DE4332618A1 - Einbrenntestschaltung für eine Halbleiterspeichervorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft allgemein eine Testschaltung für eine Halbleiterspeichervorrichtung, um ein frühzeitiges Aussor­ tieren von qualitativ minderwertigen Halbleiterchips zu er­ möglichen, und insbesondere eine Einbrenntestschaltung, um den Einbrenntest für einen Halbleiterchip in der Weise zu ermöglichen, daß das Testbetriebsart-Zeitgabesignal und der Pegel der äußeren Leistungsversorgungsspannung miteinander kombiniert werden, um eine Kompatibilität mit üblichen Test­ betriebsartzeitgabesignalen beizubehalten und um zu verhin­ dern, daß die Testschaltung in ihrer sogenannten "standby"- Betriebsart für den Einbrenntest eine Leistungsaufnahme zeigt.

Es ist allgemein bekannt, daß das Einbrenntesten einer Halb­ leiterspeichervorrichtung, wie beispielsweise eines dynami­ schen RAN, ein Testverfahren ist, bei dem die Halbleiter­ vorrichtung bei einer höheren Spannung und höheren Tempera­ tur als denjenigen während eines normalen Betriebszustandes betrieben wird, um qualitativ schwache Halbleitervorrichtun­ gen nach ihrer Gehäusung zu entfernen.

Eine übliche Einbrenntestschaltung eines auf einem Chip aus­ geführten Leistungsversorgungsregelsystemes für die Spei­ chervorrichtung ist beispielsweise in dem US-Patent 5 063 304 geoffenbart, welches am 5. November 1991 erteilt wurde und auf die Firma Texas Instruments Inc. übertragen wurde. Bei dieser bekannten Schaltung besteht, wie dies aus der beigefügten Fig. 1 ersichtlich ist, eine Testschaltung aus einem Spannungssensor 20 zum Erfassen des Eingangspegels einer äußeren Leistungsversorgungsspannung (Vcc), einem Be­ zugsspannungsgenerator 10 zum Erzeugen der Bezugsspannung, auf der die Erfassung der äußeren Versorgungsspannung Vcc und die Erzeugung der geregelten inneren Versorgungsspannung basieren, einem inneren Spannungsgenerator 30 zum Erzeugen einer beschleunigten Spannung (Vint), welche von der ange­ legten Leistungsversorgungsspannung abhängt und die einem Speicherarray 50 und seiner peripheren Schaltung zugeführt wird.

Wenn das Speicherarray 50 in den normalen Betriebszustand im Gegensatz zu dem Betriebszustand für das Einbrenntesten ein­ gestellt wird, erzeugt der innere Spannungsgenerator 30 eine konstante innere Spannung (Vint), die unabhängig von dem Eingangspegel der äußeren Leistungsversorgungsspannung (Vcc) ist, indem die Bezugsspannung (Vref) von dem Bezugsspan­ nungsgenerator 10 angepaßt wird. Daher wird das Speicher­ array 50 mit einer konstanten inneren Versorgungsspannung betrieben.

Wenn die Spannung der äußeren Leistungsversorgung (Vcc) auf einen vorbestimmten Pegel erhöht wird, welcher höher als die Spannung des Einbrenntests ist, erfaßt der Spannungssensor 20 den Pegel der äußeren Versorgungsspannung und erzeugt ein Signal, welches den Beginn des Einbrenntests für die Spei­ chervorrichtung darstellt. Dieses Einbrennsignal wird an den inneren Spannungsgenerator 30 angelegt, woraufhin der innere Spannungsgenerator 30 seine Betriebsart von der Erzeugung des oben erwähnten konstanten inneren Spannungssignales auf die Erzeugung einer beschleunigten inneren Spannung um­ stellt, welche von der angelegten Leistungsversorgungsspan­ nung abhängt und welcher ausreichend ist, um den Einbrenn­ test durchzuführen.

Daher ist das Halbleiterspeicherarray 50 nunmehr in die Ein­ brenntestbetriebsart umgeschaltet.

Da die obige bekannte Einbrenntestschaltung ermittelt, ob die Speichervorrichtung in einem normalen Betriebszustand oder in dem Einbrenntestbetriebszustand betrieben wird, in­ dem der Pegel der äußeren Versorgungsspannung erfaßt wird, sollte der Spannungssensor 20 zum Erfassen des Eingangspe­ gels der äußeren Spannungsversorgung stets aktiviert sein, wodurch sich eine Stromaufnahme selbst im Falle des "stand­ by"-Betriebszustandes ergibt.

