JP2005138341A - ペースト材料の印刷方法及びその印刷装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 1回の印刷で異なる印刷厚さの印刷物を精度良く得ることができるペースト材料の印刷方法及びその印刷装置を提供する。
【解決手段】 マスク厚さの異なる印刷開口部4a,4cが形成されたマスクプレート4を基板7に配置し、該マスクプレート4上にスキージ12を当接させた状態で該スキージ12を押圧しつつ一方向に移動させることによりペースト材料17を上記印刷開口部4a,4c内に充填して上記基板7に印刷するようにしたペースト材料の印刷方法において、上記スキージ12のスキージ荷重,スキージ速度のうち少なくとも何れか一方の印刷条件を上記各印刷開口部4a,4cのマスク厚さに応じて変更する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ソルダペースト,導電性接着剤等のペースト材料を印刷開口部が形成されたマスクプレートを介してスキージにより基板に印刷するようにしたペースト材料の印刷方法及びその印刷装置に関する。
一般に、プリント基板に電子部品を表面実装する場合には、プリント基板の電子部品の半田付け部分にソルダペーストを印刷する工法が多用されている。このソルダペーストの印刷方法として、図12(a)〜(c)に示すように、プリント基板50の半田付け部分に対応するように形成された印刷開口部51aを有するマスクプレート51を上記プリント基板50に配置し、マスクプレート51上にスキージ52を当接させた状態で該スキージ52を押圧しつつ移動させることによりソルダペースト53を各印刷開口部51aに充填して上記プリント基板50に転写して印刷物53aを得るのが一般的である。なお導電性接着剤を用いた表面実装においても上記同様の印刷方法が採用されている。
一方、近年の表面実装では、例えば積層セラミックコンデンサ等の微小チップ部品と半導体複合素子等の大型回路素子とを同一のプリント基板上に高密度で実装する場合がある。この場合、微小チップ部品と大型回路素子とではプリント基板上に印刷するソルダペーストの量,つまり印刷厚さを変える必要がある。
このような印刷厚さの異なる印刷を1つのマスクプレートを用いて実現するには、図10及び図11に示すように、マスクプレート55の板厚と同一のマスク厚さ、即ち印刷厚の第1印刷開口部55aを形成するとともに、マスクプレート55にエッチングにより凹状の段差部55bを形成し、該段差部55b内に第1印刷開口部55aよりマスク厚さの小さい第2印刷開口部55cを形成し、これにより1回の印刷で異なる印刷厚さの印刷物を得ることを実現するようにしている(例えば、特許文献1参照)。なお、図11において、紙面垂直方向がスキージの移動方向である。
特開2001−291952号公報
しかしながら、上記従来のマスクプレート55にマスク厚さの異なる第1,第2印刷開口部55a,55cを形成する構造を採用した場合には、第1,第2印刷開口部55a,55cでソルダペーストを均等に充填することができない場合があり、印刷厚さの精度が低いという問題がある。
このような問題が生じる原因は以下の通りであると考えられる。即ち、図11(a),(b)に示すように、例えばスキージの印刷条件を第2印刷開口部55c側に適した条件に設定すると、スキージが段差部55bに追従して入り込むことから、第2印刷開口部55cに適正量のソルダペースト53を充填することができるものの、第1印刷開口部55a側ではスキージが深く入り込み易く、ソルダペースト53の充填量が不足するおそれがある。
一方、図11(c),(d)に示すように、スキージの印刷条件を第1印刷開口部55a側に適した条件に設定すると、第1印刷開口部55aへのソルダペースト53の充填量は確保できるものの、段差部55bへの入り込みが小さくなってソルダペースト53の充填量が過剰となり、第2印刷開口部55cでの印刷厚さが厚くなるおそれがある。
