JPH1116395A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH1116395A
JPH1116395A JP9168675A JP16867597A JPH1116395A JP H1116395 A JPH1116395 A JP H1116395A JP 9168675 A JP9168675 A JP 9168675A JP 16867597 A JP16867597 A JP 16867597A JP H1116395 A JPH1116395 A JP H1116395A
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JP
Japan
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signal
test mode
power
node
level
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Application number
JP9168675A
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English (en)
Inventor
Tatsuya Fukuda
達哉 福田
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/46Test trigger logic
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/12005Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details comprising voltage or current generators

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  • Dram (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電源投入時において、電源投入検出信号が不
完全に発生される場合においても、内部状態がテストモ
ード状態に設定されるのを防止する。 【解決手段】 モード設定信号発生回路(5a)は、外
部信号ZRAS,ZCASおよびZWEに従ってモード
設定信号MSETおよびZMSETを活性化する。テス
トモード活性化信号発生回路(5b)は、このモード設
定信号の活性化に従って外から与えられるアドレス信号
Addを取込み、その状態に従ってテストモード活性化
信号TMEを活性状態へ駆動する。電源投入検出回路
(3)からの電源投入検出信号ZPORの活性化に従っ
てテストモード活性化信号TMEが初期状態にリセット
され、また初期化回路(5c)は、この電源投入検出信
号ZPORの不完全な活性化に従ってそのテストモード
活性化信号TMEを非活性状態に保持する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体記憶装置
に関し、特にこの半導体記憶装置をテストモードにおく
テストモード活性化信号を発生する部分の構成に関し、
より特定的には、この発明は、テストモード活性化信号
発生部の電源投入時における初期設定のための構成に関
する。
【0002】
【従来の技術】同期型半導体記憶装置などの半導体記憶
装置においては、製品の信頼性を保証するための種々の
テストが行なわれる。このようなテストには、製品出荷
時において潜在的な不良を顕在化させて初期不良による
欠陥製品を弁別するスクリーニングテストおよびメモリ
セルの良/不良を短時間で検出するために、複数ビット
のメモリセルを同時にテストするマルチビットテストモ
ードなどがある。このスクリーニングテストには、通常
動作条件よりも高温および高圧の条件下で半導体記憶装
置を動作させるバーンインモードがある。これらのテス
トモードは、製品出荷前に行なわれる動作モードであ
り、実際にユーザが使用するシステムにおいてはこれら
のテストモードは使用されない。
【0003】実際に半導体記憶装置が使用されるシステ
ムにおいてこの半導体記憶装置がテストモードに入ると
半導体記憶装置の内部状態は、通常動作モード時のそれ
と異なる状態となり、動作不良を生じる可能性がある。
このような実使用時において半導体記憶装置がテストモ
ードに入らないようにするために、通常、実使用時の通
常動作モード時に用いられない複数の外部信号の状態の
組合せでテストモードにセットされる。しかしながら、
電源投入時(半導体記憶装置への電源電圧の印加開始
時)においては、内部回路において、たとえばラッチ回
路やフリップフロップのように初期出力電圧を予め決定
することができないノードまたはフローティング状態と
なる内部ノードが存在し、これらの内部ノードの電圧が
電源投入時において不定となる。この場合、これらの電
圧レベルが不定(電源投入後その電圧レベルを予め確定
することのできない)のノードにおける電圧レベルによ
り、テストモードに入るようなタイミング条件が設定さ
れると、この半導体記憶装置がテストモードに入る可能
性がある。このような不定な内部ノードの電圧レベルを
確実に初期設定するために、電源投入時にこの不定なノ
ードを所定の電圧レベルに初期設定する(リセットす
る)ために電源投入検出信号PORが用いられる。
【0004】図13は、従来のテストモード活性化信号
発生回路の構成を概略的に示す図である。図13におい
て、テストモード活性化信号発生回路100は、モード
セット指示信号MSETおよびZMSETの活性化時イ
ネーブル状態とされ、外部から与えられる特定のアドレ
ス信号ビットAddを反転しかつバッファ処理して内部
ノードNAへ伝達するトライステートインバータバッフ
ァ100aと、この内部ノードNAの電圧に従ってテス
トモード活性化信号TMEを出力しかつモードセット指
示信号MSETおよびZMSETの活性化時このテスト
モード活性化信号TMEをラッチするテストモード活性
化信号出力回路100bを含む。トライステートインバ
ータバッファ100aは、モードセット指示信号MSE
TおよびZMSETが非活性状態となると出力ハイイン
ピーダンス状態となる。
【0005】テストモード活性化信号出力回路100b
は、ノードNA上の信号を反転してノードNBに伝達し
てテストモード活性化信号TMEを発生するインバータ
100baと、モードセット指示信号MSETおよびZ
MSETの活性化時活性化され、ノードNB上の信号を
ノードNAへ伝達するトライステートインバータバッフ
ァ100bbを含む。このトライステートインバータバ
ッファ100bbも、モードセット指示信号MSETお
よびZMSETの非活性化時出力ハイインピーダンス状
態となる。
【0006】テストモード活性化信号発生回路100
は、さらに、電源投入検出信号ZPORの活性化に応答
して電源ノードNVと内部ノードNAと電気的に接続す
るpチャネルMOSトランジスタ102を含む。この電
源投入検出信号ZPORは、電源ノードNVに電源電圧
Vccが印加されてその電圧レベルが所定の電圧レベル
に到達するかまたは安定状態となるまでLレベルの活性
状態とされる。
【0007】次に、この図13に示すテストモード活性
化信号発生回路100の動作を、そのタイミングチャー
ト図である図14を参照して説明する。
【0008】同期型半導体記憶装置においては、動作モ
ードは、クロック信号CLKの立上がりのときの外部信
号の状態の組合せにより指定される。クロックサイクル
♯aにおいて、クロック信号CLKの立上がりエッジ
で、ロウアドレスストローブ信号ZRAS、コラムアド
レスストローブ信号ZCAS、およびライトイネーブル
信号ZWEをすべてLレベルに設定する。この状態はモ
ードセットコマンドと呼ばれ、通常動作モードと異なる
モードが指定される。このモードセットコマンドが与え
られたとき、特定のアドレス信号ビットAddをHレベ
ルに設定する。
【0009】モードセットコマンドが与えられるとモー
ドセット指示信号MSETが所定期間Hレベルとなり、
図13に示すトライステートインバータバッファ100
aが動作し、このアドレス信号ビットAddを反転して
内部ノードNAに伝達する。この内部ノードNAに伝達
された信号は、インバータ回路100baにより反転さ
れて内部ノードNBに伝達され、テストモード活性化信
号TMEがHレベルとなる。このテストモード活性化信
号発生回路100bにおいて、トライステートインバー
タバッファ100bbが、トライステートインバータバ
ッファ100aと相補的に動作し、モードセット指示信
号MSETがLレベルの非活性状態となると、トライス
テートインバータバッファ100bbが作動状態とさ
れ、このインバータ100baとトライステートインバ
ータバッファ100bbが、ラッチ回路を構成する。こ
れにより、テストモード活性化信号TMEがHレベルの
活性状態に保持される。
【0010】このテストモード活性化信号TMEがクロ
ックサイクル♯aにおいてHレベルの活性状態とされる
と、この半導体記憶装置はテストモードに入る(テスト
モードエントリ)。次いで次のクロックサイクル♯bか
ら、所定のテスト動作が実行される(テストサイクル期
間)。このテストサイクル期間においては、トライステ
ートインバータバッファ100aは出力ハイインピーダ
ンス状態であり、一方、トライステートインバータバッ
ファ100bbが、インバータとして動作しており、し
たがってテストモード活性化信号TMEはHレベルに保
持される。
【0011】クロックサイクル♯cにおいて、このテス
トモード活性化信号TMEにより活性化されるテスト動
作が完了すると、クロックサイクル♯dにおいて再びモ
ードセットコマンドが与えられ、モードセット指示信号
MSETが所定期間Hレベルとなる。トライステートイ
ンバータバッファ100aが作動状態となり、一方トラ
イステートインバータバッファ100bbが出力ハイイ
ンピーダンス状態となる。これにより、内部ノードNA
