EP0482230A1 - Hochleistungsstrahler - Google Patents
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- EP0482230A1 EP0482230A1 EP90120261A EP90120261A EP0482230A1 EP 0482230 A1 EP0482230 A1 EP 0482230A1 EP 90120261 A EP90120261 A EP 90120261A EP 90120261 A EP90120261 A EP 90120261A EP 0482230 A1 EP0482230 A1 EP 0482230A1
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- tubes
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- electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
Definitions
- the invention relates to a high-power radiator, in particular for ultraviolet light, with a discharge space filled with filling gas emitting radiation under discharge conditions, with electrodes which are connected in pairs to one or more high-voltage sources, dielectric material lying between two electrodes at different potential adjoins the discharge space.
- the invention relates to a state of the art, such as that which results from the EP application with the publication number 0 363 832.
- UV sources The industrial use of photochemical processes depends heavily on the availability of suitable UV sources.
- the classic UV lamps deliver low to medium UV intensities at some discrete wavelengths, e.g. the mercury low-pressure lamps at 185 nm and especially at 254 nm. Really high UV power can only be obtained from high-pressure lamps (Xe, Hg), which then distribute their radiation over a larger wavelength range.
- high-pressure lamps Xe, Hg
- the new excimer lasers have provided some new wavelengths for basic photochemical experiments. currently for cost reasons for an industrial process probably only suitable in exceptional cases.
- the invention has for its object to provide a high-performance radiator, in particular for UV or VUV light, which is economical to manufacture due to its modular structure and enables the construction of very large area radiators.
- the discharge space is delimited on the outside by a tube which is transparent to the radiation generated and in which tube spaced apart from one another and from the transparent tube are arranged dielectric tubes with internal electrodes.
- the manufacture of the high-power radiator according to the invention is simplified and less expensive than in the known radiators.
- the limiting glass / quartz material there are no very high demands since the limiting walls only have to be transparent to the useful radiation and are not stressed by the discharge. This leads to a longer lamp life.
- the gap width and its tolerances are also far less critical.
- very large area radiators can now be realized, which are very thin can be executed. Because practically the entire length of the discharge space contributes to emission, the UV yield is very high. There are no transmission losses from an electrode grid or a partially permeable layer.
- the dielectrics can be optimized for the UV radiation to be generated because they do not have to be transparent to the UV light, which means that particularly high efficiencies can be expected for special applications.
- Such applications with growing economic importance include e.g. use as a strong UV lamp for pre-ionization purposes of other discharges, e.g. Lasers, treatment of surfaces with UV exposure, chemical processes such as preparation of new chemicals or surfaces and coating processes such as UV-assisted CVD or plasma CVD (Chemical Vapor Deposition), Photo-CVD, in which a substrate to be treated with a suitable filler gas is as close as possible to one UV light source is brought.
- dielectric tubes 6 with internal electrodes 7 are arranged in a quartz tube 1 with the broad sides 2, 3 and the narrow sides 4, 5.
- the dielectric tubes 6 are spaced apart from one another and also from the walls of the quartz tube 1.
- the dielectric tubes 6 are, for example, quartz tubes, the inner end 8 of which is melted, i.e. is closed (see Fig. 2).
- the inner electrode 7 is a metal rod which is inserted into the quartz tube. Instead, a metal rod or metal wire encased in dielectric material can also be used.
- the two narrow sides 4, 5 and one of the broad sides 3 of the quartz tube 1 are each provided with an aluminum layer 9 on the outside.
- the three coatings can - but need not - be electrically insulated from one another.
- the aluminum layer 9 is preferably vapor-deposited, flame-sprayed, plasma-sprayed or sputtered and serves as a reflector.
- the quartz tube 1 is closed on both ends by plates 10, 11 made of insulating material. These plates are glued, for example, to the end faces or, in the case of quartz or glass plates, are fused to the said end walls.
- the plates 10, 11 are provided with openings 12 in which the dielectric tubes 6 are alternately inserted from both sides of the quartz tube 1 and fastened and sealed therein.
- the dielectric tubes are melted or glued at the ends opposite the installation points.
- the dielectric tubes 6 are held at the free end 8 in tubular support elements 13, into which these elements Immerse ends 8.
- additional supports 14 can also be provided in the middle of the tube (see FIG. 6).
- the interior of the quartz tube 1 can be evacuated via a filler neck 15 and then filled with a filler gas.
- the radiator is electrically supplied from an alternating current source 16 in such a way that adjacent inner electrodes 7 are alternately connected to the alternating current source 16.
- alternating current source 16 As will be explained in more detail later (using FIG. 9), several AC sources can also be used.
- the discharges 17 then form in the space between two adjacent dielectric tubes 6.
- the AC power source 16 basically corresponds to those used for feeding ozone generators. Typically, it supplies an adjustable AC voltage in the order of magnitude of several 100 volts to 20,000 volts at frequencies in the range of technical alternating current up to a few MHz - depending on the electrode geometry, pressure in the discharge space and composition of the filling gas.
