DE19953533A1 - Entladungslampe mit Elektrodenhalterung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Entladungslampe, die vorzugsweise für dielektrisch behinderte Entladungen ausgelegt ist. Die Neuerung besteht darin, daß eine Halterung eingesetzt wird, um eine in dem Entladungsraum der Entladungslampe von den Wänden des Entladungsraums beabstandet verlaufende Elektrode in ihrer Position einzustellen und zu sichern.

Description

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft eine Entladungslampe mit einem mit einem Entla­ dungsmedium gefüllten Entladungsraum und mit einer im Entladungsraum von den Gefäßwänden beabstandet verlaufenden Elektrode.

Eine spezielle Art von Entladungslampen sind Entladungslampen mit die­ lektrisch behinderter Entladung. Hierbei werden die Elektrode und/oder eine Gegenelektrode bzw. mehrere Gegenelektroden durch mindestens ein Dielektrikum von der Entladung im Entladungsraum getrennt. Die Erfin­ dung richtet sich nicht ausschließlich, jedoch bevorzugt auf Entladungslam­ pen für dielektrisch behinderte Entladungen.

Stand der Technik

In derartigen Entladungslampen wird zwischen die Elektrode und die Ge­ genelektrode, die sich ebenfalls im Entladungsraum oder am Entladungs­ raum befindet, eine Spannung angelegt, wodurch es zwischen der Elektrode und der Gegenelektrode im Entladungsmedium zu einer Entladung kommt. Bei dieser Entladung wird inkohärente Strahlung freigesetzt. Je nach Art des Lampenaufbaus und insbesondere des Entladungsmediums wird ultraviolet­ te oder infrarote Strahlung oder sichtbares Licht abgestrahlt. Eine solche Lampe wird beispielsweise in der DE 196 36 965 A1 beschrieben.

Man unterscheidet zwischen sogenannten bipolar und sogenannten unipolar betriebenen Entladungslampen.

Im Fall einer unipolaren Entladungslampe bildet eine der beiden Elektroden permanent die Anode und die andere Elektrode die Kathode. Es reicht dabei aus, die Anode durch das Dielektrikum von der Entladung zu trennen. Als Dielektrikum kann hierbei auch eine Wandung des Entladungsraumes die­ nen. In diesem Fall befindet sich in dem Entladungsraum lediglich die Ka­ thode, wogegen die Anode bzw. die Anoden außen auf die Wandung aufge­ bracht sind. Hierbei kann es sich z. B. um Streifen aus einer Gold- oder Pla­ tinpaste handeln, die direkt auf die Wandung aufgedruckt sind.

Im Fall der bipolaren Entladungslampe sind die beiden Elektroden nicht ge­ geneinander ausgezeichnet und beide durch ein Dielektrikum abgeschirmt. Durch entsprechenden Spannungswechsel bildet mal die eine Elektrode und mal die andere Elektrode die Anode.

Vorzugsweise werden die Entladungslampen mit einer im Prinzip unbe­ schränkten Folge von äußerst kurzen Spannungspulsen mit hoher Wieder­ holfrequenz gespeist. Hierzu wird verwiesen auf die WO94/23442.

Es ist klar, daß eine erfolgreiche und effiziente Entladung von dem Abstand der Elektrode zu den Gegenelektroden abhängt. Insbesondere trifft dies bei Entladungslampen mit einer dielektrisch behinderten Entladung zu, bei de­ nen die Effizienz stark von der genauen Geometrie der Entladungsbereiche im Entladungsraum abhängt. Aufgrund dieser Abhängigkeit von der Elek­ trodengeometrie würden bereits geringe Veränderungen in der Lage einer Elektrode zu einer großen Effizienzminderung der Entladungslampe führen.

Darstellung der Erfindung

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Entladungslampe zu schaffen, bei der auf einfache Weise ein genauer Sitz der Elektrode im Entla­ dungsraum gewährleistet ist.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Entladungslampe eine Halte­ rung aus nicht leitendem Material aufweist, welche die Elektrode an einer vorgegebenen Position im Entladungsraum fixiert.

