TWI290875B - Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility - Google Patents

Description

1290875 玖、發明說明: 【發明所屬之技術頜域】 本發明係概括關於電子元件製造 子元件製造設備内傳送基材载件之方法 【先前技術】 電子元件製造設備可包含製造過 近運送基材載件的習知系統。然而，此 會以無效率的方式運送載件（carrier)。 要在電子元件製造設備内傳送基材載 備0 【發明内容】 在本發明之第一種技術態樣中， 用於製造電子元件。第一種方法包含下 要求’將載件從擁有複數基材裝載站的 之第一基材裝载站運送到第二基材裝載 包含複數連接到運輸器系統的載件支架 適於在該設備内移動載件；（2)指定其中 載件A遠第一基材裝載站運送到該第二 降低至少其中一個運送時間，並保持： 衡；（3)將該载件移出該第一基材裝載^ 件移入該第：基材I載站。 本發明之第二種技術態樣係提供 ;特別是關於在電 及設備。 程中在製造設備附 類習知的系統可能 有鑑於此，吾人需 件之改良方法及設 第一種方法係提供 列步驟：（1)接收一 電子元件製造設備 站，其中該設備另 ，且該運輸器系統 一载件支架，將該 基材裝載站，使其 该運輸器系統之平 占；以及（4)將該載 第二種方法。此第 3 1290875 二種方法包含下列步驟：（1)提供複數基材裝載站，各基材 裝載站適於接收基材載件；（2)提供—運送系統，其適於在 基材裝載站之間運送基材载件，該運送系統包含複數載件 支架，且各載件支架適於承载一基材載件；（3)提供一控制 > 系統，用於控制該等基材裝載站之間的基材載件之運送； (4)運用該控制系統，將一運送指令傳送到該第一基材裝載 站；（5)若該控制系統無法為從該第一基材裝載站進行運送 .指定一載件支架，則運用該控制系統傳送一指令到該第一 基材裝載站，以取消該運送動作；以及（6)運用該控制系 統，在至少發生一延遲及一或數個載件支架之狀態改變其 中之一之後，重新將該運送指令傳送到該第一基材裝載站。 在本發明之第三種技術態樣中，其提供一種製造電 子元件之設備。此種設備包含電子元件製造設備之控制系 統，其適於：（1)接收一要求，將載件從該設備之第一基材 裝載站運运到第二基材裝載站，其中該設備另包含複數連 接到運輸器系統的載件支架，且該運輸器系統適於在該設 • 備内移動載件；（2)指定其中一載件支架，將該载件從該第 一基材裝載站運送到該第二基材裝載站，使其降低至少其 中一個運送時間，並保持該運輸器系統之平衡；（3)將該載 件移出該第一基材裝載站；以及（4)將該載件移入該第二基 材裝載站。 在本發明之第四種技術態樣中，其提供一種製造電 、 子元件之系統。此種系統包含：（1)複數基材裝載站，位於 、 一電子元件製造設備内；（2)—運輸器系統，具有與其連接

1290875 的複數載件支架，且適於在該設備内移 一控制系統，連接到複數基材裝載站與 述控制系統適於：（a)接收一要求，將一 載站運送到第二基材裝載站；（b)指定其 遠載件從該第一基材裝載站運送到該第 其降低至少其中一個運送時間，並保持 衡；（Ο將該載件移出該第一基材裝載站 移入該第二基材裝載站。茲另提供依據 它技術態樣之各式不同的技術態樣。 參酌以下的詳細說明、後附申請 式，當能更加明瞭本發明之其它技術特； 【實施方式】 電子元件製造設備可以使用高架 transport system，OHT system)，其包含 系統連結的載件支架，其中該運輸系統 製造設備範圍内傳送一片或數片基材載 備可具備能在電子元件製造過程中用於 台。各處理機台可連結到個別的基材裝 載站能在處理機台與移動的運輸器系統 具體而言，各處理機台可連結到個別的 基材裝載站能在處理機台與連接到移動 支架之間運送載件。依此方式，载件可 内進行運送。 動一載件；以及（3) 該運輪器系統。上 載件從第一基材裝 中一载件支架，將 二基材裝載站，使 該運輸器系統之平 ;以及（d)將該載件 本發明之上述和其 專利範圍及相關圖 Ϊ占及態樣。 輪送系統（overhead 數個與移動的運輸 適用於在電子元件 件。此外，此類設 處理電子元件的機 载站，該基材裝 之間運送載件。更 基材裝載站’且該 0HT系統的載件 在製造設備的範圍 5 ⑧ 1290875 本卷明提供在製造5又備内用於指定運送所用之载件 支木的方法及设備。本發明之技術特別適用於單一或小抵 量尺寸基材載件。在此，「小批量尺寸⑽“"Μ he)」基 材載件或小批I (SmaU 1()t)」載件係指相較於傳統上能 承載十三或二十五片基材的「大批量尺寸（large W Size)」 載件’其適於承載較少其好 件適於承載五片或少於“的：：。·例而言’小批量栽 以使用小批量載件(例如，此=。在某些實施例中’可 .-y 此種小批量載件能承載一片、兩 片、二片、四片或五片以 能承載的片數材，但少於大批量載件所 過少的基材而&半力贵5 ’母—個*批量載件可能會承栽 中以人I ”、、/ 子70件製造設備或其它製造設備當 τ以人工進行載件的運送。 田 在♦日定載件支架時可運 a — 段運送所需要的運用决鼻法，以縮短至少某— 式，可二ΐ =元=運輪器系統的平衡。以此方 設備内運送載件，二製&系統更有效率的方式在製造 件製造產％。舉例而言得習知系統更高的電子元 其中之一，或 種决异法可選擇數個載件支架 將載件運送到第:基材裝載站（例如基材裝載站來源） 此…④ 基材裝載站(例如基材裝載站… 運送的Π:::運用選定的載件支架是否會和正在執行 切1乍發生衝突（例‘产％ m 轨饤 該演算法可從數個載件支加:：内)。若會發生衡突，則 為此載件支年做成= 擇另一個載件支架，並 載件支架將不會和執行…法〜運用選定的 仃虽中的運送發生衝突，則該選 6 1290875 基材裝戴站運送到第二 個 、牛支架可被指定將載件從第 固基材裝載站。 於運此方式，本發明之方法及設備可指定在設備内用 個基件支架，使得當指定的載件支架到達第-載二守，該第一個基材裝載站已備妥利用指定的 的杀而將载件置放在移動的運輸器系統上，且當指定 站已心=到達第一個基材裝載站時，該第二個基材裝載 的恭姓文從移動的運輸器移出載件(例如從與其連接指定 指A /、 ）。依此方式，可以減少移動的運輸器上 支木必須在第一個基材裝載站備妥將載件置放 件支架之前，先行被運送到第一個基材裝載站的次 以及/或減少#定的載件支架(連同與其連接的載件)必 :在第二個基材裝載站備妥從載件支架移出該載件之前， 先行被運送到第二個基材裝載站的次數。 „„ 乂、"r法可判斷選定的載件支架是否會造成運輸 H的不平衡’並可據以指定_個載件线。依此方式， :種演算法可指定-個載件支架，用於在設備内運送載 使付移動中的運輸器系統能維持平衡狀態“列 件之載件支架不會在任何—個特定部分發生超過負栽= 况）’藉以減輕移動中的運輸器系統之某些部分所造成不利 :電子7G件製k的過多壓力。因此，本發明之方法及設備 17 x比白知電子兀件製造系統更有效率的方式運送栽件， 進而得到比習知系统更高的製造產能。 先則以參照方式併入的美國專利申請案第 7 1290875 1〇/65 0,3 1 0號（2003年8月28日提申，發明名稱為”

For Transporting Substrate carriers”（代理人案號 69〇〇))揭 路種基材載件輸送系統或類似的傳送系統，該系統包含 基材載件之運輸器，而且在該運輸器所伺服的製造設備運 作過程中，基材載件會持續移動。持續移動的運輸器係為 了協助基材在製造設備内的運送過程，期能縮短每一片基 材在製造設備當中的總r駐留」時間。

若要以此方式來操作製造設備，應提供在運輸器移 動當中從運輸器卸載基材載件以及將基材載件裝載到運輸 器的方法和設備。先前以參照方式併入的美國專利申請案 第1 0/650,480號（2003年8月曰捭由 找 干8月^曰k申，發明名稱為

Substrate

Substrate

Carrier Handler That Unloads

Carriers Directly From a ^ ^ m a Moving c〇nveyor”（代理人案號 7676))揭露一種位在基材梦恭 「 土何眾载站或「基材裝載站」的基材 載件搬運器，其能針對移動中運於 J砂動中的運輸為執行裝载/卸載的動 作。舉例而言，基材裝載站 執站可具備此垂直移動的水平導板 或吊運器，以及可沿著水芈遒4 益 水千導板順者水平方向移動的終端 效應器。另具備用於沿著垂直卡 且及/ ¾ jc十方向來移動終端效 應器的架構。 、土材及I過基材裝載站的運輸器 (基材載件運輸器」）上卸載基材載件，終端效應器會以 大致配合由基材載件運輪器所運送之基材載件的速度而沿 著水平方向移動(例如大致配合基材載件沿著水平方向的 移動速度）。此外’當基材載件正在被運送時，終端效應器 8 1290875 可以固定在基材載件附近的_個位置。因此，終端效應器 可以大致配合基材載件的位置，同時可大致配合基材載件 的速度。同樣地，運輪器的位置及/或速度亦可大致配合。 當終端效應器大致配合基材載件的速度（及/或位置） 時，終端效應器會被抬升，而使終端效應器接觸到基材載 ::’並使基材載件脫離基材載件運輸器。在裝載過程中， 藉著使終端效應器大致配合運輸器的速度（及/或位置广美 材載件即可以類似方式裝載到移動當中的基材載件運： 器。在至少一個實施例中，此種發生在終端效應器與基材 載件運輸器之間的相互傳遞，係在終端效應器與基材載件 之間的速度及/或加速度幾乎為零的情況下進行。 先前以參照方式併入的美國專利申唷案第 ⑽64,982號(2〇〇4年1月26日提申，發明名稱為”一s and APpa⑽s f〇r Transp〇rting carriers"(代理 人案號7163))揭露一種運輸器系統，此種系統可應用於上 述基材載件運送系統及/或基材裝載站，而在半導體元件製 造設施之-或數個處理機台之間傳送基材載件。此種運輸 器系統可包含輸送帶(或「傳送帶」），其在半導體元件製 造設施内的至少某—部分形成一個密閉迴路，並輸送該設 施内的基材載件。在一或數個實施例t，輪送帶或傳送帶 的構成材料可為不銹鋼、聚碳酸酯、複合材料(例如石黑、 玻璃纖維等）、鋼或強化聚氨基甲酸“旨、環氧樹醋；壓 物、料或聚合材料，其中包括不鎮鋼、纖維材料（例如碳 纖維、玻璃纖維、可自DuPont公司購得的“Μ、聚乙 ⑧

