JPH06132696A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH06132696A JPH06132696A JP4306316A JP30631692A JPH06132696A JP H06132696 A JPH06132696 A JP H06132696A JP 4306316 A JP4306316 A JP 4306316A JP 30631692 A JP30631692 A JP 30631692A JP H06132696 A JPH06132696 A JP H06132696A
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- JP
- Japan
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- substrate
- end signal
- lot end
- controller
- unloader
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Conveyors (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ライン作業終了した場合に、生産管理情報の
確定を図れてライン作業終了時の情報収集を行なえる基
板搬送装置を提供する。 【構成】 コンベア８から基板３を搬出する毎に加算処
理し、アンローダ７が基板３を搬入する毎に減算処理す
る搬出基板カウンタ14と、搬出基板カウンタ14の計数値
が０になったときにロットエンド信号Ｃを出力するロッ
トエンド信号発生部15とを設けた。搬出基板カウンタ14
の計数値によりリフロー６で処理中の基板数量を知るこ
とができ、かつ計数値が０になったときにロットエンド
信号Ｃをアンローダ用コントローラ7aに出力することに
より、リフロー６がその装置内を流れている基板の枚数
を認識できない装置であるものの、どの基板３がロット
エンドになるかを確実に判断できるので、ロットエンド
信号Ｃひいては生産管理情報を確定してライン作業終了
時の情報収集を行なえることになる。
確定を図れてライン作業終了時の情報収集を行なえる基
板搬送装置を提供する。 【構成】 コンベア８から基板３を搬出する毎に加算処
理し、アンローダ７が基板３を搬入する毎に減算処理す
る搬出基板カウンタ14と、搬出基板カウンタ14の計数値
が０になったときにロットエンド信号Ｃを出力するロッ
トエンド信号発生部15とを設けた。搬出基板カウンタ14
の計数値によりリフロー６で処理中の基板数量を知るこ
とができ、かつ計数値が０になったときにロットエンド
信号Ｃをアンローダ用コントローラ7aに出力することに
より、リフロー６がその装置内を流れている基板の枚数
を認識できない装置であるものの、どの基板３がロット
エンドになるかを確実に判断できるので、ロットエンド
信号Ｃひいては生産管理情報を確定してライン作業終了
時の情報収集を行なえることになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送装置の一例として、基板
生産ラインに複数個の処理装置を配置し、上流側の処理
装置でロット単位の基板の生産が終了すると下流側の処
理装置に基板を搬出すると共にロットエンド信号を出力
し、その下流側の処理装置がロットエンド信号と共に送
られてきた基板に対して生産処理を行なうように構成し
たものがある。この基板搬送装置では、最下流の処理装
置がロットエンド信号と共に送られてきた基板に対して
生産処理を行なうことによりロット終了となることを認
識して最終生産管理情報の確定を行ない、これを同処理
装置に接続した上位コントローラに供給するようになっ
ている。
生産ラインに複数個の処理装置を配置し、上流側の処理
装置でロット単位の基板の生産が終了すると下流側の処
理装置に基板を搬出すると共にロットエンド信号を出力
し、その下流側の処理装置がロットエンド信号と共に送
られてきた基板に対して生産処理を行なうように構成し
たものがある。この基板搬送装置では、最下流の処理装
置がロットエンド信号と共に送られてきた基板に対して
生産処理を行なうことによりロット終了となることを認
識して最終生産管理情報の確定を行ない、これを同処理
装置に接続した上位コントローラに供給するようになっ
ている。
【０００３】ところで、基板搬送装置では、例えばリフ
ローのように複数枚の基板を同時に処理すること等に伴
い、生産処理対象となる基板の数量を認識できない処理
装置（以下、非生産管理機能付処理装置といい、生産処
理対象となる基板の数量を認識可能な処理装置を、以
下、生産管理機能付処理装置という。）を基板生産ライ
