DE4322994C2 - Halbleiterspeichervorrichtung und Verfahren zum Setzen des Test-Modus einer Halbleiterspeichervorrichtung - Google Patents
Halbleiterspeichervorrichtung und Verfahren zum Setzen des Test-Modus einer HalbleiterspeichervorrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterspeichervorrichtung
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1
und ein Verfahren zum Setzen eines
Test-Modus einer Halbleiterspeichervorrichtung
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 6.
Eine Halbleiterspeichervorrichtung nach dem Oberbegriff des
Anspruchs 1 bzw. ein Verfahren nach dem Oberbegriff des
Anspruchs 6 ist aus der DE 41 26 474 A1 bekannt.
Mit der Vergrößerung der Speicherkapazität von Halbleiterspeichervorrichtungen
in den vergangenen Jahren wurde ein Funktionstest
für ein Speicherzellenfeld der Halbleiterspeichervorrichtung
nach der Produktion wichtiger. Jedoch wird mit dem Anstieg der
Anzahl von Speicherzellen, die in einem solchen Speicherzellenfeld
enthalten sind, das heißt mit dem Anstieg der Speicherkapazität
der Halbleiterspeichervorrichtung, die für einen solchen
Funktionstest benötigte Zeit länger. Darum wurde der Anstieg der
für einen solchen Funktionstest bei einer Halbleiterspeichervorrichtung
mit großer Speicherkapazität benötigten Zeit in den vergangenen
Jahren ein Problem.
Um die für einen solchen Funktionstest benötigte Zeit zu verkürzen,
wird ein sogenanntes ON-Chip-Testschaltungssystem in vielen
Fällen, in denen eine Schaltungseinheit für einen solchen Funktionstest
(im folgenden als Testschaltung bezeichnet) zusammen
mit den die Halbleiterspeichervorrichtung bildenden Schaltungen
auf demselben Chip vorgesehen ist, verwendet. Zum Beispiel wird
ein solches ON-Chip-Testschaltungssystem in einem DRAM (Dynamic
Random Access Memory = dynamischer Speicher mit wahlfreiem Zu
griff) in vielen Fällen verwendet.
Fig. 7 ist eine Blockdarstellung, die die gesamte Konfiguration
eines DRAM, in dem das ON-Chip-Testschaltungssystem verwendet
wird, zeigt. Wie in Fig. 7 gezeigt, weist ein Speicherzellenfeld
1 Speicherzellen (nicht gezeigt), die in Zeilen und Spalten nach
Art einer Matrix angeordnet sind, Wortleitungen (nicht gezeigt),
wobei eine für jede Zeile vorgesehen ist, und Bitleitungspaare
(nicht gezeigt), wobei ein Paar für jede Spalte vorgesehen ist,
auf. Jede der Speicherzellen ist mit einer Wortleitung einer ent
sprechenden Zeile und einem Bitleitungspaar einer entsprechenden
Spalte verbunden.
Die Auswahl einer Wortleitung wird durch einen Zeilendekoder 2
ausgeführt, und die Auswahl eines Bitleitungspaares wird durch
einen Spaltendekoder 3 ausgeführt. Die Wortleitungsauswahl durch
den Zeilendekoder 2 und die Bitleitungspaarauswahl durch den
Spaltendekoder 3 wird in Antwort auf ein Zeilenadreßsignal RA0
bis RA9 bzw. ein Spaltenadreßsignal CA0 bis CA9, die von einem
Adreßpuffer 4 geliefert werden, ausgeführt.
Der Adreßpuffer 4 nimmt entweder ein internes Adreßsignal Q0 bis
Q9, das von einem Auffrischzähler 8 geliefert wird, oder ein ex
ternes Adreßsignal A0 bis A10, abhängig von einem internen Zei
lenadreßtaktsignal int, das von einer -Eingabeschaltung 10
geliefert wird, und einem internen Spaltenadreßtaktsignal int,
das von einer -Eingabeschaltung 12 geliefert wird, auf.
Weiter liefert der Adreßpuffer 4 das Zeilenadreßsignal RA0 bis
RA10 und das Spaltenadreßsignal CA0 bis CA10 entsprechend dem
aufgenommenen Adreßsignal. Bei dem normalen Datenlesebetrieb und
dem normalen Schreibbetrieb nimmt der Adreßpuffer 4 das externe
Adreßsignal A0 bis A10 auf. Im Auffrischbetrieb, in dem Daten in
die Speicherzellen rückgeschrieben werden, bevor die Speicherda
ten in den Speicherzellen des Speicherzellenfeldes 1 verschwin
den, nimmt der Adreßpuffer 4 das interne Adreßsignal Q0 bis Q9
von dem Auffrischzähler 8 auf.
Eine Auffrischsteuerung 9 weist den Auffrischzähler 8 zur Ausgabe
des internen Adreßsignals mit einem vorbestimmten Zeitablauf ba
sierend auf dem internen Zeilenadreßtaktsignal int der RAS-
Eingabeschaltung 10 an. Der Auffrischzähler 8 erzeugt das interne
Adreßsignal Q0 bis Q9, das die Adresse der Speicherzelle mit auf
zufrischenden Speicherdaten anzeigt, in Antwort auf die Anweisung
der Auffrischsteuerung 9.
Der Zeilendekoder 2 führt die Wortleitungsauswahl basierend auf
dem Zeilenadreßsignal RA0 bis RA9 des Adreßpuffers 4 mit einem
Zeitablauf, der auf dem internen Zeilenadreßtaktsignal int der
-Eingabeschaltung 10 basiert, aus. Der Spaltendekoder 3 führt
die Bitleitungspaarauswahl basierend auf dem Spaltenadreßsignal
CA0 bis CA9 des Adreßpuffers 4 mit einem Zeitablauf, der auf dem
internen Spaltenadreßtaktsignal int der -Eingabeschaltung
12 basiert, aus.
Genauer gesagt steuert der Spaltendekoder 3 ein I/O-Gatter 5, um
nur ein Bitleitungspaar der Bitleitungspaare in dem Speicherzel
lenfeld 1 entsprechend dem Spaltenadreßsignal CA0 bis CA10 elek
trisch mit einem Eingabepuffer 6 oder einem Ausgabepuffer 7 mit
einem Zeitablauf entsprechend dem internen Spaltenadreßtaktsignal
int zu verbinden.