1290875 烯鋼網等）或堅硬的材料等。藉著將輸每 部份位在垂直面内、薄的部份位在水平 在水平面上撓曲，而在垂直面上堅硬。 較廉價的方式來建構及實作運輸器。舉 帶時所需要的材料較少且容易製造，而 直堅硬度/強度的緣故，使其能夠承載 量’而不需要輔助的承載結構（例如滾輪 水平式皮帶型運輸器系統的類似機構 具有側向易曲性，其可折彎、彎曲或製 各式架構，使運輸器系統特別容易依需 第1A圖係根據本發明之實施例 統範例1 0 1之上視圖，該系統包含在電 元件）製造設備107内某部分形成簡易 (傳送帶）1 0 3。舉例而言，傳送帶1 〇 3具 案第10/764,982號所描述的其中一種 2004年i月26曰提出申請，發明4 Apparatus for Transporting Substrate 號7163)。傳送帶103會在各處理機台 傳送帶1 0 3的個別載件支架Η 〇來傳送 中未繪示），並且具有平直部件1丨丨及彎 (封閉）迴路1 〇 5。在此可利用不同數量 或迴路架構。 各處理機台109可具備位於處理 載站11 5 (例如「機台站」）的基材載件摘 L帶轉向，使其厚的 面内，則輪送帶會 此種結構能促成以 例而言，製造輸送 且由於輸送帶的垂 許多基材載件的重 或其它應用於習知 ’再者，由於輪送帶 成具有別種形狀的 要進行製造。 所綠示的運輪器系 子元件（例如半導體 迴路105的運送帶 •有如美國專利申請 I送帶，該申請案於 1 稱為 ’’Methods and Carriers"(代理人案 109之間經由連接 基材載件（第1 A圖 曲部件1 1 3而形成 的處理機台1 0 9及/ 機台109之基材裝 ^運器，藉以正當傳 10 1290875 送帶103通過基材裝載站115時，從運輸器系統ι〇ι之移 動中的傳送帶1 03上卸下基材載件，或將基材載件送上移 動中的傳送帶1〇3(即如美國專利申請案第1〇/65〇,48〇號所 描述者，該案於2003年8月28日提出申請，發明名稱為

Substrate Carrier Handler That Unloads Substrate

Carriers Directly Fr〇m a M〇ving c〇nvey〇r"(代理人案號 7676))。舉例而言，當基材裝載站li5之終端效應器（未2 別予以繪示）藉由傳送帶i 〇3傳送時，其可沿著水平方向以 大致配合基材載件的速度移動，並在基材載件的輸送過程 中，保持在該基材載件的附近位置而被提升，使得終端效 應器接觸該基材載件而使該基材載件脫離運輸器系統 10卜在裝載過程中，藉著大致配合終端效應器及傳送帶的 速度（及/或位置），基材載件即可以類似方式裝載到移動當 中的傳送帶103。 田

各基材裝載站出具有_或數個裝載蜂或類似位 置’而基材或基材載件會置放在此，以供送往處理機台109 或從處理機台1 09運送而來(例如一或數個裝载站，但亦可 採用不用裝載/卸載動作的輸送位置）。在各個裝载站⑴ 所在位置亦可提供不同的基材載件存放位[ 理機台109的基材載件。 臀存處 送帶103之運作的運送 TSC 117可控制/監測傳 、配置支托/運送基材載 11 〇、監控傳送帶馬達/ 系統 送帶 件所 運輸器系統101具有控制傳 控制益（T S C ) 1 1 7。舉例而言， 103的速率或速度及/或狀態 需要用到的傳送帶之載件支架 ⑧ 11 1290875 :動.u此類資訊提供給各基材裳載 其它類似功能。TSC 117可以附加或替換方式 ， 來指定或配置運送載件時所需用到的 ，、异法 又木 1 1 0 ; U τ

將會詳細解說此技術特點。同樣地，各基材裳载站1 具備用來控制基材裝載站之運作（例如將基材載件可 運輸器系統1G1、從運輸器系统1G1上卸载基材载:= 基材載件送往基材裝載站115之裝㈣或存儲位置或從梦 載埠送來基材載件，以及/或將基材載件送往由基材震載= 115所伺服的處理機台109，或從處理機台1〇9處送來基材 載件等運作）的基材裝載站軟體（lss)U9。舉例而言，LSs "9a-f可與基材裝載站控制器(例如圖中未繪示的截斷控 制器）搭配運作。Host/物料控制系統（MCS)121會與運送系 統控制器Π7以及各基材裝載站115的基材;載站=體 119a-f聯繫，以控制該等軟體之操作。依此方式，ιΐ7 可與MCS 12卜基材裝載站及/或設備之搬運站間形成一個 ^丨面，以執行晶盒與晶盒之間（丨114卜1^丫）及/或晶盒載件之 間的搬運工作。TSC 117、各個LSS 119a_f及/或MCS 121 可以具備排程器（圖中未繪示），用以控制TCS 117、LSS 11 9 a - f以及/或M C S 1 2 1所執行之操作的時間排程。 上述系統特別適用於運送小批量基材載件，例如能 承载單獨一片或大致上少於25片基材的基材載件。

第1 Β圖係根據本發明之實施例所繪示的控制系統 方塊圖，該控制系統包含於持續移動的運輸器系統内。請 參照第1Β圖’對應於各處理機台1〇9的LSS 119a-f、TSC 12 ⑧ 1290875 i 1 7和MC S 1 2 1可構成一個用來控制持續移動之運輪 統1 0 1之運作的控制系統丨2 3。以下將會參照第2圖屋 圖來說明控制系統1 2 3的操作細節，並特別說明在本 之實施例中，控制系統i 2 3如何使運輸器系統i 〇丨在 内搬運基材載件。 第2圖係根據本發明之實施例繪示在設備内運 材載件的方法。請參照第2圖，方法2〇1從步驟203房 在步驟205當中，可以接收從電子元件製造設備之第 基材裝載站將一載件運送到第二個基材裝載站之要求 該設備包含有數個基材裝載站，其中該設備另包含數 件支木110，且該等支架與適於在該設備内搬運載件 輸器系統連接。更確切而言，Mcs 121可發出一項要 藉以在第一個基材裝載站與第二個基材裝載站之間運 定的基材載件。TSC 117可接收來自於MCS 121的要 在接收到該項要求後，TSC 117可與第一個基材裝載i 或第二個基材裝載站聯繫。以下會參照第6圖和第7 ^祝關於TSC 117與第一個基材裝載站和/或第二個 裝载站之間的聯繫方式範例之細節。 在步驟207當中，數個載件支架11〇其中之一 才曰定將載件從第一個基材裝载站運送到第二個基材 站，以降低至少一個所需運送時間，並保持運輪器系 平衡。舉例而言，TSC 117可指定數個載件支 之一，而使載件從第一個基材裝載站被運送 ^ ^ 4罘一個 展栽站’以降低所需運送時間，乃 器系 l第7 發明 設備 送基 3始。 一個 ，而 個載 的運 求， 送指 求。 *及/ 圖來 基材 可被 裝載 統的 其中 基材 統的 ⑧ 13 1290875 平衡。換：之’若控制系統123或其任何一個部分判定： (1) 載件支架的指定會與進行當 田甲的搬運過程發生抵觸；或 (2) 該指定會導致無法接收的载件分配(例如…於另一 <置在傳!^1〇3的某一單獨部分有密度較高的載件）， "7會指定-個不同的载件支架119來運送載件。 ^ 、式來縮短運送所需時間，即能提高設備及/或其 内之運輸σσ系、統i 0 i的操作效率。以額外附加或替換的方 式依j述方法縮短運送所需時間即可提高設備的產能。 藉著保持運輸裔系統的平衡，控制系統i 2 3得以減 輕移動：的運輸器系統i i之一或數個部分一例如傳送帶 ^之或數個部份—的超载情況。要求移動中的運輸器 系統101來承載不平衡的負載（即無法接受的載件密度）， 了月:二使傳运，1 03承受過多的負載壓力。控制系統i 23 :扎疋載件支架11〇，以避免傳送帶㈤上有過多的負載 壓力。、藉著減輕移動中的運輸器系統10H或數個部份 的負載壓力’即能提高運輸器系、统101的可靠度，進而炝 短運輸裔系統101的停機時間。因此，控制器系統123可 更有政率的方式來運送載件，而獲得比系 到更高的製造產能。 厅月b得 在某些實施例中’ Tsc ii7可運 算法 個載件支牟直由* 相义數 ， 木其中之一，而將载件從第一個基材裝栽坫運、关 、個基材裝載站，以降低至少一個所需運送時間，並 :持運輸态系統的平衡。以下將會參照第3圖和第4圖、： 才曰疋數個载件支架110其中之一而將載件從第—2烏 (S) 14

