JP2001018358A - 印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置 - Google Patents
印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置Info
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- JP2001018358A JP2001018358A JP11193162A JP19316299A JP2001018358A JP 2001018358 A JP2001018358 A JP 2001018358A JP 11193162 A JP11193162 A JP 11193162A JP 19316299 A JP19316299 A JP 19316299A JP 2001018358 A JP2001018358 A JP 2001018358A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シート版としてのマスクに形成される各開口
の歪みや位置ズレ、及び、印刷時における該マスクのシ
ワや破損の発生を防止することができる印刷版材、印刷
版、及び、該印刷版を用いた印刷装置を提供すること。 【解決手段】 ペースト８を被印刷体（例えばウエハー
３０）に印刷するための印刷パターンが形成されるシー
ト版としてのマスク２の対向する２つの辺のみに、印刷
装置に対して該マスク２をほぼ平坦に保持して取り付け
るためのマスク枠１としての一対の枠部材１Ａ，１Ｂ
を、該マスク２にテンションを付与しないように取り付
けて印刷マスク１０Ａを構成する。これにより、該マス
ク２にテンションが付与されないので、該マスク２に開
口率の高い開口を形成する時や、該マスク２に各枠部材
１Ａ，１Ｂを取り付けるときなどに、各開口間のリブが
伸ばされて各開口の寸法精度に狂いが生じたり、各開口
の中心位置に位置ズレが生じたりしない。
の歪みや位置ズレ、及び、印刷時における該マスクのシ
ワや破損の発生を防止することができる印刷版材、印刷
版、及び、該印刷版を用いた印刷装置を提供すること。 【解決手段】 ペースト８を被印刷体（例えばウエハー
３０）に印刷するための印刷パターンが形成されるシー
ト版としてのマスク２の対向する２つの辺のみに、印刷
装置に対して該マスク２をほぼ平坦に保持して取り付け
るためのマスク枠１としての一対の枠部材１Ａ，１Ｂ
を、該マスク２にテンションを付与しないように取り付
けて印刷マスク１０Ａを構成する。これにより、該マス
ク２にテンションが付与されないので、該マスク２に開
口率の高い開口を形成する時や、該マスク２に各枠部材
１Ａ，１Ｂを取り付けるときなどに、各開口間のリブが
伸ばされて各開口の寸法精度に狂いが生じたり、各開口
の中心位置に位置ズレが生じたりしない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷版材、印刷
版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置に関し、詳
しくは、ペーストを被印刷体に印刷するための印刷パタ
ーンが形成されたマスク又はスクリーンなどのシート版
を印刷装置に取り付けるためのシート版取付部材に取り
付けた構成の印刷版、該印刷パターンが形成される以前
のシート版材を該シート版取付部材に取り付けた構成の
印刷版材、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置に関
するものである。
版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置に関し、詳
しくは、ペーストを被印刷体に印刷するための印刷パタ
ーンが形成されたマスク又はスクリーンなどのシート版
を印刷装置に取り付けるためのシート版取付部材に取り
付けた構成の印刷版、該印刷パターンが形成される以前
のシート版材を該シート版取付部材に取り付けた構成の
印刷版材、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーム半田、インク、接着剤、
ペースト状の樹脂など（以下、これらをペーストとい
う）を、例えば、プリント基板やウエハーなどの被印刷
体上に印刷する印刷版として、該ペーストを被印刷体に
印刷するための印刷パターンが形成されたシート版を、
印刷装置に取り付けるためのシート版取付部材としての
シート版取付枠に取り付けた構成の印刷版が知られてい
る。この種の印刷版としては、印刷パターンが形成され
たシート版を被印刷体の印刷面に対向配置して、該シー
ト版上に一様にペーストを補給し、ウレタンブレードな
どからなるスキージで該シート版上に補給されたペース
トをスキージングして、該シート版に補給したペースト
を被印刷体の印刷面にタッキングさせた後、該シート版
を被印刷体から離間するステンシルタイプの印刷に用い
られる印刷用マスクや、捺染や看板印刷などに使用され
る一般的なシルクスクリーン及びプラズマディスプレイ
パネルのバリアリブを印刷形成する際に用いられるステ
ンレスメッシュなどが知られている。
ペースト状の樹脂など（以下、これらをペーストとい
う）を、例えば、プリント基板やウエハーなどの被印刷
体上に印刷する印刷版として、該ペーストを被印刷体に
印刷するための印刷パターンが形成されたシート版を、
印刷装置に取り付けるためのシート版取付部材としての
シート版取付枠に取り付けた構成の印刷版が知られてい
る。この種の印刷版としては、印刷パターンが形成され
たシート版を被印刷体の印刷面に対向配置して、該シー
ト版上に一様にペーストを補給し、ウレタンブレードな
どからなるスキージで該シート版上に補給されたペース
トをスキージングして、該シート版に補給したペースト
を被印刷体の印刷面にタッキングさせた後、該シート版
を被印刷体から離間するステンシルタイプの印刷に用い
られる印刷用マスクや、捺染や看板印刷などに使用され
る一般的なシルクスクリーン及びプラズマディスプレイ
パネルのバリアリブを印刷形成する際に用いられるステ
ンレスメッシュなどが知られている。
【０００３】また、上記印刷用マスクとしては、 、金属板にパンチプレスにより印刷パターンを形成し
たパンチプレスマスク、金属板にＹＡＧレーザにより該
印刷パターンを形成したＹＡＧレーザマスク、 、感光性樹脂を金属板両面に塗布してレジスト層を形
成し、印刷パターンを描いたフォトマスクを介して露光
し、次いでレジスト層を現像することにより、印刷パタ
ーンに対応する部分のレジスト層を除去し、それをエッ
チングして金属板に印刷パターンを形成したエッチング
マスク、 、メッキ母材上にやや厚めの感光性樹脂層を形成し、
印刷パターンを描いたフォトマスクを介して露光し、次
いで感光性樹脂層を現像することにより、印刷パターン
に対応する部分以外の感光性樹脂層を除去し、印刷パタ
ーンに対応する部分の感光性樹脂層を残して雌型を作製
し、この雌型周囲の面にマスクとして必要な厚さにメッ
キ（主にニッケル）を行い、印刷パターンを金属板に形
成したアディティブマスクなどのメタルマスクが知られ
ている。
たパンチプレスマスク、金属板にＹＡＧレーザにより該
印刷パターンを形成したＹＡＧレーザマスク、 、感光性樹脂を金属板両面に塗布してレジスト層を形
成し、印刷パターンを描いたフォトマスクを介して露光
し、次いでレジスト層を現像することにより、印刷パタ
ーンに対応する部分のレジスト層を除去し、それをエッ
チングして金属板に印刷パターンを形成したエッチング
マスク、 、メッキ母材上にやや厚めの感光性樹脂層を形成し、
印刷パターンを描いたフォトマスクを介して露光し、次
いで感光性樹脂層を現像することにより、印刷パターン
に対応する部分以外の感光性樹脂層を除去し、印刷パタ
ーンに対応する部分の感光性樹脂層を残して雌型を作製
し、この雌型周囲の面にマスクとして必要な厚さにメッ
キ（主にニッケル）を行い、印刷パターンを金属板に形
成したアディティブマスクなどのメタルマスクが知られ
ている。
【０００４】更に、上記メタルマスクの欠点を改良し高
精細な微少ピッチの印刷パターンを形成することがで
き、被印刷体上に微細なピッチの印刷を行うことができ
る印刷版としては、プラスチック板にエキシマレーザな
どにより印刷パターンを形成したプラスチックマスクが
知られている（特開平７−８１０２７号公報）。なお、
以下の説明においては、説明の便宜を図るために、ペー
ストを被印刷体に印刷するための印刷パターンが形成さ
れる以前のシート版材をマスク材、該シート版材に印刷
パターンが形成されたシート版をマスク、印刷装置に取
り付けるためのシート版取付枠に該シート版材を取り付
けたものを印刷マスク材、該シート版取付枠に該シート
版を取り付けた上記印刷用マスク及びシルクスクリーン
などの各種の印刷版を総称して印刷マスクと呼称し、上
記シート版取付枠をマスク取付枠ということにする。ま
た、後述するマスク材に形成される印刷パターンとして
の開口とは、大小様々な径や形状からなる貫通開口、又
は、大小様々な径や形状及び深さからなる凹部、あるい
は、該貫通開口と該凹部とが混在したものをいう。
精細な微少ピッチの印刷パターンを形成することがで
き、被印刷体上に微細なピッチの印刷を行うことができ
る印刷版としては、プラスチック板にエキシマレーザな
どにより印刷パターンを形成したプラスチックマスクが
知られている（特開平７−８１０２７号公報）。なお、
以下の説明においては、説明の便宜を図るために、ペー
ストを被印刷体に印刷するための印刷パターンが形成さ
れる以前のシート版材をマスク材、該シート版材に印刷
パターンが形成されたシート版をマスク、印刷装置に取
り付けるためのシート版取付枠に該シート版材を取り付
けたものを印刷マスク材、該シート版取付枠に該シート
版を取り付けた上記印刷用マスク及びシルクスクリーン
などの各種の印刷版を総称して印刷マスクと呼称し、上
記シート版取付枠をマスク取付枠ということにする。ま
た、後述するマスク材に形成される印刷パターンとして
の開口とは、大小様々な径や形状からなる貫通開口、又
は、大小様々な径や形状及び深さからなる凹部、あるい
は、該貫通開口と該凹部とが混在したものをいう。
【０００５】従来の印刷マスク材又は印刷マスクは、周
知のように、紗張り機と呼ばれている張架装置（以下、
テンショナーという）を用いて、上記マスク材又はマス
クを張架し、該マスク材又はマスクに極めて高いテンシ
ョンを付与した状態で、ほぼ矩形状に形成されたマスク
取付枠に該マスク材又はマスクを取り付けて構成されて
いる（特開平５−３４１５０２号公報、特開平９−２３
２７２０号公報）。上記マスク取付枠は、マスク材に印
刷パターンを加工したり、該印刷パターンが形成された
マスクにペーストをスキージングしたりする際に、該マ
スク材又はマスクの平面性を確保する機能や、印刷装置
に印刷マスクを取り付ける際のホルダーとしての機能を
有している。
知のように、紗張り機と呼ばれている張架装置（以下、
テンショナーという）を用いて、上記マスク材又はマス
クを張架し、該マスク材又はマスクに極めて高いテンシ
ョンを付与した状態で、ほぼ矩形状に形成されたマスク
取付枠に該マスク材又はマスクを取り付けて構成されて
いる（特開平５−３４１５０２号公報、特開平９−２３
２７２０号公報）。上記マスク取付枠は、マスク材に印
刷パターンを加工したり、該印刷パターンが形成された
マスクにペーストをスキージングしたりする際に、該マ
スク材又はマスクの平面性を確保する機能や、印刷装置
に印刷マスクを取り付ける際のホルダーとしての機能を
有している。
【０００６】従来のテンショナーは、上記マスク材又は
マスクの各辺（四辺）を、エアーチャックなどからなる
の複数のクランパで把持し、エアーピストンなどにより
各クランパを駆動して、該マスク材又はマスクの各辺を
四方（Ｘ，Ｙ方向）に引っ張ることで、該マスク材又は
マスクにテンションを付与するように構成されている。
具体的には、例えば、図１０（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、矩形状のマスク取付枠１よりも大きな矩形状にカッ
トされたマスク材２Ａの周辺部を、テンショナーの複数
のクランパ３で挟持する。次いで、エアーピストン４に
より、マスク材２Ａの各辺に対して略直交する方向に、
上記各クランパ３を引っ張って、該マスク材２Ａを張架
する。この状態で、図１０（ｃ）に示すように、各クラ
ンパ３により張架されたマスク材２Ａに、２液エポキシ
などの接着剤５を塗布し、且つ、上記マスク取付枠１の
マスク固定面を所定の圧力で押し付けて、該マスク材２
Ａに所定のテンションを付与する。そして、該マスク材
２Ａに所定のテンションを付与したままの状態で、それ
に塗布された接着剤５を固化させ、該接着剤５が完全に
固化した後に、上記マスク取付枠１の外周縁部に沿っ
て、該マスク材２Ａの周辺部を切り落とす。これによ
り、図１１に示すような、矩形状のマスク取付枠１にマ
スク材２Ａが張架固定された印刷マスク材１０Ａが製造
される。
マスクの各辺（四辺）を、エアーチャックなどからなる
の複数のクランパで把持し、エアーピストンなどにより
各クランパを駆動して、該マスク材又はマスクの各辺を
四方（Ｘ，Ｙ方向）に引っ張ることで、該マスク材又は
マスクにテンションを付与するように構成されている。
具体的には、例えば、図１０（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、矩形状のマスク取付枠１よりも大きな矩形状にカッ
トされたマスク材２Ａの周辺部を、テンショナーの複数
のクランパ３で挟持する。次いで、エアーピストン４に
より、マスク材２Ａの各辺に対して略直交する方向に、
上記各クランパ３を引っ張って、該マスク材２Ａを張架
する。この状態で、図１０（ｃ）に示すように、各クラ
ンパ３により張架されたマスク材２Ａに、２液エポキシ
などの接着剤５を塗布し、且つ、上記マスク取付枠１の
マスク固定面を所定の圧力で押し付けて、該マスク材２
Ａに所定のテンションを付与する。そして、該マスク材
２Ａに所定のテンションを付与したままの状態で、それ
に塗布された接着剤５を固化させ、該接着剤５が完全に
固化した後に、上記マスク取付枠１の外周縁部に沿っ
て、該マスク材２Ａの周辺部を切り落とす。これによ
り、図１１に示すような、矩形状のマスク取付枠１にマ
スク材２Ａが張架固定された印刷マスク材１０Ａが製造
される。
【０００７】しかしながら、このような従来の角形テン
ショナーを用いてマスク材２Ａにテンションを付与する
と、該マスク材２ＡがＸ方向及びＹ方向にのみ強く引っ
張られて、該マスク材２Ａ材の四隅（コーナー部）が引
っ張られにくくなる。このため、この角形テンショナー
によりテンションを付与されたマスク材２Ａは、その中
央部にかかるテンションが大きくなって、そのコーナー
部の歪みが著しくなる傾向がある。例えば、テンション
が付与される前の状態のマスク材２Ａに升目状の直線を
描いておき、該マスク材２Ａにテンションを付与する
と、図１２に示すように、該マスク材２Ａに描かれたコ
ーナー部の升目状の直線が、中央部のそれよりも大きく
歪んだ形状に目曲がりする。このことから、この印刷マ
スク材１０Ａは、そのマスク材２Ａに付与されたテンシ
ョンが、該マスク材２Ａの中央部では大きくなり、該マ
スク材２Ａの周辺部では小さくなって、ばらつく性質を
有していることが判る。また、このようなマスク材２Ａ
のテンションのバラツキは、ヤング率の比較的小さなプ
ラスチック板をマスク材２Ａとして使用したときに、よ
り顕著になることが明らかとなった。
ショナーを用いてマスク材２Ａにテンションを付与する
と、該マスク材２ＡがＸ方向及びＹ方向にのみ強く引っ
張られて、該マスク材２Ａ材の四隅（コーナー部）が引
っ張られにくくなる。このため、この角形テンショナー
によりテンションを付与されたマスク材２Ａは、その中
央部にかかるテンションが大きくなって、そのコーナー
部の歪みが著しくなる傾向がある。例えば、テンション
が付与される前の状態のマスク材２Ａに升目状の直線を
描いておき、該マスク材２Ａにテンションを付与する
と、図１２に示すように、該マスク材２Ａに描かれたコ
ーナー部の升目状の直線が、中央部のそれよりも大きく
歪んだ形状に目曲がりする。このことから、この印刷マ
スク材１０Ａは、そのマスク材２Ａに付与されたテンシ
ョンが、該マスク材２Ａの中央部では大きくなり、該マ
スク材２Ａの周辺部では小さくなって、ばらつく性質を
有していることが判る。また、このようなマスク材２Ａ
のテンションのバラツキは、ヤング率の比較的小さなプ
ラスチック板をマスク材２Ａとして使用したときに、よ
り顕著になることが明らかとなった。
【０００８】従って、上述のような角形テンショナーに
よりテンションを付与された印刷マスク材１０Ａでは、
そのマスク材２Ａに付与されたテンションのバラツキに
よって、該テンションを維持しようとする該マスク材２
Ａの内部応力が不均一になる。このため、例えば、該印
刷マスク材１０Ａのマスク材２Ａに上記印刷パターンと
しての開口を形成して印刷マスクを製造した場合には、
該マスク材２Ａの内部応力の経時的な変化や、該マスク
材２Ａに開口が形成されることによる該開口への内部応
力の応力集中などによって、該マスク材２Ａに形成され
た開口の形状に歪みが発生したり、該開口の位置ズレが
発生したりする。
よりテンションを付与された印刷マスク材１０Ａでは、
そのマスク材２Ａに付与されたテンションのバラツキに
よって、該テンションを維持しようとする該マスク材２
Ａの内部応力が不均一になる。このため、例えば、該印
刷マスク材１０Ａのマスク材２Ａに上記印刷パターンと
しての開口を形成して印刷マスクを製造した場合には、
該マスク材２Ａの内部応力の経時的な変化や、該マスク
材２Ａに開口が形成されることによる該開口への内部応
力の応力集中などによって、該マスク材２Ａに形成され
た開口の形状に歪みが発生したり、該開口の位置ズレが
発生したりする。
【０００９】また、上記従来の印刷マスク材１０Ａは、
そのマスク取付枠１が矩形状に形成されているため、図
１０（ｃ）に示したように、クランパ３によって張架さ
れたマスク材２Ａに、マスク取付部材１を押し付けて、
該マスク材２Ａにテンションを付与した際に、該テンシ
ョンの付与に伴って発生する該マスク材２Ａの内部応力
が、該マスク取付部材１の各コーナー部と該マスク材２
Ａとの圧接部に集中して、該マスク材２Ａのコーナー部
にシワや破損が発生し易い。
そのマスク取付枠１が矩形状に形成されているため、図
１０（ｃ）に示したように、クランパ３によって張架さ
れたマスク材２Ａに、マスク取付部材１を押し付けて、
該マスク材２Ａにテンションを付与した際に、該テンシ
ョンの付与に伴って発生する該マスク材２Ａの内部応力
が、該マスク取付部材１の各コーナー部と該マスク材２
Ａとの圧接部に集中して、該マスク材２Ａのコーナー部
にシワや破損が発生し易い。
【００１０】このような従来の角形テンショナーの不具
合を解消するために、最近は、図１３に示すように、上
記マスク材２Ａの四辺の他、該マスク材２Ａのコーナー
部にもクランパ３を配置し、各クランパ３により該マス
ク材２Ａの周辺を八方に引っ張って、該マスク材２Ａの
コーナー部分に対しても均一なテンションが付与される
ように改良したテンショナーが提供されている。また、
例えば図１４に示すように、上記角形テンショナーによ
ってテンションを付与されたマスク材２Ａの各辺に対し
て、上記マスク取付枠１の四辺の各シート版取付部材を
約４５°傾けて、歪みの大きな該マスク材２Ａのコーナ
ー部を避けるようにして、該マスク材２Ａにマスク取付
枠１を取り付けるようにした印刷マスク材もある。
合を解消するために、最近は、図１３に示すように、上
記マスク材２Ａの四辺の他、該マスク材２Ａのコーナー
部にもクランパ３を配置し、各クランパ３により該マス
ク材２Ａの周辺を八方に引っ張って、該マスク材２Ａの
コーナー部分に対しても均一なテンションが付与される
ように改良したテンショナーが提供されている。また、
例えば図１４に示すように、上記角形テンショナーによ
ってテンションを付与されたマスク材２Ａの各辺に対し
て、上記マスク取付枠１の四辺の各シート版取付部材を
約４５°傾けて、歪みの大きな該マスク材２Ａのコーナ
ー部を避けるようにして、該マスク材２Ａにマスク取付
枠１を取り付けるようにした印刷マスク材もある。
【００１１】更に、本出願人は、図１５に示すように、
上記クランパ３をリング状に形成した円形クランパ２
１，２２で構成して、該円形クランパ２１，２２でマス
ク材２Ａをクランプするとともに、上記マスク取付枠１
を保持した円盤状の枠保持体２３を、該マスク材２Ａに
押しつけることにより、該枠保持体２３の外接円の法線
方向に向けて略均等な張力を付与して、該マスク取付枠
１にマスク材２Ａを張架固定するように構成した丸形テ
ンショナーを提案した（特願平１０−９２２９１号）。
この丸形テンショナーを用いて製造された印刷マスク材
は、該マスク材２Ａに対して枠保持体２３の外接円の法
線方向に向けて略均等なテンションを付与された状態
で、該マスク材２Ａがマスク取付枠１に張架固定されて
いるので、該マスク材２Ａに形成された開口の歪みや位
置ズレの原因となる該マスク材２Ａに付与されたテンシ
ョンのバラツキや、該テンションを維持しようとする該
マスク材２Ａの内部応力の不均一性を解消することがで
きる。
上記クランパ３をリング状に形成した円形クランパ２
１，２２で構成して、該円形クランパ２１，２２でマス
ク材２Ａをクランプするとともに、上記マスク取付枠１
を保持した円盤状の枠保持体２３を、該マスク材２Ａに
押しつけることにより、該枠保持体２３の外接円の法線
方向に向けて略均等な張力を付与して、該マスク取付枠
１にマスク材２Ａを張架固定するように構成した丸形テ
ンショナーを提案した（特願平１０−９２２９１号）。
この丸形テンショナーを用いて製造された印刷マスク材
は、該マスク材２Ａに対して枠保持体２３の外接円の法
線方向に向けて略均等なテンションを付与された状態
で、該マスク材２Ａがマスク取付枠１に張架固定されて
いるので、該マスク材２Ａに形成された開口の歪みや位
置ズレの原因となる該マスク材２Ａに付与されたテンシ
ョンのバラツキや、該テンションを維持しようとする該
マスク材２Ａの内部応力の不均一性を解消することがで
きる。
【００１２】このようなテンショナーの改善や、マスク
取付枠１に対するマスク材２Ａの取り付け方の工夫など
によって、図１２に示したようなマスク材２Ａのコーナ
ー部の歪みは、かなり改善されてきている。しかし、現
状の印刷マスク材においては、そのマスク材に付与され
たテンションが不均一となることによるマスク材の歪み
を完全に解消するまでには至っていない。
取付枠１に対するマスク材２Ａの取り付け方の工夫など
によって、図１２に示したようなマスク材２Ａのコーナ
ー部の歪みは、かなり改善されてきている。しかし、現
状の印刷マスク材においては、そのマスク材に付与され
たテンションが不均一となることによるマスク材の歪み
を完全に解消するまでには至っていない。
【００１３】一方、近年のクリーム半田などの導電性ペ
ースト印刷を必要としている電子部品の動向は、ＱＦ
Ｐ，ＳＯＰ，ＤＰＩなどのリード型の部品からＢＧＡ，
ＣＳＰなどのバンプ型の部品になってきている。また、
最近では、前述したような印刷マスクを用いて、被印刷
体としての基板上にペースト半田を印刷することによ
り、該電子部品の電極（バンプ）を一括形成することを
目指している。
ースト印刷を必要としている電子部品の動向は、ＱＦ
Ｐ，ＳＯＰ，ＤＰＩなどのリード型の部品からＢＧＡ，
ＣＳＰなどのバンプ型の部品になってきている。また、
最近では、前述したような印刷マスクを用いて、被印刷
体としての基板上にペースト半田を印刷することによ
り、該電子部品の電極（バンプ）を一括形成することを
目指している。
【００１４】そこで、本出願人は、例えば、図１６に示
すまだダイシングしていない段階のウエハー３０上に、
上記印刷マスク材１０Ａのマスク材２Ａに所定の印刷パ
ターンを形成したマスク２を有する印刷マスク１０用い
てフリップチップのバンプの細かさにペーストを印刷し
て、１回の印刷と１回のリフローで、４０万個〜５０万
個のバンプを一挙に形成する印刷方法を提案した。な
お、このようなバンプ形成には、半田粒子が小さなペー
ストを使用することが、高品質な印刷を実現する上で好
ましい。しかし、この半田粒子が小さなペーストは、チ
キソトロピーが大きい、つまり、その撹拌によって液状
化した状態となり放置すると固く凝固する（この粘度の
ギャップが激しいほどチキソトロピーが大となる）性質
を有している。このため、このようなチキソトロピーが
大きいペーストを用いてバンプ形成を行った場合には、
マスクの開口内壁に対するペーストの粘着性が高くな
り、該開口からのペーストの抜け性が悪くなる。従っ
て、このようなペーストを印刷するための印刷マスクと
しては、マスクの開口内壁を比較的平滑に形成すること
ができる（ペーストの版抜け性が良好な）エキシマレー
ザ製法によるプラスチックマスクを用いることが望まし
い。
すまだダイシングしていない段階のウエハー３０上に、
上記印刷マスク材１０Ａのマスク材２Ａに所定の印刷パ
ターンを形成したマスク２を有する印刷マスク１０用い
てフリップチップのバンプの細かさにペーストを印刷し
て、１回の印刷と１回のリフローで、４０万個〜５０万
個のバンプを一挙に形成する印刷方法を提案した。な
お、このようなバンプ形成には、半田粒子が小さなペー
ストを使用することが、高品質な印刷を実現する上で好
ましい。しかし、この半田粒子が小さなペーストは、チ
キソトロピーが大きい、つまり、その撹拌によって液状
化した状態となり放置すると固く凝固する（この粘度の
ギャップが激しいほどチキソトロピーが大となる）性質
を有している。このため、このようなチキソトロピーが
大きいペーストを用いてバンプ形成を行った場合には、
マスクの開口内壁に対するペーストの粘着性が高くな
り、該開口からのペーストの抜け性が悪くなる。従っ
て、このようなペーストを印刷するための印刷マスクと
しては、マスクの開口内壁を比較的平滑に形成すること
ができる（ペーストの版抜け性が良好な）エキシマレー
ザ製法によるプラスチックマスクを用いることが望まし
い。
【００１５】しかしながら、このような印刷に使用され
る印刷マスク材１０Ａには、例えば、直径が６インチの
ウエハー３０用として４０万個以上もの印刷パターン
（バンプ）に対応した開口が形成されることがある。こ
の場合、印刷マスク１０は、そのマスク２の単位面積当
たりの開口の個数が非常に多く（開口率が高く）なり、
図１７に示すように、各開口２ａ間のリブ２ｂの幅ｈが
極めて細い状態となる。このため、該マスク材２Ａに付
与されているテンションによって、各開口２ａ間のリブ
２ｂが伸ばされて、各開口２ａの寸法精度に狂いが生じ
たり、各開口２ａに位置ズレが生じたりするという問題
があった。なお、このような問題は、上記マスク材２Ａ
にテンションを付与する前に、該マスク材２Ａに上記開
口２ａを形成し、その後でテンションを付与した場合に
も同じく発生する。
る印刷マスク材１０Ａには、例えば、直径が６インチの
ウエハー３０用として４０万個以上もの印刷パターン
（バンプ）に対応した開口が形成されることがある。こ
の場合、印刷マスク１０は、そのマスク２の単位面積当
たりの開口の個数が非常に多く（開口率が高く）なり、
図１７に示すように、各開口２ａ間のリブ２ｂの幅ｈが
極めて細い状態となる。このため、該マスク材２Ａに付
与されているテンションによって、各開口２ａ間のリブ
２ｂが伸ばされて、各開口２ａの寸法精度に狂いが生じ
たり、各開口２ａに位置ズレが生じたりするという問題
があった。なお、このような問題は、上記マスク材２Ａ
にテンションを付与する前に、該マスク材２Ａに上記開
口２ａを形成し、その後でテンションを付与した場合に
も同じく発生する。
【００１６】このようなマスク材２Ａに形成された開口
２ａの寸法精度の狂いや位置ズレを補正する方法とし
て、まず、上述のような印刷に使用するための印刷マス
ク１０を試験的に作成する。そして、この試作された印
