TW201502114A - 含有含乙烯基之化合物的組成物 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種新穎的含有含乙烯基之化合物的組成物。
本發明中之組成物,為含有下述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物。式中,W1及W2為下述通式(2)(式中,環Z為芳香族烴環,X為單鍵或-S-所示之基、R1為單鍵或碳數1~4之伸烷基、R2為1價烴基等特定的取代基,m為0以上之整數)所表示之基、下述通式(4)所表示之基(式中,環Z、X、R1、R2,及m係如前述內容)、羥基,或(甲基)丙烯醯氧基、環Y1及環Y2為芳香族烴環,R為單鍵或特定的二價基、R3a及R3b為氰基、鹵原子,或1價烴基、n1及n2為0~4之整數。
□
Description
本發明為有關一種含有含乙烯基之化合物的組成物。
縮合多環式化合物,因具有各種優良之機能,故被使用於各式各樣之用途。例如,具有縮合多環式芳香族化合物之茀骨架(9,9-雙苯基茀骨架等)的化合物,已知於光透過率、折射率等光學特性、耐熱性等熱特性中,具有優良之機能。因此,具有茀骨架的化合物,被廣泛使用作為透鏡、稜鏡、過濾材、圖像顯示材料、光碟用基板、光纖、光波導路、包裝材料、薄膜、塗覆材料等光學構件之原料。該些具有茀骨架的化合物,例如,可列舉如專利文獻1所揭示之內容等。
[專利文獻1]特開2011-201791號公報
本發明為提供一種新穎的含有含乙烯基之化合物的組成物為目的。
本發明者們,為解決上述問題經過重複深入之研究。其結果發現一種新穎的含有含乙烯基之化合物的組成物,因而完成本發明。具體而言,本發明為提供以下之內容。
本發明之第一態樣為,一種含有下述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物的組成物。
本發明之第二態樣為,含有含下述通式(10)所表示之單乙烯基及單(甲基)丙烯醯氧基之化合物的組成物。
本發明之第三態樣為,一種含有含下述通式(19)所表示之(甲基)丙烯醯氧基之化合物的組成物。
本發明之第四態樣為,一種上述組成物之硬化物所形成的成型體,其尚含有酸產生劑或鹼產生劑。
本發明可提供一種新穎的含有含乙烯基之化合物的組成物。
本發明中之組成物為至少含有,上述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物、含有上述通式(10)所表示之單乙烯基及單(甲基)丙烯醯氧基之化合物,及/或含有上述通式(19)所表示之(甲基)丙烯醯氧基之化合物者。本發明中之組成物,可經由加熱而被硬化。又,本發明中之組成物,含有光鹼產生劑、光酸產生劑、光聚合起始劑,或光聚合性單體等光聚合性化合物的情形,可顯現出感光性。以下,將對本發明之組成物中所含之各成份進行詳細之說明。
本發明之組成物所含有之含乙烯基之化合物為下述通式(1)所表示之化合物。上述含乙烯基之化合物,可單獨或將2種以上組合使用。
上述通式(1)中,W1及W2,獨立地表示下
述通式(2)所表示之基、下述通式(4)所表示之基、羥基,或(甲基)丙烯醯氧基,但,W1及W2並不同時為羥基或下述通式(4)所表示之基。W1及W2中之至少一者,以下述通式(2)所表示之基者為佳,以W1及W2之任一者皆為下述通式(2)所表示之基為較佳。又,本說明書中,「(甲基)丙烯醯基」之用語,係指丙烯醯基與甲基丙烯醯基之二者之意。
上述通式(2)及(4)中,環Z,例如,苯
環、縮合多環式芳香族烴環[例如,縮合二環式烴環(例如,萘環等之C8-20縮合二環式烴環,較佳為C10-16縮合二環式烴環)、縮合三環式芳香族烴環(例如,蒽環、菲環等)等之縮合2至4環式芳香族烴環]等。環Z,以苯環或萘環為佳,以萘環為較佳。又,W1及W2之任一者皆為上述通式(2)所表示之基的情形,或W1及W2之一者
為上述通式(2)所表示之基,另一者為上述通式(4)所表示之基之情形,W1中所包含之環Z與W2中所包含之環Z,可為相同或相異皆可,例如,其中一者之環為苯環,另一者之環為萘環等亦可,又以任一之環皆為萘環者為特佳。又,W1及W2之二者所直接鍵結的碳原子介由X所鍵結之環Z的取代位置,並未有特別限定。例如,環Z為萘環之情形,對應鍵結於上述碳原子之環Z之基,亦可為1-萘基、2-萘基等皆可。
上述通式(2)及(4)中,X獨立表示單鍵或-S-所示之基,典型之例,例如單鍵。
上述通式(2)及(4)中,R1,例如,單鍵;伸甲基、伸乙基、伸三甲基、伸丙基、丁烷-1,2-二基等之碳數1~4之伸烷基等,又以單鍵;C2-4伸烷基(特別是伸乙基、伸丙基等之C2-3伸烷基)為佳,以單鍵為較佳。又,W1及W2之任一者皆為上述通式(2)所表示之基的情形,或W1及W2之一者為上述通式(2)所表示之基,另一者為上述通式(4)所表示之基之情形,W1所含有之R1與W2所含有之R1,可為相同者亦可、相異者亦可。
上述通式(2)及(4)中,R2,例如,烷基(例如,甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基等之C1-12烷基,較佳為C1-8烷基,更佳為C1-6烷基等)、環烷基(環己基等之C5-10環烷基,較佳為C5-8環烷基,更佳為C5-6環烷基等)、芳基(例如,苯基、甲苯基、二甲苯基、萘
基等之C6-14芳基,較佳為C6-10芳基,更佳為C6-8芳基等)、芳烷基(苄基、苯乙基等之C6-10芳基-C1-4烷基等)等之1價烴基;羥基;烷氧基(甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等之C1-12烷氧基,較佳為C1-8烷氧基,更佳為C1-6烷氧基等)、環烷氧基(環己基氧基等之C5-10環烷氧基等)、芳氧基(苯氧基等之C6-10芳氧基)、芳烷基氧基(例如,苄基氧基等之C6-10芳基-C1-4烷氧基)等之-OR4a所示之基[式中,R4a表示1價烴基(上述例示之1價烴基等)];烷硫基(甲硫基、乙硫基、丙硫基、丁硫基等之C1-12烷硫基,較佳為C1-8烷硫基,更佳為C1-6烷硫基等)、環烷硫基(環己硫基等之C5-10環烷硫基等)、芳硫基(苯硫基等之C6-10芳硫基)、芳烷硫基(例如,苄硫基等之C6-10芳基-C1-4烷硫基)等-SR4b所示之基[式中,R4b表示1價烴基(上述例示之1價烴基等)];醯基(乙醯基等之C1-6醯基等);烷氧基羰基(甲氧基羰基等之C1-4烷氧基-羰基等);鹵原子(氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等);硝基;氰基;氫硫基;羧基;胺基;胺甲醯基;烷胺基(甲基胺基、乙胺基、丙基胺基、丁基胺基等之C1-12烷胺基,較佳為C1-8烷胺基,更佳為C1-6烷胺基等)、環烷胺基(環己基胺基等之C5-10環烷胺基等)、芳基胺基(苯基胺基等之C6-10芳基胺基)、芳烷基胺基(例如,苄基胺基等之C6-10芳基-C1-4烷胺基)等之-NHR4c所示之基[式中,R4c表示1價烴基(上述例示之1價烴基等)];二烷基胺基(二甲
基胺基、二乙胺基、二丙基胺基、二丁基胺基等之二(C1-12烷基)胺基,較佳為二(C1-8烷基)胺基,更佳為二(C1-6烷基)胺基等)、二環烷胺基(二環己基胺基等之二(C5-10環烷基)胺基等)、二芳基胺基(二苯基胺基等之二(C6-10芳基)胺基)、二芳烷基胺基(例如,二苄基胺基等之二(C6-10芳基-C1-4烷基)胺基)等之-N(R4d)2所示之基[式中,R4d獨立地表示1價烴基(上述例示之1價烴基等)];(甲基)丙烯醯氧基;磺酸基;上述之1價烴基、-OR4a所示之基、-SR4b所示之基、醯基、烷氧基羰基、-NHR4c所示之基,或與-N(R4d)2所示之基所含之碳原子鍵結的至少一部份之氫原子被上述之1價烴基、羥基、-OR4a所示之基、-SR4b所示之基、醯基、烷氧基羰基、鹵原子、硝基、氰基、氫硫基、羧基、胺基、胺甲醯基、-NHR4c所示之基、-N(R4d)2所示之基、(甲基)丙烯醯氧基、甲磺醯氧基,或磺酸基所取代的基[例如,烷氧基芳基(例如,甲氧基苯基等之C1-4烷氧基C6-10芳基)、烷氧基羰基芳基(例如,甲氧基羰基苯基、乙氧基羰基苯基等之C1-4烷氧基-羰基C6-10芳基等)]等。
該些之中,代表性者,例如,R2,可為1價
烴基、-OR4a所示之基、-SR4b所示之基、醯基、烷氧基羰基、鹵原子、硝基、氰基、-NHR4c所示之基、-N(R4d)2所示之基等。
較佳之R2,例如,以1價烴基[例如,烷基(例如,C1-6烷基)、環烷基(例如,C5-8環烷基)、芳
基(例如,C6-10芳基)、芳烷基(例如,C6-8芳基-C1-2烷基)等]、烷氧基(C1-4烷氧基等)等。特別是R2a及R2b,以烷基[C1-4烷基(特別是甲基)等]、芳基[例如,C6-10芳基(特別是苯基)等]等之1價烴基(特別是烷基)為佳。
又,m為2以上之整數的情形,R2可互相為
相異亦可、相同亦可。又,W1及W2之任一者皆為上述通式(2)所表示之基的情形,或W1及W2之一者為上述通式(2)所表示之基,另一者為上述通式(4)所表示之基之情形,W1所含有之R2與W2所含有之R2,可為相同者亦可、相異者亦可。
上述通式(2)及(4)中,R2之數m,可配
合環Z之種類而可選擇,例如,0~4,較佳為0~3,更佳亦可為0~2。又,W1及W2之任一者皆為上述通式(2)所表示之基的情形,或W1及W2之一者為上述通式(2)所表示之基,另一者為上述通式(4)所表示之基之情形,W1中之m與W2中之m與可為相同或相異皆可。
上述通式(1)中,環Y1及環Y2,例如,苯
環、縮合多環式芳香族烴環[例如,縮合二環式烴環(例如,萘環等之C8-20縮合二環式烴環,較佳為C10-16縮合二環式烴環)、縮合三環式芳香族烴環(例如,蒽環、菲環等)等之縮合2至4環式芳香族烴環]等。環Y1及環Y2以為苯環或萘環者為佳。又,環Y1及環Y2,可為相同或相異皆可,例如,其中一者之環為苯環,另一者之環為萘
環等亦可。
上述通式(1)中,R表示單鍵、可具有取代
基之伸甲基、可具有取代基之2個的碳原子間可含有雜原子的伸乙基、-O-所示之基、-NH-所示之基,或-S-所示之基,典型之例,例如單鍵。其中,取代基,例如,氰基、鹵原子(氟原子、氯原子、溴原子等)、1價烴基[例如,烷基(甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、t-丁基等之C1-6烷基)、芳基(苯基等之C6-10芳基)等]等,雜原子,例如,氧原子、氮原子、硫原子、矽原子等。
上述通式(1)中,R3a及R3b,通常以非反應
性取代基,例如,氰基、鹵原子(氟原子、氯原子、溴原子等)、1價烴基[例如,烷基、芳基(苯基等之C6-10芳基)等]等,氰基或烷基者為佳,又以烷基為特佳。烷基,可例如,甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、t-丁基等之C1-6烷基(例如,C1-4烷基,特別是甲基)等。又,n1為2以上之整數的情形,R3a可互相為相異亦可、相同亦可。又,n2為2以上之整數的情形,R3b可互相為相異亦可、相同亦可。此外,R3a與R3b可為相同亦可、相異亦可。又,相對於環Y1及環Y2,R3a及R3b之鍵結位置(取代位置)並未有特別限定。較佳之取代數n1及n2為0或1,特別是以0為佳。又,n1及n2,可互相為相同或相異皆可。
上述通式(1)所表示之化合物,可保持優良
的光學特性及熱特性的同時,因具有乙烯氧基及/或(甲
基)丙烯醯氧基,故具有更高之反應性。特別是環Y1及環Y2為苯環、R為單鍵之情形,上述通式(1)所表示之化合物,因具有茀骨架,故可使光學特性及熱特性更為優良。該些上述通式(1)所表示之化合物,因可進行聚合,故具有作為聚合性單體之機能。特別是W1及W2之任一者皆為上述通式(2)所表示之基之情形,上述通式(1)所表示之化合物,因可進行陽離子聚合,故具有作為陽離子聚合性單體之機能。另一方面,W1及W2之任一者皆為(甲基)丙烯醯氧基之情形,上述通式(1)所表示之化合物,因可進行自由基聚合,故具有作為自由基聚合性單體之機能。又,上述通式(1)所表示之化合物,W1及W2為獨立表示上述通式(2)所表示之基或(甲基)丙烯醯氧基之情形,以乙烯氧基及/或(甲基)丙烯醯氧基之方式被包含的2個乙烯基因可與各別的分子進行反應,故可適當地作為交聯劑使用。此外,上述通式(1)所表示之化合物,因可提供具有高硬度之硬化物,故適合作為組成物中的基材成份。此外,上述通式(1)所表示之化合物被包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成(Patterning)之特性。
上述通式(1)所表示之化合物,適合使用於各種之用途,例如,可使用於配向膜及平坦化膜(例如,液晶顯示面板或有機EL面板等所使用之配向膜及平坦化膜);抗反射膜、層間絕緣膜、碳硬遮罩等之光阻下層膜;液晶顯示面板或有機EL面板等之調距器及隔板;液晶顯示面板
之濾色器的畫素或黑基質;液晶顯示面板或有機EL面板等之顯示裝置;透鏡(例如,微透鏡等)、光纖、光波導路、稜鏡薄片、全相圖、高折射薄膜、逆反射(retroreflection)薄膜等之光學構件;低透濕膜(例如,作為水蒸氣阻隔層使用低透濕膜);光學材料;半導體用材料等。
上述通式(1)所表示之化合物中,特佳之具
體例,例如,下述式所表示之化合物等。
上述式(1)所表示之化合物之含量,相對於本發明之組成物的固形成份,以1~100質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提升組成物之塗膜形成能力、硬化性等。
上述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物之中,下述通式(1a)所表示之化合物,例如可使用下述製造方法1~3而可製得。
上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物,例如,可依特開2008-266169號公報所記載之製造方法,於過渡元素化合物觸媒及無機鹼之存在下,使下述通式(13)所表示之乙烯酯化合物,與下述通式(3)所表示之含羥基之化合物進行反應之方式,予以合成。上述無機鹼,以含有10重量%以上的粒徑未達150μm之粒子的固體之無機鹼為佳。具體而言,例如,上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物,可依後述合成例1~3之方式予以合成。
R6-CO-O-CH=CH2 (13)(式中,R6表示氫原子或有機基)。
又,上述通式(3)所表示之化合物,例如,可於酸觸媒存在下,使下述通式(14)所表示之化合物及/或下述通式(15)所表示之化合物,與下述通式(16)所表示之化合物進行反應之方式,予以合成。其可適當地與下述通式(14)所表示之化合物及下述通式(15)所表示之化合物組合之方式或調整添加量等之方式,即可製得上述通式(3)所表示之所期待的含羥基之化合物。又,反應後,例如可使用矽凝膠管柱色層分析法等公知之分離方法,將目的之含羥基之化合物分離亦可。
上述通式(3)所表示之化合物之合成所使用之酸觸媒、反應條件等,例如,可使用專利文獻1或特開2002-255929號公報中,申請專利範圍所記載之茀系化合物之製造方法所使用之條件等。
上述通式(1a)所表示之化合物,例如,包含由上述通式(3)所表示之含羥基之化合物,經由含有下述通式(5)所表示之解離基之化合物,而製得上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物的製造方法,亦可以合成。
上述通式(5)所表示之含解離基之化合物,例如,可使上述通式(3)所表示之含羥基之化合物與含解離基之化合物進行反應之方式,予以合成。含解離基之化合物,例如,氯化亞碸(Thionyl chlorid)、下述式所表示之化合物等。又,反應溫度,例如,-20~150℃,較佳為-10~140℃,更佳為30~130℃等。
上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物,例如,可使上述通式(5)所表示之含解離基之化合物與乙烯化劑進行反應之方式,予以合成。乙烯化劑,例如,氫氧化鈉、三乙胺、二異丙基乙胺、1,4-二氮雜二環[2.2.2]辛烷、二氮雜二環十一烷、甲醇鈉(Sodium methoxide)、乙醇鈉、乙醇鈉、鉀-t-丁氧化物等,較佳為二氮雜二環十一烷、乙醇鈉、鉀-t-丁氧化物等,更佳為鉀-t-丁氧化物等。又,反應溫度,例如,-20~150℃,較佳為-10~100℃,更佳為0~60℃等。
上述通式(1a)所表示之化合物,例如,可由包含下述通式(7)所表示之含羥基烷氧基之化合物,經由上述通式(5)所表示之含解離基之化合物,製得上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物的製造方法,予以合成,具體而言,例如,可依後述合成例4及5及合成例12及13之方式予以合成。
上述通式(7)所表示之含羥基烷氧基之化合物,例如,可於酸觸媒存在下,使下述通式(17)所表示之化合物及/或下述通式(18)所表示之化合物,與上述通式(16)所表示之化合物進行反應之方式,予以合成。
其可適當地與下述通式(17)所表示之化合物及下述通式(18)所表示之化合物組合之方式或調整添加量等之方式,而可製得含有上述通式(7)所表示之所期待的含羥基烷氧基之化合物。又,反應後,例如可使用矽凝膠管柱色層分析法等公知之分離方法,將目的之含羥基烷氧基之化合物分離亦可。上述通式(7)所表示之化合物之合成所使用之酸觸媒、反應條件等,例如,上述通式(3)所表示之化合物之合成方法之說明中所示者等。
上述通式(5)所表示之含解離基之化合物,例如,可使上述通式(7)所表示之含羥基烷氧基之化合物與含解離基之化合物進行反應之方式,予以合成。含解離基之化合物及反應溫度,例如,上述製造方法2中所例示之內容等。
上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物,例如,可使上述通式(5)所表示之含解離基之化合物與乙烯化劑進行反應之方式,予以合成。乙烯化劑及反應溫度,例如,上述製造方法2中所例示之內容等。
製造方法3,可由上述通式(7)所表示之含羥基烷氧基之化合物,以高產率製得上述通式(1a)所表示之化合物。例如,合成例4及5中,9,9’-雙(6-乙烯基氧基-2-萘)茀的產率為77%、合成例12及13中,9,9’-雙(4-乙烯氧基苯基)茀的產率為79%。依製造方法3,可降低上述通式(1a)所表示之化合物的精製步驟中之負荷。又,製造方法3中,因可於常壓下進行反應,故並不需要耐熱容器等特別之反應設備,而可以使用更簡便之裝置。此外,製造方法3中,並不需使用乙炔氣體等可燃性氣體,而可以更安全之方式製造上述通式(1a)所表示之化合物。
上述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物,可於合成後進行精製。精製方法,並未有特別之限定,例如,可使用矽凝膠管柱色層分析法等公知之方法等。經由精製,於可提高上述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物的純度之同時,亦可降低金屬成份之含量。精製後的含乙烯基之化合物,可容易提升反應性,又,亦可有效地抑制反應時的著色。
上述通式(5)所表示之含解離基之化合物,為適合作為製造上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物時的
中間體。上述通式(5)所表示之含解離基之化合物,例如,可依上述製造方法2或3中所說明之方法予以合成。
下述通式(9)所表示之含單乙烯基之化合物,為適合作為製造上述通式(1a)所表示之含乙烯基之化合物時的中間體。
上述通式(9)所表示之含單乙烯基之化合物,可經由包含由下述通式(5a)所表示之含解離基之化合物製得上述通式(9)所表示之含單乙烯基之化合物的製造方法,而可以合成,具體而言,可依如後述之合成例8及11般予以合成。即,上述通式(9)所表示之含單乙烯基之化合物,例如,可使上述通式(5a)所表示之含解離基之化合物與乙烯化劑進行反應之方式,予以合成。乙烯化劑及反應溫度,例如,上述製造方法2中所例示之內容等。乙烯化劑之使用量,相對於上述通式(5a)所表示之含解離基之化合物中的解離基1莫耳,較佳為0.1~10
莫耳,更佳為0.5~5莫耳、最佳為0.8~2莫耳。
本發明之組成物所含有之含單乙烯基及單(甲基)丙烯醯氧基之化合物,為下述通式(10)所表示之化合物。上述含單乙烯基及單(甲基)丙烯醯氧基之化合物,可單獨或將2種以上組合使用。該化合物,於可保持優良的光學特性及熱特性的同時,因具有乙烯氧基及(甲基)丙烯醯氧基,故具有更高之反應性。特別是環Y1及環Y2為苯環、R為單鍵之情形,下述通式(10)所表示之化合物,因具有茀骨架,故可使光學特性及熱特性更為優良。下述通式(10)所表示之化合物,可與上述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物相同般,可以進行聚合,故具有作為聚合性單體之機能,又,可適當地作為交聯劑使用。此外,下述通式(10)所表示之化合物,因可提供具有高硬度之硬化物,故適合作為組成物中的基材成份。此外,下
述通式(10)所表示之化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成之特性。下述通式(10)所表示之化合物,適合使用於各種之用途,例如,可使用於上述通式(1)所表示之化合物所具體例示之用途。
上述式(10)所表示之化合物之含量,相對於本發明之組成物的固形成份,以1~100質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提升組成物之塗膜形成能力、硬化性等。