1290875 ㈣丞材裝載站的方法 运時間’以及/或保持運輪器系統的平衡.二 4圖分別根據本發明之實施例績示 ： 設備内運送基材載件時指定载件支架的方Γ …2。9當中，載件可以從第— 出。更確切而言’控制系統m會使載件^ 載站移出’並置放在指定的載件支牟上」 在指定的載件支架上後，移動中的運 第一個基材裝載站運送載件。 ⑥盗系i 在步驟211 #中，載件可被搬運到第 :。更確切而言’控制系統123會促 : 載件送往第二個基材裝載站。當載件支年到: ==運送到第二個基材裝載站時，控制-開载件支架上的載件。 ‘ 接著執行步驟213。方法2〇1在步 運用第2圖所示之方法2〇1, ^ j以更有效率的 件並提高製造產能。 第3圖係根據本發明之實施例繪示第一 運送基材载件時用於指定載件支架之方法。 固方法303從步驟301開始。在步驟a 疋數個载件支架其中之一，而將載件從電子元 之第一個基材裝載站運送到第二個基材裝裁站 包含有數個基材裝載站，其中該設備另包含 架’且該等支架與適於在該設備内搬運载件的 降低所需運 第3圖和第 二種用於在 材裝載站移 一個基材裝 載件被置放 1 0 1即可從 個基材裝載 系統101將 第二個基材 統1 2 3會移 13處結束。 方式運送載 種在設備内 請參照第3 中，可以選 件製造設備 ，而該設備 數個載件支 運輸器系統 ⑧ 15 1290875 刺系統1 2 3可奸诚产铱 站的前一次運送來選定叙〃 、了根據在第 言’控制系統m可根據在第一支木其中之-。更痛切而 所採用的載件支架來 ^個基材裝載站進行運送時 控制系統123可根撼 載件支架其中之一。然而， 件支架其尹之一/額外及/或不同的因素來選定數個載 =步驟307當中會判斷運 和正在執行運送的動作發載：支：疋否會 可判斷在第— 更確切而§ ，控制系統 W暴材裝载站盥篦- 運送載件時所選定運用的載件…：广載站之間 裝載站之間所進行中 /、疋否曰和設備内的基材 5，控制系、統123可判斷在第 /生衝犬。舉例而 村裳载站之間運送載件時所選定運^ I载站與第二個基 致設備之基材裝载站之間所進行中的2件支架是否會導 遲現象及/或失敗。 、载件運送過程發生延 若在步驟3 0 7掌丨丨磨山·苗ra y 運用選定的載件& =運送的動作發生衝突，則執行步^Q9 ^會和正在 田中，可從數個載件支架當中 。在步驟309 :而言，控制系…從數個載：：：r:支架。更確 、中—個載件支架。在某些實施例中田中選定剩餘的 :動的運輸器系統101上之先前選定的心可從 鄰近並在上游的載件支架。然而，在其^支架當中選定 不同的方式從數個載件支架當中選定2實施例中’可以 著執行步驟307。如上所述，在步驟3(^栽件支架。接 $中會判斷運用 16 875 選定的戴件夫加 更確切而t，：：：會和正在執行運送的動作發生衝突。 另—個栽件支；:：：：可判斷從數個栽件支架選定的 支牟^ 木（例如數個載件支架當中剩餘w ^ 生衝突。.錢站之間所進行的栽件運送過程發 或者 會和正在執 步驟3 11當 一個基材裝 1 2 3判定運 會和執行當 件支架會將 载站，而不 而言，利用 行中的運送 右在步驟307判斷出 一、 v私1〒叉架不 仃運迗的動作發生衝突，則執行步驟3 1 1。 中，選定的載件支架會被指定用於將載件從= 載站運廷到第二個基材裝載站。由於控制系统 用選定的載件支架在指定該載件支架之前將不 中的運送發生衝突，因此一旦被指定後，該戴 载件從第一個基材裝載站運送到第二個基材事 會與進行當中的任何運送動作發生衝突。舉例 指定的載件支架來運送載件將不會造成任何進 延遲及/或失敗。 接著執行步驟3 1 3。方法3 0 1在步驟3 1 3處結束。 在某些實施例中，步驟3 07當中可以附帶或替換的 方式判斷運用選定的載件支架是否會造成運輸器系統1〇1 的不平衡。舉例而言，在此可判斷在第一個基材裝載站與 第二個基材裝載站之間運送載件時所選定運用的载件支架 是否會造成移動中的運輸器系統1〇1之一或數個部份負載 過重，而有可能為該等部份造成過多的壓力。 在此類實施例中，若判斷出運用選定的載件支架會 造成運輸器系統1 〇 1的不平衡，則執行步驟3 0 9。如u ^ Λ上所 !29〇875 在步驟309當中吁 件支架。 或者，在此類實施例中，若判斷出運用選定的载件 *不會造成運輸器系統101的不平衡，則執 :將上：，在步驟311當中，選定的載件支架會被指定用 將載件從第-個基材裝载站運送到第二個基材裝載站 :過運用…。2,數個裁件支架其中之一 2件從第一個基材裝載站運送到第二個基材裝栽站， 衡：至少一個所需運送時間，並保持運輸器系統的平 衡。因此，控制系統12 3可以争古1玄，从 並提古制、 Tu更有效率的方式來運送載件 呵製造產能。舉例而言，Tsr XL . 1 了‘疋在基材裝截 站之間用於運送載件的載件支 載 雲杰.， ^木U滿足下列系統層面的 而求·（ 1)當指定的載件支架钊、去哲 y 扪 # ^ j達第一個（例如來源）基材穿 载站時，來源基材裝載站p供/ 才衷 上，以及當指定的載件支架 克木 載站睥θ ^ s ,, 彳違第一個（例如目標）基材裝 載站時，目標基材裝載站已備 (2)傳送帶103上的載件負哉旦， 叉木上的載件， .b ^ 、戴里（例如與傳送帶1 0 3連桩沾 指定载件支架之負載量）不备旦1 T 連接的 、击命 曰衫響丁 S C 11 7控制傳送帶1 〇 3 速度的能力；以及/或（3)傳 3 ,. k v 1 0 3上的载件負載量（例士 與傳送帶1 03連接的指定番 貝戰里（例如 、、，μ 戟件支架之負載量）不會影塑偯 迗帶103的可靠度。依此古』 J个曰心θ得 式’ TSC 117即可避务併（^如、笛 輸器系統101之）整體系缔 免十U運 而言，TSC⑴可避免以下：產生不利影響的情況。舉例 載站時，目標基材裝载坫^, 我 如將要接收载件的基材裝載站） ⑧ 18 1290875 未備女移出指定载件支架上的載件，而由於载件已在傳送 帶1 03上備妥，且能在設備内追蹤載件的製造執行系統 (MES)已將該载件指定給目標基材裝載站，因而迫使目標 基材裝載站必須在基材裝載站能移出傳送帶1 〇3上的載件 之前等待傳送帶103完成一個完整的迴圈。此外，Tsc 117 可避免以下情況：當载件支架到達基材裝载站時，來源基 材裝載站（例如提供載件的基材裝載站）未備妥將載件置放

