TW558914B - Multi-face forming mask device for vacuum deposition - Google Patents

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TW558914B TW091119166A TW91119166A TW558914B TW 558914 B TW558914 B TW 558914B TW 091119166 A TW091119166 A TW 091119166A TW 91119166 A TW91119166 A TW 91119166A TW 558914 B TW558914 B TW 558914B
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Terunao Tsuchiya
Takuya Sakata
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Dainippon Printing Co Ltd
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    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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Description

經濟部智慧財產局員工消f合作杜印製 558914 A7 B7____ 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 本發明係有關在於製造有機E L (電致發光，場致發 光）元件之真空蒸鍍（汽相澱積）過程時，要蒸鍍所定圖 型於基板表面用的真空蒸鍍用多版面（蒸鍍爲多面之）光 罩裝置。 〔背景技術〕 有機E L元件係如圖1 7所示，形成依序疊層陽（電 )極（ITO) 2，霍爾輸送層3、有機層（發光層）4 、電子輸送層5、陰（電）極6於玻璃板等之透明基板1 上，而配置有封閉罐7的結構。有關有機E L元件之種類 ，有機層4有高分子型式和低分子型式，驅動元件之方式 ,則有被動型和主動型。而在製造該等有機E L元件之過 程，對於形成被動型和主動型之低分子有機層及形成被動 _型之陰極6 ,則實施蒸鍍。而對於低分子有機層及陰極之 真空蒸鍍圖型，則使用如圖1 8所示之具備以微小間隔成 _平行排列多數之微小縫隙於要蒸鍍之區域所構成之（百葉 窗狀）遮蔽部8 A的金屬光罩8。又對於陰極之真空蒸鍍 圖型，也有使用形成電性絕緣性之分隔壁的陰極分隔器方 法（參照日本國專利特開平8 - 3 1 5 9 8 1號公報）之 狀況。 然而，在於如此之習知技術，均具有問題。亦即，& 使用金屬光罩時，以往（習知者）係僅載置金屬光罩8於 應蒸鍍之基板表面，且從背面使用磁鐵來加以保持，然％ 本矣氏張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210Χ 297公釐） "" " '~~~ -4- 裝 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 558914 陘濟邹智竑財產局負工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（2 ) ，故先罩8之遮蔽部8 A的剛性極小。以致在保持金屬光 罩8於基板表面時，容易使遮蔽部8 a之縫隙產生畸變（ 變开<)，尤其在縫隙形狀作成極爲微小時，更無法維持縫 隙之精度，使得具有所謂無法作成高精細圖型之問題。又 以往係對於一片（一枚）之金屬光罩8僅形成一個遮蔽部 8 A而己，以致形成一個一個的蒸鍍操作，使得具有所謂 生產性不佳之問題。另一方面，陰極分隔器法係以光刻（ 平版照相印刷）法來調整曝光的強弱而製造分隔壁斜面之 角度，因而，困難於實施穩定之製造〔逆截頭圓錐剖面之 分隔壁斜面部分的錐形（推拔）角度小時就無法分離電極 ，而大時就成爲三角形狀，以到會倒下〕。 〔發明之揭示〕 本發明係鑑於如此之問題而發明者，其目的係擬提供 一種在於真空蒸鍍圖型時，能以確保（百葉窗狀之）遮蔽 部的縫隙精度之狀態來配置於基板底面，且能實施良好之 生產性的真空蒸鍍（汽相澱積）之真空蒸鑛用多版面（蒸 鍍爲多面的）光罩裝置者。 本發明係一種真空蒸鍍用多版面光罩裝置，係具有朝 縱向及橫向配置之複數有效光罩部的真空蒸鍍用多版面光 罩裝置，其特徵爲：具備有，具有複數之窗口的第一光罩 ，及配置於第一光罩上而包括有朝縱向展延之多數微小縫 隙的（百葉窗口狀）遮蔽部之第二光罩，第二光罩之遮蔽 部係配置於第二光罩的至少覆蓋全部窗口之橫向的整個區 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5- 558914 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 域，而由遮蔽部和窗口來形成有效光罩部。 本發明係第二光罩部具有一對形成於遮蔽部橫向兩側 之支撐部爲其特徵的真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係第一光罩之窗口部形成爲對應於有效光罩部 之形狀，而第二光罩之遮蔽部係沿縱向越過複數的窗口展 延著爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係第一光罩作爲底板來產生功能，且配設了用 於保持朝縱向拉著第二光罩之狀態於該底板用的光罩拉伸 保持手段爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係第一光罩配置於具有開口之底板上，且配置 用於保持朝縱向拉著第二光罩之狀態於該底板用的光罩拉 伸保持手段於該底板上爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置。 本發明係光罩拉伸保持手段具有保持第二光罩端部之 同時對於底板可移動的滑動器，及對於底板朝分離方向移 動滑動器用的移動手段爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置。 本發明係移動手段爲產生彈（性）力作用的彈性手段 爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係底板開口覆蓋著第一光罩之窗口的全部區域 爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係形成朝橫向展延之複數開口於底板，而各開 口之縱向長度係對應於第一光罩的窗口之縱向長度爲其特 徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -6 - 經濟部智慧財產局員工消贽合作社印製 558914 A7 ___B7 五、發明説明（4 ) 由如此之結構，致使複數之窗口和各個因可作爲有效 光罩來產生作用，因而以配置可覆蓋整個窗口大小的基板 來實施蒸鍍時，可實施蒸鍍多面且可增進生產性。又令第 二光罩成爲朝縫隙之長軸方向拉著的狀態，以致極微小之 縫隙即使成微小之間隔所配置的高精密之光罩，也可令縫 隙成正直狀態且保持成所定間距，使得可形成作爲目的之 高精密圖型於基板上。 以配置所要蒸鍍之基板於該結構的多版面裝置之第二 光罩上，且定置整體於蒸鍍機內來進行蒸鍍時，能使高精 密圖型由蒸鍍多面且以良好的生產性來形成。 於該結構之光罩拉伸保持手段，將由夾子來固定第二 光罩端部於滑動器，且由移動手段來朝拉伸方向移動該滑 動器，就可保持第二光罩成拉伸狀態，因此，能以簡單的 操作來維持（百葉窗狀之）遮蔽部的多數縫隙成正直之狀 態且成所定之間距。 而作爲前述移動手段，雖也可利用螺絲等來移動滑動 器所期盼之量的結構者，但理想爲對於滑動器採用會產生 從底板朝分離方向之彈（性）力作用的彈性手段爲佳。構 成爲如此之結構時，可對於第二光罩經常作用著一定之拉 力，使得可獲得能進一步增進縫隙之位置精度的優點。 本發明係第二光罩之遮蔽部配設有複數之同時，各遮 蔽部係朝縱向隔著所定間隔來配置爲其特徵之真空蒸鍍用 多版面光罩裝置。 