Das I/O-Gatter 5 weist Übertragungsgatter (nicht gezeigt) auf,
die entsprechend den entsprechenden Bitleitungspaaren vorgesehen
sind, um die Bitleitungspaare im Speicherzellenfeld 1 mit dem
Eingabepuffer 6 und dem Ausgabepuffer 7 zu verbinden. Der Spal
tendekoder 3 führt die Bitleitungspaarauswahl durch, indem er nur
ein Übertragungsgatter der in dem I/O-Gatter 5 enthaltenen Trans
fergatter entsprechend einem Bitleitungspaar mit einer Spalten
adresse, die durch das Spaltenadreßsignal CA0 bis CA9 angezeigt
wird, in einen AN-Zustand bringt.
Ein Leseverstärker 15 verstärkt Daten (ausgelesene Daten), die
in jedem der Bitleitungspaare im Speicherzellenfeld 1 beim Daten
lesebetrieb erscheinen. Durch den Bitleitungspaarauswahlbetrieb
des Spaltendekoders 3 wird nur ein Bitleitungspaar der Bitlei
tungspaare in dem Speicherzellenfeld 1 entsprechend dem Adreßsi
gnal durch das I/O-Gatter 5 mit dem Ausgabepuffer 7 verbunden.
Daher werden nur ausgelesene Daten, die auf dem entsprechenden
Bitleitungspaar der Bitleitungspaare in dem Speicherzellenfeld 1
erscheinen, über den Ausgabepuffer 7 an einen Datenausgabean
schluß Dout angelegt, nachdem sie durch den Leserverstärker 15
verstärkt sind.
Beim Datenschreibbetrieb werden an einen Dateneingabeanschluß Din
angelegte Daten durch den Eingabepuffer 6 an das I/O-Gatter 5
angelegt. Als ein Ergebnis werden extern angelegte Daten über ein
Bitleitungspaar, das durch den Spaltendekoder 3 aus den Bitlei
tungspaaren des Speicherzellenfeldes 1 ausgewählt wird, in eine
ausgewählte Speicherzelle geschrieben.
Empfang und Übertragung von Daten über das I/O-Gatter 5, den Ein
gabepuffer 6 und den Ausgabepuffer 7 werden maximal auf der 8-
Bit-Basis ausgeführt. Beim normalen Datenschreibbetrieb und dem
normalen Datenlesebetrieb jedoch steuert eine I/O-Steuerung 11
den Eingabepuffer 6 und den Ausgabepuffer 7 so, daß Empfang und
Übertragung von Daten über das I/O-Gatter 5, den Eingabepuffer 6
und den Ausgabepuffer 7 auf der 4-Bit-Basis ausgeführt werden.
Die I/O-Steuerung 11 steuert den Eingabepuffer 6 und den Ausgabe
puffer 7 basierend auf den kleinsten signifikanten Bits RA10 und
CA10 des Zeilenadreßsignals RA0 bis RA10 bzw. des Spaltenadreßsi
gnals CA0 bis CA10, die von dem Adreßpuffer 4 geliefert werden,
und dem internen Schreibfreigabesignal int , das von einer -
Eingabeschaltung 13 geliefert wird.
Genauer gesagt, steuert die I/O-Steuerung 11 beim Datenlesebe
trieb, bei dem das interne Schreibfreigabesignal int auf einem
logischen Hoch- oder "H"-Niveau ist, den Betrieb des Ausgabepuf
fers 7 basierend auf dem Zeilenadreßsignalbit RA10 und dem Spal
tenadreßsignalbit CA10, so daß der Ausgabepuffer 7 nur 1-Bit-Da
ten entsprechend der Adresse, die durch das Reihenadreßsignalbit
RA10 und das Spaltenadreßsignalbit CA10 aus den vom I/O-Gatter 5
aufgenommenen 4-Bit-Daten bestimmt ist, liefert.
Ähnlich steuert die I/O-Steuerung 11 beim Datenschreibbetrieb, in
dem das interne Schreibfreigabesignal int auf einem logischen
Tief- oder ′L"-Niveau ist, den Betrieb des Eingabepuffers 6 ba
sierend auf dem Zeilenadreßsignalbit RA10 und dem Spaltenadreßsi
gnalbit CA10, so daß der Eingabepuffer 6 von dem Dateneingabean
schluß Din angelegte Daten aufnimmt, um dieselben an ein Übertra
gungsgatter der Übertragungsgatter des I/O-Gatters 5 entsprechend
einem Bitleitungspaar mit einer Adresse, die durch das Zeilen
adreßsignalbit RA10 und das Spaltenadreßsignalbit CA10 bestimmt
ist, anzulegen.
Beim Auffrischbetrieb werden in den Ausgabepuffer 7 ausgelesene
Daten erneut an das I/O-Gatter 5 als Schreibdaten angelegt. Da
der Adreßpuffer 4 die internen Adreßsignale Q0 bis Q9 des Auf
frischzählers 8 beim Auffrischbetrieb aufnimmt, werden die Spei
cherdaten der Speicherzelle mit der Adresse, die durch das inter
ne Adreßsignal Q0 bis Q9 angewiesen wird, aufgefrischt.
Beim Test-Modus (Testbetrieb) in dem ein Funktionstest der Spei
cherzellen in dem Speicherzellenfeld 1 ausgeführt wird, wird der
Empfang und die Übertragung von Daten über das I/O-Gatter 5, den
Eingabepuffer 6 und den Ausgabepuffer 7 auf der 8-Bit-Basis aus
geführt. Genauer gesagt wird beim Test-Mode der Spaltendekoder 3,
der Eingabepuffer 6 und der Ausgabepuffer 7 in Antwort auf Test
freigabesignal TE auf einem "L"-Niveau von einer Test-Mode-Steue
rung 14 betrieben.
Genauer gesagt, ignoriert der Spaltendekoder 3 das kleinste si
gnifikante Bit CA10 des Spaltenadreßsignals und dekodiert, wäh
rend eines Zeitraums, indem er von der Test-Mode-Steuerung 14 das
Testfreigabesignal TE auf einem "L"-Niveau erhält, zur Durchfüh
rung der Bitleitungsauswahl nur die höheren Bits CA0 bis CA9 des
Spaltenadreßsignals. Als ein Ergebnis wird die Zahl der Bitlei
tungspaare, die auf einmal durch den Spaltendekoder 3 ausgewählt
werden, gegenüber dem normalen Datenlesebetrieb und dem normalen
Datenschreibbetrieb verdoppelt.
Andererseits werden während einer Periode, in der der Eingabepuf
fer 6 von der Test-Mode-Steuerung 14 das Testfreigabesignal TE
auf einem "L"-Niveau erhält, durch Steuerung der I/O-Steuerung 11
an das I/O-Gatter 5 8-Bit-Daten, die von dem Dateneingabeanschluß
Din geliefert werden, parallel angelegt.