本發明之組成物所含有之含(甲基)丙烯醯氧基之化合物,為下述通式(19)所表示之化合物。上述含(甲基)丙烯醯氧基之化合物,可單獨或將2種以上組合使用。該化合物,可保持優良的光學特性及熱特性的同時,因具有(甲基)丙烯醯氧基,故具有更高之反應性。特別是環Y1及環Y2為苯環、R為單鍵之情形,下述通式(19)所表示之化合物,因具有茀骨架,故可使光學特性及熱特性更為優良。下述通式(19)所表示之化合物,與上述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物相同般,可以進行聚合,故具有作為聚合性單體之機能,又,可適當地作為交聯劑使用。此外,下述通式(19)所表示之化合
物,因可提供具有高硬度之硬化物,故適合作為組成物中的基材成份。此外,下述通式(19)所表示之化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成(Patterning)之特性。下述通式(19)所表示之化合物,適合使用於各種之用途,例如,可使用於上述通式(1)所表示之化合物所具體例示之用途。
上述通式(19)所表示之化合物中,特佳之具體例,例如,下述式所表示之化合物等。
上述式(19)所表示之化合物之含量,相對於本發明之組成物的固形成份,以1~100質量%為佳,
以3~80質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提升組成物之塗膜形成能力、硬化性等。
上述通式(19)所表示之化合物,例如,可經由包含上述通式(3)所表示之含羥基之化合物製造含有上述通式(19)所表示之(甲基)丙烯醯氧基之化合物之製造方法予以合成,具體而言,例如,可依後述之合成例14及15般予以合成。
上述通式(19)所表示之化合物,例如,使上述通式(3)所表示之含羥基之化合物與(甲基)丙烯酸(Acryl)化劑進行反應之方式,予以合成。(甲基)丙烯酸化劑,例如,(甲基)丙烯醯基氯化物等之(甲基)丙烯醯基鹵化物;(甲基)丙烯酸酐等,以(甲基)丙烯醯基鹵化物為佳,以(甲基)丙烯醯基氯化物為較佳。又,反應溫度,例如,-20~150℃,較佳為-10~100℃,更佳為0~60℃等。又,本說明書中,「(甲基)丙烯酸(Acryl)化劑」,係包含丙烯酸化劑與甲基丙烯酸(MetaAcryl)化劑二者之意,「(甲基)丙烯酸酐」,係包含丙烯酸酐與甲基丙烯酸酐二者之意。
上述通式(19)所表示之化合物,可於合成後進行精製。精製方法,並未有特別之限定,例如,可舉
出矽凝膠管柱色層分析法等公知之方法等。經由精製,於可提高上述通式(19)所表示之化合物的純度的同時,亦可降低金屬成份之含量。所生成的上述化合物,可容易提升反應性,又,亦可有效地抑制反應時的著色。
本發明中之組成物,可再含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及上述通式(19)所表示之化合物以外的基材成份(以下,僅稱為「基材成份」)。上述基材成份,可與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物共同形成硬化物等。上述基材成份,例如,由加成聚合性化合物、加成縮合性化合物,及縮合聚合性化合物所形成的群所選出之至少一種的化合物,或樹脂等。上述基材成份,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
加成聚合性化合物,例如,具有乙烯性不飽和鍵結之化合物等。具有乙烯性不飽和鍵結之化合物,例如,後述
第1態樣之組成物中,光聚合性單體所例示之單官能單體及多官能單體,或上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及上述通式(19)所表示之化合物以外的含乙烯基之化合物等。
加成縮合性化合物,例如,於酚類、醛類、表氯醇(Epichlorohydrin)等,酚類與醛類之間,及,酚類,特別是雙酚類與表氯醇之間產生加成縮合等。酚類及醛類,例如,後述第2態樣之組成物中所例示之內容等。
縮合聚合性化合物,例如,於酸二酐、二胺等,酸二酐與二胺之間產生縮合聚合等。酸二酐及二胺,例如,後述第3或第4態樣之組成物中所例示之內容等。
加成聚合性化合物、加成縮合性化合物,及縮合聚合性化合物所形成的群所選出之至少一種的化合物之含量,相對於本發明之組成物的固形成份,以0~99質量%為佳,以5~80質量%為較佳,以10~50質量%為更佳。於上述範圍內時,容易提高塗膜形成能力等。
樹脂,例如,具有軸節型(Cardo)構造之樹脂、具有酚性羥基之樹脂、聚醯亞胺前驅物、聚醯亞胺樹脂、丙烯酸樹脂、環氧樹脂等。樹脂以鹼可溶性樹脂為佳。樹脂之具體例,例如,後述第1~第6態樣之組成物的說明中所例示之內容等。
又,本說明書中之鹼可溶性樹脂,係指使用樹脂濃度
20質量%之樹脂溶液(溶劑:丙二醇單甲基醚乙酸酯),於基板上形成膜厚1μm之樹脂膜,浸漬於2.38質量%之氫氧化四甲基銨(TMAH)水溶液1分鐘之際,可使膜厚溶解0.01μm以上者。
樹脂之含量,相對於本發明之組成物的固形成份,以0~99質量%為佳,以5~80質量%為較佳,以15~50質量%為更佳。於上述範圍內時,容易提高塗膜形成能力等。
本發明中之組成物,可再含有有機溶劑。有機溶劑,例如,後述第1態樣之組成物中所例示之內容等。有機溶劑,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
有機溶劑之含量,以使本發明之組成物的固形成份濃度達0.5~70質量%之量為佳,以達1~50質量%之量為較佳,以達5~30質量%之量為更佳。
本發明中之組成物,可配合期待之目的,含有光聚合起始劑、光聚合性單體、酸交聯性物質、酸產生劑(光酸產生劑、熱酸產生劑等)、鹼產生劑(光鹼產生劑、熱鹼產生劑等)、著色劑、分散劑、增感劑、含矽化合物、無機填料、含羥基之化合物、含羧基之化合物、其他各種添加劑等。該些成份之具體例,例如,後述第1~第6態樣
之組成物的說明中所例示之內容等。又,本發明中之組成物,可配合期待之目的,含有結晶化阻礙劑、密著增強劑、界面活性劑等。本發明之組成物含有結晶化阻礙劑時,於所得之硬化物中,將不易產生裂隙。本發明之組成物含有密著增強劑時,所得之硬化物,可容易提高對基材等之密著性。界面活性劑,例如,矽氧系界面活性劑或氟系界面活性劑等。本發明之組成物含有界面活性劑時,所得之硬化物,可容易提高其潤濕性,且容易得到所期待之界面效果。
本發明之組成物,例如,下述第1~第10態樣之組成物等。該些之組成物可經由加熱而被硬化。又,該些之組成物,如下所述般,於含有光鹼產生劑、光酸產生劑、光聚合起始劑,或光聚合性單體等光聚合性化合物的情形,可顯現出感光性。以下、將對第1~第10態樣之組成物進行說明。
第1態樣之組成物為含有,鹼可溶性樹脂、光聚合性單體,及有機溶劑之至少一種,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第1態樣之組成物可再含有光聚合起始劑。
第1態樣之組成物之具體例,例如,含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物,與有機溶劑之非感光性組成物(1-1);含有鹼可溶性樹脂,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之非感光性樹脂組成物(1-2)等。非感光性樹脂組成物(1-2),可再含有有機溶劑。
又,第1態樣之組成物之具體例,又例如,含有光聚合性單體,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物的組成物(1-3)。組成物(1-3),可再含有有機溶劑。但光聚合性單體於室溫為液體之化合物之情形,亦可製作不含有機溶劑之組成物者。該些光聚合性單體,例如,單官能或多官能(甲基)丙烯酸酯化合物等,又以單官能或二官能(甲基)丙烯酸酯化合物為佳。該些光聚合性單體例示之月桂基(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙二醇(甲基)丙烯酸酯、丙二醇(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯等。又,組成物(1-3)可再含有光聚合起始劑,於光聚合性單體為經由光或熱之作用而開始聚合反應者之情形,亦可製作不含光聚合起始劑之組成物。
此外,第1態樣之組成物之具體例,又例如含有,鹼可溶性樹脂,與光聚合性單體,與光聚合起始劑,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物的負型感光性樹脂組成物(1-4)。負型感光性樹脂組成物(1-4)可再含有有機溶劑。
第1態樣之組成物中的鹼可溶性樹脂,並未有特別之限定,其可使用以往公知之鹼可溶性樹脂。該鹼可溶性樹脂,為具有乙烯性不飽和基者亦可、不具有乙烯性不飽和基者亦可。
具有乙烯性不飽和基之鹼可溶性樹脂,例如,可使用使環氧化合物與不飽和羧酸之反應物,再與多鹼酸酐反應所得之樹脂。
其中,又以具有下述通式(r-1)所表示之軸節型構造之樹脂為佳。該式(r-1)所表示之樹脂,以其本身具有高光硬化性之觀點而為較佳。
上述通式(r-1)中,Xr表示下述通式(r-2)所表示之基。
上述通式(r-2)中,Rr1,各自獨立地表示氫原子、碳數1~6之烴基,或鹵原子,Rr2,各自獨立地表示氫原子或甲基,Wr表示單鍵或下述通式(r-3)所表示之基。
又,上述通式(r-1)中,Yr表示由二羧酸酐去除酸酐基(-CO-O-CO-)所得之殘基。二羧酸酐之例,例如,馬來酸酐、琥珀酸酐、依康酸酐、酞酸酐、四氫酞酸酐、六氫酞酸酐、甲基內亞甲基四氫酞酸酐(Methyl endo-methylene-tetrahydrophthalic anhydride)、氯橋酸(Chlorendic anhydride)、甲基四氫酞酸酐、戊二酸酐等。
又,上述通式(r-1)中,Zr表示由四羧酸二酐去除2個酸酐基所得之殘基。四羧酸二酐之例,例如,均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、聯苯四羧酸二酐、聯苯醚四羧酸二酐等。
又,上述通式(r-1)中,k表示0~20之整數。
又,具有乙烯性不飽和基之鹼可溶性樹脂,
例如可使用,多元醇類與單鹼酸或多鹼酸縮合所得之聚酯預聚物,再與(甲基)丙烯酸反應所得之聚酯(甲基)丙烯酸酯;多元醇與具有2個異氰酸酯基之化合物反應後,再與(甲基)丙烯酸反應所得之聚胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯;雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、酚或甲酚線性的醛型環氧樹脂、二甲酚型環氧樹脂、三酚甲烷型環氧樹脂、多羧酸聚縮水甘油酯、多元醇聚縮水甘油酯、脂肪族或脂環式環氧樹脂、胺環氧樹脂、二羥基苯型環氧樹脂等之環氧樹脂與(甲基)丙烯酸反應所得之環氧基(甲基)丙烯酸酯樹脂等。
又,本說明書中,「(甲基)丙烯酸」係指,丙烯酸與甲基丙烯酸二者之意。同樣地,「(甲基)丙烯酸酯」係指,丙烯酸酯與甲基丙烯酸酯二者之意。此外,「(甲基)丙烯醯胺」係指,丙烯醯胺與甲基丙烯醯胺二者之意。
另一方面,不具有乙烯性不飽和基之鹼可溶性樹脂,例如,可使用不飽和羧酸與至少為不具有脂環式基的含環氧基之不飽和化合物與含有脂環式基之不飽和化合物經共聚所得之樹脂。
不飽和羧酸,例如,(甲基)丙烯酸、巴豆酸等之單羧酸;馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、伊康酸等之二羧酸;該些二羧酸之無水物;等。該些之中,就共聚反應性、所得樹脂之鹼溶解性、容易取得性等觀點,以(甲基)丙烯酸及馬來酸酐為佳。該些不飽和羧酸,可
單獨或將2種以上組合使用皆可。
不具有脂環式基的含環氧基之不飽和化合物,例如,縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧基丁基(甲基)丙烯酸酯、6,7-環氧基庚基(甲基)丙烯酸酯、3,4-環氧基環己基(甲基)丙烯酸酯等之(甲基)丙烯酸環氧基烷酯類;α-乙基丙烯酸縮水甘油酯、α-n-丙基丙烯酸縮水甘油酯、α-n-丁基丙烯酸縮水甘油酯、α-乙基丙烯酸6,7-環氧基庚酯等之α-烷基丙烯酸環氧基烷酯類;o-乙烯基苄基縮水甘油醚、m-乙烯基苄基縮水甘油醚、p-乙烯基苄基縮水甘油醚等之縮水甘油醚類;等。該些中,就共聚反應性、硬化後樹脂之強度等觀點,以縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、6,7-環氧基庚基(甲基)丙烯酸酯、o-乙烯基苄基縮水甘油醚、m-乙烯基苄基縮水甘油醚,及p-乙烯基苄基縮水甘油醚為佳。該些含環氧基之不飽和化合物,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
含有脂環式基之不飽和化合物,例如,只要為具有脂環式基之不飽和化合物時,並未有特別限定。脂環式基,可為單環或多環皆可。單環之脂環式基,例如,環戊基、環己基等。又,多環之脂環式基,例如,金剛烷基、樟腦烷基、異佛爾基、三環壬基、三環癸基、四環十二烷基等。具體而言,含有脂環式基之不飽和化合物,例如,下述通式所表示之化合物等。
上述通式中,Rr3表示氫原子或甲基,Rr4表示單鍵或碳數1~6的2價之脂肪族飽和烴基,Rr5表示氫原子或碳數1~5之烷基。Rr4之單鍵、直鏈狀或分枝鏈狀之伸烷基,例如以伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸四甲基、乙基伸乙基、伸五甲基、伸六甲基為佳。Rr5,例如以甲基、乙基為佳。
該鹼可溶性樹脂中,由上述不飽和羧酸所產生之結構單位的比例,以3~25質量%為佳,以5~25質量%為較佳。又,由上述含環氧基之不飽和化合物所產生之結構單位的比例,以71~95質量%為佳,以75~90質量%為較佳。又,由上述含有脂環式基之不飽和化合物所產生之結構單位的比例,以1~25質量%為佳,以3~20質量%為較佳,以5~15質量%為更佳。於上述範圍內時,可使所得樹脂之鹼溶解性達到適當左右的同時,亦可提高組成物對基板之密著性、提高組成物硬化後之強度。
鹼可溶性樹脂之質量平均分子量,以1000~40000者為佳,以2000~30000為較佳。於上述範圍內時,可得到充分之耐熱性、膜強度,第1態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,可得到良好之顯影性。
鹼可溶性樹脂之含量,相對於第1態樣之組成物的固形成份,以5~80質量%為佳,以15~50質量%為較佳。於上述範圍內時,可容易提高第1態樣之組成物的塗膜形成能力等,第1態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,具有容易取得顯影性平衡之傾向。
第1態樣之組成物中之光聚合性單體,具有單官能單體與多官能單體。
單官能單體,例如,(甲基)丙烯醯胺、羥甲基(甲基)丙烯醯胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺、N-羥基甲基(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯酸、富馬酸、馬來酸、馬來酸酐、伊康酸、依康酸酐、檸康酸、無水檸康酸、巴豆酸、2-丙烯醯胺-2-甲基丙烷磺酸、tert-丁基丙烯醯胺磺酸、甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、丁基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基(甲基)丙烯酸酯、月桂基(甲基)丙烯酸酯、環己基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基丁基(甲基)丙烯酸酯、2-苯氧基-2-羥基丙基(甲基)丙烯酸酯、2-(甲基)
丙烯醯氧基-2-羥基丙基酞酸酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯、四氫糠基(甲基)丙烯酸酯、二甲基胺基(甲基)丙烯酸酯、縮水甘油基(甲基)丙烯酸酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、酞酸衍生物之半(甲基)丙烯酸酯等。該些單官能單體,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
另一方面,多官能單體,例如,乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基二乙氧基苯基)丙烷、2,2-雙(4-(甲基)丙烯醯氧基聚乙氧基苯基)丙烷、2-羥基-3-(甲基)丙烯醯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二縮水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、酞酸二縮水甘油基酯二(甲基)丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚縮水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯、胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(即,
甲伸苯基二異氰酸酯)、三甲基伸六甲基二異氰酸酯與伸六甲基二異氰酸酯與2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯之反應物、伸甲基雙(甲基)丙烯醯胺、(甲基)丙烯醯胺伸甲基醚、多元醇與N-羥甲基(甲基)丙烯醯胺之縮合物等多官能單體,或三丙烯酸基甲縮醛等。該些多官能單體,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
光聚合性單體之含量,相對於第1態樣之組成物的固形成份,以1~30質量%為佳,以5~20質量%為較佳。於上述範圍內時,具有容易取得感度、顯影性、解像性之平衡的傾向。
第1態樣之組成物中之光聚合起始劑,並未有特別之限定,其可使用以往公知之光聚合起始劑。
光聚合起始劑,具體而言,例如,1-羥基環己基苯酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、雙(4-二甲基胺基苯基)酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁烷-1-酮、乙醛,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯醯基)-9H-咔唑基-3-基],1-(o-乙醯基肟)、2,4,6-三甲基苯醯基二苯基膦氧化物、4-苯醯基-4’-甲基二甲基硫化物、4-二甲基胺基安息香酸、4-二甲基胺基安息香酸甲酯、4-二甲基胺基安息香酸乙酯、4-二甲基胺基安
息香酸丁酯、4-二甲基胺基-2-乙基己基安息香酸、4-二甲基胺基-2-異戊基安息香酸、苄基-β-甲氧基乙基縮醛、苄基二甲基縮酮、1-苯基-1,2-丙烷二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、o-苯醯基安息香酸甲酯、2,4-二乙基氧硫、2-氯氧硫、2,4-二甲基氧硫、1-氯-4-丙氧基氧硫 、硫、2-氯硫、2,4-二乙基硫、2-甲基硫、2-異丙基硫、2-乙基蒽醌、辛甲基蒽醌、1,2-苯併蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、偶氮雙異丁腈、苯醯基過氧化物、異丙苯過氧化物、2-氫硫基苯併咪唑、2-氫硫基苯併噁唑、2-氫硫基苯併噻唑、2-(o-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二量體、2-(o-氯苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二量體、2-(o-氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二量體、2-(o-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二量體、2-(p-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二量體、2,4,5-三芳基咪唑二量體、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4,4’-雙二甲基胺基二苯甲酮(即,米其勒酮(Michler’s ketone))、4,4’-雙二乙胺基二苯甲酮(即,乙基米其勒酮(Michler’s ketone))、4,4’-二氯二苯甲酮、3,3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苄酯、苯偶因、苯醯甲基醚、苯醯乙基醚、苯醯異丙基醚、苯醯-n-丁基醚、苯醯異丁基醚、苯醯丁基醚、苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、p-二甲基苯乙酮、p-二甲基胺基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、p-tert-丁基苯乙酮、p-二甲基胺基苯乙酮、p-tert-丁基三氯苯乙酮、p-tert-丁基二氯苯乙酮、α,α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、氧硫、2-甲基氧硫 、2-異丙基氧硫、二苯併環庚酮(benzosuberone)、戊基-4-二甲基胺基安息香酸酯、9-苯基吖啶、1,7-雙-(9-吖啶基)庚烷、1,5-雙-(9-吖啶基)戊烷、1,3-雙-(9-吖啶基)丙烷、p-甲氧基三、2,4,6-三(三氯甲基)-s-三、2-甲基-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-[2-(4-二乙胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2-(4-n-丁氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三等。該些之中,亦可使用肟系之光聚合起始劑,其就感度之觀點為特佳。該些光聚合起始劑,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