本發明係第二光罩之各遮蔽部乃沿著縱向僅展延有效 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------辦衣------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 558914 Α7 Β7 五、發明説明（5 ) 光罩部之縱向長度爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置 〇 本發明係第一光罩之各窗口形成爲對應於有效光罩音β 的形狀爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係第一光罩之各窗口乃沿著縱向越過複數之有 效光罩部展延著爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係第一光罩作爲底板來產生功能，且配設了用 於保持朝縱向拉著第二光罩之狀態於該底板用的光罩拉伸 保持手段爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係第一光罩配置於具有開口之底板上，且配設 ‘了用於保持朝縱向拉著第二光罩之狀態於該底板用的光罩 拉伸保持手段爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係光罩拉伸保持手段具有保持第二光罩端部之 同時對於底板可移動的滑動器，及對於底板朝分離方向移 動滑動器用的移動手段爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置。 本發明係移動手段爲產生彈（性）力作用的彈性手段 爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係底板開口覆蓋著第一光罩之窗口的全部區域 爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係形成朝橫向展延之複數個開口於底板，而各 開口之縱向長度係對應於第一光罩的窗口之縱向長度爲其 特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 本發明係低板具有用於固定第二光罩用之固定區域於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、言 -8- 558914 A7 B7 五、發明説明（6 ) 縱向兩端部，且形成朝橫向展延之縫隙於一方之固定區域 內側，而預先由朝內側變形該一方之固定區域來保持朝縱 向拉著第二光罩的狀態爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置。 本發明係配設朝縱向展延之缺口（凹口）於縫隙兩端 爲其特徵之真空蒸鍍用多版面光罩裝置。 由於該等結構，本發明之光罩裝置因具備有多數之有 效光罩部，因而以配置可覆蓋全部之有效光罩部大小的基 板來進行蒸鍍時，可實施蒸鍍多面且可增進生產性。又使 第二光罩形成朝縱向拉著之狀態，亦即形成朝縫隙之長軸 方向拉著的狀態，以致極微小之縫隙即使成微小之間隔所 配置的高精密之光罩，也可令縫隙成正直狀態且保持成所 定間距，使得可形成作爲目的之高精密圖型於基板上。 於該結構之光罩拉伸保持手段，可由固定第二光罩端 部於滑動器，而令該滑動器由移動手段朝拉伸第二光罩之 方向移動，就可保持第二光罩成爲拉伸狀態，使得能以簡 單的操作來維持遮蔽部之多數縫隙成爲正直狀態且成所定 之間距。在此，用於固定第二光罩於底板用的固定側固定 機構及用於固定在滑動器之移動側固定機構的具體性構造 爲可任意之構造，例如可舉出由點熔接者，以夾住第二光 罩來固定之構造者、穿過銷等於第二光罩來固定之構造者 等等，尤其利用雷射來實施點熔接者，因可簡單地進行固 定作業（工作）且可確保所需之固定強度，因而極爲理想 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -9- 558914 A7 B7 五、發明説明（7 ) 作爲移動手段，雖利用螺絲等來僅移動所期盼之量的 結構者，但以採用會從底板作用成朝分離方向之彈（性） 力的彈性手段爲理想。當構成如此時，可對於第二光罩經 常作用一定之拉伸力，使得可獲得更進一步增進縫隙之位 置精度的優點。 又作爲光罩拉伸保持手段之其他例子，可舉出形成用 於固定前述第二光罩於各前述底板之縱向兩端部的固定區 域，而以該固定區域來構成光罩拉伸保持手段之狀態。該 時，將對第二光罩予以作用朝其縱向之拉力的狀態來固定 時，就可保持前述第二光罩朝縱向拉著之狀態。該時，理 想爲在一方的固定區域內側形成在橫向展延之縫隙。當構 成如此時，縫隙外側之固定區域因可成爲彈性變形，使得 在安裝第二光罩時，可由虎鉗等朝內側以所定之加壓力來 使該固定區域產生彈性變形。而在該狀態下，以施加所定 之拉力狀態來固定第二光罩於固定區域，而後釋放虎鉗等 之拘束，就可容易地調整所作用於第二光罩之拉力成所期 盼的値。又配設有縫隙時，可令第一光罩之固定區域作成 爲在於縫隙內側，而可作成第二光罩之固定區域於縫隙的 外側。以如此，由縫隙來分離第一光罩之固定區域和第二 光罩之固定區域，就可令第二光罩之固定區域的變形並不 會影響於第一光罩之固定區域，因此，第一光罩並不會產 生變形（彎曲），可經常形成高精密之圖型於基板上。 理想爲形成朝底板之縱向且至少會朝向底板端部展延 之缺口於前述縫隙兩端。以如此來形成缺口時，在該缺口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 線 經濟部智悲財產局，-貝工消費合作社印製 -10- 經濟部智慧財產局员工消費合作社印製 558914 A7 五、發明説明（8 ) 和底板端部所夾持區域之強度會成爲較縫隙和底板端部所 夾持之區域的強度爲小。因此，當以朝內側變形第二光# 之固定區域來固定第二光罩時，變形主要會集中缺口處， 而第二光罩之固定區域則保持直線性之狀態下來產生變位 (移位）。因此，可獲得所謂不會產生彎曲（變形）於固 定在該固定區域的第二光罩之優點。 〔實施發明用之最佳形態〕 (第1實施形態） 以下，將說明圖式所示之本發明的理想實施形態。圖 1 ( a )係顯示分解在製造有關本發明之第1實施形態的 有機E L元件時所使用之真空蒸鍍用多版面光罩裝置的主 要零件之槪略斜視（立體）圖，圖1 ( b )係以組裝該多 版面光罩裝置之狀態來顯示之槪略斜視圖。圖1 ( c )係 以放大使用於該多版面光罩裝置之第二金屬光罩的（百葉 窗口狀之）遮蔽部一部分的槪略剖面圖，圖2係以未組裝 第二金屬光罩2及基板於圖1所示之多版面光罩裝置狀態 來顯示之槪略平面圖，圖3係朝箭標記A - A方向觀看圖 2所示裝置之槪略剖面圖，圖4以組裝第二金屬光罩於該 多版面光罩裝置之狀態來顯示之槪略平面圖。全部以參照 符號1 1所示之多版面光罩裝置，以大的構件來分別時， 具備有：兼用爲第一金屬光罩之底板（第一金屬光罩） 12 ;第二金屬光罩13 ;光罩拉伸保持手段ι4 ;及基 板夾住機構1 5等。以下，說明各零件（構件）。 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（21 〇X 297公楚） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 - 558914 A7 B7 五、發明説明（9 ) ---------1-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 底板1 2係如將後述，以施加張力之狀態來組裝第二 金屬光罩1 3於其上面，且具備有可保持應蒸鍍之基板 ；L 7於其上面的強度者，並具備用於限制（規範）蒸鍍範 圍用之窗口 1 8有複數個（圖面之實施例爲2 4個）。窗 口 1 8之大小係因應於形成之有機E L元件的大小予以適 當地決定者，例如作成長度爲6 0 m m，寬度爲4 0 m m ο 第二金屬光罩1 3係以厚度爲30/zm〜1 00//1T1 左右之鎳合金、不銹鋼等之金屬板所形成者，具備有多數 之微小縫隙1 3 a 〔參照圖1 〔 c〕以微小間隔成平行排 列之（百葉窗狀的）障蔽的1 3 A及其兩端之保持部 13B、 13B。