Die Elektrode kann hierbei vorzugsweise eine längliche, sich im wesentli­ chen in eine Haupterstreckungsrichtung erstreckende Form aufweisen. Die genaue Form der Elektrode ist dabei beliebig. So kann es sich um Längsstrei­ fen, Wellenformen, beispielsweise in Sinusform, zickzackförmige Elektroden, eine Wendel oder dergleichen handeln.

Vorzugsweise weist dementsprechend die Halterung ein langgestrecktes, in der Haupterstreckungsrichtung der Elektrode verlaufendes Stützelement auf, welches die Elektrode auf mindestens einem Teilbereich unterstützt. Bei­ spielsweise kann das Stützelement so ausgebildet sein, daß die Elektrode nur in einem Endbereich unterstützt wird. Selbstverständlich kann das Stützele­ ment jedoch auch so lang sein, daß die Elektrode auf der gesamten Länge unterstützt wird.

Bei dem Stützelement handelt es sich beispielsweise um einen Stützstab oder ein Stützrohr. Es kann sich jedoch auch um ein längliches, plattenförmiges Stützelement oder ähnliches handeln.

Bei einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel verläuft die Elektro­ de zumindest auf einem Teilbereich der Längserstreckung wendelförmig um das Stützelement herum. Die Vorteile dieser Wendelelektrode und der dabei entstehenden Struktur der Entladungen sind in der bereits zitierten DE 196 36 965 A1 dargestellt.

Die Elektrode kann in Form einer entsprechend strukturierten leitfähigen Beschichtung, beispielsweise aus Gold- oder Platinpaste, auf die Halterung oder ein Element der Halterung aufgebracht sein. So kann z. B. auf diese Weise eine wendelförmige Elektrode auf einem in Erstreckungsrichtung der Elektrode verlaufenden Stützstab oder Stützrohr aufgebracht sein. Streifen­ förmige, wellenförmige oder zickzackförmige Elektroden können beispiels­ weise auf einem länglichen, plattenförmigen Stützelement aufgebracht sein.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform handelt es sich um einen zylinderförmigen Entladungsraum mit einer sich entlang der Zylinderachse erstreckenden Innenelektrode und einem Stützelement. Es handelt sich hier­ bei folglich um eine Entladungslampe mit einer zentrischen bzw. konzentri­ schen mittleren Elektrode. Es bietet sich dabei an, auf die äußeren Wandun­ gen des Entladungsraums mehrere parallel zur Zylinderachse verlaufende streifenförmige Gegenelektroden aufzubringen. Auf diese Weise kann der gesamte Entladungsraum effektiv genutzt werden, wobei die dazu notwen­ dige geometrische Anordnung relativ einfach zu erzeugen ist. Das hierbei auftretende Problem einer exakten zentrischen bzw. konzentrischen Lage der mittleren Elektrode bei der Herstellung und dem dauernden Betrieb wird durch die Erfindung gelöst.

Das Stützelement, ragt vorteilhafterweise von einer einem Lampensockel gegenüberliegenden Stirnseite in den Entladungsraum hinein und ist an der entsprechenden Stirnwand befestigt. Insbesondere bei längeren Entladungs­ gefäßen kann aber auch eine beidseitige Sockelung vorteilhaft sein. Dann ist auch die Seite des Pumpstengels von einem Sockel übergriffen.

Der Entladungsraum ist bei einer bevorzugten Ausführungsform auf einer Seite durch Quetschen verschlossen. Hierbei wird eine Metallfolie mit einge­ bettet, die als elektrische Durchführung für die Innenelektrode dient. Diese ist an der Metallfolie befestigt, beispielsweise angelötet, und wird zum Teil mit einem Ende mit eingequetscht, so daß die Elektrode auf einer Seite durch die Quetschung gehalten wird.

