KR19980081544A - 유체 제어기용 가열 장치 - Google Patents

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KR19980081544A
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오가와슈헤이
가부시키가이샤후지킨
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Abstract

유체 제어기용 가열 장치는 가열해야 할 유체 제어기의 본체의 대향하는 한쌍의 측면에 절연층를 통해 접촉되는 한쌍의 판형 측면 히터와, 측면 히터 끼워맞춤 오목부를 가지고 또한 서로 나사로 결합되어 유체 제어기 본체를 양측에서 협지하는 한쌍의 측부 유지 부재와, 측면 히터와 측면 히터 끼워맞춤 오목부의 저면과의 사이에 개재되어 측면 히터를 유체 제어기 본체 측면에 가압하는 쿠션 부재를 구비하고 있다.

Description

유체 제어기용 가열 장치
본 발명은 펄프 등을 가열하는 유체 제어기용 가열 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 장치에 이용되는 펄프 등의 유체 제어기에서는 상온에서는 액체인 유체를 가스화하여 흐르게 할 때의 재액화의 방지 등을 위해 가열하지 않으면 안되는 경우가 있다. 가열 장치로서 예컨대 테이프 히터를 사용한 것이 있지만, 열효율 및 설치시의 작업성을 향상시키기 위해서, 유체 제어기와 일체적으로 조립된 전용 가열 장치가 요구되는 경우가 있다.
종래, 이러한 전용 유체 제어기용 가열 장치로서, 통형의 히터와, 통형의 히터와 유체 제어기 본체 사이의 극간에 개재(介在)되는 열전도재에 의해 이루어지는 것(일본 특허 공보 평4-64788호 참조)이 알려져 있다.
상기 종래의 유체 제어기용 가열 장치에서는 통형의 히터와 유체 제어기 본체 사이에 극간이 있기 때문에, 극간에 열전도재를 개재시켰다고 해도, 유체 제어기 본체와 열전도재 사이 및 열전도재와 히터 사이에 공기층이 생기기 쉽고, 열효율이 나쁘다고 하는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은, 유체 제어기 본체와 히터 사이에 공기층이 생기는 것을 방지하고, 열효율이 좋은 유체 제어기용 가열 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 의한 유체 제어기용 가열 장치는, 가열해야 할 유체 제어기의 본체의 대향하는 한쌍의 측면에 절연층을 통해 접촉되는 한쌍의 판형 측면 히터와, 측면 히터 끼워맞춤 오목부를 가지고 또한 서로 나사로 결합되어 유체 제어기 본체를 양측에서 협지하는 한쌍의 측부 유지 부재와, 측면 히터와 측면 히터 끼워맞춤오목부의 저면과의 사이에 개재되어 측면 히터를 유체 제어기 본체 측면에 가압하는 쿠션 부재를 구비하고 있는 것이다.
측면 히터는 전압을 인가하기만 해도 일정 온도가 얻어지는 자동 온도 제어기능이 갖추어진 정온도 발열체가 바람직하다.
본 발명의 유체 제어기용 가열 장치에 의하면, 유체 제어기 본체와 측면 히터 사이에는, 별도의 부재로 된 열전도재를 개재시키는 일 없이, 측면 히터를 쿠션 부재에 의해 유체 제어기 본체 측면에 가압할 수 있으므로, 유체 제어기 본체와 히터 사이에 공기층이 생기는 일이 없고 열효율이 향상된다.
유체 제어기 본체의 저면에 절연층을 통해 접촉되는 판형 저면 히터와, 저면 히터 끼워맞춤 오목부를 가지고 또한 유체 제어기 본체의 저면에 나사로 결합되는 저부 유지 부재와, 저면 히터와 저면 히터 끼워맞춤 오목부의 저면 사이에 개재되어 저면 히터를 유체 제어기 본체 저면에 가압하는 쿠션 부재를 추가로 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 유체 제어기 본체를 저면측에서도 가열할 수 있으므로, 한층 더 열효율이 향상된다. 이러한 구성의 유체 제어기용 가열 장치는 본체의 하부에 출입구 관 이음부가 있고, 측면 히터를 본체의 하부 측면에 접촉시키기 어려울 때에 적합하다.