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、1回の印刷で異なる印刷厚さの印刷物を精度良く得ることができるペースト材料の印刷方法及びその印刷装置を提供することを目的としている。
請求項1の発明は、マスク厚さの異なる複数の印刷開口部が形成されたマスクプレートを基板に配置し、該マスクプレート上にスキージを当接させた状態で該スキージを押圧しつつ一方向に移動させることによりペースト材料を上記印刷開口部内に充填して上記基板に印刷することで、1回の印刷で異なる厚さの印刷物を得るようにしたペースト材料の印刷方法において、上記スキージの印刷条件を上記各印刷開口部のマスク厚さに応じて変更することを特徴としている。
請求項2の発明は、請求項1において、上記印刷条件として、スキージ荷重,スキージ速度のうち少なくとも何れか一方を変更することを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項1又は2において、上記印刷条件として、上記印刷開口部のマスク厚さが薄い部位のスキージ荷重をマスク厚さが厚い部位のスキージ荷重より大きくするか、マスク厚さの薄い部位のスキージ速度をマスク厚さが厚い部位のスキージ速度より小さくするかの何れか一方,又は両方を行うことを特徴としている。
請求項4の発明は、請求項1ないし3の何れかにおいて、上記印刷開口部は、略同じマスク厚さのものが上記スキージの移動方向に対して略直交方向に帯状に形成されていることを特徴としている。
請求項5の発明は、マスク厚さの異なる複数の印刷開口部が形成されたマスクプレートと、該マスクプレートが配置される基板と、上記マスクプレート上に当接するように配置されたスキージと、該スキージを押圧しつつ一方向に移動させるスキージ駆動機構とを備え、上記スキージを移動させることによりペースト材料を上記印刷開口部内に充填して上記基板に印刷することで、1回の印刷で異なる厚さの印刷物を得るようにしたペースト材料の印刷装置において、上記スキージの印刷条件を上記各印刷開口部のマスク厚さに応じて変更する印刷条件変更手段を備えたことを特徴としている。
請求項6の発明は、請求項5において、上記印刷条件変更手段は、スキージ荷重,スキージ速度のうち少なくとも何れか一方を変更するように構成されていることを特徴としている。
請求項7の発明は、請求項5又は6において、上記印刷条件変更手段は、上記印刷開口部のマスク厚さが薄い部位のスキージ荷重をマスク厚さが厚い部位のスキージ荷重より大きくするか、マスク厚さの薄い部位のスキージ速度をマスク厚さが厚い部位のスキージ速度より小さくするかの何れか一方、又は両方を行うように構成されていることを特徴としている。
請求項8の発明は、請求項5ないし7の何れかにおいて、上記印刷条件変更手段は、上記マスクプレートに形成された認識マークを基準として予め設定されたスキージの移動量に基づいて印刷条件を変更するように構成されていることを特徴としている。
請求項9の発明は、請求項8において、上記印刷条件変更手段は、上記マスクプレートの認識マークに基づいてスキージの移動量を補正するように構成されていることを特徴としている。
請求項10の発明は、請求項5ないし9の何れかにおいて、上記印刷条件変更手段は、印刷条件変更時にスキージを一旦停止させるか、又はスキージの移動速度を低くするように構成されていることを特徴としている。
請求項11の発明は、請求項5ないし10の何れかにおいて、上記印刷開口部は、略同じマスク厚さのものが上記スキージの移動方向に対して略直交方向に帯状に形成されていることを特徴としている。
請求項1の発明に係る印刷方法によれば、各印刷開口部のマスク厚さに応じてスキージの印刷条件を変更するようにしたので、具体的には、例えば請求項2の発明に示すように、マスク厚さに応じてスキージ荷重,スキージ速度の少なくとも何れか一方を変更するようにしたので、各印刷開口部のマスク厚さに応じた条件でもって印刷を行なうことができ、1回の印刷で精度の良い安定した異なる印刷厚さの印刷物を得ることができる。これにより、微小チップ部品と大型回路素子とを基板に高密度で同時に実装することが可能となる。