光聚合起始劑之含量,相對於第1態樣之組成物的固形成份100質量份,以0.5~20質量份為佳。於上述範圍內時,可得到充分之耐熱性、耐藥性,且可提高塗膜形成能力,可抑制硬化不良。
第1態樣之組成物,如上所述般,為含有上
述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度的硬化物。又,該化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成(Patterning)之特性。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第1態樣之組成物的固形成份,以、1~100質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。特別是第1態樣之組成物含有鹼可溶性樹脂、光聚合性單體,及光聚合起始劑之至少一種的情形,上述含量,相對於第1態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提高第1態樣之組成物之塗膜形成能力、硬化性等,第1態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於得到良好顯影性的同時,也可得到良好的微小圖型形成特性。
第1態樣之組成物,可再含有著色劑。含有著色劑時,例如,極適合作為形成液晶顯示面板之濾色器的用途。又,第1態樣之組成物,因含有作為著色劑之遮光劑,故適合作為例如形成濾色器中之黑基質用途。
著色劑,並未有特別之限定,例如,色彩指數(C.I.;The Society of Dyers and Colourists公司發行)中,分類於色料(Pigment)之化合物,具體而言,例
如,以使用附有下述色彩指數(C.I.)編號者為佳。
C.I.色料-黃1(以下,與「C.I.色料-黃」相同般,僅記載編號)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185;C.I.色料-橙1(以下,與「C.I.色料-橙」相同般,僅記載編號)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;C.I.色料-紫1(以下,與「C.I.色料-紫」相同般,僅記載編號)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;C.I.色料-紅1(以下,與「C.I.色料-紅」相同般,僅記載編號)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、
177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265;C.I.色料-藍1(以下,與「C.I.色料-藍」相同般,僅記載編號)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;C.I.色料-綠7、C.I.色料-綠36、C.I.色料-綠37;C.I.色料-棕23、C.I.色料-棕25、C.I.色料-棕26、C.I.色料-棕28;C.I.色料-黑1、C.I.色料-黑7。
又,著色劑作為遮光劑之情形,以使用黑色顏料作為遮光劑者為佳。黑色顏料,不論有機物、無機物,可例如,碳黑、鈦黑、銅、鐵、錳、鈷、鉻、鎳、鋅、鈣、銀等金屬氧化物、複合氧化物、金屬硫化物、金屬硫酸鹽、金屬碳酸鹽等之各種顏料等。該些之中,又以使用具有高遮光性之碳黑為佳。
碳黑,例如可使用槽黑(Channel Black)、爐黑(Furnace Black)、熱黑(Thermal Black)、燈黑(Lamp Black)等公知之碳黑,又以使用具有優良遮光性之槽黑為佳。又,亦可使用樹脂被覆碳黑。
樹脂被覆碳黑,其與未被樹脂被覆之碳黑相比較時顯示出更低之導電性,故作為液晶顯示面板之黑基質使用之情形,可降低電流之流失,而可製得具有高度信
賴性之低電力消耗的面板。
又,就調整碳黑色調之觀點,可適當添加上述有機顏料作為補助顏料。
又,為使著色劑均勻地分散於負型感光性樹脂組成物中,故可再使用分散劑。該些分散劑以使用聚乙烯亞胺系、胺基甲酸酯樹脂系、丙烯酸樹脂系之高分子分散劑為佳。特別是著色劑使用碳黑之情形,分散劑以使用丙烯酸樹脂系之分散劑為佳。
又,無機顏料及有機顏料,可分別單獨使用亦可、合併使用亦可,合併使用之情形,相對於無機顏料與有機顏料之總量100質量份,有機顏料以使用10~80質量份之範圍為佳,以使用20~40質量份之範圍為較佳。
著色劑之含量,可配合第1態樣之組成物的用途適當決定即可,舉例而言,相對於第1態樣之組成物的固形成份100質量份,以5~70質量份為佳,25~60質量份為較佳。
特別是使用第1態樣之組成物形成黑基質之情形中,以每一黑基質的膜厚1μm之OD值為4以上之方式調整負型感光性樹脂組成物中遮光劑的量為佳。黑基質中之膜厚1μm之OD值為4以上時,使用作為液晶顯示面板之黑基質的情形,將可得到充分之顯示對比。
又,著色劑以使用分散劑分散形成適當濃度之分散液之後,再添加於負型感光性樹脂組成物者為佳。
第1態樣之組成物中之有機溶劑,例如,乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇-n-丙基醚、乙二醇單-n-丁基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單-n-丙基醚、二乙二醇單-n-丁基醚、三乙二醇單甲基醚、三乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單-n-丙基醚、丙二醇單-n-丁基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚、二丙二醇單-n-丙基醚、二丙二醇單-n-丁基醚、三丙二醇單甲基醚、三丙二醇單乙基醚等之(聚)烷二醇單烷基醚類;乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯等之(聚)烷二醇單烷基醚乙酸酯類;二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、四氫呋喃等其他醚類;甲基乙基酮、環己酮、2-庚酮、3-庚酮等之酮類;2-羥基丙酸甲酯、2-羥基丙酸乙基等之乳酸烷酯類;2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基部碳酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸n-丙酯、乙酸異丙酯、乙酸n-丁酯、乙酸異丁酯、甲酸n-戊酯、乙酸異戊酯、丙酸n-丁酯、丁酸乙酯、丁酸n-丙酯、丁酸異丙酯、丁酸n-丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸n-丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-側
氧基丁烷酸乙酯等其他酯類;甲苯、二甲苯等芳香族烴類;N-甲基吡咯啶酮、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺等之醯胺類等。該些有機溶劑,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
上述有機溶劑之中,又以丙二醇單甲基醚、乙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、環己酮、3-甲氧基丁基乙酸酯,相對於上述鹼可溶性樹脂、上述光聚合性單體、上述光聚合起始劑、上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及上述通式(19)所表示之化合物顯示出優良的溶解性之同時,可使上述著色劑具有良好分散性之觀點,而為較佳,又以使用丙二醇單甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯為特佳。
有機溶劑之含量,以使第1態樣之組成物的固形成份濃度達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第1態樣之組成物,可配合必要性,含有各種添加劑。添加劑,例如,增感劑、硬化促進劑、填充劑、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、抗凝集劑、熱聚合阻礙劑、消泡劑、界面活性劑等。
第2態樣之組成物為含有,具有酚性羥基之鹼可溶性
樹脂、具有萘酚性羥基之鹼可溶性樹脂、具有硫酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,及/或具有硫萘酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物的樹脂組成物。第2態樣之組成物,可再含有酸交聯性物質、光酸產生劑,及/或有機溶劑。第2態樣之組成物不含有光酸產生劑之情形,為非感光性樹脂組成物,於含有光酸產生劑時,則可顯現出感光性。
第2態樣之組成物為感光性之情形,其具體例如含有,具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂、具有萘酚性羥基之鹼可溶性樹脂、具有硫酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,及/或具有硫萘酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,與光酸產生劑,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之負型感光性樹脂組成物等。該負型感光性樹脂組成物可再含有酸交聯性物質及/或有機溶劑。
第2態樣之組成物中之具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂,例如,可使用聚羥基苯乙烯系樹脂。
聚羥基苯乙烯系樹脂為至少具有由羥基苯乙烯所產生之結構單位。
其中所稱「羥基苯乙烯」係指,包含羥基苯乙烯,及羥基苯乙烯之α位所鍵結之氫原子被鹵原子、烷基、鹵化烷基等其他取代基所取代者,及該些衍生物的羥基苯乙烯衍生物(單體)之概念。
「羥基苯乙烯衍生物」係指,至少維持苯環與其所鍵結之羥基者,例如,包含羥基苯乙烯之α位所鍵結之氫原子被鹵原子、碳數1~5之烷基、鹵化烷基等其他取代基所取代者,及羥基苯乙烯之羥基所鍵結之苯環上,再鍵結碳數1~5之烷基者,或該羥基所鍵結之苯環上,再鍵結1~2個羥基者(此時,羥基數之合計為2~3)等。
鹵原子,例如,氯原子、氟原子、溴原子等,又以氟原子為佳。
又,「羥基苯乙烯之α位」,於無特別限定下,係指苯環所鍵結之碳原子之意。
該由羥基苯乙烯所產生之結構單位,例如,下述通式(s-1)所表示者。
上述通式(s-1)中,Rs1表示氫原子、烷基、鹵原子,或鹵化烷基,Rs2表示碳數1~5之烷基,p表示1~3之整數,q表示0~2之整數。
Rs1之烷基,較佳為碳數1~5。又以直鏈狀或分支鏈狀之烷基為佳,例如甲基、乙基、丙基、異丙基、n-丁基、異丁基、tert-丁基、戊基、異戊基、新戊基等。該些之中,就工業上而言,又以甲基為佳。
鹵原子例如,氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,又以氟原子為佳。
鹵化烷基,例如,上述碳數1~5之烷基的一部份或全部氫原子被鹵原子所取代者。其中,又以全部氫原子被氟原子所取代者為佳。又,以直鏈狀或分支鏈狀之氟化烷基為佳,以三氟甲基、六氟乙基、七氟丙基、九氟丁基等為較佳,以三氟甲基(-CF3)為最佳。
Rs1以氫原子或甲基為佳,以氫原子為較佳。
Rs2之碳數1~5之烷基,例如,與Rs1之情形為相同之內容等。
q為0~2之整數。該些之中又以0或1者為佳,工業上特別是以0為佳。
Rb2的取代位置,q為1之情形中,可為鄰位、間位、對位之任一者皆可,此外,q為2之情形中,可為任意取代位置之組合。
p為1~3之整數,較佳為1。
羥基的取代位置,p為1之情形中,可為鄰位、間位、對位之任一者皆可,就取得之容易性與低廉價格之觀點,以對位為佳。此外,p為2或3之情形中,可為任意取代位置之組合。
上述通式(s-1)所表示之結構單位,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
聚羥基苯乙烯系樹脂中,由羥基苯乙烯所產生之結構單位之比例,相對於構成聚羥基苯乙烯系樹脂之
全結構單位,以60~100莫耳%為佳,以70~100莫耳%為較佳,以80~100莫耳%為更佳。於上述範圍內時,於作為負型感光性樹脂組成物之際,可得到適當之鹼溶解性。
聚羥基苯乙烯系樹脂,以再具有由苯乙烯所產生之結構單位者為佳。
其中,所稱「由苯乙烯所產生之結構單位」為包含,苯乙烯及苯乙烯衍生物(但,不包含羥基苯乙烯)之乙烯性雙鍵經開裂所形成之結構單位者。
「苯乙烯衍生物」為包含,苯乙烯之α位所鍵結之氫原子被鹵原子、烷基、鹵化烷基等其他取代基所取代者,及苯乙烯之苯基的氫原子被碳數1~5之烷基等之取代基所取代者等。
鹵原子,例如,氯原子、氟原子、溴原子等,又以氟原子為佳。
又,「苯乙烯之α位」,於無特別限定下,係指苯環所鍵結之碳原子之意。
此由苯乙烯所產生之結構單位,例如,下述通式(s-2)所表示者。式中,Rs1、Rs2、q與上述通式(s-1)具有相同之意義。
Rs1及Rs2,分別與上述通式(s-1)之Rs1及Rs2為相同之內容等。
q為0~2之整數。該些之中,又以0或1者為佳,工業上特別是以0為佳。
Rs2的取代位置,q為1之情形中,可為鄰位、間位、對位之任一者皆可,此外,q為2之情形中,可為任意取代位置之組合。
上述通式(s-2)所表示之結構單位,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
聚羥基苯乙烯系樹脂中,由苯乙烯所產生之結構單位之比例,相對於構成聚羥基苯乙烯系樹脂之全結構單位,以40莫耳%以下者為佳,以30莫耳%以下為較佳,以20莫耳%以下為更佳。於上述範圍內時,作為負型感光性樹脂組成物之際,除可得到適當的鹼溶解性的同時,與其他結構單位亦具有良好之平衡。
又,聚羥基苯乙烯系樹脂,除由羥基苯乙烯所產生之結構單位或由苯乙烯所產生之結構單位以外,亦可具有其他結構單位。更佳為,上述聚羥基苯乙烯系樹脂,僅由羥基苯乙烯所產生之結構單位所形成的聚合物,或由羥基苯乙烯所產生之結構單位與由苯乙烯所產生之結
構單位所形成的共聚物。
聚羥基苯乙烯系樹脂之質量平均分子量,並未有特別限定,一般以1500~40000為佳,以2000~8000為較佳。
又,具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂,可使用線性酚醛樹脂。此線性酚醛樹脂,可經由使酚類與醛類於酸觸媒之存在下進行加成縮合方式而可製得。
酚類例如,酚、o-甲酚、m-甲酚、p-甲酚等之甲酚類;2,3-二甲酚、2,4-二甲酚、2,5-二甲酚、2,6-二甲酚、3,4-二甲酚、3,5-二甲酚等之二甲酚類;o-乙基酚、m-乙基酚、p-乙基酚、2-異丙基酚、3-異丙基酚、4-異丙基酚、o-丁基酚、m-丁基酚、p-丁基酚、p-tert-丁基酚等之烷基酚類;2,3,5-三甲基酚、3,4,5-三甲基酚等之三烷基酚類;間苯二酚、鄰苯二酚、氫醌、氫醌單甲基醚、鄰苯三酚、間苯三酚等之多元酚類;烷基間苯二酚、烷基鄰苯二酚、烷基氫醌等之烷基多元酚類(任意之烷基的碳數皆為1~4);α-萘酚、β-萘酚、羥基二苯酯、雙酚A、雙酚F、雙酚S等。該些酚類,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
該些酚類之中,又以m-甲酚、p-甲酚為佳,以m-甲酚與p-甲酚合併使用者為較佳。該情形中,可經由調整兩者之添加比例之方式,調整感度等各種特性。
醛類,例如,甲醛、對甲醛、糠醛、苯醛、硝基苯醛、乙醛等。該些醛類,可單獨或將2種以上組合
使用皆可。
酸觸媒,例如,鹽酸、硫酸、硝酸、磷酸、亜磷酸等之無機酸類;甲酸、草酸、乙酸、二乙基硫酸、對甲苯磺酸等有機酸類;乙酸鋅等金屬鹽類等。該些酸觸媒,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
依此方式所得之線性酚醛樹脂,具體而言,例如,酚/甲醛縮合線性酚醛樹脂、甲酚/甲醛縮合線性酚醛樹脂、酚-萘酚/甲醛縮合線性酚醛樹脂等。
線性酚醛樹脂之質量平均分子量,並未有特別限定,一般以1000~30000為佳,以3000~25000為較佳。
又,具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂,例如可使用酚-鄰苯二甲醇縮合樹脂、甲酚-鄰苯二甲醇縮合樹脂、酚-二環戊二烯縮合樹脂等。
具有萘酚性羥基之鹼可溶性樹脂,例如,具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂所例示之樹脂中,羥基苯基被羥基萘基所取代之樹脂等,更具體而言,例如,聚羥基苯乙烯系樹脂中,羥基苯基被羥基萘基所取代之樹脂等。
具有硫酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,例如,具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂所例示之樹脂中,羥基苯基被氫硫基苯基所取代之樹脂等,更具體而言,例如,聚羥基苯乙烯系樹脂中,羥基苯基被氫硫基苯基所取代之樹脂等。
具有硫萘酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,例
如,具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂所例示之樹脂中,羥基苯基被氫硫基萘基所取代之樹脂等,更具體而言,例如,聚羥基苯乙烯系樹脂中,羥基苯基被氫硫基萘基所取代之樹脂等。
具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂、具有萘酚性羥基之鹼可溶性樹脂、具有硫酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂,及/或具有硫萘酚性硫醇基之鹼可溶性樹脂之含量,相對於第2態樣之組成物的固形成份,以20~80質量%為佳,以35~65質量%為較佳。於上述範圍內時,容易提高第2態樣之組成物的塗膜形成能力等,第2態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,具有容易取得顯影性平衡之傾向。
第2態樣之組成物中之酸交聯性物質,並未有特別之限定,其可使用以往公知之酸交聯性物質。
酸交聯性物質,具體而言,例如,具有羥基或烷氧基之胺基樹脂、例如,三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、呱樹脂、乙呱樹脂、苯併呱樹脂、乙炔脲-甲醛樹脂、琥珀醯胺-甲醛樹脂、乙烯尿素-甲醛樹脂等。該些酸交聯性物質,可使三聚氰胺、尿素、呱、乙呱、苯併呱、乙炔脲、琥珀醯胺、乙烯尿素於沸騰之水中與甲醛水反應,進行羥甲基化,或將其再與低級醇反應,進行烷氧基化之方式而容易製得。實際使用上,可使用Nikalac-MX-750、Nikalac-MW-30、Nikalac-MW100LM等之三聚氰胺樹脂、Nikalac-MX-290等之尿素樹脂(任一者皆為三
和化學公司製)。又,亦可以取得販售的市售物之Cymel-1123、Cymel-1128(三井氰胺公司製)等之苯併呱樹脂。
又,亦可使用1,3,5-三(甲氧基甲氧基)苯、1,2,4-三(異丙氧基甲氧基)苯、1,4-雙(sec-丁氧基甲氧基)苯等之具有烷氧基之苯化合物、2,6-二羥基甲基-p-tert-丁基酚等之具有羥基或烷氧基之酚化合物等。
該些酸交聯性物質,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
酸交聯性物質之含量,相對於具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂100質量份,以5~50質量份者為佳,以10~30質量份為較佳。於上述範圍內時,可使第2態樣之組成物具有良好的硬化性,第2態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,可使其圖型形成特性更為良好。