Um eine Verschiebung der Elektrode in der Längsrichtung des Stützelements zu verhindern, weist dies vorteilhafterweise einen sich quer zur Längsrich­ tung des Stützelements erstreckenden Haltevorsprung oder eine Halteaus­ nehmung auf. Bei dem Haltevorsprung kann es sich um entsprechende Noppen, Nasen, Dornen etc. handeln, bei der Halteausnehmung um eine Nut oder dgl. Durch derartige Noppen oder Nasen kann beispielsweise eine Drahtwendel, welche um ein Stützrohr oder einen Stützstab verläuft, sehr gut gegen eine Längsverschiebung gesichert werden.

Eine alternative Ausführungsform der Halterung sieht vor, daß sich zwi­ schen der Elektrode und einer Wandung des Entladungsraums quer zur Haupterstreckungsrichtung der Elektrode ein Abstandshalter befindet. Bei einem derartigen Abstandshalter kann es sich um eine Art Haken oder einen Stift handeln, welcher an einer Wandung befestigt ist und die Elektrode in der Position hält. Vorzugsweise werden entlang der Hauptlängserstreckung der Elektrode mehrere solche Abstandshalter eingesetzt.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform dieses Abstandshalters handelt es sich um eine quer zur Haupterstreckungsrichtung der Elektrode angeordne­ te, zwischen den Wänden des Entladungsraums sich erstreckende Halte­ scheibe, durch welche die Elektrode an einer vorgegebenen Position hin­ durch verläuft. Durch eine derartige Haltescheibe ist eine sichere Positionie­ rung in jede Richtung gewährleistet.

Selbstverständlich ist es auch möglich, das Stützelement und zusätzlich quer dazu verlaufende Abstandshalter zu verwenden. Dies bietet sich insbesonde­ re bei der Herstellung von sehr langen Lampen an.

Bei einer weiteren alternativen Ausführungsform ist die Elektrode zumin­ dest teilweise von zumindest einem Teil der Halterung umgeben. Beispiels­ weise kann die Elektrode in dielektrisches Material eingeschmolzen sein. Die Elektrode, die eine beliebige Form aufweisen kann, ist in diesem Fall quasi in die Halterung integriert. Eine solche Lampe bietet sich auch für einen bipola­ ren Betrieb sowie für Füllungen mit Edelgas-Halogeniden an.

Bei einer einfachen Ausführungsform ist die Elektrode zumindest teilweise innerhalb des Stützrohrs angeordnet, wobei das Stützrohr wie zuvor be­ schrieben aufgebaut ist. Die Innenelektrode kann hierbei wiederum in Form einer strukturierten leitfähigen Beschichtung auf die Innenwandung des Stützrohrs aufgebracht sein. Bei einer bevorzugten Ausführungsform han­ delt es sich um eine wendelförmige Innenelektrode, die innerhalb des Stütz­ rohrs verläuft und von den Wandungen des Stützrohrs gestützt wird. Selbst­ verständlich kann auch hierbei das Stützrohr wieder auf seiner Längserstrek­ kung von Abstandshaltern oder Haltescheiben unterstützt werden.

Bei einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung wird die Halterung oder ein Teil der Halterung als Pumpstengel oder als Teil eines Pumpstengels ausgebildet. Durch diesen Pumpstengel werden bei der Produktion die Gas­ verhältnisse im Entladungsraum eingestellt, d. h. es wird durch den Pump­ stengel die Luft im Entladungsraum abgepumpt und das als Entladungsme­ dium benötigte Gas, beispielsweise ein Edelgas, eingefüllt.

Die zusätzliche Nutzung der Halterung als Pumpstengel bietet sich insbe­ sondere bei der Ausführungsform mit einem Stützrohr an. Dieses Stützrohr kann derart an der Wandung des Entladungsgefäßes angebracht sein, daß es mit einem Ende durch die Wandung hindurchragt. Der Entladungsraum kann dann durch das Stützrohr abgepumpt und mit Gas befüllt werden. An­ schließend wird das Stützrohr außerhalb des Entladungsraumes als Pump­ stengel auf übliche Weise abgeschmolzen und geschlossen.

