極間に存在す
る誘電体厚みを従来の半分程度とすることにより、動作
電圧を減少させると同時に紫外光を発光体の両面から取
り出すようにして、均一な平面発光が得られる。

【００１３】請求項２の発明では、請求項１記載の紫外
光発生装置において、内部金属電極は、その厚さ方向に
沿って貫通する多数の光透過用の孔を有することを特徴
とする紫外光発生装置を提供する。

【００１４】本発明では、内部金属電極に孔を形成する
ことにより、内部金属電極の各側面側で発生する紫外光
を孔を介して他の側面側にそれぞれ透過させることがで
き、それにより均一性の高い発光を得ることができる。

【００１５】請求項３の発明では、請求項１または２記
載の紫外光発生装置において、内部金属電極の表面が誘
電体の皮膜で覆われていることを特徴とする紫外光発生
装置を提供する。

【００１６】本発明では、内部金属電極の表面に誘電体
の皮膜を形成することにより、動作電圧をほぼ同一に保
ったまま装置寿命を長期化することができる。

【００１７】請求項４の発明では、請求項３記載の紫外
光発生装置において、誘電体は、内部金属電極の表面を
一部露出させる皮膜欠落部を有することを特徴とする紫
外光発生装置を提供する。

【００１８】本発明では、内部金属電極の表面に誘電体
の皮膜を比較的厚く形成することにより長寿命を達成す
ると同時に、内部金属電極の一部に皮膜のない部分を設
けることにより、動作開始電圧を低くすることができ
る。

【００１９】請求項５の発明では、請求項３記載の紫外
光発生装置において、誘電体の皮膜は、その一部に厚み
が小さい薄膜部を有することを特徴とする紫外光発生装
置を提供する。

【００２０】本発明では、内部金属電極の表面に誘電体
の皮膜を比較的厚く形成することにより長寿命を達成す
ると同時に、一部に皮膜の薄い部分を設けることによ
り、動作開始電圧を低くすることができる。

【００２１】請求項６の発明では、請求項３記載の紫外
光発生装置において、誘電体の皮膜は、外部金属電極の
影響で電界が弱くなる部分の厚みを小さく、かつ電界が
強くなる部分の厚みを大きくした肉厚変化を有すること
を特徴とする紫外光発生装置を提供する。

【００２２】本発明では、内部金属電極の表面に誘電体
の薄い皮膜を形成し、その膜厚を位置により変化させる
ことで放電空間における電界強度を均一化し、均一性の
高い発光を得ることができる。

【００２３】請求項７の発明では、請求項３記載の紫外
光発生装置において、誘電体の皮膜は特定波長の紫外光
に対して高反射率を持つ膜厚を有することを特徴とする
紫外光発生装置を提供する。

【００２４】本発明では、内部金属電極の表面に形成し
た誘電体の厚みを利用しようとする紫外光の波長におい
て、高い反射率を持つようにすることにより、光の取り
出し効率を向上することができる。

【００２５】請求項８の発明では、請求項１から７まで
のいずれかに記載の紫外光発生装置において、内部金属
電極は、外部金属電極の影響で電界が弱くなる部分の厚
みを小さく、かつ電界が強くなる部分の厚みを大きくし
た肉厚変化を有することを特徴とする紫外光発生装置を
提供する。

【００２６】本発明では、内部金属電極の厚みを一部厚
くすることにより、動作開始電圧を低減し、装置寿命を
長期化することができる。

【００２７】請求項９の発明では、請求項１から７まで
のいずれかに記載の紫外光発生装置において、内部金属
電極は、波板状のものであることを特徴とする紫外光発
生装置を提供する。

【００２８】本発明では、内部金属を波板にすることに
より、電界強度分布との相互作用によって、放電空間全
体の電位（電界）分布を均一にすることができ、均一な
発光強度を得ることができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る紫外光発生装
置の実施形態について、図面を参照して説明する。