刷マスク１０の上記テンションによるマスク２のＸ，Ｙ
方向の各開口２ａのズレ量を測定する。このときのマス
ク２の各開口２ａの位置ズレ方向を、図１８の模式図に
各矢印で示す（なお、該模式図における各矢印の長さ
は、上記のズレ量を表している）。また、このときの各
開口２ａのズレ量を、図１８のグラフに実線の折れ線で
示す。次いで、実際の印刷に使用されるマスク材２Ａに
各開口２ａを形成する際に、該マスク材２Ａに付与され
たテンションによる各開口２ａの位置ズレの発生を予め
見込んで、上記の試作された印刷マスク材１０Ａのマス
ク材２ＡのＸ，Ｙ方向の各開口２ａのズレ量に相当する
分（図１８のグラフに実線の折れ線で示された各ズレ量
分）だけ、実際に使用されるマスク材２Ａの該当する各
開口２ａの加工中心位置を、図１８のグラフに破線の折
れ線で示すように事前に補正する。このような方法によ
って作成された印刷マスク１０は、そのマスク２に付与
されたテンションによる各開口２ａのズレ量が予め補正
されているので、該テンションが付与された状態で、該
マスク２の各開口２ａが、それぞれ適正な位置に形成さ
れるようになる。従って、理論上においては、この印刷
マスク１０を用いることによって位置ズレのない高品質
な印刷を実現することが可能となる。
２ａの寸法精度の狂いや位置ズレを補正する方法とし
て、まず、上述のような印刷に使用するための印刷マス
ク１０を試験的に作成する。そして、この試作された印
刷マスク１０の上記テンションによるマスク２のＸ，Ｙ
方向の各開口２ａのズレ量を測定する。このときのマス
ク２の各開口２ａの位置ズレ方向を、図１８の模式図に
各矢印で示す（なお、該模式図における各矢印の長さ
は、上記のズレ量を表している）。また、このときの各
開口２ａのズレ量を、図１８のグラフに実線の折れ線で
示す。次いで、実際の印刷に使用されるマスク材２Ａに
各開口２ａを形成する際に、該マスク材２Ａに付与され
たテンションによる各開口２ａの位置ズレの発生を予め
見込んで、上記の試作された印刷マスク材１０Ａのマス
ク材２ＡのＸ，Ｙ方向の各開口２ａのズレ量に相当する
分（図１８のグラフに実線の折れ線で示された各ズレ量
分）だけ、実際に使用されるマスク材２Ａの該当する各
開口２ａの加工中心位置を、図１８のグラフに破線の折
れ線で示すように事前に補正する。このような方法によ
って作成された印刷マスク１０は、そのマスク２に付与
されたテンションによる各開口２ａのズレ量が予め補正
されているので、該テンションが付与された状態で、該
マスク２の各開口２ａが、それぞれ適正な位置に形成さ
れるようになる。従って、理論上においては、この印刷
マスク１０を用いることによって位置ズレのない高品質
な印刷を実現することが可能となる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
印刷マスクは、テンショナーによって付与されたマスク
のテンションの大きさが、全ての印刷マスクにおいて必
ずしも一定したものにはならず、むしろ作成された１版
毎で、マスクに付与されているテンションが大きくばら
ついたものになることが多い。また、例えば、５０μm
といった薄いマスク材の場合には、テンションによる破
損防止を図る上で、マスク材にあまり大きなテンション
を付与することができない。このため、現状では、この
ような薄いマスク材のテンションによる各開口のズレ量
を測定することが難しく、その有効な測定方法が確立さ
れていない。このように、この種の印刷マスクでは、作
成された１版毎で、そのマスクに付与されているテンシ
ョンがばらついたものとなるため、試作したマスクのテ
ンションによる各開口のズレ量を測定しても、該試作マ
スクの各開口のズレ量が必ずしも実際に使用されるマス
クのテンションによる各開口のズレ量と等しくなるとは
限らない。このため、この種の従来の印刷マスクにおい
ては、前述したような補正方法によって、マスクに形成
される各開口のズレ量を補正しても、該開口が補正どう
りの位置に形成されず、開口位置精度の低い印刷マスク
になってしまうことが多かった。
印刷マスクは、テンショナーによって付与されたマスク
のテンションの大きさが、全ての印刷マスクにおいて必
ずしも一定したものにはならず、むしろ作成された１版
毎で、マスクに付与されているテンションが大きくばら
ついたものになることが多い。また、例えば、５０μm
といった薄いマスク材の場合には、テンションによる破
損防止を図る上で、マスク材にあまり大きなテンション
を付与することができない。このため、現状では、この
ような薄いマスク材のテンションによる各開口のズレ量
を測定することが難しく、その有効な測定方法が確立さ
れていない。このように、この種の印刷マスクでは、作
成された１版毎で、そのマスクに付与されているテンシ
ョンがばらついたものとなるため、試作したマスクのテ
ンションによる各開口のズレ量を測定しても、該試作マ
スクの各開口のズレ量が必ずしも実際に使用されるマス
クのテンションによる各開口のズレ量と等しくなるとは
限らない。このため、この種の従来の印刷マスクにおい
ては、前述したような補正方法によって、マスクに形成
される各開口のズレ量を補正しても、該開口が補正どう
りの位置に形成されず、開口位置精度の低い印刷マスク
になってしまうことが多かった。
【００１８】また、上記印刷マスクに形成された各開口
の歪みや位置ズレの度合いは、付与されているテンショ
ンの大きさ、該開口間のリブの機械的強度や形状、及
び、該マスクの使用頻度等によって大きく異なる。ここ
で、該マスクに付与するテンションの大きさは、前述し
たようなテンショナーの改良によってある程度均一化す
ることが可能であるが、上記リブの機械的強度や形状、
及び、該マスクの使用頻度等は、該マスクの材質や使用
目的、及び、該マスクに形成される印刷パターンの違い
などによって様々に変化するため、それらを特定するこ
とは不可能なのが現状である。
の歪みや位置ズレの度合いは、付与されているテンショ
ンの大きさ、該開口間のリブの機械的強度や形状、及
び、該マスクの使用頻度等によって大きく異なる。ここ
で、該マスクに付与するテンションの大きさは、前述し
たようなテンショナーの改良によってある程度均一化す
ることが可能であるが、上記リブの機械的強度や形状、
及び、該マスクの使用頻度等は、該マスクの材質や使用
目的、及び、該マスクに形成される印刷パターンの違い
などによって様々に変化するため、それらを特定するこ
とは不可能なのが現状である。
【００１９】また、上述のようにテンションが付与され
たマスクをマスク取付枠に取り付けた構成の印刷マスク
では、被印刷体に印刷パターンを繰り返し印刷したとき
にも、該テンションによって、マスクに形成された各開
口の形状や位置が経時的に歪んだりズレたりすることが
あった。このようなマスクの開口の歪みや位置ズレは、
そのまま被印刷体に印刷された印刷パターンの歪みや位
置ズレとなって現れるため、印刷された被印刷体の品質
を著しく低下させることになる。特に、前述したプラズ
マディスプレイパネルのように、同一の印刷パターンを
繰り返し重ね印刷してバリアリブを形成するような場合
には、その印刷マスクに形成された各開口の歪みや位置
ズレによって、該バリアリブが正確な形状に形成されな
くなる不具合が発生する。
たマスクをマスク取付枠に取り付けた構成の印刷マスク
では、被印刷体に印刷パターンを繰り返し印刷したとき
にも、該テンションによって、マスクに形成された各開
口の形状や位置が経時的に歪んだりズレたりすることが
あった。このようなマスクの開口の歪みや位置ズレは、
そのまま被印刷体に印刷された印刷パターンの歪みや位
置ズレとなって現れるため、印刷された被印刷体の品質
を著しく低下させることになる。特に、前述したプラズ
マディスプレイパネルのように、同一の印刷パターンを
繰り返し重ね印刷してバリアリブを形成するような場合
には、その印刷マスクに形成された各開口の歪みや位置
ズレによって、該バリアリブが正確な形状に形成されな
くなる不具合が発生する。
【００２０】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
であり、その目的とするところは、シート版としてのマ
スクに形成される各開口の歪みや位置ズレ、及び、印刷
時における該マスクのシワや破損の発生を防止すること
ができる印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法
及び印刷装置を提供することである。
であり、その目的とするところは、シート版としてのマ
スクに形成される各開口の歪みや位置ズレ、及び、印刷
時における該マスクのシワや破損の発生を防止すること
ができる印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法
及び印刷装置を提供することである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、ペーストを被印刷体に印刷する
ための印刷パターンが形成されるシート版材が、シート
版取付部材に取り付けられた構成の印刷版材であって、
上記シート版取付部材に対して、上記シート版の対向す
る２つの辺のみが、該シート版材にテンションを付与し
ないように取り付けられていることを特徴とするもので
ある。
に、請求項１の発明は、ペーストを被印刷体に印刷する
ための印刷パターンが形成されるシート版材が、シート
版取付部材に取り付けられた構成の印刷版材であって、
上記シート版取付部材に対して、上記シート版の対向す
る２つの辺のみが、該シート版材にテンションを付与し
ないように取り付けられていることを特徴とするもので
ある。
【００２２】この印刷版材（印刷マスク材）において
は、上記シート版取付部材としてのマスク取付枠に上記
シート版材としてのマスク材を取り付ける際に、該マス
ク材にテンションを付与する必要がないので、マスク取
付枠に該マスク材をテンショナーを使用せずに容易に取
り付けることができ、安価な印刷版材（印刷マスク材）
の量産が可能になる。
は、上記シート版取付部材としてのマスク取付枠に上記
シート版材としてのマスク材を取り付ける際に、該マス
ク材にテンションを付与する必要がないので、マスク取
付枠に該マスク材をテンショナーを使用せずに容易に取
り付けることができ、安価な印刷版材（印刷マスク材）
の量産が可能になる。
【００２３】請求項２の発明は、請求項１の印刷版材に
おいて、上記シート版取付部材に取り付けられていない
側の上記シート版の２つの辺に、可撓性を有する帯状の
補強部材が設けられていることを特徴とするものであ
る。
おいて、上記シート版取付部材に取り付けられていない
側の上記シート版の２つの辺に、可撓性を有する帯状の
補強部材が設けられていることを特徴とするものであ
る。
【００２４】この印刷版材（印刷マスク材）において
は、上記補強部材によって、上記マスク取付部材として
のマスク取付枠に取り付けられていない側の上記シート
版材としてのマスク材の２つの辺の機械的強度が向上さ
れる。
は、上記補強部材によって、上記マスク取付部材として
のマスク取付枠に取り付けられていない側の上記シート
版材としてのマスク材の２つの辺の機械的強度が向上さ
れる。
【００２５】請求項３の発明は、ペーストを被印刷体に
印刷するための印刷パターンが形成されたシート版が、
シート版取付部材に取り付けられた構成の印刷版であっ
て、上記シート版取付部材に対して、上記シート版の対
向する２つの辺のみが、該シート版にテンションを付与
しないように取り付けられていることを特徴とするもの
である。
印刷するための印刷パターンが形成されたシート版が、
シート版取付部材に取り付けられた構成の印刷版であっ
て、上記シート版取付部材に対して、上記シート版の対
向する２つの辺のみが、該シート版にテンションを付与
しないように取り付けられていることを特徴とするもの
である。
【００２６】この印刷版（印刷マスク）においては、上
記シート版取付部材としてのマスク取付枠に上記シート
版としてのマスクが取り付けられた状態で、該マスクに
テンションが付与されていないので、例えば、該マスク
に開口率の高い開口が形成されている場合や、該マスク
取付枠にマスクが取り付けられるときなどに、各開口間
のリブが伸ばされて各開口の寸法精度に狂いが生じた
り、各開口の位置ズレが生じたりするということがな
い。また、請求５の印刷方法に適した印刷版（印刷マス
ク）として用いることができる。
記シート版取付部材としてのマスク取付枠に上記シート
版としてのマスクが取り付けられた状態で、該マスクに
テンションが付与されていないので、例えば、該マスク
に開口率の高い開口が形成されている場合や、該マスク
取付枠にマスクが取り付けられるときなどに、各開口間
のリブが伸ばされて各開口の寸法精度に狂いが生じた
り、各開口の位置ズレが生じたりするということがな
い。また、請求５の印刷方法に適した印刷版（印刷マス
ク）として用いることができる。
【００２７】請求項４の発明は、請求項３の印刷版にお
いて、上記シート版取付部材に取り付けられていない側
の上記シート版の２つの辺に、可撓性を有する帯状の補
強部材が設けられていることを特徴とするものである。
いて、上記シート版取付部材に取り付けられていない側
の上記シート版の２つの辺に、可撓性を有する帯状の補
強部材が設けられていることを特徴とするものである。
【００２８】この印刷版（印刷マスク）においては、上
記補強部材によって、上記マスク取付部材に取り付けら
れていない側の上記マスクの２つの辺の機械的強度が向
上されるので、マスク取付部材に取り付けられていない
側のマスクの２つの辺が、印刷の繰り返しによって破損
したり伸びたりすることが少なくなり、印刷マスクとし
ての寿命を延ばすことができる。
記補強部材によって、上記マスク取付部材に取り付けら
れていない側の上記マスクの２つの辺の機械的強度が向
上されるので、マスク取付部材に取り付けられていない
側のマスクの２つの辺が、印刷の繰り返しによって破損
したり伸びたりすることが少なくなり、印刷マスクとし
ての寿命を延ばすことができる。
【００２９】請求項５の発明は、上記シート版に補給さ
れたペーストをスキージングして、該シート版に形成さ
れた印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷する請求項
３又は４記載の印刷版を用いた印刷方法であって、該ペ
ーストのスキージング時に、該シート版を撓ませず且つ
伸張させない状態に上記シート版取付部材を保持して、
該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷
面に印刷することを特徴とするものである。
れたペーストをスキージングして、該シート版に形成さ
れた印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷する請求項
３又は４記載の印刷版を用いた印刷方法であって、該ペ
ーストのスキージング時に、該シート版を撓ませず且つ
伸張させない状態に上記シート版取付部材を保持して、
該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷
面に印刷することを特徴とするものである。
【００３０】この印刷方法においては、ペーストのスキ
ージング時に、上記シート版としてのマスクが撓ませず
且つ伸張されないように、上記シート版取付部材として
のマスク取付枠が保持され、該マスクに形成された印刷
パターンが被印刷体の印刷面に印刷される。これによ
り、該マスクに形成された印刷パターンが被印刷体の印
刷面に印刷される際に、該マスクに形成された各開口間
のリブが伸ばされて各開口の寸法精度に狂いが生じた
り、各開口の位置ズレが生じたりするということがなく
なる。また、該マスク自体にストレス（テンション）が
かけられていないので、該印刷時に該マスクの各開口の
形状や位置が経時的に歪んだりズレたりすることが少な
い。従って、この印刷マスクでは、例えば、前記プラズ
マディスプレイパネルのバリアリブを形成する場合のよ
うに、同一の印刷パターンを繰り返し重ね印刷しても、
該印刷パターンがずれたり歪んだりすることが少なく、
極めて高品質な印刷を実現できる。
ージング時に、上記シート版としてのマスクが撓ませず
且つ伸張されないように、上記シート版取付部材として
のマスク取付枠が保持され、該マスクに形成された印刷
パターンが被印刷体の印刷面に印刷される。これによ
り、該マスクに形成された印刷パターンが被印刷体の印
刷面に印刷される際に、該マスクに形成された各開口間
のリブが伸ばされて各開口の寸法精度に狂いが生じた
り、各開口の位置ズレが生じたりするということがなく
なる。また、該マスク自体にストレス（テンション）が
かけられていないので、該印刷時に該マスクの各開口の
形状や位置が経時的に歪んだりズレたりすることが少な
い。従って、この印刷マスクでは、例えば、前記プラズ
マディスプレイパネルのバリアリブを形成する場合のよ
うに、同一の印刷パターンを繰り返し重ね印刷しても、
該印刷パターンがずれたり歪んだりすることが少なく、
極めて高品質な印刷を実現できる。
【００３１】請求項６の発明は、請求項５の印刷方法に
おいて、上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面と
を接触させた状態で、該シート版に補給されたペースト
をスキージングした後、該被印刷体の印刷面と該シート
版の版面とを離間させて、該シート版に形成された印刷
パターンを被印刷体の印刷面に印刷することを特徴とす
るものである。
おいて、上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面と
を接触させた状態で、該シート版に補給されたペースト
をスキージングした後、該被印刷体の印刷面と該シート
版の版面とを離間させて、該シート版に形成された印刷
パターンを被印刷体の印刷面に印刷することを特徴とす
るものである。
【００３２】この印刷方法においては、まず、上記シー
ト版としてのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触
される。次いで、この状態で、該マスク上に補給された
ペーストがスキージングされる（以下、この工程をスキ
ージング工程という）。そして、このスキージング工程
が実行された後、被印刷体の印刷面とマスクの版面とが
離間される（以下、この工程を版離れ工程という）。こ
れにより、該マスクに形成された印刷パターンが被印刷
体の印刷面に印刷される（以下、この印刷モードを、コ
ンタクト印刷モードという）。このコンタクト印刷モー
ドでは、上述のように、上記マスクの版面と被印刷体の
印刷面とが接触したままの状態でペースト印刷が行われ
る。従って、被印刷体とマスクとがコンタクトしたまま
の状態で、スキージングによりペーストの充填が行われ
るので、このスキージング工程のペースト充填時におけ
るペースト滲み出しの原因である隙間の発生を防止する
ことができ、且つ、ペーストのスキージングをペースト
の充填に最適な速度で行うことができる。
ト版としてのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触
される。次いで、この状態で、該マスク上に補給された
ペーストがスキージングされる（以下、この工程をスキ
ージング工程という）。そして、このスキージング工程
が実行された後、被印刷体の印刷面とマスクの版面とが
離間される（以下、この工程を版離れ工程という）。こ
れにより、該マスクに形成された印刷パターンが被印刷
体の印刷面に印刷される（以下、この印刷モードを、コ
ンタクト印刷モードという）。このコンタクト印刷モー
ドでは、上述のように、上記マスクの版面と被印刷体の
印刷面とが接触したままの状態でペースト印刷が行われ
る。従って、被印刷体とマスクとがコンタクトしたまま
の状態で、スキージングによりペーストの充填が行われ
るので、このスキージング工程のペースト充填時におけ
るペースト滲み出しの原因である隙間の発生を防止する
ことができ、且つ、ペーストのスキージングをペースト
の充填に最適な速度で行うことができる。
【００３３】請求項７の発明は、請求項５の印刷方法に
おいて、上記被印刷体の印刷面に対して上記シート版の
版面の一部のみがほぼ直線状に接触するように上記シー
ト版取付け部材を保持し、被印刷体の印刷面に対する該
シート版の版面の接触位置を移動させながらペーストを
スキージングして、該シート版に形成された印刷パター
ンを被印刷体の印刷面に印刷することを特徴とするもの
である。
おいて、上記被印刷体の印刷面に対して上記シート版の
版面の一部のみがほぼ直線状に接触するように上記シー
ト版取付け部材を保持し、被印刷体の印刷面に対する該
シート版の版面の接触位置を移動させながらペーストを
スキージングして、該シート版に形成された印刷パター
ンを被印刷体の印刷面に印刷することを特徴とするもの
である。
【００３４】この印刷方法においては、まず、上記被印
刷体の印刷面に対して上記シート版としてのマスクの版
面の一部のみがほぼ直線状に接触するように上記シート
版取付け部材としてのマスク取付枠が保持される。次い
で、この状態で、被印刷体の印刷面に対する該マスクの
版面の接触位置が移動されながら、該マスク上に補給さ
れたペーストがスキージングされる。このスキージング
時には、請求項５に記載されているように、常時、該マ
スクを撓ませず且つ伸張させないように上記マスク取付
枠が保持される。このスキージングにより、該マスクに
形成された印刷パターンが被印刷体の印刷面に印刷され
る（以下、この印刷モードを、オフコンタクト印刷モー
ドという）。ところで、請求項６の印刷方法におけるコ
ンタクト印刷モードの版離れ工程においては、被印刷体
の印刷面からマスクの版面の全面を一気に離間させるよ
うにしている。このため、該コンタクト印刷モードで
は、ペーストの印刷面に対する粘着力やマスクに対する
ズリ応力によって、該離間時に該版面の周辺部が先に離
間してマスクが湾曲し、その後、該版面の中央部が跳ね
上がるようにして離間することがある。従って、該コン
タクト印刷モードでは、マスクの版離れ速度を、ペース
トの抜け性が良好となるようなほぼ一定の速度にコント
ロールすることが難しい。これに対し、このオフコンタ
クト印刷モードでは、被印刷体の印刷面に対するマスク
の接触位置を移動させながらペーストのスキージングが
行われると同時に、被印刷体の印刷面からマスクの版面
が離間される。従って、このオフコンタクト印刷モード
では、該スキージング速度によって、マスクの版離れ速
度を、ペーストの抜け性が良好となるような速度にコン
トロールすることができる。また、このオフコンタクト
印刷モードでは、上記スキージング工程と上記版離れ工
程とが同時に実行されるので、印刷工程を少なくするこ
とができ、印刷に要する時間を短縮できる。しかし、こ
のオフコンタクト印刷モードでは、被印刷体の印刷面に
対してマスクの版面の一部のみが接触し、スキージング
方向の下流側が離間した状態で、ペーストのスキージン
グが行われるため、このスキージング工程のペースト充
填時におけるペースト滲み出しの原因である隙間の発生
を防止することが難しい。
刷体の印刷面に対して上記シート版としてのマスクの版
面の一部のみがほぼ直線状に接触するように上記シート
版取付け部材としてのマスク取付枠が保持される。次い
で、この状態で、被印刷体の印刷面に対する該マスクの
版面の接触位置が移動されながら、該マスク上に補給さ
れたペーストがスキージングされる。このスキージング
時には、請求項５に記載されているように、常時、該マ
スクを撓ませず且つ伸張させないように上記マスク取付
枠が保持される。このスキージングにより、該マスクに
形成された印刷パターンが被印刷体の印刷面に印刷され
る（以下、この印刷モードを、オフコンタクト印刷モー
ドという）。ところで、請求項６の印刷方法におけるコ
ンタクト印刷モードの版離れ工程においては、被印刷体
の印刷面からマスクの版面の全面を一気に離間させるよ
うにしている。このため、該コンタクト印刷モードで
は、ペーストの印刷面に対する粘着力やマスクに対する
ズリ応力によって、該離間時に該版面の周辺部が先に離
間してマスクが湾曲し、その後、該版面の中央部が跳ね
上がるようにして離間することがある。従って、該コン
タクト印刷モードでは、マスクの版離れ速度を、ペース
トの抜け性が良好となるようなほぼ一定の速度にコント
ロールすることが難しい。これに対し、このオフコンタ
クト印刷モードでは、被印刷体の印刷面に対するマスク
の接触位置を移動させながらペーストのスキージングが
行われると同時に、被印刷体の印刷面からマスクの版面
が離間される。従って、このオフコンタクト印刷モード
では、該スキージング速度によって、マスクの版離れ速
度を、ペーストの抜け性が良好となるような速度にコン
トロールすることができる。また、このオフコンタクト
印刷モードでは、上記スキージング工程と上記版離れ工
程とが同時に実行されるので、印刷工程を少なくするこ
とができ、印刷に要する時間を短縮できる。しかし、こ
のオフコンタクト印刷モードでは、被印刷体の印刷面に
対してマスクの版面の一部のみが接触し、スキージング
方向の下流側が離間した状態で、ペーストのスキージン
グが行われるため、このスキージング工程のペースト充
填時におけるペースト滲み出しの原因である隙間の発生
を防止することが難しい。
【００３５】請求項８の発明は、請求項５の印刷方法に
おいて、上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面と
を接触させた状態で、該シート版の上記シート版取付け
部材が取り付けられている一方の辺から他方の辺に向け
て、該シート版に補給されたペーストをスキージングす
ると同時に、該ペーストのスキージングを終えた部分の
シート版の版面を被印刷体の印刷面から離間させなが
ら、該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の
印刷面に印刷することを特徴とするものである。
おいて、上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面と
を接触させた状態で、該シート版の上記シート版取付け
部材が取り付けられている一方の辺から他方の辺に向け
て、該シート版に補給されたペーストをスキージングす
ると同時に、該ペーストのスキージングを終えた部分の
シート版の版面を被印刷体の印刷面から離間させなが
ら、該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の
印刷面に印刷することを特徴とするものである。
【００３６】この印刷方法においては、まず、上記シー
ト版としてのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触
するように上記シート版取付け部材としてのマスク取付
枠が保持される。次いで、この状態で、該シート版の上
記シート版取付け部材が取り付けられている一方の辺か
ら他方の辺に向けて、該シート版に補給されたペースト
がスキージングされると同時に、該ペーストのスキージ
ングを終えた部分のシート版の版面が被印刷体の印刷面
から離間される。これにより、該マスクに形成された印
刷パターンが被印刷体の印刷面に印刷される（以下、こ
の印刷モードを、コンタクトオフ印刷モードという）。
このコンタクトオフ印刷モードでは、前記コンタクト印
刷モードと同様に、上記マスクの版面と被印刷体の印刷
面とが接触したままの状態、つまり、被印刷体とマスク
とがコンタクトしたままの状態で、スキージングにより
ペーストの充填が行われるので、このスキージング工程
のペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因であ
る隙間の発生を防止することができる。また、このコン
タクトオフ印刷モードでは、ペーストがスキージングさ
れると同時に、該ペーストのスキージングを終えた部分
のマスクの版面が被印刷体の印刷面から離間されるの
で、前記オフコンタクト印刷モードと同様に、印刷工程