第2態樣之組成物中之光酸產生劑,並未有特別之限定,其可使用以往公知之光酸產生劑。
光酸產生劑,具體而言,例如,錪鹽或鋶鹽等之鎓鹽系酸產生劑、肟磺酸酯系酸產生劑、含鹵素之三化合物、重氮系酸產生劑、硝基苄基磺酸酯系酸產生劑(硝基苄基衍生物)、亞胺磺酸酯系酸產生劑、二碸系酸產生劑等。
較佳之鋶鹽系酸產生劑,例如,下述通式(t-1)所表示之化合物等。
上述通式(t-1)中,Rt1及Rt2各自獨立表示氫原子、鹵原子、氧原子或可具有鹵原子之烴基,或可具有取代基之烷氧基,Rt3表示可具有鹵原子或烷基的p-伸苯基,Rt4表示氫原子、氧原子或可具有鹵原子之烴基、可具有取代基之苯醯基,或可具有取代基之聚苯基,A-表示鎓離子之對離子。
A-,具體而言,例如,SbF6 -、PF6 -、AsF6 -、BF4 -、SbCl6 -、ClO4 -、CF3SO3 -、CH3SO3 -、FSO3 -、F2PO2 -、p-甲苯磺酸酯、九氟丁烷磺酸酯、金剛烷羧酸酯、四芳基硼酸酯、下述通式(t-2)所表示之氟化烷基氟磷酸陰離子等。
【化41】[(Rf) g PF 6-g ] (t-2)
上述通式(t-2)中,Rf表示80%以上的氫原子被氟原子所取代的烷基。g表示個數,其為1~5之整數。g個的Rf可分別為相同亦可、相異亦可。
上述通式(t-1)所表示之光酸產生劑,例如,4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟銻酸
酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-甲基苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-(β-羥基乙氧基)苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(3-甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氟4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,3,5,6-四甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,6-二氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,6-二甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,3-二甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(3-甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氟4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,3,5,6-四甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,6-二氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2,6-二甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-
(2,3-二甲基-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-乙醯基苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-甲基苯醯基)苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-氟苯醯基)苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-甲氧基苯醯基)苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-十二烷醯苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-乙醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-甲基苯醯基)苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-氟苯醯基)苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-甲氧基苯醯基)苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-十二烷醯苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-乙醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-甲基苯醯基)苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-氟苯醯基)苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-(4-甲氧基苯醯基)苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-十二烷醯苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟銻酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基二苯基鋶六氟磷酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基二苯基鋶四氟硼酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基二苯基鋶高氯酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基二苯基鋶三氟甲烷磺酸
酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶六氟磷酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶四氟硼酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶高氯酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶三氟甲烷磺酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶p-甲苯磺酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶樟腦烷磺酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氟苯基)鋶九氟丁烷磺酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶六氟磷酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶四氟硼酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶高氯酸酯、4-(2-氯-4-苯醯基苯基硫基)苯基雙(4-氯苯基)鋶三氟甲烷磺酸酯、二苯基[4-(苯基硫基)苯基]鋶三氟三-五氟乙基磷酸酯、二苯基[4-(p-三聯苯(Terphenyl)基硫基)苯基]鋶六氟銻酸酯、二苯基[4-(p-三聯苯(Terphenyl)基硫基)苯基]鋶三氟三-五氟乙基磷酸酯等。
其他之鎓鹽系酸產生劑,例如,上述通式(t-1)之陽離子部,被例如,三苯基鋶、(4-tert-丁氧基苯基)二苯基鋶、雙(4-tert-丁氧基苯基)苯基鋶、三(4-tert-丁氧基苯基)鋶、(3-tert-丁氧基苯基)二苯基鋶、雙(3-tert-丁氧基苯基)苯基鋶、三(3-tert-丁氧基苯基)鋶、(3,4-二tert-丁氧基苯基)二苯基鋶、雙(3,4-二tert-丁氧基苯基)苯基鋶、三(3,4-二tert-丁氧基苯
基)鋶、二苯基(4-硫基苯氧基苯基)鋶、(4-tert-丁氧基羰基甲基氧苯基)二苯基鋶、三(4-tert-丁氧基羰基甲基氧苯基)鋶、(4-tert-丁氧基苯基)雙(4-二甲基胺基苯基)鋶、三(4-二甲基胺基苯基)鋶、2-萘二苯基鋶、二甲基-2-萘鋶、4-羥基苯基二甲基鋶、4-甲氧基苯基二甲基鋶、三甲基鋶、2-側氧基環己環己基甲基鋶、三萘鋶、三苄基鋶等之鋶陽離子,或二苯基錪、雙(4-tert-丁基苯基)錪、(4-tert-丁氧基苯基)苯基錪、(4-甲氧基苯基)苯基錪等之芳基錪陽離子等之錪陽離子所取代者等。
肟磺酸酯系酸產生劑,例如,[2-(丙基磺醯氧基亞胺)-2,3-二氫噻吩-3-茚](o-甲苯基)乙腈、α-(p-甲苯磺醯氧基亞胺)-苯基乙腈、α-(苯磺醯氧基亞胺)-2,4-二氯苯基乙腈、α-(苯磺醯氧基亞胺)-2,6-二氯苯基乙腈、α-(2-氯苯磺醯氧基亞胺)-4-甲氧基苯基乙腈、α-(乙基磺醯氧基亞胺)-1-環戊烯基乙腈等。
又,上述以外,又例如下述通式(t-3)所表示之化合物等。
上述通式(t-3)中,Rt5表示1價、2價,或3價之有機基,Rt6表示取代或未取代之飽和烴基、不飽和烴基,或芳香族性化合物基,h表示1~6之整數。
Rt5,以芳香族性化合物基為特佳,該些芳香族性化合物基,例如,苯基、萘基等芳香族烴基,或呋喃基、噻吩基等之雜環基等。該些環上可具有1個以上之適當的取代基,例如,鹵原子、烷基、烷氧基、硝基等。又,Rt6以碳數1~6之烷基為特佳,例如,甲基、乙基、丙基、丁基等。又,h以1~3之整數為佳,以1或2為較佳。
上述通式(t-3)所表示之光酸產生劑,例如,h=1之時,Rt5為苯基、甲基苯基,及甲氧基苯基中之任一者,且,Rt6為甲基之化合物等。更詳細而言,例如,上述通式(t-3)所表示之光酸產生劑,例如,α-(甲基磺醯氧基亞胺)-1-苯基乙腈、α-(甲基磺醯氧基亞胺)-1-(p-甲基苯基)乙腈,及α-(甲基磺醯氧基亞胺)-1-(p-甲氧基苯基)乙腈等。
上述通式(t-3)所表示之光酸產生劑,例如,h=2之時,下述式所表示之光酸產生劑等。
含鹵素之三化合物,例如,2,4-雙(三氯甲基)-6-向日葵基-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(2-呋喃基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基-2-呋喃基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-乙基-2-呋喃基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-丙基-2-呋喃基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,5-二甲氧基苯基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,5-二乙氧基苯基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,5-二丙氧基苯基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3-
甲氧基-5-乙氧基苯基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3-甲氧基-5-丙氧基苯基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,4-伸甲基二氧苯基)乙烯基]-s-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-(3,4-伸甲基二氧苯基)-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三、2,4-雙-三氯甲基-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、2-(4-甲氧基萘)-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、2-[2-(2-呋喃基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、2-[2-(5-甲基-2-呋喃基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、2-[2-(3,5-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、2-(3,4-伸甲基二氧苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-1,3,5-三、三(1,3-二溴丙基)-1,3,5-三、三(2,3-二溴丙基)-1,3,5-三等之含鹵素之三化合物,及三(2,3-二溴丙基)異三聚氰酸酯等之下述通式(t-4)所表示之含鹵素之三化合物等。
上述通式(t-4)中,Rt7、Rt8、Rt9各自獨立表示碳數1~6之鹵化烷基。
又,其他之光酸產生劑,例如,雙(p-甲苯磺醯)重氮甲烷、甲基磺醯-p-甲苯磺醯重氮甲烷、1-環己基磺醯-1-(1,1-二甲基乙基磺醯)重氮甲烷、雙(1,1-二甲基乙基磺醯)重氮甲烷、雙(1-甲基乙基磺醯)重氮甲烷、雙(環己基磺醯)重氮甲烷、雙(2,4-二甲基苯基磺醯)重氮甲烷、雙(4-乙基苯基磺醯)重氮甲烷、雙(3-甲基苯基磺醯)重氮甲烷、雙(4-甲氧基苯基磺醯)重氮甲烷、雙(4-氟苯基磺醯)重氮甲烷、雙(4-氯苯基磺醯)重氮甲烷、雙(4-tert-丁基苯基磺醯)重氮甲烷等之雙磺醯重氮甲烷類;2-甲基-2-(p-甲苯磺醯)苯丙酮、2-(環己基羰基)-2-(p-甲苯磺醯)丙烷、2-甲烷磺醯-2-甲基-(p-甲基硫基)苯丙酮、2,4-二甲基-2-(p-甲苯磺醯)戊烷-3-酮等之磺醯羰基鏈烷類;1-p-甲苯磺醯-1-環己基羰基重氮甲烷、1-重氮-1-甲基磺醯-4-苯基-2-丁酮、1-環己基磺醯-1-環己基羰基重氮甲烷、1-重氮-1-環己基磺醯-3,3-二甲基-2-丁酮、1-重氮-1-(1,1-二甲基乙基磺醯)-3,3-二甲基-2-丁酮、1-乙醯基-1-(1-甲基乙基磺醯)重氮甲烷、1-重氮-1-(p-甲苯磺醯)-3,3-二甲基-2-
丁酮、1-重氮-1-苯磺醯-3,3-二甲基-2-丁酮、1-重氮-1-(p-甲苯磺醯)-3-甲基-2-丁酮、2-重氮-2-(p-甲苯磺醯)乙酸環己酯、2-重氮-2-苯磺醯乙酸-tert-丁基、2-重氮-2-甲烷磺醯乙酸異丙酯、2-重氮-2-苯磺醯乙酸環己酯、2-重氮-2-(p-甲苯磺醯)乙酸-tert-丁基等之磺醯羰基重氮類;p-甲苯磺酸-2-硝基苄酯、p-甲苯磺酸-2,6-二硝基苄酯、p-三氟甲基苯磺酸-2,4-二硝基苄酯等之硝基苄酯衍生物;鄰苯三酚之甲烷磺酸酯、鄰苯三酚之苯磺酸酯、鄰苯三酚之p-甲苯磺酸酯、鄰苯三酚之p-甲氧基苯磺酸酯、鄰苯三酚之均三甲苯磺酸酯、鄰苯三酚之苄基磺酸酯、沒食子酸烷基之甲烷磺酸酯、沒食子酸烷基之苯磺酸酯、沒食子酸烷基之p-甲苯磺酸酯、沒食子酸烷基(烷基之碳數為1~15)之p-甲氧基苯磺酸酯、沒食子酸烷基之均三甲苯磺酸酯、沒食子酸烷基之苄基磺酸酯等之聚羥基化合物與脂肪族或芳香族磺酸之酯類;等。
該些光酸產生劑,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
光酸產生劑之含量,相對於具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂100質量份,以0.05~30質量份者為佳,以0.1~10質量份為較佳。於上述範圍內時,第2態樣之組成物具有良好之硬化性。
第2態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該
化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。又,該化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成(Patterning)之特性。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第2態樣之組成物的固形成份,以1~80質量%為佳,以3~65質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提高第2態樣之組成物的塗膜形成能力、硬化性等,第2態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於得到良好顯影性的同時,也可得到良好的微小圖型形成特性。
第2態樣之組成物,可再含有具有4個以上酚性羥基的分子量未達2000之化合物。
該些化合物,具體而言,例如,各種四羥基二苯甲酮、五羥基二苯甲酮、六羥基二苯甲酮、七羥基二苯甲酮等二苯甲酮化合物以外,例如,雙[2-羥基-3-(2’-羥基-5’-甲基苄基)-5-甲基苯基]甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-6-羥基-4-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,3,5-三甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷等之羥基芳基系化合物;2-
(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2’,3’,4’-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2’,4’-二羥基苯基)丙烷等之雙(羥基苯基)鏈烷系化合物;分子量未達2000的聚(o-羥基苯乙烯)、聚(m-羥基苯乙烯)、聚(p-羥基苯乙烯)、聚(α-甲基-p-羥基苯乙烯)、聚(4-羥基-3-甲基苯乙烯)等之聚羥基苯乙烯系化合物;等。該些二苯甲酮系化合物、羥基芳基系化合物、雙(羥基苯基)鏈烷系化合物、聚羥基苯乙烯系化合物,可具有羥基以外的取代基。
該些化合物,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
具有4個以上酚性羥基的分子量未達2000的化合物之含量,相對於具有酚性羥基之鹼可溶性樹脂100質量份,以0.5~5質量份為佳。第2態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於上述範圍內時,於使用第2態樣之組成物進行圖型形成之際,可抑制先端狹窄之現象。
第2態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。
有機溶劑之含量,以使第2態樣之組成物的固形成份濃度達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第3態樣之組成物為含有,感光性聚醯亞胺基前驅
物,與光聚合性單體,與光聚合起始劑,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物的負型感光性樹脂組成物。第3態樣之組成物,可再含有有機溶劑。
第3態樣之組成物中之感光性聚醯亞胺基前驅物,例如,可使用具有下述通式(u-1)所表示之結構單位,且,分子中具有酸官能基及感光性基者。
上述通式(u-1)中,Xu表示Xu所鍵結之2個醯胺基相連結之骨架中,不含有具有非共用電子對之原子的4價之有機基,Yu表示Yu所鍵結之2個醯胺基相連結之骨架中,不含有具有非共用電子對之原子的2價之有機基,Ru1及Ru2各自獨立表示羥基或1價有機基。
Xu及Yu之定義中,「2個醯胺基相連結之骨架」係指,僅由構成由2個醯胺鍵結相連結之鍵結的鏈之原子所形成的骨架之意。因此,氫原子或氟原子等以末端形式存在,但不為形成2個醯胺鍵結相連結之鍵結之鏈的原子,不包含於上述「骨架」中。但,其骨架中包含構成環(芳香環或脂肪族環)之原子的情形,係指包含構成該環之原子的全部上述「骨架」所含有者。例如,包含苯環或環己環之情形,構成該苯環或環己環本體之6個碳原
子,為上述「骨架」所含有者。又,苯環或環己環上所鍵結之取代基或氫原子,於此則不包含於「骨架」中。
因此,骨架上存在羰基鍵結之情形,構成上述2個醯胺基相連結之鏈者,因僅具有羰基中的碳原子,故羰基中的氧原子並非構成上述「骨架」之成份。又,2,2-亞丙基鍵結或六氟-2,2-亞丙基鍵結中,因僅其中心(2位)所存在之碳原子為構成骨架者,故兩端之碳原子(1位或3位)並不為構成上述「骨架」者。「具有非共用電子對之原子」之例,例如,氧原子、氮原子、硫黃原子等,另一方面,「不具有非共用電子對之原子」,例如,碳原子、矽原子等。
感光性聚醯亞胺基前驅物中,Xu如上述般,為骨架中不含有具有非共用電子對之原子的者時,就其可降低鹼顯影時之膨潤等而為較佳。Yu亦基於相同之理由,而以骨架中不含有具有非共用電子對之原子者為佳。
又,感光性聚醯亞胺基前驅物中,結構單位中的Yu以外,例如一部份為具有含有矽原子的Yu2者,例如,為含有矽氧烷鍵結者之際,以其可對基板賦予更高之基板密著性等而為更佳。該情形中,其比率以形成感光性聚醯亞胺基前驅物之全部二胺殘基中之1~20莫耳%為佳。