Ähnlich detektiert der Ausgabepuffer 7, während eines Zeitraums,
in dem der Ausgabepuffer 7 von der Test-Mode-Steuerung 14 das
Testfreigabesignal TE auf "L"-Niveau erhält, gesteuert durch die
I/O-Steuerung 11, das Übereinstimmen bzw. Nichtübereinstimmen der
vom I/O-Gatter 5 parallel angelegten 8-Bit-Daten mit den ge
schriebenen Daten, um das Ergebnis an den Datenausgabeanschluß
Dout zu liefern.
Darum wird das Ergebnis der Bestimmung ob, oder ob nicht, die aus
den acht Paaren der durch den Spaltendekoder 3 ausgewählten Bit
leitungspaare im Test-Mode ausgelesenen Daten mit den Schreibda
ten übereinstimmen über den Ausgabepuffer 7 nach außen geliefert.
Die extern angelegten 8-Bit-Schreibdaten werden an die acht Paare
der Bitleitungspaare durch den Eingabepuffer 6 parallel angelegt.
Ein Funktionstest eines Speicherzellenfeldes wird ausgeführt,
indem nach dem Schreiben von vorbestimmten Daten in alle oder
einen Teil der Speicherzellen, die in dem Speicherzellenfeld ent
halten sind, die Daten aus den Speicherzellen, in die Daten ge
schrieben wurden, ausgelesen werden, um zu bestimmen, ob die aus
gelesenen Daten mit den im voraus eingeschriebenen Daten überein
stimmen oder nicht. Daher werden bei dem oben beschriebenen Be
trieb des Spaltendekoders 3, des Eingabepuffers 6 und des Ausga
bepuffers 7 im Test-Mode, die Tests für acht Speicherzellen auto
matisch gleichzeitig durchgeführt. Genauer gesagt werden in dem
Test-Modus die Speicherzellen des Speicherzellenfeldes 1 automa
tisch für jeweils acht Speicherzellen getestet. Es ist zu bemerken,
daß ein Muster oder ähnliches der Daten, die in das Speicherzel
lenfeld zum Testen geschrieben werden, von der Art des Tests ab
hängen.
Die Test-Modus-Steuerung 14 ist eine Schaltung zum Setzen des DRAM
in den Test-Modus, basierend auf dem internen Zeilenadreßtaktsi
gnal int der RAS-Eingabeschaltung 10, des internen Spalten
adreßtaktsignals int der -Eingabeschaltung 12, und des in
ternen Schreibfreigabesignals int der -Eingabeschaltung 13.
Die -Eingabeschaltung 10, die -Eingabeschaltung 12 und die
-Eingabeschaltung 13 puffern das externe Zeilenadreßtaktsignal
, das externe Spaltenadreßtaktsignal und das externe
Schreibfreigabesignal , die externe Steuersignale sind, um die
gepufferten Signale als das interne Zeilenadreßtaktsignal int ,
das interne Spaltenadreßtaktsignal int bzw. das interne
Schreibfreigabesignal int auszugeben. Daher haben die internen
Steuersignale int , int und int im wesentlichen dieselben
Wellenformen wie die der externen Steuersignale , bzw. .
Im folgenden wird unter Bezugnahme auf Fig. 8 eine Beschreibung
des spezifischen Betriebs der Test-Modus-Steuerung 14 gegeben.
Fig. 8 ist ein Wellenformdiagramm, das die Wellenformen des ex
ternen Zeilenadreßtaktsignals (a), des internen Reihenadreß
taktsignals int (b), des externen Spaltenadreßtaktsignals
(c), des internen Zeilenadreßtaktsignals int (d), des externen
Schreibfreigabesignals (e), des internen Schreibfreigabesi
gnals int (f) und des Testfreigabesignals (g) zeigt, wenn
die Test-Mode-Steuerung 14 den DRAM in den Test-Mode setzt.
Wie Fig. 8 zeigt, wird die Test-Modus-Steuerung 14 zum Zeitpunkt
t1 auf den Abfall des internen Signals int (Fig. 8 (b)) akti
viert, wenn die internen Signale int (Fig. 8 (d)) und int
(Fig. 8 (f)) beide bereits auf einem "L"-Niveau sind. Die akti
vierte Test-Mode-Steuerung 14 verursacht den Fall des Testfreiga
besignals (Fig. 8 (g)) auf ein "L"-Niveau. Als ein Ergebnis
führen der Spaltendekoder 3, der Eingabepuffer 6 und der Ausgabe
puffer 7 aus Fig. 7 wie oben beschrieben den Betrieb für einen
Test aus.
Da die Test-Modus-Steuerung 14 wie oben beschrieben arbeitet, kann
ein Benutzer Zeitabläufe der entsprechenden Signale setzen, so
daß das externe Steuersignal während eines Zeitraums, in dem
die externen Steuersignale und beide auf einem "L"-Niveau
sind, zum Abfall auf ein "L"-Niveau gebracht wird, um den DRAM in
den Test-Modus zu bringen. Ein Verfahren des Setzens eines Test-
Mode ist international durch das Joint Electron Device Enginee
ring Councel (JEDEC) bestimmt.
Wie erneut Fig. 7 zeigt, empfängt eine Leistung-AN-Rücksetz-
Schaltung 16 eine Spannung Vcc, die von einer externen Leistungs
versorgungsquelle (nicht gezeigt) geliefert wird. Die Leistung-
AN-Rücksetz-Schaltung 16 liefert einen Einmalpuls auf einem "H"-
Niveau an vorbestimmte Schaltungseinheiten in dem DRAM in Antwort
auf den Anstieg der Stromversorgungsspannung Vcc, das heißt
Strom-AN bei dem DRAM. Der Einmalpuls wird Leistung-AN-Rücksetz-
Signal POR genannt.
Die Potentiale von vorbestimmten Knoten in den vorbestimmten
Schaltungseinheiten werden auf entsprechende Niveaus gezwungen,
um durch das Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR in den Ausgangszu
stand gebracht zu werden. Als ein Ergebnis werden die vorbestimm
ten Schaltungseinheiten beim Beginn des Betriebes in Rücksetz-
Zustände gebracht. Das Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR wird zum
Beispiel an die -Eingabeschaltung 10 genauso wie an die Test-
Mode-Steuerung 14 angelegt. Eine Halbleiterspeichervorrichtung,
die wie oben beschrieben ein Rücksetz-Signal zum Zeitpunkt des
Anschaltens des Stroms (Strom-AN) erzeugt, ist zum Beispiel in
der japanischen Patentoffenlegungsschrift Nr. 2-29118 und der
japanischen Patenoffenlegungsschrift Nr. 63-98213 offenbart.
Obwohl in Fig. 7 gezeigt ist, daß die Ausgabe POR der Leistung-
AN-Rücksetz-Schaltung 16 nur an die -Eingabeschaltung 10 und
die Test-Mode-Steuerung 14 angelegt wird, wird die Ausgabe POR
tatsächlich an die anderen Schaltungseinheiten wie nötig ange
legt.