Wenn die äußere Leistungsversorgung mit einem impuls-artigen Rauschen behaftet ist, erkennt der Spannungssensor 20 dies als ein Spannungssignal mit hohem Pegel und ermöglicht in nicht gewünschter Weise, daß der innere Spannungsgenerator 30 wie in der Einbrenntestbetriebsart arbeitet. Hierdurch wird die Zuverlässigkeit der gesamten Einbrenntestschaltung vermindert.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen­ den Erfindung daher die Aufgabe zugrunde, eine Testschaltung der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß deren Zu­ verlässigkeit weiter erhöht wird.

Diese Aufgabe wird durch eine Einbrenntestschaltung gemäß Patentanspruch 1 gelöst.

Die Erfindung schafft eine Einbrenntestschaltung für eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Bezugsspannungsge­ nerator zum Erzeugen einer Bezugsspannung; einem Zeitgabe­ generator zum Erzeugen von Zeitgabesignalen, wie beispiels­ weise WCBR-, CBR- und ROR-Signalen, welcher auf den Ein­ gangszustand von äußeren Eingangssignalen anspricht, wie beispielsweise den Signalen /RAS, /CAS und /WE; einer Erfas­ sungssteuerschaltung zum Erzeugen eines Pulses von kurzer Dauer in Reaktion auf den eingangsseitigen Zustand der Sig­ nale WCBR, CBR oder ROR; einem Spannungssensor zum Erfassen des Eingangspegels der äußeren Leistungsversorgungsspannung und zum Erzeugen eines Ausgangssignales HVCC, welches dar­ stellt, ob der Eingangspegel der äußeren Leistungsversor­ gungsspannung höher als die vorgegebene Spannung für den Einbrenntest ist, wobei dieses Signal HVCC erzeugt wird, während der Puls von kurzer Dauer von der Erfassungssteuer­ schaltung zugeführt wird; einem Einbrennsensor zum Erzeugen eines Ausgangssignales, welches den Beginn oder das Ende der Einbrenntestbetriebsart auf der Grundlage des eingangs sei­ tigen Zustandes der Zeitgabesignale WCBR, CBR und ROR und des Ausgangssignalpegels des Spannungssensors bestimmt; und einem inneren Spannungsgenerator zum Zuführen einer konstan­ ten inneren Spannung oder einer sich erhöhenden inneren Spannung, welche von der angelegten äußeren Leistungsver­ sorgung abhängt, zu dem Speicherarray in Reaktion auf den Zustand des ausgangsseitigen Signales des Einbrennsensors.

Vorzugsweise erzeugt der Einbrennsensor das Ausgangssignal, welches den inneren Spannungsgenerator in die Einbrenntest­ betriebsart umschaltet, wenn sowohl das Signal /CAS wie auch das Signal /WE ihren logischen niedrigen Pegel haben, wenn das Signal /RAS seinen Zustand von "hoch" nach "niedrig" ändert und wenn der Spannungspegel der äußeren Leistungs­ versorgung, welcher durch den Spannungssensor erfaßt wird, höher ist als die voreingestellte Einbrennspannung.

Ferner erzeugt der Einbrennsensor das Ausgangssignal, wel­ ches den inneren Spannungsgenerator in die Einbrenntestbe­ triebsart rücksetzt, wenn das Signal /CAS seinen "niedrigen" logischen Zustand hat und das Signal /WE seinen "hohen" lo­ gischen Zustand hat, wenn sich das Signal /RAS von seinem "hohen" zu seinem "niedrigen" logischen Pegel ändert und wenn das Signal /CAS seinen "hohen" logischen Zustand bei­ behält, während sich das Signal /RAS von seinem "hohen" lo­ gischen Zustand zu seinem "niedrigen" logischen Zustand und erneut zu seinem "hohen" logischen Zustand ändert, sowie wenn der erfaßte Spannungspegel der äußeren Spannungsversor­ gung niedriger ist als derjenige der voreingestellten Ein­ brennspannung.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm einer bekannten Einbrenntest­ schaltung in einer Halbleiterspeichervorrichtung;

Fig. 2 ein Blockdiagramm einer Einbrenntestschaltung, die gemäß der vorliegenden Erfindung konfiguriert ist;

Fig. 3 eine zeitliche Darstellung zum Erläutern der Be­ triebsweise der Einbrenntestschaltung der Erfin­ dung;

Fig. 4 ein detailliertes Schaltungsdiagramm einer Erfas­ sungssteuerschaltung 70 gemäß Fig. 2;

Fig. 5 ein detailliertes Schaltungsdiagramm des Einbrenn­ sensors 80 gemäß Fig. 2;

Fig. 6 Signalverläufe, die von den jeweiligen Teilen der Schaltung gemäß Fig. 5 abgeleitet sind; und

Fig. 7 eine Kurvendarstellung einer typischen Änderung der inneren Versorgungsspannung in Abhängigkeit von der äußeren Leistungsversorgungsspannung.