上述通式(u-1)中之Xu及Yu,以碳數為4~20之烷基、環烷基,或碳數為6~20之苯環、萘環等芳香環、該些芳香環之2~10個為介由單鍵、伸烷基、氟
化伸烷基、羰基等所鍵結者,為較佳之例示內容。又,該些於芳香環上,可具有烴基、鹵化烴基、鹵原子等之取代基。又,該些Xu及Yu之中,直接鍵結於構成上述骨架之原子的原子亦為「不具有非共用電子對之原子」,故其效果更高而為較佳。又,該定義中,並不包含如羥基般,氧原子直接與構成骨架之碳原子鍵結者或,氟原子與構成骨架之碳原子鍵結者。此外,Xu及Yu,以不含氟原子者為佳。
感光性聚醯亞胺基前驅物之分子中所含有之酸官能性基,例如,羧基、酚性羥基、磺酸基等,其中又以羧基為佳。又,感光性基,例如,包含乙烯性不飽和鍵結,以乙烯基、烯丙基、丙烯醯基、甲基丙烯醯基、丙烯醯氧基、甲基丙烯醯氧基等為佳,其中又以丙烯醯基、甲基丙烯醯基、丙烯醯氧基、甲基丙烯醯氧基為佳。
感光性聚醯亞胺基前驅物中,酸官能性基,又以例如上述通式(u-1)之結構單位中,Ru1或Ru1作為羥基之方式(即,形成羧基)存在,或存在於Yu所示之二胺殘基中者為佳。又,感光性基,存在於上述通式(u-1)中的Ru1或Ru2所示之側鏈,或Yu所示之二胺殘基中,例如,以具有芳香環之二胺殘基之芳香環所鍵結之基方式存在者為佳。
Ru1及Ru2中,具有感光性基之1價之有機基,例如,下述通式所表示之化合物等。
上述通式中,Ru3及Ru4各自獨立表示碳數1~6之1價之烴基,Ru5表示碳數1~10的2價之烴基,Ru6表示氫原子或甲基。
又,Ru1及Ru2中,不具有感光性基之1價之有機基,例如,碳數1~15之烷氧基或烷胺基等。
感光性聚醯亞胺基前驅物,例如以具有50~100莫耳%的上述通式(u-1)所表示之結構單位者為佳,以僅具有上述通式(u-1)所表示之結構單位,或具有上述通式(u-1)所表示之結構單位與上述通式(u-1)中的Yu為含有矽原子的2價之有機基之結構單位者為較佳。
感光性聚醯亞胺基前驅物,可使用四羧酸二酐、二胺,及具有感光性基之化合物作為材料而可製得,其可使用各種已知之製造方法。
四羧酸二酐,作為提供Xu者,例如,均苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-聯苯四羧酸二酐、1,2,5,6-萘四羧酸二酐、2,3,6,7-萘四羧酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐、3,4,9,10-苝四羧酸二酐、m-三聯苯(Terphenyl)基-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、p-三聯苯(Terphenyl)基-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、4,4’-六氟異亞丙基二酞酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐等。該些四羧酸二酐,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
二胺,作為提供Yu者,例如,2,2’-二甲基-4,4’-二胺基聯苯、3,3’-二甲基-4,4’-二胺基聯苯、2,2’,6,6’-四甲基-4,4’-二胺基聯苯、3,3’,5,5’-四甲基-4,4’-二胺基聯苯、4,4’-(或3,4-、3,3’-、2,4-、2,2’-)二胺基二苯基甲烷、p-二甲苯二胺、m-二甲苯二胺、4,4’-伸甲基-雙-(2,6-二乙基苯胺)、4,4’-伸甲基-雙-(2,6-二異丙基苯胺)、1,5,-二胺基萘、3,3’-二甲基-4,4’-二胺基二苯基甲烷、3,3’,5,5’-四甲基-4,4’-二胺基二苯基甲烷、2,2-雙(4-胺基苯基)丙烷、2,2’-六氟二甲基-4,4’-二胺基聯苯、3,3’-六氟二甲基-4,4’-二胺基聯苯、4,4’-六氟異亞丙基二苯胺、1,1,1,3,3,3-六氟-2,2-雙(4-胺基苯基)丙烷、2,3,5,6-四甲基-1,4-苯二胺、2,5-二甲基-1,4-苯二胺、2,4-二胺基甲苯、2,6-二胺基甲苯、2,4,6-三甲基-1,3-苯二胺、2,7-二胺基茀、4,4-二胺基八氟聯苯、2,2-六氟二甲基-4,4’-二胺基聯苯等為較佳之例示,該些二胺,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
又,Yu為與胺基連結之骨架上不含有具有非共用電子對之原子的二官能性胺時,其可至少具有1個酚性羥基或羧基作為酸官能基亦可。例如,2,5-二胺基安息香酸、3,4-二胺基安息香酸、3,5-二胺基安息香酸、2,5-二胺基對酞酸、雙(4-胺基-3-羧基苯基)伸甲基、4,4’-二胺基-3,3’-二羧基聯苯、4,4’-二胺基-5,5’-二羧基-2,2’-二甲基聯苯、1,3-二胺基-4-羥基苯、1,3-二胺基-5-羥基苯、3,3’-二胺基-4,4’-二羥基聯苯、4,4’-二胺基-3,3’-二羥基聯
苯、雙(3-胺基-4-羥基苯基)六氟丙烷、雙(4-胺基-3-羥基苯基)六氟丙烷、雙(4-胺基-3-羧基苯基)甲烷、4,4’-二胺基-2,2’-二羧基聯苯等為較佳之例示。該些可與二胺同時,以單獨或2種以上組合使用。
此外,包含矽原子之提供Yu2者,可例如,下述通式(u-2)所表示之二胺基聚矽氧烷等脂肪族二胺等。
上述通式(u-2)中,x、y、z各自獨立表示1~10之整數。
使用該脂肪族二胺之情形,其配合量,為全二胺中之20莫耳%以下時,就降低顯影時之膨潤,或對於所形成之膜的耐熱性等觀點而言為更佳。
具有感光性基之聚醯亞胺基前驅物,例如,具有乙烯性不飽和鍵結與胺基或其四級鹽之基的化合物,以聚醯胺酸之羧基與胺基或其四級鹽之基的部份以離子鍵結形式表現之聚醯亞胺基前驅物之方法、介由酯鍵結、醯胺鍵結等共有鍵結而於側鏈導入乙烯性不飽和鍵結之方法等。
該些之中,特別是以酯鍵結導入乙烯性不飽和鍵結之形式的感光性聚醯亞胺基前驅物(聚醯胺酸
酯),更適合鹼顯影。以酯鍵結導入乙烯性不飽和鍵結之情形,具有乙烯性不飽和鍵結之化合物的導入量,就兼具鹼溶解性、硬化性、耐熱性等與反應性之觀點,相對於具有聚醯胺酸的羧基之總量,為達85~25莫耳%之量,其他部份以羧基形式(即,聚醯胺酸部份酯)者為佳。
以酯鍵結方式導入乙烯性不飽和鍵結的化合物之例,例如,2-羥基乙基丙烯酸酯、3-羥基丙基丙烯酸酯、2-羥基乙基甲基丙烯酸酯、3-羥基丙基甲基丙烯酸酯、4-羥基丁基丙烯酸酯、4-羥基丁基甲基丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯單硬脂酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、己內醯胺2-(甲基丙烯醯氧基)乙酯、二己內醯胺2-(甲基丙烯醯氧基)乙酯、己內醯胺2-(丙烯醯氧基)乙酯、二己內醯胺2-(丙烯醯氧基)乙酯等。
感光性聚醯亞胺基前驅物之質量平均分子量,以5000~80000為佳。
感光性聚醯亞胺基前驅物之含量,相對於第3態樣之組成物的固形成份,以40~95質量%為佳,以55~90質量%為較佳。於上述範圍內時,具有容易取得顯影性平衡之傾向。
第3態樣之組成物中之光聚合性單體,例如,第1態樣之組成物中所例示之光聚合性單體等。
光聚合性單體之含量,相對於感光性聚醯亞胺基前驅物100質量份,以5~100質量份者為佳,以5~40質量
份為較佳。於上述範圍內時,具有容易取得感度、顯影性、解像性之平衡的傾向。
第3態樣之組成物中之光聚合起始劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之光聚合性起始劑等。
光聚合起始劑之含量,相對於感光性聚醯亞胺基前驅物100質量份,以0.01~40質量份為佳。於上述範圍內時,可得到充分之耐熱性、耐藥性,且可提高塗膜形成能力,可抑制硬化不良。
第3態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。又,該化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成(Patterning)之特性。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,以上述固形成份中之0.5~50質量%為佳,以1~20質量%為較佳。於上述範圍內時,可容易提高第3態樣之組成物的塗膜形成能力、硬化性等,又,於得到良好顯影性的同時,也可得到良好的微小圖型形成特性。
第3態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。其中,又以可使所生成之聚醯亞胺基完全溶解之極性溶劑為佳。該些極性溶
劑,例如,N-甲基-2-吡咯啶酮、N,N-二甲基乙醯胺、N,N-二甲基甲醯胺、二甲基亞碸、四甲基尿素、六甲基磷酸三醯胺、γ-丁基內酯等。
有機溶劑之含量,以使第3態樣之組成物的固形成份濃度達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第4態樣之組成物,為含有聚醯亞胺基前驅物,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第4態樣之組成物,可再含有光鹼產生劑及/或有機溶劑。第4態樣之組成物,不含有光鹼產生劑之情形,為非感光性樹脂組成物,含有光鹼產生劑時,可顯現出感光性。
第4態樣之組成物為感光性之情形,其具體例如,含有聚醯亞胺基前驅物,與光鹼產生劑,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物的負型感光性樹脂組成物等。該負型感光性樹脂組成物,可再含有有機溶劑。
第4態樣之組成物中之聚醯亞胺基前驅物,例如,可使用具有下述通式(v-1)所表示之結構單位的聚醯胺酸。
上述通式(v-1)中,Rv1表示4價之有機基,Rv2表示2價之有機基,Rv3及Rv4表示氫原子或1價之有機基。
Rv3及Rv4為1價之有機基的情形,例如,烷基、烯基、炔基、芳基,及該些含有醚鍵結之CiH2iOCjH2j+1等所表示之構造等。
聚醯亞胺基前驅物,以Rv3及Rv4為氫原子之聚醯胺酸,就鹼顯影性之觀點為較佳使用者。
又,Rv1之4價為僅顯示與酸鍵結所需之價數,其尚可具有其他之取代基。同樣地,Rv2的2價為僅顯示與胺鍵結之價數,其可再具有其他之取代基。
聚醯胺酸為經由酸二酐與二胺之反應而製得,就最後所得之聚醯亞胺基具有優良耐熱性及尺寸安定性之觀點,上述通式(v-1)中,以Rv1或Rv2為芳香族基者為佳,以Rv1及Rv2為芳香族基為較佳。此時,上述通式(v-1)之Rv1中,該Rv1所鍵結之4個之基((-CO-)2(-COOH)2)可鍵結於同一芳香環亦可,鍵結於不同之芳香環亦可。同樣地,上述通式(v-1)之Rv2中,該Rv2所鍵結之2個之基((-NH-)2)可鍵結於同一芳香環亦可,鍵結於不同之芳香環亦可。
上述通式(v-1)所表示之聚醯胺酸,可為由
單一結構單位所形成者亦可、由2種以上之重複單位所形成者亦可。
製造聚醯亞胺基前驅物之方法,可使用以往公知之方法。例如,(1)由酸二酐與二胺合成前驅物之聚醯胺酸之方法、(2)使酸二酐與1價之醇、胺基化合物、環氧化合物等反應而合成、使酯酸或醯胺酸單體之羧酸與二胺基化合物或其衍生物反應而合成聚醯亞胺基前驅物之方法等,但不僅限定於此。
製造聚醯亞胺基前驅物時,可適用於反應的酸二酐,例如,伸乙基四羧酸二酐、丁烷四羧酸二酐、環丁烷四羧酸二酐、甲基環丁烷四羧酸二酐、環戊烷四羧酸二酐等脂肪族四羧酸二酐;均苯四甲酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐、2,2’,3,3’-二苯甲酮四羧酸二酐、2,3’,3,4’-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3’,4,4’-聯苯四羧酸二酐、2,2’,3,3’-聯苯四羧酸二酐、2,3’,3,4’-聯苯四羧酸二酐、2,2’,6,6’-聯苯四羧酸二酐、2,2-雙(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、2,2-雙(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、雙(3,4-二羧基苯基)醚二酐、雙(3,4-二羧基苯基)碸二酐、1,1-雙(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、雙(2,3-二羧基苯基)甲烷二酐、雙(3,4-二羧基苯基)甲烷二酐、2,2-雙(3,4-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、2,2-雙(2,3-二羧基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、1,3-雙[(3,4-二羧基)苯醯基]苯二酐、1,4-雙[(3,4-二羧基)苯醯基]苯二酐、2,2-雙{4-[4-(1,2-二羧基)苯氧基]苯
基}丙烷二酐、2,2-雙{4-[3-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}丙烷二酐、雙{4-[4-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}酮二酐、雙{4-[3-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}酮二酐、4,4’-雙[4-(1,2-二羧基)苯氧基]聯苯二酐、4,4’-雙[3-(1,2-二羧基)苯氧基]聯苯二酐、雙{4-[4-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}酮二酐、雙{4-[3-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}酮二酐、雙{4-[4-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}碸二酐、雙{4-[3-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}碸二酐、雙{4-[4-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}硫化物二酐、雙{4-[3-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}硫化物二酐、2,2-雙{4-[4-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、2,2-雙{4-[3-(1,2-二羧基)苯氧基]苯基}-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷二酐、2,3,6,7-萘四羧酸二酐、1,1,1,3,3,3-六氟-2,2-雙(2,3-或3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐、1,2,5,6-萘四羧酸二酐、1,2,3,4-苯四羧酸二酐、3,4,9,10-苝四羧酸二酐、2,3,6,7-蒽四羧酸二酐、1,2,7,8-菲四羧酸二酐、吡啶四羧酸二酐、磺醯二酞酸酐、m-三聯苯(Terphenyl)基-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、p-三聯苯(Terphenyl)基-3,3’,4,4’-四羧酸二酐等芳香族四羧酸二酐等。
該些酸二酐,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
製造聚醯亞胺基前驅物時,可適用於反應之二胺,例如,p-苯二胺、m-苯二胺、o-苯二胺、3,3’-二胺基二苯基醚、3,4’-二胺基二苯基醚、4,4’-二胺基二苯基
醚、3,3’-二胺基二苯基硫化物、3,4’-二胺基二苯基硫化物、4,4’-二胺基二苯基硫化物、3,3’-二胺基二苯基碸、3,4’-二胺基二苯基碸、4,4’-二胺基二苯基碸、3,3’-二胺基二苯甲酮、4,4’-二胺基二苯甲酮、3,4’-二胺基二苯甲酮、3,3’-二胺基二苯基甲烷、4,4’-二胺基二苯基甲烷、3,4’-二胺基二苯基甲烷、2,2-二(3-胺基苯基)丙烷、2,2-二(4-胺基苯基)丙烷、2-(3-胺基苯基)-2-(4-胺基苯基)丙烷、2,2-二(3-胺基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、2,2-二(4-胺基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、2-(3-胺基苯基)-2-(4-胺基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、1,1-二(3-胺基苯基)-1-苯基乙烷、1,1-二(4-胺基苯基)-1-苯基乙烷、1-(3-胺基苯基)-1-(4-胺基苯基)-1-苯基乙烷、1,3-雙(3-胺基苯氧基)苯、1,3-雙(4-胺基苯氧基)苯、1,4-雙(3-胺基苯氧基)苯、1,4-雙(4-胺基苯氧基)苯、1,3-雙(3-胺基苯醯基)苯、1,3-雙(4-胺基苯醯基)苯、1,4-雙(3-胺基苯醯基)苯、1,4-雙(4-胺基苯醯基)苯、1,3-雙(3-胺基-α,α-二甲基苄基)苯、1,3-雙(4-胺基-α,α-二甲基苄基)苯、1,4-雙(3-胺基-α,α-二甲基苄基)苯、1,4-雙(4-胺基-α,α-二甲基苄基)苯、1,3-雙(3-胺基-α,α-二三氟甲基苄基)苯、1,3-雙(4-胺基-α,α-二三氟甲基苄基)苯、1,4-雙(3-胺基-α,α-二三氟甲基苄基)苯、1,4-雙(4-胺基-α,α-二三氟甲基苄基)苯、2,6-雙(3-胺基苯氧基)苯併丁腈、2,6-雙(3-胺基苯氧基)吡啶、4,4’-雙(3-胺基苯氧基)聯苯、4,4’-雙(4-胺基苯氧基)聯苯、
雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]酮、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]酮、雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]硫化物、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]硫化物、雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]碸、雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]醚、雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]醚、2,2-雙[4-(3-胺基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]丙烷、2,2-雙[3-(3-胺基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷、1,3-雙[4-(3-胺基苯氧基)苯醯基]苯、1,3-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯醯基]苯、1,4-雙[4-(3-胺基苯氧基)苯醯基]苯、1,4-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯醯基]苯、1,3-雙[4-(3-胺基苯氧基)-α,α-二甲基苄基]苯、1,3-雙[4-(4-胺基苯氧基)-α,α-二甲基苄基]苯、1,4-雙[4-(3-胺基苯氧基)-α,α-二甲基苄基]苯、1,4-雙[4-(4-胺基苯氧基)-α,α-二甲基苄基]苯、4,4’-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯醯基]二苯基醚、4,4’-雙[4-(4-胺基-α,α-二甲基苄基)苯氧基]二苯甲酮、4,4’-雙[4-(4-胺基-α,α-二甲基苄基)苯氧基]二苯基碸、4,4’-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯氧基]二苯基碸、3,3’-二胺基-4,4’-二苯氧基二苯甲酮、3,3’-二胺基-4,4’-二雙苯氧基二苯甲酮、3,3’-二胺基-4-苯氧基二苯甲酮、3,3’-二胺基-4-雙苯氧基二苯甲酮、6,6’-雙(3-胺基苯氧基)-3,3,3’,3’-四甲基-1,1’-螺雙茚、6,6’-雙(4-胺基苯氧基)-3,3,3’,3’-四甲基-1,1’-螺雙茚等芳香族胺;1,3-雙(3-胺基丙基)四甲基二矽氧烷、1,3-雙(4-胺基丁
基)四甲基二矽氧烷、α,ω-雙(3-胺基丙基)聚二甲基矽氧烷、α,ω-雙(3-胺基丁基)聚二甲基矽氧烷、雙(胺基甲基)醚、雙(2-胺基乙基)醚、雙(3-胺基丙基)醚、雙(2-胺基甲氧基)乙基]醚、雙[2-(2-胺基乙氧基)乙基]醚、雙[2-(3-胺基丙氧基)乙基]醚、1,2-雙(胺基甲氧基)乙烷、1,2-雙(2-胺基乙氧基)乙烷、1,2-雙[2-(胺基甲氧基)乙氧基]乙烷、1,2-雙[2-(2-胺基乙氧基)乙氧基]乙烷、乙二醇雙(3-胺基丙基)醚、二乙二醇雙(3-胺基丙基)醚、三乙二醇雙(3-胺基丙基)醚、伸乙基二胺、1,3-二胺基丙烷、1,4-二胺基丁烷、1,5-二胺基戊烷、1,6-二胺基己烷、1,7-二胺基庚烷、1,8-二胺基辛烷、1,9-二胺基壬烷、1,10-二胺基癸烷、1,11-二胺基十一烷、1,12-二胺基十二烷等脂肪族胺;1,2-二胺基環己烷、1,3-二胺基環己烷、1,4-二胺基環己烷、1,2-二(2-胺基乙基)環己烷、1,3-二(2-胺基乙基)環己烷、1,4-二(2-胺基乙基)環己烷、雙(4-胺基環己基)甲烷、2,6-雙(胺基甲基)雙環[2.2.1]庚烷、2,5-雙(胺基甲基)雙環[2.2.1]庚烷等脂環式二胺;等。又,亦可使用上述二胺的芳香環上之一部份或全部氫原子可被由氟基、甲基、甲氧基、三氟甲基,及三氟甲氧基所形成的群所選出之取代基所取代之二胺。