請求項3の発明では、マスク厚さの薄い部位を厚い部位に対してスキージ荷重を大きくするか、スキージ速度を小さくするかの何れか一方、又は両方を行うようにしたので、マスク厚さの薄い部分でのスキージの追従性を確保できるとともに、マスク厚さの厚い部分でのスキージの入り込みを抑制でき、印刷厚さの精度を高めることができる。
請求項4の発明では、印刷開口部を、略同じマスク厚さのものがスキージの移動方向に対して略直交方向に帯状に形成したので、マスク厚さに応じて印刷条件を変更し、各部印刷開口部により適した印刷を行うことができる。
請求項5の発明では、印刷条件をマスク厚さに応じて変更する印刷条件変更手段を設け、例えば請求項6の発明に示すように、マスク厚さに応じてスキージ荷重,スキージ速度の少なくとも何れか一方を変更するようにしたので、1回の印刷で精度の良い安定した異なる印刷厚さを得ることができ、請求項1と同様の効果が得られる。
請求項7の発明では、マスク厚さの薄い部位を厚い部位に対してスキージ荷重を大きくするか、又はスキージ速度を小さくしたので、マスク厚さの薄い部分でのスキージの追従性を確保できるとともに、マスク厚さの厚い部分でのスキージの入り込みを抑制でき、印刷厚さの精度を高めることができる。
請求項8の発明では、マスクプレートに形成された認識マークを基準として予め設定されたスキージ移動量に基づいて印刷条件を変更するようにしたので、印刷条件変更時のスキージと印刷開口部との位置精度を高めることができる。
請求項9の発明では、マスクプレートの認識マークに基づいてスキージの移動量を補正するようにしたので、印刷機にマスクプレートを取付ける際にマスクプレートとスキージとの位置関係にずれが生じた場合にも正確な位置関係に補正することができ、印刷精度を長期間に渡って維持することが可能となる。
請求項10の発明では、印刷条件変更時にスキージを一旦停止させるか,又はスキージの移動速度を低くしたので、印刷条件を変更する際の切り換えをスムーズに行なうことができ、安定した印刷を行なうことができる。
請求項11の発明では、印刷開口部を、略同じマスク厚さのものがスキージの移動方向に対して略直交方向に帯状に形成したので、マスク厚さに応じて印刷条件を変更し、各部印刷開口部により適した印刷を行うことができる。
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図1ないし図8は、ペースト材料の印刷装置及び該印刷装置によるペースト材料の印刷方法を説明するための図であり、図1はペースト材料の印刷装置の概略図、図2〜図6はそれぞれ印刷装置による印刷動作を示す図、図7は印刷工程図、図8はマスクプレートの平面図である。
図において、1は印刷装置を示しており、これはフレーム部材2に固定されたマスクプレート支持台3にマスクプレート4を着脱可能に配設し、該マスクプレート4の上方にスキージ往復駆動機構5により往復移動可能に支持されたスキージユニット6を配設するとともに、下方にプリント配線基板7が載置された基板固定ステージ8を昇降可能に配設した概略構造を有している。
上記マスクプレート4はこれの外縁部を囲むように配置されたマスク枠10によりマスクプレート支持台3に位置決め固定されている。このマスクプレート4はステンレス板からなり、図8に示すように、2つの非ハーフエッチング領域A,Aと該両非ハーフエッチング領域Aの間に形成されたハーフエッチング領域Bとを、それぞれスキージユニット6の移動方向と直交方向に帯状をなすように形成した構造となっている。またマスクプレート4には認識マークM1,M2が形成されている。なお、マスクプレートは図示しないメッシュスクリーンなどによりマスク枠10に固定しても良い。
上記各非ハーフエッチング領域Aには、マスクプレート4の板厚と同一のマスク厚さからなる複数の非段差印刷開口部4aが形成されている。また上記ハーフエッチング領域Bには、スキージユニット6の移動方向と直交方向に一対の矩形凹状の段差部4b,4bがエッチングにより並列させて形成されており、各段差部4b内には上記非段差印刷開口部4aよりマスク厚さ及び開口面積の小さい複数の段差印刷開口部4cがレーザ加工等により形成されている。