【００３０】第１実施形態（図１、図２） 図１は本実施形態による紫外光発生装置の構成を示す斜
視図であり、図２はその断面図である。

【００３１】これらの図に示すように、本実施形態では
薄い平板状の気密性容器２１を備えており、この容器２
１の互いに対向する表裏板２２，２３は、紫外光を透過
する誘電体、例えば石英によって構成されている。これ
らの表裏板２２，２３の間に設けられた枠部２４は絶縁
材で構成されている。この容器２１の表板２２および裏
板２３の外表面には、それぞれ外部金属電極２５，２６
が取付けられている。これらの外部金属電極２５，２６
は図１に示すように、格子状に交差して組合った多数の
線状要素によって構成されており、各要素間の開口部２
５ａ，２６ａを介して光が通過し得るようになってい
る。

【００３２】容器２１の内部には、外部金属電極２５，
２６と対向する形で薄板状の内部金属電極２７が設けら
れ、この内部金属電極２７は容器２１の丁度中間に位置
している。これら外部金属電極２５，２６および内部金
属電極２７は、図示しない電流導入端子、および導体２
８を介して、容器２１の外部に設けた励起電源２９に電
気的に接続されている。励起電源２９から外部金属電極
２５，２６および内部金属電極２７に供給される電圧
は、正弦波のように、時間進展に伴って正負極性の電圧
が交互に現れるものとされている。容器２１の内部には
紫外光発光種、例えば水銀原子を含む気体３０が１０〜
１０⁵ Ｐａの圧力で封入されている。

【００３３】このような構成において、励起電源２９か
ら外部金属電極２５，２６に電圧が印加されることによ
り、紫外光透過性誘電体からなる表裏板２２，２３の内
面に電荷が誘起され、内部金属電極２７との間に放電プ
ラズマｂが発生する。この放電により発生した電子の衝
突により紫外光発光種が励起され、紫外光ａが各外部金
属電極２５，２６の開口部２５ａ，２６ａを介して容器
２１の表裏両面から外方に放射される。

【００３４】本実施形態によれば、紫外光ａが薄箱状の
容器２１の面積が広い表裏両面側に放射され、均一な平
面発光が得られ、同時に内部金属電極を用いることによ
り動作電圧の低減ができ、例えば水路中に配置した場合
に均一で効率のよい紫外光発生による殺菌効果を発揮す
ることができる。

【００３５】第２実施形態（図３） 図３は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図で
ある。

【００３６】本実施形態では図３に示すように、内部金
属電極２７ａが、その厚さ方向に沿って貫通する多数の
孔３１を有する構成となっている。この内部金属電極２
７ａの孔３１は、各外部金属電極２５，２６の開口部２
５ａ，２６ａのいずれかに対向する配置で形成されてい
る。なお、他の構成は第１実施形態と略同様である。

【００３７】このような構成によれば、内部金属電極２
７ａの両面側において生じた紫外光ａ0 は、その内部金
属電極２７ａの孔３１部分を通してそれぞれ反対側に放
射される。したがって、本実施形態によれば、各紫外光
ａ0 を内部金属電極２７ａの孔３１を透過させることに
よって、光の取出し効率を向上させることができる。

【００３８】第３実施形態（図４、図５） 図４は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図で
ある。

【００３９】本実施形態では図４に示すように、内部金
属電極２７ｂの表面に誘電体の薄い皮膜３２が形成され
ている。この皮膜３２の厚みは、少なくとも動作電圧に
おいてその皮膜３２の絶縁が破壊しない厚み以上であ
り、かつその皮膜３２による動作電圧の上昇を要求範囲
内に抑えることができる厚み以下に設定されている。

【００４０】すなわち、誘電体材料の絶縁強度をＲｖ
（Ｖ／mm）、動作電圧をＶｏｐとした場合、最小膜厚ｄ
min （mm）は

【数１】ｄmin ＞ Ｖｏｐ／Ｒｖ となる。例えばアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）の絶縁破壊強度
Ｒｖは１０ｋＶ／mm程度であり、動作電圧を２ｋＶとし
た場合の最小膜厚は０．２mm程度となる。しかし、実際
の設計では２ないし３の安全係数を見込み、０．５mm程
度が最小膜厚となる。