を少なくすることができ、印刷に要する時間を短縮でき
る。更に、被印刷体の印刷面とマスクの版面との版離れ
速度や版離れタイミングをバラツキなく最適に保つこと
ができるようにコントロールすることによって、被印刷
体の印刷面に対してペーストを確実に粘着（タッキン
グ）させることができるので、マスクの各開口からのペ
ーストの抜け性が良好になる。従って、このコンタクト
オフ印刷モードでは、コンタクト印刷モードのメリット
とオフコンタクト印刷モードのメリットとを併せ持った
品質の高い印刷を行うことができる。
ト版としてのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触
するように上記シート版取付け部材としてのマスク取付
枠が保持される。次いで、この状態で、該シート版の上
記シート版取付け部材が取り付けられている一方の辺か
ら他方の辺に向けて、該シート版に補給されたペースト
がスキージングされると同時に、該ペーストのスキージ
ングを終えた部分のシート版の版面が被印刷体の印刷面
から離間される。これにより、該マスクに形成された印
刷パターンが被印刷体の印刷面に印刷される（以下、こ
の印刷モードを、コンタクトオフ印刷モードという）。
このコンタクトオフ印刷モードでは、前記コンタクト印
刷モードと同様に、上記マスクの版面と被印刷体の印刷
面とが接触したままの状態、つまり、被印刷体とマスク
とがコンタクトしたままの状態で、スキージングにより
ペーストの充填が行われるので、このスキージング工程
のペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因であ
る隙間の発生を防止することができる。また、このコン
タクトオフ印刷モードでは、ペーストがスキージングさ
れると同時に、該ペーストのスキージングを終えた部分
のマスクの版面が被印刷体の印刷面から離間されるの
で、前記オフコンタクト印刷モードと同様に、印刷工程
を少なくすることができ、印刷に要する時間を短縮でき
る。更に、被印刷体の印刷面とマスクの版面との版離れ
速度や版離れタイミングをバラツキなく最適に保つこと
ができるようにコントロールすることによって、被印刷
体の印刷面に対してペーストを確実に粘着（タッキン
グ）させることができるので、マスクの各開口からのペ
ーストの抜け性が良好になる。従って、このコンタクト
オフ印刷モードでは、コンタクト印刷モードのメリット
とオフコンタクト印刷モードのメリットとを併せ持った
品質の高い印刷を行うことができる。
【００３７】請求項９の発明は、請求項３又は４記載の
印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シー
ト版に補給されたペーストをスキージングして、該シー
ト版に開口された印刷パターンによって、ペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、上記シート
版取付部材を保持する取付部材保持手段と、該取付部材
保持手段により、被印刷体の印刷面と該シート版の版面
とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且つ伸張さ
せないように、上記シート版取付部材を保持した状態
で、上記スキージ手段によりペーストをスキージングし
て、該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の
印刷面に印刷するモードを実行させる印刷モード制御手
段とを有することを特徴とするものである。
印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シー
ト版に補給されたペーストをスキージングして、該シー
ト版に開口された印刷パターンによって、ペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、上記シート
版取付部材を保持する取付部材保持手段と、該取付部材
保持手段により、被印刷体の印刷面と該シート版の版面
とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且つ伸張さ
せないように、上記シート版取付部材を保持した状態
で、上記スキージ手段によりペーストをスキージングし
て、該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の
印刷面に印刷するモードを実行させる印刷モード制御手
段とを有することを特徴とするものである。
【００３８】この印刷装置においては、上記コンタクト
印刷モードによる印刷を行うことができる。すなわち、
上記印刷モード制御手段により印刷が実行されると、ま
ず、上記取付部材保持手段によって、上記シート版とし
てのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触し、且
つ、該マスクが撓ませず且つ伸張されない（該マスクに
対してテンションが付与されない）ように、上記シート
版取付部材としてのマスク取付部材のシート版取付部材
が保持される。次いで、この状態で、上記スキージ手段
によって、該マスク上に補給されたペーストがスキージ
ングされる。そして、このスキージング後、被印刷体の
印刷面とマスクの版面とが離間されることにより、該マ
スクに形成された印刷パターンが被印刷体の印刷面に印
刷される。
印刷モードによる印刷を行うことができる。すなわち、
上記印刷モード制御手段により印刷が実行されると、ま
ず、上記取付部材保持手段によって、上記シート版とし
てのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触し、且
つ、該マスクが撓ませず且つ伸張されない（該マスクに
対してテンションが付与されない）ように、上記シート
版取付部材としてのマスク取付部材のシート版取付部材
が保持される。次いで、この状態で、上記スキージ手段
によって、該マスク上に補給されたペーストがスキージ
ングされる。そして、このスキージング後、被印刷体の
印刷面とマスクの版面とが離間されることにより、該マ
スクに形成された印刷パターンが被印刷体の印刷面に印
刷される。
【００３９】請求項１０の発明は、請求項３又は４記載
の印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シ
ート版に補給されたペーストをスキージングして、該シ
ート版に開口された印刷パターンによってペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該シート版
の対向する２つの辺が取り付けられている各辺のシート
版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手段と、該
スキージ手段によるスキージング時に、該取付部材保持
手段により個別に保持された少なくとも一方の辺のシー
ト版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸張させな
いように移動させる取付部材移動手段とを有し、上記取
付部材保持手段により、上記被印刷体の印刷面に対して
上記シート版の版面の一部のみがほぼ直線状に接触する
ように、該シート版を撓ませず且つ伸張させずに、上記
各辺のシート版取付部材を個別に保持した状態で、上記
スキージ手段で、被印刷体の印刷面に対する該シート版
の版面の接触位置を移動させながらペーストをスキージ
ングして、該シート版に形成された印刷パターンを被印
刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる印刷モード
制御手段を有することを特徴とするものである。
の印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シ
ート版に補給されたペーストをスキージングして、該シ
ート版に開口された印刷パターンによってペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該シート版
の対向する２つの辺が取り付けられている各辺のシート
版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手段と、該
スキージ手段によるスキージング時に、該取付部材保持
手段により個別に保持された少なくとも一方の辺のシー
ト版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸張させな
いように移動させる取付部材移動手段とを有し、上記取
付部材保持手段により、上記被印刷体の印刷面に対して
上記シート版の版面の一部のみがほぼ直線状に接触する
ように、該シート版を撓ませず且つ伸張させずに、上記
各辺のシート版取付部材を個別に保持した状態で、上記
スキージ手段で、被印刷体の印刷面に対する該シート版
の版面の接触位置を移動させながらペーストをスキージ
ングして、該シート版に形成された印刷パターンを被印
刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる印刷モード
制御手段を有することを特徴とするものである。
【００４０】この印刷装置においては、上記オフコンタ
クト印刷モードによる印刷を行うことができる。すなわ
ち、上記印刷モード制御手段により印刷が実行される
と、まず、上記取付部材保持手段によって、上記被印刷
体の印刷面に対して上記シート版としてのマスクの版面
の一部のみがほぼ直線状に接触するように、また、該シ
ート版が撓まず且つ伸張（該マスクに対してテンション
が付与されない）されないように、上記各辺のシート版
取付部材としてのマスク取付枠がを個別に保持される。
次いで、この状態で、上記スキージ手段により、被印刷
体の印刷面に対する該マスクの版面の接触位置が移動さ
れながら、該マスク上に補給されたペーストがスキージ
ングされる。これにより、該マスクに形成された印刷パ
ターンが被印刷体の印刷面に印刷される。
クト印刷モードによる印刷を行うことができる。すなわ
ち、上記印刷モード制御手段により印刷が実行される
と、まず、上記取付部材保持手段によって、上記被印刷
体の印刷面に対して上記シート版としてのマスクの版面
の一部のみがほぼ直線状に接触するように、また、該シ
ート版が撓まず且つ伸張（該マスクに対してテンション
が付与されない）されないように、上記各辺のシート版
取付部材としてのマスク取付枠がを個別に保持される。
次いで、この状態で、上記スキージ手段により、被印刷
体の印刷面に対する該マスクの版面の接触位置が移動さ
れながら、該マスク上に補給されたペーストがスキージ
ングされる。これにより、該マスクに形成された印刷パ
ターンが被印刷体の印刷面に印刷される。
【００４１】請求項１１の発明は、請求項３又は４記載
の印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シ
ート版に補給されたペーストをスキージングして、該シ
ート版に開口された印刷パターンによってペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該シート版
の対向する２つの辺が取り付けられている各辺のシート
版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手段と、該
スキージ手段によるスキージング時に、該取付部材保持
手段により個別に保持された少なくとも一方の辺のシー
ト版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸張させな
いように移動させる取付部材移動手段とを有し、上記取
付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シート版
の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且つ
伸張させないように、上記各辺のシート版取付部材を保
持した状態で、上記スキージ手段により、該シート版の
上記シート版取付け部材が取り付けられている一方の辺
から他方の辺に向けて、該シート版に補給されたペース
トをスキージングすると同時に、該ペーストのスキージ
ングを終えた部分のシート版の版面と被印刷体の印刷面
とが離間するように、離間開始側のシート版取付部材を
上記取付部材移動手段で移動させながら、該シート版に
形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷する
モードを実行させる印刷モード制御手段を有することを
特徴とするものである。
の印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シ
ート版に補給されたペーストをスキージングして、該シ
ート版に開口された印刷パターンによってペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該シート版
の対向する２つの辺が取り付けられている各辺のシート
版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手段と、該
スキージ手段によるスキージング時に、該取付部材保持
手段により個別に保持された少なくとも一方の辺のシー
ト版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸張させな
いように移動させる取付部材移動手段とを有し、上記取
付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シート版
の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且つ
伸張させないように、上記各辺のシート版取付部材を保
持した状態で、上記スキージ手段により、該シート版の
上記シート版取付け部材が取り付けられている一方の辺
から他方の辺に向けて、該シート版に補給されたペース
トをスキージングすると同時に、該ペーストのスキージ
ングを終えた部分のシート版の版面と被印刷体の印刷面
とが離間するように、離間開始側のシート版取付部材を
上記取付部材移動手段で移動させながら、該シート版に
形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷する
モードを実行させる印刷モード制御手段を有することを
特徴とするものである。
【００４２】この印刷装置においては、上記コンタクト
オフ印刷モードによる印刷を行うことができる。すなわ
ち、上記印刷モード制御手段により印刷が実行される
と、まず、上記取付部材保持手段によって、上記シート
版としてのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触
し、且つ、該マスクが撓ませず且つ伸張されない（該マ
スクに対してテンションが付与されない）ように、上記
シート版取付部材としての各辺のマスク取付部材が保持
される。次いで、この状態で、上記スキージ手段によっ
て、該シート版の上記シート版取付け部材が取り付けら
れている一方の辺から他方の辺に向けて、該シート版に
補給されたペーストがスキージングされると同時に、該
ペーストのスキージングを終えた部分のシート版の版面
と被印刷体の印刷面とが離間するように、離間開始側の
シート版取付部材が上記取付部材移動手段により移動さ
れる。これにより、前記コンタクト印刷モードと同様
に、該マスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触した状
態で、該スキージ手段によるペーストのスキージングが
行われ、且つ、前記オフコンタクト印刷モードと同様
に、上記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に
実行されて、該スキージングにより印刷を終えた部分の
マスクの版面が被印刷体の印刷面から離間されながら、
該マスクに形成された印刷パターンが被印刷体の印刷面
に印刷される。
オフ印刷モードによる印刷を行うことができる。すなわ
ち、上記印刷モード制御手段により印刷が実行される
と、まず、上記取付部材保持手段によって、上記シート
版としてのマスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触
し、且つ、該マスクが撓ませず且つ伸張されない（該マ
スクに対してテンションが付与されない）ように、上記
シート版取付部材としての各辺のマスク取付部材が保持
される。次いで、この状態で、上記スキージ手段によっ
て、該シート版の上記シート版取付け部材が取り付けら
れている一方の辺から他方の辺に向けて、該シート版に
補給されたペーストがスキージングされると同時に、該
ペーストのスキージングを終えた部分のシート版の版面
と被印刷体の印刷面とが離間するように、離間開始側の
シート版取付部材が上記取付部材移動手段により移動さ
れる。これにより、前記コンタクト印刷モードと同様
に、該マスクの版面と被印刷体の印刷面とが接触した状
態で、該スキージ手段によるペーストのスキージングが
行われ、且つ、前記オフコンタクト印刷モードと同様
に、上記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に
実行されて、該スキージングにより印刷を終えた部分の
マスクの版面が被印刷体の印刷面から離間されながら、
該マスクに形成された印刷パターンが被印刷体の印刷面
に印刷される。
【００４３】請求項１２の発明は、請求項３又は４記載
の印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シ
ート版に補給されたペーストをスキージングして、該シ
ート版に開口された印刷パターンによってペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該シート版
の対向する２つの辺が取り付けられている各辺のシート
版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手段と、該
スキージ手段によるスキージング時に、該取付部材保持
手段により個別に保持された少なくとも一方の辺のシー
ト版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸張させな
いように移動させる取付部材移動手段とを有し、上記取
付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と上記シート
版の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且
つ伸張させないように、上記シート版取付部材を保持し
た状態で、上記スキージ手段によりペーストをスキージ
ングして、該シート版に形成された印刷パターンを被印
刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる第１の印刷
モード制御手段と、上記取付部材保持手段により、上記
被印刷体の印刷面に対して上記シート版の版面の一部の
みがほぼ直線状に接触するように、該シート版を撓ませ
ず且つ伸張させずに、上記各辺のシート版取付部材を個
別に保持した状態で、上記スキージ手段で、被印刷体の
印刷面に対する該シート版の版面の接触位置を移動させ
ながらペーストをスキージングして、該シート版に形成
された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷するモー
ドを実行させる第２の印刷モード制御手段と、上記取付
部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シート版の
版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且つ伸
張させないように、上記各辺のシート版取付部材を保持
した状態で、上記スキージ手段により、該シート版の上
記シート版取付け部材が取り付けられている一方の辺か
ら他方の辺に向けて、該シート版に補給されたペースト
をスキージングすると同時に、該ペーストのスキージン
グを終えた部分のシート版の版面と被印刷体の印刷面と
が離間するように、離間開始側のシート版取付部材を上
記取付部材移動手段で移動させながら、該シート版に形
成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷するモ
ードを実行させる第３の印刷モード制御手段と、上記第
１、第２、第３の各印刷モード制御手段により実行され
る各印刷モードのうちの何れか１つの印刷モードを選択
する印刷モード選択手段とを有するものである。
の印刷版を用いて印刷を行う印刷装置であって、上記シ
ート版に補給されたペーストをスキージングして、該シ
ート版に開口された印刷パターンによってペーストを被
印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該シート版
の対向する２つの辺が取り付けられている各辺のシート
版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手段と、該
スキージ手段によるスキージング時に、該取付部材保持
手段により個別に保持された少なくとも一方の辺のシー
ト版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸張させな
いように移動させる取付部材移動手段とを有し、上記取
付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と上記シート
版の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且
つ伸張させないように、上記シート版取付部材を保持し
た状態で、上記スキージ手段によりペーストをスキージ
ングして、該シート版に形成された印刷パターンを被印
刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる第１の印刷
モード制御手段と、上記取付部材保持手段により、上記
被印刷体の印刷面に対して上記シート版の版面の一部の
みがほぼ直線状に接触するように、該シート版を撓ませ
ず且つ伸張させずに、上記各辺のシート版取付部材を個
別に保持した状態で、上記スキージ手段で、被印刷体の
印刷面に対する該シート版の版面の接触位置を移動させ
ながらペーストをスキージングして、該シート版に形成
された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷するモー
ドを実行させる第２の印刷モード制御手段と、上記取付
部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シート版の
版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず且つ伸
張させないように、上記各辺のシート版取付部材を保持
した状態で、上記スキージ手段により、該シート版の上
記シート版取付け部材が取り付けられている一方の辺か
ら他方の辺に向けて、該シート版に補給されたペースト
をスキージングすると同時に、該ペーストのスキージン
グを終えた部分のシート版の版面と被印刷体の印刷面と
が離間するように、離間開始側のシート版取付部材を上
記取付部材移動手段で移動させながら、該シート版に形
成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印刷するモ
ードを実行させる第３の印刷モード制御手段と、上記第
１、第２、第３の各印刷モード制御手段により実行され
る各印刷モードのうちの何れか１つの印刷モードを選択
する印刷モード選択手段とを有するものである。
【００４４】この印刷装置においては、上記印刷モード
選択手段によって、上記コンタクト印刷モード、オフコ
ンタクト印刷モード、コンタクトオフ印刷モードのうち
の何れか１つの印刷モードを選択することができる。こ
れにより、印刷版としての印刷マスク、シート版として
のマスク、被印刷体、ペースト等の種類や、該マスクに
形成された印刷パターンの違いに応じて、最適な印刷モ
ードを選択することができる。
選択手段によって、上記コンタクト印刷モード、オフコ
ンタクト印刷モード、コンタクトオフ印刷モードのうち
の何れか１つの印刷モードを選択することができる。こ
れにより、印刷版としての印刷マスク、シート版として
のマスク、被印刷体、ペースト等の種類や、該マスクに
形成された印刷パターンの違いに応じて、最適な印刷モ
ードを選択することができる。
【００４５】請求項１３の発明は、請求項６の印刷方法
において、上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面
との離間時に、該シート版の一端側から該版面を離間さ
せ、且つ、該離間動作による該版面の離間領域と接触領
域との境界部位の移動する速度を、少なくとも該シート
版の上記印刷パターンが形成されている領域で、シート
版の版面に対するペーストの粘着力よりも被印刷体の印
刷面に対するペーストの粘着力が上回る速度に制御する
ことを特徴とするものである。
において、上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面
との離間時に、該シート版の一端側から該版面を離間さ
せ、且つ、該離間動作による該版面の離間領域と接触領
域との境界部位の移動する速度を、少なくとも該シート
版の上記印刷パターンが形成されている領域で、シート
版の版面に対するペーストの粘着力よりも被印刷体の印
刷面に対するペーストの粘着力が上回る速度に制御する
ことを特徴とするものである。
【００４６】この印刷方法においては、上記ペーストの
スキージング後、被印刷体の印刷面と上記シート版とし
てのマスクの版面とが、該マスクの一端側から離間され
る。また、該離間時に、該版面の離間領域と接触領域と
の境界部位の移動する速度が、少なくとも該マスクの上
記印刷パターンが形成されている領域、すなわち、該マ
スクの開口率が高い部分で、マスクの版面に対するペー
ストの粘着力よりも被印刷体の印刷面に対するペースト
の粘着力が上回る速度に制御される。ところで、請求項
８のコンタクトオフ印刷モードでは、コンタクト印刷モ
ードのメリットとオフコンタクト印刷モードのメリット
とを併せ持った品質の高い印刷を行うことができるが、
上記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に実行
されるため、スキージング速度によってマスクの版離れ
速度が決定される。しかし、ペーストの充填に最適なス
キージング速度と、マスクの最適な版離れ速度とは、必
ずしも一定の相関関係を有した速度にならない場合があ
る。このため、このような場合には、ペーストの充填に
適した速度でスキージングを行うとマスクの版離れ速度
が不適切になってペーストの抜け性が悪化したり、ペー
ストの版抜けに適した速度でスキージングを行うとペー
ストの充填性が悪化したりすることになる。これに対
し、この請求項１３の印刷方法によれば、最適なスキー
ジング速度でペーストをスキージングすることができ、
且つ、マスクの版面と被印刷体の印刷面とを、マスクに
形成された印刷パターンに応じた最適な版離れ速度で、
該マスクの一端側から徐々に離間させることができる。
従って、この印刷方法においては、ペーストの充填性及
び抜け性が極めて良好となり、品質の一層高い印刷をす
ることができる。
スキージング後、被印刷体の印刷面と上記シート版とし
てのマスクの版面とが、該マスクの一端側から離間され
る。また、該離間時に、該版面の離間領域と接触領域と
の境界部位の移動する速度が、少なくとも該マスクの上
記印刷パターンが形成されている領域、すなわち、該マ
スクの開口率が高い部分で、マスクの版面に対するペー
ストの粘着力よりも被印刷体の印刷面に対するペースト
の粘着力が上回る速度に制御される。ところで、請求項
８のコンタクトオフ印刷モードでは、コンタクト印刷モ
ードのメリットとオフコンタクト印刷モードのメリット