には、Hレベルの信号が伝達され、応じてテストモード
活性化信号TMEがLレベルの非活性状態となる。モー
ドセット指示信号MSETがLレベルに立下がると、ト
ライステートインバータバッファ100aが出力ハイイ
ンピーダンス状態となり、一方トライステートインバー
タバッファ100bbが作動状態となり、テストモード
活性化信号TMEはLレベルに保持される。これによ
り、テストモードがリセットされ、以降、別のモードの
動作が行なわれる。
【0012】上述の動作は、電源電圧Vccが投入され
て、電源電圧Vccが安定状態となったときに行なわれ
る。次に、この電源投入時のテストモード活性化信号発
生回路100の動作について説明する。
【0013】電源投入時において、トライステートイン
バータバッファ100aは、出力ハイインピーダンス状
態にあり、またテストモード活性化信号発生回路100
bは、ラッチ回路を構成する。この状態においては、内
部ノードNAの初期状態における電圧レベルは、電源投
入時におけるラッチ回路(インバータ100baおよび
トライステートインバータバッファ100bb)の状態
により決定される。今、図15に示すように、時刻t0
において、電源電圧を投入すると、ノードNV上の電源
電圧Vccが徐々に上昇する。テストモード活性化信号
発生回路100bのラッチ状態は電源投入時において不
定であり、したがって内部ノードNAおよびテストモー
ド活性化信号TMEの電圧レベルも不定状態となる(図
15においては破線でその電圧レベルが徐々に上昇する
ように示される)。初期状態においてインバータ100
baおよびトライステートインバータバッファ100b
bがともに過渡領域にあり貫通電流を消費して、その出
力電圧レベルが不定状態となっているためである。
【0014】時刻t1において、電源電圧Vccが所定
の電圧レベルに到達するまでの間、電源投入検出信号Z
PORがLレベルに保持され、応じてpチャネルMOS
トランジスタ102が導通し、内部ノードNAが電源ノ
ードNVに電気的に接続される。このMOSトランジス
タ102の導通により、内部ノードNAの電圧レベルが
Hレベルに設定され、テストモード活性化信号発生回路
100bのラッチ状態の初期状態が設定され、内部ノー
ドNAがHレベル、内部ノードNBがLレベルとなる。
【0015】時刻t1において、この電源投入検出信号
ZPORがHレベルに立上がり、MOSトランジスタ1
02が非導通状態となっても、インバータ100baお
よびトライステートインバータバッファ100bbのラ
ッチ回路により、内部ノードNAおよびNBの電圧レベ
ルが変化し、内部ノードNAは、電源電圧Vccの電圧
レベル上昇に従ってHレベルに上昇し、一方、ノードN
Bからのテストモード活性化信号TMEは、この内部ノ
ードNAの電圧レベルの上昇に従ってLレベルに立下が
る。これにより、最終的に電源電圧Vccが所定の電圧
レベルVaに到達した場合に、内部ノードNAが電圧V
aレベルのHレベルとなり、テストモード活性化信号T
MEが接地電圧GNDレベルのLレベルに保持される。
電源投入時において、テストモード活性化信号発生回路
を所望の初期状態にリセットすることができ、電源投入
時において、誤ってテストモード活性化信号TMEが活
性状態となるのを防止することができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】図16は、従来の電源
投入検出回路の構成の一例を示す図である。図16にお
いて、電源投入検出回路は、ノードS1と電源ノードN
Vの間に接続され、かつそのゲートがノードS2に接続
されるpチャネルMOSトランジスタP1と、ノードS
1に一方端が接続される抵抗素子Z1と、抵抗素子Z1
の他方端と接地ノードの間に接続されかつそのゲートが
ノードS2に接続されるnチャネルMOSトランジスタ
Q1と、電源ノードNVとノードS1の間に接続される
結合容量CP1と、ノードS2と接地ノードの間に接続
されかつそのゲートがノードS1に接続されるnチャネ
ルMOSトランジスタQ2と、電源ノードNVとノード
S2の間に直列に接続されるpチャネルMOSトランジ
スタP2と抵抗素子Z2を含む。pチャネルMOSトラ
ンジスタP2のゲートはノードS1に接続される。ノー
ドS2と接地ノードの間に、さらに、ノードS2の電圧
レベルを安定化するための容量素子CP2が設けられ
る。
【0017】電源投入検出回路は、さらに、ノードS2
上の信号を受けて反転してノードS3へ伝達する3段の
縦続接続されるインバータIV1、IV2およびIV3
と、ノードS3と電源ノードNVの間に接続される結合
容量CP3と、ノードS3上の信号電位を反転してノー
ドS4へ伝達するインバータIV4と、ノードS4上の
信号電位に従って電源投入検出信号ZPORを出力する
2段の縦続接続されるインバータIV5およびIV6を
含む。
【0018】電源投入検出回路は、さらに、電源ノード
NVとノードS5の間に直列に接続されるpチャネルM
OSトランジスタP3および抵抗素子Z3を含む。pチ
ャネルMOSトランジスタP3のゲートはノードS4に
接続される。
【0019】この電源投入検出回路は、さらに、ノード
S5と接地ノードの間に接続されかつそのゲートがノー
ドS4に接続されるnチャネルMOSトランジスタQ3
と、ノードS5と接地ノードの間に接続される容量素子
CP4と、ノードS5とノードS6の間に直列に接続さ
れるpチャネルMOSトランジスタP4およびP5と、
ノードS6と接地ノードの間に接続されかつそのゲート
がノードS4に接続されるnチャネルMOSトランジス
タQ4と、ノードS1と接地ノードの間に接続されかつ
そのゲートがノードS6に接続されるnチャネルMOS
トランジスタQ5を含む。pチャネルMOSトランジス
タP4およびP5の各々は、そのゲートおよびドレイン
が接続され、電圧降下素子として作用する。次に、この
図16に示す電源投入検出回路の動作を図17および図
18に示す動作波形図を参照して説明する。
【0020】まず、図17を参照して、電源投入検出信
号ZPORが正常に発生される場合の動作について説明
する。時刻t0において電源投入が行なわれ、電源ノー
ドNVの電源電圧Vccの電圧レベルが上昇する。この
電源投入に従って、容量素子CP1の容量結合により、
ノードS1の電圧レベルが応じて上昇し、nチャネルM
OSトランジスタQ2が導通状態へ移行し、またpチャ
ネルMOSトランジスタP2が非導通状態となる。この
nチャネルMOSトランジスタQ2の導通状態への移行
により、ノードS2が接地電圧レベルに保持される。こ
れにより、インバータIV1〜IV3により、ノードS
3の電圧レベルがHレベルへと電源電圧のレベルに応じ
て上昇する。ノードS3は、また容量素子CP3の容量
結合により、電源投入時その電圧レベルがHレベルに初
期設定され、応じてインバータIV4により、ノードS
4に出力される信号レベルはLレベルとなり、応じて電
源投入検出信号ZPORはLレベルを保持する。
【0021】このノードS4がLレベルの間、pチャネ
ルMOSトランジスタP3が導通状態にあり、抵抗素子
Z3および容量素子CP4による時定数に従ってノード
S5の電圧レベルが緩やかに上昇する。このノードS5
の電圧レベルがMOSトランジスタP4およびP5の有
するしきい値電圧を超えると、ノードS6の電圧レベル
が上昇し始める。ノードS6の電圧レベルが、MOSト
ランジスタQ5のしきい値電圧より高くなると、MOS
トランジスタQ5が導通し、ノードS1をLレベルへ放
電する。
【0022】このノードS1の電圧レベルの低下に従っ
て、pチャネルMOSトランジスタP2が導通し、ノー
ドS2の電圧レベルが抵抗素子Z2および容量素子CP
2により決定される時定数に従って上昇する。ノードS
2の電圧レベルの上昇に従って、pチャネルMOSトラ
ンジスタP1が非導通状態となり、確実にノードS1の
電圧レベルがLレベルへ放電される。このノードS1の
電圧レベルの低下に従ってMOSトランジスタQ2が非
導通状態となり、ノードS2は、Hレベルに電源電圧V
ccの電圧レベルの上昇に従って上昇する。このノード
S2の電圧レベルがインバータIV1の入力論理しきい
値よりも高くなると、ノードS3が放電され、その電圧
レベルが低下し、応じてノードS4の電圧レベルが上昇
する。このノードS4の電圧レベルの上昇に従って、電
源投入検出信号ZPORがHレベルに立上がる。
【0023】このノードS4の電圧レベルが上昇する
と、pチャネルMOSトランジスタP3が非導通状態と
なり、一方nチャネルMOSトランジスタQ3およびQ
4が導通し、ノードS5およびS6が接地電圧レベルへ
放電され、MOSトランジスタQ5が非導通状態とな
る。これにより、ノードS2の電圧レベルの上昇に従っ
て、MOSトランジスタQ1が導通し、ノードS1はL
レベルに保持される。このMOSトランジスタP2、Q
1および抵抗素子Z1およびZ2のループにより、ノー
ドS2は、電源電圧Vccの電圧レベルに応じたHレベ
ルに保持され、応じて電源投入検出信号ZPORもHレ
ベルに保持される。
【0024】電源投入が行なわれる時刻t0から電源投
入検出信号ZPORがHレベルに立上がる時刻t1の
間、電源投入検出信号ZPORはLレベルであり、この
間において内部ノードの初期設定(リセット)が行なわ
れる。すなわち、電源投入検出信号ZPORは、電源電
圧Vccが所定の電圧レベルに到達するかまたは一定の
電圧レベルに到達して、かつ安定状態となったときにH
レベルの非活性状態とされる。
【0025】次に、図18を参照して、電源投入検出信
号ZPORが不完全に出力される(活性状態が0回)場
合の動作について説明する。
【0026】図18に示すように、時刻t0において電
源投入が行なわれ、電源電圧Vccの電圧レベルが上昇
する。この電源電圧Vccの電圧レベルの上昇速度は緩
やかである。この場合、ノードS1〜S6の電圧レベル
は不定状態となる。MOSトランジスタの導通/非導通
状態が不確定状態であり、また容量素子CP1およびC
P3による容量結合による電圧レベルの上昇速度も極め