Wie in Fig. 2 gezeigt ist, umfaßt ein bevorzugtes Ausfüh­ rungsbeispiel der Einbrenntestschaltung für die Halbleiter­ speichervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung einen Zeitgabegenerator 60, welcher die Signale WCBR, CBR und ROR auf der Grundlage des Zustandes äußerer Eingangssignale /RAS, /CAS und /WE erzeugt. Die Ausgangsleitungen, welche die Signale WCBR, CBR und ROR des Zeitgabegenerators 60 füh­ ren, sind mit einer Erfassungssteuerschaltung 70 sowie mit einem Einbrennsensor 80 verbunden. Der Ausgang des Einbrenn­ sensors 80 wird dem Generator 30 für die innere Spannung zu­ geführt.

Ferner ist der Ausgang der Erfassungssteuerschaltung 70 mit dem Aktivierungseingang des Spannungssensors 20 verbunden. Der Ausgang des Spannungssensors 20 ist mit dem Einbrenn­ sensor 80 verbunden.

Der Zeitgabegenerator 60 ist ein Teil der peripheren Schal­ tung einer Halbleiterspeichervorrichtung, wie beispielsweise eines dynamischen RAN, welche das zeitliche Verhalten des Reihenadressabtastsignales (/RAS), des Spaltenadressabtast­ signales (/CAS) und des Schreibaktivierungssignales (/WE) erzeugt, und welche das CBR-Signal (/CAS before /RAS refresh = CBR), das ROR-Signal (/RAS only refresh = ROR) und das Schreib-Aktivierungs-CBR-Signal bzw. WCBR-Signal (Write Enable CBR = WCBR) erzeugt, wodurch die Betriebsweise der Speichervorrichtung in eine Testbetriebsart geschaltet wird.

Die genannten WCBR-, CBR- und ROR-Signale sind gegenseitig exclusiv, d. h., daß lediglich eines dieser drei Signale zu einem bestimmten Zeitpunkt einen "hohen" logischen Pegel hat.

Wie dies in Fig. 4 gezeigt ist, umfaßt die Erfassungssteuer­ schaltung 70 ein NOR-Gatter G1 zum Empfangen der WCBR-, CBR- und ROR-Signale von dem Zeitgabegenerator 60, einen Inverter INV0, der mit dem Ausgang des Gatters G1 verbunden ist, eine Inverterkette INV1 bis INV2n, wobei diese Inverter geradzah­ lig sind und parallel zu dem Inverter INV0 geschaltet sind, ein NAND-Gatter G2, das mit den Ausgängen der jeweiligen In­ verter INV0 und INV2n verbunden ist, sowie einen Inverter INV, welcher mit dem Ausgang des Gatters G2 verbunden ist.

Wenn die logisch "hohen" Signale WCBR, CBR oder ROR an den Eingang des NOR-Gatters G1 angelegt werden, ändert das Aus­ gangssignal des Gatters G1 seinen Pegelzustand nach "nied­ rig". Dieses logische "niedrige" Signal wird den Invertern INV0 und INV1 bis INV2n zugeführt, um einen Puls von kurzer Zeitdauer mit "niedrigem" Pegel am Ausgang des NAND-Gatters G2 aufgrund der Differenz der Zeitverzögerung zwischen dem Inverter INV0 und den Invertern INV1 bis INV2n zu erzeugen. Dieser kurze Puls von niedrigem logischen Pegel erscheint am Ausgang des Inverters INV als ein Puls (EN) mit "hohem" lo­ gischen Pegel, welcher an den Spannungssensor 20 gemäß Fig. 2 angelegt wird.