ンに設ける場合がある。
ローのように複数枚の基板を同時に処理すること等に伴
い、生産処理対象となる基板の数量を認識できない処理
装置（以下、非生産管理機能付処理装置といい、生産処
理対象となる基板の数量を認識可能な処理装置を、以
下、生産管理機能付処理装置という。）を基板生産ライ
ンに設ける場合がある。
【０００４】このように構成した基板搬送装置の例を図
４に示す。この基板搬送装置は、基板生産ライン１の上
流から下流に向けて、ローダ用コントローラ2aを有しそ
の制御により基板３の供給を行なうローダ２、印刷機用
コントローラ4aを有しその制御により基板３に対する印
刷処理を行なう印刷機４、マウンタ用コントローラ5aを
有しその制御により基板３に対して部品の搭載を行なう
マウンタ５、リフロー用コントローラ6aを有しその制御
により基板３に対する熱処理を行なうリフロー６、アン
ローダ用コントローラ7aを有しその制御によりリフロー
６からの基板３を収納するアンローダ７、コンベア用コ
ントローラ8aを有しその制御により前記マウンタ５から
リフロー６へ基板３を搬送するコンベア８を設けてい
る。
４に示す。この基板搬送装置は、基板生産ライン１の上
流から下流に向けて、ローダ用コントローラ2aを有しそ
の制御により基板３の供給を行なうローダ２、印刷機用
コントローラ4aを有しその制御により基板３に対する印
刷処理を行なう印刷機４、マウンタ用コントローラ5aを
有しその制御により基板３に対して部品の搭載を行なう
マウンタ５、リフロー用コントローラ6aを有しその制御
により基板３に対する熱処理を行なうリフロー６、アン
ローダ用コントローラ7aを有しその制御によりリフロー
６からの基板３を収納するアンローダ７、コンベア用コ
ントローラ8aを有しその制御により前記マウンタ５から
リフロー６へ基板３を搬送するコンベア８を設けてい
る。
【０００５】この場合、ローダ２、印刷機４、マウンタ
５、コンベア８及びアンローダ７は前記生産管理機能付
処理装置であり、リフロー６は非生産管理機能付処理装
置になっている。ローダ用コントローラ2a、印刷機用コ
ントローラ4a及びマウンタ用コントローラ5aには第１の
上位コントローラ10が接続され、またコンベア８用コン
トローラ8a及びアンローダ用コントローラ7aには第２の
上位コントローラ11が接続されている。
５、コンベア８及びアンローダ７は前記生産管理機能付
処理装置であり、リフロー６は非生産管理機能付処理装
置になっている。ローダ用コントローラ2a、印刷機用コ
ントローラ4a及びマウンタ用コントローラ5aには第１の
上位コントローラ10が接続され、またコンベア８用コン
トローラ8a及びアンローダ用コントローラ7aには第２の
上位コントローラ11が接続されている。
【０００６】この基板搬送装置では、ロット単位で基板
３に対して生産し、各装置において基板３に対する生産
処理が行なわれると基板３は一枚ずつ次の装置に搬出さ
れるようになっている。また、ローダ２からコンベア８
までについてはロットエンド信号等の生産管理情報は順
次、次の装置に送る一方、コンベア８からは生産管理機
能付処理装置であるリフロー６をバイパスしてアンロー
ダ７に生産管理情報を送ることになる。
３に対して生産し、各装置において基板３に対する生産
処理が行なわれると基板３は一枚ずつ次の装置に搬出さ
れるようになっている。また、ローダ２からコンベア８
までについてはロットエンド信号等の生産管理情報は順
次、次の装置に送る一方、コンベア８からは生産管理機
能付処理装置であるリフロー６をバイパスしてアンロー
ダ７に生産管理情報を送ることになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す基板搬送装置では、リフロー６が処理している基板
３の数量を把握できないため、ロット単位数の変更等の
ように各処理装置における処理中の変更指示に対応でき
なかった。このため、基板３搬送中や基板３搬送終了に
伴う生産管理情報の確定ができず、ひいてはライン生産
終了時の情報収集を行なえなかった。
示す基板搬送装置では、リフロー６が処理している基板
３の数量を把握できないため、ロット単位数の変更等の
ように各処理装置における処理中の変更指示に対応でき
なかった。このため、基板３搬送中や基板３搬送終了に
伴う生産管理情報の確定ができず、ひいてはライン生産
終了時の情報収集を行なえなかった。
【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、ライン生産終了した場合に、生産管理情報の確定を
図れてライン生産終了時の情報収集を行なえる基板搬送
装置を提供することを目的とする。
で、ライン生産終了した場合に、生産管理情報の確定を