て緩やかであり、各内部ノードも電圧レベルの不定状態
を確定状態へ保持することができない。したがって、こ
の状態において、内部ノードS4の不定状態の電圧レベ
ルが、Hレベルと判定された場合、インバータIV5お
よびIV6を介して出力される電源投入検出信号ZPO
Rが、電源電圧Vccの電圧レベルの上昇に従ってその
レベルが上昇する。電源電圧Vccの電圧レベルがある
一定の電圧レベルに到達すると、内部ノードS1〜S6
のHレベルとなったノードの電圧レベルが確実に上昇
し、ノードS1〜S6はそれぞれ所定の電圧レベルへ駆
動される。各ノードの駆動される電圧レベルは、そのと
きのMOSトランジスタの導通/非導通状態により決定
される。図18においては、ノードS1は、ノードS2
の電圧レベルの上昇に従ってMOSトランジスタQ1が
接地電位レベルへ放電される動作シーケンスが一例とし
て示される。この状態においては、ノードS2が、MO
SトランジスタP2を介して充電され、その電圧レベル
がHレベルへと上昇し、応じてノードS3が レベルへ
駆動されノードS4の電圧レベルもHレベルへ駆動され
る。このノードS4がHレベルへ駆動されると、ノード
S5およびノードS6もLレベルに駆動される。
【0027】したがって、この図18に示す動作シーケ
ンスの場合、電源投入検出信号ZPORは、電源電圧V
ccに同期してその電圧レベルが上昇する。したがっ
て、電源投入検出信号ZPORがLレベルに保持される
期間はなく、内部の不定ノードを所定の初期電圧レベル
に保持するリセット動作を行なうことができなくなる。
【0028】この図18に示すように、電源電圧Vcc
の立上がり速度が遅く、電源投入検出信号ZPORが不
完全な形で発生される場合、以下の問題が生じる。
【0029】すなわち、図19に示すように、時刻t0
において、電源投入が行なわれ、応じて電源投入検出信
号ZPORの電圧レベルが上昇する。一方、図13に示
すノードNAおよびノードNBは、初期状態の電圧レベ
ルは不定であり、テストモード活性化信号発生回路10
0bのラッチ状態によりその電圧レベルが決定される。
したがって、図19に示すように、電源投入検出信号Z
PORが電源電圧Vccに従ってその電圧レベルが上昇
する場合、MOSトランジスタ102は非導通状態にあ
り、ノードNAおよびノードNBの電圧レベルは、Hレ
ベルおよびLレベルいずれをとるかは、そのときのノー
ドNAおよびノードNBの電圧レベルに応じて定められ
る。したがって、電源電圧Vccが所定電圧レベル以上
に到達し、テストモード活性化信号発生回路100bの
ラッチ回路がラッチ状態に入るときには、ノードNAの
信号はHレベル、ノードNBの信号はテストモード活性
化信号TMEがLレベルとなる状態と、ノードNAの電
圧レベルがLレベルとなり、一方テストモード活性化信
号TMEがHレベルとなる状態と2つの状態とがある。
【0030】テストモード活性化信号TMEがHレベル
となると、この半導体記憶装置においてテストモードが
行なわれることになり、通常動作を行なう場合、誤動作
を生じる可能性がある。
【0031】標準DRAM(ダイナミック・ランダム・
アクセス・メモリ)においては、内部信号線および内部
ノードを所定の初期状態に設定するために、ダミーサイ
クルが行なわれる。しかしながら、このダミーサイクル
は、ロウアドレスストローブ信号/RASを複数回トグ
ルしているだけであり、RAS系回路(信号RASに関
連する回路であり、行選択に関連する回路群)が動作す
るだけであり、テストモード活性化信号発生部などの周
辺回路の初期設定は行なわれない。
【0032】また、SDRAM(同期型DRAM)にお
いては、ノーマルモードセットサイクルが行なわれ、通
常動作モード(データの読出/書込を行なう動作モー
ド)とは異なる特殊動作モードはすべてリセットされ
る。したがって、このような特別なノーマルモードセッ
トサイクルが準備されている場合には、誤ってセットさ
れたテストモード活性化信号TMEを初期状態にリセッ
トすることは可能である。しかしながら、テストモード
の1つに、半導体基板領域にバイアス電圧VBBを外部
から印加し、動作マージンおよび動作特性をテストする
モードがあるが、このノーマルモードセットサイクルに
よってもこのVBB印加モードはリセットすることがで
きない。
【0033】図20は、VBB印加モードを行なうため
の回路構成を概略的に示す図である。図20において、
VBB印加モード実現回路は、テストモード活性化信号
TMEの非活性化時作動状態となり、所定の電圧レベル
のバイアス電圧を発生するVBB発生回路120と、テ
ストモード活性化信号TMEに従ってVBB発生回路1
20からのバイアス電圧および外部端子121から与え
られる外部電圧Exの一方を選択するセレクタ122を
含む。セレクタ122からの電圧は、この半導体記憶装
置の基板領域123に印加される。基板領域123はP
型半導体基板領域であり、その基板領域123表面に、
間をおいて高濃度N型不純物領域124aおよび124
bが形成され、これらの不純物領域124aおよび12
4bの間にゲート絶縁膜を介してゲート電極層125が
形成される。これにより1つのMOSトランジスタが形
成される。
【0034】通常、この基板領域123は、ウェル領域
またはエピタキシャル層に形成され、負のバイアス電圧
が印加される。
【0035】セレクタ回路122は、テストモード活性
化信号TMEの非活性状態のときには、VBB発生回路
120が発生するバイアス電圧を選択して基板領域12
3へ与える。一方、テストモード活性化信号TMEの活
性状態のときには、セレクタ122は外部端子121か
ら与えられる外部電圧Exを選択して基板領域123へ
与える。基板バイアス電圧VBBは、この基板領域表面
に形成されるMOSトランジスタ(不純物領域124a
および124bならびにゲート電極層125で形成され
るトランジスタ)のしきい値電圧の安定化および不純物
領域124aおよび124bと基板領域123の間の接
合容量の低減による高速動作化などを実現する。
【0036】MOSトランジスタのしきい値電圧は、基
板バイアス電圧VBBの絶対値の平方根の関数で表わさ
れる。バイアス電圧VBBの絶対値が大きくなると、こ
のMOSトランジスタのしきい値電圧が大きくなる。一
方、このバイアス電圧VBBの絶対値が小さくなると、
MOSトランジスタのしきい値電圧は小さくなる。
【0037】この基板領域123上表面には、この半導
体記憶装置を構成するMOSトランジスタが形成され
る。電源投入時において、テストモード活性化信号TM
Eが活性状態となると、セレクタ122は外部端子12
1の外部電圧Exを選択する。この外部端子121は、
通常動作モード時においては外部制御信号(たとえばロ
ウアドレスストローブ信号ZRASまたはコラムアドレ
スストローブ信号ZCASなど)が印加される。したが
って、電源投入時において、この外部電圧Exは、接地
電圧レベルまたは電源電圧Vccの電圧レベルである。
接地電圧レベルの外部電圧Exが選択されて基板領域1
23へ印加された場合、このMOSトランジスタのしき
い値電圧は小さくなり、オフ状態となるべきMOSトラ
ンジスタがオン状態となる。したがって、たとえ仮に同
期型半導体記憶装置においてノーマルモードセットサイ
クルを実行しても、トランジスタの特性が異なっている
ため、内部ノードおよび内部信号線が所定の初期電圧レ
ベルに設定することができなくなり(内部回路が正常に
動作せず、誤動作する)、データの書込および読出を行
なうことが正確に行なうことができなくなる。また、場
合によっては、外部から与えられるノーマルモードセッ
トコマンドをデコードするコマンドデコーダが正常に動
作せず、ノーマルモードセット信号を出力することがで
きず、内部リセットを行なうことができなくなることも
考えられる。
【0038】また、この図20に示す外部端子121の
外部電圧ExがHレベルに設定されている場合、この電
圧レベルは電源電圧Vccの電圧レベルであり、したが
って不純物領域124aおよび124bの一方が接地ノ
ードに接続されている場合、この基板領域123と不純
物領域124aまたは124bが順方向にバイアスさ
れ、外部端子121からセレクタ122、基板領域12
3および不純物領域124aまたは124bを介して大
きな基板電流が流れ、この大きな基板電流により、図示
しない部分におけるラッチアップ現象によりさらに大き
な電流が流れ、この半導体記憶装置が暴走状態になるこ
とも考えられる。さらにこの大きな電流により、発熱に
より配線の断線(エレクトロンマイグレーションによ
る)が生じ、記憶装置が破壊されることになる可能性も
存在する。
【0039】それゆえ、この発明の目的は、電源投入時
において、たとえ電源投入検出信号が活性状態へ正確に
駆動されない場合においても、テストモードに半導体記
憶装置が入るのを防止することである。
【0040】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る半導体記
憶装置は、外部からの信号に従ってテスト動作モードを
活性化するテストモード活性化信号発生手段と、電源ノ
ードに結合され、この電源ノードへの電源電圧印加に応
答して所定時間活性状態となるべき電源投入検出信号を
出力する電源投入検出手段と、テストモード活性化信号
発生手段に結合され、電源投入検出信号の0回の活性化
に応答してテストモード活性化信号を非活性状態に設定
する初期化手段とを備える。
【0041】請求項2に係る半導体記憶装置は、外部か
らの信号に従って予め定められたテストモード動作を可
能にするテストモード活性化信号を発生するテストモー
ド活性化信号発生手段と、電源ノードに結合され、外部
からの電源電圧の電源ノードへの投入に応答して所定期
間活性状態となるべき電源投入検出信号を出力する電源
投入検出手段と、テストモード活性化信号発生手段と電
源投入検出手段とに結合され、電源投入検出信号の活性
化に応答してテストモード活性化信号発生手段をイネー
ブルし、かつテストモード活性化信号が1回も活性化さ