- the inside of the quartz tube 1 is filled with a filling gas which emits radiation under discharge conditions, e.g. Mercury, noble gas, noble gas-metal vapor mixture, noble gas-halogen mixture, optionally using an additional further noble gas, preferably Ar, He, Ne, as a buffer gas.
- a filling gas which emits radiation under discharge conditions, e.g. Mercury, noble gas, noble gas-metal vapor mixture, noble gas-halogen mixture, optionally using an additional further noble gas, preferably Ar, He, Ne, as a buffer gas.
- the electron energy distribution can be optimally adjusted by the wall thickness of the dielectric tubes 6 and their dielectric properties, the distance between the dielectric tubes 6, the pressure and / or the temperature of the filling gas.
- the metallic reflector layers 9 on the narrow sides of the quartz tube 1 can also be used as external electrodes.
- the electrical contact can be made using stranded strips 18 or resilient contact strips. It is expedient here to provide an odd number of dielectric tubes 6 so that both outer electrodes come to the same potential, in the case of example, to ground potential. Then discharges 17a also form between the outermost dielectric tubes 6 and the narrow sides 4, 5 of the quartz tube 1.
- FIG. 4 shows the feeding of a radiator according to FIG. 3 with a power supply device with a balanced output.
- the full output voltage of the alternating current source 16 lies between adjacent inner electrodes 7, while half the output voltage lies between the inner electrodes 7 of the outer dielectric tubes 6 and the outer electrodes 9. Accordingly, the distance between the dielectric tubes 6 is also larger than the distance between the two outer dielectric tubes 6 from the narrow sides 4, 5 of the quartz tube 1.
- the quartz tube 1 can be cut into a correspondingly dimensioned metal profile 19 with a U-shaped cross section, for example made of aluminum or copper, with, e.g. Coolant bores 20 extending in the longitudinal direction of the profile are inserted.
- a resilient metallic contact strip 21 is inserted between the legs of the U-profile and the narrow sides 4, 5 of the quartz tube 1 and extends over the entire length of the tube.
- it also serves to fix the quartz tube 1 in the space between the legs of the metal profile 19.
- an intermediate layer of heat-conducting paste 30 can be provided between the base of the profile and the quartz tube 1 in order to improve the heat transfer.
- the electrical feed takes place analogously to Fig. 4, i.e. the metal profile 19 is at earth potential. Of course, the electrical feed can also take place as illustrated in FIG. 2 or 3.
- quartz tubes 1 instead of an odd number of quartz tubes 1, even numbered variants can also be provided for configurations according to FIGS. 2, 3 and 4.
- two or more layers can be provided, as is illustrated in FIG.
- the dielectric tubes 6 of one layer are offset from the dielectric tubes of the adjacent layer by half a tube spacing.
- the dielectric tubes 6 of each layer are connected in parallel and connected to the two poles of the AC power source 16.
- the discharge channels run obliquely through the discharge space from one position to the next.
- the invention offers the possibility of embedding several individual radiators, for example according to FIG. 1 or FIG. 3, in a common cooling element, as is illustrated in FIG. 9.
- an aluminum or copper profile 19a is provided with, in the example case 3, channels with a U-shaped cross section running in the longitudinal direction of the profile. 5, quartz tubes 1 are inserted into these channels, the structure of which was described in detail in connection with FIG. 1, 3 or 5.
- the electrical feed can take place analogously to the previous exemplary embodiments. Deviating from this, it is illustrated in FIG. 9 that the individual radiators are connected to separate AC sources 16a, 16b, 16c a. This measure will be necessary if a single source is not sufficient to supply a plurality of radiators.
- the previous embodiments of the invention all relate to quartz tubes with a rectangular cross section. It is within the scope of the invention to arrange the dielectric tubes 6 in the intermediate space 22 between two quartz tubes 23, 24 arranged coaxially one inside the other.
- the internal electrodes 7 are connected alternately to the two connections of the alternating current source 16 analogously to FIG. 2 or 3, analogous to FIG. 1 the internal electrodes 7 of the first group of internal electrodes 7 are connected to one another on one end face, the internal electrodes 7 of the other group to the other end face of the tubes 23, 24 are brought together. Analogously to FIG. 2, the interior 22 is closed on both end faces of the quartz tubes 23, 24 with an annular cover 25, which is also a holder for the dielectric tubes 6.
- an aluminum layer 9 serving as a reflector must be provided on the inner surface of the inner quartz tube 23 or on the outer surface of the outer quartz tube 24.
- Fig. 5 there is also the possibility of forced cooling of the radiator, e.g. by passing coolant through the interior 26 of the inner quartz tube 23, or by filling this interior 26 with a heat sink (not shown).