各縫隙13a係朝第二金屬光罩13之 縱向（Y方向）展延，而各縫隙1 3 a係朝橫向（X方向 )隔著所定間隔來配置。遮蔽部1 3 A之大小係作成可覆 蓋形成於底板1 2之複數的窗口 1 8之大小。 線 又遮蔽部1 3 A所形成之縫隙1 3 a之寬及間距，乃 經濟部智慈財產局員工消費合作社印紫 響應於應形成之有機E L元件的所期盼之像素數量來適當 地決定者，例如縫隙1 3 a之寬（度）w作成6 0 # m， 形成縫隙1 3 a之金屬部1 3 b之寬d (最大寬度）作爲 1 2 0 # m。金屬部1 3 b之剖面形狀雖也可形成爲單純 之矩形，但在本實施例係如在圖1 ( c )以放大剖面所顯 示，作成截頭錐體形狀，且令一方之開口（在圖面上爲下 方之開口）成爲較另一方更大。以構成爲如此之時，當要 配置基板1 7於第二金屬光罩1 3上面來蒸鍍時，蒸氣會 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 558914 A7 B7 五、發明説明（10) 從廣闊側開口進入，使得可獲所謂能均勻地蒸鍍於基板 1 7之優點。 於圖1，遮蔽部1 3 A兩側形成有連結兩端之保持部 1 3 B、 1 3 B用的支撐部1 3 c、 1 3 c。該支撐部 13c、 1 3 c係爲了加強遮蔽部1 3 A而設置者。亦即 ，遮蔽部1 3 A雖具有多數之金屬部1 3 b的構造，但金 屬部1 3 b極爲細而使遮蔽部1 3 A之剛性極爲低，因而 ，僅有遮蔽部1 3 A在操作上會成爲困難（會馬上變形而 成爲不良品），爲此，形成支撐部1 3 c、 1 3 c來加強 其兩側。支撐部1 3 c之廣度雖愈廣闊愈會增進加強效果 ，但過於廣闊時，就在拉伸第二金屬光罩1 3來排列縫隙 成整齊時所需要之拉力必需加大，致使操作性會成爲不好 。由於考慮該情事，支撐部1 3 c之寬度理想爲作成2〜 5 m m左右。其結果，第二金屬光罩1 3之遮蔽部1 3 A ，將留下支撐部1 3 c來配置於第二金屬光罩1 3之橫向 略整個區域。 再者，由底板12之窗口18和第二金屬光罩13之 遮蔽部1 3 A而形成有效光罩部1 8 a，如圖1所示，遮 蔽部1 3 A係沿著縱向（Y方向）且越過複數之有效光罩 部1 8 a展延著。又窗口 1 8具有對應於有效光罩部 1 8 a之形狀。 於圖1〜圖4中，光罩拉伸保持手段1 4具備有：用 於固定第二金屬光罩1 3 —端之保持部1 3 B用之固定側 光罩夾子（器）2 0及螺絲2 1 ;配置於形成有底板1 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 澡-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1' 經濟部智慈財產局員工涓費合作社印製 -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 558914 ΑΊ Β7 五、發明説明（11 ) 之窗口 1 8的與固定側光罩夾子2 0爲相反側，而可朝從 固定側光罩夾子分離及接近方向移動之滑動器2 3 ;固定 於定板1 2而保持滑動器2 3成可移動之導桿2 4 ;用於 固定第二金屬光罩1 3另一端之保持部1 3 B於滑動器 2 3用的移動側光罩子2 5及螺絲2 6 ;及用於從固定側 光罩夾子2 0朝分離方向移動滑動器2 3來賦予所期盼之 張力於由固定側光罩夾子2 0和移動側光罩夾子2 5所保 持之第二金屬光罩用的移動手段2 8。 移動手段2 8係具備有被固定於底板1 2之支承棒 2 9，及被保持於該支承棒，且配置於底板1 2和滑動器 〇 2 3間之壓縮盤簧3 #所形成之彈性手段。導桿2 4前端 安裝有防止拔出滑動器2 3用之止動器3 2。基板夾住機 構1 5乃具備有壓住固定基板1 7於底板1 2用的基板夾 子3 4及螺絲3 5。 接著，說明使用上述結構之多版面光罩裝置1 1來對 於基板進行真空蒸鍍的動作。在未組裝第二金屬光罩1 3 於底板1 2之狀態下，由虎鉗等來使滑動器2 3朝壓縮盤 簧3 0之方向移動並予以保持。接著放置第二金屬光罩 13於底板12上，配置遮蔽部13A於覆蓋所有之窗口 1 8之位置且對於窗口實施定位。而在該狀態下，以固定 側夾子2 0固定第二金屬光罩1 3 —端於底板1 2，另一 端則由移動側光罩夾子2 5來固定於滑動器2 3。而後， 釋放虎鉗，以令滑動器2 3移動自如而對於第二金屬光罩 1 3施加均勻之張力。由而第二金屬光罩1 3會形成以均 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14- 558914 A7 B7 五、發明説明（12 ) 勻之張力來拉著的狀態，使得遮蔽部1 3 A之多數縫隙 1 3 a能保持成正直且排列成一定間距的狀態。此時，因 均勻地形成有多數之縫隙1 3 a於覆蓋窗口 1 8之整個區 域，因而若由滑動器2 3來對於遮蔽部1 3 A賦予張力時 ，就可對於遮蔽部1 3 A賦予極均勻之張力，使得可維持 縫隙之精度。再者，用於配置遮蔽部1 3 A於底板1 2的 各窗口18時，作爲第二金屬光罩也可思及使用如圖19 所示之僅在對應於各窗口 1 8部形成有遮蔽部4 Ο A的第 二金屬光罩4 0。然而，若使用該結構之第二金屬光罩 4 0時，因在一*片之金屬光罩內，混合存在有剛性小之遮 蔽部4 Ο A和剛性大之分隔部4 Ο B，因此，要均勻地施 加張力給予全部遮蔽部4 Ο A乙事會成爲困難，使得容易 產生彎曲（變形）於遮蔽部4 0 A，而難以確保縫隙精度 。但對於該狀況/本實施例所使用之第二金屬光罩1 3， 因均勻地形成遮蔽部1 3 A於橫向之廣闊範圍，因而可消 除該缺點，而可容易地確保縫隙精度。 如圖4所示，組裝第二金屬光罩1 3於底板1 2且賦 予張力之後，以如圖1 ( b )所示，對準（校準）載置要 蒸鍍之基板1 7於第二金屬光罩1 3上，接著，以基板用 夾子3 4來固定基板1 7於底板1 2及第二金屬光罩1 3 上。由以上，可形成配置第二金屬光罩1 3成爲保持多數 縫隙1 3 a成所定之狀態於基板1 7表面，且配置具備多 數窗口 1 8於表面之底板1 2。而後，組裝第二金屬光罩 1 3及基板1 7於底板1 2之狀態下，放進整體於蒸鍍機 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------辦衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慈財產局貨工消費合作社印製 -15- 經濟部智站財產局員工消費合作社印製 558914 A7 ___B7_ 五、發明説明（13 ) ，定置窗口 1 8朝向於蒸發源來進行蒸鍍。由以上，在對 應於各窗口 1 8之基板1 7表面，以對應於第二金屬光罩 1 3之縫隙來進行蒸鍍，就可實施多版面之高精密圖型。 於上述實施例，係形成用於限制（規範）蒸鍍範圍之 多數窗口 1 8於底板1 2上，且該底板本身作爲第一金屬 光罩來使用，但本發明並不限定於該結構而己，也可構成 爲令形成用於限制蒸鍍範圍之多數窗口的第1金屬光罩作 爲與底板爲另一零件來製成，並以點熔接、螺絲等來固定 於底板之結構。 圖5係顯示該狀態時之實施例的槪略斜視圖。於本實 施例，使用具備與底板1 2 A爲另一半之用於限制蒸鍍範 圍用之複數窗口 1 8之第一金屬光罩1 2 B，而在底板 1 2 A則形成大的開口 4 5於形成在第一金屬光罩1 2 B 之覆蓋全部窗口 1 8之整個區域。而以重疊第一金屬光罩 1 2 B於該底板1 2 A上，且由點熔接或螺絲鎖緊等加以 固定來使用。在此所使用之第一金屬光罩1 2 B係以較底 板1 2 A極爲薄之金屬板，例如厚度爲2 0 0〜3 0 0 # m左右之金屬板來形成。除此之外的結構則與圖1〜圖 4之實施例相同。於本實施例，因形成多數之窗口 1 8於 薄的金屬板所製成之第一金屬光罩1 2 B就可使用，因而 ，較如圖1〜圖4之實施例形成於底板1 2時，可獲得容 易製造之優點。 