Die detaillierte Schaltungskonfiguration des Einbrennsensors 80 gemäß Fig. 2 ist in Fig. 5 gezeigt, wobei die Zeitgabe­ signale WCBR, CBR und ROR von dem Zeitgabegenerator 60 sowie das Ausgangssignal HVCC des Spannungssensors 20 kombiniert werden, um das Einbrenntestbetriebsartsignal zu erzeugen. Daher werden die Eingangssignale des NAND-Gatters G10 mit den WCBR- und HVCC-Signalen angelegt, wobei die Eingangs­ signale des NOR-Gatters G12 mit den CBR- und ROR-Signalen angelegt werden. Der Ausgangs des Gatters G10 ist mit einem Eingang des NOR-Gatters G11 verbunden, dessen weiterer Ein­ gang mit dem /RESET-Eingangsanschluß durch einen Inverter INV20 verbunden ist, um das Ausgangssignal des Einbrennsen­ sors 80 in einen "hohen" logischen Pegel zu bringen, wenn die Speichervorrichtung leistungsmäßig hochgefahren wird, d. h. wenn sie anfänglich mit der Leistungsversorgungsspan­ nung betrieben wird.

Ferner wird der Ausgang des NOR-Gatters G11 dem "Setz"-Ein­ gang eines Flip-Flop 90 zugeführt, während der Ausgang des Gatters G12 mit einem Eingang des NAND-Gatters G13 durch einen Inverter INV30 verbunden ist und der andere Eingang desselben mit dem Eingang des HVCC-Signales durch einen In­ verter INV10 verbunden ist. Wiederum ist der Ausgang des Gatters G13 mit einem Eingang des NAND-Gatters G14 verbun­ den, um eine Kombination mit dem /RESET-Signal herbeizufüh­ ren, wobei dessen Ausgang mit dem "RESET"-Eingang des Flip- Flop 90 verbunden ist. Der Ausgang /Q des Flip-Flop 90 lie­ fert das Einbrenntestbetriebsartsignal (/BITM).

In ähnlicher Weise wie bei der bekannten Schaltung ist der Generator 30 für die innere Spannung derart konfiguriert, daß eine Bezugsspannung VREF von dem Bezugsspannungsgenera­ tor 10 und der Einbrenntestbetriebsartsignalausgang von dem Einbrennsensor 80 angelegt werden, um die innere Spannung Vint zu erzeugen, die dem Speicherarray 50 zugeführt wird.

Die Betriebsweise sowie die Wirkung der Einbrenntestschal­ tung gemäß der vorliegenden Erfindung werden aufgrund der nachfolgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf das Zeit­ diagramm gemäß Fig. 3 verdeutlicht.

Das Testbetriebsartzeitgabesignal WCBR wird innerhalb des Zeitgabegenerators 60 erzeugt, wenn das /CAS-Signal und das /WE-Signal ihren "niedrigen" logischen Zustand haben und wenn sich das /RAS-Signal bezüglich seines Pegelzustandes von "hoch" nach "niedrig" ändert. Gemäß Fig. 3 (e) hat der Signalverlauf des WCBR-Signales einen "hohen" logischen Zu­ stand bei dem oben beschriebenen äußeren Eingangssignalzu­ stand (d. h. der sogenannten "WCBR-Bedingung"). Wenn das WCBR-Signal mit "hohem" logischen Pegel an die Erfassungs­ steuerschaltung 70 angelegt wird, wird ein Aktivierungspuls (EN) mit einem "hohen" Pegelzustand und kurzer Zeitdauer (vergleiche Fig. 3h) erzeugt. Dieser Aktivierungspuls akti­ viert den Spannungssensor 20, so daß dieser während des Zeitintervalles des Aktivierungspulses wirksam ist. Dadurch erfaßt der Spannungssensor 20 den Eingangspegel der äußeren Leistungsversorgung Vcc während der Aktivierungspuls (EN) einen "hohen" Pegelzustand hat.

Wenn die durch den Spannungssensor 20 erfaßte Spannung der äußeren Leistungsversorgung Vcc höher als die Spannung ist, welche für die Einstellung des Einbrenntestes Vbin verwendet wird, wird das Ausgangssignal HVCC mit "hohem" Pegel erzeugt und durch den Spannungssensor 20 gehalten. Zu diesem Zeit­ punkt bestimmt der Einbrennsensor 80 die Betriebsart der Speichervorrichtung auf der Grundlage des Pegelzustandes des empfangenen WCBR-Signales sowie des gehaltenen Ausgangssig­ nales HVCC.