In Antwort auf das angelegte Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR hält
die Test-Modus-Steuerung 14 das Testfreigabesignal zwangsweise
auf einem "H"-Niveau während des Zeitraums, in dem das Leistung-
AN-Rücksetz-Signal POR auf einem "H"-Niveau ist, und hält den
Rücksetz-Zustand, so daß der DRAM nicht in den Test-Modus ein
tritt.
Die Fig. 9 und 10 sind Wellenformdiagramme, die den Rücksetzbe
trieb der Test-Mode-Schaltung durch das oben beschriebene Lei
stung-AN-Rücksetz-Signal POR zeigen. Fig. 9 zeigt den Betrieb in
dem Zustand, in dem das externe Reihenadreßtaktsignal (c),
das externe Spaltenadreßtaktsignal (e) und das externe
Schreibfreigabesignal (g) zum Zeitpunkt von Strom-AN (Zeit
punkt t2) des DRAM alle bereits auf einem "H"-Niveau sind.
In dem Fall aus Fig. 9 steigen, wenn die Stromversorgungsspannung
Vcc (a) nach Strom-AN zum Zeitpunkt t2 ansteigt, das Leistung-AN-
Rücksetz-Signal POR (b), das interne Reihenadreßtaktsignal int
(d), das interne Spaltenadreßtaktsignal int (f), das interne
Schreibfreigabesignal int (h) und das Testfreigabesignal (i)
gleichzeitig auf ein "H"-Niveau, um die entsprechenden Ausgangs
zustände zu erreichen. Wie oben beschrieben, bleibt das Leistung-
AN-Rücksetz-Signal POR während eines vorbestimmten Rücksetzzeit
raums nach seinem Anstieg auf einem "H"-Niveau und fällt zum
Zeitpunkt t3 auf ein "L"-Niveau.
Das Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR wird jeder Einheit in dem
DRAM zugeführt, wie der -Eingabeschaltung 10 und der Test-Mo
dus-Steuerung 14, wie in Fig. 7 gezeigt. Darum bleiben während des
Rücksetzzeitraums die Signale in den entsprechenden Einheiten in
dem DRAM, wie in Fig. 9 gezeigt, in den entsprechenden Ausgangs
zuständen. Speziell, wenn der Test-Modus betrachtet wird, das
Testfreigabesignal wird während des Rücksetzzeitraums, wie in
Fig. 9 gezeigt (i), auf einem "H"-Niveau gehalten, und der DRAM
wird während dieses Zeitraums am Eintreten in den Test-Modus ge
hindert.
Andererseits zeigt Fig. 10 einen Betrieb in dem Zustand, in dem
das externe Zeilenadreßtaktsignal , das externe Spaltenadreß
taktsignal und das externe Schreibfreigabesignal nach
Strom-AN beim DRAM und nach einem Fehler des oben erwähnten Rück
setzzeitraums gleichzeitig ansteigen. In dem Fall aus Fig. 10
steigen die oben beschriebenen drei externen Steuersignale von
einem gewissen Zeitpunkt nach dem Zeitpunkt t3 beginnend zum Er
reichen eines "H"-Niveaus an. Dementsprechend steigen die ent
sprechenden drei internen Steuersignale, das heißt das interne
Zeilenadreßtaktsignal int , das interne Spaltenadreßtaktsignal
int bzw. das interne Schreibfreigabesignal int , zu dem Zeit
punkt, wenn die entsprechenden externen Steuersignale die ent
sprechenden Schwellwerte zur Erkennung eines "H"-Niveaus errei
chen, schnell auf ein "H"-Niveau an.
Das Testfreigabesignal wird während des Rücksetzzeitraums auf
ein "H"-Niveau initialisiert, wodurch der DRAM während des Rück
setzzeitraums vom Eintritt in den Test-Modus abgehalten wird.
Bei dem in Fig. 10 gezeigten Betrieb gibt es einen Fall, bei dem
der Anstieg der drei internen Steuersignale manchmal zu vonein
ander leicht verschiedenen Zeitpunkten auftritt, wie oben be
schrieben. Zum Beispiel kann, wie in Fig. 10 gezeigt, der Fall
auftreten, daß das interne Zeilenadreßtaktsignal int zum Zeit
punkt t4 schnell ansteigt, während das interne Spaltenadreßtakt
signal int und das interne Schreibfreigabesignal mit einer
kleinen Verzögerung zum Zeitpunkt t5 schnell ansteigen. In einem
solchen Fall, zwischen den Zeitpunkten t4 und t5, erreicht das in
terne Zeilenadreßtaktsignal int zufälligerweise ein "H"-
Niveau, und das interne Spaltenadreßtaktsignal int und das
interne Schreibfreigabesignal erreichen zufälligerweise ein
"L"-Niveau. Die Test-Modus-Steuerung 14 kommt in fehlerhafter Er
kennung zu dem Ergebnis, daß die Vorbedingungen zum Setzen des
Test-Mode nach dem oben beschriebenen JEDEC-Standard erfüllt
sind.
Darum erzeugt in einem solchen Fall, falls das interne Zeilen
adreßtaktsignal int zeitweise von einem "H"-Niveau auf ein
"L"-Niveau (ein Bereich, der in Fig. 10 (d) und Fig. 11 durch
eine gestrichelte Linie angezeigt ist) durch Veränderungen, die
durch ein Rauschen oder ähnliches in der Umgebung des Schwell
werts von zum Beispiel dem externen Zeilenadreßtaktsignal
verursacht werden, fällt, die Test-Modus-Steuerung 14 irrtüm
licherweise das Testfreigabesignal , das entsprechend den Test-
Modus bestimmt (ein Bereich, der in Fig. 10 (i) durch eine gestri
chelte Linie gezeigt ist). Als ein Ergebnis tritt der DRAM unnö
tigerweise entgegen der Absicht des Benutzers direkt nach dem
Einschalten (Strom-AN) in den Test-Modus ein, wodurch eine Fehl
funktion des DRAM verursacht wird.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Halbleiterspei
chervorrichtung, die ein irrtümliches Setzen des Test-
Modus, das durch ein Rauschen oder ähnliches verursacht wird,
verhindert, und ein solches Verfahren zum Setzen des Test-Modus einer
Halbleiterspeichervorrichtung
zu
ermöglichen.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Halbleiterspeichervorrichtung nach
Anspruch 1 oder
ein Verfahren nach Anspruch 6.
Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
angegeben. Insbesondere wird eine Halbleiterspeichervorrich
tung, die am irrtümlichen Eintreten in den Test-Modus nach dem
Einschalten unter Mißachtung der Tatsache, daß der Test-Modus
nicht durch ein externes Steuersignal angewiesen wurde, gehindert
wird, und ein solches Verfahren zum Setzen des Test-Modus ermöglicht.
Daher ist der Hauptvorteil, daß die Halbleiterspeichervorrichtung
am irrtümlichen Eintreten in den Test-Mode nach dem Einschalten
gehindert wird, in dem der Rücksetzzeitraum der Test-Mode-Steue
rung variabel auf dem Zeitablauf des Wechsels eines logischen
Niveaus eines Steuersignals basiert, wodurch der Zeitablauf des
Setzens des Test-Modes bestimmt wird.
Es folgt die Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figu
ren.
Von den Figuren zeigt
Fig. 1 ein Blockdiagramm, das einen DRAM entspre
chend einer Ausführungsform zeigt;
Fig. 2 einen Schaltplan, der im Detail eine -Lei
stung-AN-Rücksetzschaltung 18 und eine Lei
stung-AN-Rücksetzschaltung 19, die in Fig. 1
gezeigt sind, zeigt;
Fig. 3 ein Zeitablaufdiagramm zur Erklärung des Be
triebs der in Fig. 1 gezeigten Ausführungs
form;
Fig. 4 ein Zeitablaufdiagramm zur Erklärung des Be
triebs der in Fig. 1 gezeigten Ausführungs
form;
Fig. 5 ein Blockdiagramm, das einen DRAM entspre
chend einer anderen Ausführungsform zeigt;
Fig. 6 ein Blockdiagramm, das einen DRAM entspre
chend einer weiteren Ausführungsform zeigt;
Fig. 7 ein Blockdiagramm, das ein Beispiel eines konventionellen
DRAM zeigt;
Fig. 8 ein Zeitablaufdiagramm, das den Betrieb des
in Fig. 7 gezeigten DRAM zeigt;
Fig. 9 ein Zeitablaufdiagramm, das den Betrieb des
in Fig. 7 gezeigten DRAM zeigt;
Fig. 10 ein Zeitablaufdiagramm, das den Betrieb des
in Fig. 7 gezeigten DRAM zeigt; und
Fig. 11 eine vergrößerte Ansicht eines Hauptbereiches
einer Wellenform des internen Zeilenadreß
taktsignals aus dem Zeitablaufdiagramm aus
Fig. 10.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm, das die gesamte Konfiguration des
DRAM entsprechend einer Ausführungsform zeigt. Fig. 1 zeigt, daß
der DRAM Teile aufweist, die nicht ähnlich zu denen des DRAM aus
Fig. 7 sind: eine Versorgungsleistung-AN-Rücksetzschaltung 17,
die eine Stromversorgungsspannung Vcc, die von einer externen
Leistungsquelle (nicht gezeigt) zugeführt wird, empfängt, und in
Antwort auf den Anstieg der Stromversorgungsspannung Vcc auf das
Einschalten des DRAM (Strom-AN), ein erstes Leistung-AN-Rücksetz-
Signal POR1 erzeugt, das während eines vorbestimmten Zeitraums
ein "H"-Niveau hat; eine -Leistung-AN-Rücksetzschaltung 18,
die ein externes Zeilenadreßtaktsignal empfängt und in Ant
wort auf den Wechsel des Niveaus des empfangenen Signals ein
zweites Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR2 erzeugt, das ein "H"-
Niveau während eines variablen Zeitraums hat; und eine Leistungs-
AN-Rücksetz-Signalschaltung 19, die das erste und das zweite Lei
stung-AN-Rücksetz-Signal POR1 und POR2 empfängt zur Erzeugung ei
nes Leistung-An-Rücksetz-Signals zum zwangsweisen Halten von vor
bestimmten Schalteinheiten des DRAMs in einen Rücksetzzustand.
Da die Versorgungsleistung-An-Rücksetz-Schaltung 17 aus Fig. 1
identisch mit der Leistungs-AN-Rücksetz-Schaltung 16 des DRAMs
aus Fig. 7 ist, wird die detaillierte Beschreibung nicht wieder
holt. Unter Bezugnahme auf die Fig. 2 bis 4 wird nun im Detail
eine Beschreibung der -Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 18 und
der Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 19 gegeben.
Das externe Zeilenadreßtaktsignal wird zuerst an die -Lei
stung-AN-Rücksetz-Schaltung 18 angelegt. Dieses Signal wird an
das Gate eines n-Kanal-Transistors 18a, der zwischen das Massepo
tential und den Eingang einer Verzögerungsschaltung 18d und das
Stromversorgungspotential Vcc geschaltet ist, angelegt. Reihenge
schaltete Zwei-Stufen-Inverter 18b und 18c sind parallel zwischen
den Transistor 18a und die Verzögerungsschaltung 18d geschaltet.
Die Ausgabe der Verzögerungsschaltung 18d wird von der -Lei
stung-AN-Rücksetz-Schaltung 18 als zweites Leistung-AN-Rücksetz-
Signal POR2 geliefert, um an die Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung
19 angelegt zu werden.
Die Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 19 besteht aus einem NOR-Gat
ter 19a und einem Inverter 19b, die in Reihe geschaltet sind. Das
erste Leistungs-AN-Rücksetz-Signal POR1 ist an einen Eingang des
NOR-Gatters 19a von der Versorgungsleistung-AN-Rücksetz-Schaltung
17 aus Fig. 1 angelegt. Andererseits ist das oben beschriebene
zweite Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR2 an den anderen Eingang
des NOR-Gatters 19a angelegt. Nachdem sie von dem Inverter 19b
invertiert ist, wird die Ausgabe des NOR-Gatters 19a von der Lei
stung-AN-Rücksetz-Schaltung 19 als Leistung-AN-Rücksetz-Signal
POR geliefert.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 wird der Betrieb der Aus
führungsform aus Fig. 1 beschrieben. Ähnlich zu dem Beispiel aus
Fig. 9 zeigt Fig. 3 den Betrieb in einem Zustand, in dem zum
Zeitpunkt des Einschaltens (Strom-AN) des DRAMs das externe Zei
lenadreßtaktsignal (c), das externe Spaltenadreßtaktsignal
(g) und das externe Schreibfreigabesignal (i) alle bereits
auf einem "H"-Niveau sind.