- a heat sink not shown
- coolant can wash around the outer jacket of the outer quartz tube 24, or an independent heat sink can be placed over the outer quartz tube 24.
- An arrangement such as that shown in FIG. 10 using the example of an irradiation device for ban-shaped materials such as film or paper webs is advantageous.
- the material 31 to be irradiated is guided over a drum 32.
- the cooling element 19b made of a highly thermally conductive metal, e.g. Copper or aluminum consists of a tube section adapted to the drum 32 with cooling bores 20 running in the longitudinal direction of the tube.
- the inner wall of the tube section has open channels 33 with a rectangular cross section, into which quartz profiles according to FIG. 1 or 3 are inserted and fastened therein.
- the electrical feed takes place analogously to the previous exemplary embodiments.
- electrodes with almost any cross section can also be used in all embodiments.
- the inner electrodes 7 are hollow electrodes.
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Abstract
Description
- Die Erfindung bezieht sich auf einen Hochleistungsstrahler, insbesondere für ultraviolettes Licht, mit einem unter Entladungsbedingungen Strahlung aussendendem Füllgas gefüllten Entladungsraum, mit Elektroden, die paarweise an eine oder mehrere Hochspannungsquellen angeschlossen sind, wobei zwischen zwei auf unterschiedlichem Potential liegenden Elektroden dielektrisches Material liegt, das an den Entladungsraum angrenzt.
- Die Erfindung nimmt dabei Bezug auf einen Stand der Technik, wie er sich etwa aus der EP-Anmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 0 363 832 ergibt.
- Der industrielle Einsatz photochemischer Verfahren hängt stark von der der Verfügbarkeit geeigneter UV-Quellen ab. Die klassischen UV-Strahler liefern niedrige bis mittlere UV-Intensitäten bei einigen diskreten Wellenlängen, wie z.B. die Quecksilber-Niederdrucklampen bei 185 nm und insbesondere bei 254 nm. Wirklich hohe UV-Leistungen erhält man nur aus Hochdrucklampen (Xe, Hg), die dann aber ihre Strahlung über einen grösseren Wellenlängenbereich verteilen. Die neuen Excimer-Laser haben einige neue Wellenlängen für photochemische Grundlagenexperimente bereitgestellt, sind. z.Zt. aus Kostengründen für einen industriellen Prozess wohl nur in Ausnahmefällen geeignet.
- In der eingangs genannten EP-Patentanmeldung oder auch in dem Konferenzdruck "Neue UV- und VUV-Excimerstrahler" von U.Kogelschatz und B.Eliasson, verteilt an der 10.Vortragstagung der Gesellschaft Deutscher Chemiker, Fachgruppe Photochemie, in Würzburg (BRD) 18.- 20.November 1987, wird ein neuer Excimerstrahler beschrieben. Dieser neue Strahlertyp basiert auf der Grundlage, dass man Excimerstrahlung auch in stillen elektrischen Entladungen erzeugen kann, einem Entladungstyp, der in der Ozonerzeugung grosstechnisch eingesetzt wird. In den nur kurzzeitig « 1 Mikrosekunde) vorhandenen Stromfilamenten dieser Entladung werden durch Elektronenstösse Edelgasatome angeregt, die zu angeregten Molekülkomplexen (Excimeren) weiterreagieren. Diese Excimere leben nur einigen 100 Nanosekunden und geben beim Zerfall ihre Bindungsenergie in Form von Strahlung ab, deren Wellenlängenbereich je nach Zusammensetzung des Füllgases im UV-A, UV-B, UV-C oder auch im sichtbaren Spektralbereich liegen kann.
- In der jüngsten Vergangenheit hat die Nachfrage nach derartigen Hochleistungsstrahlern zugenommen, weil die besonderen Eigenschaften des Strahlers viele neue Anwendungsgebiete in der chemischen und physikalischen Verfahrenstechnik, im grafischen Gewerbe, für Beschichtungen etc. eröffnet haben. Es besteht daher ein grosses Bedürfnis nach wirtschaftlichen, möglichst modular aufgebauten und betriebssicheren UV-Strahlern.
- Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Hochleistungsstrahler, insbesondere für UV- oder VUV-Licht, zu schaffen, der aufgrund seines modularen Aufbaus wirtschaftlich zu fertigen ist und den Aufbau auch sehr grosser Flächenstrahler ermöglicht.
- Zur Lösung dieser Aufgabe bei einem Hochleistungsstrahler der eingangs genannten Gattung ist erfindungsgemäss vorgesehen, dass der Entladungsraum nach aussen von einem für die erzeugte Strahlung transparenten Rohr begrenzt ist, in welchem Rohr voneinander und vom transparenten Rohr distanzierte Dielektrikumsrohre mit Innenelektroden angeordnet sind.