れないときテストモード活性化信号発生手段をディスエ
ーブルする初期化手段とを備える。
【0042】請求項3に係る半導体記憶装置は、請求項
1または2の初期化手段が、電源投入検出信号の活性化
に応答してテストモード活性化信号を非活性状態にリセ
ットするリセット手段と、電源投入検出信号の0回の活
性化に応答してテストモード活性化信号を活性状態に保
持する保持手段とを備える。
【0043】請求項4に係る半導体記憶装置は、請求項
1または2のテストモード活性化信号発生手段が、外部
からの信号に従って内部ノードへテストモードを特定す
るモード特定信号を伝達するテストモード信号伝達手段
と、この内部ノード上の信号に従ってテストモード活性
化信号を発生するモード信号出力手段とを含む。また初
期化手段が、電源投入検出信号の活性化に応答して内部
ノードを所定電圧レベルの初期状態にリセットするリセ
ット手段と、電源投入検出信号をラッチする手段を含み
かつこのラッチした信号に従ってテストモード信号出力
手段を選択的にイネーブルまたはディスエーブルする保
持手段とを含む。この保持手段は、電源投入検出信号の
0回の活性化に応答してラッチした信号をテストモード
活性化信号出力手段をディスエーブル状態に設定する論
理レベルの信号に設定する手段を含む。
【0044】請求項5に係る半導体記憶装置は、請求項
4のラッチ手段が、電源投入検出信号を第1の入力に受
ける論理ゲートと、この論理ゲートの出力する信号を反
転して論理ゲートの第2の入力に伝達するインバータと
を含む。この論理ゲートの出力の信号に従ってテストモ
ード活性化信号出力手段がイネーブルまたはディスエー
ブルされる。
【0045】請求項6に係る半導体記憶装置は、請求項
5の装置において、論理ゲートとインバータとは、電源
投入検出信号の0回の活性化時、論理ゲートの出力にテ
ストモード活性化信号出力手段がディスエーブル状態と
なる信号が出力されるようにトランジスタサイズが調整
される。
【0046】請求項7に係る半導体記憶装置は、請求項
5のラッチ手段が、論理ゲートの出力ノードと所定の電
圧レベルを供給する基準電圧源との間に結合される容量
素子を含む。
【0047】請求項8に係る半導体記憶装置は、請求項
5のラッチ手段が、インバータの出力と所定の電圧レベ
ルを伝達する基準電源源との間に結合される容量素子を
さらに含む。
【0048】請求項9に係る半導体記憶装置は、請求項
5のラッチ手段が、論理ゲートの出力ノードと所定の電
圧レベルの基準電圧を伝達する基準電圧源との間に接続
される抵抗素子をさらに含む。
【0049】請求項10に係る半導体記憶装置は、請求
項5のラッチ手段が、インバータの出力と所定の電圧レ
ベルを伝達する基準電圧源との間に結合される抵抗素子
をさらに含む。
【0050】請求項11に係る半導体記憶装置は、請求
項1または10のいずれかの装置における、活性化信号
により活性化されるテストモードは、半導体記憶装置に
おいて使用される通常動作時に予め定められた一定電圧
レベルとなる電圧レベルを変更するモードである。
【0051】請求項12に係る半導体記憶装置は、請求
項11の一定電圧レベルの電圧は、この半導体記憶装置
が形成される基板領域へ印加される基板バイアス電圧で
ある。
【0052】請求項13に係る半導体記憶装置は、外部
からの信号に従って特定テストモードと異なるテストモ
ードを活性化するための信号を出力する手段をさらに備
える。
【0053】電源投入時において、電源投入検出信号が
1回も活性状態とされない場合においても、テストモー
ド活性化信号を非活性状態に設定することにより、半導
体記憶装置が誤ってテストモードに入るのを防止するこ
とができる。したがって、半導体記憶装置を実際に使用
する場合において、テストモードへの移行による動作不
良を防止することができる。
【0054】
【発明の実施の形態】
[実施の形態1]図1は、この発明の実施の形態1に従
う半導体記憶装置の全体の構成を概略的に示す図であ
る。図1において、半導体記憶装置1は、電源端子2に
印加される電源電圧Vccを受け、この半導体記憶装置
1への電源投入を検出する電源投入検出回路3と、この
電源投入検出回路3からの電源投入検出信号ZPORに
よりその内部ノードの電圧が初期設定され、かつ外部か
ら与えられるロウアドレスストローブ信号ZRAS、コ
ラムアドレスストローブ信号ZCAS、ライトイネーブ
ル信号ZWEおよび所定のアドレス信号ビットADDを
受けて内部制御信号を発生する制御信号発生回路4を含
む。この制御信号発生回路4においては、本発明に関係
のあるテストモード制御回路5を代表的に示す。このテ
ストモード制御回路5は、外部からの信号ZRAS、Z
CASおよびZWEおよびADDが所定の状態に設定さ
れたときに、特定のテストモードを活性化するテストモ
ード活性化信号を出力する。
【0055】半導体記憶装置1は、さらに、この制御信
号発生回路4の制御の下に所定の動作を行なう内部メモ
リ回路6を含む。図1においては、内部メモリ回路6
は、テストモード制御回路5からのテストモード活性化
信号TMEに従って所定のテストモードを実行する状態
に設定されるように示される。テストモード活性化信号
TMEは、特定の内部ノードへ外部からの信号を印加す
るモード、または複数のメモリセルが同時に選択される
動作モードなどいずれのテスト動作モードが指定しても
よく、特定のテスト動作モードを実現するように、内部
メモリ回路6において回路接続が切換えられればよい。
【0056】この内部メモリ回路6は、メモリセルを含
み、データ入出力端子7を介してデータDQの入出力を
行なう。この半導体記憶装置1は、またクロック入力端
子8を介して与えられるクロック信号CLKに同期して
データの入出力、および外部信号の取込を行なう。
【0057】このテストモード制御回路5は、後に詳細
に説明するが、電源投入検出信号ZPORが1回も活性
状態とされないときまたは不完全な活性状態のときにお
いては、テストモード活性化信号TMEを非活性状態に
保持する機能を備える。
【0058】また、電源投入検出回路3は、先の図16
に示す構成と同様の構成を備え、電源端子2に与えられ
る電源電圧Vccが所定の電圧レベル以上になると、H
レベルに立上がる信号を出力する。
【0059】図2は、図1に示すテストモード制御回路
5の構成を概略的に示す図である。図2において、テス
トモード制御回路5は、クロック信号CLKの立上がり
エッジにおいて外部制御信号ZRAS、ZCASおよび
ZWEが所定の状態(Lレベル)にセットされたとき、
モード設定信号MSETおよびZMSETを活性状態へ
駆動するモード設定信号発生回路5aと、このモード設
定信号発生回路5aからのモード設定信号MSETおよ
びZMSETの活性化に応答して外部からの特定のアド
レス信号ビットAddを取込み、テストモード活性化信
号TMEを出力するテストモード活性化信号発生回路5
bと、電源投入検出回路3からの電源投入検出信号ZP
ORが一度も活性化されない(0回の活性化)ときこの
テストモード活性化信号発生回路5bの出力するテスト
モード活性化信号TMEを非活性状態に保持する初期化
回路5cを含む。テストモード活性化信号発生回路5b
は、また電源投入検出回路3からの電源投入検出信号Z
PORの活性化に従ってその内部ノードを所定の初期状
態に設定して、テストモード活性化信号TMEを非活性
状態の初期状態にリセットする。モード設定信号発生回
路5aは、通常、同期型半導体記憶装置においてコマン
ドデコーダと呼ばれる論理ゲートにより構成され、クロ
ック信号CLKの立上がりエッジで、ロウアドレススト
ローブ信号ZRAS、コラムアドレスストローブ信号Z
CAS、およびライトイネーブル信号ZWEがすべてL
レベルに設定されると、ワンショットのパルス信号を出
力する。
【0060】図3は、図2に示すテストモード活性化信
号発生回路5bおよび初期化回路5cの構成の一例を示
す図である。図3において、テストモード活性化信号発
生回路5bは、特定のアドレス信号ビットAddを受け
るインバータ5baと、モード設定信号MSETおよび
ZMSETの活性化時作動状態とされ、インバータ5b
aの出力信号を反転して内部ノードNXへ伝達するトラ
イステートインバータバッファ5bbと、内部ノードN
X上の信号電位と初期化回路5cから与えられる内部ノ
ードNY上の信号電位とを受けるNAND回路5bc
と、NAND回路5bcの出力信号を反転してテストモ
ード活性化信号TMEを出力するインバータ5bdと、
モード設定信号MSETおよびZMSETの非活性時作
動状態とされ、テストモード活性化信号TMEをインバ
ータ5bdの入力部へ伝達するトライステートインバー
タバッファ5bを含む。これらのインバータバッファ5
bdおよび5beは、非活性化時(非作動状態時)出力
ハイインピーダンス状態となる。
【0061】テストモード活性化信号発生回路5bは、
さらに、電源投入検出信号ZPORを受けるインバータ
5bfと、インバータ5bfの出力信号がHレベルのと
き導通し、内部ノードNXを接地ノードに電気的に接続
するnチャネルMOSトランジスタ5bgを含む。電源
投入検出信号ZPORが活性状態のLレベルのとき、M
OSトランジスタ5bgが導通し、内部ノードNXは、
接地電圧GNDレベルに初期設定される。
【0062】初期化回路5cは、内部ノードNY上の信
号を受けるインバータ5caと、インバータ5caの出
力信号と電源投入検出信号ZPORを受けて出力信号を
内部ノードNYへ伝達するNAND回路5cbを含む。
この初期化回路5cは、後に詳細にその構成については
説明するが、電源投入検出信号ZPORが1回も活性化
されないときには、電源投入時、この内部ノードNYを
Lレベルに初期設定するようにそのトランジスタサイズ
などが調整される。これは、電源投入検出信号ZPOR
がHレベルのとき、インバータ5caおよびNAND回
路5cbにより、ラッチ回路が構成され、ラッチのとり
やすい状態を、内部ノードNYがLレベルとなるように
設定することにより実現される(これについては後に詳
細に説明する)。