在指定的載件支架i ’因此必須中止運送，並於稱後為運 送工作指定新的载件支架。 TSC 117可以額外或替代方式指定載件支架，而使 傳达T 103上的載件負载量不會影響TSc ii7控制傳送帶 1〇3速度的能力—例如控制在所欲速度的〇.〇4%的範圍内 (但可採用較大或較小的容限範圍）。卩額外附加或替換的 方式TSC 117可指定用於承載載件的載件支架，而使傳 送帶1〇3上的載件負載量不會發生不平均的情;兄。傳送帶 二3上之不平均的載件負載量會產生壓力-尤其是在傳送 f 103的_曲部份，而且會對 〇 利的影響。 幻了罪度k成不 * 〜只她1夕L不第二種在設備 運送基材載件時用 種在。X備内 F!曰疋載件支架之方法。請參照第4 圖 方法4〇3從步驟4〇1門 1開始。在步驟405當中，可以％ 數個載件支架當中選 田中叮以從 ^ A # ^ ^ ^ ^ 個載件支架，用於將載件從第一 1固&材裝載站運送到 _ 不 123可以選定g , ~ Μ材裝載站°例如’控制系統 丄d」以選疋第一個載 ^ 支木來進行運送工作。控制系 1290875 1 架23:=據•下列條件來選定運用於傳送的第-個載件支 第一個Γ:個進入第一個基材裝载站的載件支架；⑺ 第一個基材裘載站利用吊運琴 ,,101 ^ ^ , 運裔（例如從移動中的運輸器系 、、先1 0 1將载件移出，或將 101 μ, # 戰件置放在移動中的運輸器系統 )，將吊運器重新定位而將載 101上之後所需要的最長時間；（)t置放在運輸器系統 栽 （）運輸器糸統101上相鄰 依此方：Z的間隔；以及/或(4)運輪器系統101的速度。 妥將所、统12 3可以選定當第—個基材裝載站備 站=的栽件放置於其上之後(例如使第一個基材裝 支:的時間為最短)到達第-個基材裝載站的第 在步驟407當中會判獻：4 π 1 ™ 竿斷疋否可使用選定的载件支 則兮以 架為⑴空的，且(2)沒有被指定用於運送， 、J b载件支架可供使用。若一 則誃恭技士 ★、 戟件支木上》又有承載載件， 支:用為空的。若控制系、统123尚未備妥指定載件 沒有：Π:::基材裝載站之間運送載件，件支架 少的因辛以及/、戈：Π冑件支架的可用性可根據較多或較 口畜以及/或不同的因素。與士 中’若—载件將為⑴空的、（2)Ι σ ’ $些實施例 送帶襄載”、'…於運送且(3)傳 截“則該載件支架在到達所要進扞炉 載的基材裝載站時為可供使用 Α 傳送帶裝载演算法來唯持。玉1，、、、先1 23可利用 載件支竿來運m ⑻的平衡。若利用 衡（m L 一載件將不會造成運輸器系統HH的不+ 、載不千均）’則傳送帶裝載演算法會接受該栽件 20 875 運用其上已裝載載件的載件力 指定用於運送另，，則可能會延二:或載件支架已被 運达過程及/或使該等運送失敗。因’认備内之一或數個 件支架是否可供使用或即將可供使用’藉著判斷選定的載 判斷運用該栽件支架是否會與設備内的：制系'统123即能 在進行的運送過程發生衝突。 的基材敦載站之間正 若在步驟407判斷出無法 執行步驟…。在步驟409當中，=的载件支架，則 :個載件支架。舉例而言，控制系二二123可選定另 定之載件支牟玷丁 , 兄123可以選定先前選 叉木的下一個相鄰（例如上 方式，控制备 ）的载件支架。依此 控制糸統123可從數個連接於 件支架當中_ 、運輸裔系統1 0 1的載 ?逐步選定下一個载件支架。 在步驟411當中會判定 架，而且誃笙杂从丄 古已選疋所有的載件支 可能會判定弁一“ “吏用。舉例而言，控制系統⑴ -個載件支羊、Ρ η 戟件支木(例如可用於運送的第 統123判定所古、 在步驟411當中，若控制系 疋所有的载件支年约ρ ^ 個载件支牟火士 木句已被、疋且無法使用，則數 後#彡-j 7個载件支架會被用於傳送。然 後執仃步* 413。在步驟41 傳送到第—個^ “ + 了將中止運达的指令 何-個載件# Γ、載站。更確切而言’由於當時沒有任 π 支7^皮用於傳送’目此控制系、统⑴會中止該 連迗動作。與Αϊ ^ 牛，舌’控制系統1 23可於稍後發出一項要 不 > 藉以/ 势 、、， 一個基材裝載站與第二個基材裝載站之間運 运載件。 1290875 接著執行步驟429。方 在替代實施例中，苦I 01在步騾429處結 件支架均未被選 步騾4 1 1當中判定所 驟407當中“二驟4〇7。如上所述 言，控制系統123 τ & 選定的载件支架。更a #加θ π 可判斷在步驟4〇9米a 支…可供使用。伕… 〇9备中選定的其1 數個载件支架’直到選定可：二制系統123可逐:」 系統1 23列定、、Λ 、載件支架為止，或j 或者Π:何一個载件支架可供使用。 右在步驟407剎辦山 架’則執行步驟415。在步驟斷出可使用選… 第一個基材f I u 1 5當中會確認指定斥 何衣载站進行運送 言，每-個基材裝载站115( 固载件支架… 含正在基材裝載站115進行運送= 裝載站進行 ^的列I。每-個正名 行的載件運送的一部八““ 冑之基材▲載站之 種丄可儲存在基材農載站"5當中的卿^ 的輸入項目可代表正在基材…進行的運 作“ Ή件支架識別以及將要由基材裝載站執行 列如疋否要從確認的載件支架移出（如檢取）载件， 件置放在確認的載件支架上）等資才斗。控制系統123 厂該列表，以尋找對應於被指定要在第一個基材裝载 行運送的下一個資料項目，而此資料項目可代表指定 載件置放在載件支架上或可由基材裝载站移出载件所 之運送的下一個載件支架。 束。 Γ的載 在步 i切而 载件 判斷 控制 件支 於在 切而 可包 基材 間進 架X 。此 送， 的工 或將 可詳 站進 要將 進行 22 1290875 在步驟4 1 7當中會判斷是否已確認指定用於在第一 個基材裝载站進行運送的下一個载件支架。更確切而言， 在該步驟中會判斷控制系統123是否已在第一個基材裝載 #所包含的列表内找到一個項目。

若在步驟4 1 7當中判定已確認指定用於在第一個基 材衣载站進行運送的下一個載件支架，則執行步驟4 1 9。 右選定的載件支架係被指定在第一個基材裝載站與第二個 基材裝载站之間進行運送，則在步驟4丨9當中會判斷指定 在第一個基材裝載站進行運送的载件支架之任一側上的間 隔是否仍然可被接受。若選定的載件支架係被指定在第一 個基材襞载站與第二個基材裝載站之間進行運送，則控制 系統1 2 3可判斷由列表確認在第一個基材裝載站進行運送 的載件支架之任一側上的間隔是否仍然可被接受。間隔係 指在基材裝載站被指定用於運送（例如撿取或置放）的相鄰 载件之間的距離。在第一個基材裝載站一其可當作被選定 的載件支架之來源基材裝載站，載件支架之任一側上的可 接受間隔數值可由以下方式予以計算：

If pick from the carrier support Then 1+ round((BandVelocity/CarrierSupportSpacing (MaximumPickTime + MaximumPrepareToPlaceTime)))

Else (must be a place to the carrier support) 1 + round ((BandVelocity/CarrierSupport Spacing ⑧ 1290875 (MaximumPlaceTime + MaximumPrepareToPlaceTime)))

Endi f 其中：

BandVelocity是運輸器系統101的速度； CarrierSupportSpacing 是運輸器系統 1〇ι 件支架之間的距離； 上相鄰

MaximumPickTime是基材裝載站移出 載件所需要的最長時間； 藥上

MaximumPrepareToPlaceTime 是基材裝栽 身疋位而備妥將載件置放在運輸器系統1 〇 1上所 長時間；以及 站將其 需要的

MaximumPlaceTime是基材裝載站將载件置敌 輸器系統1 0 1上所需要的最長時間。 因此，若第一個基材裝載站將從確認的載件支 移出一個載件，則此載件支架之任一側上的適當間隔 運輸器系統之速度除以運輸器系統上相鄰載件2 :的距離，並乘上基材裝載站移出載件支架上的戴件 最長時間與基材裝載站將其本身定位以備妥將載件置 運輪器系統上所需最長時間之總和），然後再戴掉小數 的數值（例如取得整數值）。 或者，若第一個基材叢载站要將載件置放 載件支架上，則此載件支架之任一侧上的適當 在 在確認 間隔等 栽 的 本最 運 上 於 之 需 在 後 的 於 24 1290875 二運輪器系統之速度除以運輪器系統上 間的距離，並垂^ # η 冲戰件支架之 t.#Bi 上基材裝載站將載件置放在裁件 而取長時間與基材步 干叉木上所 在運輸器系統上所需最長時間之 :將載件置放 後的數峨如取得整數值)。和)然後再截掉小數點 若選定的载件支架（例如在 在第一個其从壯4 田中）係被指定 自基材虞载站與第二個基材裝载 則控制系統123可以剎w $拉、☆ ^ ]進仃運迗， 第一個Α鉍 文的間隔數值來判斷確認在 個基材裝澈# 刃戰件支木（例如儲存在第一 之杯—行當中的運送列表所確認的載件支架） 側上的間隔是否仍然可被接 系統123可判斷選定的載件支更：切而言，控制 支架相距的可接為η ^ # 乂為與確認的載件 一接又間W值所指出的載件支架間隔數目。 右選定的载件支架小於砣切恭 值所_ Ψ Μ Μ 確 < 载件支架之可接受間隔 值所才日出的間隔，則指定撰 第m 疋、疋的載件支架來運送第一個與 第一個基材裝載站之間載件 ^ ^ 0, θ導致此運送的延遲及/ 或失敗’並/或導致確認的载件 s 戰件支木在第一個基材裝載站的 運达延遲及/或失敗。例如， 合 心疋、疋的托架（cradle)可能

曰使傳送帶1 〇 3不平衡，而道A 、 ¥致運送延遲及/或失敗。因 此’若在步驟419當中斷定碹切力 、， - 碾^在第一個基材裝載站進行 運迗的載件支架之任一側上 、 的間^不再被接受，且若選定 的載件支架係被指定在第一個其#壯# 矛個基材裝载站與第二個基材裝 載站之間進行運送，則可執 ^ 钒仃步驟409。如上所述，在步 驟409當中，控制系統ι23 J選疋另一個載件支架。 25 1290875 ▼ 又禾禾小於碩認裁件 接受間隔值所指出的間隔，則指定選定的载 可 第：個與第二個基材裝载站之間載件就不會導致此= 延遲及/或失敗’而且/或不會導致確認的载件支架在二 個基材裝載站的運送延遲及/或失敗。因Λ，若在：驟— 當中斷定確認在第—個_哉μ 在^驟419 在弟個基材裝載站進行運送的載件支牟> 任一側亡的間隔仍然可被接受，…定的載件支架：： 暴材咸載站與第二個基材裝載站之間進 迗’則可執行步驟415及其後的步驟417。如 步驟415當中會確π 伽、士 4匕 斤返，在 曰確w下一個被指定用於在第一個 站進行運送的载件古加 土才凌栽 戰件支架，而在步驟417當中會 被指定用於在第一伽I #染 引斷下一個 個基材裝載站進行運送的载件支 已被確認。 丁又木疋否 或者，若在步驟417當中判定指 材裝載站進行運详沾丁 加备从 ^第一個基 運廷的下一個載件支架未被確認， 統⑵可能已經詳查正在第一個基材裝載 J控制糸 體列表。此時，I*命I & $ ; 7 1 γ + 送的整 控制糸統123可檢查正在第一 站進行的運送（例如列表中的所 土材裝栽 Θ只曰），並確認所古 第-個基材裝載站進行的運送均在 Α ί才穿載站斑笛 、 ；在第一個 基材衷载站、第二個基材裝載 固 架。更確切而士 ^ 門運运載件的載件支 卜 ϋ ，制系統123可判斷在第一個Α从壯 站第二個基材裂載站之間運送载件時所選定運::载 支架，將不會導致在第一個基材裝载站進行中的運送巧件 延遲及/或失敗。然後執行步驟421。在步驟⑵當中：：