再者，於圖5之實施例，雖形成一個大的開口 4 5於 底板1 2 A來使全部窗口 1 8可露出，但該開口 4 5也可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -16- 558914 A7 B7 經濟部智慈財產局a(工消費合作社印製 五、發明説明（14) 構成爲分割成複數個。圖6係顯示該時之實施例者，底板 1 2 c予以形成四個長的開口，並留置分隔部4 7於各開 口 4 6之間。至於其他結構係與圖5之實施例相同。於本 實施例，由於底板1 2 c之分隔部4 7可支承第一金屬光 罩1 2 B，因而可獲得抑制第一金屬光罩1 2 B之變形（ 彎曲）的優點。 再者，各開口 4 6之縱向（Y方向）長度雖也可作成 形成一致於窗口 1 8之縱向長度，但理想爲各開口 4 6之 縱向長度形成較窗口 1 8之縱向少微大爲佳。 以上所說明之實施例，均爲了賦適當之張力給予第二 金屬光罩13，而構成以壓縮盤簧來推壓固定該第二金屬 光罩1 3 —端之滑動器2 3的結構，但也可替代該壓縮盤 簧而使用張簧（拉簧）或板簧。又爲了移動滑動器2 3， 也可替代使用彈簧而使用螺絲等。再者，雖以固定側光罩 夾子20來固定底板12、 12A、 12C等，但也可由 點熔接等來固定。 如以上所說明，本發明之光罩裝置係重疊具備用於限 制蒸鍍範圍用的複數（個）窗口之第一金屬光罩，和具備 以微小間隔成平行排列多數之微小縫隙於覆蓋前述複數窗 口之大小區域所構成之（百葉窗狀的）遮蔽部及其兩端的 保持部之第二金屬光罩來構成。而該第二金屬光罩因構成 爲能以朝前述縫隙之長軸方向拉伸狀態來定置的結構，因 而，在製造有機E L元件時之真空蒸鍍過程，即使配置極 爲微小縫隙成爲微小間隔之高精密光罩，也可令縫隙成爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------批衣------、訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 558914 A7 B7 五、發明説明（15) 正直狀態且保持成所定之間距狀態來配置多面於基板表面 。因此，具有所謂由真空蒸鍍來使高精密之圖型蒸鍍多面 於基板上且能以良好的生產性來形成之效果。 (第2實施形態） 以下，將說明所附上之圖所示的本發明之理想實施例 。圖7係以分解有關本發明之一實施例的真空蒸鍍用多版 面光罩裝置之主要零件來顯示的槪略斜視圖，圖8 ( a ) 、（b )、 （ c )係顯示進行組裝該多版面光罩裝置之過 程的槪略斜視圖，圖9係從底板側觀看組裝狀態之多版面 光罩裝的槪略底面圖，圖1 〇 ( a )、 （ b )、 （ c )係 各別顯示圖9之A - A箭標記所觀看之槪略剖面圖、B -B箭標記所觀看之槪略剖面圖、與（b )爲同一部分令縫 隙展延於有效光罩部外側之狀態的圖。整體以參照符號 1 1 1來表示之多版面光罩裝置，以大的構件來分別時， 具備有底板1 1 2、第一金屬光罩1 1 3、第二金屬光罩 1 1 4及光罩拉伸保持手段1 1 5。以下，將說明各零件 底板112係如後述，在其上安裝第一金屬光罩 1 1 3和以施加張力於第二金屬光罩1 1 4之狀態來組裝 ，且具備有可保持要蒸鍍之基板1 1 7於其上的強度者。 又底板1 1 2具備有可令由第一金屬光罩1 1 3和第二金 屬光罩1 1 4所形成之複數有效光罩部1 1 8全部露出之 大小的開口部1 2〇。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 、11 線 經濟部智慧財產场員工消費合作社印製 -18- 經濟部智慈財產局g(工消費合作社印製 558914 A7 B7 五、發明説明（16) 第一金屬光罩1 1 3係由厚度爲50〜200// m左 右4 2合金、因鋼等之金屬板所形成者，而具備有朝向縱 橫向排列各複數個之大致相等於所要形成之所定尺寸的有 效光罩部1 1 8 (參照圖9 )大小的窗口 1 2 1之形態， 於本實施例係形成2 4個。再者，於本專利說明書所謂縱 向（圖7之Y-Y方向）係指形成於第二金屬光罩1 1 4 之遮蔽部1 2 3之縫隙成平行的方向，而橫向係指垂直於 縱向之方向者。位於各窗口 1 2 1之橫向兩側之側（邊） 緣1 2 1 a、 1 2 1 a係作用爲有效光罩部1 1 8之兩側 的側緣者，爲此，窗口 1 2 1之橫向的尺寸係設定成相等 於所要求於應形成有效光罩部1 1 8之橫向尺寸。另一方 面，位於各窗口121之縱向兩端之端緣121b、 1 2 1 b係要形成有效光罩部1 1 8兩端之端緣用者，也 可爲位於較其端緣更外側而不形成端緣者。因此，窗口 1 2 1之縱向尺寸只要設定成與所要求於應形成有效光罩 部1 1 8之尺寸相同或較其更大就可，在本實施例係設定 成所要求於有效光罩部1 1 8之尺寸少微大。有效光罩部 1 1 8之具體性大小，係響應於應形成之有機E L元件的 大小而適當地來決定者，例如長度（縱向）爲6 0 m m、 廣度（橫向）爲4 0 m m左右。第一金屬光罩1 1 3之形 成窗口 1 2 1的區域之縱向兩端，配設有要固定、保持第 一金屬光罩1 1 3於底板1 1 2用之保持部1 1 3 a，和 在於其更外側之輔助保持部1 1 3 b，及形成於保持部 1 1 3 a和輔助保持部1 1 3 b之間的易切斷線1 1 3 c 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -19- 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 558914 A7 B7 五、發明説明（17) 。該易切斷線1 1 3 C係配設成令輔助保持部1 1 3 b對 於保持部1 1 3 a來彎曲，就可容易拉斷者，具體地說時 ，係由V字形剖面、U字形剖面等之溝，或連續配置小孔 等所形成。 第二金屬光罩1 1 4係以厚度爲3 0 //m〜1 0 〇 # m左右之不銹鋼等的金屬板所形成者。在遍及第二金屬 光罩1 1 4之橫向的大致整個寬度展延之帶狀區域，配設 有朝縱向（圖7之Y - Y方向）展延之以微小間隔排列的 微小縫隙1 2 3 b之遮蔽部1 2 3。遮蔽部1 2 3之縫隙 1 2 3 b係朝橫向（X - X方向）隔著微小間隔排列，遮 蔽部1 2 3係朝縱向隔著間隔配設有複數個。於本實施例 係配設有4個遮蔽部1 2 3，而各遮蔽部1 2 3係形成爲 可重疊於朝橫向各形成有6個於第一金屬光罩1 1 3之窗 口 1 2 1的各列。遮蔽部1 2 3之縱向（Y - Y方向）的 尺寸乃設定爲相等於應形成之有效光罩部1 1 8的縱向尺 寸，因此，位於遮蔽部1 2 3之縱向兩端的端緣1 2 3 a 、1 2 3 a，將作用爲應形成之所定尺寸的有效光罩部 1 1 8 (參照圖9 )之縱向兩端的端緣。亦即，如圖1 0 (b)所示，第二金屬光罩114之遮蔽部123端緣 1 2 3 a係較第一金屬光罩1 1 3之窗口 1 2 1端緣 1 2 1 b突出於有效光罩部1 1 8中心側，而作用爲要作 爲規定由有效光罩部1 1 8所實施之蒸鍍範圍用的端緣。 形成於遮蔽部1 2 3之縫隙的寬及間距等係響應於應 形成之有機E L元件的所期盼像素數量來適當地加以決定 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -20- 558914 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（18) 者，例如在圖1 0 ( a )予以放大所示，縫隙1 2 3 b之 寬W作爲6 0 # m、形成縫隙1 2 3 b用之金屬部 123c之寬d (最大寬度）作爲120#m。金屬部 1 2 3 c之剖面形狀雖也可爲單純的矩形，但在本實施例 乃作成截頭（圓）錐體，而形成一方開口（圖面爲下側開 口）較另一方爲大。構成爲如此時，當配置基板1 1 7於 第二金屬光罩1 1 4上來蒸鍍時，可令蒸氣從廣闊側之開 口進入，而可獲得所謂能均勻地蒸鍍於基板1 1 7之優點 。再者，要重疊於遮蔽部1 2 3之第一金屬光罩1 1 3的 窗口 1 2 1之橫向尺寸，係設定成可重疊於兩側端緣 1 2 1 a之第二金屬光罩1 1 4的金屬部1 2 3 c之下側 平面，當要重疊第一金屬光罩113和第二金屬光罩 1 1 4時係如圖1 0 ( a )所示，令窗口 1 2 1側緣 1 2 1 a定置於重疊在金屬部1 2 3 c之下側平面的位置 。