【0063】次に、この図3に示すテストモード活性化
信号発生回路5bおよび初期化回路5cの動作について
図4および図5に示す動作波形を参照して説明する。
【0064】まず、図4を参照して、電源投入検出信号
ZPORが確実に活性状態とされる場合の動作について
説明する。
【0065】電源投入前においては、放電により、内部
ノードはすべてLレベルであり、同様内部信号もLレベ
ルである。時刻t0において、電源投入が行なわれ、電
源電圧Vccの電圧レベルが上昇する。この電源投入に
従って、電源投入検出信号ZPORの電圧レベルは接地
電圧レベルのLレベルを保持する。ノードNXは、トラ
イステートインバータバッファ5bbが、非作動状態に
あり、出力ハイインピーダンス状態にあり、フローティ
ング状態にある。同様、内部ノードNYも、初期化回路
5cのラッチ回路により、そのラッチ状態が不定であ
り、電源投入時、その電源電圧レベルは不定である。図
4においては、ノードNXおよびNYが、その電圧レベ
ルが不定を示すために、変動しているように示される。
この状態においては、また、インバータ5bbが出力す
るテストモード活性化信号TMEの電圧レベルも不定で
ある。しかしながら、インバータ5bfの出力信号が電
源電圧Vccの上昇に従って上昇するとMOSトランジ
スタ5bgが導通し、ノードNXがLレベルに初期設定
され、またテストモード活性化信号TMEも応じてLレ
ベルに初期設定される。
【0066】時刻t1において、電源電圧Vccが所定
の電圧レベルに応答すると、電源投入検出信号ZPOR
がHレベルに駆動される。これにより、インバータ5b
fの出力信号がLレベルとなり、MOSトランジスタ5
bgが非導通となり、内部ノードNXの初期設定が終了
する。この内部ノードNXの電圧レベルに従って、NA
ND回路5bcの出力信号がHレベルに設定され、電源
電圧Vccの電圧上昇とともにその出力信号の電圧レベ
ルが上昇する。応じて、インバータ5bdから出力され
るテストモード活性化信号TMEがLレベルの非活性状
態に保持される。このテストモード活性化信号TMEが
Lレベルに設定されると、インバータ5bdおよびトラ
イステートインバータバッファ5bbによりラッチされ
る。
【0067】一方、ノードNYは、この電源投入検出信
号ZPORの活性化に従って、NAND回路5cbの出
力信号がHレベルとなり、内部ノードNYが電源電圧V
ccレベルに上昇する。この状態において、インバータ
5caの出力信号がLレベルとなり、内部ノードNYの
電圧レベルがHレベルに設定される。以上のように、内
部ノードNXおよびNYの電圧レベルが不定状態から確
定状態となると、電源投入検出信号ZPORがHレベル
に立上がっても、内部ノードNXは、Lレベルに固定さ
れ、一方、内部ノードNYはVaの電圧レベルに設定さ
れ、安定に、テストモード活性化信号TMEは接地電圧
GNDレベルのLレベルに保持される。
【0068】なお、リセット用のMOSトランジスタ5
bgは、その電流駆動力を大きくしておけば、電源電圧
Vccが、所定の電圧レベルVaに到達する前に導通状
態とされても、大きな電流駆動力をもって確実に内部ノ
ードNXを接地電圧レベルへ放電することができる。ま
た、内部ノードNYは、電源投入検出信号ZPORの電
圧レベルがHレベルに立上がるため、ラッチ回路(イン
バータ5caおよびNAND回路5cbにより構成され
るラッチ回路)により電源電圧Vccの電圧レベルの上
昇に従って所定の電圧レベルVaに到達する。
【0069】この電源投入検出信号ZPORが活性化さ
れた場合、NAND回路5bcは、インバータとして作
用する。したがって、テストモードに入るとき、外部か
ら与えられるアドレス信号Addに従って、テストモー
ド活性化信号TMEを発生することができる。
【0070】次に、図5を参照して、電源投入検出信号
ZPORが完全に活性化されず不完全にしか発生されな
い場合の動作について説明する。
【0071】時刻t0において電源投入が行なわれ、電
源電圧Vccの電圧レベルが上昇する。この電源電圧V
ccのレベル上昇に従って電源投入検出信号ZPORは
同様にその電圧レベルが上昇し、インバータ5bfの出
力信号はLレベルとなる。この電源電圧Vccの電圧レ
ベルの上昇に従って、ノードNXおよびノードNYの電
圧レベルが不定状態となり、大きく変動しながら、その
電圧レベルが少し上昇する。この電圧上昇は、リーク電
流および容量結合などに起因する。また、初期化回路5
cのラッチ状態の不安定さに起因する。
【0072】時刻t1において、電源電圧Vccが所定
の電圧レベルに到達しても、電源投入検出信号ZPOR
が急激に立上がらす電源電圧Vccと同様の電圧レベル
にある。この状態においては、この電源投入検出信号Z
PORの電位変化は、インバータ5bfにおいては、L
レベルとは判定されず、したがってインバータ5bfの
出力信号はLレベルを維持する。また、MOSトランジ
スタ5bgは、非導通状態を維持し、内部ノードNX
は、電圧レベルが不定な状態を保持する。したがって、
ノードNXは、そのフローティング状態により、最終的
に、電源電圧レベルまたは接地電圧レベルに安定化する
(リーク電流または容量結合による)。
【0073】一方、初期化回路5cにおいては、電源投
入検出信号ZPORが非活性状態を維持する場合には、
このNAND回路5cbの出力信号は、Lレベルとなる
傾向にされている。したがって、電源投入検出信号ZP
ORが不完全にしか出力されず、活性化が1回もされな
い場合には、内部ノードNYは、このインバータ5ca
およびNAND回路5cbのラッチ回路により、Lレベ
ルへと駆動される。この内部ノードNYのLレベルの駆
動に従って、NAND回路5bcの出力信号がHレベル
に立上がり、応じてインバータ5bdからのテストモー
ド活性化信号TMEがLレベルに駆動される。このテス
トモード活性化信号TMEのLレベルは、インバータ5
bdおよびトライステートインバータバッファ5beに
よりラッチされる。
【0074】したがって、電源投入検出信号ZPORが
出力されず、内部ノードNXの電圧レベルが不定の場合
においても、テストモード活性化信号TMEは確実に非
活性状態のLレベルに保持することができ、半導体記憶
装置における内部動作不良が生じるのを防止することが
できる。
【0075】図6は、図3に示す初期化回路5cに含ま
れるインバータ5caおよびNAND回路5cbの構成
要素であるトランジスタのサイズの関係を概略的に示す
図である。
【0076】図6において、インバータ5caは、電源
ノードNVと内部ノードNZの間に接続されかつそのゲ
ートが内部ノードNYに接続されるpチャネルMOSト
ランジスタPQ1と、内部ノードNZと接地ノードの間
に接続されかつそのゲートが内部ノードNYに接続され
るnチャネルMOSトランジスタNQ1を含む。pチャ
ネルMOSトランジスタPQ1のサイズ(ゲート幅とゲ
ート長の比W/L、図においてはWで示す)W1は、n
チャネルMOSトランジスタNQ1のサイズW2よりも
大きく設定される。したがって、このインバータ5ca
は、電源投入時、内部ノードNZをHレベルに駆動する
傾向がある。
【0077】NAND回路5cbは、電源ノードNVと
内部ノードNYの間に接続されかつそのゲートに電源投
入検出信号ZPORを受けるpチャネルMOSトランジ
スタPQ2と、電源ノードNVと内部ノードNYの間に
接続されかつそのゲートが内部ノードNZに接続される
pチャネルMOSトランジスタPQ3と、内部ノードN
Yと接地ノードの間に直列に接続されるnチャネルMO
SトランジスタNQ2およびNQ3を含む。nチャネル
MOSトランジスタNQ2のゲートは、内部ノードNZ
に接続され、またnチャネルMOSトランジスタNQ3
のゲートへは、電源投入検出信号ZPORが与えられ
る。pチャネルMOSトランジスタPQ2およびPQ3
のサイズW3は、nチャネルMOSトランジスタNQ2
およびNQ3のサイズW4よりも小さく設定される。こ
のnチャネルMOSトランジスタNQ2およびNQ3の
サイズW4は、pチャネルMOSトランジスタPQ1の
サイズよりも大きくされ、このnチャネルMOSトラン
ジスタNQ2およびNQ3の電流駆動力は、pチャネル
MOSトランジスタPQ1の電流駆動力よりも大きく設
定される。このNAND回路5cbは、電源投入時にお
いては、大きな電流駆動力を有するnチャネルMOSト
ランジスタNQ2およびNQ3により、内部ノードNY
をLレベルに駆動する傾向がある。次に動作について簡
単に説明する。
【0078】今、内部ノードNYが、電源投入に従って
その電圧レベルが不定状態となり、変動した場合を考え
る。この状態において、インバータ回路5caにおい
て、MOSトランジスタPQ1およびNQ1がともに導
通状態となり(弱い導通状態)、電流を供給する。nチ
ャネルMOSトランジスタNQ1の電流駆動力よりも、
pチャネルMOSトランジスタPQ1の電流駆動力が大
きく、内部ノードNZの電圧レベルは、Hレベルへ駆動
される傾向にある。一方、NAND回路5cbにおい
て、電源投入検出信号ZPORが活性状態を維持する場
合においては、この電源投入検出信号ZPORは電源電
圧Vccの電圧上昇に従ってその電圧レベルが上昇す
る。したがって、nチャネルMOSトランジスタNQ3
は導通状態、pチャネルMOSトランジスタPQ2が非
導通状態となる。一方、pチャネルMOSトランジスタ
PQ3は、内部ノードNZの電圧レベルがHレベルへ駆
動される傾向のため、その導通状態が弱い状態に設定さ
れる。したがって、内部ノードNYは、Lレベルへ駆動
される傾向にある。電源投入検出信号ZPORが所定の
電圧レベル以上に到達すると、MOSトランジスタNQ
3の駆動力も大きくなり、内部ノードNYを、接地電位
レベルへ向かって放電する。次いで、MOSトランジス
タPQ1が導通状態となり、内部ノードNZをHレベル
へ駆動する。これにより、NAND回路5cbおよびイ
ンバータ5caによるインバータのラッチ状態が確定
し、内部ノードNYが接地電圧レベルのLレベル、内部