Wenn das Ausgangssignal HVCC des Spannungssensors 20 einen "hohen" Pegelzustand hat (Vcc < Vbin) und das WCBR-Signal einen "hohen" Pegel hat, erzeugt der Einbrennsensor 80 das Einbrenntestbetriebsartsignal mit "niedrigem" Pegel (/BITM; vergleiche Fig. 3j), wodurch die Speichervorrichtung in die Einbrenntestbetriebsart eintreten kann.

Wenn der Einbrennsensor 80 in die Einbrenntestbetriebsart gesetzt wird, wird das gehaltene /BITN-Signal durch den Ein­ brennsensor 80 an den Generator 30 für die innere Spannung angelegt. Zu diesem Zeitpunkt ändert der Generator 30 für die innere Spannung seinen Betriebszustand, wie dies in Fig. 7 gezeigt ist, von der Erzeugung einer konstanten inneren Spannung Vint1 unabhängig von dem Anstieg der äußeren Ver­ sorgungsspannung zu der Erzeugung einer ansteigenden inneren Spannung Vint2 proportional zu dem Anstieg der äußeren Lei­ stungsversorgungsspannung.

Wenn jetzt der Zustand der Eingangssignale /RAS, /CAS und /WE der WCBR-Bedingung entspricht und wenn die Spannung der äußeren Leistungsversorgung Vcc, die durch den Spannungs­ sensor 20 erfaßt wird, niedriger als die Spannung Vbin ist, die für den Einbrenntest festgesetzt ist, behält das Aus­ gangssignal HVCC des Spannungssensors 20 seinen anfänglichen "niedrigen" Zustand bei, wobei das Ausgangssignal /BITN des Einbrennsensors 80 gleichfalls seinen "hohen" Pegelzustand beibehält. Dies ermöglicht es, daß die Einbrenntestschaltung in einer normalen parallelen Testbetriebsart arbeitet und der Generator 30 für die innere Spannung eine konstante in­ nere Spannung beibehält und erzeugt, wie dies nicht bei der Einbrenntestbetriebsart der Fall ist.

Obwohl die Spannung der äußeren Leistungsversorgung Vcc zu diesem Zeitpunkt über die voreingestellte Spannung Vbin für den Einbrenntest ansteigt, wird der Spannungssensor 20 nicht mit dem Aktivierungspuls EN beaufschlagt, so daß dessen Aus­ gangssignal HVCC seinen "niedrigen" Pegelzustand beibehält, falls der Zustand der äußeren Eingangssignale nicht der WCBR-Bedingung entspricht. Da ferner der Einbrennsensor 80 sein Ausgangssignal /BITM in einem "hohen" Pegelzustand bei­ behält, behält der Generator 30 für die innere Spannung eine konstante innere Spannung an seinem Ausgang bei.

Hierdurch wird die Speichervorrichtung davon abgehalten, in die Einbrenntestbetriebsart aufgrund des Rauschens der äußeren Leistungsversorgungsspannung einzutreten.

Wenn die Betriebsweise der Einbrenntestschaltung gemäß der Erfindung in die Einbrenntestbetriebsart eingestellt wird, wodurch die WCBR-Bedingung erfüllt wird, und wenn die er­ forderliche äußere Leistungsversorgungsspannung höher ist als die voreingestellte Einbrennspannung, wird der darauf­ folgende Speicherzugriff auf die Speichervorrichtung in der Einbrenntestbetriebsart durchgeführt, wobei anderenfalls die spezielle Bedingung, die nachfolgend erläutert wird, erfüllt ist.

Das bedeutet, daß die Änderung der Betriebsweise von der Einbrenntestbetriebsweise in die normale Betriebsweise zu dem CBR-Auffrischzeitpunkt oder dem ROR-Auffrischzeitpunkt sowie bei einer niedrigen äußeren Leistungsversorgungsspan­ nung, die unterhalb der voreingestellten Einbrennspannung Vbin liegt, durchgeführt wird. Zu diesem Zeitpunkt erzeugt der Zeitgabegenerator 60 das CBR-Ausgangssignal (vergleiche Fig. 3f), wenn das /CAS-Eingangssignal seinen "niedrigen" Pegelzustand aufweist und das /WE-Signal seinen "hohen" Pe­ gelzustand hat, wenn das /RAS-Signal seinen Pegelzustand von "hoch" nach "niedrig" ändert (die sogenannte "CBR-Bedin­ gung").

Gleichfalls das ROR-Ausgangssignal erzeugt (vergleiche Fig. 3g), wenn das /CAS-Signal seinen "hohen" Pegelzustand bei­ behält, wenn das /RAS-Signal seinen Pegelzustand von "hoch" nach "niedrig" und erneut nach "hoch" ändert (die sogenannte "ROR-Bedingung").