上記各非段差印刷開口部4aのマスク厚さ,つまり板厚は100〜150μm程度であり、また上記各段差印刷開口部4cのマスク厚さ,つまり段差部4bの板厚は50〜100μm程度である。ここで、段差部4bの深さ,ひいては印刷厚さは電子部品の種類,形状,寸法等に応じて適宜設定することとなる。
上記プリント配線基板7の上面には回路パターン7aが形成されており、この回路パターン7a上に不図示の微小チップ部品及び大型回路素子等の電子部品が実装される。またプリント配線基板7には回路パターン7aとマスクプレート4の各印刷開口部4a,4cとの位置合わせを行なうための位置決めマークM3,M4が形成されている。
上記スキージユニット6は、昇降駆動機構6aにより昇降駆動される一対の往路用,復路用昇降部6b,6bにそれぞれホルダ6c,6cを装着し、該各ホルダ6cにスキージ12,12を取付けた構造となっている。この各スキージ12は、弾性変形可能な板状のウレタンゴム等により形成されており、例えばJISK6253の硬さ試験において硬度A60〜A95を有するものにより構成されている。
上記各ホルダ6cを回動させることにより、上記各スキージ12のマスクプレート4に対する傾斜角度,つまりスキージ角度θを変更することが可能となっている。また上記昇降駆動機構6aは圧縮空気により各昇降部6bをそれぞれ独立して昇降駆動するように構成されており、昇降部6bを介してスキージ12のマスクプレート4への押圧力,つまりスキージ荷重を変更することが可能となっている。
上記スキージ往復駆動機構5はボールネジ5aをサーボモータ5bにより回転駆動することによりスキージユニット6を往復移動するように構成されており、該ボールネジ5aの回転速度を制御することによりスキージユニット6の移動速度,つまりスキージ速度を変更することが可能となっている。またボールネジ5aの回転量を制御することによりスキージ12の移動量が制御される。
上記マスクプレート4の下方にはカメラ15が配設されている。このカメラ15によりマスクプレート4の認識マークM1,M2及びプリント配線基板7の位置決めマークM3,M4を撮像し、撮像された画像に基づいて後述のコントローラによりプリント配線基板7,マスクプレート4の位置合わせを自動的に行なうようになっている。
そして本実施形態の印刷装置1は、スキージ12の印刷条件を変更する印刷条件変更手段としてのコントローラ(不図示)を備えている。このコントローラは、上記非段差印刷開口部4a及び段差印刷開口部4cのマスク厚さに応じてスキージ12のスキージ荷重,スキージ速度のうち少なくとも1つを変更するように構成されている。
具体的には、非段差印刷開口部4aが形成された非ハーフエッチング領域Aではスキージ荷重、つまりスキージ長さ1mmあたりにかかる荷重の大きさが0.05〜0.15N/mmとなるように、上記段差印刷開口部4cが形成されたハーフエッチング領域Bではスキージ荷重、スキージ長さ1mmあたりにかかる荷重の大きさが0.15〜0.40N/mmとなるように印刷条件を切り替える。また上記ハーフエッチング領域Bでは、非ハーフエッチング領域Aのスキージ荷重より大きくするとともに、スキージ速度を5〜25mm/s程度と小さくするように構成されている。これによりスキージ12の段差部4bに対する追従性をより高めることが可能となる。ここで、上記スキージ荷重,スキージ速度の設定値については、段差部4b,段差印刷開口部4cの大きさ(面積),深さ(厚さ)等、あるいはスキージ12の硬度,板厚等により異なり、またペースト材料の粘度等の物性によっても異なるので、種々の実験により求めることとなる。