Ein derartiges Verfahren zur Herstellung einer Entladungspumpe mit einer Nutzung der eingefügten Halterung als Pumpstengel bzw. einer Verwen­ dung eines Pumpstengelteils als Halterung ist besonders einfach und ko­ stengünstig.

Beschreibung der Zeichnungen

Die Erfindung wird im Folgenden unter Hinweis auf die beigefügten Zeich­ nungen anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Die dargestell­ ten Merkmale können nicht nur in den genannten Kombinationen sondern auch einzeln oder in anderen Kombinationen erfindungswesentlich sein. Es stellen dar

Fig. 1 eine schematische Seitenansicht einer Entladungslampe mit einem zylindrischen Entladungsraum und einer axialen zentralen Elek­ trode, welche durch ein Stützrohr gehalten wird,

Fig. 2 einen Querschnitt durch einen Entladungsraum gemäß Fig. 1, je­ doch mit einer alternativen Halterung in Form eines hakenförmigen Abstandshalters,

Fig. 3 einen Querschnitt durch einen Entladungsraum gemäß Fig. 1, je­ doch mit einer weiteren alternativen Halterung in Form einer Hal­ tescheibe,

Fig. 4 einen Querschnitt durch einen Entladungsraum gemäß Fig. 1 mit einer vierten alternativen Halterung aus mehreren quer zwischen den Wandungen des Entladungsraums verlaufenden Haltestäben,

Fig. 5 einen Querschnitt durch einen Entladungsraum gemäß Fig. 1 mit einem axial verlaufenden Stützrohr und mehreren radial verlau­ fenden Querstützen.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Ent­ ladungslampe. Diese Entladungslampe 1 weist einen Entladungsraum 2 in einem Gefäß aus Quarzglas auf, welches auf einer Seite in einem Sockel 5 gehaltert ist. Der Entladungsraum 2 ist der mit Entladungsmedium gefüllte Raum in dem Entladungsgefäß.

Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine Excimer- Entladungslampe, die mit Xenon gefüllt ist. Mit einer solchen Excimer- Entladungslampe wird mit hoher Effizienz VUV-Strahlung erzeugt, welche industriell beispielsweise bei der Reinigung von Wafern, zur Ozonprodukti­ on oder zur Wasserreinhaltung eingesetzt wird.

Die Lampe weist innerhalb des zylindrischen Entladungsraums eine zentri­ sche wendelförmige Elektrode 6 auf. Es handelt sich hierbei um die Kathode, die auf einer negativen Hochspannung liegt. Auf der Außenseite der den Entladungsraum 2 begrenzenden Wandung 3 befinden sich mehrere parallel zur Zylinderachse verlaufende streifenförmige Elektroden 7. Hierbei handelt es sich um die Anoden 7. Sie sind folglich durch die Wandung 3 vom Entla­ dungsraum 2 getrennt. Die Lampe ist somit für dielektrisch behinderte Ent­ ladungen ausgelegt.

Als Halterung 10 weist die Lampe 1 ein axiales Stützrohr 9 auf, welches von der dem Lampensockel 5 gegenüberliegenden Stirnwandung 4 in den Entla­ dungsraum 2 des Entladungsgefäßes hineinragt. Die wendelförmige Elek­ trode 6 ist teilweise um dieses Stützrohr 9 herum geführt. Um eine Verschie­ bung der wendelförmigen Elektrode 6 in axialer Richtung zu verhindern, ist am Stützrohr 9 ein Haltevorsprung 12 in Form eines Noppens ausgebildet.

Die Halterung besteht aus einem temperaturbeständigen nichtleitenden Ma­ terial, vorzugsweise Glas, Quarzglas oder Keramik.