Im Fall von Fig. 3, wenn die Stromversorgungsspannung Vcc (a)
nach dem Einschalten zum Zeitpunkt t2 ansteigt, steigen das in
terne Zeilenadreßtaktsignal int (f), das interne Spaltenadreß
taktsignal int (h), das interne Schreibfreigabesignal int
(j) und das Testfreigabesignal (h) gleichzeitig auf ein "H"-
Niveau an, um die entsprechenden Ausgangs- bzw. Ursprungszustände
(Initialzustände) zu erreichen. Wie oben beschrieben bleibt das
Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR1 während eines vorbestimmten
Rücksetzzeitraums nach seinem Anstieg auf einem "H"-Niveau und
fällt zum Zeitpunkt t3 auf ein "L"-Niveau.
Da das externe Zeilenadreßtaktsignal auf einem "H"-Niveau zum
Zeitpunkt des Einschaltens (Zeitpunkt t2) in der -Leistung-AN-
Rücksetz-Schaltung 18 ist, wird der n-Kanal Transistor 18a ange
schaltet und die Eingabe der Verzögerungsschaltung 18d wird auf
einem "L"-Niveau gehalten. Daher bleibt das zweite Leistungs-AN-
Rücksetz-Signal POR2, das die Ausgabe der -Leistung-AN-Rück
setz-Schaltung 18 ist, auf einem "L"-Niveau (Fig. 3 (d)).
Nach dem Empfang des ersten und des zweiten Leistungs-AN-Rücksetz-
Signals POR1 und POR2 mit den oben beschriebenen Wellenformen,
liefert die Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 19 ein Leistungs-AN-
Rücksetz-Signal POR entsprechend zu ihrem logischen OR (Fig. 3
(e)) zum Liefern desselben an die entsprechenden Einheiten in dem
DRAM inklusive der Test-Modus-Steuerung 14. Genauer gesagt bleibt
das Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR auf einem "H"-Niveau bis das
erste und das zweite Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR1 und POR2
beide eine "L"-Niveau erreichen. Während dieses Zeitraums ist die
Test-Modus-Steuerung 14 zwangsweise rückgesetzt, um das Setzen des
Test-Modus zu verhindern. In dem Fall aus Fig. 3 ist der Rücksetz
zeitraum im wesentlichen durch den Rücksetzzeitraum des ersten
Leistung-AN-Rücksetz-Signals POR1 bestimmt.
Ähnlich dem Beispiel aus Fig. 10 zeigt Fig. 4 den Betrieb in dem
Zustand, in dem das externe Zeilenadreßtaktsignal , das exter
ne Spaltenadreßsignal und das externe Schreibfreigabesignal
gleichzeitig nach dem Einschalten des DRAM ansteigen. In dem
Fall aus Fig. 4 steigen die drei externen Steuersignale von einem
gewissen Zeitpunkt nach dem Zeitpunkt t3 zum Erreichen eines "H"-
Niveaus langsam an. Dementsprechend steigen die drei entsprechen
den internen Steuersignale, das heißt das interne Zeilenadreß
taktsignal int , das interne Spaltenadreßtaktsignal int bzw.
das interne Schreibfreigabesignal int , auch auf ein "H"-Niveau
an.
Da das externe Zeilenadreßtaktsignal zum Zeitpunkt des Ein
schaltens (Zeitpunkt t3) in der -Leistung-AN-Rücksetz-Schal
tung 18 auf einem "L"-Niveau ist, ist der n-Kanal Transistor 18a
ausgeschaltet. In diesem Fall ist ein Schwanken der Eingabe der
Verzögerungsschaltung 18d zu dem Zeitpunkt des Einschaltens auf
grund des Stromversorgungspotentials Vcc und eines Kondensators
18e vermieden, und es ist möglich, das zweite Leistung-AN-Rück
setz-Signal POR2 nach dem Einschalten auf ein "H"-Niveau zu brin
gen (Fig. 4 (e)).
Wenn das externe Zeilenadreßtaktsignal von einem "L"-Niveau
auf ein "H"-Niveau ansteigt, wird der n-Kanal Transistor 18a ein
geschaltet. Das zweite Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR2 fällt mit
einer vorbestimmten Verzögerungszeit, die durch die Verzögerungs
schaltung 18d (Zeitpunkt t6) verursacht wird, von einem "H"-Ni
veau auf ein "L"-Niveau. Selbst wenn das externe Zeilenadreßtakt
signal auf ein "L"-Niveau fällt, wird danach der n-Kanal
Transistor 18a ausgeschaltet, was im Halten eines "L"-Niveaus des
zweiten Leistung-AN-Rücksetz-Signals POR2 resultiert.
Nach dem Empfang des ersten und des zweiten Leistung-AN-Rücksetz-
Signals POR1 und POR2 mit den oben beschriebenen Wellenformen,
erzeugt die Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 19 ein Leistung-AN-
Rücksetz-Signal POR entsprechend zu deren logischem OR (Fig. 4
(e)), um dasselbe an die entsprechenden Einheiten in dem DRAM
incl. der Test-Modus-Steuerung 14 zu liefern. Genauer gesagt ist
in dem Fall aus Fig. 4 der Rücksetzzeitraum des Leistung-AN-Rück
setz-Signals POR im wesentlichen durch das zweite Leistung-AN-
Rücksetz-Signal POR2 bestimmt. Während dieses Rücksetzzeitraums
ist die Test-Modus-Steuerung 14 zwangsweise zurückgesetzt, um das
Setzen des Test-Modus zu verhindern.
Daher wird in dem Fall aus Fig. 4, selbst wenn die drei internen
Steuersignale ähnlich wie in dem Beispiel aus Fig. 10 zufälliger
weise zwischen den Zeitpunkten t4 und t5 die Bedingungen nach JE
DEC für das Setzen des Test-Modus erfüllen, der Test-Modus nicht
gesetzt, da die Test-Modus-Steuerung 14 durch das Leistung-AN-
Rücksetz-Signal POR zurückgesetzt ist.
Bei der Ausführungsform wird wie oben beschrieben, wenn das ex
terne Zeilenadreßtaktsignal zum Zeitpunkt des Einschaltens
(Strom-AN) des DRAMs nicht auf einem "H"-Niveau ist, die Test-
Modus-Steuerung 14 in der Rücksetzbedingung gehalten, bis das ex
terne Zeilenadreßtaktsignal vollständig ein "H"-Niveau er
reicht. Als ein Ergebnis verhindert dies die Fehlfunktion des
irrtümlichen Setzens des DRAM in den Test-Modus, wenn das externe
Zeilenadreßtaktsignal nach dem Einschalten ansteigt.
Fig. 5 ist eine Blockdarstellung, die die gesamte Konfiguration
des DRAM nach einer anderen Ausführungsform zeigt. Da die in Fig.
5 gezeigte Ausführungsform mit Ausnahme der folgenden Punkte ähn
lich der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform ist, wird die Be
schreibung der gemeinsamen Bereiche nicht wiederholt.