図れてライン生産終了時の情報収集を行なえる基板搬送
装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、２つの生産管理機能付処理装置の間に非
生産管理機能付処理装置を設け、基板を一枚ずつ次の装
置に流す基板搬送装置において、上流側又は下流側のい
ずれか一方の生産管理機能付処理装置に、前記上流側の
生産管理機能付処理装置から基板を搬出する毎に加算又
は減算処理を行ない、かつ下流側の生産管理機能付処理
装置が基板を搬入する毎に加算又は減算処理を行なう基
板カウンタと、該基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号を下流側の生産管理機能付処理装
置の制御部に出力するロットエンド信号発生部とを設け
たことを特徴とする。
成するために、２つの生産管理機能付処理装置の間に非
生産管理機能付処理装置を設け、基板を一枚ずつ次の装
置に流す基板搬送装置において、上流側又は下流側のい
ずれか一方の生産管理機能付処理装置に、前記上流側の
生産管理機能付処理装置から基板を搬出する毎に加算又
は減算処理を行ない、かつ下流側の生産管理機能付処理
装置が基板を搬入する毎に加算又は減算処理を行なう基
板カウンタと、該基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号を下流側の生産管理機能付処理装
置の制御部に出力するロットエンド信号発生部とを設け
たことを特徴とする。
【００１０】
【作用】このような構成とすれば、基板カウンタが上流
側の生産管理機能付処理装置から基板を搬出する毎に加
算又は減算処理を行ない、かつ下流側の生産管理機能付
処理装置が基板を搬入する毎に加算又は減算処理を行な
うので、基板カウンタの計数値により非生産管理機能付
処理装置で処理中の基板数量を知ることができる。ま
た、ロットエンド信号発生部が基板カウンタの計数値が
０になったときにロットエンド信号を下流側の生産管理
機能付処理装置に出力するので、非生産管理機能付処理
装置がその装置内を流れている基板の枚数を認識できな
い装置であるものの、どの基板がロットエンドになるか
を確実に判断できる。
側の生産管理機能付処理装置から基板を搬出する毎に加
算又は減算処理を行ない、かつ下流側の生産管理機能付
処理装置が基板を搬入する毎に加算又は減算処理を行な
うので、基板カウンタの計数値により非生産管理機能付
処理装置で処理中の基板数量を知ることができる。ま
た、ロットエンド信号発生部が基板カウンタの計数値が
０になったときにロットエンド信号を下流側の生産管理
機能付処理装置に出力するので、非生産管理機能付処理
装置がその装置内を流れている基板の枚数を認識できな
い装置であるものの、どの基板がロットエンドになるか
を確実に判断できる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例の基板搬送装置を図
１ないし図３に基づいて説明する。なお、図４に示す部
材と同一の部材は同一符号で示し、その説明は省略す
る。
１ないし図３に基づいて説明する。なお、図４に示す部
材と同一の部材は同一符号で示し、その説明は省略す
る。
【００１２】図において、コンベア用コントローラ8aと
アンローダ用コントローラ7aは情報の授受をできるよう
に第１の信号線12により、またコンベア用コントローラ
8aとリフロー用コントローラ6aは情報の授受をできるよ
うに第２の信号線13により接続されている。
アンローダ用コントローラ7aは情報の授受をできるよう
に第１の信号線12により、またコンベア用コントローラ
8aとリフロー用コントローラ6aは情報の授受をできるよ
うに第２の信号線13により接続されている。
【００１３】アンローダ用コントローラ7aは第１の信号
線12を通してコンベア用コントローラ8aにアンローダ搬
出要求信号Ａを出力している。アンローダ搬出要求信号
Ａは、通常時ON状態（ハイレベル）になっており、アン
ローダ７が基板３を１枚搬入すると、一旦OFF 状態（ロ
ーレベル）になった後ON状態に戻るようになっており、
アンローダ搬出要求信号ＡにおけるOFF 状態及びそれに
続くON状態への変化が一回あることが、アンローダ７に
対して基板３が１枚搬入されたことに対応するようにな
っている。
線12を通してコンベア用コントローラ8aにアンローダ搬
出要求信号Ａを出力している。アンローダ搬出要求信号
Ａは、通常時ON状態（ハイレベル）になっており、アン
ローダ７が基板３を１枚搬入すると、一旦OFF 状態（ロ
ーレベル）になった後ON状態に戻るようになっており、
アンローダ搬出要求信号ＡにおけるOFF 状態及びそれに
続くON状態への変化が一回あることが、アンローダ７に