Bei der Herstellung wird zunächst der Entladungsraum 2 auf Seiten der dem Sockelbereich gegenüberliegenden Stirnwandung 4 geschlossen, wobei das Stützrohr 9 in einer zentrischen Öffnung 8 in der Stirnwandung 4 dicht ein­ geschlossen und fixiert wird. Zur Bildung der Stirnwand 4 mit dem einge­ schlossenen Stützrohr 9 wird das offene zylinderförmige Gefäß erhitzt und das Stützrohr 9 durch geeignete Hilfsmittel gehalten, während die Zylinder­ wandung unter der Wärmeeinwirkung nach innen einfällt. Dieser Verschluß kann aber auch durch eine Quetschung erfolgen.

Zum Aufbringen der Wendel 6 auf das Stützrohr 9 bzw. zum Einbringen des Stützrohrs 9 in die Wendel 6 wird die Wendel 6 auf das Stützrohr 9 aufge­ schraubt, wobei sich der Haltevorsprung 12 zwischen den Wendelgängen bewegt.

Anschließend wird die Wendel 6 innerhalb des Sockelbereichs beim vaku­ umdichten Verschließen des zylindrischen Entladungsraumes 2 mit einge­ quetscht (nicht sichtbar). Im Bereich der gegenüberliegenden Stirnwandung 4 wird sie durch das Stützrohr 9 gehalten.

Das Stützrohr 9 wird gleichzeitig als Pumpstengel verwendet, indem durch das Stützrohr 9 der Entladungsraum 2 abgepumpt und über das Rohr 9 mit Gas befüllt wird. Bei längeren Entladungslampen ist es sinnvoll, daß entlang des Stützrohrs 9 in den Rohrseitenwänden mindestens eine, vorzugsweise mehrere Öffnungen 11 angeordnet sind, um ein schnelles und effektives Ab­ pumpen des Entladungsraumes 2 zu ermöglichen.

Selbstverständlich kann, wenn auf die Verwendung als Pumpstengel ver­ zichtet wird, anstelle des Stützrohrs 9 auch ein entsprechender Stab aus Vollmaterial verwendet werden. Ebenso ist es alternativ möglich, daß das Stützrohr 9 bzw. ein entsprechender Stützstab nicht nur in der Stirnwandung 4 gehalten wird, sondern sich längs durch den gesamten Entladungsraum 2 bis in den Sockelbereich 5 hindurch erstreckt und gegebenenfalls auch in der Stirnwandung im Sockelbereich 5 befestigt ist, beispielsweise bei der Produk­ tion gleich mit eingepreßt wird. Bei der Wendel 6 kann es sich wie im gezeig­ ten Ausführungsbeispiel um eine Drahtwendel handeln. Alternativ kann die Wendel jedoch auch auf das Stützrohr 9 oder einen entsprechenden Stützstab mittels einer leitfähigen Paste, beispielsweise Gold- oder Platinpaste oder ähnlichem, aufgebracht sein. Im Falle eines durchgehenden Stützrohrs 9 oder Stützstabes, welcher im Sockelbereich mit eingequetscht ist, ist es vorteilhaft, wenn die Elektrode 6 im Quetschbereich von einem Draht oder einer Metall­ folie gebildet wird und innerhalb des Entladungsraums 2 oberhalb der Quetschstelle die Elektrode dann aus der strukturierten, leitfähigen Beschich­ tung auf dem Stützrohr 9 oder dem Stützstab besteht, wobei selbstverständ­ lich der untere aus Draht oder Metallfolie bestehende Bereich der Wendel und der obere Bereich der Wendel entsprechend untereinander kontaktiert sind.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Halterung ist es möglich, Lampen gemäß dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 in nahezu beliebiger Länge herzu­ stellen. Derzeit sind ohne eine solche Halterung maximal Längen von 20 cm produzierbar, ohne daß ein sicherer Sitz der Elektrode 6 gefährdet ist. Ver­ suchsweise werden derzeit auf die erfindungsgemäße Weise Lampen mit einer Länge von mehr als 85 cm hergestellt.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Stützrohr 9 relativ lang. Bei einem anderen, nicht dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Stützrohr nur ca. 2 cm lang und unterstützt eine ca. 12 cm lange Wendel nur im Endbe­ reich.