(D 26 1290875 認指疋 ,_ 心口、ν Γ 架。…述，每-個基材裝載站’;：：：：栽件支 裝載站⑴進行運送的列表。每一個正在基材二在基材 的運送動作均可為在設備之基材裝載：站進打 送的-部分。此列表可儲存在基材裝載站心：栽件運 體内。此種列表內的給 田〒的記憶 表内的輸入項目可代表正在基材穿· 的運送，並可包含如| 、戰站進行 I 3如栽件支架識別以及將要 執行的工作(例如是否要從確認的載 ：柯裳載站 載件，或將載件置放在 ，、移出（如撿取） 個基材裝載站當中，控制系…詳二:。在第二 對應於被指定要在第二個基材裝載站進㈣=以尋找 料項目…資料項目可代表指定要將個資 架上或可由第二個基材裝載站移出料 在載件支 一個载件支架。 仃之運送的下 個基材t步載I 423 f中會判斷是否已確認指定用於在第_ 個基材裝載站進行運送的下一個載件支 在第- 在該步驟中會判斷控制系統123是否已在笛 而言， 站所包含的列表内找到另一個項目。個基材裝載 若在步驟423當中判定已確句 材裝栽站進行運送的下一個載：：二於在第二個基 若選定的載件支架係被指定在第—個義=步驟⑵。 基材裝載站之間運送栽件，則與第二個 在第二個基材裝載站進行運送的載 ^中會判斷指定 隔是否仍然可被接冑。若選定 ^任-側上的間 +支采係被指定在第一 27 1290875 個基材裝載站與第二個基材裝載站之間進行運送’則控制 系統1 23可判斷由列表確認在第二個基材裝載站進行運送 的載件支架之任一側上的間隔是否仍然可被接受。如上所 述，間隔係指在基材裝载站被指定用於運送的相鄰載件之 間的距離。在第二個基材裝載站一其可當作被選定的載件 支架之目標基材裝載站，載件支架之任一側上的可接受間 隔數值可由以下方式予以計算：

If pick from the carrier support Then 1+ round((BandVelocity/CarrierSupportSpacing * (MaximumPickTime +

MaximumPrepareToPickTime)))

Else (must be a place to the carrier support) 1 + round((BandVelocity/CarrierSupp〇rtSpacing * (MaximumPlaceTime +

MaximumPrepareToPickTime)))

Endif 其中MaximumPrepareToPickTime是基材裝载站將其本身 定位而備妥移出運輸器系統上之載件所需要的最長時間。 因此，若第二個基材裝載站將從確認的載件支架上移 個載件，則此載件支架之任一側上的適當間隔等於\=運 輸器系統之速度除以運輸器系統上相鄰載件 又木之間的距 離，並乘上基材裝載站移出載件支架上的截 J戰件所需最長時 ⑧ 28 1290875 系統上之 後的數值 玫在確認 間隔等於 件支架之 支架上所 出運輪器 小數點後 載站與第 <運用町 送的載件 切而言 與4認的 架間隔數 間與基材裝載站將其本身定位以備妥移出運輪器 載件所需最長時間之總和），然後再截掉小數點 (例如取得整數值）。 或者，若第二個基材裝載站準備將載件置 的載件支架上，則此載件支架之任一側上的適當 ι+(運輸器系統之速度除以運輸器系統上相鄰戴 間的距離，並乘上基材裝载站將载件置放在载件 需最長時間與基材裝載站將其本身定位以備妥移 系統上之載件所需最長時間之總和)，然後再截掉 的數值（例如取得整數值）。 若選定的載件支架被指定在第一個基材裝 二個基材裝載站之間進行運送，則控制系統123 接受的_值來判斷在第二個基材裝载站進行運 支架之任一側上的間隔是否仍然可被接受。更確 控制系統123可判斷選定的載件支架是否至少為 载件支架相距的可接受間隔數值所指出的載件支 目° 若選定的載件支架小於確認載件支芊之可操受間 值所指出的間隔’則指定選定的載件支架來運送第-第二個基材裝載站之間載件可能會導致此運送的延遽 ，抵 / 出 iM. -rrh tL· +1... 個 昂二個基材裝載站之間載件可能會導致此運送的延遲 或失敗’並/或導致確認的載件支架在第二個基材裝^ 運送延遲及/或失敗。因此’若在步驟425當中斷定^ 第二個基材裝載站進行運送的载件支架之任一側上 不再被接受，且若選定的載件 ^ 丁又木係破指定在第 29

1290875 裝載站與第二個基材裝載站之間進行運送，則可執行 409。如上所述，在步驟409當中，控制系統ι23可選 一個載件支架。 然而，若選定的載件支架未小於確認载件支架 接受間隔值所指出的間隔，則指定選定的載件支架來 第一個與第二個基材裴載站之間載件就不會導致此運 延遲及/或失敗，而且/或不會導致確認的载件支架在 個基材裝載站的運送延遲及/或失敗。因此，若在步驟 當中斷定確認在第二個基材裝載站進行運送的載件支 任一側上的間隔仍然可被接受，且若選定的载件支架 指定在第一個基材裝載站與第二個基材裝载站之間進 送’則可執行步驟421及其後的步驟423。如上所述 步驟42 1當中會確認下一個被指定用於在第二個基材 站進行運送的載件支架，而在步驟423當中會判斷下 被指定用於在第二個基材裝載站進行運送的載件支架 已被確認。 <〜' 用於在 材裝載站進行運送的下一個載件支架未被確認， 統123可能已經詳查正在第二個基材裝戴站進行 體列表。此時，控制系統123可檢查列表所包= 個基材裝載站進行的運送，並確認所有正在第 載站進行的運送均能接受選定用於. 一 、在第—個基材 第二個基材裝載站之間運送載件的載件支架 言，控制系統123可判斷在第—個基材裳栽：與 步驟 定另 之可 運送 送的 第二 425 架之 係被 行運 ，在 裝載 一個 是否 個基 制系 的整 第二 材裝 站與 切而 個基 30

1290875 材裝載站之間運送載件時所選定運用的載件支架，將 導致在第二個基材裝載站進行中的運送過程延遲及/ 敗。 依此方式，控制系統1 2 3可判斷在第一個基材 站與第二個基材裝載站之間運送載件時所選定運用的 支架，將不會導致在第一個和第二個基材裝載站進行 運送過程延遲及/或失敗。然後執行步驟42 7。在步驟 當中，選定的載件支架會被指定用於在第一個基材裝 與第二個基材裝載站之間運送載件。對應於第一個基 載站的列表可經過更新，而包含確認選定的載件支架 指出第一個基材裝載站會將載件置放在選定的載件支 的項目。同樣地，對應於第二個基材裝載站的列表可 更新，而包含確認選定的載件支架以及指出第二個基 載站將會移出選定的載件支架上的載件的項目。 接著執行步驟429。如上所述，方法401在步驟 處結束。透過運用方法401，數個載件支架其中之一 指定將載件從第一個基材裝載站運送到第二個基材 站，以降低所需運送時間，並/或保持運輸器系統的平 舉例而言，藉著從第一個可用於運送的載件支架開始 藉著選定一個未被指定用於運送且不會與任何正在第 和第二個基材裝載站進行中的運送發生衝突的空乏載 架，本發明之方法及設備可指定其中一個載件支架而 件從第一個基材裝載站運送到第二個基材裝載站，並 運送所需要的時間。以額外附加或替代的方式，藉著 不會 或失 裝載 載件 中的 427 載站 材裝 以及 架上 經過 材裝 ;429 可被 裝載 .衡。 ，並 一個 件支 將載 縮短 僅指 31 1290875 定傳送帶裝载演算法所接受的載件支 WT户定h 克水，本發明之方法及 设備…其中一個載件支架而將載件從第 站運送到第二個基材裝載站’以維土材咸載 _ Μ 平裔糸統的平衡α 以下將參照第2圖、第4圖及第5 、 於運送設備内之基材載件的方法， 回，呪明一種用 w戰忏扪万去，该方法採用 送設備内的基材载件之過程中用於指定 _在運 甘tb楚 在4日从 支木的方法’ 其中第5圖係根據本發明之實施例繪示一 田A、重样部·播免 在操作過程中 用於運迗a又備内之基材載件的設備 同·抓借5 01 π * 鬼圖。請參照第5 圖"又備501可為具備傳送帶u 槪S01矸句人—丄 砂勒連輸态系統。設 備5〇"…十三個載件支架(但可採用較多或較少的 载件支架），適於承载個別的载件，並連接 傳送帶103可以是連續型傳 寻kfll3。 逆貝生得达贡。舉例而言，在 的某一個已知點上-所謂的「第0個」載件p 103之第一端支木’傳送帶 〇3之第& 505可連接到傳送帶1〇3之第 帶103的第〇個載件岁加 一糙507。傳送 戰件支木係位在第一個載件 三個載件支架503之間第二十 111 ΛΛ好a 秋干叉木亦可位在僂详恶 上的/、匕位置）。設備5〇1可在數個基 、可 動一或數個載件5〇9。舉例而言，設備5〇 =上方移 材裝載站川到第三個基材裝載站515上方 第-個基 =501亦可在較多或較少的基 (但设 載件）。對設備5〇1内各基材裝載站而言，^方運送 55:1-515將自身定位備妥而將載“9置放在；二！載站 5 0 1上所需最县味門 輸态系統 坏而取長時間、基材裝载站5ΐι_5ι 女而移出運輸器系統5〇1 、身疋位備 上的载件509所需最長時間、 32 1290875