該些二胺,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
聚醯亞胺基前驅物之含量,相對於第4態樣之組成物的固形成份,以50~99質量%為佳,以70~95
質量%為較佳。於上述範圍內時,可提高塗膜形成能力。
第4態樣之組成物中之光鹼產生劑,並未有特別之限定,其可使用以往公知之光鹼產生劑。較佳之光鹼產生劑,例如,三苯基甲醇、苄基胺基甲酸酯、苯醯胺基甲酸酯等之具有光活性之胺基甲酸酯;O-胺甲醯基羥基醯胺、O-胺甲醯基肟、芳族磺酸醯胺、α-內酯、N-(2-烯丙基乙炔基)醯胺等之醯胺及其他之醯胺;肟酯;α-胺基苯乙酮;鈷錯合物;1-(蒽醌-2-基)乙基咪唑羧酸酯;下述通式(v-2)所表示之化合物等。
光鹼產生劑之含量,相對於第4態樣之組成物的全體固形成份,以0.1~49.9質量%為佳。於上述範圍內時,可得到充分之耐熱性、耐藥性,且可提高塗膜形成能力,可抑制硬化不良。
第4態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。又,該化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成(Patterning)之特性。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於聚醯亞胺基前驅物100質量份,以
0.01~40質量份為佳。於上述範圍內時,可提高第4態樣之組成物之塗膜形成能力、硬化性等,第4態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於得到良好顯影性的同時,也可得到良好的微小圖型形成特性。
第4態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。其中,又以丙二醇單甲基醚、甲基乙基酮、環戊酮、環己酮、乙酸乙酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基-2-吡咯啶酮、γ-丁內酯等之極性溶劑、甲苯等芳香族烴類,及該些混合溶劑為佳。
有機溶劑之含量,相對於第4態樣之組成物的固形成份濃度,以達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第5態樣之組成物,為含有環氧化合物,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第5態樣之組成物,可再含有光鹼產生劑或光酸產生劑及/或有機溶劑。第5態樣之組成物,於不含有光鹼產生劑及光酸產生劑之情形,為非感光性樹脂組成物,於含有光鹼產生劑或光酸產生劑時,可顯現出感光性。
第5態樣之組成物為感光性之情形,其具體例如,含有環氧化合物,與光鹼產生劑或光酸產生劑,與
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物的負型感光性樹脂組成物等。該負型感光性樹脂組成物,可再含有有機溶劑。
第5態樣之組成物中之環氧化合物,例如,雙酚A與表氯醇(Epichlorohydrin)所衍生之雙酚A型環氧樹脂、雙酚F與表氯醇所衍生之雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、酚線性的醛型環氧樹脂、甲酚線性的醛型環氧樹脂、雙酚A線性的醛型環氧樹脂、雙酚F線性的醛型環氧樹脂、脂環式環氧樹脂、二苯基醚型環氧樹脂、氫醌型環氧樹脂、萘型環氧樹脂、聯苯型環氧樹脂、茀型環氧樹脂、3官能型環氧樹脂或4官能型環氧樹脂等之多官能型環氧樹脂、縮水甘油基酯型環氧樹脂、縮水甘油基胺型環氧樹脂、乙內醯脲型環氧樹脂、三聚異氰酸酯型環氧樹脂、脂肪族鏈狀環氧樹脂等。該些之環氧化合物可被鹵化者亦可、氫化者亦可。又,第5態樣之組成物中之環氧化合物,又例如,下述式之任一者所表示之化合物等例示。
市售之環氧化合物製品,例如,日本環氧樹脂公司製之JER編號828、1001、801N、806、807、152、604、630、871、YX8000、YX8034、YX4000、DIC公司製之EPICLON 830、EXA835LV、HP4032D、HP820、ADEKA股份有限公司製之EP4100系列、EP4000系列、EPU系列、大榭公司製之CELLOXIDE系列(2021、2021P、2083、2085、3000、8000等)、EPOLEAD系列、EHPE系列、新日鐵化學公司製之YD系列、YDF系列、YDCN系列、YDB系列、苯氧樹脂(雙酚類與表氯醇所合成之聚羥基聚醚,其兩末端具有環氧基者;YP系列等)、長瀨化學科技公司製之DENACOL系列、共榮公司化學公司製之EPOLITE系列等,但不僅限定於該些內容。
該些之環氧化合物,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
環氧化合物之含量,相對於第5態樣之組成物的固形成份,以55~99質量%為佳,以70~95質量%為較佳。於上述範圍內時,可提高塗膜形成能力。
第5態樣之組成物中之光鹼產生劑,例如,
第4態樣之組成物中所例示之光鹼產生劑等。又,第5態樣之組成物中之光酸產生劑,又例如,第2態樣之組成物中所例示之光酸產生劑等。
光鹼產生劑或光酸產生劑之含量,相對於第5態樣之組成物之全體固形成份,以0.1~49.9質量%為佳。於上述範圍內時,可得到充分之耐熱性、耐藥性,且可提高塗膜形成能力,可抑制硬化不良。
第5態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。又,該化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成之特性。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,以相對於環氧化合物100質量份,為1~200質量份者為佳,以5~150質量份為較佳。於上述範圍內時,可容易提高第5態樣之組成物的塗膜形成能力、硬化性等,第5態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於得到良好顯影性的同時,也可得到良好的微小圖型形成特性。
第5態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑及有機酸等。有機酸例如,乙酸、丙酸、等之羧酸等。該些之中,又以丙二醇單
甲基醚、甲基乙基酮、環戊酮、環己酮、乙酸乙酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基-2-吡咯啶酮、γ-丁內酯等極性溶劑、甲苯等芳香族烴類、乙酸等有機酸,及該些混合溶劑為佳。特別是第5態樣之組成物為不含光鹼產生劑及光酸產生劑之情形,就硬化性之觀點,以乙酸等有機酸為佳。推測應為有機酸為具有作為質子供體之機能者。
有機溶劑之含量,相對於第5態樣之組成物的固形成份濃度,以達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第6態樣之組成物為含有,含環氧基之聚羧酸樹脂,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第6態樣之組成物,可再含有光鹼產生劑或光酸產生劑及/或有機溶劑。第6態樣之組成物,不含有光鹼產生劑及光酸產生劑之情形,為非感光性樹脂組成物,於含有光鹼產生劑或光酸產生劑時,可顯現出感光性。
第6態樣之組成物為感光性之情形,其具體例如含有,含環氧基之聚羧酸樹脂,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物,與光鹼產生劑或光酸產生劑,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式
(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之負型感光性樹脂組成物等。該負型感光性樹脂組成物,可再含有有機溶劑。
第6態樣之組成物中之含環氧基之聚羧酸樹脂,例如,可使用1分子中具有2個以上之環氧基的環氧化合物與1分子中具有1個以上之醇性羥基的單羧酸經反應所得之反應物,再與多鹼酸酐反應所得者。
一分子中具有2個以上之環氧基的環氧化合物,例如,線性的醛型環氧樹脂、雙酚型環氧樹脂、三酚甲烷型環氧樹脂、三(2,3-環氧基丙基)三聚異氰酸酯、聯苯二縮水甘油醚、脂環式環氧樹脂、共聚型環氧樹脂等。
線性的醛型環氧樹脂,例如,酚、甲酚、鹵化酚、烷基酚等之酚類與甲醛於酸性觸媒下進行反應所得之線性類,與表氯醇或甲基表氯醇反應所得者等。市售品例如,EOCN-102S、EOCN-103S、EOCN-104S、EOCN-1027、EPPN-201、BREN-S(皆為日本化藥公司製);DEN-431、DEN-439(皆為陶氏.化學公司製);N-730、N-770、N-865、N-665、N-673、VH-4150(皆為大日本塗料化學工業公司製)等。
雙酚型環氧樹脂,例如,雙酚A、雙酚F、雙酚S、四溴雙酚A等之雙酚類與表氯醇或甲基表氯醇反應所得者,或雙酚A或雙酚F之二縮水甘油醚與上述雙酚類之縮合物,與表氯醇或甲基表氯醇反應所得者等。市售
品例如,Epikote 1004、Epikote 1002、Epikote 4002、Epikote 4004(皆為油化殼式環氧公司製)等。
三酚甲烷型環氧樹脂,例如,三酚甲烷或三甲酚甲烷與表氯醇或甲基表氯醇反應所得者等。市售品例如,EPPN-501、EPPN-502(皆為日本化藥公司製)等。
脂環式環氧樹脂,例如,大榭化學工業公司製之CELLOXIDE 2021;三井石油化學工業公司製之EPOMIK VG-3101;油化殼式環氧公司製之E-1031S、日本曹達公司製之EPB-13、EPB-27等。又,共聚型環氧樹脂,例如,縮水甘油基甲基丙烯酸酯與苯乙烯與α-甲基苯乙烯之共聚物的日本油脂公司製之CP-50M、CP-50S,或縮水甘油基甲基丙烯酸酯與環己基馬來醯亞胺酯等之共聚物等。
該些1分子中具有2個以上之環氧基的環氧樹脂之中,特佳者例如,甲酚線性的醛型環氧樹脂、酚線性的醛型環氧樹脂、雙酚型環氧樹脂、三酚甲烷型環氧樹脂等。特別是α-羥基苯基-ω-氫化聚(聯苯二伸甲基-羥基伸苯基)與1-氯-2,3-環氧丙烷之聚縮合物,及α-2,3-環氧基丙氧基苯基-ω-氫化聚{2-(2,3-環氧基丙氧基)-苯亞基-2,3-環氧基丙氧基伸苯基}為佳。
1分子中具有1個以上之醇性羥基的單羧酸,例如,二羥甲基丙酸、二羥甲基乙酸、二羥甲基丁酸、二羥甲基戊酸、二羥甲基己酸、羥基三甲基乙酸等之羥基單羧酸類等。該些之中,又以1分子中具有1~5個醇性羥
基之單羧酸為佳。
多鹼酸酐,例如,琥珀酸酐、馬來酸酐、酞酸酐、四氫酞酸酐、六氫酞酸酐、甲基內(endo)伸甲基四氫酞酸酐、偏苯三甲酸酐、均苯四甲酸酐等。
上述環氧化合物與上述單羧酸之反應,相對於環氧化合物之環氧基1當量,以使用單羧酸0.1~0.7莫耳為佳,以0.2~0.5莫耳為較佳。該反應中,因不與環氧化合物或多鹼酸酐反應,不具有羥基或羧基,故以使用有機溶劑為佳。此外,為促進反應,亦可使用觸媒(例如,三苯基膦、苄基二甲基胺、三烷基銨氯化物、三苯基銻化氫等)。使用觸媒之情形,特別是反應結束後,以可使用有機過氧化物等使觸媒鈍化者,以其具有安定且良好之保存性等而為較佳。反應觸媒之使用量,相對於反應混合物,以0.1~10重量%為佳,反應溫度以60~150℃為佳。經此方式,可製得上述環氧化合物與上述單羧酸之反應物。
該反應物與多鹼酸酐反應中,以使最後所得之含環氧基之聚羧酸樹脂的酸價達50~150mgKOH/g之量的方式,與多鹼酸酐反應為佳。反應溫度以60~150℃為佳。依此方式,即可製得含環氧基之聚羧酸樹脂。
該些含環氧基之聚羧酸樹脂,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
含環氧基之聚羧酸樹脂之含量,相對於第6態樣之組成物之固形成份,以30~80質量%為佳,以40
~70質量%為較佳。於上述範圍內時,可提高塗膜形成能力。
第6態樣之組成物中之光鹼產生劑,例如,第4態樣之組成物中所例示之光鹼產生劑等。又,第6態樣之組成物中之光酸產生劑,例如,第2態樣之組成物中所例示之光酸產生劑等。
光鹼產生劑或光酸產生劑之含量,相對於第6態樣之組成物的固形成份,以0.5~30質量%為佳,以1~20質量%為較佳。於上述範圍內時,第6態樣之組成物具有良好之硬化性。
第6態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。又,該化合物包含於負型感光性樹脂組成物之際,具有可得到良好的細微的圖型形成之特性。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第6態樣之組成物的固形成份,以20~70質量%為佳,以30~60質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提高第6態樣之組成物的塗膜形成能力、硬化性等,第6態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於得到良好顯影性的同時,也可得到良好的微小圖型形成特性。
第6態樣之組成物,可再含有增感劑。增感劑,例如,以9位及10位具有烷氧基之蒽化合物(9,10-二烷氧基-蒽衍生物)為佳。烷氧基,例如,碳數1~4之烷氧基等。9,10-二烷氧基-蒽衍生物,可再具有取代基。取代基,例如,鹵原子、碳數1~4之烷基、磺酸烷酯基、羧酸烷酯基等。磺酸烷酯基或羧酸烷酯基中之烷基,例如,碳數1~4之烷基等。該些取代基之取代位置以2位為佳。
9,10-二烷氧基-蒽衍生物,例如,9,10-二甲氧基-蒽、9,10-二乙氧基-蒽、9,10-二丙氧基-蒽、9,10-二甲氧基-2-乙基-蒽、9,10-二乙氧基-2-乙基-蒽、9,10-二丙氧基-2-乙基-蒽、9,10-二甲氧基-2-氯-蒽、9,10-二甲氧基蒽-2-磺酸甲基酯,9,10-二乙氧基蒽-2-磺酸甲基酯,9,10-二甲氧基蒽-2-羧酸甲基酯等。
該些化合物為,使蒽醌衍生物於鹼水溶液中,經由鋅粉、亞硫酸氫鹽、四-碳、氫化硼鈉等之還原劑之處理,形成9,10-二羥基蒽衍生物後,再使用二甲基硫酸、二乙基硫酸等之硫酸酯、甲苯磺酸甲酯、甲苯磺酸乙酯、甲苯磺酸丙酯、甲苯磺酸單乙二醇酯等之甲苯磺酸酯,或苯磺酸甲酯、苯磺酸乙酯、苯磺酸丙酯等之苯磺酸酯使9,10位烷氧化之方式而可製得。
該些增感劑,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
增感劑之含量,相對於上述光酸產生劑之莫
耳比,以0.1~6者為佳,以0.2~4為較佳。第6態樣之組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,於上述範圍內時,可使第6態樣之組成物的感度、硬化性良好。
第6態樣之組成物,可再含有為調整耐濕性、耐熱性、密著性等目的之改質成份。該改質成份,只要為其本身可經由熱或紫外線等而硬化者即可,經由熱或紫外線等,而與含環氧基之聚羧酸樹脂的殘存羥基或羧基等進行反應者亦可。具體而言,例如,1分子中具有1個以上之環氧基的環氧化合物、三聚氰胺衍生物(例如,六甲氧基三聚氰胺、六丁氧基三聚氰胺、縮合六甲氧基三聚氰胺等)、雙酚A系化合物(例如,四羥甲基雙酚A等)、噁唑啉化合物等。
1分子中具有1個以上之環氧基的環氧化合物,例如,Epikote 1009、1031(皆為油化殼式公司製)、EPICLON N-3050、N-7050(皆為大日本塗料化學工業公司製)、DER-642U、DER-673MF(皆為陶氏化學公司製)等之雙酚A型環氧樹脂;ST-2004、ST-2007(皆為東都化成公司製)等之氫化雙酚A型環氧樹脂;YDF-2004、YDF-2007(皆為東都化成公司製)等之雙酚F型環氧樹脂;SR-BBS、SR-TBA-400(皆為坂本藥品工業公司製)、YDB-600、YDB-715(皆為東都化成公司製)等之溴化雙酚A型環氧樹脂;EPPN-201、EOCN-103、EOCN-1020、BREN(皆為日本化藥公司製)等之線性的醛型環氧樹脂;大日本塗料化學工業公司製之EPICLON
N-880等之雙酚A的線性的醛型環氧樹脂;大日本塗料化學工業公司製之EPICLON TSR-601或ACR或ADEKA公司製之R-1415-1等之橡膠改質環氧樹脂;日本化藥公司製之EBPS-200或大日本塗料化學工業公司製之EPICLON EXA-1514等之雙酚S型環氧樹脂;日本油脂公司製之BLEMMER DGT等之二縮水甘油基對酞酸酯;日產化學公司製之TEPIC等之三縮水甘油基三聚異氰酸酯;油化殼式公司製之YX-4000等之雙二甲酚型環氧樹脂;油化殼式公司製之YL-6056等之雙酚型環氧樹脂;大榭化學工業公司製之CELLOXIDE 2021等脂環式環氧樹脂;等。
改質成份之含量,相對於第6態樣之組成物的固形成份,以50質量%以下者為佳,以30質量%以下為較佳。
第6態樣之組成物,此外,就提高密著性、硬度等特性之目的,可含有硫酸鋇、鈦酸鋇、二氧化矽、滑石、灰石、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、雲母等公知之填充劑。
填充劑之含量,相對於第6態樣之組成物的固形成份,以60質量%以下者為佳,以5~40質量%為較佳。
第6態樣之組成物,可再含有,酞花青-藍、酞花青-綠、重氮化-黃、結晶-紫、氧化鈦、碳黑等著色劑、超微粉氧化矽、蒙特石等之增黏劑、矽氧系高分子、氟系高分子等之消泡劑及/或平整劑、矽烷偶合劑等之密著性賦予劑等添加劑。
第6態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。
有機溶劑之含量,以使第6態樣之組成物的固形成份濃度達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第7態樣之組成物,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物,與酸產生劑或鹼產生劑之能量感受性組成物。酸產生劑,例如,光酸產生劑、熱酸產生劑等。又,鹼產生劑,例如,光鹼產生劑、熱鹼產生劑等。第7態樣之組成物,可再含有有機溶劑。
第7態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第7態樣之組成物之固形成份,以50.1~99.9質量%為佳,以70~99.5質量%為較佳,以80~99質量%為更佳。於上述範圍內時,第7態樣可容易提升組成物之塗膜形成能力、硬化性等。
光酸產生劑,例如,上述第2態樣之組成物
中所例示之內容等。
熱酸產生劑,例如,2,4,4,6-四溴環己二烯、苯醯甲苯磺酸酯、2-硝基苄基甲苯磺酸酯、有機磺酸等其他之烷酯等。具體而言,例如,鋶鹽、錪鹽、苯併噻鎓噻鹽、銨鹽、鏻鹽等之鎓鹽等。該些鎓鹽之中,又以錪鹽、鋶鹽及苯併噻鎓鹽為佳。鋶鹽及苯併噻鎓鹽之具體例,例如,4-乙醯氧苯基二甲基鋶六氟砷酸酯、苄基-4-羥基苯基甲基鋶六氟銻酸酯、4-乙醯氧苯基苄基甲基鋶六氟銻酸酯、二苄基-4-羥基苯基鋶六氟銻酸酯、4-乙醯氧苯基苄基鋶六氟銻酸酯、3-苄基苯併噻唑六氟銻酸酯,及下述式所表示之化合物等。
光鹼產生劑,例如,上述第4態樣之組成物中所例示之內容等。
熱鹼產生劑,例如,1-甲基-1-(4-聯苯基)乙胺基甲酸酯、1,1-二甲基-2-氰基乙胺基甲酸酯等之胺基甲酸酯衍生物;尿素;N,N-二甲基-N’-甲基尿素等之尿素衍生物;1,4-二氫菸鹼醯胺等之二氫吡啶衍生物;有機矽烷或有機硼烷等四級銨鹽;二氰二醯胺等。其他之例如,三氯乙酸胍、三氯乙酸甲基胍、三氯乙酸鉀、苯基磺醯乙酸胍、p-氯苯基磺醯乙酸胍、p-甲烷磺醯苯基磺醯乙酸胍、苯基丙
炔酸鉀、苯基丙炔酸胍、苯基丙炔酸銫、p-氯苯基丙炔酸胍、p-伸苯基-雙-苯基丙炔酸胍、苯基磺醯乙酸四甲基銨,及苯基丙炔酸四甲基銨等。
酸產生劑或鹼產生劑之含量,相對於上述能量感受性組成物之固形成份,以0.1~49.9質量%為佳,以0.5~30質量%為較佳,以1~20質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易使上述能量感受性組成物之硬化性良好。
第7態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。
有機溶劑之含量,相對於第7態樣之組成物之固形成份濃度,以達0.5~70質量%之量為佳,以達1~55質量%之量為較佳。
第8態樣之組成物為含有,含羥基之化合物及/或含羧基之化合物,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第8態樣之組成物,可再含有酸產生劑或鹼產生劑及/或有機溶劑。
含羥基之化合物,並未有特別之限定,例如,下述通式所表示之化合物等。
HO-Rp1-OH Rp2-OH(式中,Rp1及Rp2表示有機基)。
含羧基之化合物,並未有特別之限定,例如,下述通式所表示之化合物等。