Die Fig. 2-5 zeigen jeweils alternative Ausführungsbeispiele für eine Hal­ terung.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um ei­ nen hakenförmigen Abstandshalter 14, welcher an einem Ende an der Wan­ dung 3 des Entladungsraums 2 befestigt, beispielsweise festgeschmolzen ist. An dem anderen Ende ist er an der Elektrodenwendel 6 befestigt. Um auf diese Weise eine Wendel 6 auf einer längeren Strecke sicher zu halten, sollten entlang der Längserstreckungsrichtung der Wendel 6 mehrere Häkchen 14 angeordnet sein, wobei diese auch vorteilhafterweise radial in unterschiedli­ che Richtungen nach außen verlaufen. Ein günstiger Abstand solcher Ab­ standshalterhäkchen 14 zueinander liegt bei ca. 15 cm.

Fig. 3 zeigt als Abstandshalter eine durchgehende Haltescheibe 15, durch die in der Mitte die Wendel 6 verläuft. Diese Haltescheibe 15 stützt das Wendel 6 zu allen Seiten gegenüber den Wänden 3 ab.

Fig. 4 zeigt eine Halterung in Form von zwei in der Längsrichtung der Wendel 6 hintereinander verlaufenden Haltestäben 16, 17, welche sich je­ weils quer durch den Entladungsraum 3 von einer Wandseite zur anderen erstrecken. Diese Haltestäbe 16, 17 sind an mindestens einer Seite an der Wandung 3 befestigt, beispielsweise festgeschmolzen. Auch bei dieser Versi­ on ist es sinnvoll, wenn mehrere solcher Stäbe 16, 17 in der Längserstreckung der Wendel 6 hintereinander verwendet werden.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 wird wiederum ein axial ver­ laufendes Stützrohr 9 verwendet. Dieses axial verlaufende Stützrohr 9 wird von mehreren radial verlaufenden Querstützen 18, welche sich zwischen dem Stützrohr 9 und der Seitenwandung 3 des Entladungsraumes 2 erstrek­ ken, gestützt. Diese Version bietet sich insbesondere bei der Herstellung von sehr langen Lampen an.

Alternativ ist es natürlich möglich, das Stützrohr 9 oder einen entsprechen­ den Stützstab aus Vollmaterial mit beliebigen Abstandshaltern, wie in den Fig. 2, 3 und 4 gezeigt, zu kombinieren. Insbesondere bietet sich hierzu die Verwendung der Haltescheiben 15 gemäß Fig. 3 an.

Bei einem weiteren nicht dargestellten Ausführungsbeispiel verläuft das axi­ al verlaufende Stützrohr nicht innerhalb der Wendel 6 sondern außerhalb der Wendel 6. Somit ist auch die innere wendelförmige Elektrode 6 durch ein Dielektrikum, nämlich die Wandung des Stützrohrs, gegenüber den äußeren Elektroden abgeschirmt. Eine derartige Lampe bietet sich auch für einen bi­ polaren Betrieb sowie zu Füllungen mit Edelgas-Halogeniden an. Eine weite­ re Alternative besteht darin, die Elektrode vollkommen mit dielektrischem Material zu umgeben, beispielsweise die Elektrode in dielektrisches Material einzuschmelzen. Hierbei kann die Elektrode wiederum eine beliebige Form aufweisen. In diesem Fall wird die Elektrode quasi in die Halterung inte­ griert.

Unter bestimmten Bedingungen kann das letztgenannte Ausführungsbei­ spiel wegen der durch die Wände des Stützrohrs bedingten relativ großen Stärke des Dielektrikums zwischen der Elektrode und den Entladungen nachteilig sein. Zugunsten niedrigerer Betriebsspannungen kann es dann sinnvoller sein, die Elektrode nicht mit dickwandigeren Teilen der Halterung zu bedecken. Vielmehr sollte dann eine als dünnere Beschichtung aufge­ brachte, beispielsweise aufgedruckte oder aufgepinselte, dielektrische Schicht verwendet werden - wenn überhaupt. Auch beim Einschmelzen in die Halterung kann eine solche Schichtdicke eingestellt werden.