절연층은 히터의 표면에 절연성 피막을 코팅하여도 좋고, 실리콘제 등의 절연시이트를 유체 제어기 본체와 히터 사이에 개재시키도록 하여도 좋다. 또한, 절연시이트로서, 표면에 알루마이트 처리를 행한 알루미늄제의 박판을 이용함으로써, 알루마이트 처리로 절연성을 확보하고, 알루미늄에 의하여 히터로부터 유체 제어기 본체에의 전열성을 향상시키도록 하여도 좋다. 유지 부재에 절연 시이트, 히터 및 쿠션 부재를 고정하는데는, 유지 부재의 히터 수납 오목부의 저면에 나사 구멍을 뚫고, 이것에 대응하여, 절연 시이트, 히터 및 쿠션 부재에 각각 나사 삽입 통과 구멍을 뚫고, 절연 시이트측에서 접시머리 작은 나사 등의 나사를 삽입 통과하여 유지 부재의 나사 구멍에 나사 맞춤하면 된다. 이 때에, 히터의 나사 삽입 통과 구멍 주변부는, 히터의 표면보다도 오목하게 되어 있고, 나사의 머리와 본체 사이에는 절연성을 확보하기 위한 극간이 형성되는 것이 바람직하다.
히터가 한쌍의 측면 히터 및 저면 히터의 총3개일 때에는, 3개의 히터를 병렬에 접속하거나, 측면 히터끼리 직렬로 접속하고, 저면 히터를 이들과 병렬로 접속한다. 돌입 전류(전압 인가 후에 흐르는 최대 전류)를 낮게 하기 위해서는, 측면 히터끼리 직렬로, 저면 히터를 이들과 병렬로 접속하는 것이 바람직하다.
도 1은 본 발명에 의한 유체 제어기용 가열 장치의 제1 실시 형태를 나타내는 분해 사시도.
도 2는 동일 가열 장치의 조립 상태를 나타내는 사시도.
도 3은 동일 가열 장치의 일부를 절결한 정면도.
도 4는 본 발명에 의한 유체 제어기용 가열 장치의 제2 실시 형태를 나타내는 분해 사시도.
도 5는 동일 가열 장치의 조립 상태를 나타내는 사시도.
도 6은 동일 가열 장치의 일부를 절결한 정면도.
도 7은 본 발명에 의한 유체 제어기용 가열 장치에 있어서의 바람직한 히터고정 수단을 나타내는 분해 사시도.
도 8은 동일 단면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1, 41 : 유체 제어기
2, 42 : 본체
12 : 측면 히터
12a : 코팅층
13, 52 : 절연 시이트
14, 15, 54, 55 : 좌우 유지 부재
17 : 쿠션 부재
20, 58, 61 : 오목부
25, 27 : 볼트
53 : 저면 히터
56 : 저부 유지 부재
57 : 쿠션 부재
본 발명의 실시 형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 좌우는 도 3의 좌우를 말하며, 도 3의 지면의 표시된 쪽을 앞, 이 반대를 뒤라 한 것이다.
도 1에서 도 3까지는 본 발명의 유체 제어기용 가열 장치의 제1 실시 형태를 나타내고 있다.
동일 도면에 도시된 바와 같이, 가열해야 할 유체 제어기(1)는 직방체 블록형의 본체(2)와, 본체(2)의 정상면에 설치되고 또한 액츄에이터부를 수납한 원통형의 액츄에이터 케이스(3)를 구비하고 있다. 본체(2)와 액츄에이터부는 일단부가 액츄에이터 케이스(3) 안에 삽입되어 지지된 보닛의 타단부가 본체(2) 안에 삽입되고 또한 박스 너트(5)에 의해 고정됨으로써 접속되어 있고, 박스 너트(5)의 바로 위에 보닛의 일부(4)가 노출되어 있다. 본체(2)의 전후면에는 본체(2) 안의 유로에 통하는 출입구 관이음부(6)가 각각 설치되어 있다.
그리고, 가열 장치(11)는 유체 제어기 본체(2)의 좌우측면에 실리콘제 절연 시이트(13)를 통해 접촉되는 좌우의 판형 측면 히터(12)와, 좌우의 측면 히터(12)를 각각 유지하는 동시에 서로 결합되어 유체 제어기 본체(2)를 좌우 양측에서 협지하는 좌우 유지 부재(14,15)와, 유체 제어기 본체(2)의 하면에 대어진 돌출형 중앙부(16a) 및 좌우 유지 부재(14,15)의 하면에 대어진 수평 단면 사각형의 외주 가장자리부(16b)로 이루어지는 수평판형의 저부 유지 부재(16)를 구비하고 있다.
좌우 유지 부재(14,15) 및 저부 유지 부재(16)는 열가소성 강화 폴리에스테르 수지에 의해 형성되어 있다.