載件 509 秒鐘 基材 速度 材裝 相鄰 的速 小的 已排 在基 撿取 載件 載件

在基 撿取 載件 載件 5 09移出運輸器系統5 0 1所需最長時間，以及將載件 置放在運輸器系統5 0 1上所需最長時間等，均需要六 的時間。然而，較大或較小的數值可運用於一或數個 裝載站5 1 1 - 5 1 5所採用的上述參數。此外，傳送帶的 可為沿著箭號5 1 7方向每秒0.5英尺（例如從第一個基 載站511朝向第三個基材裝載站515)。傳送帶103上 載件支架5 0 3之間的距離可為兩英尺。然而，傳送帶 度及/或相鄰載件支架之間的距離可以採用較大或較 數值。 此外，假設下列為正在進行當中的運送： 程的運送（例如撿取或置放） 材裝載站1(SLS1) 置放 Μ來自於 載件3送往 支架3 0 載件支架5 材裝載站2(SLS2) 置放 G來自於 載件7送往 支架12 載件支架18 在基材裝載站3(SLS3) Ϊ290875 載件K來自於 載件Β送往 載件支架24 載件支架u。 在操作過程中一例如在步驟2〇5當中，控制系統之tsc u7 可接收來自於MCS 121的新運送指令，而將載件4從 運达到SLS2。在回應當中，第—個基材裝載站slsi可將 ASsignCarriersupport指令傳送到tsc η?;該指令可指出 上一個進入到第一個基材骏載站SLS1的載件支架是載件 支架3。…參照第6圖和第7圖來解說關於控 m之元件與/或基材裝載站η""其中之一或數個事載 站之間的聯繫方式範例之_ $ 、載 、、、田即。接者，在可運用第二種大 法401範例的步驟207當中可產生下列流程： 1·在步驟405當中，刹田L ^ , …甘 述公式’控制系統m可判齡 第：個基材裝載站(例如來源基材裝載站)可能需要：：斷 進行撿取或置放的載件支加 彳日定 間隔。 载件支木之任-側上的四個載件支架之 2· TSC 117可能會假宕笛 要上、t. ^ 疋第一個基材裝载站（例如SLS1、 要上迷四個進入到第-個基材裝載站的載件支加广”需 載件支架的間隔距離。 木'、上~~個 杜士加 TSC117會從當作坌 2架且可用於運送的載件支架33開始。需；？〜甸栽 f第/個載件支架無法用於運送，但當要決定二的是：雖 其可被列入計算(然而，在某些實施例中：〜 也許不會在決定栽件支㈣隔時被〇個栽 ⑧ 34 1290875 3·在步驟407當中，載件古加 態、未指定用於另^ 木3可供使用嗎（處於空乏狀 夺曰疋用於另一個運送， 之狀 受）？是。 為傳送帶裝載演算法所接 4·在步驟415-417當中，指定 行運送的第—個.# φ Λ 於在第一個基材裝载站進 的弟個載件支架是載件支架3〇。 5·在步驟41g當中，假設载 載件支架33是否為第㈣木3〇已被指定用於運送， 弟一個基材裝 因為載件支架33與載件支¥ mLS1所接受？否， 6.執行步驟4。9盘411t:之間未相距至少四個間隔。 32可供使用嗎（處於空乏㈣在=4G7t中，載件支架 且為傳送帶裝❹算法…w 定用於K0運送， 衣戰肩异法所接受）？否。 7·執行步驟4〇9盥 31可供使用唯/ 之後，在步驟407當中，載件支架 吏用馬（處於空乏 且為定践另—個運送， 中衣戰肩异法所接受）？是。 8·執行步驟415-417之德扣— 進行運 之後，‘疋用於在第一個基材裝載站 仃運-的第—個載件支架是載件支架3〇。 •在步驟4 1 9备由加二 截彼± Λ 田’假設載件支架3 0已被指定用於運送， 戴件支架31是否 否， 门樣為第一個基材裝載站SLS1所接受？ η 、件支架31與载件支架30之間未相距至少四個 间隔。 …執行步驟4〇9盥 3〇可供 -11之後，在步驟407當中，載件支架 且值 > 册·、、、（處於空乏狀態、未指定用於另一個運送， L贡凌栽演算法所接受）？否。 U·執行步驟4〇9盥411 之後，在步驟407當中，载件支架 35 1290875 29可供使用嗎（處於空 且為禮…册壯 之狀恶、未扣疋用於另一個運送， 為傳运π 4載演算法所接受）？是。 12.在步驟415-417者φ ,社— 行運送的第/甚田尹才日疋用於在第一個基材裝載站進 運达的第—個载件支架是載件支架30。 1 3 ·在步驟4 1 9當中，炉抓番 载件支架2”… 支架3〇已被指定用於運送， 14 …一個基材裝載站SLS1所接受？否。 4.此^程可以持續進行，直 15 λ ^ m zm 〇 ^ SC到達载件支架26為

丄）·在步驟4 1 9當中，徊抓# /iL L ^假5又載件支架3 0已被沪宁田认、苗w 载件支架26是否為第相| 被才曰疋用於運廷， 疋古為弟一個基材裝載站s 16.在步驟415_417當中，指定用 所接又？疋。 if ^ T* ' 第 個基材裝載站進 運运的下一個载件支架是載件支架5。 1 7 ·在步驟4 1 9當中，假設载加 載件支架26是否為第個其支木5已被指定用於運送， 疋否為第一個基材裝載 18.在步驟417當中，沒有任何—個加：接山。 -個基材裝載站SLS1進行運逆田 ^被指定在第 一個（例如來源）基材裝載站接受。 支架26可被第 19·利用以上說明的公式，第二個 能需要已指定進行撿取或置放的^ μ基材裝載站可 個栽件支架之間隔。 又木之任一側上的四 %在步驟421_423當中，指 SLS2進行運送的第一個载件支架9 —個基材裝載站 21在牛驟a由Υ ”疋戴件支架12。 .在步驟425當中，假設载件支架12 載件支架26是否為第二個基 ？指定用於運送， 22.在步驟42 1 -423當中，ρ 、站⑽2所接受？是。 '在弟二個基材裝載站 ③ 36 !29〇875 SLS? ^ 23在：行運送的下一個載件支架是載件支架18。 步驟425當中，假設载件支架 载件支牟9 6 s丕盔s 破指定用於遨〜 24 Λ 為 基材裝載站SLS2所接受9 :驟423當中，沒有任何一個載件 定是。 :個基材裝載站SLS2進行運送’因此載件支架二在第 一個（例如目標）基材裝载站接受。 可破第 2=…中’載件支架26會被指定用 .材Λ驟209 f中’載件支架26可從第—個（例如Γ 土材1載站移出-個載件。更確切而言，第表療） 站SLS1可將該載件置放在載件支架26上，：:才较栽 則可從第一個基材裝載站SLS1移出該載件。 架26 在步驟川當中，載件支架26可將該載件移到第_ 歹1如目標)基材裝載站。更確切而言-個 件移到第二個基材袭載…，而第二個；：：栽 似2則可從載件支架26移出該載件。 、栽站 依此方式’透過運用在設備内運送載件時 支“方法’設備501即可在設備内運送基材載件，而 低所需運送的時間，並/或保持運輸器系統的平衡 控：：一可以比習知電子元件製造系統更有效：的 :1 :t運达载件，$而獲得比習知系統所能得到更高的製 造產能。 J ^ 、第6圖係根據本發明之實施例繪示在設備内啟動美 才牛之運G時進行訊號交換（handshaking)601，其中载件 支木已成功地破指$。請參照第6圖；若要在設備内開始 37 1290875 進行運送♦動作，MCS 121可發送一個指令603 ,蕤以q 、 精U將特 疋的載件從來源基材裝載站（例如S L S 1)運送到目授義 裝載站（例如SLS2hTSC 117可發送一個相對於M= 6 0 3的回應6 05。T S C 11 7將會試著將特定載件從來源旯 裝載站運送到載件支架。舉例而言，T s c 11 7可腺Γ j將已經開 始運送的通知訊息607傳送到MCS 121，而_ 叩MLb則可對 始進行運送發出一個回應6 0 9。

Η 7可务送一個將載件運送到具備進行中已| 定載件支架之來源基材裝載站SLS 1的指令。舉例而一 $ TSC 117可將從MCS 603接收而來的指令轉送到來:二^ 裝載站SLS1。來源基材裝載站SLS1可針對運送指八才 發出一個回應613。由於载件支架之指定在來源基^農61 站SLS1所接收的運送指令611内為進行當中， 四此來、、/； 基材裝載站SLS1可發送一個指令615到TSc Λ w ’而該矛 定會要求指定將要在運送過程中使用到的載件支架。1 指定將要在運送過程中使用到的載件支架的指令6丨$ = 2 括例如最近一次進入到來源基材裝載站SLS1之载件 ' 的資訊。指令615可包括額外及/或不同的資訊。根據 最近一次進入到來源基材裝載站SLS1之载件支架的， 訊，TSC U7可運用上述其中一種示範性方法3〇1或^ 來指定在設備内運送基材载件時所要用的載件支架，藉^ 選定及指定運送過程所需用到的載件支架。Tsc ιΐ7可杳 送一個回應617到來源基材裝載站SLS1，該回應則會確絮 被選定和指定用於運送的载件支架。 ⑧ 1290875 站3 日々到目標基材裝載 2 ’而5亥基材裝載站可 箭枝士 ★ S被選疋和指定用於運送的 :件支架。目標基材裝載站⑽則可發出—個回應621 :: ST:17’以回應於運送指令619。接著，來源基材裝 恭# 、亚將特疋载件從來源基材裝 戰站S L S 1移送到指定的者ϊ 乂沐上 杜# 疋的載件支架。依此方式，來源基材 表载站S L S 1可將特定載俾番被— 号疋戰件置放在指疋的載件支架上。來