HO-CO-Rp3-CO-OH Rp4-CO-OH(式中,Rp3及Rp4表示有機基)。
Rp1及Rp3,例如,2價烴基、2價雜環式基,及該些所互相鍵結形成之基等,又以2價烴基為佳。2價烴基及2價雜環式基,可具有取代基。Rp1及Rp3,以具有環狀構造者為佳。
2價烴基,例如,2價脂肪族烴基、2價脂環式烴基、2價芳香族烴基,及該些以2個以上鍵結所形成之基等。
2價脂肪族烴基,例如,伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸異丙基、伸丁基、伸異丁基、s-伸丁基、t-伸丁基、伸戊基、伸己基、伸癸基、伸十二烷基等之碳數1~20,較佳為1~10,更佳為1~3之伸烷基;伸乙烯基、伸丙烯基、1-伸丁烯基等之碳數2~20,較佳為2~10,更佳為2~3之伸烯基;伸乙炔基、伸丙炔基等之碳數2~20,較佳為2~10,更佳為2~3之伸炔基等。
2價脂環式烴基,例如,伸環丙基、伸環丁基、伸環戊基、伸環己基、伸環辛基等之碳數3~20,較佳為3~15,更佳為5~8之伸環烷基;伸環戊烯基、伸環己烯基等之碳數3~20,較佳為3~15,更佳為5~8之伸環烯基;過氫伸萘基、伸樟腦烷基、伸金剛烷基、四環[4.4.0.12,5.17,10]伸十二烷基等之碳數4~20,較佳為6~
16,更佳為7~12的2價之交聯環式烴基等。
2價芳香族烴基,例如,伸苯基、伸萘基、伸茀基等之碳數6~20,較佳為6~13之伸芳基等。
2價脂肪族烴基與2價脂環式烴基鍵結所形成之基,例如,伸環戊基伸甲基、伸環己基伸甲基、伸環己基伸乙基等之伸環烷-伸烷基(例如,C3-20伸環烷-C1-4伸烷基等)等。
2價脂肪族烴基與2價芳香族烴基鍵結所形成之基,例如,伸芳基-伸烷基(例如,C6-20伸芳基-C1-4伸烷基等)、伸芳基-伸烷-伸芳基(例如,C6-20伸芳基-C1-4伸烷基-C6-20伸芳基等)等。
2個以上的2價芳香族烴基互相鍵結所形成之基,例如,伸芳基-伸芳基(例如,C6-20伸芳基-C6-20伸芳基等)、伸芳基-伸芳基-伸芳基(例如,C6-10伸芳基-C6-13伸芳基-C6-10伸芳基等)等。
該些2價烴基之中,又以具有環狀構造者為佳,以C6-10伸芳基-C6-13伸芳基-C6-10伸芳基、C6-20伸芳基-C1-4伸烷基-C6-20伸芳基、碳數7~12的2價之交聯環式烴基為特佳。
上述2價烴基,可具有各種取代基,例如,可具有鹵原子、側氧基、羥基、取代氧基(例如,烷氧基、芳氧基、芳烷基氧基、醯氧基、乙烯基氧基等)、羧基、取代氧羰基(烷氧基羰基、芳基氧羰基、芳烷基氧羰基等)、取代或無取代胺甲醯基、氰基、硝基、取代或無
取代胺基、磺酸基、雜環式基等。上述之羥基及羧基可被有機合成領域所慣用的保護基所保護。又,2價脂環式烴基及2價芳香族烴基之環中,可縮合芳香族性或非芳香屬性之雜環。
2價雜環式基為由雜環式化合物去除2個氫原子所形成之基。雜環式化合物,可為芳香族雜環式化合物亦可、非芳香族雜環式化合物亦可。該些雜環式化合物,例如,含有氧原子作為雜原子的雜環式化合物(例如,環氧乙烷等之3員環之雜環式化合物、環氧丙烷等之4員環之雜環式化合物、呋喃、四氫呋喃、噁唑、γ-丁內酯等之5員環之雜環式化合物、4-側氧基-4H-吡喃、四氫吡喃、嗎啉等之6員環之雜環式化合物、苯併呋喃、4-側氧基-4H-苯併哌喃、二氫苯併哌喃等之具有縮合環之雜環式化合物、3-氧雜三環[4.3.1.14,8]十一烷-2-酮、3-氧雜三環[4.2.1.04,8]壬烷-2-酮等之、具有交聯環之雜環式化合物等)、含有硫原子作為雜原子之雜環式化合物(例如,噻吩、噻唑、噻二唑等之5員環之雜環式化合物、4-側氧基-4H-噻喃等之6員環之雜環式化合物、苯併噻吩等之具有縮合環之雜環式化合物等)、含有氮原子作為雜原子之雜環式化合物(例如,吡咯、吡咯啶、吡唑、咪唑、三唑等之5員環之雜環式化合物、吡啶、嗒、嘧啶、吡、哌啶、六氫吡等之6員環之雜環式化合物、吲哚、吲哚啉、喹啉、吖啶、奈啶、喹唑啉、嘌呤等之具有縮合環之雜環式化合物等)等。上述2價雜環式基,除可具有上述
2價烴基所可具有之取代基以外,可再具有烷基(例如,甲基、乙基等之C1-4烷基等)、環烷基、芳基(例如,苯基、萘基等之C6-10芳基等)等取代基。
Rp2及Rp4,例如,1價烴基、1價雜環式基,及該些所互相鍵結形成之基等,又以1價烴基為佳。1價烴基及1價雜環式基,可具有取代基。Rp2及Rp4,以具有環狀構造者為佳。
1價烴基,例如,1價脂肪族烴基、1價脂環式烴基、1價芳香族烴基,及該些以2個以上鍵結所形成之基等。
1價脂肪族烴基,例如,甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、s-丁基、t-丁基、戊基、己基、癸基、十二烷基等之碳數1~20,較佳為1~10,更佳為1~3之烷基;乙烯基、烯丙基、1-丁烯基等之碳數2~20,較佳為2~10,更佳為2~3之烯基;乙炔基、丙炔基等之碳數2~20,較佳為2~10,更佳為2~3之炔基等。
1價脂環式烴基,例如,環丙基、環丁基、環戊基、環己基、環辛基等之碳數3~20,較佳為3~15,更佳為5~8之環烷基;環戊烯基、環己烯基等之碳數3~20,較佳為3~15,更佳為5~8之環烯基;過氫萘-1-基-基、樟腦烷基、金剛烷基、四環[4.4.0.12,5.17,10]十二烷-3-基-基等之碳數4~20,較佳為6~16,更佳為7~12之1價之交聯環式烴基等。
1價芳香族烴基,例如,苯基、萘基、茀基等之碳數6~20,較佳為6~13之芳基等。
1價脂肪族烴基與1價脂環式烴基鍵結所形成之基,例如,環戊基甲基、環己基甲基、2-環己基乙基等之環烷基-烷基(例如,C3-20環烷基-C1-4烷基等)等。
1價脂肪族烴基與1價芳香族烴基鍵結所形成之基,例如,芳烷基(例如,C7-18芳烷基等)、烷基-芳基(例如,C1-4烷基-C6-20芳基、更具體而言,例如,被1~4個C1-4烷基所取代的苯基或萘基等)、芳基-烷基-芳基(例如,C6-20芳基-C1-4烷基-C6-20芳基等)等。
2個以上之1價芳香族烴基互相鍵結所形成之基,例如,芳基-芳基(例如,C6-20芳基-C6-20芳基等)、芳基-芳基-芳基(例如,C6-10芳基-C6-13芳基-C6-10芳基等)等。
該些之1價烴基之中,又以具有環狀構造者為佳,以C6-10芳基-C6-13芳基-C6-10芳基、C6-20芳基-C1-4烷基-C6-20芳基、碳數7~12之1價之交聯環式烴基為特佳。
上述1價烴基,可具有各種取代基。取代基之具體例,例如,上述2價烴基所可具有之取代基所例示之內容等。又,1價脂環式烴基及1價芳香族烴基之環中,可縮合芳香族性或非芳香屬性之雜環。
1價雜環式基,為由雜環式化合物去除1個氫原子所形成之基。雜環式化合物,可為芳香族雜環式化合
物亦可、非芳香族雜環式化合物亦可。該些雜環,例如,上述2價雜環式基之說明中所示者等。上述1價雜環式基,除具有上述1價烴基所可具有之取代基以外,亦可具有烷基(例如,甲基、乙基等之C1-4烷基等)、環烷基、芳基(例如,苯基、萘基等之C6-10芳基等)等取代基。
含羥基之化合物之具體例,例如,下述式所表示之化合物等。
含羧基之化合物之具體例,例如,下述式所表示之化合物等。
含羥基之化合物及/或含羧基之化合物之含量,相對於第8態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以20~97質量%為較佳,以50~95質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提高組成物之硬化性。
第8態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第8態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~50質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提升第8態樣之組成物的塗膜形成能力、硬化性等。
第8態樣之組成物中之酸產生劑及鹼產生劑,例如,第7態樣之組成物中所例示之酸產生劑及鹼產生劑等。
酸產生劑或鹼產生劑之含量,相對於第8態樣之組成物的固形成份,以0.5~30質量%為佳,1~20質量%為較佳。於上述範圍內時,組成物具有良好之硬化性。
第8態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。
有機溶劑之含量,以使第8態樣之組成物的固形成份濃度達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第9態樣之組成物為含有,含矽化合物,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第9態樣之組成物,可再含有有機溶劑。
第9態樣之組成物中之含矽化合物,例如,二甲基聚矽氧烷等之聚矽氧烷等,該些聚矽氧烷,例如,分子鏈兩末端可鍵結羥基等官能基。含矽化合物,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
含矽化合物之含量,相對於第9態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以20~97質量%為較佳,以30~95質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提高所得硬化物之耐藥性。
第9態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式
(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第9態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~70質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提升第9態樣之組成物之塗膜形成能力、硬化性等。
第9態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。
有機溶劑之含量,相對於第9態樣之組成物的固形成份濃度,以達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
第10態樣之組成物,為含有無機填料,與上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。第10態樣之組成物,可再含有酸產生劑或鹼產生劑及/或有機溶劑。
第10態樣之組成物中之無機填料,例如,氧化鈦、二氧化矽等。無機填料,可單獨或將2種以上組合使用皆可。
無機填料之含量,相對於第10態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以20~97質量%為較佳,以30~95質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提高組成物的硬化性,容易提升所得之硬化物的折射
率、蝕刻耐性等。
第10態樣之組成物,如上所述般,為含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物。含有該化合物之組成物,可容易製得具有高硬度之硬化物。
上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物之含量,相對於第10態樣之組成物的固形成份,以1~99質量%為佳,以3~80質量%為較佳,以5~70質量%為更佳。於上述範圍內時,可容易提升第10態樣的組成物之塗膜形成能力、硬化性等。
第10態樣之組成物中之酸產生劑及鹼產生劑,例如,第7態樣之組成物中所例示之酸產生劑及鹼產生劑等。
酸產生劑或鹼產生劑之含量,相對於第10態樣之組成物的固形成份,以0.5~30質量%為佳,1~20質量%為較佳。於上述範圍內時,組成物具有良好之硬化性。
第10態樣之組成物中之有機溶劑,例如,第1態樣之組成物中所例示之有機溶劑等。
有機溶劑之含量,以使第10態樣之組成物的固形成份濃度達1~50質量%之量為佳,以達5~30質量%之量為較佳。
本發明中之組成物,可將上述之各成份於攪拌機中混合之方式予以製得。又,為使所製得之組成物達到均勻之成份,可使用膜式過濾器等進行過濾。
使用本發明之組成物,可形成硬化膜、絕緣膜,及濾色器等。
例如,使用不含著色劑之組成物形成塗膜,將該塗膜加熱之方式,即可製得透明的硬化膜或絕緣膜。該些組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,對上述塗膜照射電磁波時,可製得透明的硬化膜或絕緣膜。使用本發明之組成物所形成的硬化膜及絕緣膜,例如,可作為配向膜及平坦化膜(例如,液晶顯示面板或有機EL面板等所使用之配向膜及平坦化膜),或抗反射膜、層間絕緣膜、碳硬遮罩等之光阻下層膜使用。
又,本發明之組成物使用於負型感光性樹脂組成物之情形中,上述硬化膜、絕緣膜,可為圖型化之膜。如下所述般,對塗膜照射特定圖型狀之電磁波、顯影結果,可製得圖型化之硬化膜、絕緣膜等。圖型化之硬化膜,例如,可作為液晶顯示面板或有機EL面板等之調距器、隔板使用。
又,使用含有著色劑之負型感光性樹脂組成物(特別是負型感光性樹脂組成物的情形中之第1態樣之組成物)形成塗膜,對該塗膜照射特定圖型狀之電磁波、
顯影結果,例如,可形成液晶顯示面板之濾色器的畫素或黑基質。
該些硬化膜、絕緣膜、濾色器,可使用於顯示裝置。即,顯示裝置,為具備有上述硬化膜、絕緣膜、濾色器等之裝置。顯示裝置,例如,液晶顯示面板或有機EL面板等。
此外,經由將本發明之組成物成型、加熱,即可製得透鏡(例如,微透鏡等)、光纖、光波導路、稜鏡薄片、全相圖、高折射薄膜、逆反射(retroreflection)薄膜等光學構件。該些組成物為負型感光性樹脂組成物之情形,可使負型感光性樹脂組成物成型、照射電磁波之方式,而製得上述光學構件。
此外,含有上述通式(1)所表示之化合物、上述通式(10)所表示之化合物,及/或上述通式(19)所表示之化合物,與酸產生劑或鹼產生劑的上述能量感受性組成物,其酸產生劑為光酸產生劑,鹼產生劑為光鹼產生劑之情形中,可經照射電磁波而硬化。又,該能量感受性組成物,於酸產生劑為熱酸產生劑,鹼產生劑為熱鹼產生劑之情形中,可經由加熱使其硬化。上述能量感受性組成物的硬化物所形成的成型體,具有優良之低透濕性。因此,對上述能量感受性組成物的塗膜照射電磁波或加熱時,可得到低透濕膜。該些低透濕膜,可使用作為水蒸氣阻隔層。
其他,本發明中之組成物,亦可作為光學材料、半導
體用材料使用。
本發明中之組成物,為負型感光性樹脂組成物之情形,可適用於圖型形成方法。此圖型形成方法,為使用負型感光性樹脂組成物形成塗膜或成型體,並對此塗膜或成型體照射特定圖型狀之電磁波,進行顯影所得者。
更具體而言,例如,首先,使用適當之塗佈方法或成型方法,形成塗膜或成型體。例如,使用滾筒塗佈器、反向塗佈器、條狀塗佈器等接觸轉印型塗佈裝置或旋轉塗佈器(回轉式塗佈裝置)、簾幕塗佈器等之非接觸型塗佈裝置將組成物塗佈於基板上,經乾燥處理,而可形成塗膜。乾燥方法並未有特別之限定,例如,(1)於熱板以80~120℃,較佳為90~100℃之溫度進行60~120秒鐘預燒焙之方法、(2)於室溫下放置數小時~數日間之方法、(3)放置於溫風加熱器或紅外線加熱器中數十分鐘~數小時以去除溶劑之方法等。
其次,對塗膜或成型體照射具有特定圖型狀之電磁波,進行曝光。電磁波,可介由負型遮罩進行照射亦可、直接照射亦可。曝光量,依組成物之組成而有所不同,例如以5~500mJ/cm2左右為佳。
其次,將曝光後之塗膜或成型體,使用顯影液顯影進行所期待形狀之圖型形成(Patterning)。顯影方法,並未有特別之限定,例如,可使用浸漬法、噴霧法
等。顯影液,可使用單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有機系者,或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、氨、四級銨鹽等之水溶液等。
對於顯影後之圖型,以於200~250℃左右進行後燒焙者為佳。
以下,將以實施例對本發明作更具體之說明,但本發明之範圍並不受該些實施例所限定。
上述通式(1)所表示之化合物,例如,準備下述式所表示之化合物1~3。又,為進行比較,又準備下述式所表示之比較化合物1~6。
化合物1~3之合成法係如下所述(合成例1~3)。合成例所使用之材料係如以下所述。
粒徑分佈:250μm以上;3重量%
150μm以上未達250μm;15重量%
75μm以上未達150μm;50重量%
未達75μm;32重量%
又,上述之粒徑分佈,為使用60孔目(250μm)、100孔目(150μm)、200孔目(75μm)之篩予以區分後,測定最後所得之篩上成份及篩下成份之各個重量之方式予以算出。
(1)二-μ-氯雙(1,5-環辛二烯)二銥(I):[Ir(cod)Cl]2
(1)9,9’-雙(6-羥基-2-萘)茀
(2)9,9’-雙(4-羥基苯基)茀
(1)丙酸乙烯基
於設置有冷卻管,及使凝縮液分液後之有機層回復至反應容器,並使水層排出於系外所使用之傾析器的1000ml反應容器中,加入二-μ-氯雙(1,5-環辛二烯)二銥(I)[Ir(cod)Cl]2(839mg、1.25mmol)、輕灰碳酸鈉(12.7g、0.12mol)、9,9’-雙(6-羥基-2-萘)茀(225g、
0.5mol)、丙酸乙烯酯(125g、1.25mol),及甲苯(300ml)後,使用表面積為10cm2之攪拌片,將迴轉數設定為250rpm,於攪拌中使溫度徐徐提升,並使其迴流。於迴流中,將副產物之水以傾析器去除,並進行5小時之反應。反應液使用氣體色層分析儀進行分析結果,生成之9,9’-雙(6-羥基-2-萘)茀之轉化率為100%,其係以9,9’-雙(6-羥基-2-萘)茀為基準之9,9’-雙(6-乙烯氧基-2-萘)茀(化合物1)為81%、雙6-萘酚茀單乙烯醚為4%之產率生成者。
1H-NMR(CDCl3):4.47(dd、2H、J=1.5Hz、5.0Hz)、4.81(dd、2H、J=3.5Hz、12.0Hz)、6.71(dd、2H、J=6.0Hz)、7.12-7.82(m、20H)
將合成例1所得之反應產物供應於矽凝膠管柱色層分析法,實施分離精製,將雙6-萘酚茀單乙烯醚(化合物2)單離。
1H-NMR(CDCl3):4.55(dd、1H、J=6.0Hz)、4.88(dd、1H、J=3.5Hz)、6.79(dd、1H、J=6.0Hz、14.0Hz)、7.20-7.89(m、20H)
於設置有冷卻管,及使凝縮液分液後之有機層回復至反應容器,並使水層排出於系外所使用之傾析器的
1000ml反應容器中,加入二-μ-氯雙(1,5-環辛二烯)二銥(I)[Ir(cod)Cl]2(839mg、1.25mmol)、輕灰碳酸鈉(12.7g、0.12mol)、9,9’-雙(4-羥基苯基)茀(186g、0.5mol)、丙酸乙烯酯(125g、1.25mol),及甲苯(300ml)後,使用表面積為10cm2之攪拌片,迴轉數設定為250rpm,於攪拌中使溫度徐徐提升,並使其迴流。
於迴流中,將副產物之水以傾析器去除,並進行5小時之反應。反應液使用氣體色層分析儀進行分析結果,生成之9,9’-雙(4-羥基苯基)茀之轉化率為100%,其係以9,9’-雙(4-羥基苯基)茀為基準之9,9’-雙(4-乙烯氧基苯基)茀(化合物3)為72%、雙4-酚茀單乙烯醚為9%之產率所生成者。
1H-NMR(CDCl3):4.47(dd、2H)、4.81(dd、2H)、6.71(dd、2H)、7.12-7.82(m、16H)
使化合物1、3、比較化合物1~6溶解於丙二醇單甲基醚乙酸酯,以製作20質量%之溶液。將此溶液使用旋轉塗佈器塗佈於玻璃基板,以100℃進行120秒鐘預燒焙,形成乾燥塗膜(膜厚2.0μm)。將此乾燥塗膜進行230℃、20分鐘後燒焙,得硬化膜(膜厚1.7μm)。
為評估化合物1、3、比較化合物1~6之反應性等,依JIS K 5400測定上述硬化膜之鉛筆硬度。鉛筆硬度越高時,表示化合物的反應性越高。
又,對上述硬化膜(未得到硬化膜之情形,為上述乾燥塗膜),測定波長633nm下之光透過率及折射率等光學參數。
此外,為評估上述硬化膜之耐熱性,將此硬化膜由室溫(約20℃)開始,以1分鐘10℃之比例昇溫加熱,進行大氣中之熱重量分析,以分析開始時之質量為基準,測定質量減少5%時之溫度Td5%。
該些測定結果係如表1所示。
由表1結果得知,化合物1及3所得之硬化膜,具有高鉛筆硬度,顯示出該些化合物具有高反應性。又,化合物1及3所得之硬化膜,其光透過率,為滿足近年來機能膜所要求之98%以上之值,故顯示出良好之折射率及耐熱性。
相對於此,比較化合物1~6所得之硬化膜,其鉛筆硬度較化合物1及3所得之硬化膜為低,顯示出比較化合物1~6之反應性為更低劣。又,比較化合物1~6所得之硬化膜,與化合物1及3所得之硬化膜相比較時,
顯示出其光透過率更低劣。
於5L反應器中,加入6,6’-(9-亞茀基)-雙(2-萘氧乙醇)(598g,1.11mol)、吡啶(87.8g,1.11mol)、二丙二醇二甲基醚(1670mL),經氮取代後,升溫至60℃。將氯化亞碸(Thionyl chlorid)(395.9g,3.33mol)以3小時時間滴下,進行2小時之熟成。冷卻至30℃之後,加入水使反應停止,於15~20℃之範圍內滴入甲醇結果,以產率96%,製得目的物之羥基被氯取代之化合物(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為化合物4)。
1H-NMR(CDCl3):3.85(t、4H、J=6.0Hz)、4.31(t、4H、J=6.0Hz)、7.08-7.82(m、20H)