좌우 유지 부재(14,15)는 대략 직방체 블록형이 되어, 그 상면은 보닛 노출부(4)의 상단부에 있고, 그 하면은 유체 제어기 본체(2) 하면으로부터 약간 아래쪽으로 돌출되어 있다. 좌우 유지 부재(14,15)의 유체 제어기 본체(2)에 대향하는 면에는 위에서 순서대로, 수평 단면 반원의 보닛 노출부 수납 오목부(18), 수평 단면 반원의 박스 너트 수납 오목부(19), 수평 단면 사각형의 측면 히터 수납 오목부(20) 및 수평 단면 사각형의 저부 유지 부재 중앙부 수납 오목부(21)가 설치된다. 동일면에는 또한 수직 단면 반원형이고, 좌우 유지 부재(14,15)의 전후측면으로부터 측면 히터 수납 오목부(20)의 전후 측면까지 통하여 있는 출입구 관이음부 수납 오목부(22)가 설치된다.
좌의 유지 부재(14)에는 이것을 좌우로 관통하는 볼트 삽입 통과 구멍(23)가 뚫어지고, 우측의 유지 부재(15)에는, 좌우로 신장된 나사 구멍(24)이 뚫어지고, 육각 구멍 부착 볼트(25)가 좌의 유지 부재(14)의 좌측으로부터 우측의 유지 부재(15)의 나사 구멍(24)에 비틀어 넣어짐으로써, 좌우의 유지 부재(14,15)끼리 결합되어 있다. 저부 유지 부재(16)에는, 볼트 삽입 통과 구멍(16c)이 뚫어지고, 육각 구멍 부착 볼트(27)가 저부 유지 부재(16)의 하면측에서 유체 제어기 본체(2) 저부에 뚫어진 나사 구멍(26)에 비틀어 넣어짐으로써, 저부 유지 부재(16)가 유체 제어기 본체(2)에 결합되어 있다. 이렇게 해서, 좌우 유지 부재(14,15) 및 저부 유지 부재(16)에 의해, 액츄에이터 케이스(3) 및 출입구 관이음부(6)를 제외하는 유체 제어기(1)의 부분(2,4,5)이 커버되어 있다.
보닛 노출부 수납 오목부(18) 및 박스 너트 수납 오목부(19)는 어느것이나 대응하는 보닛 노출부(4) 및 박스 너트(5) 사이에 얼마안되는 극간이 생길 수 있는 정도의 크기로 되어 있다. 측면 히터 수납 오목부(20)의 저면과 유체 제어기 본체(2)의 좌우 측면과의 사이에는 절연 시이트(13) 및 측면 히터(12)의 합계 두께보다도 큰 간극이 벌어져 있고, 측면 히터 수납 오목부(20)의 저면과 측면 히터(12) 사이에, 실리콘 스펀지 매트로 이루어지는 쿠션 부재(17)가 수납되어 있다. 쿠션 부재(17)는 쿠션성 및 단열성을 가지고 있고, 쿠션 부재(17)의 두께는 좌우 유지 부재(14,15) 체결용의 육각 구멍 부착 볼트(25)가 비틀어 넣어져 좌우의 유지 부재(14,15)끼리 결합되었을 때에, 쿠션 부재(17)가 얇게 되어 측면 히터(12)를 유체 제어기 본체(2) 측면에 가압할 수 있는 탄성력을 얻을 수 있는 두께로 되어 있다. 이로써 유체 제어기 본체(2)와 측면 히터(12) 사이에 온도 상승을 나쁘게 하는 공기층이 개재하는 것이 방지된다.
측면 히터(12)는, 자동 온도 제어 기능이 갖추어진 정온도 발열체이고, 전압을 인가하기만 해도 일정 온도가 얻어진다. 따라서, 니크롬 히터 사용시와 같이, 서머스탯(thermostat) 등의 온도 조절기를 부가할 필요가 없고, 또한, 이상 온도 상승이라든지 이것에 의한 히터 자체의 단선 등의 걱정이 없다. 이러한 발열체로는 예컨대, 무라타 제작소에서 제조한 「퍼지스타」가 있다. 삽통 측면 히터(12)의 표면(유체 제어기 본체(2)에 대향하는 면) 및 이면에는, 절연용의 30㎛ 테플론 코팅층(12a)이 설치된다. 측면 히터(12) 표면의 테플론 코팅층(12a) 및 상술한 절연 시이트(13)에 의해, 유체 제어기 본체(2)와 측면 히터(12)의 발열체 사이 이중 절연 구조로 되어 있어, 안전성 향상이 도모된다.