対して基板３が１枚搬入されたことに対応するようにな
っている。
【００１４】リフロー用コントローラ6aは第２の信号線
13を通してコンベア用コントローラ8aにリフロー搬出要
求信号Ｂを出力する。リフロー搬出要求信号Ｂは、通常
時ON状態（ハイレベル）になっている。
13を通してコンベア用コントローラ8aにリフロー搬出要
求信号Ｂを出力する。リフロー搬出要求信号Ｂは、通常
時ON状態（ハイレベル）になっている。
【００１５】コンベア用コントローラ8aには搬出基板カ
ウンタ14と、ロットエンド信号発生部15とが設けられて
いる。搬出基板カウンタ14は、コンベア８が基板３を１
枚搬出する毎に計数値に１を加える一方、アンローダ搬
出要求信号ＡのOFF 状態及びそれに続くON状態への変化
が１回あるとそれに応じて計数値から１を引く処理を行
なう。ロットエンド信号発生部15は、搬出基板カウンタ
14の計数値が０になったときロットエンド信号Ｃをアン
ローダ用コントローラ7aに出力する。
ウンタ14と、ロットエンド信号発生部15とが設けられて
いる。搬出基板カウンタ14は、コンベア８が基板３を１
枚搬出する毎に計数値に１を加える一方、アンローダ搬
出要求信号ＡのOFF 状態及びそれに続くON状態への変化
が１回あるとそれに応じて計数値から１を引く処理を行
なう。ロットエンド信号発生部15は、搬出基板カウンタ
14の計数値が０になったときロットエンド信号Ｃをアン
ローダ用コントローラ7aに出力する。
【００１６】このように構成された基板搬送装置の作用
を図２のフローチャートに基づいて説明する。まず、コ
ンベア８における基板３の搬入動作開始の判定を行ない
（ステップS1）、YES と判定することによりコンベア８
への基板３の搬入処理を実施する（ステップS2）。ステ
ップS2に続いて、ロットエンド信号Ｃが上流側から入力
されたか否かを判定し（ステップS3）、NOと判定する
と、コンベア８から搬出する基板３があるか否かの判定
（ステップS4）及びリフロー６よりリフロー搬出要求信
号Ｂが入力されているか否かの判定（ステップS5）を行
ない、両ステップS4，S5でYES と判定すると、コンベア
８を制御して基板３を搬出させる（ステップS6）。続く
ステップS7で、コンベア８から基板３が搬出されたこと
が確認されると、搬出基板カウンタ14は計数値に１を加
算する（ステップS8）。
を図２のフローチャートに基づいて説明する。まず、コ
ンベア８における基板３の搬入動作開始の判定を行ない
（ステップS1）、YES と判定することによりコンベア８
への基板３の搬入処理を実施する（ステップS2）。ステ
ップS2に続いて、ロットエンド信号Ｃが上流側から入力
されたか否かを判定し（ステップS3）、NOと判定する
と、コンベア８から搬出する基板３があるか否かの判定
（ステップS4）及びリフロー６よりリフロー搬出要求信
号Ｂが入力されているか否かの判定（ステップS5）を行
ない、両ステップS4，S5でYES と判定すると、コンベア
８を制御して基板３を搬出させる（ステップS6）。続く
ステップS7で、コンベア８から基板３が搬出されたこと
が確認されると、搬出基板カウンタ14は計数値に１を加
算する（ステップS8）。
【００１７】続くステップS9及びステップS10 で、アン
ローダ搬出要求信号ＡのOFF 状態への変化及びそれに続
くON状態への変化が１回あるかいなかの判定を行ない、
両ステップS9，S9でYES と判定すると、搬出基板カウン
タ14は計数値から１を減算処理することになる（ステッ
プS11 ）。
ローダ搬出要求信号ＡのOFF 状態への変化及びそれに続
くON状態への変化が１回あるかいなかの判定を行ない、
両ステップS9，S9でYES と判定すると、搬出基板カウン
タ14は計数値から１を減算処理することになる（ステッ
プS11 ）。
【００１８】前記ステップS3の判定で、YES と判定する
と、ロットエンド信号発生部15は搬出基板カウンタ14の
計数値が０になったか否かの判定を行ない、０になって
いると判定するとコンベア８にロットエンド処理を行な
わせ（ステップS13 ）、その処理が終了するとロットエ
ンド信号Ｃをアンローダ用コントローラ7aに出力する
（ステップS13 ）。
と、ロットエンド信号発生部15は搬出基板カウンタ14の
計数値が０になったか否かの判定を行ない、０になって
いると判定するとコンベア８にロットエンド処理を行な
わせ（ステップS13 ）、その処理が終了するとロットエ
ンド信号Ｃをアンローダ用コントローラ7aに出力する
（ステップS13 ）。
【００１９】上述したようにコンベア８から基板３を搬
出する毎に加算処理を行ない、かつアンローダ７が基板
３を搬入する毎に減算処理を行なうので、搬出基板カウ