【００４１】内部金属電極２７ｂの表面にこのような誘
電体の皮膜３２を形成した場合、図５に示すように、電
極表面における電位強度Φ（ｄ）が膜厚ｄにより変化す
る。そのため、最大膜厚は電極表面における電位Φ
（ｄ）と誘電体がない場合での電位Φ０との比が

【数２】Φ（ｄ）／Φ０ ＞ ａ となる厚みとして決定される。通常、ａは０．９程度が
選ばれる。

【００４２】本実施形態ではこのように、内部金属電極
２７ｂの表面が誘電体の薄い皮膜３２で覆われているた
め、電子衝突による金属のスパッター等の影響が避けら
れ、長寿命化が達成できる。

【００４３】第４実施形態（図６） 図６は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図で
ある。

【００４４】本実施形態では図６に示すように、内部金
属電極２７ｃの表面に形成される誘電体の皮膜３２が一
部欠落し、その皮膜欠落部３３により内部金属電極２７
ｃの素材金属の表面が露出している。

【００４５】上述したように、内部金属電極表面に誘電
体の薄膜３２を形成した場合には電極表面に生じる電位
が低下するが、本実施形態では内部金属電極２７ｃに微
少な金属露出部分が存在するので、その近傍に強い電界
が生じ、それにより動作開始時において電界の強い部分
の近傍で絶縁破壊が発生し、比較的低い電圧での動作が
可能となる。

【００４６】このような金属表面が露出した部分の面積
を大きくすると、放電は金属表面が露出した部分にのみ
局在するようになる。したがって、露出している部分の
面積は通常、電極全体の０．１％未満とする必要があ
る。

【００４７】第５実施形態（図７） 図７は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図で
ある。

【００４８】本実施形態では図７に示すように、内部金
属電極２７ｄの表面に形成された誘電体の皮膜３２の厚
みが小さい局所的な薄膜部３４が設けられている。上述
したように内部金属電極表面の電位は、形成されている
誘電体の皮膜厚さに依存し、膜厚が薄い場合には高い電
位が生じ、その近傍での電界強度が強くなる。

【００４９】したがって、本実施形態では放電空間の一
部に薄膜部３４を設けて電界の強い部分を存在させるこ
とにより、その近傍で絶縁破壊を発生させて比較的低い
電圧でも放電を開始でき、安定な動作が行えるようにな
なる。

【００５０】第６実施形態（図８、図９） 図８は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図で
ある。

【００５１】本実施形態では図８に示すように、内部金
属電極２７ｅの表面に形成された誘電体の皮膜３２の厚
みを複数の領域で部分的に大きい部分３５と小さい部分
３６とに変化させている。

【００５２】誘電体の皮膜３２の膜厚を一定とした場合
には、電位部分は図９に示すように、光取り出し側の外
部金属電極２５，２６の格子状の形状を反映した強度分
布を示す。発光強度もこの電位分布を反映した形になり
易く、その結果、発光の均一性が悪化する。また、上述
したように、内部金属電極表面の電位は、形成されてい
る誘電体の皮膜厚さに依存し、膜厚が小さい場合には高
い電位が生じ、その近傍での電界強度が強くなる。

【００５３】したがって、本実施形態によれば、外部金
属電極２５，２６の影響で電位が低くなる部分に対応す
る位置の誘電体膜厚を小さくし、反対に電位が高くなる
部分に対応する位置の膜厚を大きくすることにより、放
電空間全体の電位（電界）分布を均一にすることが可能
となる。

【００５４】第７実施形態 本実施形態は、前記実施形態３〜６において、特に内部
金属電極２７ｂ〜２７ｅの表面に形成された誘電体の皮
膜３２の厚みを特定の波長に対して反射率が高くなるよ
うな膜厚にしたものである。必要とする紫外光の波長を
λ、膜厚をｄとしてこの波長に対する誘電体の屈曲率を
ｎ₁ とした場合、