於加入有化合物4(560g、0.97mol)、四氫呋喃(1260mL)之5L反應器中,將鉀-t-丁氧化物(327.5g,2.92mol)之四氫呋喃(1260mL)溶液於20℃~40℃之範
圍內滴入。於60℃進行2小時熟成後,加入水使反應停止。將有機層分液後,使用蒸發器濃縮,以達化合物4加入量之2重量倍之後,滴入甲醇,而製得產率77%之9,9’-雙(6-乙烯基氧基-2-萘)茀(下述式所表示之化合物、即,化合物1)之白色或灰白色固體。
1H-NMR(CDCl3):4.48(dd、2H、J=1.5Hz、6.5Hz)、4.81(dd、2H、J=1.5Hz、13.5Hz)、6.73(dd、2H、J=6.5Hz、13.5Hz)、7.13-7.83(m、20H)
25mL反應器中,加入乙二醇(1.00g、0.0161mol)、三乙胺(3.42g,0.0338mol)、四氫呋喃(3.38mL),經氮取代後,冷卻至0℃。將甲烷磺醯氯化物(3.88g,0.0338mol)以2小時時間滴入其中,經1小時熟成後,加入水使反應停止。將乙酸乙酯添加於其中,使有機層分離,以蒸發器餾除溶劑結果,得產率80%之乙二醇加成甲烷磺醯基之化合物(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為「EG-DMs」)。
1H-NMR(CDCl3):3.10(s、6H)、4.47(s、4H)
25mL反應器中,加入6,6-(9-亞茀基)-2,2-二萘酚(下述左側之式所表示之化合物。1.00g、0.0022mol。以下,亦稱為化合物5)、碳酸鉀(0.64g,0.0047mol)、四氫呋喃(3.38mL),並以氮取代。將合成例6所合成之EG-DMs(1.02g,0.0047mol)的四氫呋喃(1.12mL)溶液於室溫下添加於其中之後,升溫至60℃,進行15小時之熟成。反應液以HPLC分析之結果,確認化合物5之轉化率99%,以選擇率65%合成化合物6(下述右側之式所表示之化合物)。
(化合物6)1H-NMR(CDCl3):3.08(s、6H)、4.32(t、4H、J=4.4Hz)、4.60(t、4H、J=4.4Hz)、7.05-7.83(m、20H)
於加入有化合物6(2.00g、0.00288mol),二丙二醇二甲基醚(2.25mL)之25mL反應器中,將鉀-t-丁氧化物(1.45g,0.0130mol)之四氫呋喃(2.25mL)溶液,於20℃~40℃之範圍滴入,以100℃進行2小時之熟成。反應液以HPLC分析之結果,確認於化合物6之轉化率99%下,以選擇率58%合成化合物1,以選擇率32%合成單乙烯基單甲磺酸體(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為化合物7)。
1H-NMR(CDCl3):3.10(s、3H)、4.34(t、2H、J=3.6Hz)、4.49(dd、1H、J=1.2Hz、5.2Hz)、4.62(t、2H、J=3.6Hz)、4.81(dd、1H、J=1.2Hz、11.2Hz)、6.73(dd、1H、J=5.2Hz、11.2Hz)、7.06-7.83(m、20H)
於50mL反應器中,加入2-氯乙醇(3.00g,
0.048mol)、三乙胺(5.87g,0.058mol)、四氫呋喃(10.12mL),經氮取代後,冷卻至0℃。將甲烷磺醯氯化物(6.09g,0.053mol)以2小時時間滴入,經1小時熟成後,加入水使反應停止。添加乙酸乙酯,使有機層分離,以蒸發器餾除溶劑結果,以產率80%製得2-氯乙醇加成甲烷磺醯基所得之化合物(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為「ClEMs」)。
1H-NMR(CDCl3):3.09(s、3H)、3.77(t、2H、J=5.5Hz)、4.45(t、2H、J=5.5Hz)
於25mL反應器中,加入化合物5(1.00g,0.0022mol)、碳酸鉀(0.64g,0.0047mol)、二丙二醇二甲基醚(2.23mL),並以氮取代。於室溫下添加ClEMs(1.06g,0.0067mol)之二丙二醇二甲基醚(1.12mL)溶液後,升溫至60℃,進行15小時之熟成。反應液以HPLC分析之結果,確認於化合物5之轉化率17%下,以選擇率4%合成化合物4,以選擇率12%合成化合物8(下述式所表示之化合物)。
1H-NMR(CDCl3):3.86(t、2H、J=6.0Hz)、4.32(t、2H、J=6.0Hz)、7.09-7.82(m、20H)
於加入有化合物4(3.0g、0.0052mol),四氫呋喃(6.8mL)之25mL反應器中,將鉀-t-丁氧化物(0.58g,0.0052mol)之四氫呋喃(6.8mL)溶液於20℃~40℃之範圍內滴入。於60℃進行2小時熟成後,加入水使反應停止。有機層以HPLC分析之結果,確認於化合物4之轉化率57%下,以選擇率25%合成化合物1,以選擇率75%合成單乙烯基單氯體(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為化合物9)。
1H-NMR(CDCl3):3.84(t、2H、J=6.0Hz)、4.30(t、2H、J=6.0Hz)、4.48(dd、1H、J=1.6Hz、6.0Hz)、4.81(dd、1H、J=1.6Hz、13.6Hz)、6.72(dd、1H、J=6.0Hz、13.6Hz)、7.08-7.82(m、20H)
於200mL反應器中,加入9,9’-雙(4-(2-羥基乙氧基)苯基)茀(6.26g,0.0143mol)、吡啶(2.82g,0.0357mol)、二丙二醇二甲基醚(33.4mL)、四氫呋喃(33.7mL),經氮取代後,升溫至60℃。將氯化亞碸(Thionyl chlorid)(6.79g,0.0571mol)以2小時時間滴入,進行2小時之熟成。冷卻至30℃之後,加入水使反應停止,於15~20℃之範圍內滴入甲醇結果,以產率95%,製得目的物之羥基被氯取代之化合物(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為化合物10)。
1H-NMR(CDCl3):3.75(t、4H、J=6.0Hz)、4.14(t、4H、J=6.0Hz)、6.73-7.75(m、16H)
於加入有化合物10(5.0g、0.0105mol)、四氫呋喃(11.5mL)之100mL反應器中,將鉀-t-丁氧化物(3.53g,0.0315mol)之四氫呋喃(13.6mL)溶液,於20℃~40℃之範圍內滴入。於60℃進行2小時熟成後,加入水使反應停止。將有機層分液後,使用蒸發器以達化合物10之添加量的2重量倍之方式進行濃縮後,滴入甲醇,以產率79%製得9,9’-雙(4-乙烯氧基苯基)茀(下述式所表示之化合物,即,化合物3)之白色或灰白色固體。
1H-NMR(CDCl3):4.47(dd、2H)、4.81(dd、2H)、6.71(dd、2H)、7.12-7.82(m、16H)
於50mL反應器中,加入化合物5(3.00g,0.00666mol)、三乙胺(1.48g,0.0146mol)、吩噻
(9.00mg、0.0000452mol)、四氫呋喃(16.9mL),經氮取代後,冷卻至0℃。將丙烯醯基氯化物(1.51g,0.0166mol)以1小時時間滴入,進行2小時之熟成。加入水使反應停止,將有機層分液。以蒸發器餾除溶劑後,使用矽凝膠管柱色層分析法精製結果,以產率63%,製得目的物之二丙烯酸體(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為化合物11)之白色固體。
1H-NMR(CDCl3):6.03(dd、2H、J=1.5Hz、10.0Hz)、6.36(dd、2H、J=10.0Hz、17.5Hz)、6.63(dd、2H、J=1.5Hz、17.5Hz)、7.19-7.84(m、20H)
於50mL反應器中,加入化合物5(3.00g,0.00666mol)、三乙胺(1.48g,0.0146mol)、吩噻(9.00mg、0.0000452mol)、四氫呋喃(16.9mL),經氮取代後,冷卻至0℃。將甲基丙烯醯基氯化物(1.74g,0.0166mol)以1小時時間滴入後,緩緩升溫至40℃,進行2小時之熟成。加入水使反應停止,將有機層分液。以蒸發器餾除溶劑後,使用矽凝膠管柱色層分析法精製結
果,以產率73%製得目的物之二甲基丙烯酸體(下述式所表示之化合物。以下,亦稱為化合物12)之白色固體。
1H-NMR(CDCl3):2.08(s、6H)、5.77(s、2H)、6.38(s、2H)、7.18-7.84(m、20H)
將合成例5所得之化合物1以矽凝膠管柱色層分析法予以精製。以使用220nm之紫外線的HPLC,測定精製前之化合物1及精製後的化合物1之純度(化合物1及雜質的合計中,化合物1所佔之比例)。又,使用ICP-MS(衍生鍵結電漿質量分析),測定精製前之化合物1及精製後的化合物1中的金屬成份之含量。其結果係如表2所示。
將精製前的化合物1及精製後的化合物分別溶解於四氫呋喃中,以製作10質量%溶液,冷卻至-30℃後,將觸
媒量之三氟化硼添加至此溶液中,以製作反應液。由-30℃開始,以2℃/分鐘之比例,將此反應液昇溫,以紅外分光法觀察乙烯基開始減少之溫度,測定化合物1相互間之反應開始溫度,並依下述基準進行評估。又,以目視確認反應系是否產生著色。結果係如表2所示。
反應開始溫度之評估基準
S:反應開始溫度為0℃以下。
A:超過0℃且為20℃以下。
B:超過20℃。
由表2結果得知,經由矽凝膠管柱色層分析法精製之結果,確認可提高化合物1之純度,降低化合物1中的金屬成份,特別是鈉成份及鉀成份之含量。又,經由上述精製,可更降低化合物1相互間之反應的開始溫度,而可提高化合物1之反應性。此外,經由上述精製,確認可使反應時之著色受到抑制。
將以下各成份添加於3-甲氧基丁基乙酸酯(MA)/四甲基胺基甲酸酯(TMU)/丙二醇單甲基醚乙酸酯(PM)=55/10/35(質量比)之混合溶劑中,使用攪拌機混合1小時後,使用5μm的膜式過濾材過濾,製得濾液為固形成份濃度15質量%的負型感光性樹脂組成物。
樹脂(R-1)(固形成份55%、溶劑:3-甲氧基丁基乙酸酯)...60質量份
二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA、日本化藥公司製)...20質量份
「OXE-02」(商品名:BASF公司製)...10質量份
上述化合物1...10質量份
碳分散液「CF-黑」(商品名:御國色素股份有限公司製 固形成份25% 溶劑:3-甲氧基丁基乙酸酯)...400質量份
上述樹脂(R-1)之合成法係如以下所述。
首先,於500ml四口燒瓶中,添加雙酚茀型環氧樹脂(環氧基當量235)235g、四甲基銨氯化物110mg、2,6-二-tert-丁基-4-甲基酚100mg,及丙烯酸72.0g,於使用
25ml/分鐘速度對其吹入空氣間,以90~100℃下進行加熱溶解。其次,將溶液於白濁狀態下,徐徐昇溫,加熱至120℃使其完全溶解。此時,溶液緩緩形成透明黏稠狀,於該狀態下持續攪拌。此時,測定酸價,持續加熱攪拌至未達1.0mgKOH/g為止。酸價到達目標值為止,需時12小時。隨後冷卻至室溫,製得無色透明之固體狀的下述式(r-4)所表示之雙酚茀型環氧基丙烯酸酯。
其次,於依此方式所製得之上述之雙酚茀型環氧基丙烯酸酯307.0g中,加入3-甲氧基丁基乙酸酯600g,使其溶解後,與二苯甲酮四羧酸二酐80.5g及溴化四乙基銨1g混合,緩緩昇溫再於110~115℃下反應4小時。確認酸酐基消失之後,與1,2,3,6-四氫酞酸酐38.0g混合,於90℃下反應6小時,得樹脂(R-1)。酸酐基之消失係使用IR圖譜予以確認。
又,該樹脂(R-1)相當於上述通式(r-1)所表示之化合物。
實施例2及比較例2~6中,除分別使用上述化合物3及比較化合物1~5替代化合物1以外,其他皆依實施例1相同方法製作負型感光性樹脂組成物。又,比較例1中,除不使用化合物1以外,其他皆依實施例1相同方法製得負型感光性樹脂組成物。
將實施例1、2、比較例1~6之負型感光性樹脂組成物,使用旋轉塗佈器塗佈於玻璃基板(100mm×100mm)上,於90℃下進行120秒鐘預燒焙,形成膜厚1.0μm之塗膜。其次,使用鏡式投影對準機(製品名:TME-150RTO、股份有限公司Topcone製),將曝光間隙設定為50μm,介由形成有5、10、15、20μm的線路圖型的負遮罩,將紫外線照射塗膜。曝光量設定為10mJ/cm2。曝光後之塗膜,使用26℃之0.04質量%KOH水溶液進行40秒鐘顯影後,於230℃下進行30分鐘後燒焙,而形成線路圖型。
使用光學顯微鏡觀察所形成的線路圖型,並評估其圖型密著性。圖型密著性,於形成無法由基板剝離之線路圖型者評估為「良好」、由基板剝離而無法形成線路圖型者評估為「無」。
結果係如下述表3所示。
由表3結果得知,使用分別含有上述通式(1)所表示之化合物1及3的實施例1及2的負型感光性樹脂組成物之情形中,即使在10mJ/cm2之低曝光量下,5μm之線路圖型亦密著於基板。
相對於此,使用不含有上述通式(1)所表示之化合物的比較例1之負型感光性樹脂組成物,及,不含有上述通式(1)所表示之化合物,而分別含有比較化合物1~5的比較例2~6的負型感光性樹脂組成物的情形中,由表3結果得知,其圖型密著性較實施例1及2為更差,而未能得到可形成良好的微細圖型之特性。
.上述通式(1)所表示之化合物,或比較化合物
化合物1:合成例1所得之化合物1
化合物3:合成例3所得之化合物3
比較化合物7:下述式所表示之化合物
比較化合物8:下述式所表示之化合物
PAG:CPI-210S(商品名、SAN-APRO公司製)
PBG:WPBG-140(商品名、和光純藥公司製)
TAG:2-硝基苄基甲苯磺酸酯
將表4所記載之酸產生劑或鹼產生劑0.3g均勻地溶解於環己酮10g中,於所得溶液中,加入表4所記載的化合物或比較化合物10g,製得室溫溶解之組成物。
將所得組成物使用塗佈器塗佈於玻璃基板上,於熱板上以100℃、120秒鐘加熱,製得塗膜。使用寬頻(broadband)光線照射該塗膜,照射後之塗膜於烘箱以180℃、20分鐘加熱,形成由上述組成物的硬化物所形成的膜厚10μm之薄片。依JIS Z 0208準則,對依特定尺寸切斷之上述薄片,測定其60℃、90%RH條件下之透濕度(g/(m2.24h)),並依以下基準進行評估。其結果係如表4所示。
◎:透濕度未達30g/(m2.24h),表示極佳且良好之低透濕性。
○:透濕度為30g/(m2.24h)以上、未達35g/(m2.24h),表示良好的低透濕性。
×:透濕度為35g/(m2.24h)以上,表示不良之低透濕性。
與低透濕性評估之相同方法,形成膜厚2.0μm之薄片。使用透過率計,測定該薄片之400nm中的光透過率,並依以下基準進行評估。結果係如表4所示。
◎:光透過率為97%以上,表示為極良好。
○:光透過率為95%以上、未達97%,表示為良好。
×:光透過率為未達95%,表示為不良。
與評估低透濕性之情形相同般,形成膜厚2.0μm之薄片。依IEC 68-2-66規定,於100℃、RH120%環境下,將上述薄片放置24小時,進行PCT。PCT後,以目視觀察上述薄片,並依以下基準進行評估。結果係如表4所示。
◎:薄片未有剝離或殘缺、具有極良好之耐濕性。
○:薄片為有缺陷者,未有剝離、具有良好的耐濕性。
×:觀察薄片產生剝離,其耐濕性不佳。
由表4結果得知,由含有上述通式(1)所表示之化合物1或3的實施例3~8之組成物所得之薄片,為低透濕性、光透過率,及耐濕性皆極為良好者。
相對於此,由不含有上述通式(1)所表示之化合物,而含有比較化合物7的比較例7之組成物所得之薄片,無論低透濕性、光透過率,及耐濕性等皆為不佳。
又,由不含有上述通式(1)所表示之化合物,而含有比較化合物8之比較例8之組成物所得之薄片,雖顯示出良好的光透過率及耐濕性,但低透濕性為不佳者。
.上述通式(1)所表示之化合物
化合物1:合成例1所得之化合物1
化合物2:合成例2所得之化合物2
.光聚合性單體
單官能單體1:月桂基丙烯酸酯
多官能單體1:二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA、日本化藥公司製)
.光聚合起始劑1:「OXE-02」(商品名:BASF公司製)
.酸產生劑或鹼產生劑
PAG1:CPI-210S(商品名、SAN-APRO公司製)
PBG1:WPBG-140(商品名、和光純藥製)
.酚樹脂1:聚羥基苯乙烯(質量平均分子量:5,000)
.環氧化合物1:下述式所表示之環氧化合物
.環氧化合物2:Epikote(現jER)828(商品名、雙酚A型環氧樹脂、日本環氧樹脂(股)製(現三菱化學(股)製))
.三化合物1:下述式所表示之含環氧基之三化合物
.含矽化合物1:下述式(式中,m為5~10之數)所表示之矽醇化合物(黏度10cm2/s)
.結晶化阻礙劑1:KOH
.密著增強劑1:下述式所表示之矽烷偶合劑
.界面活性劑1:BYK-310(商品名、矽氧系界面活性劑、大化學公司製)
.界面活性劑2:APX4082B(商品名、氟系界面活性劑、共榮公司化學製)
.無機填料1:TiO2
.溶劑1:環己酮
.溶劑2:乙酸
依表5記載之種類及量(質量份),將各成份於室溫均勻混合製得組成物。又,實施例9中,單官能單體1,於室溫下為液體,因其可溶解化合物1,故即使不添加溶劑,亦可製得液狀之組成物。又,實施例10~34中,以使組成物的固形成份濃度達15質量%之方式調整溶劑之量。
由所得之組成物製得硬化膜,該硬化膜,依對化合物1、3、比較化合物1~6之相同評估,分別測定鉛筆硬度、折射率,及耐熱性(質量減少5%之溫度Td5%)。結果係如表6所示。
又,組成物之硬化方法係如表6所示。表6中,「熱反應」表示,與對化合物1、3、比較化合物1~6之評估方式為相同般,為將組成物加熱而製得硬化膜之意。另一方面,表6中,「光反應」表示,使用塗佈器將組成物塗佈於玻璃基板上,於熱板上以80℃進行2分鐘加熱(預燒焙)之後,對塗膜以寬頻(broadband)光進行曝光,於熱板上以70℃進行2分鐘加熱(PEB)之方式製得硬化膜之意。
依實施例1及2及比較例1~6相同方式,由實施例13或14之組成物形成5μm之線路圖型,評估其圖型密著性。圖型密著性,以形成無法由基板剝離之線路圖型者為「良好」、可由基板剝離、無法形成線路圖型者為「無」之方式進行評估。結果係如表6所示。
將實施例16或17之組成物使用塗佈器塗佈於玻璃基板上。於熱板上以80℃進行2分鐘加熱(預燒焙)。加熱後之塗膜使用寬頻光曝光。熱板上以70℃進行2分鐘加熱(PEB)後,使用2.38質量%TMAH水溶液進行顯影,進行負型圖型之形成。
使用顯微鏡確認圖型是否形成。於形成圖型之情形,圖型形成特性判定為良好(○),未形成圖型之情形,圖
型形成特性判定為不良(×)。結果係如表6所示。
如表5及6所示,實施例9~34所得之硬化膜,具有高鉛筆硬度,又具有良好之折射率及耐熱性。實施例9中,單官能單體1於室溫為液體,因可溶解化合物1,故即使不添加溶劑時,亦可製得液狀之組成物。又,單官能單體1本身具有作為光聚合起始劑之機能,故實施
例9及12之組成物,即使不含有光聚合起始劑,亦可因光反應而硬化。實施例13及14中,即使於10mJ/cm2之低曝光量下,其所形成之5μm線路圖型亦密著於基板。實施例16及17之組成物,具有優良之圖型形成(Patterning)特性。
.上述通式(1)所表示之化合物
化合物1:合成例1所得之化合物1
.溶劑
溶劑1:環己酮(沸點:156℃、鋁基板接觸角:27°、玻璃基板接觸角:2°)
溶劑3:四氫呋喃(沸點:66℃、鋁基板接觸角:15°、玻璃基板接觸角:0°)
溶劑4:二乙二醇二丁基醚(沸點:256℃、鋁基板接觸角:0°、玻璃基板接觸角:5°)
溶劑5:1,6-己二醇二丙烯酸酯(沸點:260℃、鋁基板接觸角:30°、玻璃基板接觸角:3°)
又,玻璃基板接觸角之測定,為使用EAGLE XG(登錄商標)玻璃基板(康寧公司製)。
於表7所記載之種類及量(質量份)的溶劑中,使表7所記載之量(質量份)的化合物1於室溫下均勻溶解而得組成物。為評估該組成物所得之硬化膜的平坦性等,而將該組成物使用旋轉塗佈器塗佈於具有寬1μm、深0.7μm之溝的鋁基板上,於100℃進行120秒鐘預燒焙,形成乾燥塗膜(膜厚2.0μm)。將該乾燥塗膜於230℃進行20分鐘後燒焙,得硬化膜(膜厚1.7μm)。又,膜厚為測定基板表面上,不具有溝之部份所得者。使用SEM觀察硬化膜之截面,並依下述基準評估硬化膜之平坦性。
○:無論有無溝,於硬化膜之表面皆未觀察出凹凸,顯示良好之平坦性。
×:配合溝之有無,而硬化膜表面觀察出凹凸,顯示其平坦性不佳。
如表7所示,無論使用任一溶劑之情形,化合物1所得之硬化膜,皆顯示出良好的平坦性。
Claims (11)
- 一種含有下述通式(1)所表示之含乙烯基之化合物的組成物,
- 如請求項1之組成物,其中,前述環Z為苯環或萘環。
- 如請求項1之組成物,其中,前述R1為單鍵。
- 一種組成物,其特徵為,含有含下述通式(10)所表示之單乙烯基及單(甲基)丙烯醯氧基之化合物,
- 如請求項4之組成物,其中,環Z為苯環或萘環。
- 如請求項4之組成物,其中,R1為單鍵。
- 一種組成物,其特徵為,含有下述通式(19)所表示之含(甲基)丙烯醯氧基之化合物,
- 如請求項7之組成物,其中,環Z為苯環或萘環。
- 如請求項7之組成物,其中,R1為單鍵。
- 如請求項1至9中任一項之組成物,其尚含有酸產生劑或鹼產生劑。
- 一種成型體,其特徵為,由請求項10之組成物的硬化物所形成。
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