- Bei Anliegen einer genügend hohen Wechselspannung bildet sich eine Vielzahl von Teilentladungen von einer Elektrode durch das Dielektrikum und den angrenzenden Entladungsraum und wieder in das Dielektrikum hinein zur benachbarten Elektrode aus. Diese Entladungen strahlen das verwendbare UV-Licht ab, das dann durch die Rohrwand oder Rohrwände dringt. Im Gegensatz zu den bekannten Konfigurationen wird hier die gesamte Ausdehnung der Entladungskanäle zur Strahlungserzeugung ausgenutzt.
- Die Herstellung des erfindungsgemässen Hochleistungsstrahlers ist vereinfacht und kostengünstiger als bei den bekannten Strahlern. Man kann z.B. handelsübliche Quarzrohrproflle verwenden, die es in vielen Dimensionen gibt. Auch für das begrenzende Glas/Quarz-Material sind keine sehr hohen Ansprüche zu stellen, da die begrenzenden Wände lediglich für die Nutzstrahlung transparent sein müssen und nicht durch die Entladung beansprucht werden. Dies führt zu einer höheren Lebensdauer des Strahlers. Auch ist die Spaltweite und deren Toleranzen weit weniger kritisch. Insbesondere lassen sich nunmehr wegen der geringeren Anforderungen bezüglich Toleranzen sehr grosse Flächenstrahler realisieren, die sehr dünn ausgeführt werden können. Weil praktisch die gesamte Länge des Entladungsraum zu Emission beiträgt, ist die UV-Ausbeute sehr hoch. Transmissionsverluste eines Elektrodengitters oder einer teildurchlässigen Schicht liegen nicht vor.
- Im Gegensatz zum Bekannten können bei der erfindungsgemässen Anordnung die Dielektrika für die zu erzeugende UV-Strahlung optimiert werden, weil sie für das UV-Licht nicht transparent sein müssen, was für besondere Anwendungen besonders hohe Wirkungsgrade erwarten lässt. Zu solchen Anwendungen mit wachsender wirtschaftlicher Bedeutung zählen z.B. der Einsatz als starker UV-Strahler für Vorionisierungszwecke anderer Entladungen, z.B. Laser, Behandlung von Oberflächen mit UV-Belichtung, chemische Prozesse wie Präparation neuer Chemikalien oder Oberflächen und Beschichtungsverfahren wie UVunterstütztes CVD oder Plasma-CVD (Chemical Vapor Deposition), Photo-CVD, bei denen ein zu behandelndes Substrat bei geeignetem Füllgas möglichst dicht an eine UV-Lichtquelle gebracht wird.
- Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
- In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung schematisch dargestellt; darin zeigt
- Fig. 1 Ein erstes Ausführungsbeispiel eines Flächenstrahlers mit einseitiger Abstrahlung im Querschnitt;
- Fig. 2 einen Längsschnitt durch den Flächenstrahler nach Fig.1 längs deren Linie AA mit einer schematischen Darstellung der elektrischen Anspeisung;
- Fig. 3 eine erste Abwandlung des Flächenstrahlers nach Fig.1 und 2 mit Aussenelektroden, die auf den Schmalseiten des äusseren Rohres angeordnet sind, und einer elektrischen Speisung mit einseitig geerdeter Spannungsquelle;
- Fig. 4 eine zweite Abwandlung des Flächenstrahlers nach Fig.1 und 2 mit Aussenelektroden, die auf den Schmalseiten des äusseren Rohres angeordnet sind, und einer erdsymmetrischen elektrischen Speisung;
- Fig. 5 einen Flächenstrahler gemäss Fig.1 und 2 mit externer Kühlung;
- Fig.6 eine Möglichkeit zur Abstützung der Dielektrikumsrohre bei langgestreckten Strahlern;
- Fig.7 eine Alternative zu den bisherigen Konfigurationen mit mehr als einer Lage Dielektrikumsrohre im Innern eines Quarzrohrs;
- Fig.8 ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in Form eines Zylinderstrahlers, zum Teil im Querschnitt, zum Teil in Stirnansicht;
- Fig.9 eine Abwandlung der Ausführungsform gemäss Fig.5 mit mehreren Strahlern in einem gemeinsamen Kühlelement;
- Fig.10 eine Abwandlung der Ausführungsform gemäss Flg.9 mit mehrerer Strahlern auf der Innenseite eines gekrümmten Kühlelements.