Genauer gesagt werden bei der Ausführungsform aus Fig. 1 die -
Eingabeschaltung 10 und die Test-Modus-Steuerung 14 durch das von
der Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 19 gelieferte Leistung-AN-
Rücksetz-Signal POR gesteuert. Wie in Fig. 5 gezeigt, können die
-Eingabeschaltung 10 und die Test-Modus-Steuerung 14 jedoch
durch das erste Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR1, das von der
Versorgungs-Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 17 geliefert wird,
bzw. das Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR, das von der Leistung-
AN-Rücksetz-Schaltung 19 geliefert wird, gesteuert werden.
Fig. 6 ist ein Blockdiagramm, das die gesamte Konfiguration des
DRAM entsprechend einer weiteren Ausführungsform zeigt. Da die in
Fig. 6 gezeigte Ausführungsform mit Ausnahme der folgenden Punkte
ähnlich der in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform ist, wird die
Beschreibung der gemeinsamen Bereiche nicht wiederholt.
Genauer gesagt erzeugt bei der in Fig. 5 gezeigten Ausführungs
form die -Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 18 das zweite Lei
stung-AN-Rücksetz-Signal POR2 in Antwort auf das externe Zeilen
adreßtaktsignal . Wie in Fig. 6 gezeigt kann jedoch die -
Leistung-AN-Rücksetz-Schaltung 18 das interne Zeilenadreßtaktsi
gnal int , das von der -Eingabeschaltung 10 geliefert wird,
empfangen und das zweite Leistung-AN-Rücksetz-Signal POR2 erzeu
gen. In diesem Fall ist der Betrieb im wesentlichen identisch mit
dem in den Zeitablaufdiagrammen aus Fig. 3 und Fig. 4 gezeigt.
Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen wird, um den DRAM in
den Test-Modus zu setzen, wenn die internen Steuersignale und
beide in einem "L"-Niveau sind, das interne Steuersignal
zum Abfall auf ein "L"-Niveau gezwungen, entsprechend dem oben
beschriebenen durch JEDEC bestimmten internationalen Standard.
Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf einen solchen
Standard begrenzt, sondern kann genauso auf andere Standards, wie
zum Beispiel einen Standard, bei dem ein Test-Modus nach Erkennung
eines Wechsels des internen Steuersignals , ausgeführt wird.
Claims (6)
1. Halbleiterspeichervorrichtung mit
einem Speicherzellenfeld (1);
internen Schaltungsvorrichtungen (2-13) zum Ausführen des Ausle sens von Daten aus dem Speicherzellenfeld und des Einschreibens von Daten in das Speicherzellenfeld in Antwort auf eine Mehrzahl von Steuersignalen;
einer Vorrichtung (14) zum Setzen eines Test-Modus in dem Spei cherzellenfeld in Antwort auf ein vorbestimmtes Muster im Wechsel der logischen Niveaus von mindestens einigen Steuersignalen aus der Mehrzahl von Steuersignalen; und
einer Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung (17-19) zum Erzeugen eines Rücksetzpulses (POR), als Reaktion auf das Einschalten, dadurch gekennzeichnet, daß der Rücksetzpuls (POR) mindestens die Vorrichtung (14) zum Setzen des Test-Modus für einen variablen Zeitraum in einen Anfangszustand setzt, wobei die Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung (17-19) abhängig von einem Zeitpunkt eines Wechsels eines logi schen Niveaus eines Steuersignals aus den mindestens einigen Steuersignalen die Dauer des variablen Zeitraums bestimmt.
internen Schaltungsvorrichtungen (2-13) zum Ausführen des Ausle sens von Daten aus dem Speicherzellenfeld und des Einschreibens von Daten in das Speicherzellenfeld in Antwort auf eine Mehrzahl von Steuersignalen;
einer Vorrichtung (14) zum Setzen eines Test-Modus in dem Spei cherzellenfeld in Antwort auf ein vorbestimmtes Muster im Wechsel der logischen Niveaus von mindestens einigen Steuersignalen aus der Mehrzahl von Steuersignalen; und
einer Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung (17-19) zum Erzeugen eines Rücksetzpulses (POR), als Reaktion auf das Einschalten, dadurch gekennzeichnet, daß der Rücksetzpuls (POR) mindestens die Vorrichtung (14) zum Setzen des Test-Modus für einen variablen Zeitraum in einen Anfangszustand setzt, wobei die Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung (17-19) abhängig von einem Zeitpunkt eines Wechsels eines logi schen Niveaus eines Steuersignals aus den mindestens einigen Steuersignalen die Dauer des variablen Zeitraums bestimmt.
2. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß
die Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung (17 bis 19) eine Vorrich
tung zum Definieren des variablen Zeitraums aufweist, so daß der
variable Zeitraum immer einen Zeitraum enthält, in dem das vor
bestimmte Muster des Wechsels der logischen Niveaus der einige
Steuersignale, das zum Setzen des Test-Modus benötigt wird, ab
laufen kann.
3. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die internen Schaltungsvorrichtungen (2-13)
eine erste interne Schaltungsvorrichtung (10, 12, 13) zum Erzeugen einer Mehrzahl von
internen Steuersignalen in Antwort auf eine Mehrzahl von externen
Steuersignalen; und
eine zweite interne Schaltungsvorrichtung (2-9, 11) zum Ausführen des Auslesens von Daten aus dem Speicherzellenfeld und zum Einschrei ben von Daten in das Speicherzellenfeld in Antwort auf die Mehr zahl von internen Steuersignalen umfassen, und daß die Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung
eine erste Pulserzeugungsvorrichtung (17) zum Erzeugen eines ersten Pulses mit einer konstanten Dauer in Antwort auf das Ein schalten;
eine zweite Pulserzeugungsvorrichtung (18) zum Erzeugen eines zweiten Pulses mit einer variablen Dauer in Antwort auf das Ein schalten, wobei die variable Dauer auf der Basis des Zeitpunkts des Wechsels des logischen Niveaus eines internen Steuersignals der mindestens einigen Steuersignale oder eines dementsprechenden externen Steuersignals zur Bestimmung des Zeitablaufs des Setzens des Test-Modus definiert ist; und
eine dritte Pulserzeugungsvorrichtung (19) zum Erzeugen des Rücksetzpulses entsprechend zu einem logischen ODER des ersten und des zweiten Pulses aufweist.
eine zweite interne Schaltungsvorrichtung (2-9, 11) zum Ausführen des Auslesens von Daten aus dem Speicherzellenfeld und zum Einschrei ben von Daten in das Speicherzellenfeld in Antwort auf die Mehr zahl von internen Steuersignalen umfassen, und daß die Rücksetzpuls-Erzeugungsvorrichtung
eine erste Pulserzeugungsvorrichtung (17) zum Erzeugen eines ersten Pulses mit einer konstanten Dauer in Antwort auf das Ein schalten;
eine zweite Pulserzeugungsvorrichtung (18) zum Erzeugen eines zweiten Pulses mit einer variablen Dauer in Antwort auf das Ein schalten, wobei die variable Dauer auf der Basis des Zeitpunkts des Wechsels des logischen Niveaus eines internen Steuersignals der mindestens einigen Steuersignale oder eines dementsprechenden externen Steuersignals zur Bestimmung des Zeitablaufs des Setzens des Test-Modus definiert ist; und
eine dritte Pulserzeugungsvorrichtung (19) zum Erzeugen des Rücksetzpulses entsprechend zu einem logischen ODER des ersten und des zweiten Pulses aufweist.
4. Halbleiterspeichervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß
die zweite Pulserzeugungsvorrichtung die Vorrichtung zum Defi
nieren des variablen Zeitraums in Form
der variablen Dauer des zweiten Pulses aufweist, so daß
die variable Dauer immer den Zeitraum umfaßt, während dem das
vorbestimmte Muster des Wechsels des logischen Niveaus der eini
gen internen Steuersignale, das zum Setzen des Test-Modus benö
tigt wird, ablaufen kann, wenn ein solches vorbestimmtes Muster
des Wechsels innerhalb der konstanten Dauer des ersten Pulses
nicht ablaufen kann.
5. Halbleiterspeichervorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet,
daß die erste interne Schaltungsvorrichtung
eine Eingabeschaltungsvorrichtung (10, 12, 13) zum Erzeugen ei
nes internen Zeilenadreßtaktsignals, eines internen Spaltenadreß
taktsignals und eines internen Schreibfreigabesignals in Antwort
auf ein externes Zeilenadreßtaktsignal, ein externes Spalten
adreßtaktsignal und ein externes Schreibfreigabesignal aufweist,
daß die zweite interne Schaltungsvorrichtung (2-9, 11) das Auslesen von Daten aus dem Speicherzellenfeld und das Einschrei bens von Daten in das Speicherzellenfeld in Antwort auf das in terne Zeilenadreßtaktsignal, das interne Spaltenadreßtaktsignal und das interne Schreibfreigabesignal ausführt,
daß die Vorrichtung (14) zum Setzen eines Test-Modus in dem Speicherzellenfeld den Test-Modus in Antwort auf ein vorbestimmtes Muster des Wechsels der logischen Niveaus des internen Zeilenadreßtakt signals, des internen Spaltenadreßtaktsignals und des internen Schreibfreigabesignals setzt, und
daß die zweite Pulserzeugungsvorrichtung (18) den zweiten Puls mit einer variablen Dauer, die auf der Basis des Zeitpunkts des Wechsels des logischen Niveaus des externen Zeilenadreßtaktsignals definiert wird, in Antwort auf das Ein schalten erzeugt.
daß die zweite interne Schaltungsvorrichtung (2-9, 11) das Auslesen von Daten aus dem Speicherzellenfeld und das Einschrei bens von Daten in das Speicherzellenfeld in Antwort auf das in terne Zeilenadreßtaktsignal, das interne Spaltenadreßtaktsignal und das interne Schreibfreigabesignal ausführt,
daß die Vorrichtung (14) zum Setzen eines Test-Modus in dem Speicherzellenfeld den Test-Modus in Antwort auf ein vorbestimmtes Muster des Wechsels der logischen Niveaus des internen Zeilenadreßtakt signals, des internen Spaltenadreßtaktsignals und des internen Schreibfreigabesignals setzt, und
daß die zweite Pulserzeugungsvorrichtung (18) den zweiten Puls mit einer variablen Dauer, die auf der Basis des Zeitpunkts des Wechsels des logischen Niveaus des externen Zeilenadreßtaktsignals definiert wird, in Antwort auf das Ein schalten erzeugt.
6. Verfahren zum Setzen des Test-Modus einer Halbleiterspeicher
vorrichtung mit den Schritten:
Versorgen der Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Mehrzahl von externen Steuersignalen zum Steuern des Betriebes der Halb leiterspeichervorrichtung;
Einschalten der Halbleiterspeichervorrichtung;
Erzeugen eines ersten Pulses mit einer konstanten Dauer in Antwort auf das Einschalten;
Umwandeln der Mehrzahl von externen Steuersignalen in eine Mehr zahl von internen Steuersignalen zur Versorgung von internen Schaltungen der Halbleiterspeichervorrichtung mit denselben in Antwort auf das Einschalten; und
Setzen des Test-Modus der Halbleiterspeichervorrichtung nach Erkennung eines vorbestimmten Musters des Wechsel von logischen Niveaus von mindestens einigen internen Steuersignalen aus der Mehrzahl der internen Steuersignale;
gekennzeichnet durch die Schritte:
Erzeugen eines zweiten Pulses mit einer variablen Dauer, die durch den Zeitpunkt eines Wechsels eines logischen Niveaus eines internen Steuersignals der mindestens einigen Steuersignale oder eines dementsprechenden externen Steuersignals bestimmt wird, in Antwort auf das Einschalten und
Erzeugen eines Rücksetzpulses entsprechend einem logischen ODER des ersten und des zweiten Pulses zur Verhinderung des Setzens des Test-Modus während der Dauer des Rücksetzpulses.
Versorgen der Halbleiterspeichervorrichtung mit einer Mehrzahl von externen Steuersignalen zum Steuern des Betriebes der Halb leiterspeichervorrichtung;
Einschalten der Halbleiterspeichervorrichtung;
Erzeugen eines ersten Pulses mit einer konstanten Dauer in Antwort auf das Einschalten;
Umwandeln der Mehrzahl von externen Steuersignalen in eine Mehr zahl von internen Steuersignalen zur Versorgung von internen Schaltungen der Halbleiterspeichervorrichtung mit denselben in Antwort auf das Einschalten; und
Setzen des Test-Modus der Halbleiterspeichervorrichtung nach Erkennung eines vorbestimmten Musters des Wechsel von logischen Niveaus von mindestens einigen internen Steuersignalen aus der Mehrzahl der internen Steuersignale;
gekennzeichnet durch die Schritte:
Erzeugen eines zweiten Pulses mit einer variablen Dauer, die durch den Zeitpunkt eines Wechsels eines logischen Niveaus eines internen Steuersignals der mindestens einigen Steuersignale oder eines dementsprechenden externen Steuersignals bestimmt wird, in Antwort auf das Einschalten und
Erzeugen eines Rücksetzpulses entsprechend einem logischen ODER des ersten und des zweiten Pulses zur Verhinderung des Setzens des Test-Modus während der Dauer des Rücksetzpulses.
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