Wenn das CBR-Signal oder das ROR-Signal von der Erfassungs­ steuerschaltung 70 empfangen werden, erzeugt diese einen Aktivierungspuls EN von kurzer Zeitdauer in der gleichen Art, als ob das WCBR-Signal an die Erfassungssteuerschaltung 70 angelegt wird. Daraufhin wird der Spannungssensor 20 durch den Aktivierungspuls aktiviert und erfaßt den Span­ nungspegel der äußeren Versorgungsspannung Vcc während des kurzen Zeitintervalles.

Falls die Spannung Vcc größer als Vbin ist, behält das Ausgangssignal HVCC des Spannungssensors 20 seinen "hohen" Pegelzustand bei. Gleichfalls wird der gehaltene "niedrige" Pegel des Ausgangssignales /BITN des Einbrennsensors 80 beibehalten. Daher arbeitet die Speichervorrichtung ständig in der Einbrenntestbetriebsart, wobei während dieser Betriebsart das CBR-Auffrischen oder das ROR-Auffrischen durchgeführt wird.

Wenn jedoch der erfaßte Spannungspegel der äußeren Span­ nungsversorgung niedriger als die voreingestellte Einbrenn­ spannung (Vcc < Vbin) bei Vorliegen der CBR-Bedingung oder der ROR-Bedingung ist, ändert sich das Ausgangssignal /BITM des Einbrennsensors 80 von seinem "niedrigen" in seinen "hohen" logischen Pegel, woraufhin der Generator 30 für die innere Spannung, der das /BITX-Signal mit "hohem" Pegel em­ pfängt, eine Rücksetzung der Speichervorrichtung in die nor­ male Betriebsart ermöglicht, wobei eine konstante innere Spannung unabhängig von dem Anstieg der äußeren Leistungs­ versorgungsspannung erzeugt wird.

Daher wird die Einbrenntestbetriebsweise des Generators 30 für die innere Spannung, der die erhöhte innere Spannung proportional zu dem Anstieg der äußeren Versorgungsspannung erzeugte, angehalten.

Das Signalerzeugungsverfahren für das /BITN-Signal innerhalb des Einbrennsensors 80, welches das Setzen und Rücksetzen der Einbrenntestbetriebsart bestimmt, wird detailliert unter Bezugnahme auf das Zeitdiagramm der Fig. 6 beschrieben.

Es ist vorgesehen, daß die Zeitgabesignale WCBR, CBR, ROR sowie das Ausgangssignal HVCC an die Gatter G10 und G12 ge­ mäß Fig. 5 mit dem in Fig. 3 gezeigten Signalstatus angelegt werden.

Im Verlauf der Einstellung der Einbrenntestbetriebsart hat das WCBR-Eingangssignal einen "hohen" Pegelzustand. Gleich­ falls hat das HVCC-Eingangssignal einen "hohen" Pegel. Daher wird der Ausgang (L) des NAND-Gatters G10 "niedrig". Da zu diesem Zeitpunkt das CBR-Signal und das ROR-Signal, welche an die beiden Eingänge des NOR-Gatters G12 angelegt werden, einen "niedrigen" Pegelzustand haben, wird der Ausgang des Gatters G12 nach "hoch" gesetzt und durch einen Inverter INV30 erneut auf "niedrig" gesetzt. Dieses Signal mit "nied­ rigem" Pegel wird an die Eingänge des NAND-Gatters G13 zu­ sammen mit dem HVCC-Ausgangssignal angelegt, welches sich durch einen Inverter INV10 in den "niedrigen" Pegelzustand ändert, um an dem Ausgang (N) desselben ein Signal mit "ho­ hem" Pegel zu erzeugen.

Dieses Signal mit "hohem" Pegel wird an die Eingänge des NAND-Gatters G14 zusammen mit dem /RESET-Signal von "hohem" Pegel angelegt, wodurch das Rücksetzsignal an dem Ausgang (R) des Gatters G14 auf einen "niedrigen" Pegel gesetzt wird.

Das Rücksetzsignal R wird an den Rücksetzeingang des Flip- Flop 90 angelegt. Am Ausgang Q sowie an dem Ausgang /Q des Flip-Flop 90 werden daher Signale mit "hohem" bzw. "niedri­ gem" Pegelzustand erzeugt. Das Ausgangssignal /Q mit "nied­ rigem" Pegel bildet das Einbrenntestbetriebsartsignal /BITN und wird an dem Generator 30 für die innere Spannung ange­ legt.