- Bei dem Flächenstrahler nach Fig.1 und 2 sind in einem Quarzrohr 1 mit den Breitseiten 2, 3 und den Schmalseiten 4, 5 5 Dielektrikumsrohre 6 mit Innenelektroden 7 angeordnet. Die Dielektrikumsrohre 6 sind voneinander und auch von den Wänden des Quarzrohrs 1 beabstandet. Die Dielektrikumsrohre 6 sind beispielsweise Quarzröhrchen, deren inneres Ende 8 abgeschmolzen, d.h. verschlossen ist (vgl. Fig.2). Die Innenelektrode 7 ist ein Metallstab, der in das Quarzröhrchen eingeschoben ist. Statt dessen kann auch ein von dielektrischem Material umhüllter Metallstab oder Metalldraht verwendet werden. Die beiden Schmalseiten 4,5 und eine der Breitseiten 3 des Quarzrohrs 1 sind aussen je mit einer Aluminiumschicht 9 versehen. Die drei Beschichtungen können - müssen aber nicht - elektrisch voneinander isoliert sein. Die Aluminiumschicht 9 ist vorzugsweise aufgedampft, flammgespritzt, plasmagespritzt oder gesputtert und dient als Reflektor.
- Wie aus Fig.2 zu erkennen ist, ist das Quarzrohr 1 an seinen beiden Stirnseiten durch Platten 10, 11 aus Isoliermaterial verschlossen. Diese Platten sind beispielsweise auf die Stirnseiten aufgeklebt oder im Falle von Quarz- oder Glasplatten mit den besagten Stirnwänden verschmolzen. Die Platten 10, 11 sind mit Durchbrüchen 12 versehen, in welchen wechselweise die Dielektrikumsrohre 6 von beiden Seiten des Quarzrohrs 1 eingeschoben und darin befestigt und versiegelt sind. An den den Einbaustellen gegenüberliegenden Enden sind die Dielektrikumsrohre abgeschmolzen oder verklebt. Bei langgestreckten Strahlern sind die Dielektrikumsrohre 6 am freien Ende 8 in rohrförmigen Stützelementen 13 gehalten, in welche diese Enden 8 eintauchen. Optional können auch in Rohrmitte zusätzliche Stützen 14 vorgesehen sein (vgl. Fig.6). Ueber einen Füllstutzen 15 kann der Innenraum des Quarzrohrs 1 evakuiert und dann mit einem Füllgas gefüllt werden.
- Wie aus Fig.2 ersichtlich ist, erfolgt die elektrische AnSpeisung des Strahlers aus einer Wechselstromquelle 16 derart, dass abwechselnd benachbarte Innenelektroden 7 an die Wechselstromquelle 16 angeschlossen sind. Wie später (anhand der Fig.9) noch näher erläutert wird, können auch mehrere Wechselstromquellen eingesetzt werden. Die Entladungen 17 bilden sich dann im Zwischenraum zwischen je zwei benachbarten Dielektrikumsrohren 6 aus.
- Die Wechselstromquelle 16 entspricht grundsätzlich jenen, wie sie zur Anspeisung von Ozonerzeugern verwendet werden. Typisch liefert sie eine einstellbare Wechselspannung in der Grössenordnung von mehreren 100 Volt bis 20000 Volt bei Frequenzen im Bereich des technischen Wechselstroms bis hin zu einigen MHz - abhängig von der Elektrodengeometrie, Druck im Entladungsraum und Zusammensetzung des Füllgases.
- Das Innere des Quarzrohrs 1 ist mit einem unter Entladungsbedingungen Strahlung aussendenden Füllgas gefüllt, z.B. Quecksilber, Edelgas, Edelgas-Metalldampf-Gemisch, Edelgas-Halogen-Gemisch, gegebenenfalls unter Verwendung eines zusätzlichen weiteren Edelgases, vorzugsweise Ar, He, Ne, als Puffergas.
-
- Daneben kommen eine ganze Reihe weiterer Füllgase in Frage:
- - Ein Edelgas (Ar, He, Kr, Ne, Xe) oder Hg mit einem Gas bzw. Dampf aus F2, J2, Br2, CI2 oder eine Verbindung, die in der Entladung ein oder mehrere Atome F, J, Br oder CI abspaltet;
- - ein Edelgas (Ar, He, Kr, Nr, Xe) oder Hg mit 02 oder einer Verbindung, die in der Entladung ein oder mehrere O-Atome abspaltet;
- - ein Edelgas (Ar, He, Kr, Ne, Xe) mit Hg.
- In der sich bildenden elektrischen Teilentladung (micro discharge) kann die Elektronenenergieverteilung durch Wandstärke der Dielektrikumsrohre 6 und deren dielektrische Eigenschaften, Abstand zwischen den Dielektrikumsrohren 6, Druck und/oder Temperatur des Füllgases optimal eingestellt werden.
- Bei Anliegen einer Spannung zwischen je zwei benachbarten Elektroden 7 bildet sich eine Vielzahl von Entladungskanälen 17 aus, welche das UV-Licht abstrahlen, das dann durch die transparente Breitseite 2 des Quarzrohrs 1 nach aussen dringt. Breitseiten 2, 3.