ノードNZが、電源電圧VccレベルのHレベルとな
る。
【0079】電源投入検出信号ZPORが活性状態とさ
れる場合には、MOSトランジスタNQ3が非導通状態
となり、一方、MOSトランジスタPQ2が導通し、内
部ノードNYへ、電源ノードNVから電流を供給し、内
部ノードNYの電圧レベルをHレベルへ駆動する。これ
により、インバータ5caの出力信号がLレベルに立下
がり、応じてMOSトランジスタPQ3が導通し、内部
ノードNYの電圧レベルがさらにHレベルへ高速で駆動
される。電源投入検出信号ZPORがHレベルの非活性
状態とされると、このNAND回路5cbおよびインバ
ータ5caにより、内部ノードNYのHレベルが確実に
ラッチされる。
【0080】以上のように、この発明の実施の形態1に
従えば、電源投入検出信号が電源投入直後不定状態とな
るかまたは活性化期間が極めて短い不完全な形で発生さ
れるかまたは活性状態が1回も存在しない場合には、テ
ストモード活性化信号を非活性状態に保持するように構
成したため、電源投入時において、電源投入検出信号が
確実に活性状態へ駆動されない場合においても、半導体
記憶装置がテストモードに入るのを防止することがで
き、応じてこの半導体記憶装置の動作不良を防止するこ
とができる。
【0081】[実施の形態2]図7は、この発明の実施
の形態2に従う初期化回路の構成を示す図である。図7
において、初期化回路5cは、内部ノードNY上の信号
を反転するインバータ5ccと、インバータ5ccの出
力信号と電源投入検出信号ZPORを受けるNAND回
路5cdを含む。このNAND回路5cdの出力信号が
内部ノードNYに伝達される。これらのインバータ5c
cおよびNAND回路5cdのトランジスタサイズの調
整は、特に行なわれていない。電源投入検出信号ZPO
RがHレベルのときには、通常のインバータラッチを構
成する。
【0082】さらに、この初期化回路5cは、内部ノー
ドNYと接地ノードの間に接続される容量素子C1を含
む。この容量素子C1は内部ノードNYに対する安定化
容量として機能する。電源投入時、内部ノードNYの電
圧レベルが不定状態で浮き上がったとしても、この容量
素子C1により、この内部ノードNY上の電圧レベルの
上昇が抑制され、内部ノードNYは、次に、Lレベルへ
駆動される傾向が強くなる。したがって、電源投入検出
信号ZPORのリセットに十分な活性化が1回も行なわ
れない場合においては、内部ノードNYの電圧レベル
は、インバータ5ccおよびNAND回路5cdのラッ
チ回路により、その初期設定されたLレベルに応じて確
実にLレベルにラッチされる。
【0083】この容量素子C1の容量値はそれほど大き
くは設定されず、電源投入検出信号ZPORが活性状態
とされると、容量素子C1が確実に充電され、確実に内
部ノードNYは、Hレベルに保持される。この図7に示
すように容量素子を用いる場合、トランジスタ素子のサ
イズ調整を行なう必要がなく、容易に内部ノードNYが
Lレベルに駆動される傾向を強くすることができ、電源
投入検出信号の非発生時(0回の活性化時)確実に、内
部ノードNYを、Lレベルに保持することができる。こ
こで「0回の活性化」とは初期設定(リセット)に十分
な期間活性状態に保持されていないことを示す。
【0084】[実施の形態3]図8は、この発明の実施
の形態3に従う初期化回路5cの構成を概略的に示す図
である。この図8に示す構成においては、インバータ5
ccの出力ノードNZと電源ノードNVの間に容量素子
C2が結合される。容量素子C2は、結合容量として機
能し、電源投入時電源ノードNV上の電源電圧Vccが
上昇されるにつれ、この容量素子C2の容量結合によ
り、内部ノードNZの電圧レベルも上昇する。したがっ
て、この内部ノードNZがHレベルへ駆動される傾向が
大きく、電源投入検出信号ZPORの0回の活性化が行
なわれる場合には、確実にNAND回路5cdの出力信
号をLレベルに保持することが可能となる。
【0085】したがって、この図8に示す構成において
も、単に容量素子を結合容量として用いて内部ノードN
ZをHレベルへ駆動する傾向性を強くしているため、ト
ランジスタサイズ調整などの複雑な処置を行なうことな
く容易に電源投入検出信号ZPORの非発生時、内部ノ
ードNYをLレベルへ保持することができる。この容量
素子C2の容量値も適当な大きさに定められ、電源投入
検出信号ZPORが活性化されると、内部ノードNYの
電位の立上がりに従って、インバータ5ccにより、そ
の容量素子C2の一方電極ノード(ノードNZに接続さ
れる電極ノード)がLレベルへ駆動される。このLレベ
ルは、インバータ5ccにより保持される。
【0086】[実施の形態4]図9は、この発明の実施
の形態4に従う初期化回路の構成を示す図である。図9
に示す構成においては、内部ノードNYと接地ノードの
間にプルダウン用の比較的大きな抵抗値を有する抵抗素
子R1が接続される。他の構成は、図7および図8に示
す構成と同じである。この図9に示す構成においては、
プルダウン抵抗素子R1により、内部ノードNYはLレ
ベルへ駆動される。したがって内部ノードNYは、NA
ND回路5cdの出力信号がHレベルへ駆動されない限
りLレベルに固定される。電源投入検出信号ZPORが
Lレベルにあると、電源電圧Vccの上昇に従ってNA
ND回路5cdにより、内部ノードNYはHレベルに駆
動される。このときには、インバータ5ccおよびNA
ND回路5cdにより、内部ノードNYはHレベルに保
持される。この図9に示すように、内部ノードNYに高
抵抗のプルダウン抵抗素子を接続しても、容易にトラン
ジスタサイズ調整などの複雑な設計を行なうことなく容
易に電源投入検出信号ZPORの非発生時に内部ノード
NYをLレベルに駆動することができる。
【0087】[実施の形態5]図10は、この発明の実
施の形態5に従う初期化回路の構成を概略的に示す図で
ある。この図10に示す初期化回路5cにおいては、イ
ンバータ5ccの出力ノードNZと電源ノードNVの間
に高抵抗の抵抗素子R2が接続される。他の構成は図7
から図9に示す構成と同じであり、対応する部分には同
一参照番号を付す。この抵抗素子R2は、プルアップ抵
抗として作用する。したがって、電源投入検出信号ZP
ORが0回の活性化しか行なわれない場合には、内部ノ
ードNZが電源電圧Vccの電圧レベルに従ってHレベ
ルへ駆動される。また、NAND回路5cdの出力信号
はLレベルとなり、内部ノードNYの電圧レベルは接地
電圧レベルのLレベルに保持される。一方、電源投入検
出信号ZPORが活性化されると、NAND回路5cd
の出力信号がHレベルとなり、応じてインバータ回路5
ccの出力信号がLレベルとなる。この抵抗素子R2の
抵抗値は十分大きく、内部ノードNZは、インバータ5
ccによりLレベルに保持され、応じてNAND回路5
cdの出力信号もHレベルに維持される。
【0088】したがって、この図10に示す構成におい
ても、プルアップ抵抗素子R2をインバータの出力ノー
ドに接続することにより、トランジスタサイズの調整な
どの複雑な処置を行なうことなく、容易に、電源投入検
出信号ZPORの非発生(0回の活性化)時内部ノード
NYを、Lレベルに保持することができる。
【0089】[実施の形態6]図11は、この発明の実
施の形態6に従うテストモード活性化信号発生回路5b
の構成を概略的に示す図である。この図11に示すテス
トモード活性化信号発生回路5bにおいては、図3に示
す構成に加えて、さらに、トライステートインバータバ
ッファ5bdの出力信号を受けるインバータ5bhと、
インバータ5bhの出力信号を反転して第1のテストモ
ード活性化信号TME1を出力するインバータ5bi
と、モード設定指示信号MSETおよびZMSETの非
活性化時作動状態とされ、インバータ5bhの出力信号
を反転してインバータ5bhの入力部へ伝達するトライ
ステートインバータバッファ5bjを含む。インバータ
5bbからは、第2のテストモード活性化信号TME2
が出力される。
【0090】テストモード活性化信号TME1およびT
ME2は、それぞれ別々のテストモードを活性化する。
第1のテストモード活性化信号TME1は、通常のたと
えばマルチビットテストなどのテストモードを規定す
る。一方第2のテストモード活性化信号TME2は、V
BB印加モードなどのトランジスタ特性が完全に異なっ
てしまうようなテストモードを指定する。通常のテスト
モードを規定する第1のテストモード活性化信号は、ノ
ーマルモードセットサイクルで非活性状態へリセットす
る。一方、第2のテストモード活性化信号TME2の場
合、このノーマルモードセットサイクルを行なっても、
内部のトランジスタ特性が異なっているため、ノーマル
モードサイクル指定信号が出力されず、第2のテストモ
ード活性化信号のリセットを行なうことができなくなる
状態が考えられる。したがって、この場合には、初期化
回路5cを用い、電源投入検出信号ZPORが一度も活
性化されない場合には、第2のテストモード活性化信号
TME2を非活性状態に保持する。一方、電源投入検出
信号ZPORが1回も活性化されない場合、テストモー
ド活性化信号TME1が活性状態に保持された場合にお
いては、後に説明するノーマルモードセットサイクルに
従ってリセットする。
【0091】図12は、図1に示す制御信号発生回路4
のテスト動作に関連する部分の構成を概略的に示す図で
ある。図12において、この制御信号発生回路4は、外
部からの制御信号ZRAS、ZCASおよびZWEと特
定のアドレス信号ビットADを受け、クロック信号(図
示せず)の立上がりエッジにおいてこれらが予め定めら
れた状態に設定されたときにノーマルモードセット指示
が与えられたことを検出するノーマルモードセットサイ
クル検出回路4aと、このノーマルモードセットサイク
ル検出回路4aからのノーマルモードセットサイクル検
出信号に従ってノーマルモードセット動作を行なうノー
マルモードセット制御回路4bを含む。このノーマルモ
ードセットサイクル検出回路4aは、先のモード設定信
号発生回路と同様の構成を備え、このモードセット指示