由而可令位於窗口 1 2 1內之全部縫隙1 2 3 b能有效 地蒸鍍其整個寬度W。 於圖7，在第二金屬光罩1 1 4之遮蔽部1 2 3形成 區域的縱向兩側，配置有要固定、保持第二金屬光罩 1 1 4於底板1 1 2及滑動器（詳細將後述之）用之保持 部1 1 4 a、和其外側之輔助保持部1 1 4 b，及形成於 保持部1 1 4 a和輔助保持部1 1 4 b之間的易切斷線 1 1 4 c。該易切斷線1 1 4 c係配設成令輔助保持部 1 1 4 b對於保持部1 1 4 a彎曲時，可容易加以拉斷時 。又形成爲帶狀之遮蔽部1 2 3兩側，形成有要連結兩側 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------批衣------、訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -21 - 558914 經濟部智慧財產局段工消費合作#印^ A7 B7 五、發明説明（19) 保持部1 1 4 a、 1 1 4 a用之支撐部1 1 4 d。該支撐 部1 1 4 d係爲了加強遮蔽部1 2 3而配設者。亦即，遮 蔽部1 2 3雖構成具有多數之金屬部1 2 3 c，但金屬部 1 2 3 c因極爲細，以致遮蔽部1 2 3之剛性極爲低，因 而僅有遮蔽部1 2 3在操作上極爲困難（會馬上變形而成 爲不良品）之狀況爲多，因此，予以形成支撐部1 1 4 d 、1 1 4 d於其兩側來加強。支撐部1 1 4 d之寬度雖愈 廣闊愈能增大加強效果，但作成寬闊時，當要拉伸第二金 屬光罩1 1 4來排列縫隙爲整齊時，就會增大所需要之張 力，而致使作業（操作）性成爲不佳。考量該情況，支撐 部1 1 4 d之寬理想爲作成2〜5 m m左右爲佳。再者， 倘若並不需要加強時，可省略支撐部1 1 4 d (亦即，形 成遮蔽部12 3遍及第二金屬光罩11 4之整個寬度）。 於圖7〜圖9中，光罩拉伸保持手段1 1 5乃具備有 ••用於固定第二金屬光罩1 1 4 一端之保持部1 1 4 a於 底板1 1 2用的固定側固定機構（在本實施例爲點熔接） 1 2 5 ;配置於形成底板1 1 2開口 1 2 0區域之與固定 側固定機構1 2 5爲相反側處，且從固定側固定機構 1 2 5可朝分離方向及接近方向移動之滑動器1 2 6 ;固 定於底板1 1 2，而保持滑動器1 2 6可移動之導桿 1 2 7 ;用於固定第二金屬光罩1 1 4另一端之保持部 1 1 3 a用的移動側固定機構1 2 8 (本實施例爲點熔接 );及用於從固定側固定機構1 2 5朝分離方向移動滑動 器1 2 6，以對於由固定側固定機構1 2 5及移動側固定 ^^度適用中國國^榇準（〇^)八4規格（210乂297公釐) ~ ' -22- —裝 i 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 558914 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 五、發明説明（2〇) 機構1 2 8所保持之第二金屬光罩1 1 4賦予所期盼的張 力用之移動手段1 3 0等。移動手段1 3 0乃具備有固定 於底板1 1 2之支承棒1 3 1 ,及保持於該支承棒1 3 1 ，而由配置於底板1 1 2和滑動器1 2 6之間的壓縮盤簧 1 3 2之彈性手段。導桿1 2 7前端則安裝有防止拔出滑 動器126用之止動器134。 接著，說明使用上述結構之多版面光罩裝置1 1 1來 對於基板進行真空蒸鍍的動作。首先，以適當之工模（j i g )夾住第一金屬光罩1 1 3兩端的輔助保持部1 1 3 b、 1 1 3 b來拉伸，以令第一金屬光罩1 1 3形成幾乎不具 有變形或彎曲之平坦狀態，並以該狀態下來載置於底板 1 1 2上之所定位置，且由點熔接1 3 6 (參照圖8 )來 固定於底板1 1 2。而後，從易切斷線1 1 3 c處切開外 側之輔助保持部1 1 3 b、1 1 3 b來去除。再者，倘若 以厚的金屬來形成第一金屬光罩1 1 3等，以致即使未施 加張力也可成爲不具有變形或彎曲之狀態時，當然並不需 要施加張力。又該時，也可省略輔助保持部1 1 3 b、 113b或易切斷線113c、113c等。 其次，在組裝第二金屬光罩1 1 4於底板1 1 2之前 ，以虎鉗等來使滑動器1 2 6朝要壓縮壓縮盤簧1 3 2之 方向移動，並保持成該狀態。而以適當之工模夾住第二金 屬光罩1 1 4兩端的輔助保持部1 1 4 b、 1 1 4 b來拉 伸，以令第二金屬光罩1 1 4成爲幾乎不具有變形或彎曲 之平坦狀態，並載置該第二金屬光罩1 1 4於底板及第一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 558914 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印^ 五、發明説明（21 ) 金屬光罩1 1 3上，配置遮蔽部1 2 3於可覆蓋全部窗口 1 2 1之位置且對於窗口 χ 2 1實施定位，而由點熔接 1 2 5 (參照圖8 )固定一方保持部1 1 4 a於底板 1 1 2，且以點熔接1 2 8固定另一方保持部1 1 4 a於 滑動器1 2 6。然後，從易切斷線χ i 4 c之處切開外側 之輔助保持部1 1 4 b、1 1 4 b來去除。接著，釋放虎 鉗而使滑動器1 2 6成爲移動自如。由而，壓縮彈簧 1 3 2會朝外（面）方（向）推動滑動器1 2 6，使得會 朝縱向，亦即圖8 ( b )以箭標記F所示之方向施加均勻 的張力於第二金屬光罩1 1 4。以如此，第二金屬光罩 1 1 4會成爲朝平行方向以均勻之張力來拉伸縫隙的狀態 ，而使遮蔽部1 2 3以正直且排成爲一定間距的狀態被保 持。遮蔽部1 2 3因形成於遍及大致第二金屬光罩1 1 4 橫向整個寬度所展延之帶狀區域且成均勻地形成多數縫隙 於整個區域，因而可由滑動器1 2 6賦予張力於遮蔽部 1 2 3來賦予成極爲均勻之張力於遮蔽部1 2 3之各金屬 部1 2 3 c (參照圖1 〇 )，爲可維持縫隙精度。再者， 當要對於形成於第一金屬光罩113之各窗口121重疊 遮蔽部1 2 3時，可思及如圖1 9所示，使用僅在對應於 各窗口部分形成有遮蔽部4 Ο A之第二金屬光罩4 0。然 而，若使用該結構之第二金屬光罩40時，因在一片之金 屬光罩內，混合存在有剛性小之遮蔽部4 0 A和剛性大之 分隔部4 0 B極爲多，因此，要均勻地施加張力給予全部 遮蔽部會成爲極困難，使得容易產生變形，而難以確保縫 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、V5
T 良 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24- 經濟部智慧財產局W工涓費合作社印製 558914 A7 ____B7_ 五、發明説明（22 ) 隙精度。但對於該狀況，本實施例所使用之第二金屬光罩 1 1 4，大致遍及整個寬度之帶狀區域予以均勻地形成遮 蔽部1 2 3且在各遮蔽部1 2 3、 1 2 3之間，朝橫向配 置了無縫隙之剛性大的分隔部1 1 4 e之構造，因此，可 消除該缺點且可容易地確保縫隙精度。 以如上述來組裝第一金屬光罩113和第二金屬光罩 1 1 4於底板1 1 2，就可形成有效光罩1 1 8 (參照圖 9)於重疊第一金屬光罩113和第二金屬光罩114之 遮蔽部1 2 3之位置。 而後，如圖8 ( c )所示，進行對準應蒸鍍之基板 1 1 7於第二金屬光罩1 1 4上且載置於其上，接著，以 基板用夾子1 4 0來固定基板1 1 7於底板1 1 2。由以 上而可配置複數之有效光罩118於基板117表面。然 後，放入整體於蒸鍍機，且令底板1 1 2朝向蒸發源來進 行蒸鍍。由以上之過程，將如圖1 0 ( a )、 （ b )所示 ，面臨於第一金屬光罩113之窗口121之基板117 表面會經由第二金屬光罩1 1 4之縫隙1 2 3 b來實施蒸 鍍，而可獲得多面之高精密圖型。 