上記コントローラには、マスクプレート4の認識マークM1,M2を基準としてマスクプレート4の非ハーフエッチング領域Aにおける移動開始位置L0から印刷条件変更位置L1までのスキージユニット6の移動距離及びハーフエッチング領域Bにおける印刷条件変更位置L1から印刷終了位置L2までのスキージユニット6の移動距離が予め数値により入力されている。このようにしてスキージ12の移動開始位置l0,印刷条件変更位置l1,印刷終了位置l2が決定される。なお、この移動距離は、マスクプレート上をスキージ又はスキージの代用となる透明治具を予め移動させてティーチングすることによって設定してもよい。
上記コントローラは、カメラ15により撮像された認識マークM1,M2の画像に基づいてスキージユニット6の移動量,移動位置を補正するように構成されている。
またコントローラは、スキージユニット6が印刷条件変更位置L1に移動すると、該スキージユニット6を一旦停止させるか、あるいは移動量を極めて小さくするように構成されている。この停止中にスキージ荷重の切り換えに必要な空気圧等の調整が行なわれる。
次に、本実施形態の印刷装置の動作及び該印刷装置を用いたソルダペーストの印刷方法について説明する。
まずマスクプレート4をマスクプレート支持台3にセットし、マスクプレート4の非ハーフエッチング領域A及びハーフエッチング領域Bにおけるスキージ荷重,スキージ速度等の印刷条件を設定するとともに、マスクプレート4の認識マークM1,M2,スキージユニット6の移動量,印刷条件変更位置を設定し、コントローラに数値により入力する。具体的には、上述したように、マスクプレート4の非ハーフエッチング領域Aにおける移動開始位置L0から印刷条件変更位置L1までのスキージユニット6の移動距離及びハーフエッチング領域Bにおける印刷条件変更位置L1から印刷終了位置L2までのスキージユニット6の移動距離を入力する。次いでマスクプレート4にソルダペースト17を供給するとともに、プリント配線基板7を基板固定ステージ8にセットする。
印刷装置1がスタートすると、カメラ15によりマスクプレートの認識マークM1,M2とプリント配線基板7の認識マークM3,M4を撮像し、マスクプレート4及びプリント配線基板7の位置を認識するとともに位置合わせを行い、プリント配線基板7は位置決め固定される。次いで、基板固定ステージ8が上昇してプリント配線基板7をマスクプレート4の下面に当接させるとともに、往路用の昇降部6bが下降してスキージ12をマスクプレート4の移動開始位置l0に当接させる。この場合、復路用の昇降部6bは待機位置に上昇している。
この状態でスキージ往復駆動機構5がスキージユニット6を一方向に移動させ、スキージ12がマスクプレート4上を移動しつつソルダペースト17を各非段差印刷開口部4a内に充填する。この場合、スキージ荷重は0.05〜0.15N/mmの低い値に設定されていることから、スキージ12が非段差印刷開口部4a内に入り込むことはない。
上記スキージユニット6が印刷条件変更位置L1に移動すると一旦停止し、この間に圧縮空気圧を高めてスキージ荷重の変更が行なわれる。この後、スキージ12がマスクプレート4上を移動しつつソルダペースト17を各段差印刷開口部4c内に充填する。この場合、スキージ荷重は0.15〜0.40N/mmの高い値に設定されていることから、スキージ12が段差部4bに追従して入り込み、各段差印刷開口部4c内のみにソルダペースト17を充填することとなる。
スキージユニット6が印刷終了位置L2に移動すると、基板固定ステージ8が下降してプリント配線基板7をマスクプレート4から分離するとともに、往路用の昇降部6bが上昇してスキージ12をマスクプレート4から離す。このようにしてプリント配線基板7の回路パターン7aに印刷厚さの異なる印刷物17aが転写される。
なお、ソルダペースト17の印刷を複数回繰り返すと、マスクプレート支持台3にセットされたマスクプレート4の位置がわずかにずれ、印刷条件変更位置L1もずれて良好な印刷ができなくなることが想定される。しかし、本実施形態によれば、例えば1回の印刷を終えるとカメラ15で認識マークM1,M2を撮像し、その位置に基づいてスキージユニット6の移動量を補正する。したがって、マスクプレート4の固定位置が変動しても印刷条件変更位置を常に所望の位置にして良好な印刷を行うことができる。