측면 히터(12)의 리드선(28)은 측면 히터(12) 이면에 납땜되어 있고, 측면 히터 수납 오목부(20) 내에서는 측면 히터(12) 이면과 쿠션 부재(17) 사이에 끼워져 있다. 리드선(28)은 좌우 유지 부재(14,15)의 전면으로부터 측면 히터 수납 오목부(20)에 통하는 관통공으로부터 꺼내어진다. 리드선(28)은 케이블 클램프(29)에 의해 좌우 유지 부재(14,15)의 전면에 지지되어 있다. 따라서, 리드선(28)이 외부에서 잡아 당겨지더라도 측면 히터 수납 오목부(20) 안의 리드선(28)이 잡아 당겨지는 일은 없고, 측면 히터(12)의 납땜부가 잡아 당겨져 빠지는 일이 없다. 리드선(28)은 과전류 방지용 퓨즈를 구비한 전원 접속용 케이블과 커넥터(31)를 통해 접속되어 있다. 커넥터(31)에는 히터 통전 표시용 네온 램프(30)의 리드선도 접속되어 있고, 측면 히터(12)의 가열 상태를 확인할 수 있다.
이 유체 제어기용 가열 장치(11)에 의하면, 좌우 유지 부재(14,15)는 유체 제어기(1)의 출입구 관이음부(6)와 간섭하는 일 없이, 유체 제어기(1)의 좌우양측에서 장치할 수 있기 때문에, 유체 제어기(1)의 출입구 관이음부(6)에 배관이 접속되어 있더라도 배관을 빼내지 않고서 가열 장치(ll)를 설치할 수 있다.
또, 저부 유지 부재(16)는 유체 제어기 본체(2)의 저부로부터의 방열을 억제할 필요가 있을 때만 사용하도록 하여도 좋다. 또한, 좌우 유지 부재(14,15)의 외면 및 저부 유지 부재(16)의 내외면에 단열재를 장치하여, 단열성을 보다 향상시키고, 유체 제어기(1)의 가열 온도를 상승시키도록 하여도 좋다. 또한, 실리콘제절연 시이트(13)를 대신하여, 표면에 30㎛의 알루마이트 처리를 행한 알루미늄제의 플레이트를 이용하도록 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 절연성이 확보되는것에 더하여, 측면 히터(12)에 의해서 열전도성이 좋은 알루미늄제 플레이트의 전체가 가열되고, 이로써 유체 제어기 본체(2)에의 열전도가 넓은 면적에 걸쳐 행해지게 되어, 가열 효과를 증가시킬 수 있다.
도 4에서 도 6까지는 본 발명의 유체 제어기용 가열 장치의 제2 실시 형태를 나타내고 있다.
동일 도면에 도시된 바와 같이, 가열해야할 할 유체 제어기(41)는 수직 단면이 오각형이고, 좌우 측면, 전후면, 전후폭이 짧은 상면, 전후폭이 길다란 하면 및 상면과 전후면 사이에 설치된 전후 경사면을 가지는 블록형의 본체(42)와, 본체(42)의 전후 경사면에 각각 설치되고 또한 액츄에이터부를 수납한 2개의 원통형 액츄에이터 케이스(43,44)와, 본체(42)의 좌우 측면 하부에 각각 설치된 좌우의 출입구 관이음부(45)와, 본체(42)의 전면 중앙부에 설치된 앞부분 출입구 관이음부(46)를 구비하고 있다.
그리고, 가열 장치(51)는 유체 제어기 본체(42)의 좌우측면에 절연 시이트(13)를 통해 접촉되는 좌우의 판형 측면 히터(12)와, 좌우의 측면 히터(12)를 각각 유지하는 동시에 서로 결합되어 유체 제어기 본체(42)의 출입구 관이음부(45)보다도 위의 부분을 좌우 양측에서 협지하는 좌우 유지 부재(54,55)와, 유체 제어기 본체(42)의 하면에 절연 시이트(52)를 통해 접촉되는 판형 저면 히터(53)와, 저면 히터(53)를 유지하는 동시에 유체 제어기 본체(42) 저부에 결합되는 저부 유지 부재(56)를 구비하고 있다.
측면 히터(12) 및 저면 히터(53)는 제1 실시 형태의 측면 히터(12)와 같은 것이다.
좌우 유지 부재(54,55) 및 저부 유지 부재(56)는 열가소성 강화 폴리에스테르 수지에 의해 형성되어 있다.