Claims (19)

1. Entladungslampe (1) mit einem mit einem Entladungsmedium gefüll­ ten Entladungsraum (2) und mit einer im Entladungsraum (2) von den Wänden (3) des Entladungsraums (2) beabstandet verlaufenden Elek­ trode (6), gekennzeichnet durch eine Halterung (10, 14, 15, 16, 17, 18) aus nichtleitendem Material, welche die Elektrode (6) an einer vorgege­ benen Position im Entladungsraum (2) fixiert.

2. Entladungslampe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (6) eine längliche, sich im wesentlichen in einer Haupt­ erstreckungsrichtung erstreckende Form aufweist.

3. Entladungslampe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (10) ein langgestrecktes in der Haupterstreckungs­ richtung der Elektrode (6) verlaufendes Stützelement (10) aufweist, welches die Elektrode (6) auf mindestens einem Teilbereich unterstützt.

4. Entladungslampe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (10) einen Stützstab oder ein Stützrohr (9) aufweist.

5. Entladungslampe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (6) zumindest auf einem Teilbereich ihrer Längs­ erstreckung wendelförmig um das Stützelement (10) herum verläuft.

6. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladungsraum (2) zylinderförmig ist und die Elektrode (6) und/oder das Stützelement (10) sich entlang der Zylin­ derachse erstrecken.

7. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (10) von einer einem Lampen­ sockel (5) gegenüberliegenden Stirnseite in den Entladungsraum (2) hineinragt und in oder an der Stirnwand (4) befestigt ist.

8. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Stützelement (10) einen sich quer zur Längs­ richtung des Stützelements erstreckenden Haltevorsprung (12) oder ei­ ne Halteausnehmung aufweist.

9. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (14, 15) einen sich zwischen der Elektrode (6) und einer Wandung (3) des Entladungsraums (2) quer zur Haupterstreckungsrichtung erstreckenden Abstandshalter (14, 15) auf­ weist.

10. Entladungslampe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstandshalter (15) eine quer zur Haupterstreckungsrichtung der Elek­ trode (6) angeordnete, sich zwischen den Wänden (3) des Entladungs­ raums (2) er streckende Haltescheibe (15) ist, durch welche die Elektro­ de (6) an einer vorgegebenen Position hindurch verläuft.

11. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode in Form einer strukturierten, leitfä­ higen Beschichtung auf die Halterung aufgebracht ist.

12. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode zumindest teilweise von zumindest einem Teil der Halterung umgeben ist.

13. Entladungslampe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode zumindest teilweise innerhalb eines Stützrohrs angeordnet ist.

14. Entladungslampe nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode zumindest auf einem Teilbereich ihrer Längserstreckung wendelförmig innerhalb des Stützrohres verläuft.

15. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (10) oder ein Teil der Halterung als Pumpstengel oder als Teil eines Pumpstengels ausgebildet ist.

16. Entladungslampe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (10) ein langgestrecktes Rohr (9) aufweist, welches mit einem Ende durch eine Wandung (4) des Entladungsraums (2) hindurchragt und entlang seiner Längserstreckung im Entladungsraum (2) eine die Rohrwandung durchdringende Öffnung (11) aufweist.

17. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung aus Glas, Quarzglas oder Keramik besteht.

18. Entladungslampe nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungslampe (1) für dielektrisch behinder­ te Entladungen ausgelegt ist.

19. Verfahren zur Herstellung einer Entladungslampe nach einem der vor­ stehenden Ansprüche, wobei die Halterung (10) oder ein Teil der Halte­ rung als Pumpstengel oder Teil eines Pumpstengels verwendet wird.