ンタ14の計数値によりリフロー６内に現在何枚の基板３
が流れているかを知ることができる。また、ロットエン
ド信号発生部15が搬出基板カウンタ14の計数値が０にな
ったときにロットエンド信号Ｃを下流側のアンローダ７
に出力するので、リフロー６がその装置内を流れている
基板３の枚数を認識できない装置であるものの、どの基
板３がロットエンドになるかを確実に判断でき、これに
よりロットエンド信号Ｃひいては生産管理情報を確定で
きることになる。このため、ライン生産終了時の情報収
集を行なえることになる。
出する毎に加算処理を行ない、かつアンローダ７が基板
３を搬入する毎に減算処理を行なうので、搬出基板カウ
ンタ14の計数値によりリフロー６内に現在何枚の基板３
が流れているかを知ることができる。また、ロットエン
ド信号発生部15が搬出基板カウンタ14の計数値が０にな
ったときにロットエンド信号Ｃを下流側のアンローダ７
に出力するので、リフロー６がその装置内を流れている
基板３の枚数を認識できない装置であるものの、どの基
板３がロットエンドになるかを確実に判断でき、これに
よりロットエンド信号Ｃひいては生産管理情報を確定で
きることになる。このため、ライン生産終了時の情報収
集を行なえることになる。
【００２０】上記実施例は、コンベア用コントローラ8a
に、搬出基板カウンタ14とロットエンド信号発生部15と
設けた場合を例にしたが、コンベア８が基板３を１枚搬
出する毎に計数値に１を加える一方、アンローダ７が基
板３を１枚搬入する毎に計数値から１を引く処理を行な
う基板カウンタと、この基板カウンタの計数値が０にな
ったときにロットエンド信号を第２の上位コントローラ
12に出力するロットエンド信号発生部とをアンローダ用
コントローラ7aに設けるようにしてもよい。
に、搬出基板カウンタ14とロットエンド信号発生部15と
設けた場合を例にしたが、コンベア８が基板３を１枚搬
出する毎に計数値に１を加える一方、アンローダ７が基
板３を１枚搬入する毎に計数値から１を引く処理を行な
う基板カウンタと、この基板カウンタの計数値が０にな
ったときにロットエンド信号を第２の上位コントローラ
12に出力するロットエンド信号発生部とをアンローダ用
コントローラ7aに設けるようにしてもよい。
【００２１】また、上記実施例は、コンベア用コントロ
ーラ8a又はアンローダ用コントローラ7aに、コンベア８
が基板３を１枚搬出する毎に計数値に１を加える一方、
アンローダ７が基板３を１枚搬入する毎に計数値から１
を引く処理を行なう基板カウンタと、搬出基板カウンタ
14の計数値が０になったときにロットエンド信号Ｃをア
ンローダ用コントローラ7a又は第２の上位コントローラ
12に出力するロットエンド信号発生部を設けた場合を例
にしたが、これに代えて、アンローダ用コントローラ7a
に、コンベア８が基板３を１枚搬出する毎に計数値から
１を減算する一方、アンローダ７が基板３を１枚搬入す
る毎に計数値に１を加える処理を行なう基板カウンタ
（図示省略）と、この基板カウンタの計数値が０になっ
たときにロットエンド信号を第２の上位コントローラ12
に出力するロットエンド信号発生部（図示省略）とを設
けて構成してもよい。
ーラ8a又はアンローダ用コントローラ7aに、コンベア８
が基板３を１枚搬出する毎に計数値に１を加える一方、
アンローダ７が基板３を１枚搬入する毎に計数値から１
を引く処理を行なう基板カウンタと、搬出基板カウンタ
14の計数値が０になったときにロットエンド信号Ｃをア
ンローダ用コントローラ7a又は第２の上位コントローラ
12に出力するロットエンド信号発生部を設けた場合を例
にしたが、これに代えて、アンローダ用コントローラ7a
に、コンベア８が基板３を１枚搬出する毎に計数値から
１を減算する一方、アンローダ７が基板３を１枚搬入す
る毎に計数値に１を加える処理を行なう基板カウンタ
（図示省略）と、この基板カウンタの計数値が０になっ
たときにロットエンド信号を第２の上位コントローラ12
に出力するロットエンド信号発生部（図示省略）とを設
けて構成してもよい。
【００２２】このように構成することにより、ロットエ
ンド信号発生部が基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号をアンローダ用コントローラ7a又
は第２の上位コントローラ12に出力するので、リフロー
６がその装置内を流れている基板３の枚数を認識できな
い装置であるものの、どの基板３がロットエンドになる
かを確実に判断でき、これによりロットエンド信号ひい
ては生産管理情報を確定できることになる。このため、
ライン生産終了時の情報収集を行なえることになる。
ンド信号発生部が基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号をアンローダ用コントローラ7a又