- Wie in Fig.3 veranschaulicht ist, können die metallischen Reflektorschichten 9 auf den Schmalseiten des Quarzrohrs 1 auch als Aussenelektroden verwendet werden. Die elektrische Kontaktierung kann dabei durch Litzenbänder 18 oder federnde Kontaktstreifen erfolgen. Hierbei ist es zweckmässig, eine ungeradzahlige Anzahl Dielektrikumsrohre 6 vorzusehen, damit beide Aussenelektroden auf dem selben Potential, im Beispielsfall auf Erdpotential zu liegen kommen. Dann bilden sich auch Entladungen 17a zwischen den äussersten Dielektrikumsrohren 6 und den Schmalseiten 4, 5 des Quarzrohrs 1 aus.
- Weil bei Stromversorgungseinrichtungen mit erdsymmetrischem Ausgang die Isolationsbeanspruchungen der dabei verwendeten Bauteile geringer ist als bei solchen mit einseitiger Versorgung, sind derartige Einrichtungen wirtschaftlicher. In der Fig.4 ist die Anspeisung eines Strahlers nach Fig.3 mit einer Stromversorgungseinrichtung mit erdsymmetrischem Ausgang veranschaulicht. Zwischen benachbarten Innenelektroden 7 liegt jeweils die volle Ausgangsspannung der Wechselstromquelle 16, während zwischen den Innenelektroden 7 der äusseren Dielektrikumsrohre 6 und den Aussenelektroden 9 die halbe Ausgangsspannung liegt. Dementsprechend ist auch der Abstand zwischen den Dielektrikumsrohren 6 grösser als der Abstand der beiden äusseren Dielektrikumsrohre 6 von den Schmalseiten 4, 5 des Quarzrohrs 1 bemessen.
- Hochleistungsstrahler der beschriebenen Art können aufgrund ihrer neuen Geometrie sehr einfach gekühlt werden. Wie Fig.5 veranschaulicht, kann das Quarzrohr 1 in ein entsprechend bemessenes Metallprofil 19 mit U-förmigem Querschnitt, beispielsweise aus Aluminium oder Kupfer, mit darin enthaltenen, z.B. in Profillängsrichtung verlaufenden Kühlmittelbohrungen 20 eingelegt werden.
- Zwischen den Schenkeln des U-Profils und den Schmalseiten 4,5 des Quarzrohrs 1 ist ein federnder metallischer Kontaktstreifen 21 eingelegt, der sich über die gesamte Rohrlänge erstreckt. Er dient neben der elektrischen Kontaktierung der Schicht 9 auch zum Festlegen des Quarzrohres 1 im Raum zwischen den Schenkeln des Metallprofils 19. Gegebenenfalls kann eine Zwischenlage aus wärmeleitender Paste 30 zwischen dem Profilgrund und dem Quarzrohr 1 vorgesehen werden, um den Wärmeübergang zu verbessern. Die elektrische Anspeisung erfolgt analog Fig.4, d.h. das Metallprofil 19 liegt auf Erdpotential. Selbstverständlich kann die elektrische Anspeisung auch so erfolgen, wie sie in Fig.2 oder 3 veranschaulicht ist.
- Die vorstehend beschriebenen Ausführungsformen der Erfindung weisen eine Reihe von Vorteilen auf, die nachfolgend zusammengefasst sind:
- - Es können handelsübliche, in vielen Dimensionen erhältliche Quarzprofile für die Quarzrohre 1 eingesetzt werden, welche sich durch hohe mechanische Belastbarkeit auszeichnen;
- - einfache Erweiterung bestehender Bestrahlungseinrichtungen durch die mit der Erfindung mögliche modulare Bauweise;
- - die (auf Hochspannungspotential liegenden) Elektroden samt ihrer Anschlussarmaturen lassen sich mit einfachen Mitteln berührungssicher gestalten;
- - der Einsatz von Stromversorgungseinrichtungen mit erdsymmetrischer Ausgangsspannung ermöglicht wirtschaftliche Speisung;
- - der Einsatz meherer voneinander unabhängiger Stromversorgungseinheiten ist möglich;
- - ein Drahtnetz, Drahtgitter oder eine transparente äussere Elektrode entfällt, wodurch die Reinigung des Strahlers, z.B. beim Einsatz im grafischen Gewerbe, erleichtert ist;
- - die Quarzpartien des Strahlers, welche für die Transmission des UV-Lichts verantwortlich sind, werden nicht durch den Entladungsangriff belastet;
- - die Aluminiumbedampfung macht einen Grossteil der entstehenden Strahlung nutzbar;
- - die ganze Einrichtung einschliesslich Kühlung kann extrem flach und in ihrer Flächenausdehnung nahezu beliebig gross gestaltet werden und ist daher für sehr viele technische Anwendungen geeignet.
- Ohne den durch die Erfindung gesteckten Rahmen zu verlassen, sind eine Fülle von Modifikationen des vorstehend beschriebenen UV-Hochleistungsstrahlers möglich, auf die nachstehend eingegangen werden soll.