【数３】ｄ＝ｍ・ｎ₁ ・λ／４ の関係がある。この式を満たす場合、内部金属電極２７
ｂ〜２７ｅの表面での紫外光反射率が高くなる。ここで
ｍは１，２，３…のような整数である。

【００５５】さらに、誘電体材料を二種類用いる場合、
波長λにおける屈曲率をそれぞれｎ₁ ，ｎ₂ とし、それ
らを交互に用いて積層膜形成することにより極めて高い
反射率を得ることができる。この場合、それぞれの膜厚
は、

【数４】 で示される条件を満たさなければならない。

【００５６】このように形成された誘電体の皮膜を形成
した電極表面の紫外光反射率は、層数をＮとして、

【数５】 で表わされる。

【００５７】このような式を内部金属電極に持たせるこ
とにより、放電空間で生じた光の利用効率をほぼ１に近
くすることができる。

【００５８】第８実施形態（図１０） 図１０は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図
である。

【００５９】本実施形態では図１０に示すように、内部
金属電極２７ｆの厚みを部分的に変化させ、厚みの大き
い部分３７と厚みの小さい部分３８とを形成している。

【００６０】上述したように、内部金属電極の厚さを一
定とした場合、電位分布は外部金属電極２５，２６の格
子状の形状を反映した強度分布を示す。発光強度もこの
電位分布を反映した形になり易く、その結果、発光の均
一性が悪化する。

【００６１】本実施形態では、内部金属電極２７ｆの厚
みを変化させたことにより、外部金属電極２５，２６と
の間隔が変化し、厚みが大きい部分３７の近傍で電界強
度が強くなる。したがって、外部金属電極２５，２６の
影響で電位が低くなる部分に対応する位置の内部金属電
極２７ｆの厚みを大きくすることにより、放電空間全体
の電位（電界）分布を均一にすることが可能となる。

【００６２】第９実施形態（図１１） 図１１は本実施形態による紫外光発生装置を示す断面図
である。

【００６３】本実施形態では図１１に示すように、内部
金属電極２７ｇを波板状に成形している。

【００６４】内部金属電極２７ｇを平らかな板形状とし
た場合、電位分布は光取出し側の外部金属電極２５，２
６の格子状の形状を反映した強度分布を示し、発光強度
もこの電位分布を反映した不均一になり易い。

【００６５】本実施形態では内部金属電極２７ｇを波板
状にしたことにより、外部金属電極２５，２６との間隔
が変化し、空間的に電界強度が強い部分３９と弱い部分
４０とが現れる。このとき、外部金属電極２５，２６お
よび誘電体の表裏板２２，２３を内部金属電極２７ｇに
対して対称的に設定することにより、内部金属電極２７
ｇの一方の側での電界が強くなる位置の裏面では電界が
弱くなっている。

【００６６】したがって、外部金属電極２５，２６の配
置を表、裏面で互い違いになるように配置することによ
り、内部金属電極２７ｆを波板状にすることによる電界
強度分布との相互作用によって、放電空間全体の電位
（電界）分布を均一にすることが可能となる。

【００６７】第１０実施形態（図１２） 図１２は本実施形態による紫外光発生装置の構成を示す
斜視図である。

【００６８】本実施形態では、この図１２に示すよう
に、外部金属電極２５ｂ，２６ｂを並列配置の多数の線
状要素からなる簾状の構成としている。

【００６９】このような構成の外部金属電極２５ｂ，２
６ｂを適用した場合でも前記各実施形態で示した内部金
属電極２７〜２７ｇとの組合せ構成とすることにより、
前記と略同様の効果が奏される。

【００７０】

【発明の効果】以上で詳述したように、本発明に係る紫
外光発生装置によれば、光強度分布の一様化が容易で、
斑のない照射が行えるとともに従来の紫外光発生装置に
比して大幅に耐用寿命の長期化が図れ、かつ少ない消費
電力で効率よく高強度の紫外光発光ができ、しかも薄型
コンパクトな構成が図れる等の効果が奏される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態による紫外光発生装置の
基本構成を示す斜視図。