は第２の上位コントローラ12に出力するので、リフロー
６がその装置内を流れている基板３の枚数を認識できな
い装置であるものの、どの基板３がロットエンドになる
かを確実に判断でき、これによりロットエンド信号ひい
ては生産管理情報を確定できることになる。このため、
ライン生産終了時の情報収集を行なえることになる。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
た基板搬送装置であるから、基板カウンタの計数値によ
り非生産管理機能付処理装置で処理中の基板数量を知る
ことができ、かつ基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号を下流側の生産管理機能付処理装
置に出力して、非生産管理機能付処理装置がその装置内
を流れている基板の枚数を認識できない装置であるもの
の、どの基板がロットエンドになるかを確実に判断でき
るので、ロットエンド信号ひいては生産管理情報を確定
できてライン生産終了時の情報収集を行なえることにな
る。
た基板搬送装置であるから、基板カウンタの計数値によ
り非生産管理機能付処理装置で処理中の基板数量を知る
ことができ、かつ基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号を下流側の生産管理機能付処理装
置に出力して、非生産管理機能付処理装置がその装置内
を流れている基板の枚数を認識できない装置であるもの
の、どの基板がロットエンドになるかを確実に判断でき
るので、ロットエンド信号ひいては生産管理情報を確定
できてライン生産終了時の情報収集を行なえることにな
る。
【図１】本発明の一実施例の基板搬送装置を模式的に示
す図である。
す図である。
【図２】同基板搬送装置の制御内容を示すフローチャー
トである。
トである。
【図３】同基板搬送装置の各部において授受される信号
のタイムチャートである。
のタイムチャートである。
【図４】従来の基板搬送装置の一例を模式的に示す図で
ある。
ある。
３ 基板 ６ リフロー ７ アンローダ 7a アンローダ用コントローラ ８ コンベア 8a コンベア用コントローラ 14 搬出基板カウンタ 15 ロットエンド信号発生部 Ｃ ロットエンド信号
Claims (1)
- 【請求項１】 ２つの生産管理機能付処理装置の間に非
生産管理機能付処理装置を設け、基板を一枚ずつ次の装
置に流す基板搬送装置において、上流側又は下流側のい
ずれか一方の生産管理機能付処理装置に、前記上流側の
生産管理機能付処理装置から基板を搬出する毎に加算又
は減算処理を行ない、かつ下流側の生産管理機能付処理
装置が基板を搬入する毎に加算又は減算処理を行なう基
板カウンタと、該基板カウンタの計数値が０になったと
きにロットエンド信号を下流側の生産管理機能付処理装
置の制御部に出力するロットエンド信号発生部とを設け
たことを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4306316A JPH06132696A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4306316A JPH06132696A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06132696A true JPH06132696A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17955643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4306316A Pending JPH06132696A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06132696A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006081519A2 (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for operation of substrate carrier handlers |
| US7177716B2 (en) | 2004-02-28 | 2007-02-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for material control system interface |