とを併せ持った品質の高い印刷を行うことができるが、
上記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に実行
されるため、スキージング速度によってマスクの版離れ
速度が決定される。しかし、ペーストの充填に最適なス
キージング速度と、マスクの最適な版離れ速度とは、必
ずしも一定の相関関係を有した速度にならない場合があ
る。このため、このような場合には、ペーストの充填に
適した速度でスキージングを行うとマスクの版離れ速度
が不適切になってペーストの抜け性が悪化したり、ペー
ストの版抜けに適した速度でスキージングを行うとペー
ストの充填性が悪化したりすることになる。これに対
し、この請求項１３の印刷方法によれば、最適なスキー
ジング速度でペーストをスキージングすることができ、
且つ、マスクの版面と被印刷体の印刷面とを、マスクに
形成された印刷パターンに応じた最適な版離れ速度で、
該マスクの一端側から徐々に離間させることができる。
従って、この印刷方法においては、ペーストの充填性及
び抜け性が極めて良好となり、品質の一層高い印刷をす
ることができる。
【００４７】請求項１４の発明は、請求項１３の印刷方
法において、上記版面の離間領域と接触領域との境界部
位の移動する速度を、一定の速度に設定したことを特徴
とするものである。
法において、上記版面の離間領域と接触領域との境界部
位の移動する速度を、一定の速度に設定したことを特徴
とするものである。
【００４８】この印刷方法においては、上記版面の離間
領域と接触領域との境界部位の移動する速度が、一定の
速度に設定されているので、被印刷体の印刷面とマスク
の版面とが安定した速度で離間されるようになり、マス
クにスキージングされたペーストの抜け性が向上され
る。
領域と接触領域との境界部位の移動する速度が、一定の
速度に設定されているので、被印刷体の印刷面とマスク
の版面とが安定した速度で離間されるようになり、マス
クにスキージングされたペーストの抜け性が向上され
る。
【００４９】請求項１５の発明は、請求項１３の印刷方
法において、上記版面の離間領域と接触領域との境界部
位の移動する速度を、上記シート版に形成された印刷パ
ターンの開口率に応じて設定することを特徴とするもの
である。
法において、上記版面の離間領域と接触領域との境界部
位の移動する速度を、上記シート版に形成された印刷パ
ターンの開口率に応じて設定することを特徴とするもの
である。
【００５０】この印刷方法においては、上記版面の離間
領域と接触領域との境界部位の移動する速度が、上記シ
ート版としてのマスクに形成された印刷パターンの開口
率に応じて設定されるので、該開口率の違いによるペー
ストの抜け性への影響を少なくすることができる。
領域と接触領域との境界部位の移動する速度が、上記シ
ート版としてのマスクに形成された印刷パターンの開口
率に応じて設定されるので、該開口率の違いによるペー
ストの抜け性への影響を少なくすることができる。
【００５１】請求項１６の発明は、請求項１３、１４又
は１５の印刷方法を用いて被印刷体の印刷面に印刷パタ
ーンを印刷する印刷装置であって、上記版面の離間領域
と接触領域との境界部位の移動する速度を制御する版離
れ速度制御手段は、該印刷面に対して該版面が接触した
姿勢を維持するように、該版面を該印刷面側に押し付け
るための押し付け部材と、該版面の一端側から他端側に
向けて、該押し付け部材を移動させるための押し付け部
材移動手段と、該移動手段による該押し付け部材の移動
速度を制御する速度制御手段と、で構成されていること
を特徴とするものである。
は１５の印刷方法を用いて被印刷体の印刷面に印刷パタ
ーンを印刷する印刷装置であって、上記版面の離間領域
と接触領域との境界部位の移動する速度を制御する版離
れ速度制御手段は、該印刷面に対して該版面が接触した
姿勢を維持するように、該版面を該印刷面側に押し付け
るための押し付け部材と、該版面の一端側から他端側に
向けて、該押し付け部材を移動させるための押し付け部
材移動手段と、該移動手段による該押し付け部材の移動
速度を制御する速度制御手段と、で構成されていること
を特徴とするものである。
【００５２】この印刷装置においては、上記押し付け部
材により、上記被印刷体の印刷面に対してマスクの版面
が接触した姿勢を維持するように、該版面が該印刷面側
に押し付けられた状態で、上記押し付け部材移動手段に
より、該版面の一端側から他端側に向けて、該押し付け
部材が移動されることによって、被印刷体の印刷面とマ
スクの版面とが、該マスクの一端側から離間される。ま
た、該離間時に、該版面の離間領域と接触領域との境界
部位の移動する速度が、少なくとも該マスクの上記印刷
パターンが形成されている領域、例えば、該マスクの開
口率が高い部分で、マスクの版面に対するペーストの粘
着力よりも被印刷体の印刷面に対するペーストの粘着力
が上回る速度になるように、上記速度制御手段により、
該移動手段による該押し付け部材の移動速度が制御され
る。これにより、該マスクの版面と被印刷体の印刷面と
が、マスクに形成された印刷パターンに応じた最適な版
離れ速度で、該マスクの一端側から徐々に離間される。
材により、上記被印刷体の印刷面に対してマスクの版面
が接触した姿勢を維持するように、該版面が該印刷面側
に押し付けられた状態で、上記押し付け部材移動手段に
より、該版面の一端側から他端側に向けて、該押し付け
部材が移動されることによって、被印刷体の印刷面とマ
スクの版面とが、該マスクの一端側から離間される。ま
た、該離間時に、該版面の離間領域と接触領域との境界
部位の移動する速度が、少なくとも該マスクの上記印刷
パターンが形成されている領域、例えば、該マスクの開
口率が高い部分で、マスクの版面に対するペーストの粘
着力よりも被印刷体の印刷面に対するペーストの粘着力
が上回る速度になるように、上記速度制御手段により、
該移動手段による該押し付け部材の移動速度が制御され
る。これにより、該マスクの版面と被印刷体の印刷面と
が、マスクに形成された印刷パターンに応じた最適な版
離れ速度で、該マスクの一端側から徐々に離間される。
【００５３】請求項１７の発明は、請求項１６の印刷装
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の版面
と反対側の面に当接して摺動するブレード状部材で構成
されていることを特徴とするものである。
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の版面
と反対側の面に当接して摺動するブレード状部材で構成
されていることを特徴とするものである。
【００５４】この印刷装置においては、上記ブレード状
部材により、上記被印刷体の印刷面に対してシート版と
してのマスクの版面が接触した姿勢を維持するように、
該版面が該印刷面側に押し付けられた状態で、上記押し
付け部材移動手段により、該版面の一端側から他端側に
向けて、該ブレード状部材が摺動されることによって、
被印刷体の印刷面と印刷版の版面とが、該印刷版の一端
側から離間される。
部材により、上記被印刷体の印刷面に対してシート版と
してのマスクの版面が接触した姿勢を維持するように、
該版面が該印刷面側に押し付けられた状態で、上記押し
付け部材移動手段により、該版面の一端側から他端側に
向けて、該ブレード状部材が摺動されることによって、
被印刷体の印刷面と印刷版の版面とが、該印刷版の一端
側から離間される。
【００５５】請求項１８の発明は、請求項１７の印刷装
置において、上記押し付け部材としてのブレード状部材
は、上記ペーストをスキージングするためのスキージを
兼ねていることを特徴とするものである。
置において、上記押し付け部材としてのブレード状部材
は、上記ペーストをスキージングするためのスキージを
兼ねていることを特徴とするものである。
【００５６】この印刷装置においては、上記押し付け部
材としてのブレード状部材が、上記ペーストをスキージ
ングするためのスキージを兼ねているので、構成が簡素
化される。
材としてのブレード状部材が、上記ペーストをスキージ
ングするためのスキージを兼ねているので、構成が簡素
化される。
【００５７】請求項１９の発明は、請求項１８の印刷装
置において、上記押し付け部材としてのブレード状部材
を移動させるための押し付け部材移動手段は、上記シー
ト版取付部材に取り付けられている側の上記シート版の
２つの辺とほぼ直交する方向に、該ブレード状の部材を
移動させるように構成されていることを特徴とするもの
である。
置において、上記押し付け部材としてのブレード状部材
を移動させるための押し付け部材移動手段は、上記シー
ト版取付部材に取り付けられている側の上記シート版の
２つの辺とほぼ直交する方向に、該ブレード状の部材を
移動させるように構成されていることを特徴とするもの
である。
【００５８】この印刷装置においては、上記押し付け部
材移動手段により、押し付け部材としてのブレード状部
材が、上記シート版取付部材に取り付けられている側の
上記シート版の２つの辺とほぼ直交する方向に移動され
るので、該ブレード状部材の移動によるシート版の位置
ズレがなく、品質の高い印刷が行える。
材移動手段により、押し付け部材としてのブレード状部
材が、上記シート版取付部材に取り付けられている側の
上記シート版の２つの辺とほぼ直交する方向に移動され
るので、該ブレード状部材の移動によるシート版の位置
ズレがなく、品質の高い印刷が行える。
【００５９】請求項２０の発明は、請求項１６の印刷装
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の版面
と反対側の面に当接して回転移動するローラで構成され
ていることを特徴とするものである。
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の版面
と反対側の面に当接して回転移動するローラで構成され
ていることを特徴とするものである。
【００６０】この印刷装置においては、上記ローラによ
り、上記被印刷体の印刷面に対して上記シート版として
のマスクの版面が接触した姿勢を維持するように、該版
面が該印刷面側に押し付けられた状態で、上記押し付け
部材移動手段により、該版面の一端側から他端側に向け
て、該ローラが回転移動されることによって、被印刷体
の印刷面と印刷版の版面とが、該印刷版の一端側から離
間される。これにより、上記押し付け部材をブレード状
部材で構成した場合のように、該マスクの版面と反対側
の面が押し付け部材によって摺擦されることがなくなる
ので、該マスクの摺擦によるダメージを解消することが
できる。
り、上記被印刷体の印刷面に対して上記シート版として
のマスクの版面が接触した姿勢を維持するように、該版
面が該印刷面側に押し付けられた状態で、上記押し付け
部材移動手段により、該版面の一端側から他端側に向け
て、該ローラが回転移動されることによって、被印刷体
の印刷面と印刷版の版面とが、該印刷版の一端側から離
間される。これにより、上記押し付け部材をブレード状
部材で構成した場合のように、該マスクの版面と反対側
の面が押し付け部材によって摺擦されることがなくなる
ので、該マスクの摺擦によるダメージを解消することが
できる。
【００６１】請求項２１の発明は、請求項１６の印刷装
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の両側
縁部に沿って所定のピッチでほぼ平行に穿たれたスプロ
ケット孔に嵌合して回転移動する一対のスプロケットで
構成されていることを特徴とするものである。
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の両側
縁部に沿って所定のピッチでほぼ平行に穿たれたスプロ
ケット孔に嵌合して回転移動する一対のスプロケットで
構成されていることを特徴とするものである。
【００６２】この印刷装置においては、上記一対のスプ
ロケットにより、上記被印刷体の印刷面に対してマスク
の版面が接触した姿勢を維持するように、該版面が該印
刷面側に押し付けられた状態で、上記押し付け部材移動
手段により、該版面の一端側から他端側に向けて、該一
対のスプロケットが回転移動されることによって、被印
刷体の印刷面とマスクの版面とが、該マスクの一端側か
ら離間される。ここで、該一対のスプロケットは、該マ
スクの両側縁部に沿って所定のピッチでほぼ平行に穿た
れたスプロケット孔に嵌合して回転移動するので、該押
し付け部材をブレード状部材や上記ローラで構成した場
合のように、マスクの印刷パターン形成領域に押し付け
部材が当接することがないので、押し付け部材の当接に
よる該マスクのダメージを解消することができる。
ロケットにより、上記被印刷体の印刷面に対してマスク
の版面が接触した姿勢を維持するように、該版面が該印
刷面側に押し付けられた状態で、上記押し付け部材移動
手段により、該版面の一端側から他端側に向けて、該一
対のスプロケットが回転移動されることによって、被印
刷体の印刷面とマスクの版面とが、該マスクの一端側か
ら離間される。ここで、該一対のスプロケットは、該マ
スクの両側縁部に沿って所定のピッチでほぼ平行に穿た
れたスプロケット孔に嵌合して回転移動するので、該押
し付け部材をブレード状部材や上記ローラで構成した場
合のように、マスクの印刷パターン形成領域に押し付け
部材が当接することがないので、押し付け部材の当接に
よる該マスクのダメージを解消することができる。
【００６３】請求項２２の発明は、請求項１７の印刷装
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の両側
縁部に沿ってほぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド
板の内側面に係合して回転移動する一対のコロで構成さ
れていることを特徴とするものである。
置において、上記押し付け部材は、上記シート版の両側
縁部に沿ってほぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド
板の内側面に係合して回転移動する一対のコロで構成さ
れていることを特徴とするものである。
【００６４】この印刷装置においては、上記一対のコロ
により、上記被印刷体の印刷面に対してマスクの版面が
接触した姿勢を維持するように、該版面が該印刷面側に
押し付けられた状態で、上記押し付け部材移動手段によ
り、該版面の一端側から他端側に向けて、該一対のコロ
が回転移動されることによって、被印刷体の印刷面とマ
スクの版面とが、該マスクの一端側から離間される。こ
こで、該一対のコロは、該マスクの両側縁部に沿ってほ
ぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド板の内側面に係
合して回転移動するので、該一対のコロがマスクの印刷
パターン形成領域に当接することがなく、該押し付け部
材の該マスクへの当接によるダメージを解消することが
できる。
により、上記被印刷体の印刷面に対してマスクの版面が
接触した姿勢を維持するように、該版面が該印刷面側に
押し付けられた状態で、上記押し付け部材移動手段によ
り、該版面の一端側から他端側に向けて、該一対のコロ
が回転移動されることによって、被印刷体の印刷面とマ
スクの版面とが、該マスクの一端側から離間される。こ
こで、該一対のコロは、該マスクの両側縁部に沿ってほ
ぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド板の内側面に係
合して回転移動するので、該一対のコロがマスクの印刷
パターン形成領域に当接することがなく、該押し付け部
材の該マスクへの当接によるダメージを解消することが
できる。
【００６５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、前記バンプ印刷
を行うための印刷版としての印刷マスク、該印刷マスク
を製造するための印刷マスク材、及び、該印刷マスクを
用いた印刷方法及び印刷装置の実施形態について説明す
る。図１（ａ）に、本実施形態に係る印刷マスク材１０
Ａの概略斜視図を、図１（ｂ）に、該印刷マスク材１０
Ａの概略側面図を示す。図１（ａ）、（ｂ）に示す印刷
マスク材１０Ａは、ペーストを被印刷体に印刷するため
の印刷パターンが形成される前記シート版としてのマス
ク材２Ａの対向する２つの辺のみに、印刷装置に対して
該マスク材２Ａをほぼ平坦に保持して取り付けるための
従来のマスク取付枠１としての機能を果たす棒状に形成
された一対のマスク取付部材１Ａ，１Ｂが、マスク材２
Ａにテンションを付与しないように取り付けられて構成
されている。ここで、各マスク取付部材１Ａ，１Ｂとマ
スク材２Ａとは、図１（ｂ）に示すように、例えば、前
記従来の印刷マスク材１０Ａと同様、マスク取付部材１
Ａ，１Ｂのマスク固定面に塗布された２液エポキシなど
の接着剤５を介して互いに強固に取り付けれている。な
お、このマスク材２Ａには従来の印刷マスクのようなテ
ンションが付与されないので、各マスク取付部材１Ａ，
１Ｂとマスク材２Ａとは、比較的粘着力の強い両面テー
プなどを用いて接着するようにしてもよい。
を行うための印刷版としての印刷マスク、該印刷マスク
を製造するための印刷マスク材、及び、該印刷マスクを
用いた印刷方法及び印刷装置の実施形態について説明す
る。図１（ａ）に、本実施形態に係る印刷マスク材１０
Ａの概略斜視図を、図１（ｂ）に、該印刷マスク材１０
Ａの概略側面図を示す。図１（ａ）、（ｂ）に示す印刷
マスク材１０Ａは、ペーストを被印刷体に印刷するため
の印刷パターンが形成される前記シート版としてのマス
ク材２Ａの対向する２つの辺のみに、印刷装置に対して
該マスク材２Ａをほぼ平坦に保持して取り付けるための
従来のマスク取付枠１としての機能を果たす棒状に形成
された一対のマスク取付部材１Ａ，１Ｂが、マスク材２
Ａにテンションを付与しないように取り付けられて構成
されている。ここで、各マスク取付部材１Ａ，１Ｂとマ
スク材２Ａとは、図１（ｂ）に示すように、例えば、前
記従来の印刷マスク材１０Ａと同様、マスク取付部材１
Ａ，１Ｂのマスク固定面に塗布された２液エポキシなど
の接着剤５を介して互いに強固に取り付けれている。な
お、このマスク材２Ａには従来の印刷マスクのようなテ
ンションが付与されないので、各マスク取付部材１Ａ，
１Ｂとマスク材２Ａとは、比較的粘着力の強い両面テー
プなどを用いて接着するようにしてもよい。
【００６６】ここで、上述のように、マスク材２Ａの２
つの対向辺のみにマスク取付部材のマスク取付部材１
Ａ，１Ｂを取り付けた構成の印刷マスク材１０Ａでは、
マスク取付部材１Ａ，１Ｂが取り付けられていない側の
他の２辺が、印刷の繰り返しによって破損したり伸びた
りする虞がある。そこで、本発明の印刷マスクとして
は、図２に示す印刷マスク材１０Ｂのように、上記マス
ク取付部材１Ａ，１Ｂが取り付けられていない側のマス
ク材２Ａの他の２辺に、帯状の補強部材６が設けられて
いるものであることが望ましい。この補強部材６として
は、印刷の繰り返しによる上記マスク材２Ａの破損や伸
びを防止できるものであれば、どのような素材で構成さ
れていてもよいが、後述するオフコンタクト印刷やコン
タクトオフ印刷を行う場合には、可撓性や弾性を有する
薄手のプラスチック板やステンレス版などのような素材
で構成することが好ましい。また、この補強部材６は、
印刷時におけるマスク材２Ａと被印刷体との密着を阻害
しないようするために、マスク材２Ａのペースト補給面
側（上面側）に設けることが好ましい（ただし、マスク
材２Ａが被印刷体の印刷面よりも十分に大きな面積を有
していて、補強部材６が被印刷体から外れた位置に臨む
ような場合にはこの限りでない）。更に、マスク材２Ａ
への補強部材６の取り付け方法としては、マスク材２Ａ
に対して補強部材６を接着固定してもよく、あるいは、
補強部材６の側面にスリットを形成し、該スリットでマ
スク材２Ａの各辺を挟み込むように保持して、補強部材
６の両端部を各マスク取付部材１Ａ，１Ｂに固定するよ
うに構成してもよい。後者の取り付け方法によれば、後
述するオフコンタクト印刷やコンタクトオフ印刷を行う
際の補強部材６の湾曲によってマスク材２Ａにストレス
がかかる不具合を解消することができる。この印刷マス
ク材１０Ｂにおいては、上記補強部材６によって、マス
ク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付けられていない側のマス
ク材２Ａの２辺の機械的強度が向上される。これによ
り、マスク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付けられていない
側のマスク材２Ａの２辺が、印刷の繰り返しによって破
損したり伸びたりすることが少なくなり、印刷マスクの
寿命を延ばすことができる。
つの対向辺のみにマスク取付部材のマスク取付部材１
Ａ，１Ｂを取り付けた構成の印刷マスク材１０Ａでは、
マスク取付部材１Ａ，１Ｂが取り付けられていない側の
他の２辺が、印刷の繰り返しによって破損したり伸びた
りする虞がある。そこで、本発明の印刷マスクとして
は、図２に示す印刷マスク材１０Ｂのように、上記マス
ク取付部材１Ａ，１Ｂが取り付けられていない側のマス
ク材２Ａの他の２辺に、帯状の補強部材６が設けられて
いるものであることが望ましい。この補強部材６として
は、印刷の繰り返しによる上記マスク材２Ａの破損や伸
びを防止できるものであれば、どのような素材で構成さ
れていてもよいが、後述するオフコンタクト印刷やコン
タクトオフ印刷を行う場合には、可撓性や弾性を有する
薄手のプラスチック板やステンレス版などのような素材
で構成することが好ましい。また、この補強部材６は、
印刷時におけるマスク材２Ａと被印刷体との密着を阻害
しないようするために、マスク材２Ａのペースト補給面
側（上面側）に設けることが好ましい（ただし、マスク
材２Ａが被印刷体の印刷面よりも十分に大きな面積を有
していて、補強部材６が被印刷体から外れた位置に臨む
ような場合にはこの限りでない）。更に、マスク材２Ａ
への補強部材６の取り付け方法としては、マスク材２Ａ
に対して補強部材６を接着固定してもよく、あるいは、
補強部材６の側面にスリットを形成し、該スリットでマ
スク材２Ａの各辺を挟み込むように保持して、補強部材
６の両端部を各マスク取付部材１Ａ，１Ｂに固定するよ
うに構成してもよい。後者の取り付け方法によれば、後
述するオフコンタクト印刷やコンタクトオフ印刷を行う
際の補強部材６の湾曲によってマスク材２Ａにストレス
がかかる不具合を解消することができる。この印刷マス
ク材１０Ｂにおいては、上記補強部材６によって、マス
ク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付けられていない側のマス
ク材２Ａの２辺の機械的強度が向上される。これによ
り、マスク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付けられていない
側のマスク材２Ａの２辺が、印刷の繰り返しによって破
損したり伸びたりすることが少なくなり、印刷マスクの
寿命を延ばすことができる。
【００６７】一方、図１及び図２に示した印刷マスク材
１０Ａ，１０Ｂでは、従来のマスク取付枠１に相当する
部材として、互いに分離した２つのマスク取付部材１
Ａ，１Ｂを使用しているが、本発明の印刷マスクは、図
１１に示したような従来のマスク取付枠１と同様の矩形
状に一体形成されたマスク取付枠を使用して構成するこ
ともできる。図３に示す印刷マスク材１０Ｃは、この矩
形状に一体形成されたマスク取付枠１を用いて構成した
ものである。すなわち、この印刷マスク材１０Ｃは、マ
スク取付枠１の４つのマスク取付部材１Ａ，１Ｂ，１
Ｃ，１Ｄのうちの対向する２つのマスク取付部材１Ａ，
１Ｂに、上記マスク材２Ａの対向する２つの辺を、マス
ク材２Ａにテンションを付与しないように固定して、マ
スク取付枠１の２つのマスク取付部材１Ａ，１Ｂのみで
マスク材２Ａを支持するように構成されている。
１０Ａ，１０Ｂでは、従来のマスク取付枠１に相当する
部材として、互いに分離した２つのマスク取付部材１
Ａ，１Ｂを使用しているが、本発明の印刷マスクは、図
１１に示したような従来のマスク取付枠１と同様の矩形
状に一体形成されたマスク取付枠を使用して構成するこ
ともできる。図３に示す印刷マスク材１０Ｃは、この矩
形状に一体形成されたマスク取付枠１を用いて構成した
ものである。すなわち、この印刷マスク材１０Ｃは、マ
スク取付枠１の４つのマスク取付部材１Ａ，１Ｂ，１
Ｃ，１Ｄのうちの対向する２つのマスク取付部材１Ａ，
１Ｂに、上記マスク材２Ａの対向する２つの辺を、マス
ク材２Ａにテンションを付与しないように固定して、マ
スク取付枠１の２つのマスク取付部材１Ａ，１Ｂのみで
マスク材２Ａを支持するように構成されている。
【００６８】また、本発明の印刷マスクのマスク取付部
材としては、図４に示す印刷マスク材１０Ｄのマスク取
付枠１のように、上記印刷マスク材１０ＡＣのマスク取
付枠１の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄのう
ちの、マスク材２Ａが取り付けられていない１つのマス
ク取付部材１Ｄを切除した構成の３つのマスク取付部材
１Ａ，１Ｂ，１Ｃからなるコ字形状のものであってもよ
い。この印刷マスク材１０Ｄは、上記印刷マスク材１０
Ｃと同様、そのマスク取付枠１の３つのマスク取付部材
１Ａ，１Ｂ，１Ｃのうちの対向する２つのマスク取付部
材１Ａ，１Ｂに、上記マスク材２Ａの対向する２つの辺
が、マスク材２Ａにテンションを付与しないように固定
されて構成されている。なお、図３及び図４に示した印
刷マスク材１０Ｃ，１０Ｄを使用して、後述するオフコ
ンタクト印刷やコンタクトオフ印刷を行う場合には、例
えば、図５（ａ）に示すように、そのマスク取付枠１の
各マスク取付部材１Ａ，１Ｂにマスク材２Ａの両辺を取
り付ける際に、マスク材２Ａを予め所定量だけ弛ませる
ように構成するか、あるいは、図５（ｂ）に示すよう
に、マスク材２Ａが取り付けられていない各マスク取付
部材１Ｃ，１Ｄを伸縮自在に構成しておく。
材としては、図４に示す印刷マスク材１０Ｄのマスク取
付枠１のように、上記印刷マスク材１０ＡＣのマスク取
付枠１の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄのう
ちの、マスク材２Ａが取り付けられていない１つのマス
ク取付部材１Ｄを切除した構成の３つのマスク取付部材
１Ａ，１Ｂ，１Ｃからなるコ字形状のものであってもよ
い。この印刷マスク材１０Ｄは、上記印刷マスク材１０
Ｃと同様、そのマスク取付枠１の３つのマスク取付部材
１Ａ，１Ｂ，１Ｃのうちの対向する２つのマスク取付部
材１Ａ，１Ｂに、上記マスク材２Ａの対向する２つの辺
が、マスク材２Ａにテンションを付与しないように固定
されて構成されている。なお、図３及び図４に示した印
刷マスク材１０Ｃ，１０Ｄを使用して、後述するオフコ
ンタクト印刷やコンタクトオフ印刷を行う場合には、例
えば、図５（ａ）に示すように、そのマスク取付枠１の
各マスク取付部材１Ａ，１Ｂにマスク材２Ａの両辺を取
り付ける際に、マスク材２Ａを予め所定量だけ弛ませる
ように構成するか、あるいは、図５（ｂ）に示すよう
に、マスク材２Ａが取り付けられていない各マスク取付
部材１Ｃ，１Ｄを伸縮自在に構成しておく。
【００６９】上述のように、本実施形態に係る印刷マス
ク材１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、マスク取付部
材１Ａ，１Ｂがマスク材２Ａに取り付けられた状態で、
マスク材２Ａにテンションが付与されない。従って、こ
の印刷マスク材１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄにおい
ては、例えば、マスク材２Ａに開口率の高い開口を形成
する時や、マスク材２Ａに各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
を取り付けるときなどに、前記従来の印刷マスクのよう