Das Signal /BITM mit "niedrigem" Pegelzustand ändert seinen Pegelzustand nach "hoch" im Verlaufe des Rücksetzens der Einbrenntestbetriebsart in Reaktion auf "hohe" Pegel der CBR- oder ROR-Zeitgabesignale. Zu dem CBR-Zeitpunkt haben das CBR-Signal und ROR-Signal, die von dem Gatter G12 em­ pfangen werden, einen "hohen" bzw. "niedrigen" Pegelzustand. Zu dem ROR-Zeitpunkt haben das CBR-Signal und das ROR-Signal einen "niedrigen" bzw. "hohen" Pegelzustand.

Daher stellen die Signalverläufe N und R gemäß Fig. 6 die Signalantworten zu dem CBR-Zeitpunkt an den Ausgängen der Gatter G13 bzw. G14 in Fig. 5 dar. Die Signalverläufe N- und R- gemäß Fig. 6 sprechen auf das ROR-Zeitgabesignal an.

Fig. 7 zeigt eine funktionale Kurvendarstellung einer typi­ schen Änderung der Innenspannung, wenn der Generator 30 für die innere Spannung in eine normale Betriebsart und in eine Einbrenntestbetriebsart eingestellt wird. Erneut ist eine ansteigende innere Spannung Vint2 dargestellt, die propor­ tional zu der äußeren Versorgungsspannung Vcc ist, wenn der Status der äußeren Eingangssignale die WCBR-Bedingung er­ füllt und die äußere Leistungsversorgungsspannung Vcc höher wird als die voreingestellte Einbrennspannung Vbin, sowie eine konstante innere Spannung Vint1, die unabhängig von dem Anstieg der äußeren Leistungsversorgungsspannung ist, wenn der Status der äußeren Eingangssignale der CBR-Bedingung oder der ROR-Bedingung entspricht und die äußere Spannung Vcc niedriger als die voreingestellte Einbrennspannung Vbin ist.

Aus der obigen Beschreibung ist es offenkundig, daß die Spannungserfassungssteuerung gemäß der Erfindung bewirkt, daß der Spannungssensor lediglich dann wirksam ist, wenn ein Puls von kurzer Zeitdauer zugeführt wird, wodurch die Lei­ stungsaufnahme des Spannungssensors auch bei der Erfassungs­ operation für die äußere Leistungsversorgungsspannung ver­ nachlässigbar ist.

Da ferner die Einbrenntestbetriebsart bei der Speichervor­ richtung aktiviert wird, wenn äußere Eingangssignale die spezielle Bedingung erfüllen und die Spannung der äußeren Leistungsversorgung höher als die voreingestellte Spannung für den Einbrenntest wird, wird es verhindert, daß die Spei­ chervorrichtung in die Einbrenntestbetriebsart aufgrund des Rauschens der äußeren Leistungsversorgungsspannung eintritt.

Claims (5)

1. Einbrenntestschaltung für eine Halbleiterspeichervor­ richtung, mit:
einem Bezugsspannungsgenerator (10) zum Erzeugen einer Bezugsspannung;
einem Spannungssensor (20) zum Erfassen des Eingangs­ pegels einer äußeren Leistungsversorgungsspannung (Vcc); und
einem Generator (30) für eine innere Spannung zum Zu­ führen einer in Abhängigkeit von der angelegten äußeren Leistungsversorgungsspannung (Vcc) ansteigenden inneren Spannung zu der Halbleiterspeichervorrichtung (50);
gekennzeichnet durch
einen Zeitgabegenerator (60) zum Erzeugen von Zeitgabe­ signalen (WCBR, CBR, ROR) in Reaktion auf den eingangs­ seitigen Status äußerer Eingangssignale (/RAS, /CAS, /WE);
eine Erfassungssteuerschaltung (70) zum Erzeugen eines Pulses (EN) von kurzer Zeitdauer in Reaktion auf den eingangsseitigen Status der Zeitgabesignale (WCBR, CBR, ROR); und
einen Einbrennsensor (80) zum Erzeugen eines Ausgangs­ signales, welches den Beginn oder das Ende der Einbrenn­ testbetriebsart auf der Grundlage des eingangsseitigen Status der Zeitgabesignale (WCBR, CBR, ROR) sowie auf der Grundlage des Ausgangssignalpegels des Spannungs­ sensors (20) bestimmt;
wobei der Spannungssensor (20) ein Ausgangssignal (HVCC) erzeugt, welches darstellt, ob der Eingangspegel der äußeren Leistungsversorgungsspannung (Vcc) höher als eine vorgegebene Spannung (Vbin) für den Einbrenntest während der kurzen Pulsdauer des Pulses (EN) ist, welche von der Erfassungssteuerschaltung (90) festgelegt wird; und
wobei der Generator (30) für die innere Spannung entwe­ der eine konstante innere Spannung oder eine ansteigende innere Spannung abhängig von angelegten äußeren Lei­ stungsversorgungsspannung der Halbleiterspeichervorrich­ tung (50) in Reaktion auf den Status des Ausgangssigna­ les (/BITN) des Einbrennsensors (80) zuführt.

2. Einbrenntestschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Einbrennsensor (80) das Ausgangssignal erzeugt, durch das der Generator (30) für die innere Spannung in die Einbrenntestbetriebsart zu bringen ist, wenn sowohl das /CAS- wie auch das /WE-Signal einen "niedrigen" Pe­ gelzustand haben, wenn sich der Pegelzustand des /RAS- Signales von "hoch" nach "niedrig" ändert und wenn der Spannungspegel der äußeren Leistungsversorgung, welcher durch den Spannungssensor (20) erfaßt wird, höher als die voreingestellte Einbrennspannung (Vbin) ist.

3. Einbrenntestschaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Einbrennsensor (80) das Ausgangssignal, durch das der Generator (30) für die innere Spannung die Ein­ brenntestbetriebsart rücksetzen läßt, erzeugt, wenn das /CAS-Signal seinen "niedrigen" logischen Pegel und das /WE-Signal seinen "hohen" logischen Pegel aufweist, wenn sich das /RAS-Signal von dem "hohen" zu dem "niedrigen" logischen Pegel ändert und wenn das /CAS-Signal seinen "hohen" Pegelzustand beibehält, während das /RAS-Signal seinen Pegelzustand von "hoch" nach "niedrig" und sodann nach "hoch" ändert, sowie wenn der erfaßte Spannungs­ pegel der äußeren Versorgungsspannung (Vcc) niedriger ist als die voreingestellte Einbrennspannung (Vbin).

4. Einbrenntestschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungssteuerschaltung (70) ein NOR-Gatter (G1) zum Empfangen der Zeitgabesignale (WCBR, CBR, ROR) von dem Zeitgabegenerator (60), einen Inverter (INV0), der mit dem Ausgang des NOR-Gatters (G1) verbunden ist, eine Inverterkette (INV1 bis INV2n) mit einer geradzah­ ligen Anzahl von Invertern, die parallel zu dem Inverter (INV0) geschaltet sind, ein NAND-Gatter (G2) das mit den Ausgängen der jeweiligen Inverter (INV0 und INV2n) ver­ bunden ist, und einen Inverter (INV) umfaßt, der mit dem Ausgang des Gatters (G2) verbunden ist.

5. Einbrenntestschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der Einbrennsensor (80) derart konfiguriert ist, daß die Eingänge des NAND-Gatters (G10) mit den WCBR- und HVCC-Signalen beaufschlagt werden,
daß die Eingänge des NOR-Gatters (G12) mit den CBR- und ROR-Signalen beaufschlagt werden,
daß der Ausgang des Gatters (G10) einem Eingang des NOR-Gatters (G11) zugeführt wird und der andere Ausgang desselben mit dem /RESET-Eingangsanschluß durch einen Inverter (INV20) verbunden ist und des Ausgang des NOR-Gatters (G11) mit dem "Setz"-Eingang eines Flip-Flop (90) verbunden ist,
daß der Ausgang des Gatters (G12) mit einem Eingang des NAND-Gatters (G13) durch einen Inverter (INV30) verbun­ den ist,
daß der andere Eingang des NAND-Gatters (G13) mit dem Eingangsanschluß für das HVCC-Signal durch einen Inver­ ter (INV10) verbunden ist,
daß der Ausgang des Gatters (G13) mit einem Eingang des NAND-Gatters (G14) verbunden ist, um eine Kombination mit dem /RESET-Signal herbeizuführen,
daß der Ausgang desselben mit dem "Rücksetz"-Eingang des Flip-Flop (90) verbunden ist, und
daß das Einbrenntestbetriebsartsignal (/BITN) an dem Ausgang (/Q) des Flip-Flop (90) erzeugt wird.