に従って特定のアドレス信号ビットADに従ってノーマ
ルモードセットサイクルが指示されたか否かを判定す
る。ノーマルモードセット制御回路4bは、このノーマ
ルモードセット指示に従って、標準DRAMにおいて行
なわれるようなダミーサイクルと同様内部回路の動作を
行なわせるとともに、このテスト指示信号などの特殊モ
ード指示信号を所定のリセット状態に設定する。
【0092】この制御信号発生回路4に含まれるテスト
モード制御回路5は、先の図2に示すモード設定信号発
生回路5a、テストモード活性化信号発生回路5bおよ
び初期化回路5cに加えて、さらに特定のアドレス信号
ビットAD0およびAD1を受けるゲート回路5dと、
このゲート回路5dと並列に設けられ、アドレス信号ビ
ットAD0およびAD1を受けるゲート回路5eと、第
1のテストモード活性化回路TME1とゲート回路5a
の出力信号を受けるゲート回路5fと、ゲート回路5e
の出力信号と第2のテストモード活性化信号TME2を
受けるゲート回路5gを、ノーマルモードセット制御回
路4bからのノーマルモードセット信号に従って導通
し、第1のテストモード活性化信号TME1を非活性状
態(Lレベル)に駆動するリセットトランジスタ(nチ
ャネルMOSトランジスタ)5hを含む。
【0093】ゲート回路5dは、アドレス信号ビットA
D0およびAD1がともにHレベルのときにHレベルの
信号を出力する。ゲート回路5eは、信号ビットAD0
がLレベルであり、かつアドレス信号ビットAD1がH
レベルのときにHレベルの信号を出力する。ゲート回路
5fおよび5gは、その両入力に与える信号をともにH
レベルのときにHレベルの信号を出力する。ゲート回路
5fから縮退テストモード、リーク電流テストモードな
どの内部のトランジスタ特性が変更されない動作モード
を指示するテストモード指示信号TE1が出力される。
ゲート回路5gから、VBB印加モードなどのバイアス
電圧を変更するモードを指定するテストモード指示信号
TEが出力される。
【0094】この図12に示すテスト初期化回路の構成
の場合、電源投入検出信号が活性状態とされない場合に
おいて、第1のテストモード活性化信号TME1は活性
状態となる場合がある。一方、第2のテストモード活性
化信号TME2は、図11に示す構成から明らかに、非
活性状態に保持される。この場合、ノーマルモードセッ
トサイクル検出回路4aおよびノーマルモードセット制
御回路4bにより、ノーマルモードセットサイクル時に
リセット信号RSTが活性状態へ駆動され、リセットト
ランジスタ5hが導通し、テストモード活性化信号TM
E1が非活性状態へ駆動される。これにより、実際にシ
ステムに組込んで使用する場合においても、電源投入後
においては、ノーマルモードセットサイクルが実行され
るため、確実に、この半導体記憶装置が電源投入検出信
号が活性状態へ駆動されない場合においてテストモード
に入るのを防止することができる。
【0095】なお、この図12に示すテストモード制御
回路により、ゲート回路5dおよび5eに与えられるア
ドレス信号ビットの記載は単なる一例であり、そのビッ
ト以上の複数ビットが与えられてもよく、またこのゲー
ト回路5dおよび5gへ与えられるアドレス信号ビット
AD0およびAD1が、先の図2に示すように、モード
設定信号発生回路5aからのモード設定信号MSETお
よびZMSETに従って取込まれてもよい。
【0096】製品出荷前のテストモード動作時において
は、電源投入検出信号ZPORが活性化されない場合に
は、テストモード活性化信号TME2は常時非活性状態
を保持する。この場合においては、電源を再度投入し直
し、電源投入検出信号を活性化する。
【0097】以上のように、バイアス電圧VBBが変化
してトランジスタ特性が変動し、ノーマルモードセット
サイクル検出回路4aにおいてノーマルモードセットサ
イクルが検出されず、またノーマルモードセット制御回
路4bが、ノーマルモードセット動作を行なわれない場
合が全く生じないように、このテストモード活性化信号
TME2を、確実に初期状態にセットすることができ、
応じて、テストモード活性化信号TME1のノーマルモ
ードセットサイクルでリセットすることができる。
【0098】[他の適用例]上述の説明において、同期
型半導体記憶装置が示されている。しかしながら、標準
DRAMにおいて、テストモードが、WCBR(WE,
CASビフォーRAS)条件とアドレスキーにより指定
され、このテストモード活性化信号を発生する構成にお
いて、フローティング状態となる回路ノードが存在する
場合においても同様本発明は適用することができる。こ
こで、WCBR条件は、ロウアドレスストローブ信号Z
RASが立下がる前に、ライトイネーブル信号ZWEお
よびコラムアドレスストローブ信号ZCASがLレベル
に設定されるタイミング条件を示し、アドレスキーは、
特定のアドレス信号ビット(1ビットまたは複数ビッ
ト)が予め定められた論理状態に設定される状態を示
す。
【0099】さらに、他の半導体記憶装置(たとえばス
タティック・ランダム・アクセス・メモリ)において
も、電源投入時、電源投入検出信号の活性化に従ってそ
の電源投入時の電圧レベルが所定状態となるノードを初
期状態にセットする構成が用いられている限り、本発明
は適用可能である。
【0100】
【発明の効果】以上のように、この発明に従えば、電源
投入時、電源投入検出信号が活性状態へ1回も駆動され
ない場合、テストモード活性化信号を非活性状態へ保持
するように構成しているため、実際のシステムの使用時
において、電源投入検出信号の不良に基づく、動作不良
を防止することができ、信頼性の高い半導体記憶装置を
実現することができ、応じて信頼性の高いメモリシステ
ムを構築することができる。
【0101】請求項1に係る発明に従えば、電源投入検
出信号の0回の活性化に応答してテストモード活性化信
号を非活性状態に保持するように構成しているため、実
際のシステムに組込んで半導体記憶装置を使用する場合
において、電源投入検出信号の不良が生じても、内部で
テストモードが設定されることがなく、電源投入検出信
号不良に基づく動作不良が生じることがなく、信頼性の
高い半導体記憶装置を実現することができる。
【0102】請求項2に係る発明に従えば、電源投入検
出信号の活性化に従って、テストモード活性化信号発生
手段をイネーブルしかつ電源投入検出信号が1回も活性
化されないとき、このテストモード活性化信号発生手段
をディスエーブル状態に設定しているため、電源投入検
出信号の不良が生じても、テストモード活性化信号が活
性状態へ駆動されるのを防止することができ、内部状態
を、通常動作モードの状態に設定することができ、この
電源投入検出信号に起因する動作不良を防止することが
でき、信頼性の高い半導体記憶装置を実現することがで
きる。
【0103】請求項3に係る発明に従えば、初期化手段
として、電源投入検出信号の活性化に応じて、このテス
トモード活性化信号を非活性状態にリセットするととも
に、電源投入検出信号の0回の活性化に従ってテストモ
ード活性化信号を非活性状態に保持するように構成して
いるため、電源投入時、電源投入検出信号の活性状態の
有無にかかわらずテストモード指示信号を非活性状態に
設定することができる。
【0104】請求項4に係る発明に従えば、電源投入検
出信号の活性化に従って内部ノードを所定電圧レベルの
初期状態にリセットするリセット手段と、この電源投入
検出信号発生手段によりモード信号出力手段を選択的に
イネーブルまたはディスエーブルし、このラッチ手段
は、電源投入検出信号の0回の活性化に従ってラッチし
た信号をこのモード信号出力手段をディスエーブル状態
に設定する論理レベルに設定しているため、確実に電源
投入時、電源投入検出信号の状態にかかわらず、テスト
モード活性化信号が活性状態へ駆動されるのを防止する
ことができる。
【0105】請求項5に係る発明に従えば、このラッチ
手段を、論理ゲートとインバータとで構成しており、簡
易な回路構成でラッチ回路を実現することができる。
【0106】請求項6に係る発明に従えば、このラッチ
回路を構成する論理ゲートとインバータは、論理ゲート
の出力ノードの信号レベルが、テストモード活性化信号
出力回路がディスエーブル状態とされる信号が出力され
るようにトランジスタサイズが調整されており、電源投
入検出信号が一度も活性状態とされない場合において
も、このラッチ回路の回路特性に従って容易にテストモ
ード活性化信号発生出力回路をディスエーブル状態とし
て、テストモード活性化信号が活性状態へ駆動されるの
を防止することができる。
【0107】請求項7に係る発明に従えば、ラッチ手段
は、出力ノードと基準電圧源との間の容量素子を含んで
おり、この容量素子により、ラッチ手段出力ノードを所
定の電圧レベルへ電源投入時設定することができ、簡易
な回路構成で、容易に電源投入検出信号が活性状態へ一
度も駆動されない場合において、このテストモード活性
化信号出力回路をディスエーブル状態に設定することが
できる。
【0108】請求項8に係る発明に従えば、ラッチ手段
のインバータの出力ノードと所定の電圧を伝達する基準
電圧源との間に抵抗素子を結合しており、このインバー
タの出力ノードを所定電圧レベルへ電源投入時駆動する
ことができ、容易に電源投入検出信号が一度も活性状態
へ駆動されない場合において、テストモード活性化信号
出力回路を簡易な回路構成でディスエーブル状態へ保持
することができる。
【0109】請求項9に係る発明に従えば、ラッチ手段
の出力ノードと基準電圧源との間の抵抗素子を接続して
いるため、電源投入検出信号が一度も活性状態へ駆動さ
れない場合においても、容易に簡易な回路構成で確実に
このテストモード活性化信号出力手段をディスエーブル
状態に保持することができる。
【0110】請求項10に係る発明に従えば、ラッチ手
段のインバータ出力ノードと基準電圧源との間に抵抗素
子を接続しているため、簡易な回路構成で容易に、電源
投入検出信号が一度も活性状態へ駆動されない場合にお
いて、確実にテストモード活性化信号出力回路をディス
エーブル状態に保持することができる。