に各開口間のリブが伸ばされて各開口の寸法精度に狂い
が生じたり、各開口の中心位置に位置ズレが生じたりす
るということがない。また、これらの印刷マスク材１０
Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ用いて製造された印刷マス
クにおいては、被印刷体に印刷パターンを印刷する際
に、マスク材２Ａ自体にテンションがかけられていない
ので、その各開口の形状や位置が経時的に歪んだりズレ
たりすることが少ないない。従って、これらの印刷マス
ク材１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄでは、例えば、前
記プラズマディスプレイパネルのバリアリブを形成する
場合のように、同一の印刷パターンを繰り返し重ね印刷
しても、印刷パターンがずれたり歪んだりすることが少
なく、極めて高品質な印刷を実現できる。
ク材１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、マスク取付部
材１Ａ，１Ｂがマスク材２Ａに取り付けられた状態で、
マスク材２Ａにテンションが付与されない。従って、こ
の印刷マスク材１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄにおい
ては、例えば、マスク材２Ａに開口率の高い開口を形成
する時や、マスク材２Ａに各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
を取り付けるときなどに、前記従来の印刷マスクのよう
に各開口間のリブが伸ばされて各開口の寸法精度に狂い
が生じたり、各開口の中心位置に位置ズレが生じたりす
るということがない。また、これらの印刷マスク材１０
Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ用いて製造された印刷マス
クにおいては、被印刷体に印刷パターンを印刷する際
に、マスク材２Ａ自体にテンションがかけられていない
ので、その各開口の形状や位置が経時的に歪んだりズレ
たりすることが少ないない。従って、これらの印刷マス
ク材１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄでは、例えば、前
記プラズマディスプレイパネルのバリアリブを形成する
場合のように、同一の印刷パターンを繰り返し重ね印刷
しても、印刷パターンがずれたり歪んだりすることが少
なく、極めて高品質な印刷を実現できる。
【００７０】更に、これらの印刷マスク材１０Ａ，１０
Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、以下に説明するようなコンタク
ト印刷、オフコンタクト印刷、コンタクトオフ印刷など
の各種の印刷を、１つの印刷マスクを用いて行うことが
できる。図６に、上記各種の印刷を行うための印刷装置
の主要部の構成を示す。以下、該印刷装置により、上記
印刷マスク材１０Ａにより製造された印刷マスク１０を
用いて、被印刷体としてのウエハー３０上にバンプを形
成する場合について説明する。なお、この印刷マスク１
０のマスク２には、ウエハー３０に形成されるバンプの
配列や形状に見合った多数の開口からなる所定の印刷パ
ターンが予め形成されているものとする。
Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、以下に説明するようなコンタク
ト印刷、オフコンタクト印刷、コンタクトオフ印刷など
の各種の印刷を、１つの印刷マスクを用いて行うことが
できる。図６に、上記各種の印刷を行うための印刷装置
の主要部の構成を示す。以下、該印刷装置により、上記
印刷マスク材１０Ａにより製造された印刷マスク１０を
用いて、被印刷体としてのウエハー３０上にバンプを形
成する場合について説明する。なお、この印刷マスク１
０のマスク２には、ウエハー３０に形成されるバンプの
配列や形状に見合った多数の開口からなる所定の印刷パ
ターンが予め形成されているものとする。
【００７１】上記印刷装置は、上記印刷マスク１０のマ
スク２に対してテンションを付与せず、且つ、マスク２
を撓ませないように、マスク２を被印刷体としてのウエ
ハー３０に接触させる第１の保持位置と、マスク２をウ
エハー３０から離間させる第２の保持位置との間で、印
刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂを移動自在
に個別に保持する取付部材保持手段としての一対のマス
ク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂを備えている。こ
の印刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂには、
図１に示すように、上記各マスク取付部材保持アーム４
１Ａ，４１Ｂに各マスク取付部材１Ａ，１Ｂを取り付け
るための取付穴１ａ，１ｂが設けられている。一方、各
マスク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂには、該取付
穴１ａ，１ｂと対応する部位に、印刷マスク１０の各マ
スク取付部材１Ａ，１Ｂを保持するための長穴状に形成
された保持穴４１ａ，４１ｂが設けられている。この印
刷マスク１０は、図６に示すように、ボルトやピンなど
からなる保持部材４２が、各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
の取付穴１ａ，１ｂを通して、上記各マスク取付部材保
持アーム４１Ａ，４１Ｂの保持穴４１ａ，４１ｂに取り
付けられることによって、マスク２にテンションを付与
せず、且つ、マスク２を撓ませないように該印刷装置に
セットされる。
スク２に対してテンションを付与せず、且つ、マスク２
を撓ませないように、マスク２を被印刷体としてのウエ
ハー３０に接触させる第１の保持位置と、マスク２をウ
エハー３０から離間させる第２の保持位置との間で、印
刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂを移動自在
に個別に保持する取付部材保持手段としての一対のマス
ク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂを備えている。こ
の印刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂには、
図１に示すように、上記各マスク取付部材保持アーム４
１Ａ，４１Ｂに各マスク取付部材１Ａ，１Ｂを取り付け
るための取付穴１ａ，１ｂが設けられている。一方、各
マスク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂには、該取付
穴１ａ，１ｂと対応する部位に、印刷マスク１０の各マ
スク取付部材１Ａ，１Ｂを保持するための長穴状に形成
された保持穴４１ａ，４１ｂが設けられている。この印
刷マスク１０は、図６に示すように、ボルトやピンなど
からなる保持部材４２が、各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
の取付穴１ａ，１ｂを通して、上記各マスク取付部材保
持アーム４１Ａ，４１Ｂの保持穴４１ａ，４１ｂに取り
付けられることによって、マスク２にテンションを付与
せず、且つ、マスク２を撓ませないように該印刷装置に
セットされる。
【００７２】また、上記各マスク取付部材保持アーム４
１Ａ，４１Ｂには、上記第１の保持位置と第２の保持位
置との間で、マスク２にテンションを付与せず、且つ、
マスク２を撓ませないように、各マスク取付部材１Ａ，
１Ｂを個別に移動させる取付部材移動手段５０Ａ，５０
Ｂが配設されている。これらの取付部材移動手段５０
Ａ，５０Ｂは、上記各マスク取付部材１Ａ，１Ｂの長手
方向（Ｙ軸方向）に対して直交するＸ軸方向にほぼ沿う
ように回転自在に配設された進退用ボールネジ５１Ａ，
５１Ｂと、Ｚ軸方向にほぼ沿うように回転自在に配設さ
れた昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂと、進退用ボール
ネジ５１Ａ，５１Ｂ及び昇降用ボールネジ５２Ａ，５２
Ｂの回転によってＸ軸方向及びＺ軸方向に移動される移
動体５３Ａ，５３Ｂと、この進退用ボールネジ５１Ａ，
５１Ｂ及び昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂを個別に回
転駆動するため図示しない複数個の駆動モータ等で構成
されている。ここで、進退用ボールネジ５１Ａ，５１Ｂ
の軸受け部は、昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂの回転
による移動体５３Ａ，５３Ｂの昇降動作に追従するよう
に、Ｚ軸方向に沿って移動自在に構成されている。ま
た、昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂの軸受け部は、進
退用ボールネジ５１Ａ，５１Ｂの回転による移動体５３
Ａ，５３Ｂの進退動作に追従するように、Ｘ軸方向に沿
って移動自在に構成されている。昇降自在に構成されて
いる。
１Ａ，４１Ｂには、上記第１の保持位置と第２の保持位
置との間で、マスク２にテンションを付与せず、且つ、
マスク２を撓ませないように、各マスク取付部材１Ａ，
１Ｂを個別に移動させる取付部材移動手段５０Ａ，５０
Ｂが配設されている。これらの取付部材移動手段５０
Ａ，５０Ｂは、上記各マスク取付部材１Ａ，１Ｂの長手
方向（Ｙ軸方向）に対して直交するＸ軸方向にほぼ沿う
ように回転自在に配設された進退用ボールネジ５１Ａ，
５１Ｂと、Ｚ軸方向にほぼ沿うように回転自在に配設さ
れた昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂと、進退用ボール
ネジ５１Ａ，５１Ｂ及び昇降用ボールネジ５２Ａ，５２
Ｂの回転によってＸ軸方向及びＺ軸方向に移動される移
動体５３Ａ，５３Ｂと、この進退用ボールネジ５１Ａ，
５１Ｂ及び昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂを個別に回
転駆動するため図示しない複数個の駆動モータ等で構成
されている。ここで、進退用ボールネジ５１Ａ，５１Ｂ
の軸受け部は、昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂの回転
による移動体５３Ａ，５３Ｂの昇降動作に追従するよう
に、Ｚ軸方向に沿って移動自在に構成されている。ま
た、昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂの軸受け部は、進
退用ボールネジ５１Ａ，５１Ｂの回転による移動体５３
Ａ，５３Ｂの進退動作に追従するように、Ｘ軸方向に沿
って移動自在に構成されている。昇降自在に構成されて
いる。
【００７３】更に、該印刷装置の上記印刷マスク１０が
セットされる部位の、マスク２の上面と対応する部位に
は、マスク２の上面に沿ってＸ軸方向に往復移動される
スキージ７が配設されている。また、上記被印刷体とし
てのウエハー３０は、その印刷面３０ａが、印刷マスク
１０のマスク２を挟んで、スキージ７の往復経路に対向
し、且つ、マスク２の版面（下面）に対してほぼ平行と
なるように、図示しない載置盤上にセットされる。
セットされる部位の、マスク２の上面と対応する部位に
は、マスク２の上面に沿ってＸ軸方向に往復移動される
スキージ７が配設されている。また、上記被印刷体とし
てのウエハー３０は、その印刷面３０ａが、印刷マスク
１０のマスク２を挟んで、スキージ７の往復経路に対向
し、且つ、マスク２の版面（下面）に対してほぼ平行と
なるように、図示しない載置盤上にセットされる。
【００７４】また、上記印刷装置は、上記コンタクト印
刷を行うコンタクト印刷モードと、上記オフコンタクト
印刷を行うオフコンタクト印刷モードと、上記コンタク
トオフ印刷を行うコンタクトオフ印刷モードとの何れか
１つの印刷モードを選択する印刷モード選択手段として
の図示しない印刷モード切換スイッチを備えている。そ
して、該印刷モード切換スイッチの操作により１つの印
刷モードが選択されることによって、この印刷装置の図
示しない制御部のメモリに予め記憶されている上記の各
印刷モードを実行するための各プログラムのうちの、該
当する印刷モードのプログラムが該メモリから該制御部
のＣＰＵに呼び出されて、該プログラムに従って所定の
印刷モードが実行されるように構成されている。
刷を行うコンタクト印刷モードと、上記オフコンタクト
印刷を行うオフコンタクト印刷モードと、上記コンタク
トオフ印刷を行うコンタクトオフ印刷モードとの何れか
１つの印刷モードを選択する印刷モード選択手段として
の図示しない印刷モード切換スイッチを備えている。そ
して、該印刷モード切換スイッチの操作により１つの印
刷モードが選択されることによって、この印刷装置の図
示しない制御部のメモリに予め記憶されている上記の各
印刷モードを実行するための各プログラムのうちの、該
当する印刷モードのプログラムが該メモリから該制御部
のＣＰＵに呼び出されて、該プログラムに従って所定の
印刷モードが実行されるように構成されている。
【００７５】ここで、上記印刷モード切換スイッチによ
って、上記コンタクト印刷モードが選択されると、ま
ず、上記取付部材移動手段５０Ａ，５０Ｂの昇降用ボー
ルネジ５２Ａ，５２Ｂの回転により、各移動体５３Ａ，
５３Ｂが下降して、図７（ａ）に示すように、上記マス
ク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保持された印刷
マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂが、印刷マス
ク１０のマスク２がウエハー３０の印刷面３０ａに接触
する前記第１の保持位置まで下降される。このとき、マ
スク２に対してテンションが付与されないようにすべ
く、取付部材移動手段５０Ａ，５０Ｂの進退用ボールネ
ジ５１Ａ，５１Ｂも適宜回転して、各移動体５３Ａ，５
３ＢがＸ軸方向に沿って個別に移動される。なお、マス
ク２に対してテンションが付与されないように各移動体
５３Ａ，５３ＢをＸ軸方向に沿って個別に移動する制御
は、例えば、移動体５３Ａ，５３Ｂの駆動系にトルクセ
ンサを配置し、該トルクセンサの出力の有無等に基づい
て前記各駆動モータを個別にオン／オフすることによっ
て達成できる。
って、上記コンタクト印刷モードが選択されると、ま
ず、上記取付部材移動手段５０Ａ，５０Ｂの昇降用ボー
ルネジ５２Ａ，５２Ｂの回転により、各移動体５３Ａ，
５３Ｂが下降して、図７（ａ）に示すように、上記マス
ク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保持された印刷
マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂが、印刷マス
ク１０のマスク２がウエハー３０の印刷面３０ａに接触
する前記第１の保持位置まで下降される。このとき、マ
スク２に対してテンションが付与されないようにすべ
く、取付部材移動手段５０Ａ，５０Ｂの進退用ボールネ
ジ５１Ａ，５１Ｂも適宜回転して、各移動体５３Ａ，５
３ＢがＸ軸方向に沿って個別に移動される。なお、マス
ク２に対してテンションが付与されないように各移動体
５３Ａ，５３ＢをＸ軸方向に沿って個別に移動する制御
は、例えば、移動体５３Ａ，５３Ｂの駆動系にトルクセ
ンサを配置し、該トルクセンサの出力の有無等に基づい
て前記各駆動モータを個別にオン／オフすることによっ
て達成できる。
【００７６】次いで、上記動作により該マスク２がウエ
ハー３０の印刷面３０ａに接触した状態で、上記スキー
ジ７がＸ軸方向に沿って移動して、図示しないペースト
補給装置によりマスク２上に補給されたペーストがスキ
ージングされ、マスク２の各開口内にペースト８が充填
される。そして、このスキージ７によるペースト８のス
キージングが終了すると、上記取付部材移動手段５０
Ａ，５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂが、上記
下降時とは反対の方向に回転する。これにより、各移動
体５３Ａ，５３Ｂが上昇して、図７（ｂ）に示すよう
に、上記マスク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保
持された印刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
が、前記第２の保持位置まで上昇され、印刷マスク１０
のマスク２がウエハー３０の印刷面３０ａから離間され
る。
ハー３０の印刷面３０ａに接触した状態で、上記スキー
ジ７がＸ軸方向に沿って移動して、図示しないペースト
補給装置によりマスク２上に補給されたペーストがスキ
ージングされ、マスク２の各開口内にペースト８が充填
される。そして、このスキージ７によるペースト８のス
キージングが終了すると、上記取付部材移動手段５０
Ａ，５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂが、上記
下降時とは反対の方向に回転する。これにより、各移動
体５３Ａ，５３Ｂが上昇して、図７（ｂ）に示すよう
に、上記マスク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保
持された印刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
が、前記第２の保持位置まで上昇され、印刷マスク１０
のマスク２がウエハー３０の印刷面３０ａから離間され
る。
【００７７】なお、このとき、印刷マスク１０のマスク
２をウエハー３０の印刷面３０ａから急速に離間する
と、マスク２の印刷面３０ａからの版離れ速度が速くな
るため、マスク２の開口に充填されたペースト８の該印
刷面３０ａへのタッキング（粘着）が不十分となって、
ペースト８の印刷性が悪化することがある。従って、印
刷マスク１０のマスク２をウエハー３０の印刷面３０ａ
から離間する際には、マスク２の該印刷面３０ａからの
版離れ速度を、マスク２の開口に充填されたペースト８
の印刷面３０ａへのタッキング（粘着）が十分に促進さ
れるような速度に設定することが望ましい。
２をウエハー３０の印刷面３０ａから急速に離間する
と、マスク２の印刷面３０ａからの版離れ速度が速くな
るため、マスク２の開口に充填されたペースト８の該印
刷面３０ａへのタッキング（粘着）が不十分となって、
ペースト８の印刷性が悪化することがある。従って、印
刷マスク１０のマスク２をウエハー３０の印刷面３０ａ
から離間する際には、マスク２の該印刷面３０ａからの
版離れ速度を、マスク２の開口に充填されたペースト８
の印刷面３０ａへのタッキング（粘着）が十分に促進さ
れるような速度に設定することが望ましい。
【００７８】このようにして、印刷マスク１０のマスク
２がウエハー３０の印刷面３０ａから離間されことによ
り、マスク２に形成された印刷パターンがウエハー３０
の印刷面３０ａにコンタクト印刷される。このコンタク
ト印刷では、上述のように、上記マスク２がウエハー３
０の印刷面３０ａに接触したままの状態でペースト８の
印刷が行われる。従って、ウエハー３０とマスク２とが
コンタクトしたままの状態で、スキージングによりペー
スト８の充填が行われるので、このスキージング工程の
ペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因である
隙間の発生を防止することができ、且つ、ペースト８の
スキージングをペースト８の充填に最適な速度で行うこ
とができる。また、ウエハー３０の印刷面３０ａからの
マスク２の版離れ速度や版離れタイミングをバラツキな
く最適に保つことができるようにコントロールすること
によって、ウエハー３０の印刷面３０ａに対してペース
ト８を確実にタッキングさせることができるので、マス
ク２からのペースト８の抜け性も良好になる。
２がウエハー３０の印刷面３０ａから離間されことによ
り、マスク２に形成された印刷パターンがウエハー３０
の印刷面３０ａにコンタクト印刷される。このコンタク
ト印刷では、上述のように、上記マスク２がウエハー３
０の印刷面３０ａに接触したままの状態でペースト８の
印刷が行われる。従って、ウエハー３０とマスク２とが
コンタクトしたままの状態で、スキージングによりペー
スト８の充填が行われるので、このスキージング工程の
ペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因である
隙間の発生を防止することができ、且つ、ペースト８の
スキージングをペースト８の充填に最適な速度で行うこ
とができる。また、ウエハー３０の印刷面３０ａからの
マスク２の版離れ速度や版離れタイミングをバラツキな
く最適に保つことができるようにコントロールすること
によって、ウエハー３０の印刷面３０ａに対してペース
ト８を確実にタッキングさせることができるので、マス
ク２からのペースト８の抜け性も良好になる。
【００７９】次に、上記印刷モード切換スイッチによっ
て、上記オフコンタクト印刷モードが選択された場合に
ついて説明する。オフコンタクト印刷モードが選択され
ると、まず、図８（ａ）に示すように、上記取付部材移
動手段５０Ａ，５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ａ，５２
Ｂの回転により、各移動体５３Ａ，５３Ｂが昇降され
て、上記印刷マスク１０のマスク２がウエハー３０の印
刷面３０ａから所定距離だけ離間した位置に臨むよう
に、上記マスク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保
持された印刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
が移動される。
て、上記オフコンタクト印刷モードが選択された場合に
ついて説明する。オフコンタクト印刷モードが選択され
ると、まず、図８（ａ）に示すように、上記取付部材移
動手段５０Ａ，５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ａ，５２
Ｂの回転により、各移動体５３Ａ，５３Ｂが昇降され
て、上記印刷マスク１０のマスク２がウエハー３０の印
刷面３０ａから所定距離だけ離間した位置に臨むよう
に、上記マスク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保
持された印刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂ
が移動される。
【００８０】次いで、上述のように、マスク２がウエハ
ー３０の印刷面３０ａから所定距離だけ離間した位置に
臨んだ状態で、上記スキージ７が下降し、スキージ７に
よって、マスク２がウエハー３０の印刷面３０ａ側へ押
圧されて該印刷面３０ａにマスク２の下面が接触しなが
ら、マスク２上に補給されたペースト８がスキージング
される。このとき、スキージ７がマスク２の上面を押圧
することによって、マスク２に対して撓みが生じたりテ
ンションが付与されないようにするために、前記コンタ
クト印刷の場合と同様に、取付部材移動手段５０Ａ，５
０Ｂの進退用ボールネジ５１Ａ，５１Ｂが適宜回転し
て、図８（ｂ）に示すように、各移動体５３Ａ，５３Ｂ
がＸ軸方向に沿って個別に制御移動される。
ー３０の印刷面３０ａから所定距離だけ離間した位置に
臨んだ状態で、上記スキージ７が下降し、スキージ７に
よって、マスク２がウエハー３０の印刷面３０ａ側へ押
圧されて該印刷面３０ａにマスク２の下面が接触しなが
ら、マスク２上に補給されたペースト８がスキージング
される。このとき、スキージ７がマスク２の上面を押圧
することによって、マスク２に対して撓みが生じたりテ
ンションが付与されないようにするために、前記コンタ
クト印刷の場合と同様に、取付部材移動手段５０Ａ，５
０Ｂの進退用ボールネジ５１Ａ，５１Ｂが適宜回転し
て、図８（ｂ）に示すように、各移動体５３Ａ，５３Ｂ
がＸ軸方向に沿って個別に制御移動される。
【００８１】そして、上記スキージ７によるペースト８
のスキージングが終了すると、上記取付部材移動手段５
０Ａ，５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂが、上
記スキージング時とは反対の方向に回転する。これによ
り、各移動体５３Ａ，５３Ｂが初期位置に復帰されて、
マスク２に形成された印刷パターンがウエハー３０の印
刷面３０ａにオフコンタクト印刷される。
のスキージングが終了すると、上記取付部材移動手段５
０Ａ，５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂが、上
記スキージング時とは反対の方向に回転する。これによ
り、各移動体５３Ａ，５３Ｂが初期位置に復帰されて、
マスク２に形成された印刷パターンがウエハー３０の印
刷面３０ａにオフコンタクト印刷される。
【００８２】ところで、前記コンタクト印刷モードの版
離れ工程においては、被ウエハー３０の印刷面３０ａか
らマスク２の版面２ｇの全面を一気に離間させるように
している。このため、該コンタクト印刷モードでは、ペ
ースト８の印刷面３０ａに対する粘着力やマスク２に対
するズリ応力によって、該離間時に該版面２ｇの周辺部
が先に離間してマスク２が湾曲し、その後、該版面２ｇ
の中央部が跳ね上がるようにして離間することがある。
従って、該コンタクト印刷モードでは、マスク２の版離
れ速度を、ペースト８の抜け性が良好となるようなほぼ
一定の速度にコントロールすることが難しい。
離れ工程においては、被ウエハー３０の印刷面３０ａか
らマスク２の版面２ｇの全面を一気に離間させるように
している。このため、該コンタクト印刷モードでは、ペ
ースト８の印刷面３０ａに対する粘着力やマスク２に対
するズリ応力によって、該離間時に該版面２ｇの周辺部
が先に離間してマスク２が湾曲し、その後、該版面２ｇ
の中央部が跳ね上がるようにして離間することがある。
従って、該コンタクト印刷モードでは、マスク２の版離
れ速度を、ペースト８の抜け性が良好となるようなほぼ
一定の速度にコントロールすることが難しい。
【００８３】すなわち、図７に示したコンタクト印刷モ
ードの版離れ工程においては、図７（ｂ）に示したよう
に、ウエハー３０と印刷マスク１０との離間動作によ
り、マスク２の版面２ｇが被印刷体としてのウエハー３
０の印刷面３０ａに対してほぼ直交した方向に向けて一
気に離間される。このため、このコンタクト印刷モード
においては、その版離れ工程におけるウエハー３０と印
刷マスク１０との版離れ速度を適正な速度になるように
設定しておいても、マスク２に形成された開口２ａの開
口率、及び、マスク２の厚さや大きさなどの違いによ
り、マスク２の周辺部が離間される速度と中央部が離間
される速度との間に差が生じて、ペースト８の抜け性が
悪化することがある。
ードの版離れ工程においては、図７（ｂ）に示したよう
に、ウエハー３０と印刷マスク１０との離間動作によ
り、マスク２の版面２ｇが被印刷体としてのウエハー３
０の印刷面３０ａに対してほぼ直交した方向に向けて一
気に離間される。このため、このコンタクト印刷モード
においては、その版離れ工程におけるウエハー３０と印
刷マスク１０との版離れ速度を適正な速度になるように
設定しておいても、マスク２に形成された開口２ａの開
口率、及び、マスク２の厚さや大きさなどの違いによ
り、マスク２の周辺部が離間される速度と中央部が離間
される速度との間に差が生じて、ペースト８の抜け性が
悪化することがある。
【００８４】つまり、マスク２に形成された開口２ａの
開口率は必ずしも均一ではなく、該開口２ａの形状や外
径及び形成箇所も、印刷パターンに応じて様々に変化す
る。また、マスク２の開口２ａに充填されたペースト８
のタッキング力によるウエハー３０の印刷面３０ａとマ
スク２の版面２ｇとの密着力は、該開口２ａの形状や外