| US7218983B2 (en) | 2003-11-06 | 2007-05-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities |
| US7221993B2 (en) | 2003-01-27 | 2007-05-22 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools |
| US7274971B2 (en) | 2004-02-28 | 2007-09-25 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control |
| US7413069B2 (en) | 2004-02-28 | 2008-08-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility |
| JP2016134521A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | Juki株式会社 | 実装システム、実装装置及び実装システムで用いられるプログラム |
| US11453075B2 (en) | 2016-09-30 | 2022-09-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Component mounting line control system |
-
1992
- 1992-10-20 JP JP4306316A patent/JPH06132696A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7221993B2 (en) | 2003-01-27 | 2007-05-22 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for transferring small lot size substrate carriers between processing tools |
| US7218983B2 (en) | 2003-11-06 | 2007-05-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities |
| US7177716B2 (en) | 2004-02-28 | 2007-02-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for material control system interface |
| US7274971B2 (en) | 2004-02-28 | 2007-09-25 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for electronic device manufacturing system monitoring and control |
| US7413069B2 (en) | 2004-02-28 | 2008-08-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for transferring a substrate carrier within an electronic device manufacturing facility |
| WO2006081519A2 (en) * | 2005-01-28 | 2006-08-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for operation of substrate carrier handlers |
| WO2006081519A3 (en) * | 2005-01-28 | 2007-02-01 | Applied Materials Inc | Methods and apparatus for operation of substrate carrier handlers |
| JP2016134521A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | Juki株式会社 | 実装システム、実装装置及び実装システムで用いられるプログラム |
| US11453075B2 (en) | 2016-09-30 | 2022-09-27 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Component mounting line control system |
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