:基材裝載站SLSH送出—個事件通知⑵至"％ Μ， 藉以通知運送已經開始。 ^ 第6圖中的訊號交換601係纟會示開始進行已成功指 疋载件支架的運送。相較之下，第7A圖和第7B圖係根據 本1月之實％例繪不在設備内啟動基材载件之運送時進行 =號交換（handshaking)7G1,其中載件支架未被成功地指 疋。參照第7A圖和第7B圖，訊號交換7〇1所包含的通訊 6〇3-615(例如指令、回應、通知及/或回覆）類似於第6圖中 的汛號交換60 1，因此在此將不再詳細解說。相較於訊號 父換601，在訊號交換7〇1過程中，Tsc ιι7未成功地嘗 試指定載件支架，而回應於指定從來源基材裝載站SLS i 運送到TSC 117所用之載件支架的指令615。需注意的是， 此種情況係屬異常狀況。更確切而言，根據例如最近一次 進入到來源基材裝載站SLS1之載件支架的資訊，TSC 117 可運用上述其中一種示範性方法3 〇丨或4〇丨來指定在設備 内運送基材載件時所要用的載件支架，藉以選定及指定運 送過程所需用到的載件支架。然而，方法3〇丨和401無法 39 1290875 選定並指定來源基材裝載站SLS1與目標基材裝載站SLS2 均可接文的載件支架，而降低至少一個所需運送時間，並 保持運輪器系統的平衡。因此’ TSC 1 1 7可發送一個回應 703到來源基材裝載站SLS1，以表示TSC 117無法指定運 运所用的載件支架。此外，TSC 117可發送一個指令7〇5 到來源基材裝载站S L S 1，以取消運送動作。來源基材裝載 站SLS1可發出一個回應7〇7到TSC 117，以回應於取消運 送的指令705。 來源基材裝載站SLS 1可取消運送指令，並送出一個 事件通知709到TSC 117，藉以通知運送指令已被取消。 接著’一旦運送指令被取消後，來源基材裝載站SLS 1可 送出一個事件通知到TSC 11 7，藉以通知運送指令已取消 完成。 TSC 117可等待一段時間，而此段時間可被定義為 延遲（例如可設定延遲），或定義為一或數個載件支架等待 狀態之改變，而使Tsc 117能成功地指定（或合理地預期成 功地指定）一個載件支牟垃I T Q Γ1 11-7 ^ ^ 人丨r又木接者，TSC 117會發送一個將載 件運送到具備進行中g 丁甲已‘疋載件支架之來源基材裝載站 SLS 1的指令 61 1。邙哚丄 Λ唬父換701所包含的下列通 6 1 3-623(例如指令、旛、s Λ 1 ° 口應、通知及/或回覆）類似於第6 的訊號交換 6 0 1所斟旛& 汁對應的通訊，因此在此將不再詳細 說0依此方式，雖鋏批制冬从 ^ 、鮮 …、工制系統1 2 3起先無法回應於將翁 從來源基材裝載站^ 1干 “^運迗到目標基材農載站SLS2之i匕 令而指定一個載件曰 干叉木，控制系統123仍可於稍後重新發 40 1290875 送該運送指令，並成功地指定運送時所 6圖釦赞， 科件支架。第 Η和弟7圖所示訊號交換僅為說明 是：玎~ L j ^此需瞭解的 乂不同方式進行訊號交換。舉例而言， 一 6 0 1、7 〇 1可句含數目砉六夕 Λ心、父換 可包… 夕或較少的通訊。此外，訊號交換 4匕各不同的通訊601、7()1。 依此方式’本發明之古土 β姑里 所用之^ . k方法及裝置可使選定運送載件 厅用之载件支架敢佳化，而 時Pa1 b 而flb · (1)縮紐取得載件所需要的 、 及/或使此段時間最短·以；$ /弋/由/ 〇、各 的恭彼v 妞，以及/或使（2)在傳送帶103上 的载件分佈情況不會造成傳 战得_ 103上的速度變異。更確 刀而a ，在選定運送載件所 踨氺、店甘丄 丨用戰仟叉木之刖，TSC 117可 從來源基材裝載站SLSl 穿#站VC 取付貝枓—例如：到達來源基材 衷載站SLS1的最後一個载 使1自H 戰件支架、來源基材裝載站SLS1 吏-自身備女(例如來源基材裝載站sls 載件所需時間（例如估計的 運盗）運运 藉著碹㈣、，· 的時間）專。以額外或替代方式， 確保傳达γ 103上的載件分 度發…，本發明之方法…S讓傳…〇3的逮 平均的參 # 〇又備可減輕傳送帶1 03上不 負载’否則會造成值 在傳送帶& 、、堅縮及/或擴張，尤其是 牡得迗页的彎曲部份。 ’、疋 以上之說明僅揭示本發明 者當能輕易W | μ 例。熟習相關技藝 匆W及以上所揭露之裝 ▲ 而仍不脫離本發明< f 方法的變更實施例， 及設備描述指定數個載件…^，雖然本發明之方法 基材裝載站(例如SLS1)運送到第_: 一而將載件從第-個 以縮短所需運送時間，並/或保持材裝載站（仙）， 咬輸盗糸統的平衡；但在 ⑧ 41 1290875 其它實施例中’載件支架可被指定用於將載件從第—個基 材裝載站運运到第二個基材裝載站’而獲致載件運送最佳 化之優點。熟習相關技藝者當能瞭解，本發明亦可應用於 任何-種基材，例如石夕基材、坡璃基板、光罩、標線片 (reticule) aa圓等，且不論是否已經過圖案化或未經圖案 化；以及/或應用於運送及/或處理此類基材的裝置。^ 因此’儘管本發明已配合實施例揭露於上，吾人者 ❹M 不脫㈣下所”請專利^圍所界定: 本發明的精神及範圍。 【圖式簡單說明】 第1A圖係根據本發明 統範例之上視[該系統包含在=例所繪=運輸w 分形成簡易迴路的運送帶（傳送帶）。# I & Λ備内某名 第1 Β圖係根據本發明之每 方塊圖，該控制系統包含於持續；：列所繪示的控制“ 第2圖你#械士 、、動的運輸器系統内。 β '、根據本發明之實 材載件的方法。 j、，、日不在設備内運送』 第3圖係根據本發明之 運送基材载件時 彳1示第一種在設備户 於扣疋載件支架之方法。 弟4圖係根據本發明之垂 運送基材载# # + 彳、不第二種在設備户 戰件時用於指定裁件支架之方法。 第5圖係根據本發明之 於設備内ϋ送基材載件 & Ή在處理過程中用 衣置犯例之方塊圖。 42 1290875 基 支 -t/r. δ又 第6圖係根據本發明之實施例繪示在設備内啟動 材載件之運送時進行訊號交換（handshaking)，其中載件 架已成功地被指定。 第7A圖和第7B圖係根據本發明之實施例繪示在 備内啟動基材載件之運送時進行訊號交換（handshaking) 其中載件支架未被成功地指定。

【主要元件符號說明】 101 運 輸 器 系 統 103 傳 送 帶 105 簡 易 迴 路 107 電 子 元 件 製 造 設 備 109 處 理 機 台 110 載 件 支 架 111 平 直 部 件 113 彎 曲 部 件 115 基 材 裝 載 站 117 運 送 系 統 控 制 器 119a- 11( 9f 裝i 载站軟體 121 物 料 控 制 系 統 123 控 制 系 統 501 設 備 503 載 件 支 架 505 傳 送 帶 之 第 一 端 507 傳 达 帶 之 第 二 端 509 載 件 511 第 一 個 基 材 裝 載站 513 第 二 個 基 材 裝 載 站 515 第 三 個 基 材 裝 載站 601 訊 號 交 換 603 指 令 605 回 應 607 通 知 訊 息 609 回 應 611 運 送 指 令 613 回 應 615 指 令 617 回 應 619 運 送 指 令 621 回 應 43 ⑧ 1290875 623 事件通知 701 訊號交換 703 回應 705 指令 707 回應 709 事件通知

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Claims (1)

1. 1290875 拾、申請專利範圍: 1. 一種電子元件製造之方法，包含： 接收將一載件從電子元件製造設備之第一基 運送到第二基材裝載站之要求，而該設備包含有 裝載站，其中該設備另包含數個載件支架，且該 適於在該設備内搬運載件的運輸器系統連接； 指定數個載件支架之其中一者以將該載件從 材裝載站運送到該第二基材裝載站，以降低至少 運送時間，並保持該運輸器系統的平衡； 從該第一基材裝載站移出該載件；以及 將該載件移至該第二基材裝載站。 2.如申請專利範圍第1項所述之方法，其中指定 支架之其中一者以將該載件從該第一基材裝載站 第二基材裝載站之步驟包含： 選定該等載件支架其中之一；以及 判斷運用選定的載件支架是否會和正在執行 作發生衝突。 3.如申請專利範圍第2項所述之方法，另包含： 進行中的運送動作發生衝突，則指定該選定的載 於將該載件從該第一基材裝載站運送到該第二 站0 材裝載站 數個基材 等支架與 該第一基 一個所需 數個載件 運送到該 運送的動 若不會與 件支架用 基材裝載 45 ⑧ !29〇875 會與進 如申請專利範圍篦2 s 观*固笫2項所述之 行中的運徉知 吓砍之方法，另包含：若會 運V動作發生衝突， 件支架。 ⑴k疋該荨载件支架之另 I :申請專利範圍第4項所述之方法，另包含： 的動另—選定的載件支架是否會和正在執行運送 J助作發生衝突；以及 右不會與進行中的運送動作發生衝突，則指^該另〆選 Μ件支“於將該載件從該第一基材裳載站運送刻該 弟一基材裝載站。 6. 如申請專利範圍第2項所述之方法’另 選定的載件支架是否會使該運輸器系統不平衡。 7. 如申請專利範圍第6項所述之方法，另包含：若不會與 進行中的運送動作發生衝突且不會使該運輪器系統不平 衡，則指定該選定的載件支架用於將該載 裝載站運送到該第二基材裝載站。 "第-基材 8·如申請專利範圍第7項所述之方法，另包含：若會與進 行中的運送動作發生衝突、或若該選定的載件支架會使該 運輪益系統不平衡’則選定該等載件支架之另_載件支架。 46 1290875 9.如申請專利範圍第8項所述之方法，另包含： 判斷運用另一選定的載件支架是否會和正在執行運送 的動作發生衝突； 判斷運用另一選定的載件支架是否會使該運輸器系統 不平衡；以及