径及び形成箇所によっても異なるが、通常、該マスク２
の開口２ａの開口率が高い部分では比較的強く、該開口
率が低い部分では比較的弱くなる。このため、例えば、
マスク２の中央部に開口２ａの開口率が高い部分が存在
する場合、つまり、マスク２の中央部に印刷パターンが
密集して形成されている場合には、印刷面３０ａに対す
るマスク２の中央部の粘着力が、該マスク２の周辺部の
粘着力よりも高くなる。このようなマスク２の場合に
は、上記版離れ工程の初期の状態で、例えば、図２１に
示すように、マスク２の周辺部がウエハー３０の印刷面
３０ａから先に離間され、該マスク２の中央部が印刷面
３０ａに粘着したままとなって、マスク２が湾曲される
ことがある。そして、ウエハー３０と印刷マスク１０と
が更に離間されることによって、ウエハー３０の印刷面
３０ａとマスク２の版面２ｇとが、図２１に実線で示す
ように湾曲した状態から鎖線で示すような平面状態に一
気に離間される。なお、上述のようなマスク２の湾曲
は、マスク２の厚さが薄くなるほど大きくなる傾向を有
している。また、マスク２が印刷面３０ａに強く粘着す
る部位は、マスク２の中央部とは限らず、マスク２のど
の位置に印刷パターンが形成されているかによって異な
る。
開口率は必ずしも均一ではなく、該開口２ａの形状や外
径及び形成箇所も、印刷パターンに応じて様々に変化す
る。また、マスク２の開口２ａに充填されたペースト８
のタッキング力によるウエハー３０の印刷面３０ａとマ
スク２の版面２ｇとの密着力は、該開口２ａの形状や外
径及び形成箇所によっても異なるが、通常、該マスク２
の開口２ａの開口率が高い部分では比較的強く、該開口
率が低い部分では比較的弱くなる。このため、例えば、
マスク２の中央部に開口２ａの開口率が高い部分が存在
する場合、つまり、マスク２の中央部に印刷パターンが
密集して形成されている場合には、印刷面３０ａに対す
るマスク２の中央部の粘着力が、該マスク２の周辺部の
粘着力よりも高くなる。このようなマスク２の場合に
は、上記版離れ工程の初期の状態で、例えば、図２１に
示すように、マスク２の周辺部がウエハー３０の印刷面
３０ａから先に離間され、該マスク２の中央部が印刷面
３０ａに粘着したままとなって、マスク２が湾曲される
ことがある。そして、ウエハー３０と印刷マスク１０と
が更に離間されることによって、ウエハー３０の印刷面
３０ａとマスク２の版面２ｇとが、図２１に実線で示す
ように湾曲した状態から鎖線で示すような平面状態に一
気に離間される。なお、上述のようなマスク２の湾曲
は、マスク２の厚さが薄くなるほど大きくなる傾向を有
している。また、マスク２が印刷面３０ａに強く粘着す
る部位は、マスク２の中央部とは限らず、マスク２のど
の位置に印刷パターンが形成されているかによって異な
る。
【００８５】従って、上記コンタクト印刷モードにおい
ては、その版離れ工程におけるウエハー３０と印刷マス
ク１０との版離れ速度を適正な速度になるように設定し
ておいても、ウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の
版面２ｇとが、図２１に実線で示すように湾曲した状態
から鎖線で示すような平面状態に一気に離間される過程
で、マスク２の版面２ｇと印刷面３０ａとの版離れ速度
が瞬時に上昇されてしまう。このため、この版離れ速度
の瞬間的な上昇によって、マスク２の版面２ｇが印刷面
３０ａから急激に離間され、該マスク２の開口２ａの内
壁面の物理的な凹凸によるペースト８の抜け阻止力、及
び、該マスク２の開口２ａの内壁面に対するペースト８
の粘着によるペースト８の抜け阻止力（ズリ応力）との
和が、ペースト８が印刷面３０ａに粘着（タッキング）
する粘着力（タッキング力）に打ち勝って、マスク２の
開口２ａに充填されたペースト８の抜け性が悪化して印
刷不良が発生することがある。
ては、その版離れ工程におけるウエハー３０と印刷マス
ク１０との版離れ速度を適正な速度になるように設定し
ておいても、ウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の
版面２ｇとが、図２１に実線で示すように湾曲した状態
から鎖線で示すような平面状態に一気に離間される過程
で、マスク２の版面２ｇと印刷面３０ａとの版離れ速度
が瞬時に上昇されてしまう。このため、この版離れ速度
の瞬間的な上昇によって、マスク２の版面２ｇが印刷面
３０ａから急激に離間され、該マスク２の開口２ａの内
壁面の物理的な凹凸によるペースト８の抜け阻止力、及
び、該マスク２の開口２ａの内壁面に対するペースト８
の粘着によるペースト８の抜け阻止力（ズリ応力）との
和が、ペースト８が印刷面３０ａに粘着（タッキング）
する粘着力（タッキング力）に打ち勝って、マスク２の
開口２ａに充填されたペースト８の抜け性が悪化して印
刷不良が発生することがある。
【００８６】これに対し、上記オフコンタクト印刷モー
ドでは、ウエハー３０の印刷面３０ａに対するマスク２
の接触位置を移動させながらペースト８のスキージング
が行われると同時に、ウエハー３０の印刷面３０ａから
マスク２の版面２ｇが離間される。従って、このオフコ
ンタクト印刷モードでは、ペースト８のスキージング速
度によって、マスク２の版離れ速度を、ペースト８の抜
け性が良好となるような速度にコントロールすることが
できる。また、このオフコンタクト印刷モードでは、上
記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に実行さ
れるので、印刷工程を少なくすることができ、印刷に要
する時間を短縮できる。なお、このオフコンタクト印刷
においては、上記スキージングの速度によって、印刷マ
スク１０のマスク２のウエハー３０の印刷面３０ａから
の版離れ速度が決定される。従って、該スキージングの
速度は、マスク２の開口に充填されたペースト８の印刷
面３０ａへのタッキング（粘着）が十分に促進されるよ
うな速度に設定することが望ましい。
ドでは、ウエハー３０の印刷面３０ａに対するマスク２
の接触位置を移動させながらペースト８のスキージング
が行われると同時に、ウエハー３０の印刷面３０ａから
マスク２の版面２ｇが離間される。従って、このオフコ
ンタクト印刷モードでは、ペースト８のスキージング速
度によって、マスク２の版離れ速度を、ペースト８の抜
け性が良好となるような速度にコントロールすることが
できる。また、このオフコンタクト印刷モードでは、上
記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に実行さ
れるので、印刷工程を少なくすることができ、印刷に要
する時間を短縮できる。なお、このオフコンタクト印刷
においては、上記スキージングの速度によって、印刷マ
スク１０のマスク２のウエハー３０の印刷面３０ａから
の版離れ速度が決定される。従って、該スキージングの
速度は、マスク２の開口に充填されたペースト８の印刷
面３０ａへのタッキング（粘着）が十分に促進されるよ
うな速度に設定することが望ましい。
【００８７】次に、上記印刷モード切換スイッチによっ
て、上記コンタクトオフ印刷モードが選択された場合に
ついて説明する。コンタクトオフ印刷モードが選択され
ると、まず、前記コンタクト印刷モードの場合と同様
に、上記取付部材移動手段５０Ａ，５０Ｂの昇降用ボー
ルネジ５２Ａ，５２Ｂの回転により、各移動体５３Ａ，
５３Ｂが下降して、図７（ａ）に示したように、上記マ
スク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保持された印
刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂが、印刷マ
スク１０のマスク２の下面が、ウエハー３０の印刷面３
０ａに接触する前記第１の保持位置まで下降される。
て、上記コンタクトオフ印刷モードが選択された場合に
ついて説明する。コンタクトオフ印刷モードが選択され
ると、まず、前記コンタクト印刷モードの場合と同様
に、上記取付部材移動手段５０Ａ，５０Ｂの昇降用ボー
ルネジ５２Ａ，５２Ｂの回転により、各移動体５３Ａ，
５３Ｂが下降して、図７（ａ）に示したように、上記マ
スク取付部材保持アーム４１Ａ，４１Ｂに保持された印
刷マスク１０の各マスク取付部材１Ａ，１Ｂが、印刷マ
スク１０のマスク２の下面が、ウエハー３０の印刷面３
０ａに接触する前記第１の保持位置まで下降される。
【００８８】次いで、上述のように、マスク２の下面が
ウエハー３０の印刷面３０ａに接触した状態で、上記ス
キージ７が下降し、該スキージ７によって、マスク２が
ウエハー３０の印刷面３０ａ側へ押圧されて印刷面３０
ａにマスク２の下面が接触しながら、マスク２上に補給
されたペースト８がスキージングされる。また、スキー
ジ７によるペースト８のスキージング動作に追従して、
上記取付部材移動手段５０Ａの昇降用ボールネジ５２Ａ
の回転により、一方の移動体５３Ａのみが徐々に上昇さ
れる。これにより、図９（ａ）に示すように、前記マス
ク取付部材保持アーム４１Ａによって保持された印刷開
始側のマスク取付部材１Ａのみが上昇して、スキージン
グを終えた部分のマスク２が、ウエハー３０の印刷面３
０ａから離間した位置に離間される。
ウエハー３０の印刷面３０ａに接触した状態で、上記ス
キージ７が下降し、該スキージ７によって、マスク２が
ウエハー３０の印刷面３０ａ側へ押圧されて印刷面３０
ａにマスク２の下面が接触しながら、マスク２上に補給
されたペースト８がスキージングされる。また、スキー
ジ７によるペースト８のスキージング動作に追従して、
上記取付部材移動手段５０Ａの昇降用ボールネジ５２Ａ
の回転により、一方の移動体５３Ａのみが徐々に上昇さ
れる。これにより、図９（ａ）に示すように、前記マス
ク取付部材保持アーム４１Ａによって保持された印刷開
始側のマスク取付部材１Ａのみが上昇して、スキージン
グを終えた部分のマスク２が、ウエハー３０の印刷面３
０ａから離間した位置に離間される。
【００８９】なお、上記マスク取付部材保持アーム４１
Ａによって保持された印刷開始側のマスク取付部材１Ａ
が上昇するときに、印刷マスク１０のマスク２に対して
撓みが生じたりテンションが付与されないようにするた
めに、該取付部材移動手段５０Ａの進退用ボールネジ５
１Ａが適宜回転して、移動体５３ＡがＸ軸方向に沿って
個別に制御移動される。これにより、図９（ｂ）に示す
ように、マスク取付部材保持アーム４１Ａによって保持
された印刷開始側のマスク取付部材１Ａのみが、マスク
２に撓みを生じさせたりマスク２に対してテンションを
付与したりしない位置に移動される。これにより、マス
ク２に形成された印刷パターンが、ウエハー３０の印刷
面３０ａにコンタクトオフ印刷される。
Ａによって保持された印刷開始側のマスク取付部材１Ａ
が上昇するときに、印刷マスク１０のマスク２に対して
撓みが生じたりテンションが付与されないようにするた
めに、該取付部材移動手段５０Ａの進退用ボールネジ５
１Ａが適宜回転して、移動体５３ＡがＸ軸方向に沿って
個別に制御移動される。これにより、図９（ｂ）に示す
ように、マスク取付部材保持アーム４１Ａによって保持
された印刷開始側のマスク取付部材１Ａのみが、マスク
２に撓みを生じさせたりマスク２に対してテンションを
付与したりしない位置に移動される。これにより、マス
ク２に形成された印刷パターンが、ウエハー３０の印刷
面３０ａにコンタクトオフ印刷される。
【００９０】ところで、前記オフコンタクト印刷モード
では、ペースト８のスキージング速度によって、マスク
２の版離れ速度を、ペースト８の抜け性が良好となるよ
うな速度にコントロールすることができるが、ウエハー
３０の印刷面３０ａに対してマスク２の版面２ｇの一部
のみが接触し、スキージング方向の下流側が離間した状
態で、ペースト８のスキージングが行われるため、この
スキージング工程のペースト充填時におけるペースト滲
み出しの原因である隙間の発生を防止することが難し
い。
では、ペースト８のスキージング速度によって、マスク
２の版離れ速度を、ペースト８の抜け性が良好となるよ
うな速度にコントロールすることができるが、ウエハー
３０の印刷面３０ａに対してマスク２の版面２ｇの一部
のみが接触し、スキージング方向の下流側が離間した状
態で、ペースト８のスキージングが行われるため、この
スキージング工程のペースト充填時におけるペースト滲
み出しの原因である隙間の発生を防止することが難し
い。
【００９１】これに対し、上記コンタクトオフ印刷モー
ドでは、図９（ｂ）から明らかなように、スキージ７と
マスク２との接点を境として、右側のマスク部分では上
記コンタクト印刷が行われ、左側のマスク部分では上記
オフコンタクト印刷が行われる。
ドでは、図９（ｂ）から明らかなように、スキージ７と
マスク２との接点を境として、右側のマスク部分では上
記コンタクト印刷が行われ、左側のマスク部分では上記
オフコンタクト印刷が行われる。
【００９２】従って、このコンタクトオフ印刷モードに
おいては、前記コンタクト印刷モードと同様に、上記マ
スク２の版面２ｇとウエハー３０の印刷面３０ａとが接
触したままの状態、つまり、ウエハー３０とマスク２と
がコンタクトしたままの状態で、スキージングによりペ
ースト８の充填が行われるので、このスキージング工程
のペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因であ
る隙間の発生を防止することができる。
おいては、前記コンタクト印刷モードと同様に、上記マ
スク２の版面２ｇとウエハー３０の印刷面３０ａとが接
触したままの状態、つまり、ウエハー３０とマスク２と
がコンタクトしたままの状態で、スキージングによりペ
ースト８の充填が行われるので、このスキージング工程
のペースト充填時におけるペースト滲み出しの原因であ
る隙間の発生を防止することができる。
【００９３】また、このコンタクトオフ印刷モードで
は、ペースト８がスキージングされると同時に、該ペー
スト８のスキージングを終えた部分のマスク２の版面２
ｇがウエハー３０の印刷面３０ａから離間されるので、
前記オフコンタクト印刷モードと同様に、スキージング
速度によって、マスク２の版離れ速度を、ペースト２の
抜け性が良好となるような速度にコントロールすること
ができる。
は、ペースト８がスキージングされると同時に、該ペー
スト８のスキージングを終えた部分のマスク２の版面２
ｇがウエハー３０の印刷面３０ａから離間されるので、
前記オフコンタクト印刷モードと同様に、スキージング
速度によって、マスク２の版離れ速度を、ペースト２の
抜け性が良好となるような速度にコントロールすること
ができる。
【００９４】更に、このコンタクトオフ印刷モードで
は、上記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に
実行されるので、印刷工程を少なくすることができ、印
刷に要する時間を短縮できる。また、ウエハー３０の印
刷面３０ａとマスク２の版面２ｇとの版離れ速度や版離
れタイミングをバラツキなく最適に保つことができるよ
うにコントロールすることによって、ウエハーの印刷面
３０ａに対してペースト８を確実に粘着（タッキング）
させることができるので、マスク２の各開口２ａからの
ペースト８の抜け性が良好になる。従って、このコンタ
クトオフ印刷モードでは、コンタクト印刷モードのメリ
ットとオフコンタクト印刷モードのメリットとを併せ持
った品質の高い印刷を行うことができる。
は、上記スキージング工程と上記版離れ工程とが同時に
実行されるので、印刷工程を少なくすることができ、印
刷に要する時間を短縮できる。また、ウエハー３０の印
刷面３０ａとマスク２の版面２ｇとの版離れ速度や版離
れタイミングをバラツキなく最適に保つことができるよ
うにコントロールすることによって、ウエハーの印刷面
３０ａに対してペースト８を確実に粘着（タッキング）
させることができるので、マスク２の各開口２ａからの
ペースト８の抜け性が良好になる。従って、このコンタ
クトオフ印刷モードでは、コンタクト印刷モードのメリ
ットとオフコンタクト印刷モードのメリットとを併せ持
った品質の高い印刷を行うことができる。
【００９５】図１９に、上記スキージングにより、マス
ク２の開口２ａにペースト８が充填されるメカニズムを
示す。図１９において、マスク２に当接したスキージ７
が矢印方向に移動すると、マスク２上に補給されたペー
スト８が、スキージ７に押されるようにして同方向に移
動される。このペースト８の移動により、スキージ７の
移動方向下流側のマスク２の開口２ａのエッジ２ｃによ
って該ペースト８が削られることにより、ペースト８が
マスク２の開口２ａに掻き落とされるようにして充填さ
れる。
ク２の開口２ａにペースト８が充填されるメカニズムを
示す。図１９において、マスク２に当接したスキージ７
が矢印方向に移動すると、マスク２上に補給されたペー
スト８が、スキージ７に押されるようにして同方向に移
動される。このペースト８の移動により、スキージ７の
移動方向下流側のマスク２の開口２ａのエッジ２ｃによ
って該ペースト８が削られることにより、ペースト８が
マスク２の開口２ａに掻き落とされるようにして充填さ
れる。
【００９６】このスキージング工程においては、スキー
ジ７によるペースト８のスキージング速度が、マスク２
の開口２ａへのペースト８の充填状態の良否に影響を及
ぼすことが知られている。すなわち、該スキージング速
度があまり遅かったり速かったりすると、開口２ａに掻
き落とされるペースト量が多くなってマスク２の版面２
ｇ側の開口周縁部にペースト８が滲み出したり、開口２
ａに掻き落とされるペースト量が少なくなってマスク２
の開口２ａへのペースト８の充填量が不充分になること
がある。従って、ペースト８のスキージング工程におい
ては、マスク２の開口２ａのエッジ２ｃによってペース
ト８が確実に削られるようなスキージング速度となるよ
うに、スキージ７の移動速度を設定しておくことが望ま
しい。
ジ７によるペースト８のスキージング速度が、マスク２
の開口２ａへのペースト８の充填状態の良否に影響を及
ぼすことが知られている。すなわち、該スキージング速
度があまり遅かったり速かったりすると、開口２ａに掻
き落とされるペースト量が多くなってマスク２の版面２
ｇ側の開口周縁部にペースト８が滲み出したり、開口２
ａに掻き落とされるペースト量が少なくなってマスク２
の開口２ａへのペースト８の充填量が不充分になること
がある。従って、ペースト８のスキージング工程におい
ては、マスク２の開口２ａのエッジ２ｃによってペース
ト８が確実に削られるようなスキージング速度となるよ
うに、スキージ７の移動速度を設定しておくことが望ま
しい。
【００９７】図２０に、上記印刷版１０の印刷面３０ａ
からの離間時においてマスク２の開口２ａに充填された
ペースト８が被印刷体としてのウエハー３０の印刷面３
０ａに転移されるメカニズムを示す。図２０において、
マスク２の開口２ａに充填されたペースト８が、マスク
２の版面２ｇと印刷面３０ａとの接触により、該印刷面
３０ａに粘着（タッキング）される。この後、該印刷面
３０ａと該版面２ｇとが離間されることにより、ペース
ト８がマスク２の開口２ａから抜け出して印刷面３０ａ
側に転移される。
からの離間時においてマスク２の開口２ａに充填された
ペースト８が被印刷体としてのウエハー３０の印刷面３
０ａに転移されるメカニズムを示す。図２０において、
マスク２の開口２ａに充填されたペースト８が、マスク
２の版面２ｇと印刷面３０ａとの接触により、該印刷面
３０ａに粘着（タッキング）される。この後、該印刷面
３０ａと該版面２ｇとが離間されることにより、ペース
ト８がマスク２の開口２ａから抜け出して印刷面３０ａ
側に転移される。
【００９８】ここで、マスク２の開口２ａに充填された
ペースト８の抜け性の良否、つまり、ペースト８がマス
ク２の開口２ａからスムーズに抜け出すか否かは、ペー
スト８の印刷面３０ａに粘着（タッキング）する粘着力
（タッキング力）と、マスク２の開口２ａの内壁面の物
理的な凹凸によるペースト８の抜け阻止力、及び、マス
ク２の開口２ａの内壁面に対するペースト８の粘着によ
るペースト８の抜け阻止力（ズリ応力）との力関係によ
って決定される。なお、該ズリ応力は、マスク２の開口
２ａの内壁面に対するペースト８の滑り速度の２乗に比
例することが知られている。
ペースト８の抜け性の良否、つまり、ペースト８がマス
ク２の開口２ａからスムーズに抜け出すか否かは、ペー
スト８の印刷面３０ａに粘着（タッキング）する粘着力
（タッキング力）と、マスク２の開口２ａの内壁面の物
理的な凹凸によるペースト８の抜け阻止力、及び、マス
ク２の開口２ａの内壁面に対するペースト８の粘着によ
るペースト８の抜け阻止力（ズリ応力）との力関係によ
って決定される。なお、該ズリ応力は、マスク２の開口
２ａの内壁面に対するペースト８の滑り速度の２乗に比
例することが知られている。
【００９９】従って、この印刷版１０の印刷面３０ａか
らの版離れ工程においては、マスク２の開口２ａに充填
されたペースト８の抜け性を向上させるために、被印刷
体としてのウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の版
面２ｇとが離間する速度（版離れ速度）を、マスク２の
開口２ａの内壁面に対するペースト８の粘着によるペー
スト８のズリ応力をできるだけ小さくできるような速度
に設定しておくことが望ましい。なお、上記スキージ７
の適切な移動速度は、使用されるペースト８の粘度やス
キージ７の材質等によって、また、上記印刷版１０と印
刷面３０ａと適切な版離れ速度は、使用されるペースト
８の粘度やマスク２の材質等によって異なった速度とな
る。
らの版離れ工程においては、マスク２の開口２ａに充填
されたペースト８の抜け性を向上させるために、被印刷
体としてのウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の版
面２ｇとが離間する速度（版離れ速度）を、マスク２の
開口２ａの内壁面に対するペースト８の粘着によるペー
スト８のズリ応力をできるだけ小さくできるような速度
に設定しておくことが望ましい。なお、上記スキージ７
の適切な移動速度は、使用されるペースト８の粘度やス
キージ７の材質等によって、また、上記印刷版１０と印
刷面３０ａと適切な版離れ速度は、使用されるペースト
８の粘度やマスク２の材質等によって異なった速度とな
る。
【０１００】ところで、上述のように、上記コンタクト
オフ印刷モードでは、コンタクト印刷モードのメリット
とオフコンタクト印刷モードのメリットとを併せ持った
品質の高い印刷を行うことができるが、上記スキージン
グ工程と上記版離れ工程とが同時に実行されるため、ペ
ースト８のスキージング速度によってマスク２の版離れ
速度が決定される。しかし、図１９及び図２０を参照し
て説明したように、ペースト８の充填に最適なスキージ
ング速度と、マスク２の最適な版離れ速度とは、必ずし
も一定の相関関係を有した速度にならない場合がある。
このため、このような場合には、ペースト８の充填に適
した速度でスキージングを行うとマスク２の版離れ速度
が不適切になってペースト８の抜け性が悪化したり、ペ
ースト８の版抜けに適した速度でスキージングを行うと
ペースト８の充填性が悪化したりすることになる。
オフ印刷モードでは、コンタクト印刷モードのメリット
とオフコンタクト印刷モードのメリットとを併せ持った
品質の高い印刷を行うことができるが、上記スキージン
グ工程と上記版離れ工程とが同時に実行されるため、ペ
ースト８のスキージング速度によってマスク２の版離れ
速度が決定される。しかし、図１９及び図２０を参照し
て説明したように、ペースト８の充填に最適なスキージ
ング速度と、マスク２の最適な版離れ速度とは、必ずし
も一定の相関関係を有した速度にならない場合がある。
このため、このような場合には、ペースト８の充填に適
した速度でスキージングを行うとマスク２の版離れ速度
が不適切になってペースト８の抜け性が悪化したり、ペ
ースト８の版抜けに適した速度でスキージングを行うと
ペースト８の充填性が悪化したりすることになる。
【０１０１】このような問題を解決するための印刷方法
を以下に示す。この印刷方法における印刷工程は、図２
２（ａ）に示すペースト分配工程と、図２２（ｂ）に示
すスキージング工程と、図２２（ｃ）に示す版離れ工程
とからなっている。
を以下に示す。この印刷方法における印刷工程は、図２
２（ａ）に示すペースト分配工程と、図２２（ｂ）に示
すスキージング工程と、図２２（ｃ）に示す版離れ工程
とからなっている。
【０１０２】図２２（ａ）に示すペースト分配工程にお
いては、まず、例えば、被印刷体としてのウエハー３０
の印刷面３０ａに、マスク２の版面２ｇが当接するよう
に、印刷マスク１０のマスク取付部材１Ａ，１Ｂを保持
する。次いで、このように保持されたマスク２の版面２
ｇと反対側の面（ここでは上面）上に、印刷に必要な所
定量のペースト８を補給する。その後、ゴム板等で構成
された分配ブレード６０を、該マスク２の上面に沿って
移動させる。これにより、マスク２の上面上に補給され
たペースト８が、ほぼ一様な厚みにならされてマスク２
上に分配される。
いては、まず、例えば、被印刷体としてのウエハー３０
の印刷面３０ａに、マスク２の版面２ｇが当接するよう
に、印刷マスク１０のマスク取付部材１Ａ，１Ｂを保持
する。次いで、このように保持されたマスク２の版面２
ｇと反対側の面（ここでは上面）上に、印刷に必要な所
定量のペースト８を補給する。その後、ゴム板等で構成
された分配ブレード６０を、該マスク２の上面に沿って
移動させる。これにより、マスク２の上面上に補給され
たペースト８が、ほぼ一様な厚みにならされてマスク２
上に分配される。
【０１０３】図２２（ｂ）に示すスキージング工程にお
いては、板状のウレタンブレードなどからなるスキージ
７０を上記マスク２の上面に当接させ、この状態で、該
スキージ７０を、マスク２の一端側から他端側に向けて
移動させる。これにより、上記ペースト分配工程におい
てマスク２上に分配されたペースト８が、スキージ７０
によってスキージングされて、該マスク２に形成された
開口２ａに充填される。そして、マスク２の開口２ａに
充填されたペースト８が、該開口２ａを通してウエハー
３０の印刷面３０ａに密着して粘着（タッキング）され
る。このスキージング工程におけるスキージ７０の移動
速度は、スキージ速度制御手段１００によってコントロ
ールされる。このスキージ速度制御手段１００は、例え
ば、スキージ７０を所定の移動方に沿って往復移動させ
るスキージ駆動機構としてのボールネジやタイミングベ
ルトを駆動する駆動モータ（不図示）の回転数を制御し
て、該スキージ７の移動速度を変化させることができる
ように構成されている。
いては、板状のウレタンブレードなどからなるスキージ
７０を上記マスク２の上面に当接させ、この状態で、該
スキージ７０を、マスク２の一端側から他端側に向けて
移動させる。これにより、上記ペースト分配工程におい
てマスク２上に分配されたペースト８が、スキージ７０
によってスキージングされて、該マスク２に形成された
開口２ａに充填される。そして、マスク２の開口２ａに
充填されたペースト８が、該開口２ａを通してウエハー
３０の印刷面３０ａに密着して粘着（タッキング）され
る。このスキージング工程におけるスキージ７０の移動
速度は、スキージ速度制御手段１００によってコントロ
ールされる。このスキージ速度制御手段１００は、例え
ば、スキージ７０を所定の移動方に沿って往復移動させ
るスキージ駆動機構としてのボールネジやタイミングベ
ルトを駆動する駆動モータ（不図示）の回転数を制御し
て、該スキージ７の移動速度を変化させることができる
ように構成されている。
【０１０４】図２２（ｃ）に示す版離れ工程において
は、まず、マスク２の版面２ｇを被印刷体としてのウエ
ハー３０の印刷面３０ａ側に押し付けるためのブレード
状の部材からなる押し付け部材８０を、該マスク２の一
端側（ここでは左端側）の上面に当接させる。次いで、
印刷マスク１０の一端側（左端側）のマスク取付部材１
Ａを上昇させるとともに、マスク２の一端側から他端側
に向けて押し付け部材８０を所定の速度で移動する。こ