このように本実施形態によれば、マスクプレート4の非ハーフエッチング領域Aに形成された非段差印刷開口部4aと、ハーフエッチング領域Bに形成された段差印刷開口部4cとでスキージ荷重,スキージ速度等の印刷条件を変更するようにしたので、各印刷開口部4a,4cのマスク厚さに応じた条件でもってソルダペースト17の印刷を行なうことができ、1回の印刷で精度の良い安定した異なるペースト厚さの印刷物17aを得ることができる。これにより、微小チップ部品と大型回路素子とを1つのプリント配線基板7に高密度で同時に実装することができる。
またマスク厚さの薄い段差印刷開口部4cでのスキージ荷重を、マスク厚さの厚い非段差印刷開口部4aでのスキージ荷重より大きくし、又はスキージ速度を小さくしたので、段差部4bでのスキージ12の追従性を良好にできるとともに、非段差印刷開口部4aでのスキージ12の入り込みを防止でき、印刷厚さの精度を高めることができる。
本実施形態では、カメラ15により撮像されたマスクプレート4の認識マークM1,M2を基準として予め設定されたスキージ移動量を補正するようにしたので、印刷条件変更時のスキージ12と段差印刷開口部4cとの位置精度を高めることができる。
またソルダペースト17の印刷時に、カメラ15により撮像されたマスクプレート4の認識マークM1,M2に基づいてスキージ12の移動量を補正するようにしたので、印刷機にマスクプレートを取付ける際にマスクプレート4とスキージ12との位置関係にずれが生じた場合にも正確な位置関係に補正することができ、印刷精度を長期間に渡って維持することが可能となる。
本実施形態では、印刷条件変更時にスキージ12を一旦停止させるか,又はスキージ12の移動速度を低速にしたので、印刷条件を変更する際の空気圧等の切り換えをスムーズに行なうことができ、安定した印刷を行なうことができる。
図9は、本実施形態の効果を確認するために行なった実験結果を示す図である。この実験では、マスクプレートにマスク厚さ150μmの非段差印刷開口部(白抜き参照)と、マスク厚さ100μmの段差印刷開口部(黒塗り参照)を形成し、スキージ荷重を0.15N/mmの低荷重側とした場合、スキージ荷重を0.40N/mmの高荷重側とした場合、さらにはスキージ荷重を非段差印刷開口部では0.15N/mmの低荷重側とし、段差印刷開口部では0.40N/mmの高荷重側と変更した場合のそれぞれの印刷厚さについて調べた。また、スキージは硬度A90のウレタンゴム製平板スキージを用い、スキージ速度は50mm/sとした。
同図からも明らかなように、スキージ荷重を0.15N/mmの低荷重とした場合には、非段差印刷開口部では150μmと所望の印刷厚さが得られているものの、段差印刷開口部では印刷厚さが130μmと厚くなっている。これは段差部内へのスキージの追従が不十分となってソルダペーストが過剰に充填されたことに起因している。
一方、スキージ荷重を0.40N/mmの高荷重側とした場合には、段差印刷開口部では100μmと狙い通りの印刷厚さが得られているが、非段差印刷開口部では概ね120μmと目標とする印刷厚さが得られていない。これは非段差印刷開口部にスキージが入り込んでいることに起因している。
これに対して、スキージ荷重を非段差印刷部では0.15N/mmの低荷重側に、段差印刷開口部では0.40N/mmの高荷重側に切り替えた場合には、非段差印刷開口部の印刷厚さが150μmで、段差印刷開口部の印刷厚さが100μmmとなっており、目標とする印刷厚さが得られていることが分かる。
本発明の一実施形態によるペースト材料印刷装置の概略図である。 上記印刷装置の印刷動作を示す図である。 上記印刷装置の印刷動作を示す図である。 上記印刷装置の印刷動作を示す図である。 上記印刷装置の印刷動作を示す図である。 上記印刷装置の印刷動作を示す図である。 上記印刷装置による印刷方法を示す工程図である。 上記実施形態のマスクプレートの平面図である。 上記実施形態の効果を示す特性図である。 従来の一般的な印刷厚さの異なる印刷開口部を有するマスクプレートの斜視図である。 従来の問題点を説明するための図である。 従来の一般的なペースト材料印刷方法を示す工程図である。