而在本實施例，第一金屬光罩1 1 3因形成有大致相 等於有效光罩1 1 8大小之窗口 1 2 1，因而形成於第二 金屬光罩1 1 4之遮蔽部1 2 3，並不一定需要限定於形 成如圖7所示朝縱向分割成複數之構造（留置無縫隙之分 隔部1 1 4 e於遮蔽部1 2 3、 1 2 3之間的構造），可 思及令整體作爲一遮蔽部也可。然而，當重疊共同之障壁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ϋ I I I I 1¾衣 I 訂 I ~~ 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -25- 558914 A7 B7 五、發明説明（23) 部於朝縱向排列之複數窗口來形成有效光罩部時，將會形 成如圖1 0 ( c )所示，令縫隙1 2 3從一個窗口相通至 相鄰之窗口爲止的構造。當以該構造來進行蒸鍍操作時， 蒸鍍用之蒸氣有可能如箭標記1 5 2所示，會產生超過第 一金屬光罩1 1 3之窗口 1 2 1端緣1 2 1 b區域而繞入 之現象。當產生該繞入現象時，就會產生所謂蒸鍍範圍之 界線成爲不明確。但在本發明，因朝縱向隔著適當間隔來 配置遮蔽部1 2 3，且在其間予以介居無縫隙之分隔部 1 1 4 e，因此，可解除該缺點而可實施良好之蒸鍍。 圖7〜圖1 0所示之實施例，雖對於第一金屬光罩 1 1 3形成窗口 1 2 1能對應於各有效光罩1 1 8，但也 可構成該窗口 1 2 1成爲朝縱向接連之連續的形狀。圖 1 1、圖1 2係顯示該狀態時之實施例者。於本實施例， 第一金屬光罩1 1 3A乃具有窗口 1 2 1A，而該窗口 1 2 1 A係被形成於所要形成之朝縱向排列的有效光罩部 1 1 8之各列成對應的帶狀區域。而其他之構造係與圖7 〜圖1 〇所示的實施例相同。於圖1 1、圖1 2之實施例 係以重疊朝縱向展延之長的窗口 1 2 1 A、和朝橫向展延 之長的遮蔽部1 2 3所交叉之區域，將成爲有效光罩部 1 1 8。因此，甚至在本實施例，也可實施具有多面之高 精密圖型。再者，於本實施例，因遮蔽部1 2 3之縱向兩 側的端緣1 2 3 a，將作用爲有效光罩部1 1 8之縱向端 緣，因此，遮蔽部1 2 3之縱向尺寸要設定成相等於有效 光罩部1 1 8所要求之縱向的長度。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —— 并^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -ι·τ» 經濟部智慈財產局Μ工消費合作社印製 -26- 經濟部智慧財產局P貝工消費合作社印製 558914 A7 ______B7 五、發明説明（24 ) 以上所說明之實施例，乃爲了賦予第二金屬光罩 1 1 4、雖構成爲由壓縮盤簧i 3 2來推壓固定有該第二 金屬光罩1 1 4 一端之滑動器1 2 6的結構，但也可由拉 簧或板簧來替代。又要移動滑動器1 2 6，也可替代使用 彈簧而使用螺絲等。
圖1 3、圖1 4係顯示本發明之另一實施例者，於本 實施例，將作爲保持第二金屬光罩成拉著之狀態的光罩拉 伸保持手lx，構成爲使用底板1 1 2 A之一部分來替代使 用滑動器1 2 6或壓縮盤簧1 3 2者。亦即，於本實施例 ，形成用於固定第二金屬光罩1 1 4用之固定區域（例如 ，若以點熔接來固定時係要進行點熔接之區域）1 5 3 a 、1 5 3 b，再在一方固定區域1 5 3 b內側，予以形成 朝橫向展延與該固定區域1 5 3 b成相等或更長之縫隙 1 5 5，且在該縫隙1 5 5兩端，形成有朝底板1 1 2 A 之縱向且從縫隙朝兩側展延之缺口（凹口）1 5 6、
1 5 6。至於固定第一金屬光罩1 1 3A於底板1 1 2A
用之固定區域158a、 158b係配置於底板112A 之固定區域1 5 3 a、 1 5 3 b內側且在縫隙1 5 5之內 側。所以配設凹口 1 5 6、1 5 6，乃爲使夾持於該凹口 1 5 6和底板端部之區域1 6 1的強度成爲較以縫隙 1 5 5和底板端部所夾持之固定區域1 5 3 b的強度變小 ，及以該凹口 1 5 6和內側開口 1 2 0所夾持之區域 1 6 3的強度變小爲其緣故者。構成爲如此時，當如將後 述之令固定區域1 5 3 b朝縱向產生彈性變形時，主要會 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -27- 558914 A7 B7 五、發明説明（25) 使凹口 1 5 6外側區域1 6 1產生變形，而固定區域 1 5 3 b仍維持保持直線性狀態來產生變位。因此，並不 會使固定於固定區域1 5 3 b之第二金屬光罩1 1 4產生 變形等。又同樣地，如將後述之以施加張力於第一金屬光 罩1 1 3 A之狀態下來固定於底板1 1 2 A之固定區域 1 5 8 b時，即使以該張力來拉伸固定區域1 5 8 b，變 形也主要會產生於區域1 6 3，而固定有第一金屬光罩 1 1 3 A之固定區域1 5 8 b仍會維持直線性狀態下來變 位。因此，對於第一金屬光罩113A也不會產生變形等 。再者，當用於固定第一金屬光罩113A用之固定區域 1 5 8 b之剛性大，即使固定第一金屬光罩1 1 3A也幾 乎不產生變位時，凹口 1 5 6就不需要朝縫隙1 5 5內側 ，僅形成於較縫隙1 5 5外側就可。其他之結構則與圖1 、圖1 2所示之實施例相同。 在本實施例，首先，以適當之工模夾住第一金屬光罩 1 1 3 A兩端之輔助保持部1 1 3 b、 1 1 3 b來拉伸， 以令第一金屬光罩113A幾乎無法產生變形或彎曲之平 坦狀態，且以該狀態下載置於底板1 i 2 A上之所定位置 ，並由點熔接來固定兩端之保持部1 1 3 a、 1 1 3 a於 底板1 1 2 A的固定區域1 5 8 a、 1 5 8 b。而後，從 易切斷線1 1 3 c處切開外側之輔助保持部1 1 3 b、 1 1 3 b來去除。接著，使用虎鉗等之工模對於底板 1 1 2 A之固定區域1 5 3 b施加朝向內側之負載P，以 令固定區域1 5 3 b朝內側產生彈性變形。該時，因由縫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -28- 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 558914 A7 B7 五、發明説明（26) 隙1 5 5而使固定區域1 5 3 b從固定著第一金屬光罩 1 1 3A之固定區域1 5 8 b成分離著，因而固定區域 1 5 3 b即使形成彈性變形，該內側之固定區域8b 並不會受到影響，因此，固定於固定區域1 5 8b之第一 金屬光罩1 1 3 A並不會產生變形或彎曲。以與操作固定 區域1 5 3 b產生彈性變形同時，以適當之工模夾住第二 金屬光罩11 4兩端的輔助保持部11 4b、 11 4b來 拉伸、以實施所期盼之拉力（張力）F於第二金屬光罩 1 1 4，且以g亥狀悲來載置於底板1 1 2 A之所定位置， 並由點熔接來固定兩端之保持部1 1 4 a、 1 1 4 a於底 板112A的固定區域153a、 153b。而後，從易 切斷線1 1 4 c處切開外側之輔助保持部1 1 4 b、 114b來去除，且拆卸使底板112A之固定區域 1 5 3 b產生變形之虎鉗等的工模。由而，第二金屬光罩 1 1 4可保持成由底板1 1 2A之固定區域1 5 3 a、 1 5 3 b來施加張力之狀態。當要安裝第二金屬光罩 1 1 4於底板1 1 2 A時，予以選擇所施加於第二金屬光 罩1 1 4之張力F可形成爲令遮蔽部1 2 3之多數縫隙保 持成正直且排成一定間距的張力，而所施加於底板 1 1 2A之固定區域1 5 3b的負載（載重）P予以設定 成相等於要施加於第二金屬光罩1 1 4的張力F。該狀態 時，即使在固定了第二金屬光罩1 1 4於底板1 1 2A， 且解除所施加於固定區域1 5 3 b之載重P後，在於第二 金屬光罩1 1 4，仍會保持著施加有在安裝時所施加之張 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -29- 經濟部智慈財產局a(工消費合作社印製 558914 A7 B7 五、發明説明（27) 力F的狀態。