- So können statt einer ungeradzahligen Anzahl von Quarzrohren 1 für Konfigurationen gemäss Fig.2, 3 und 4 auch geradzahlige Varianten vorgesehen sein. Anstelle nur einer einzigen Lage von Dielektrikumsrohren 6 in einem Quarzrohr 1 können zwei oder mehr Lagen vorgesehen sein, wie es in Fig.7 verdeutlicht ist. Die Dielektrikumsrohre 6 der einen Lage sind gegenüber den Dielektrikumsrohren der benachbarten Lage um einen halben Rohrabstand versetzt. Die Dielektrikumsrohre 6 jeder Lage sind parallelgeschaltet und an die beiden Pole der Wechselstromquelle 16 angeschlossen. Die Entladungskanäle verlaufen schräg durch den Entladungsraum von einer Lage zur nächsten.
- Ferner bietet die Erfindung die Möglichkeit, meherer Einzelstrahler, z.B. gemäss Fig.1 oder Fig.3 in einem gemeinsamen Kühlement einzubetten, wie es in Fig.9 verdeutlicht ist. Dort ist ein Aluminium- oder Kupferprofil 19a mit im Beispielsfall 3 in Profillängsrichtung verlaufenden Kanälen mit U-förmigem Querschnitt versehen. In diese Kanäle sind analog Fig.5 Quarzrohre 1 eingelegt, deren Aufbau im Zusammenhang mit Fig.1, 3 oder 5 ausführlich beschrieben wurde. Die elektrische Anspeisung kann analog den bisherigen Ausführungsbeispielen erfolgen. Abweichend hiervon ist in Fig.9 veranschaulicht, dass die einzelnen Strahler an separate Wechselstromquellen 16a, 16b, 16c a angeschlossen sind. Diese Massnahme wird dann von nöten sein, wenn eine einzige Quelle nicht zur Speisung einer Mehrzahl von Strahlern ausreicht.
- Die bisherigen Ausführungsformen der Erfindung bezogen sich allesamt auf Quarzrohre mit rechteckförmigen Querschnitt. Es liegt im Rahmen der Erfindung, die Dielektrikumsrohre 6 im Zwischenraum 22 zwischen zwei koaxial ineinander angeordneten Quarzrohre 23, 24 anzuordnen. Die Innenelektroden 7 sind analog Fig.2 oder 3 abwechselnd mit den beiden Anschlüssen der Wechselstromquelle 16 verbunden, wobei analog Fig.1 die Innenelektroden 7 der ersten Gruppe von Innenelektroden 7 an der einen Stirnfläche untereinander verbunden sind, die Innenelektroden 7 der anderen Gruppe an der anderen Stirnfläche der Rohre 23, 24 zusammengeführt sind. Analog Fig.2 ist der Innenraum 22 an beiden Stirnflächen der Quarzrohre 23, 24 mit je einem ringförmigen Deckel 25 verschlossen, der gleichzeitig auch Halterung für die Dielektrikumsrohre 6 ist.
- Je nachdem, ob man die Einrichtung als Aussen- oder Innenstrahler konzipiert, ist auf der Innenfläche des inneren Quarzrohres 23 bzw. auf der Aussenfläche des äusseren Quarzrohres 24 eine als Reflektor dienende Aluminiumschicht 9 vorzusehen. In Anlehnung an Fig.5 besteht auch bei einem Rundstrahler nach Fig.8 die Möglichkeit zur forcierten Kühlung des Strahlers, z.B. durch Hindurchleiten von Kühlmittel durch den Innenraum 26 des inneren Quarzrohres 23, oder durch Ausfüllen dieses Innenraums 26 mit einem Kühlkörper (nicht dargestellt). Bei einem Innenstrahler kann entweder der Aussenmantel des äusseren Quarzrohres 24 von Kühlmittel umspült werden, oder es kann ein eigenständiger Kühlkörper über das äussere Quarzrohr 24 gestülpt sein. Vorteilhaft ist dabei eine Anordnung, wie sie in Fig.10 am Beispiel einer Bestrahlungseinrichtung für banförmige Materialien wie Folien- oder Papierbahnen, dargestellt ist. Das zu bestrahlende Material 31 wird über eine Trommel 32 geführt. Das Kühlelement 19b aus einem gut wärmeleitenden Metall, z.B. Kupfer oder Aluminium, besteht aus einem der Trommel 32 angepasstem Rohrabschnitt mit in Rohrlängsrichtung verlaufenden Kühlbohrungen 20. Die Innenwandung des Rohrabschnitts weist offene Kanäle 33 mit rechteckförmigem Querschnitt auf, in welche Quarzprofile gemäss Fig.1 oder Fig.3 eingelegt und darin befestigt sind. Die elektrische Anspeisung erfolgt analog den bisherigen Ausführungsbeispielen.