【図２】前記実施形態による紫外光発生装置を示す断面
図。

【図３】本発明の第２実施形態による紫外光発生装置を
示す断面図。

【図４】本発明の第３実施形態による紫外光発生装置を
示す断面図。

【図５】誘電体膜厚に対する電極表面の電位特性を示す
図。

【図６】本発明の第４実施形態による紫外光発生装置を
示す断面図。

【図７】本発明の第５実施形態による紫外光発生装置を
示す断面図。

【図８】本発明の第６実施形態による紫外光発生装置を
示す断面図。

【図９】誘電体窓板の下における電位特性を示す図。

【図１０】本発明の第８実施形態による紫外光発生装置
を示す断面図。

【図１１】本発明の第９実施形態による紫外光発生装置
を示す断面図。

【図１２】本発明の第１０実施形態による紫外光発生装
置を示す断面図。

【図１３】従来の紫外光発生装置の構成を示す説明図。

【図１４】従来の紫外光発生装置の他の構成を示す説明
図。

【図１５】従来の紫外光発生装置の他の構成を示す説明
図。

【符号の説明】

２１ 気密性容器 ２２ 表板 ２３ 裏板 ２４ 枠部 ２５，２６ 外部金属電極 ２５ａ，２６ａ 開口部 ２７，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，２７ｅ，２７
ｆ，２７ｇ 内部金属電極 ２８ 導体 ２９ 励起電源 ３０ 気体 ３１ 孔 ３２ 皮膜 ３３ 皮膜欠落部 ３４ 薄膜部 ａ，ａ0 紫外光 ｂ 放電プラズマ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄い平板状で、互いに対向する表裏板が
   紫外光を透過する誘電体で構成され、その内部に紫外光
   発光種を含む気体が封入された気密性容器と、前記表裏
   板の外面にそれぞれ設けられ、交差状または平行に組合
   った多数の線状要素を格子状または平行に組合せてその
   線状要素間に光が透過できる開口部を形成した外部金属
   電極と、これら両外部金属電極と対向する配置で前記容
   器の表裏板間の中間位置に内装された薄板状の内部金属
   電極と、前記各電極に接続された放電プラズマ発生用の
   励起電源とを備えたことを特徴とする紫外光発生装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の紫外光発生装置におい
   て、内部金属電極は、その厚さ方向に沿って貫通する多
   数の光透過用の孔を有することを特徴とする紫外光発生
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の紫外光発生装置
   において、内部金属電極の表面が誘電体の皮膜で覆われ
   ていることを特徴とする紫外光発生装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の紫外光発生装置におい
   て、誘電体の皮膜には、内部金属電極の表面を一部露出
   させる皮膜欠落部が形成されていることを特徴とする紫
   外光発生装置。
5. 【請求項５】 請求項３記載の紫外光発生装置におい
   て、誘電体の皮膜は、その一部に厚みが小さい薄膜部を
   有することを特徴とする紫外光発生装置。
6. 【請求項６】 請求項３記載の紫外光発生装置におい
   て、誘電体の皮膜は、外部金属電極の影響で電位が低く
   なる部分の厚みを小さく、かつ電位が高くなる部分の厚
   みを大きくした肉厚変化を有することを特徴とする紫外
   光発生装置。
7. 【請求項７】 請求項３記載の紫外光発生装置におい
   て、誘電体の皮膜は、特定波長の紫外光に対して高反射
   率を持つ膜厚を有することを特徴とする紫外光発生装
   置。
8. 【請求項８】 請求項１から７までのいずれかに記載の
   紫外光発生装置において、内部金属電極は、外部金属電
   極の影響で電位が低くなる部分の厚みを小さく、かつ電
   位が高くなる部分の厚みを大きくした肉厚変化を有する
   ことを特徴とする紫外光発生装置。
9. 【請求項９】 請求項１から７までのいずれかに記載の
   紫外光発生装置において、内部金属電極は、波板状のも
   のであることを特徴とする紫外光発生装置。