因此，甚至在本實施例，也可實施具有多面 之高精密圖型。再者，以本實施時，因不需要使用滑動器 1 2 6或壓縮盤簧1 3 2等之零件，因而構造成爲簡單且 可意圖減低成本。 再者，於上述說明，當要安裝第二金屬光罩1 1 4於 底板1 1 2 A時，令所期盼之張力F作用於第二金屬光罩 114，同時施加相等於該張力F之載重P於底板 1 12A的固定區域153b。而構成如此時，甚至固定 第二金屬光罩1 1 4於底板1 1 2A之後，也可獲得保持 著賦予著初始所賦予之張力F的狀態之優點。然而用於賦 予第二金屬光罩114之張力F和所施加於固定區域 1 5 3 b之載重P，並不一定作成相同。但在如此之令張 力F和載重P有相異時，會使第二金屬光罩114在固定 於底板1 1 2 A下，解除載重p之後產生變化，因此，只 要初始所賦予之張力F及載重p予以設定成會在產生變化 後能成爲所期盼之張力，就不會產生變化。 再者，於圖1 3及圖1 4之實施例，雖指出配設縫隙 1 5 5和凹口 1 5 6於底板1 1 2 A之例子，但也可使用 作爲底板並不配設有縫隙及凹口之底板。 以上之實施例，雖均形成大的一個開口 1 2 0於底板 112、 1 1 2 A，以令所有之全部有效光罩部1 1 8能 成露出，但該開口 1 2 0也可作成爲分割成複數個。圖 1 5係顯示該狀態時之實施例者，在底板1 1 2 B形成4 個長的開口 1 6 5，且留置分隔部1 6 6於各開口 1 6 5 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X 297公釐） I I裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 558914 A7 B7___ 五、發明説明（28 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 之間。於本實施例，底板1 1 2 B之分隔部因可支承第一 金屬光罩1 1 3、第二金屬光罩1 1 4，因而可獲得能抑 制第一金屬光罩1 1 3、第二金屬光罩1 1 4之彎曲的優 點。 再者，如圖16所示，也可令底板112A具有第一 金屬光罩之功能。於圖16中，底板（第一金屬光罩） 1 1 2A具有複數，例如6個之窗口 1 2 1A。各窗口 1 2 1A係朝底板1 1 2A之縱向（Y方向）展延。又在 具有6個窗口121A之底板112A上，配置有與圖 1 3所示之第二金屬光罩同一構造的第二金屬光罩1 1 4 〇 以如此，在圖1 6中，因底板1 1 2A可作爲第一金 屬光罩來產生作用，因而，除了底板112A之外，並不 需要另設另一體之第一金屬光罩。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印繁 如以上所說明，本發明之光罩裝置係構成爲以重疊具 有窗口於底板之第一金屬光罩，及具備遮蔽部之第二金屬 光罩，以形成複數之有效光罩部的結構。該遮蔽部係可令 縫隙能朝縱向來形成於大致遍及第二金屬光罩之整個寬度 之帶狀區域。又複數之遮蔽部以隔著間隔朝縱向來配置， 且構成朝平行於遮蔽部之縫隙方向實施張力作用來排列縫 隙成整齊於該第二金屬光罩。因此，在各有效光罩部，甚 至配置極爲微小之間隙成爲微小間隔的高精密光罩也可令 其保持縫隙成爲正直之狀態且成爲所定的間距，因此，能 形成由真空蒸鍍（真空汽相澱積）所作成之高精密圖型以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -31 - 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 558914 A7 B7 五、發明説明（29 ) 良好之生產性來蒸鍍成多面於基板上。又不會存在有形成 如朝縱向連通於相鄰接的有效光罩部間之縫隙，使得並不 會產生在具有如此狀態會產生之繞入蒸氣的現象，因此， 可令蒸鍍範圍成爲明確。以致採用本發明之光罩裝置時， 會在製造有機E L元件之過程，可獲得所謂以高精密圖型 且以良好生產性來形成被動型及主動型之低分子有機層， 或被動性之陰極電極的效果。 〔圖式之簡單說明〕 圖1 ( a )〜（c )係顯示有關本發明第1實施形態 之真空蒸鍍用多版面光罩裝置的主要零件圖。 圖2係圖1所示之多版面光罩裝置以未組裝第二金屬 光罩及基板的狀態來顯示之槪略平面圖。 圖3係朝箭標記A - A方向觀看圖2所示之裝置的槪 略端面圖。 圖4係圖1所示之多版面光罩裝置以組裝第二金屬光 罩的狀態來顯示之槪略平面圖。 圖5係分解有關本發明的其他實施例之真空蒸鍍用多 版面光罩裝置的主要零件來顯示的槪略斜視（立體）圖。 圖6係分解有關本發明的另一實施例之真空蒸鍍用多 版面光罩裝置的主要零件來顯示之槪略斜視圖。 圖7係分解有關本發明的第2實施形態之真空蒸鍍用 多版面光罩裝的主要零件來顯示之槪略斜視圖。 圖8 ( a )〜（c )係顯示進行組裝多版面光罩裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） ---------裝------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -32- 558914 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印繁 A7 _ B7 五、發明説明（3〇) 之過程的槪略斜視圖。 圖9係組裝狀態之多版面光罩裝置從底板側觀看的槪 略底面圖。 圖1 0 ( a )〜（c )係從圖9之A - A箭標記觀看 的槪略剖面圖及從圖9之B - B箭標記觀看的槪略剖面圖 〇 圖1 1係本發明之其他實施例以分解主要零件來顯示 的槪略斜視圖。 圖1 2係圖1 1所示之實施例以組裝狀態且從底板側 觀看來顯示的槪略底面圖。 圖1 3係本發明之再另一實施例予以分解主要零件來 顯示的槪略斜視圖。 圖1 4係圖1 3所示之實施例的底板之槪略平面圖。 圖15係本發明之再另一實施例予以分解主要零件來 顯不的槪略斜視圖。 圖1 6係本發明之再另一實施例予以分解主要零件來 顯示的槪略斜視圖。 圖1 7係顯示有機E L元件之圖。 圖1 8係顯示具有遮蔽部之金屬光罩圖。 圖1 9係顯示具有遮蔽部之金屬光罩圖。 〔符號之說明〕 1:透明基板 2 :陽極（電極） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x297公釐） 批衣1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -33- 558914 A7 B7 經濟部智慧財產局貸工消費合作社印製 五、發明説明（31) 3 :霍爾輸送層 4 :有機層（發光層） 5 :電子輸送層 6 :陰極（電極） 7 :封閉罐 8 ·金屬光罩 8 A :遮蔽部 11:多版面光罩裝置 12:底板（第一金屬光罩） 12A、12B、12C:底板（第一金屬光罩） 1 3 :第二金屬光罩 1 3 A :遮蔽部 1 3 B :保持部 1 3 a :縫隙 1 3 b :金屬部 1 3 c :支撐部 14:光罩拉伸保持手段 1 5 :基板夾住機構 1 7 :基板 1 8 ··窗口 1 8 a :有效光罩部 2 0 :固定側光罩夾子（夾持器） 2 3 :滑動器 2 4 :導桿 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝·