れにより、押し付け部材８０により押し付けられた部位
を境として、押し付け部材８０の移動方向上流側領域の
マスク２の版面２ｇが、押し付け部材８０の移動に伴っ
て印刷面３０ａから順次離間される。また、押し付け部
材８０により押し付けられた部位を境として、押し付け
部材８０の移動方向下流側領域のマスク２の版面２ｇ
は、ウエハー３０の印刷面３０ａに対して接触した姿勢
が維持される。この結果、上記スキージング工程におい
てマスク２の開口２ａに充填されてウエハー３０の印刷
面３０ａに粘着（タッキング）された状態のペースト８
が、該ペースト８の粘着力（タッキング力）によりマス
ク２の開口２ａから抜け出して、ウエハー３０の印刷面
３０ａ側に転移される。この版離れ工程における押し付
け部材８０移動速度は、版離れ速度制御手段２００によ
ってコントロールされる。この版離れ速度制御手段２０
０は、例えば、押し付け部材８０を所定の移動方に移動
させる押し付け部材駆動機構としてのボールネジやタイ
ミングベルトを駆動する駆動モータ（不図示）の回転数
を制御して、該押し付け部材８０の移動速度を変化させ
ることができるように構成されている。
は、まず、マスク２の版面２ｇを被印刷体としてのウエ
ハー３０の印刷面３０ａ側に押し付けるためのブレード
状の部材からなる押し付け部材８０を、該マスク２の一
端側（ここでは左端側）の上面に当接させる。次いで、
印刷マスク１０の一端側（左端側）のマスク取付部材１
Ａを上昇させるとともに、マスク２の一端側から他端側
に向けて押し付け部材８０を所定の速度で移動する。こ
れにより、押し付け部材８０により押し付けられた部位
を境として、押し付け部材８０の移動方向上流側領域の
マスク２の版面２ｇが、押し付け部材８０の移動に伴っ
て印刷面３０ａから順次離間される。また、押し付け部
材８０により押し付けられた部位を境として、押し付け
部材８０の移動方向下流側領域のマスク２の版面２ｇ
は、ウエハー３０の印刷面３０ａに対して接触した姿勢
が維持される。この結果、上記スキージング工程におい
てマスク２の開口２ａに充填されてウエハー３０の印刷
面３０ａに粘着（タッキング）された状態のペースト８
が、該ペースト８の粘着力（タッキング力）によりマス
ク２の開口２ａから抜け出して、ウエハー３０の印刷面
３０ａ側に転移される。この版離れ工程における押し付
け部材８０移動速度は、版離れ速度制御手段２００によ
ってコントロールされる。この版離れ速度制御手段２０
０は、例えば、押し付け部材８０を所定の移動方に移動
させる押し付け部材駆動機構としてのボールネジやタイ
ミングベルトを駆動する駆動モータ（不図示）の回転数
を制御して、該押し付け部材８０の移動速度を変化させ
ることができるように構成されている。
【０１０５】そこで、この印刷方法においては、スキー
ジ７０の移動速度が、マスク２の開口２ａへのペースト
８の充填に最適な速度となるように、上記スキージ速度
制御手段１００によりスキージ７０の移動速度を変化さ
せる。これにより、マスク２の開口２ａのエッジ２ｃに
よってペースト８が効率よく削られるようになって、該
マスク２の開口２ａに適切な量のペースト８が十分に充
填されるようになる。
ジ７０の移動速度が、マスク２の開口２ａへのペースト
８の充填に最適な速度となるように、上記スキージ速度
制御手段１００によりスキージ７０の移動速度を変化さ
せる。これにより、マスク２の開口２ａのエッジ２ｃに
よってペースト８が効率よく削られるようになって、該
マスク２の開口２ａに適切な量のペースト８が十分に充
填されるようになる。
【０１０６】一方、上記版離れ工程においては、マスク
２の開口２ａに充填されたペースト８の抜け性を向上さ
せるために、該マスク２の開口２ａの内壁面に対するペ
ースト８の粘着によるペースト８のズリ応力ができるだ
け小さくなるように、ウエハー３０の印刷面３０ａから
のマスク２の版面２ｇの版離れ速度を設定する。このウ
エハー３０の印刷面３０ａからのマスク２の版面２ｇの
版離れ速度は、押し付け部材８０の移動速度を変化させ
ることによって、適切な速度に設定することが可能とな
る。すなわち、図２２（ｃ）において、押し付け部材８
０の移動速度が変化すると、ウエハー３０の印刷面３０
ａとマスク２の版面２ｇとの版離れ時における版面２ｇ
の離間領域（該押し付け部材８０により押し付けられた
部位を境とする該押し付け部材８０の移動方向上流側の
領域）と、版面２ｇの接触領域（該押し付け部材８０に
より押し付けられた部位を境とする該押し付け部材８０
の移動方向下流側の領域）との境界部位（図２２（ｃ）
のＰ点）の移動する速度が変化する。そして、このＰ点
の移動する速度をコントロールすることによって、ウエ
ハー３０の印刷面３０ａからマスク２の版面２ｇが離間
する速度（上記版離れ速度）が変化する。
２の開口２ａに充填されたペースト８の抜け性を向上さ
せるために、該マスク２の開口２ａの内壁面に対するペ
ースト８の粘着によるペースト８のズリ応力ができるだ
け小さくなるように、ウエハー３０の印刷面３０ａから
のマスク２の版面２ｇの版離れ速度を設定する。このウ
エハー３０の印刷面３０ａからのマスク２の版面２ｇの
版離れ速度は、押し付け部材８０の移動速度を変化させ
ることによって、適切な速度に設定することが可能とな
る。すなわち、図２２（ｃ）において、押し付け部材８
０の移動速度が変化すると、ウエハー３０の印刷面３０
ａとマスク２の版面２ｇとの版離れ時における版面２ｇ
の離間領域（該押し付け部材８０により押し付けられた
部位を境とする該押し付け部材８０の移動方向上流側の
領域）と、版面２ｇの接触領域（該押し付け部材８０に
より押し付けられた部位を境とする該押し付け部材８０
の移動方向下流側の領域）との境界部位（図２２（ｃ）
のＰ点）の移動する速度が変化する。そして、このＰ点
の移動する速度をコントロールすることによって、ウエ
ハー３０の印刷面３０ａからマスク２の版面２ｇが離間
する速度（上記版離れ速度）が変化する。
【０１０７】そこで、この印刷方法においては、マスク
２の開口２ａの内壁面の物理的な凹凸によるペースト８
の抜け阻止力、及び、マスク２の開口２ａの内壁面に対
するペースト８の粘着によるペースト８の抜け阻止力
（ズリ応力）との和よりも、ペースト８が印刷面３０ａ
に粘着（タッキング）する粘着力（タッキング力）が大
きくなるように、上記版離れ速度制御手段２００により
押し付け部材８０の移動速度を変化させて、ウエハー３
０の印刷面３０ａからのマスク２の版面２ｇの版離れ速
度を制御する。ここで、上記版離れ速度制御手段２００
は、少なくともマスク２の印刷パターンが形成されてい
る領域で、上記版離れ速度が適正な速度になるように、
押し付け部材８０の移動速度を変化させる。これによ
り、マスク２の版面２ｇがウエハー３０の印刷面３０ａ
から急激に離間されることがなくなり、印刷面３０ａへ
のペースト８の粘着力（タッキング力）が、マスク２の
開口２ａに充填されたペースト８の抜け阻止力に打ち勝
って、ペースト８のマスク２の開口２ａからの抜け性が
向上される。
２の開口２ａの内壁面の物理的な凹凸によるペースト８
の抜け阻止力、及び、マスク２の開口２ａの内壁面に対
するペースト８の粘着によるペースト８の抜け阻止力
（ズリ応力）との和よりも、ペースト８が印刷面３０ａ
に粘着（タッキング）する粘着力（タッキング力）が大
きくなるように、上記版離れ速度制御手段２００により
押し付け部材８０の移動速度を変化させて、ウエハー３
０の印刷面３０ａからのマスク２の版面２ｇの版離れ速
度を制御する。ここで、上記版離れ速度制御手段２００
は、少なくともマスク２の印刷パターンが形成されてい
る領域で、上記版離れ速度が適正な速度になるように、
押し付け部材８０の移動速度を変化させる。これによ
り、マスク２の版面２ｇがウエハー３０の印刷面３０ａ
から急激に離間されることがなくなり、印刷面３０ａへ
のペースト８の粘着力（タッキング力）が、マスク２の
開口２ａに充填されたペースト８の抜け阻止力に打ち勝
って、ペースト８のマスク２の開口２ａからの抜け性が
向上される。
【０１０８】ここで、上記マスク２の版面２ｇの離間領
域と接触領域との境界部位（Ｐ点）の移動する速度は、
一定の速度に設定することが好ましい。すなわち、該Ｐ
点の移動する速度を、一定の速度に設定することによ
り、ウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の版面２ｇ
とが急速に離間されることがなくなり、マスク２にスキ
ージングされたペースト８の抜け性の悪化を解消するこ
とができる。また、該Ｐ点の移動する速度は、マスク２
に形成された開口２ａの開口率に応じて設定することが
好ましい。すなわち、該Ｐ点の移動する速度を、マスク
２に形成された開口２ａの開口率に応じて設定すること
により、マスク２に形成された開口２ａの開口率の違い
による抜け性への影響を少なくすることができる。
域と接触領域との境界部位（Ｐ点）の移動する速度は、
一定の速度に設定することが好ましい。すなわち、該Ｐ
点の移動する速度を、一定の速度に設定することによ
り、ウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の版面２ｇ
とが急速に離間されることがなくなり、マスク２にスキ
ージングされたペースト８の抜け性の悪化を解消するこ
とができる。また、該Ｐ点の移動する速度は、マスク２
に形成された開口２ａの開口率に応じて設定することが
好ましい。すなわち、該Ｐ点の移動する速度を、マスク
２に形成された開口２ａの開口率に応じて設定すること
により、マスク２に形成された開口２ａの開口率の違い
による抜け性への影響を少なくすることができる。
【０１０９】一方、図２２（ａ）に示すペースト分配工
程で用いられる分配ブレード６０と、図２２（ｂ）に示
すスキージング工程で用いられるスキージ７０と、図２
２（ｃ）に示す版離れ工程で用いられる押し付け部材８
０とは、それぞれ共通した動作を有している。そこで、
この印刷方法においては、例えば、図２３に示すよう
に、所定の角度分ずつ回転可能に構成され、且つ、上記
マスク２の上面に沿って往復移動自在に構成されたブレ
ード支軸９０に、上記分配ブレード６０、スキージ７
０、及び、押し付け部材８０を配設し、各工程毎に該ブ
レード支軸９０を所定の角度分ずつ回転して、分配ブレ
ード６０、スキージ７０及び押し付け部材８０を、各工
程に応じた部位に臨ませるように構成してもよい。ま
た、これらの分配ブレード６０、スキージ７０及び押し
付け部材８０としては、１個のブレード部材を、各工程
に応じて３通りに機能させるように構成したものであっ
てもよい。更に、上記マスク２上へのペースト８の分配
と、及び、該マスク２の開口２ａへのペースト８の充填
とを、上記スキージング工程において一括して行える場
合、例えば、マスク２上に補給するペースト８の必要量
が比較的少ない場合などには、上記ペースト分配工程は
省略してもよい。
程で用いられる分配ブレード６０と、図２２（ｂ）に示
すスキージング工程で用いられるスキージ７０と、図２
２（ｃ）に示す版離れ工程で用いられる押し付け部材８
０とは、それぞれ共通した動作を有している。そこで、
この印刷方法においては、例えば、図２３に示すよう
に、所定の角度分ずつ回転可能に構成され、且つ、上記
マスク２の上面に沿って往復移動自在に構成されたブレ
ード支軸９０に、上記分配ブレード６０、スキージ７
０、及び、押し付け部材８０を配設し、各工程毎に該ブ
レード支軸９０を所定の角度分ずつ回転して、分配ブレ
ード６０、スキージ７０及び押し付け部材８０を、各工
程に応じた部位に臨ませるように構成してもよい。ま
た、これらの分配ブレード６０、スキージ７０及び押し
付け部材８０としては、１個のブレード部材を、各工程
に応じて３通りに機能させるように構成したものであっ
てもよい。更に、上記マスク２上へのペースト８の分配
と、及び、該マスク２の開口２ａへのペースト８の充填
とを、上記スキージング工程において一括して行える場
合、例えば、マスク２上に補給するペースト８の必要量
が比較的少ない場合などには、上記ペースト分配工程は
省略してもよい。
【０１１０】また、上記押し付け部材８０としてのブレ
ード状部材は、上記マスク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付
けられている側のマスク２の２つの辺とほぼ直交する方
向に、移動されるように構成されていることが望まし
い。これにより、押し付け部材８０としてのブレード状
部材が、上記マスク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付けられ
ている側のマスク２の２つの辺とほぼ直交する方向に移
動されるので、該ブレード状部材の移動によるマスク２
の位置ズレがなくなり、品質の高い印刷が行えるように
なる。
ード状部材は、上記マスク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付
けられている側のマスク２の２つの辺とほぼ直交する方
向に、移動されるように構成されていることが望まし
い。これにより、押し付け部材８０としてのブレード状
部材が、上記マスク取付部材１Ａ，１Ｂに取り付けられ
ている側のマスク２の２つの辺とほぼ直交する方向に移
動されるので、該ブレード状部材の移動によるマスク２
の位置ズレがなくなり、品質の高い印刷が行えるように
なる。
【０１１１】また、上記版離れ工程で用いられる押し付
け部材８０は、図２２（ｃ）に示したようなブレード状
の部材である必要はなく、上記マスク２の版面２ｇをウ
エハー３０の印刷面３０ａ側に押し付けることができる
部材であればどのようなものであってもよい。従って、
この押し付け部材８０としては、例えば、図２４に示す
ように、上記マスク２の上面に当接して回転するローラ
８０Ａであってもよい。このように、押し付け部材８０
としてローラ８０Ａを用いた場合には、該押し付け部材
８０をブレード状の部材で構成した場合のようにマスク
２の上面が押し付け部材８０によって摺擦されることが
なくなるので、マスク２の摺擦によるダメージを解消す
ることができる。
け部材８０は、図２２（ｃ）に示したようなブレード状
の部材である必要はなく、上記マスク２の版面２ｇをウ
エハー３０の印刷面３０ａ側に押し付けることができる
部材であればどのようなものであってもよい。従って、
この押し付け部材８０としては、例えば、図２４に示す
ように、上記マスク２の上面に当接して回転するローラ
８０Ａであってもよい。このように、押し付け部材８０
としてローラ８０Ａを用いた場合には、該押し付け部材
８０をブレード状の部材で構成した場合のようにマスク
２の上面が押し付け部材８０によって摺擦されることが
なくなるので、マスク２の摺擦によるダメージを解消す
ることができる。
【０１１２】また、上記押し付け部材８０としては、例
えば、図２５に示すように、上記マスク２の両側縁部に
沿って所定のピッチでほぼ平行に穿たれたスプロケット
孔２ｄに嵌合して回転移動する一対のスプロケット８０
Ｂであってもよい。このように、押し付け部材８０とし
て一対のスプロケット８０Ｂを用いた場合には、該押し
付け部材８０をブレード状の部材や上記ローラ８０Ａで
構成した場合のように、マスク２の印刷パターン形成領
域に押し付け部材８０が当接することがないので、押し
付け部材８０の当接によるマスク２のダメージを解消す
ることができる。
えば、図２５に示すように、上記マスク２の両側縁部に
沿って所定のピッチでほぼ平行に穿たれたスプロケット
孔２ｄに嵌合して回転移動する一対のスプロケット８０
Ｂであってもよい。このように、押し付け部材８０とし
て一対のスプロケット８０Ｂを用いた場合には、該押し
付け部材８０をブレード状の部材や上記ローラ８０Ａで
構成した場合のように、マスク２の印刷パターン形成領
域に押し付け部材８０が当接することがないので、押し
付け部材８０の当接によるマスク２のダメージを解消す
ることができる。
【０１１３】更に、上記押し付け部材８０としては、例
えば、図２６に示すように、上記マスク２の両側縁部に
沿ってほぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド板２ｆ
の内側面に係合して回転移動する一対のコロ８０Ｃであ
ってもよい。このように、押し付け部材８０として一対
のコロ８０Ｃを用いた場合には、該一対のコロ８０Ｃが
マスク２の印刷パターン形成領域に当接することがな
く、該押し付け部材８０の該マスク２への当接によるダ
メージを解消することができる。
えば、図２６に示すように、上記マスク２の両側縁部に
沿ってほぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド板２ｆ
の内側面に係合して回転移動する一対のコロ８０Ｃであ
ってもよい。このように、押し付け部材８０として一対
のコロ８０Ｃを用いた場合には、該一対のコロ８０Ｃが
マスク２の印刷パターン形成領域に当接することがな
く、該押し付け部材８０の該マスク２への当接によるダ
メージを解消することができる。
【０１１４】なお、前記印刷装置においては、図６に示
したように、図示しない載置盤上にセットされた被印刷
体としてのウエハー３０に対して印刷マスク１０を昇降
させて、該ウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の版
面とを接離させるように構成されているが、上記載置盤
を昇降自在に構成し、該印刷マスク１０に対してウエハ
ー３０を接離させるようにしてもよい。これにより、前
記昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂのうちの少なくとも
一方を省略することができる。また、この印刷装置にお
いては、例えば、図２７（ａ）乃至（ｄ）に示すよう
に、１つのブレード部材２１を左右に往復移動させるこ
とにより、図２２（ａ）に示したペースト分配工程（図
２７（ａ））と、図２２（ｂ）に示したスキージング工
程（図２７（ｂ））と、図２２（ｃ）に示した版離れ工
程上記上記スキージング工程（図２７（ｃ）、（ｄ））
を実行するようにしてもよい。また、この場合には、図
２７（ｂ）に示すように、上記ブレード部材３００を右
端側から左端側に復帰移動させる際に、上記取付部材移
動手段５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ｂを、上記下降時
とは反対の方向に回転し、移動体５３Ｂが上昇させて、
上記マスク取付部材保持アーム４１Ｂに保持された印刷
マスク１０Ｂの一方のマスク取付部材１Ｂを、前記第２
の保持位置まで上昇させながら、上記版離れ工程を実行
することが好ましい。これにより、該ブレード部材３０
０を一往復させるだけで上記スキージング工程と上記版
離れ工程とを実行させることができるので、印刷速度を
向上させることができる。
したように、図示しない載置盤上にセットされた被印刷
体としてのウエハー３０に対して印刷マスク１０を昇降
させて、該ウエハー３０の印刷面３０ａとマスク２の版
面とを接離させるように構成されているが、上記載置盤
を昇降自在に構成し、該印刷マスク１０に対してウエハ
ー３０を接離させるようにしてもよい。これにより、前
記昇降用ボールネジ５２Ａ，５２Ｂのうちの少なくとも
一方を省略することができる。また、この印刷装置にお
いては、例えば、図２７（ａ）乃至（ｄ）に示すよう
に、１つのブレード部材２１を左右に往復移動させるこ
とにより、図２２（ａ）に示したペースト分配工程（図
２７（ａ））と、図２２（ｂ）に示したスキージング工
程（図２７（ｂ））と、図２２（ｃ）に示した版離れ工
程上記上記スキージング工程（図２７（ｃ）、（ｄ））
を実行するようにしてもよい。また、この場合には、図
２７（ｂ）に示すように、上記ブレード部材３００を右
端側から左端側に復帰移動させる際に、上記取付部材移
動手段５０Ｂの昇降用ボールネジ５２Ｂを、上記下降時
とは反対の方向に回転し、移動体５３Ｂが上昇させて、
上記マスク取付部材保持アーム４１Ｂに保持された印刷
マスク１０Ｂの一方のマスク取付部材１Ｂを、前記第２
の保持位置まで上昇させながら、上記版離れ工程を実行
することが好ましい。これにより、該ブレード部材３０
０を一往復させるだけで上記スキージング工程と上記版
離れ工程とを実行させることができるので、印刷速度を
向上させることができる。
【０１１５】
【発明の効果】請求項１及び２の発明によれば、シート
版取付部材としてのマスク取付枠に上記シート版材とし
てのマスク材を取り付ける際に、該マスク材にテンショ
ンを付与する必要がないので、マスク取付枠に該マスク
材をテンショナーを使用せずに容易に取り付けることが
でき、安価な印刷版材（印刷マスク材）の量産が可能に
なるという優れた効果がある。
版取付部材としてのマスク取付枠に上記シート版材とし
てのマスク材を取り付ける際に、該マスク材にテンショ
ンを付与する必要がないので、マスク取付枠に該マスク
材をテンショナーを使用せずに容易に取り付けることが
でき、安価な印刷版材（印刷マスク材）の量産が可能に
なるという優れた効果がある。
【０１１６】特に、請求項２の発明によれば、補強部材
によって、マスク取付部材としてのマスク取付枠に取り
付けられていない側のシート版材としてのマスク材の２
つの辺の機械的強度を向上できるという優れた効果があ
る。
によって、マスク取付部材としてのマスク取付枠に取り
付けられていない側のシート版材としてのマスク材の２
つの辺の機械的強度を向上できるという優れた効果があ
る。
【０１１７】請求項３及び４の発明によれば、シート版
取付部材としてのマスク取付枠にシート版としてのマス
クが取り付けられた状態で、該マスクにテンションが付
与されていないので、例えば、該マスクに開口率の高い
開口が形成されている場合や、該マスク取付枠にマスク
が取り付けられるときなどに、各開口間のリブが伸ばさ
れて各開口の寸法精度に狂いが生じたり、各開口の位置
ズレが生じたりするということがない。また、請求５の
印刷方法に適した印刷版（印刷マスク）として用いるこ
とができるという優れた効果がある。
取付部材としてのマスク取付枠にシート版としてのマス
クが取り付けられた状態で、該マスクにテンションが付
与されていないので、例えば、該マスクに開口率の高い
開口が形成されている場合や、該マスク取付枠にマスク
が取り付けられるときなどに、各開口間のリブが伸ばさ
れて各開口の寸法精度に狂いが生じたり、各開口の位置
ズレが生じたりするということがない。また、請求５の
印刷方法に適した印刷版（印刷マスク）として用いるこ
とができるという優れた効果がある。
【０１１８】特に、請求項４の発明によれば、補強部材
によって、上記マスク取付部材に取り付けられていない
側の上記マスクの２つの辺の機械的強度が向上されるの
で、マスク取付部材に取り付けられていない側のマスク
の２つの辺が、印刷の繰り返しによって破損したり伸び
たりすることが少なくなり、印刷マスクとしての寿命を
延ばすことができるという優れた効果がある。
によって、上記マスク取付部材に取り付けられていない
側の上記マスクの２つの辺の機械的強度が向上されるの
で、マスク取付部材に取り付けられていない側のマスク
の２つの辺が、印刷の繰り返しによって破損したり伸び
たりすることが少なくなり、印刷マスクとしての寿命を
延ばすことができるという優れた効果がある。
【０１１９】請求項５の発明によれば、マスクに形成さ
れた印刷パターンが被印刷体の印刷面に印刷される際
に、該マスクに形成された各開口間のリブが伸ばされて
各開口の寸法精度に狂いが生じたり、各開口の中心位置
に位置ズレが生じたりするということがなく、また、該
マスク自体にストレス（テンション）がかけられていな
いので、該印刷時に該マスクの各開口の形状や位置が経
時的に歪んだりズレたりすることが少なく、極めて高品
質な印刷を実現できるという優れた効果がある。
れた印刷パターンが被印刷体の印刷面に印刷される際
に、該マスクに形成された各開口間のリブが伸ばされて
各開口の寸法精度に狂いが生じたり、各開口の中心位置
に位置ズレが生じたりするということがなく、また、該
マスク自体にストレス（テンション）がかけられていな
いので、該印刷時に該マスクの各開口の形状や位置が経
時的に歪んだりズレたりすることが少なく、極めて高品
質な印刷を実現できるという優れた効果がある。
【０１２０】請求項６の発明によれば、コンタクト印刷
モードによる印刷、すなわち、上記マスクの版面と被印
刷体の印刷面とが接触したままの状態でペースト印刷が
行われるので、スキージング工程のペースト充填時にお
けるペースト滲み出しの原因である隙間の発生を防止す
ることができ、且つ、ペーストのスキージングをペース
トの充填に最適な速度で行うことができるという優れた
効果がある。
モードによる印刷、すなわち、上記マスクの版面と被印
刷体の印刷面とが接触したままの状態でペースト印刷が
行われるので、スキージング工程のペースト充填時にお
けるペースト滲み出しの原因である隙間の発生を防止す
ることができ、且つ、ペーストのスキージングをペース
トの充填に最適な速度で行うことができるという優れた
効果がある。
【０１２１】請求項７の発明によれば、オフコンタクト
印刷モードによる印刷、すなわち、上記被印刷体の印刷
面に対するマスクの接触位置が、スキージングより移動
しながら、該マスクの印刷を終えた版面が被印刷体の印
刷面から離間されてペースト印刷が行われるので、スキ
ージング速度によって、マスクの版離れ速度を、ペース
トの抜け性が良好となるような速度にコントロールする
ことができる。また、上記スキージング工程と上記版離
れ工程とを同時に実行して印刷工程を少なくすることが
でき、印刷に要する時間を短縮できるという優れた効果
がある。
印刷モードによる印刷、すなわち、上記被印刷体の印刷
面に対するマスクの接触位置が、スキージングより移動
しながら、該マスクの印刷を終えた版面が被印刷体の印
刷面から離間されてペースト印刷が行われるので、スキ
ージング速度によって、マスクの版離れ速度を、ペース
トの抜け性が良好となるような速度にコントロールする
ことができる。また、上記スキージング工程と上記版離
れ工程とを同時に実行して印刷工程を少なくすることが
でき、印刷に要する時間を短縮できるという優れた効果
がある。
【０１２２】請求項８の発明によれば、コンタクトオフ
印刷モードによる印刷、すなわち、上記コンタクト印刷
モードのように、上記マスクの版面と被印刷体の印刷面
とが接触したままの状態でペースト印刷が行われ、且
つ、上記オフコンタクト印刷モードのように、上記被印
刷体の印刷面に対するマスクの印刷を終えた版面が被印
刷体の印刷面から離間されるので、コンタクト印刷モー
ドのメリットとオフコンタクト印刷モードのメリットと
を併せ持った品質の高い印刷を行うことができるという
優れた効果がある。
印刷モードによる印刷、すなわち、上記コンタクト印刷
モードのように、上記マスクの版面と被印刷体の印刷面
とが接触したままの状態でペースト印刷が行われ、且
つ、上記オフコンタクト印刷モードのように、上記被印
刷体の印刷面に対するマスクの印刷を終えた版面が被印
刷体の印刷面から離間されるので、コンタクト印刷モー
ドのメリットとオフコンタクト印刷モードのメリットと
を併せ持った品質の高い印刷を行うことができるという
優れた効果がある。
【０１２３】請求項９の発明によれば、マスクに形成さ
れた印刷パターンを被印刷体に印刷面にコンタクト印刷
モードで印刷することができる印刷装置が提供されると
いう優れた効果がある。
れた印刷パターンを被印刷体に印刷面にコンタクト印刷
モードで印刷することができる印刷装置が提供されると
いう優れた効果がある。
【０１２４】また、請求項１０の発明によれば、マスク
に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面にオフコ
ンタクト印刷モードで印刷することができる印刷装置が
提供されるという優れた効果がある。
に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面にオフコ
ンタクト印刷モードで印刷することができる印刷装置が
提供されるという優れた効果がある。