   若不會與進行中的運送動作發生衝突且該另一選定的 載件支架不會使該運輸器系統不平衡，則指定該另一選定 的載件支架，用於將該載件從該第一基材裝載站運送到該 第二基材裝載站。 1 0.如申請專利範圍第2項所述之方法，其中進行中的運送 包括介於該等基材裝載站之間的載件運送。 11.如申請專利範圍第2項所述之方法，其中判斷運用該選 定的載件支架是否會和正在執行運送的動作發生衝突係根 據下列至少一者： 一第一組參數，包括： 該運輸器系統之速度除以連接到該運輸器系統的相 鄰載件支架之間的間隔， 該第一基材裝載站備妥以將一載件置放在該運輸器 系統上所需要的最長時間；以及 該第一基材裝載站將一載件置放在該運輸器系統上 47 ⑧ !29〇875 所需最長時間與該第一基材裴載站從該運輸器系統移出一 載件所需最長時間之至少一者；以及 一第二組參數，包括： 該運輸器系統之速度除以連接到該運輸器系統的相 鄰載件支架之間的間隔； 該第二基材裝載站備妥以從該運輸器系統移出一載 件所需要的最長時間；以及 該第二基材裝載站將一载件置放在該運輸器系統上 所治最長時間與該弟二基材裝載站從該運輸器系統移出一 載件所需最長時間之至少一者。 1 2 · —種電子元件製造之設備，包含： 電子元件製造设備之控制系統，適於·· 接收從該設備之第一基材裝載站將一載件運送到第 一基材裝載站之要求，其中該設備另包含數個連接至運輸 时系統之載件支架，該等支架適於在該設備内搬運載件； 指定數個载件支架其中之…將該载件從該第一基 、:載站運送到該第：基材裝載站，卩降低至少—個所需 、迟時間，並保持該運輸器系統的平衡； 從該第一基材裝载站移出該載件；以及 將該載件移至該第二基材裝載站。 申明專利範圍第1 2項所述之設備，其中該控制系統 48 1290875 另適於： 以及 選定該等载件支架其中之 判斷運用選定的載件支架 、疋否卩和正在執行運送的動 作發生衝突。 J勒 14.如申請專利範圍第13項 二 另適於· μ π ^ 、述之设備，其中該控制系統 另適於.右不會與進行中的 選定的® i ^ 運k動作發生衝突，則指定該 ^疋的載件支架用於將該载 該第二基材m μ第-基材裝載站運送到 15·如申請專利範圍第13項 另適於··若會與進行中 載件支架之另一载件支架 、所述之設備，其中該控制系統 ^送動作發生衝突’則選定該等 16.如申請專利範圍第 另適於： 工員所述之設備，#中該控制系統 判斷運用另-選定的栽件支架是否 %動作發生衝突； 以及 會和正在執行運送 若不會與進行中的 定的栽件支架，用於將二作發生衝突，則指定該另-選 該第二基材裝載站。叫牛從該第一基材裝載站運送到 1 7 ·如申請專利範圍第 員所述之设備，其中該控制系統 ⑧ 49 1290875 乃週於··判斷運用 統不平衡。 〜選定的载件支架是否會使該運輸器系 ::申請專利範固第17項所述之設 統 另適於··若不會鱼 T ^ 載件支w❹的運送動作發生衝突且該選定 力 〆運輪器系統不平衡’則指定該選定的載 材=於將該栽件從該第-基材裝載站運送到該笫；基 1 9.如申請專利範 .. 第18項所述之設備，其中該控制系統 、於·若會與進行中 w 的中的運达動作發生衝突、或若該選定 牛支木會使該運輪器系統不 架之另-載件支架。 4載件支 20·如申請專利範， ^ _ 1 9項所述之設備，其中該抑制έ 另適於·· / ^制系統 判斷運用另一、竖A ^ ^ ^疋的載件支架是否會和正在執彳H 的動作發生衝突； 牧執仃運送 判斷運S 、ee 不平 ^定的载件支架是否會使該運輸巧系 不平衡；以及 文^态系統 若不會與進行中的遝 载件扪運迗動作發生衝突且該另—選定& 載件支架”使該運輪 、疋的 的載件& Λ 盗糸統不平衡，則指定該另— 牛支架用於將該栽件從該第-基材裝載站運送到;^ ⑧ 50 1290875 二基材裝載站。 2 1.如申請專利範圍第1 3項所述之設備，其中進行中的運 送包括一介於基材裝載站之間的載件運送。

   22.如申請專利範圍第1 3項所述之設備，其中該控制系統 另適於根據下列至少一者來判斷運用該選定的載件支架是 否會和正在執行運送的動作發生衝突： 一第一組參數，包括： 該運輸器系統之速度除以連接到該運輸器系統的相 鄰載件支架之間的間隔； 該第一基材裝載站備妥以將一載件置放在該運輸器 系統上所需要的最長時間；以及 該第一基材裝載站將一載件置放在該運輸器系統上 所需最長時間與該第一基材裝載站從該運輸器系統移出一 載件所需最長時間之至少一者；以及 一第二組參數，包括： 該運輸器系統之速度除以連接到該運輸器系統的相 鄰載件支架之間的間隔； 該第二基材裝載站備妥以從該運輸器系統移出一載 件所需要的最長時間；以及 該第二基材裝載站將一載件置放在該運輸器系統上 所需最長時間與該第二基材裝載站從該運輸器系統移出一 51 1290875 間之至少一者 载件所需最長時 23· —種電子元件製造之系統，包含： 序灵數個基材@. 裝載站，位於一電子元件製造設備内； -運輸ϋ系統’具傷複數個與其連接的載件支架，且適 於在該設備内運送載件；以及 控制糸統，連接於马* I甘 、等基材裝載站和該運輸器系統， 且適於： 接收一要求’將一恭彼， 一 载件從第一基材裝載站運送到第 一基材裝載站； 才曰疋數個載件支架1 ., 以將該載件從該第一基 … 才裝載站，以降低至少一個所需 運达時間’並保持料 從該第-基材裝栽站移出該載件；以及 將該载件移至該第二美 I材裝载站。 24.如申請專利範圍第23 它4 I糸統，其中該控制系統 另適於： 選定該等載件支架其中之一；以及 判斷運用選定的載件支举σ 支*疋否會和正在執行運送的動 作發生衝突。 25.如申請專利範圍第24項 所述之系統，其中 該控制系統 52 ③ /5 另適於：若ι & 、 右不會與進 選定的戴件丁中的運送動作發生衝突，則指定該 用於將 该弟二基材裝載站 这戴件從該第一基材裝载站運送到 2 6 ·如申性南 s月專利範圍第 另適於：若备Λ 4項所述之系統’其中該控制系統 會與進行中从 戴件支架之另一 的運送動作發生衝突，則選定該等 载件支架。 申凊專利範圍第2 6 …^ 另適於： 員所述之系統，其中該控制系統 列斷運$ £ 用另一選定的载件Φ加s 的動作發生戰件支木疋否會和正在執行運 &生衝突；以及 定的若栽不Λ與力進行中的運送動作發生衝突，則指定該另一選 第二基材=用於將該載件從該第-基材裝載站運送到該 2 8 ·如申含杳审 π月專利範圍第24項所述糸 另適於n 厅过之系統，其中該控制系統 統不平衡。斷運用該選定的載件支架是否會使該運輸器系 •如申凊專利範圍第28項所述 另適於··若不會與進行中的運送動作“该控制系統 載件支架不〜…ρ 發生衝突且該選定的 曰使该運輸益系統不平衡， 啊貝丨扣疋該選定的载 53 1290875 件支架用 材裝载站 於將該载件從該第 一基材裝載站運送到該第二基 30·如申請專利範圍帛29項所 另適於·#會與進行中的運送 的载件支架合 卞㈢使該運輪器系統 架之另一番，， 载件支架。 述之系統，其中該控制系統 動作發生衝突、或若該選定 不平衡，則選定該等載件支

   3 〇項所述之系統，其中該控制系統 31 ·如申請專利範圍第 另適於： 判斷運用另一選定 疋的载件支架是否會和正在執行運送 的動作發生衝突； 、斷運用#冑定的载件支架是否會使該運輸器系統 不平衡；以及 右不會與進行中的運送動作發生衝突且該另一選定的 載件支架不會使該運輸器系統不平衡，則指定該另—選定 的载件支架用於將該載件從該第—基材裝載站運送到該第 一基材裝載站。 .如申請專利範圍第24項所述之系、統，其中進行中的運 迗包括介於該等基材裝栽坫之間的裁件速送。 .如申請專利範圍第2 4項所述之系統，其中該控制系統 1290875 基材載件，該輸送系統包含複數個載件支架，且各載件支 架適於承載一基材載件； 提供一控制系統，用於控制該等基材裝載站之間基 材載件的運送； 運用該控制系統，送出一運送指令至第一基材裝載 站；

   若該控制系統無法指定從該第一基材裝載站進行運 送所用的載件支架，則運用該控制系統送出一指令至該第 一基材裝載站，以取消該運送；以及 在一或數個載件支架延遲或狀態改變兩者至少其一 之後，運用該控制系統重新送出該運送指令至該第一基材 裝載站。 3 5 .如申請專利範圍第3 4項所述之方法，另包含下列以回 應於重新傳送的運送指令： 指定一載件支架，用於來自於該第一基材裝載站之運 送； 從該第一基材裝載站移出該載件；以及 將該載件移至第二基材裝載站。 ⑧