【0111】請求項11に係る発明に従えば、テストモ
ードは、通常動作時予め定められた電圧レベルの電圧の
レベルを変更するテストモードであり、内部回路のトラ
ンジスタの動作特性が変更し、正確な初期動作を実行す
ることができなくなるなどの不良を阻止することができ
る。
【0112】請求項12に係る発明においては、この一
定電圧レベルの電圧が、基板領域に印加される基板バイ
アス電圧であり、確実に、半導体記憶装置を外部からの
信号に従って初期状態にセットする指示信号を受付けな
い場合に生じるのを防止することができ、また異常な基
板バイアス電圧が印加されて記憶装置の誤動作が生じる
のを防止することができる。
【0113】請求項13に係る発明においては、別のテ
ストモード活性化信号発生回路を設けており、外部信号
を受付けなくなる可能性のあるテストモードのみを確実
にリセットし、初期化動作を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1に従う半導体記憶装
置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図2】 図1に示すテストモード制御回路の構成を概
略的に示す図である。
【図3】 図2に示すテストモード活性化信号発生回路
の構成を概略的に示す図である。
【図4】 図3に示すテストモード活性化信号発生回路
の動作を示す信号波形図である。
【図5】 図3に示すテストモード活性化信号発生回路
の動作を示す信号波形図である。
【図6】 図3に示す初期化回路の構成をトランジスタ
レベルで示す図である。
【図7】 この発明の実施の形態2に従う初期化回路の
構成を概略的に示す図である。
【図8】 この発明の実施の形態3に従う初期化回路の
構成を概略的に示す図である。
【図9】 この発明の実施の形態4に従う初期化回路の
構成を概略的に示す図である。
【図10】 この発明の実施の形態5に従う初期化回路
の構成を概略的に示す図である。
【図11】 この発明の実施の形態6に従うテストモー
ド活性化信号発生回路の構成を概略的に示す図である。
【図12】 図11に示すテストモード活性化信号と組
合せて用いられるテストモード制御回路の構成を概略的
に示す図である。
【図13】 従来のテストモード活性化信号発生回路の
構成を概略的に示す図である。
【図14】 従来の半導体記憶装置におけるテストモー
ド設定シーケンスを示す図である。
【図15】 図13に示すテストモード活性化信号発生
回路の電源投入時の動作を示す信号波形図である。
【図16】 従来の電源投入検出回路の構成の一例を示
す図である。
【図17】 図16に示す電源投入検出回路の正常時の
動作を示す信号波形図である。
【図18】 図16に示す電源投入検出回路の問題とな
る動作を示す信号波形図である。
【図19】 図18の波形図に対応するテストモード活
性化信号発生回路の動作を示す信号波形図である。
【図20】 従来のテストモードにおけるVBB印加モ
ードの構成を概略的に示す図である。
【符号の説明】
1 半導体記憶装置、2 電源端子、3 電源投入検出
回路、4 制御信号発生回路、5 テストモード制御回
路、6 内部メモリ回路、5a モード設定信号発生回
路、5b テストモード活性化信号発生回路、5c 初
期化回路、5bb トライステートインバータバッフ
ァ、5bg リセット用nチャネルMOSトランジス
タ、5ca インバータ、5cb NAND回路、PQ
1〜PQ3pチャネルMOSトランジスタ、NQ1〜N
Q3 nチャネルMOSトランジスタ、C1,C2 容
量素子、R1,R2 抵抗素子、5bh,5bi イン
バータ回路、5bj トライステートインバータバッフ
ァ、5d,5e,5f,5gゲート回路、5h リセッ
ト用nチャネルMOSトランジスタ、4a ノーマルモ
ードセットサイクル検出回路、4b ノーマルモードセ
ット制御回路。

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部からの信号に従って特定のテスト動
    作モードを指定するテストモード活性化信号を発生する
    テストモード活性化信号発生手段、 電源ノードに結合され、前記電源ノードへの電源電圧の
    投入に応答して所定時間活性状態となるべき電源投入検
    出信号を出力する電源投入検出手段、および前記テスト
    モード活性化信号発生手段と前記電源投入検出手段とに
    結合され、前記電源投入検出信号の0回の活性化に応答
    して前記テストモード活性化信号を非活性状態に設定す
    る初期化手段を備える、半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 外部からの信号に従って、予め定められ
    たテストモード動作を可能にするテストモード活性化信
    号を発生するテストモード活性化信号発生手段、 電源ノードに結合され、外部からの電源電圧の前記電源
    ノードへの投入に応答して所定期間活性状態となるべき
    電源投入検出信号を出力する電源投入検出手段、および
    前記テストモード活性化信号発生手段と前記電源投入検
    出手段とに結合され、前記電源投入検出信号の活性化に
    応答して前記テストモード活性化信号発生手段をイネー
    ブルし、かつ前記テストモード指示信号が1回も活性化
    されないとき前記テストモード活性化信号発生手段をデ
    ィスエーブルする初期化手段を備える、半導体記憶装
    置。
  3. 【請求項3】 前記初期化手段は、 前記電源投入検出信号の活性化に応答して、前記テスト
    モード活性化信号を非活性状態にリセットするリセット
    手段と、 前記電源投入検出信号の0回の活性化に応答して、前記
    テストモード活性化信号を非活性状態に保持する保持手
    段とを備える、請求項1または2に記載の半導体記憶装
    置。
  4. 【請求項4】 前記テストモード活性化信号発生手段
    は、 前記外部からの信号に従って、内部ノードへ前記テスト
    モードを特定するモード特定信号を伝達するテストモー
    ド信号伝達手段と、 前記内部ノード上の信号に従って前記テストモード活性
    化信号を発生するモード信号出力手段とを含み、 前記初期化手段は、 前記電源投入検出信号の活性化に応答して前記内部ノー
    ドを所定電圧レベルの初期状態にリセットするリセット
    手段と、 前記電源投入検出信号に対応する信号をラッチする手段
    を含み、該ラッチした信号に従って前記モード信号出力
    手段を選択的にイネーブルまたはディスエーブルする保
    持手段とを備え、前記保持手段は前記電源投入検出信号
    の0回の活性化に応答して前記ラッチした信号を前記モ
    ード信号出力手段をディスエーブル状態に設定する論理
    レベルの信号に設定する手段を含む、請求項1または2
    に記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記ラッチ手段は、 前記電源投入検出信号を第1の入力に受ける論理ゲート
    と、 前記論理ゲートの出力ノードの信号を反転して前記論理
    ゲートの第2の入力に伝達するインバータとを含み、前
    記論理ゲートの出力ノードの信号に従って前記モード信
    号出力手段が選択的にイネーブルまたはディスエーブル
    される、請求項4記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記論理ゲートと前記インバータとは前
    記電源投入検出信号の0回の活性化時前記出力ノードに
    前記モード信号出力手段がディスエーブル状態となる信
    号が出力されるようにその構成要素であるトランジスタ
    のサイズが調整される、請求項5記載の半導体記憶装
    置。
  7. 【請求項7】 前記ラッチ手段は、前記出力ノードと所
    定の電圧レベルの基準ノードとの間に結合される容量素
    子を含む、請求項5記載の半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 前記ラッチ手段は、前記インバータの出
    力と所定の電圧を供給する基準ノードとの間に結合され
    る容量素子をさらに含む、請求項5記載の半導体記憶装
    置。
  9. 【請求項9】 前記ラッチ手段は、前記出力ノードと所
    定の電圧を伝達する基準ノードとの間に結合される抵抗
    素子をさらに含む、請求項5記載の半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 前記ラッチ手段は、前記インバータの
    出力と所定の電圧レベルの基準電圧を伝達する基準ノー
    ドとの間に接続される抵抗素子をさらに含む、請求項5
    記載の半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 前記テストモードは、前記半導体記憶
    装置において使用される通常動作時所定の電圧レベルの
    内部電圧のレベルを変更するモードである、請求項1か
    ら10のいずれかに記載の半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 前記予め定められた電圧レベルの電圧
    は、前記半導体記憶装置の基板領域に印加される基板バ
    イアス電圧である、請求項11記載の半導体記憶装置。
  13. 【請求項13】 前記外部からの信号に従って前記特定
    の動作モードと異なるテストモードを活性化するための
    信号を出力する手段をさらに備える、請求項1ないし1
    1のいずれかに記載の半導体記憶装置。
JP9168675A 1997-06-25 1997-06-25 半導体記憶装置 Pending JPH1116395A (ja)

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