【０１２５】請求項１１の発明によれば、マスクに形成
された印刷パターンを被印刷体の印刷面にコンタクトオ
フ印刷モードで印刷することができる印刷装置が提供さ
れるという優れた効果がある。
された印刷パターンを被印刷体の印刷面にコンタクトオ
フ印刷モードで印刷することができる印刷装置が提供さ
れるという優れた効果がある。
【０１２６】請求項１２の発明によれば、印刷モード選
択手段によって、コンタクト印刷モード、オフコンタク
ト印刷モード、コンタクトオフ印刷モードのうちの何れ
か１つの印刷モードを選択することができるので、印刷
マスク、マスク、被印刷体、ペースト等の種類や、該マ
スクに形成された印刷パターンの違いに応じて、最適な
印刷モードを選択することができるという優れた効果が
ある。
択手段によって、コンタクト印刷モード、オフコンタク
ト印刷モード、コンタクトオフ印刷モードのうちの何れ
か１つの印刷モードを選択することができるので、印刷
マスク、マスク、被印刷体、ペースト等の種類や、該マ
スクに形成された印刷パターンの違いに応じて、最適な
印刷モードを選択することができるという優れた効果が
ある。
【０１２７】請求項１３の発明によれば、最適なスキー
ジング速度でペーストをスキージングすることができ、
且つ、マスクの版面と被印刷体の印刷面とを、マスクに
形成された印刷パターンに応じた最適な版離れ速度で、
該マスクの一端側から徐々に離間させることができる。
従って、この印刷方法においては、ペーストの充填性及
び抜け性が極めて良好となり、品質の一層高い印刷をす
ることができるという優れた効果がある。
ジング速度でペーストをスキージングすることができ、
且つ、マスクの版面と被印刷体の印刷面とを、マスクに
形成された印刷パターンに応じた最適な版離れ速度で、
該マスクの一端側から徐々に離間させることができる。
従って、この印刷方法においては、ペーストの充填性及
び抜け性が極めて良好となり、品質の一層高い印刷をす
ることができるという優れた効果がある。
【０１２８】請求項１４の発明によれば、被印刷体の印
刷面とマスクの版面とが安定した速度で離間されるよう
になり、マスクにスキージングされたペーストの抜け性
が向上されるという優れた効果がある。
刷面とマスクの版面とが安定した速度で離間されるよう
になり、マスクにスキージングされたペーストの抜け性
が向上されるという優れた効果がある。
【０１２９】請求項１５の発明によれば、上記版面の離
間領域と接触領域との境界部位の移動する速度が、上記
マスクに形成された印刷パターンの開口率に応じて変化
されるので、該開口率の違いによるペーストの抜け性へ
の影響を少なくすることができるという優れた効果があ
る。
間領域と接触領域との境界部位の移動する速度が、上記
マスクに形成された印刷パターンの開口率に応じて変化
されるので、該開口率の違いによるペーストの抜け性へ
の影響を少なくすることができるという優れた効果があ
る。
【０１３０】請求項１６の発明によれば、ペーストがス
キージングされた後、マスクの版面と被印刷体の印刷面
とを、該マスクに形成された印刷パターンに応じた最適
な版離れ速度で、該マスクの一端側から徐々に離間させ
ることができる印刷装置が提供される。
キージングされた後、マスクの版面と被印刷体の印刷面
とを、該マスクに形成された印刷パターンに応じた最適
な版離れ速度で、該マスクの一端側から徐々に離間させ
ることができる印刷装置が提供される。
【０１３１】請求項１７の発明によれば、押し付け部材
としてのブレード状部材を摺動させることによって、被
印刷体の印刷面とマスクの版面とを、該シート版の一端
側から離間させることができる印刷装置が提供される。
としてのブレード状部材を摺動させることによって、被
印刷体の印刷面とマスクの版面とを、該シート版の一端
側から離間させることができる印刷装置が提供される。
【０１３２】請求項１８の発明によれば、上記押し付け
部材としてのブレード状部材が、上記ペーストをスキー
ジングするためのスキージを兼ねているので、構成を簡
素化できるという優れた効果がある。
部材としてのブレード状部材が、上記ペーストをスキー
ジングするためのスキージを兼ねているので、構成を簡
素化できるという優れた効果がある。
【０１３３】請求項１９の発明によれば、上記押し付け
部材移動手段により、押し付け部材としてのブレード状
部材が、上記シート版取付部材に取り付けられている側
の上記マスクの２つの辺とほぼ直交する方向に移動され
るので、該ブレード状部材の移動によるマスクの位置ズ
レがなく、品質の高い印刷が行えるという優れた効果が
ある。
部材移動手段により、押し付け部材としてのブレード状
部材が、上記シート版取付部材に取り付けられている側
の上記マスクの２つの辺とほぼ直交する方向に移動され
るので、該ブレード状部材の移動によるマスクの位置ズ
レがなく、品質の高い印刷が行えるという優れた効果が
ある。
【０１３４】請求項２０の発明によれば、ローラが回転
移動されることによって、被印刷体の印刷面とマスクの
版面とが、該マスクの一端側から離間されるので、上記
押し付け部材をブレード状の部材で構成した場合のよう
に、該マスクの版面と反対側の面が押し付け部材によっ
て摺擦されることがなくなるので、該マスクの摺擦によ
るダメージを解消することができるという優れた効果が
ある。
移動されることによって、被印刷体の印刷面とマスクの
版面とが、該マスクの一端側から離間されるので、上記
押し付け部材をブレード状の部材で構成した場合のよう
に、該マスクの版面と反対側の面が押し付け部材によっ
て摺擦されることがなくなるので、該マスクの摺擦によ
るダメージを解消することができるという優れた効果が
ある。
【０１３５】請求項２１の発明によれば、一対のスプロ
ケットがマスクの両側縁部に沿って所定のピッチでほぼ
平行に穿たれたスプロケット孔に嵌合して回転移動され
ることによって、被印刷体の印刷面とマスクの版面と
が、該マスクの一端側から離間されるので、該押し付け
部材をブレード状の部材や上記ローラで構成した場合の
ように、マスクの印刷パターン形成領域に押し付け部材
が当接することがなく、押し付け部材の当接による該マ
スクのダメージを解消することができるという優れた効
果がある。
ケットがマスクの両側縁部に沿って所定のピッチでほぼ
平行に穿たれたスプロケット孔に嵌合して回転移動され
ることによって、被印刷体の印刷面とマスクの版面と
が、該マスクの一端側から離間されるので、該押し付け
部材をブレード状の部材や上記ローラで構成した場合の
ように、マスクの印刷パターン形成領域に押し付け部材
が当接することがなく、押し付け部材の当接による該マ
スクのダメージを解消することができるという優れた効
果がある。
【０１３６】請求項２２の発明によれば、一対のコロが
マスクの両側縁部に沿ってほぼ平行に貼付された一対の
帯状のガイド板の内側面に係合して回転移動されること
によって、被印刷体の印刷面とマスクの版面とが、該マ
スクの一端側から離間されるので、該一対のコロが印刷
版の印刷パターン形成領域に当接することがなく、該押
し付け部材の該マスクへの当接によるダメージを解消す
ることができるという優れた効果がある。
マスクの両側縁部に沿ってほぼ平行に貼付された一対の
帯状のガイド板の内側面に係合して回転移動されること
によって、被印刷体の印刷面とマスクの版面とが、該マ
スクの一端側から離間されるので、該一対のコロが印刷
版の印刷パターン形成領域に当接することがなく、該押
し付け部材の該マスクへの当接によるダメージを解消す
ることができるという優れた効果がある。
【図１】（ａ）は、実施形態に係る印刷マスクの外観を
示す概略斜視図。（ｂ）は、該印刷マスクの概略側面
図。
示す概略斜視図。（ｂ）は、該印刷マスクの概略側面
図。
【図２】他の実施形態に係る印刷マスクの外観を示す概
略斜視図。
略斜視図。
【図３】更に他の実施形態に係る印刷マスクの外観を示
す概略斜視図。
す概略斜視図。
【図４】更に他の実施形態に係る印刷マスクの外観を示
す概略斜視図。
す概略斜視図。
【図５】図３又は図４に示した印刷マスクの他の実施態
様を示す概略断面図。
様を示す概略断面図。
【図６】上記印刷マスクを用いる印刷装置の要部のみを
示す概略斜視図。
示す概略斜視図。
【図７】（ａ），（ｂ）は、上記印刷マスクを用いてコ
ンタクト印刷を行う例を示す概略側面図。
ンタクト印刷を行う例を示す概略側面図。
【図８】（ａ），（ｂ）は、上記印刷マスクを用いてオ
フコンタクト印刷を行う例を示す概略側面図。
フコンタクト印刷を行う例を示す概略側面図。
【図９】（ａ），（ｂ）は、上記印刷マスクを用いてコ
ンタクトオフ印刷を行う例を示す概略側面図。
ンタクトオフ印刷を行う例を示す概略側面図。
【図１０】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、従来の方法によ
り印刷マスクが製造される過程を模式的に示す概略工程
図。
り印刷マスクが製造される過程を模式的に示す概略工程
図。
【図１１】上記従来の方法により製造された印刷マスク
の概略斜視図。
の概略斜視図。
【図１２】上記従来の方法により製造された印刷マスク
に付与されているテンションの状態を説明するための該
印刷用マスクの概略平面図。
に付与されているテンションの状態を説明するための該
印刷用マスクの概略平面図。
【図１３】従来の印刷マスクの他の製造方法に用いられ
る角形テンショナーの概略斜視図。
る角形テンショナーの概略斜視図。
【図１４】従来の印刷マスクの更に他の製造方法を説明
するための概略平面図。
するための概略平面図。
【図１５】従来の印刷マスクの他の製造方法に用いられ
る丸形テンショナーの概略斜視図。
る丸形テンショナーの概略斜視図。
【図１６】上記丸形テンショナーにより製造された印刷
マスクを用いてウエハーにバンプを形成する例を示す概
略斜視図。
マスクを用いてウエハーにバンプを形成する例を示す概
略斜視図。
【図１７】従来の印刷マスクの不具合について説明する
ための該印刷マスクの部分拡大平面図。
ための該印刷マスクの部分拡大平面図。
【図１８】従来の印刷マスクの不具合を解消するための
従来の方法について説明するための模式図及びグラフ。
従来の方法について説明するための模式図及びグラフ。
【図１９】スキージング工程においてペーストが充填さ
れるメカニズムを説明するための概略断面図。
れるメカニズムを説明するための概略断面図。
【図２０】版離れ工程においてペーストが抜けるメカニ
ズムを説明するための概略断面図。
ズムを説明するための概略断面図。
【図２１】従来の印刷装置の版離れ工程におけるシート
版の挙動を説明するための概略断面図。
版の挙動を説明するための概略断面図。
【図２２】（ａ）は、ペースト分配工程を示す概略図。
（ｂ）は、スキージング工程を示す概略図。（ｃ）は、
版離れ工程を示す概略図。
（ｂ）は、スキージング工程を示す概略図。（ｃ）は、
版離れ工程を示す概略図。
【図２３】上記ペースト分配工程で用いられる分配ブレ
ードと、上記スキージング工程で用いられるスキージ、
上記版離れ工程で用いられる押し付け部材とを、１個の
ブレード支軸に取り付けた構成を示す概略側面図。
ードと、上記スキージング工程で用いられるスキージ、
上記版離れ工程で用いられる押し付け部材とを、１個の
ブレード支軸に取り付けた構成を示す概略側面図。
【図２４】上記押し付け部材の他の例を示す概略側面
図。
図。
【図２５】上記押し付け部材の更に他の例を示す概略斜
視図。
視図。
【図２６】上記押し付け部材の更に他の例を示す概略斜
視図。
視図。
【図２７】（ａ）乃至（ｄ）は、上記印刷装置の他の印
刷工程を説明するための概略工程図。
刷工程を説明するための概略工程図。
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ マスク取付部材 １ａ、１ｂ マスク取付部材の取付穴 ２ マスク ２Ａ マスク材 ２ａ マスクの開口 ２ｂ マスクのリブ ２ｃ マスクのエッジ ２ｄ マスクのスプロケット孔 ２ｆ ガイド板 ２ｇ マスクの版面 ５ 接着剤 ６ 補強部材 ７ スキージ ８ ペースト １０ 印刷マスク １０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ 印刷マスク材 ３０ ウエハー ３０ａ ウエハーの印刷面 ４１Ａ，４１Ｂ マスク取付部材保持アーム ４１ａ，４１ｂ 保持穴 ４２ 保持部材 ５０Ａ，５０Ｂ 取付部材移動手段 ５１Ａ，５１Ｂ 進退用ボールネジ ５２Ａ，５２Ｂ 昇降用ボールネジ ５３Ａ，５３Ｂ 移動体 ６０ 分配ブレード ７０ スキージ ８０ 押し付け部材 ８０Ａ ローラ ８０Ｂ スプロケット ８０Ｃ コロ ９０ ブレード支軸 １００ スキージ速度制御手段 ２００ 版離れ速度制御手段 ３００ ブレード部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０ Ｈ０５Ｋ 3/12 ６１０Ｐ 3/34 ５０５ 3/34 ５０５Ｄ Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FB37 FC05 FD02 FE01 FE02 FE04 FF02 2H113 AA01 AA02 AA05 BA10 BB07 BB09 BB22 CA17 FA50 2H114 AB03 AB08 AB17 EA03 EA08 GA11 5E319 BB05 CD29 GG09 5E343 BB72 DD03 FF03 FF12 GG08
Claims (22)
- 【請求項１】ペーストを被印刷体に印刷するための印刷
パターンが形成されるシート版材が、シート版取付部材
に取り付けられた構成の印刷版材であって、 上記シート版取付部材に対して、上記シート版材の対向
する２つの辺のみが、該シート版材にテンションを付与
しないように取り付けられていることを特徴とする印刷
版材。 - 【請求項２】請求項１の印刷版材において、 上記シート版取付部材に取り付けられていない側の上記
シート版材の２つの辺に、可撓性を有する帯状の補強部
材が設けられていることを特徴とする印刷版材。 - 【請求項３】ペーストを被印刷体に印刷するための印刷
パターンが形成されたシート版が、シート版取付部材に
取り付けられた構成の印刷版であって、 上記シート版取付部材に対して、上記シート版の対向す
る２つの辺のみが、該シート版にテンションを付与しな
いように取り付けられていることを特徴とする印刷版。 - 【請求項４】請求項３の印刷版において、 上記シート版取付部材に取り付けられていない側の上記
シート版の２つの辺に、可撓性を有する帯状の補強部材
が設けられていることを特徴とする印刷版。 - 【請求項５】上記シート版に補給されたペーストをスキ
ージングして、該シート版に形成された印刷パターンを
被印刷体の印刷面に印刷する請求項３又は４記載の印刷
版を用いた印刷方法であって、 該ペーストのスキージング時に、該シート版を撓ませず
且つ伸張させない状態に上記シート版取付部材を保持し
て、該シート版に形成された印刷パターンを被印刷体の
印刷面に印刷することを特徴とする印刷方法。 - 【請求項６】請求項５の印刷方法において、 上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面とを接触さ
せた状態で、該シート版に補給されたペーストをスキー
ジングした後、該被印刷体の印刷面と該シート版の版面
とを離間させて、該シート版に形成された印刷パターン
を被印刷体の印刷面に印刷することを特徴とする印刷方
法。 - 【請求項７】請求項５の印刷方法において、 上記被印刷体の印刷面に対して上記シート版の版面の一
部のみがほぼ直線状に接触するように上記シート版取付
け部材を保持し、被印刷体の印刷面に対する該シート版
の版面の接触位置を移動させながらペーストをスキージ
ングして、該シート版に形成された印刷パターンを被印
刷体の印刷面に印刷することを特徴とする印刷方法。 - 【請求項８】請求項５の印刷方法において、 上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面とを接触さ
せた状態で、該シート版の上記シート版取付け部材が取
り付けられている一方の辺から他方の辺に向けて、該シ
ート版に補給されたペーストをスキージングすると同時
に、該ペーストのスキージングを終えた部分のシート版
の版面を被印刷体の印刷面から離間させながら、該シー
ト版に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印
刷することを特徴とする印刷方法。 - 【請求項９】請求項３又は４記載の印刷版を用いて印刷
を行う印刷装置であって、 上記シート版に補給されたペーストをスキージングし
て、該シート版に開口された印刷パターンによって、ペ
ーストを被印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、 上記シート版取付部材を保持する取付部材保持手段と、 該取付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シー
ト版の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませず
且つ伸張させないように、上記シート版取付部材を保持
した状態で、上記スキージ手段によりペーストをスキー
ジングして、該シート版に形成された印刷パターンを被
印刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる印刷モー
ド制御手段とを有することを特徴とする印刷装置。 - 【請求項１０】請求項３又は４記載の印刷版を用いて印
刷を行う印刷装置であって、 上記シート版に補給されたペーストをスキージングし
て、該シート版に開口された印刷パターンによってペー
ストを被印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該
シート版の対向する２つの辺が取り付けられている各辺
のシート版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手
段と、該スキージ手段によるスキージング時に、該取付
部材保持手段により個別に保持された少なくとも一方の
辺のシート版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸
張させないように移動させる取付部材移動手段とを有
し、 上記取付部材保持手段により、上記被印刷体の印刷面に
対して上記シート版の版面の一部のみがほぼ直線状に接
触するように、該シート版を撓ませず且つ伸張させず
に、上記各辺のシート版取付部材を個別に保持した状態
で、上記スキージ手段で、被印刷体の印刷面に対する該
シート版の版面の接触位置を移動させながらペーストを
スキージングして、該シート版に形成された印刷パター
ンを被印刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる印
刷モード制御手段を有することを特徴とする印刷装置。 - 【請求項１１】請求項３又は４記載の印刷版を用いて印
刷を行う印刷装置であって、 上記シート版に補給されたペーストをスキージングし
て、該シート版に開口された印刷パターンによってペー
ストを被印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該
シート版の対向する２つの辺が取り付けられている各辺
のシート版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手
段と、該スキージ手段によるスキージング時に、該取付
部材保持手段により個別に保持された少なくとも一方の
辺のシート版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸
張させないように移動させる取付部材移動手段とを有
し、 上記取付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シ
ート版の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませ
ず且つ伸張させないように、上記各辺のシート版取付部
材を保持した状態で、上記スキージ手段により、該シー
ト版の上記シート版取付け部材が取り付けられている一
方の辺から他方の辺に向けて、該シート版に補給された
ペーストをスキージングすると同時に、該ペーストのス
キージングを終えた部分のシート版の版面と被印刷体の
印刷面とが離間するように、離間開始側のシート版取付
部材を上記取付部材移動手段で移動させながら、該シー
ト版に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印
刷するモードを実行させる印刷モード制御手段を有する
ことを特徴とする印刷装置。 - 【請求項１２】請求項３又は４記載の印刷版を用いて印
刷を行う印刷装置であって、 上記シート版に補給されたペーストをスキージングし
て、該シート版に開口された印刷パターンによってペー
ストを被印刷体の印刷面に印刷するスキージ手段と、該
シート版の対向する２つの辺が取り付けられている各辺
のシート版取付部材を、個別に保持する取付部材保持手
段と、該スキージ手段によるスキージング時に、該取付
部材保持手段により個別に保持された少なくとも一方の
辺のシート版取付部材を、該シート版を撓ませず且つ伸
張させないように移動させる取付部材移動手段とを有
し、 上記取付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と上記
シート版の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ま
せず且つ伸張させないように、上記シート版取付部材を
保持した状態で、上記スキージ手段によりペーストをス
キージングして、該シート版に形成された印刷パターン
を被印刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる第１
の印刷モード制御手段と、 上記取付部材保持手段により、上記被印刷体の印刷面に
対して上記シート版の版面の一部のみがほぼ直線状に接
触するように、該シート版を撓ませず且つ伸張させず
に、上記各辺のシート版取付部材を個別に保持した状態
で、上記スキージ手段で、被印刷体の印刷面に対する該
シート版の版面の接触位置を移動させながらペーストを
スキージングして、該シート版に形成された印刷パター
ンを被印刷体の印刷面に印刷するモードを実行させる第
２の印刷モード制御手段と、 上記取付部材保持手段により、被印刷体の印刷面と該シ
ート版の版面とを接触させ、且つ、該シート版を撓ませ
ず且つ伸張させないように、上記各辺のシート版取付部
材を保持した状態で、上記スキージ手段により、該シー
ト版の上記シート版取付け部材が取り付けられている一
方の辺から他方の辺に向けて、該シート版に補給された
ペーストをスキージングすると同時に、該ペーストのス
キージングを終えた部分のシート版の版面と被印刷体の
印刷面とが離間するように、離間開始側のシート版取付
部材を上記取付部材移動手段で移動させながら、該シー
ト版に形成された印刷パターンを被印刷体の印刷面に印
刷するモードを実行させる第３の印刷モード制御手段
と、 上記第１、第２、第３の各印刷モード制御手段により実
行される各印刷モードのうちの何れか１つの印刷モード
を選択する印刷モード選択手段とを有することを特徴と
する印刷装置。 - 【請求項１３】請求項６の印刷方法において、 上記被印刷体の印刷面と上記シート版の版面との離間時
に、該シート版の一端側から該版面を離間させ、且つ、
該離間動作による該版面の離間領域と接触領域との境界
部位の移動する速度を、少なくとも該シート版の上記印
刷パターンが形成されている領域で、シート版の版面に
対するペーストの粘着力よりも被印刷体の印刷面に対す
るペーストの粘着力が上回る速度に制御することを特徴
とする印刷方法。 - 【請求項１４】請求項１３の印刷方法において、 上記版面の離間領域と接触領域との境界部位の移動する
速度を、一定の速度に設定したことを特徴とする印刷方
法。 - 【請求項１５】請求項１３の印刷方法において、 上記版面の離間領域と接触領域との境界部位の移動する
速度を、上記シート版に形成された印刷パターンの開口
率に応じて設定することを特徴とする印刷方法。 - 【請求項１６】請求項１３、１４又は１５の印刷方法を
用いて被印刷体の印刷面に印刷パターンを印刷する印刷
装置であって、 上記版面の離間領域と接触領域との境界部位の移動する
速度を制御する版離れ速度制御手段は、該印刷面に対し
て該版面が接触した姿勢を維持するように、該版面を該
印刷面側に押し付けるための押し付け部材と、該版面の
一端側から他端側に向けて、該押し付け部材を移動させ
るための押し付け部材移動手段と、該移動手段による該
押し付け部材の移動速度を制御する速度制御手段と、で
構成されていることを特徴とする印刷装置。 - 【請求項１７】請求項１６の印刷装置において、 上記押し付け部材は、上記印刷版の版面と反対側の面に
当接して摺動するブレード状部材で構成されていること
を特徴とする印刷装置。 - 【請求項１８】請求項１７の印刷装置において、 上記押し付け部材としてのブレード状部材は、上記ペー
ストをスキージングするためのスキージを兼ねているこ
とを特徴とする印刷装置。 - 【請求項１９】請求項１８の印刷装置において、 上記押し付け部材としてのブレード状部材を移動させる
ための押し付け部材移動手段は、上記シート版取付部材
に取り付けられている側の上記シート版の２つの辺とほ
ぼ直交する方向に、該ブレード状部材を移動させるよう
に構成されていることを特徴とする印刷装置。 - 【請求項２０】請求項１６の印刷装置において、 上記押し付け部材は、上記シート版の版面と反対側の面
に当接して回転移動するローラで構成されていることを
特徴とする印刷装置。 - 【請求項２１】請求項１６の印刷装置において、 上記押し付け部材は、上記シート版の両側縁部に沿って
所定のピッチでほぼ平行に穿たれたスプロケット孔に嵌
合して回転移動する一対のスプロケットで構成されてい
ることを特徴とする印刷装置。 - 【請求項２２】請求項１６の印刷装置において、 上記押し付け部材は、上記シート版の両側縁部に沿って
ほぼ平行に貼付された一対の帯状のガイド板の内側面に
係合して回転移動する一対のコロで構成されていること
を特徴とする印刷装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11193162A JP2001018358A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11193162A JP2001018358A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001018358A true JP2001018358A (ja) | 2001-01-23 |
Family
ID=16303330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11193162A Pending JP2001018358A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 印刷版材、印刷版、該印刷版を用いた印刷方法及び印刷装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001018358A (ja) |
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-
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- 1999-07-07 JP JP11193162A patent/JP2001018358A/ja active Pending
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