- Statt runder Dielektrikumsrohre 6 und Innenelektroden 7 können bei allen Ausführungsformen auch Elektroden mit nahezu beliebigem Querschnitt verwendet werden. Zur Verbesserung der Wärmeabfuhr aus dem Dielektrikum 6 ist es zudem möglich, die Innenelektroden 7 als Hohlelektroden auszuführen.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4235743A1 (de) * | 1992-10-23 | 1994-04-28 | Heraeus Noblelight Gmbh | Hochleistungsstrahler |
EP1615258A2 (de) | 2004-07-06 | 2006-01-11 | General Electric Company | Dielektrisch behinderte Entladungslampe |
EP1615257A3 (de) * | 2004-07-06 | 2007-12-26 | General Electric Company | Dielektrisch behinderte Entladungslampe |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3025414B2 (ja) * | 1994-09-20 | 2000-03-27 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
CA2224699A1 (en) * | 1997-12-12 | 1999-06-12 | Resonance Ltd. | Hollow electrode electrodeless lamp |
JP3346291B2 (ja) * | 1998-07-31 | 2002-11-18 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ、および照射装置 |
JP3591393B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2004-11-17 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
DE10005156A1 (de) * | 2000-02-07 | 2001-08-09 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Flache Gasentladungslampe mit Abstandselementen |
US20020030437A1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-03-14 | Nobuhiro Shimizu | Light-emitting device and backlight for flat display |
GB0025956D0 (en) * | 2000-10-24 | 2000-12-13 | Powell David J | Improved method of measuring vacuum pressure in sealed vials |
US7381976B2 (en) * | 2001-03-13 | 2008-06-03 | Triton Thalassic Technologies, Inc. | Monochromatic fluid treatment systems |
US6566817B2 (en) * | 2001-09-24 | 2003-05-20 | Osram Sylvania Inc. | High intensity discharge lamp with only one electrode |
JP4238643B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2009-03-18 | 株式会社Ihi | 薄膜形成装置の電極支持構造 |
KR100775911B1 (ko) * | 2005-03-24 | 2007-11-15 | 한국기계연구원 | 고온 플라즈마 발생장치 |
CN101151706A (zh) * | 2005-03-30 | 2008-03-26 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 放电灯和包括这样一种放电灯的用于背光照明显示器件的背光照明单元 |
EP1873810A1 (de) * | 2005-04-22 | 2008-01-02 | Hoya Candeo Optronics Corporation | Exzimer-lampe |
KR20070010844A (ko) * | 2005-07-20 | 2007-01-24 | 삼성전자주식회사 | 면광원 장치 및 이를 구비한 표시 장치 |
JP2011154906A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 発光装置 |
CN103766000B (zh) * | 2011-06-03 | 2018-04-10 | 株式会社和广武 | Cvd装置以及cvd膜的制造方法 |
DE102012017779A1 (de) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | Karlsruher Institut für Technologie | Dielektrisch behinderte Entladungs-Lampe |
CN217822656U (zh) * | 2022-04-28 | 2022-11-15 | 朗升光电科技(广东)有限公司 | 一种紫外灯管 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0363832A1 (de) * | 1988-10-10 | 1990-04-18 | Heraeus Noblelight GmbH | Hochleistungsstrahler |
EP0385205A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Heraeus Noblelight GmbH | Hochleistungsstrahler |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS599849A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-19 | Okaya Denki Sangyo Kk | 高周波放電ランプ |
CH670171A5 (de) * | 1986-07-22 | 1989-05-12 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
CH675504A5 (de) * | 1988-01-15 | 1990-09-28 | Asea Brown Boveri | |
CH677557A5 (de) * | 1989-03-29 | 1991-05-31 | Asea Brown Boveri |
-
1990
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1996
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0363832A1 (de) * | 1988-10-10 | 1990-04-18 | Heraeus Noblelight GmbH | Hochleistungsstrahler |
EP0385205A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-09-05 | Heraeus Noblelight GmbH | Hochleistungsstrahler |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4235743A1 (de) * | 1992-10-23 | 1994-04-28 | Heraeus Noblelight Gmbh | Hochleistungsstrahler |
EP1615258A2 (de) | 2004-07-06 | 2006-01-11 | General Electric Company | Dielektrisch behinderte Entladungslampe |
EP1615257A3 (de) * | 2004-07-06 | 2007-12-26 | General Electric Company | Dielektrisch behinderte Entladungslampe |
EP1615258A3 (de) * | 2004-07-06 | 2007-12-26 | General Electric Company | Dielektrisch behinderte Entladungslampe |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5283498A (en) | 1994-02-01 |
DE59009300D1 (de) | 1995-07-27 |
JPH081671U (ja) | 1996-12-17 |
JPH04264349A (ja) | 1992-09-21 |
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DE4203345A1 (de) | Hochleistungsstrahler | |
DE4235743A1 (de) | Hochleistungsstrahler | |
DE3035702C2 (de) | ||
EP0515711A1 (de) | Hochleistungsstrahler | |
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