、1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -34- 558914 A7 B7 五、發明説明（32) 2 5 :移動側光罩夾子 2 1、2 6 :螺絲 2 8 :移動手段 2 9 :支承棒 3 0 :壓縮盤簧 3 2 :止動器 3 4 :基板夾子 3 5 :螺絲 40:第二金屬光罩 4 0 A :遮蔽部 4 0 B :分隔部 4 5 :開口 4 6 :開口 4 7 :分隔部 111:多版面光罩裝置 112、 1 1 2 A :底板 113、 113A:第一金屬光罩 1 1 3 a :保持部 1 1 3 b :輔助保持部 1 1 3 c :易切斷線 1 1 4 :第二金屬光罩 1 1 4 a :保持部 1 1 4 b :輔助保持部 1 1 4 c :易切斷線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -35- 558914 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（33) 1 1 4 d :支撐部 1 1 4 e :分隔部 1 1 5 :光罩拉伸保持手段 1 1 7 :基板 118:有效光罩部1 2 0 ··開口 12 1、1 2 1 A :窗口 1 2 1 a :側緣（橫向） 1 2 1 b :端緣（縱向） 1 2 3 :遮蔽部 1 2 3 a :端緣 1 2 3 b :縫隙 1 2 3 c ·金屬部 1 2 5 :固定側固定機構（點熔接）1 2 6 :滑動器 1 2 7 :導桿 1 2 8 :移動側固定機構 1 3 0 :移動手段 1 3 1 :支承棒 1 3 2 :壓縮盤簧 1 3 4 :止動器 1 3 6 :點熔接 1 5 2 :箭標記（蒸氣流向） 153a、 153b:固定區域 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂 線 -36- 558914 A7 B7 五、發明説明（34)
(5 部度力重 隙口 1 域域 口隔寬拉載度 縫缺、區區開分部 €{寬 :: a ........ 屬力載隙 5681356 金 張負縫 5556666 : : : IX IX 1± 1± IX 一—- IQ 0± W □ 凹 域 區 定 固 b 8 度 寬 大 最 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 經濟部智½財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -37-

Claims (1)

  1. 558914 8 8 8 8 ABCD 六、申請專利範圍1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 一種真空蒸鍍用多版面光罩裝置，係具有朝縱向 及橫向配置之複數有效光罩部的真空蒸鍍用多版面光罩裝 置，其特徵爲： 具備有複數個窗口的第一光罩，及配置於第一光罩上 而包括有朝縱向延伸之多數微小縫隙的遮蔽部之第二光罩 第二光罩之遮蔽部係配置可覆蓋第二光罩之至少全部 窗口的橫向的整個區域，而由遮蔽部和窗口來形成有效光 罩部。 2 .如申請專利範圍第1項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中具有一對形成於遮蔽部橫向兩側之支撐部。 3 ·如申請專利範圍第1項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中第一光罩之窗口部形成對應有效光罩部的形狀 ，而第二光罩之遮蔽部係沿縱向越過複數個窗口延伸。 4 ·如申請專利範圍第3項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中第一光罩具有底板的功能，且在該底板上配設 可以保持第二光罩朝縱向拉伸狀態的光罩拉伸保持手段。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 ·如申請專利範圍第3項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中第一光罩係配置於具有開口之底板上，且在該 底板上配設可以將第二光罩縱向拉伸的狀態下保持的光罩 拉伸保持手段。 6 ·如申請專利範圍第4或5項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中光罩拉伸保持手段具有保持第二光罩端部 的同時可相對於底板自由移動的滑動器，及對於底板朝分 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -38- 558914 A8 B8 C8 D8 &、申請專利範圍2 離方向移動滑動器用的移動手段。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 ·如申請專利範圍第6項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中移動手段爲產生彈力作用的彈性手段。 8 ·如申請專利範圍第5項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中底板開口覆蓋著第一光罩的窗口之全部區域。 9 .如申請專利範圍第5項之真空蒸鍍用多版面光罩 裝置，其中在底板上形成朝橫向延伸的複數個開口，而各 開口的縱向長度係對應第一光罩之窗口的縱向長度。 1 〇 ·如申請專利範圍第1項之真空蒸鍍用多版面光 罩裝置，其中配設有複數個第二光罩的遮蔽部的同時，各 遮蔽部係以縱向互相隔著預定間隔來配置。 1 1 ·如申請專利範圍第1 0項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中第二光罩之各遮蔽部是沿著縱向僅延伸有 效光罩部的縱向長度。 1 2 ·如申請專利範圍第1 0項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中第一光罩的各窗口係形成對應有效光罩部 的形狀。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 3 ·如申請專利範圍第1 0項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中第一光罩的各窗口是沿著縱向越過複數有 效光罩部而延伸。 1 4 ·如申請專利範圍第1 0項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中第一光罩具有底板的功能，且在該底板上 配設可以保持第二光罩朝縱向拉伸狀態的光罩拉伸保持手 段0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 558914 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍3 1 5 .如申請專利範圍第1 〇項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中第一光罩係配置於具有開口之底板上，且 在該底板上配設可以將第二光罩縱向拉伸的狀態下保持的 光罩拉伸保持手段。 1 6 .如申請專利範圍第1 4或1 5項之真空蒸鍍用 多版面光罩裝置，其中光罩拉伸保持手段具有保持第二光 罩端部的同時可相對於底板自由移動的滑動器，及對於底 板朝分離方向移動滑動器用的移動手段。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中移動手段爲產生彈力作用的彈性手段。 1 8 .如申請專利範圍第1 5項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中底板之開口覆蓋著第一光罩之窗口的全部 區域。 1 9 ·如申請專利範圍第1 5項之真空蒸鍍用多版面. 光罩裝置，其中在底板上形成朝橫向延伸的複數個開口， 而各開口的縱向長度係對應第一光罩之窗口的縱向長度。 2 0 .如申請專利範圍第1 5項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中底板具有將第二光罩固定在縱.向兩端部的 固定區域，且在一側固定區域內側形成橫向延伸的縫隙， 而預先使該一側固定區域朝內側變形以保持第二光罩朝縱 向拉伸的狀態。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項之真空蒸鍍用多版面 光罩裝置，其中在縫隙兩端配設縱向延伸的凹口。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
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