符号の説明
1 印刷装置
4 マスクプレート
4a 非段差印刷開口部
4b 段差部
4c 段差印刷開口部
5 スキージ往復駆動機構
7 プリント配線基板
12 スキージ
17 ソルダペースト(ペースト材料)
17a 印刷物

Claims (11)

  1. マスク厚さの異なる複数の印刷開口部が形成されたマスクプレートを基板に配置し、該マスクプレート上にスキージを当接させた状態で該スキージを押圧しつつ一方向に移動させることによりペースト材料を上記印刷開口部内に充填して上記基板に印刷することで、1回の印刷で異なる厚さの印刷物を得るようにしたペースト材料の印刷方法において、上記スキージの印刷条件を上記各印刷開口部のマスク厚さに応じて変更することを特徴とするペースト材料の印刷方法。
  2. 請求項1において、上記印刷条件として、スキージ荷重,スキージ速度のうち少なくとも何れか一方を変更することを特徴とするペースト材料の印刷方法。
  3. 請求項1又は2において、上記印刷条件として、上記印刷開口部のマスク厚さが薄い部位のスキージ荷重をマスク厚さが厚い部位のスキージ荷重より大きくするか、マスク厚さの薄い部位のスキージ速度をマスク厚さが厚い部位のスキージ速度より小さくするかの何れか一方,又は両方を行うことを特徴とするペースト材料の印刷方法。
  4. 請求項1ないし3の何れかにおいて、上記印刷開口部は、略同じマスク厚さのものが上記スキージの移動方向に対して略直交方向に帯状に形成されていることを特徴とするペースト材料の印刷方法。
  5. マスク厚さの異なる複数の印刷開口部が形成されたマスクプレートと、該マスクプレートが配置される基板と、上記マスクプレート上に当接するように配置されたスキージと、該スキージを押圧しつつ一方向に移動させるスキージ駆動機構とを備え、上記スキージを移動させることによりペースト材料を上記印刷開口部内に充填して上記基板に印刷することで、1回の印刷で異なる厚さの印刷物を得るようにしたペースト材料の印刷装置において、上記スキージの印刷条件を上記各印刷開口部のマスク厚さに応じて変更する印刷条件変更手段を備えたことを特徴とするペースト材料の印刷装置。
  6. 請求項5において、上記印刷条件変更手段は、スキージ荷重,スキージ速度のうち少なくとも何れか一方を変更するように構成されていることを特徴とするペースト材料の印刷装置。
  7. 請求項5又は6において、上記印刷条件変更手段は、上記印刷開口部のマスク厚さが薄い部位のスキージ荷重をマスク厚さが厚い部位のスキージ荷重より大きくするか、マスク厚さの薄い部位のスキージ速度をマスク厚さが厚い部位のスキージ速度より小さくするかの何れか一方、又は両方を行うように構成されていることを特徴とするペースト材料の印刷装置。
  8. 請求項5ないし7の何れかにおいて、上記印刷条件変更手段は、上記マスクプレートに形成された認識マークを基準として予め設定されたスキージの移動量に基づいて印刷条件を変更するように構成されていることを特徴とするペースト材料の印刷装置。
  9. 請求項8において、上記印刷条件変更手段は、上記マスクプレートの認識マークに基づいてスキージの移動量を補正するように構成されていることを特徴とするペースト材料の印刷装置。
  10. 請求項5ないし9の何れかにおいて、上記印刷条件変更手段は、印刷条件変更時にスキージを一旦停止させるか、又はスキージの移動速度を低くするように構成されていることを特徴とするペースト材料の印刷装置。
  11. 請求項5ないし10の何れかにおいて、上記印刷開口部は、略同じマスク厚さのものが上記スキージの移動方向に対して略直交方向に帯状に形成されていることを特徴とするペースト材料の印刷装置。
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