좌우 유지 부재(54,55)는 유체 제어기 본체(42)의 출입구 관이음부(45)보다도 위의 부분의 형상에 대응한 수직 단면이 오각형의 블록형으로 되고, 그 상면은, 유체 제어기 본체(42)의 상면보다도 상측으로 돌출되어 있다. 좌우 유지 부재(54,55)의 유체 제어기 본체(42)에 대향하는 면에는 직방체형의 측면 히터 수납 오목부(58)가 설치된다. 좌우 유지 부재(54,55)의 상단부에는 유체 제어기의 2개의 액츄에이터 케이스(43,44)에 간섭하지 않도록 대향하는 유지 부재(55,54)측으로 신장된 돌출형 연장부(59)가 각각 설치되고, 좌우 유지 부재(54,55)의 돌출형 연장부(59)의 선단끼리 맞대어져 있다. 돌출형 연장부(59)의 하면과 유체 제어기 본체(42)의 상면 사이에는 극간이 형성되어 있고, 그래서 직방체 블록형의 스페이서(60)가 수납되어 있다.
저부 유지 부재(56)는 유체 제어기 본체(42)의 저면과 같은 수평 단면 형상을 가지는 직방체 블록형으로 되어 있다. 저부 유지 부재(56)의 상면에는 직방체형의 저면 히터 수납 오목부(61)가 설치된다.
좌의 유지 부재(54)의 상부에는 돌출형 연장부(59)를 좌우로 관통하는 볼트 삽입 통과 구멍(62)이 뚫어지고, 우측의 유지 부재(55)의 돌출형 연장부(59)에는 좌우로 신장된 나사 구멍(63)이 뚫어지고, 육각 구멍 부착 볼트(25)가 좌의 유지 부재(54)의 좌측에서 우측의 유지 부재(55)의 나사 구멍(63)에 비틀어 넣어져 있다. 또한, 좌우 유지 부재(54,55)의 전후면에는 양자를 결합하기 위한 브래킷(64)이 설치되어 있다. 좌의 유지 부재(54)의 브래킷(64)에는 육각 구멍 부착 볼트(25)의 삽입 통과 구멍을 가지고 있는 귀부(65)가 설치되고, 우측의 유지 부재(55)의 브래킷(64)에는 육각 구멍 부착 볼트(25)를 비틀어 넣는 나사 구멍을 가지는 귀부(66)가 설치된다. 이렇게 해서, 총 3개의 육각 구멍 부착 볼트(25)에 의해, 좌우의 유지 부재(54,55)끼리 결합되어 있다. 저부 유지 부재(56)에는 이것을 상하로 관통하는 볼트 삽입 통과 구멍(67)이 뚫어지고, 육각 구멍 부착 볼트(27)가 저부 유지 부재(56)의 저면측에서 유체 제어기 본체(42) 저부에 뚫어진 나사 구멍(68)에 비틀어 넣어짐으로써, 저부 유지 부재(56)가 유체 제어기 본체(42)에 결합되어 있다. 이렇게 해서, 좌우 유지 부재(54,55) 및 저부 유지 부재(56)에 의해 액츄에이터 케이스(43,44) 및 출입구 관이음부(45,46)의 간섭을 피하고, 유체 제어기 본체(42)가 커버되어 있다.
측면 히터 수납 오목부(58)의 저면과 유체 제어기 본체(42)의 좌우측면 사이에는, 절연 시이트(13) 및 측면 히터(12)의 합계 두께보다도 큰 간극이 벌어져 있고, 측면 히터 수납 오목부(58)의 저면과 측면 히터(12) 사이에, 실리콘 스펀지 매트로 이루어지는 쿠션 부재(17)가 수납되어 있다. 여기서, 측면 히터 수납 오목부(58), 절연 시이트(13), 측면 히터(12) 및 쿠션 부재(17)의 측면으로부터 본 크기는 전부 대략 같게 되어 있다. 쿠션 부재(17)는 쿠션성 및 단열성을 가지고 있고, 쿠션 부재(17)의 두께는 좌우 유지 부재(54,55) 체결용의 육각 구멍 부착 볼트(25)가 비틀어 넣어져 좌우의 유지 부재(54,55)끼리 결합되었을 때에, 쿠션 부재(17)가 얇아져서 측면 히터(12)를 유체 제어기 본체(42) 측면에 가압할 수 있는 탄성력을 얻을 수 있는 두께로 되어 있다. 이로써 유체 제어기 본체(42) 좌우측면과 측면 히터(12) 사이에 온도 상승을 나쁘게 하는 공기층이 개재하는 것이 방지된다. 또한, 저면 히터 수납 오목부(61)의 저면과 유체 제어기 본체(42)의 하면 사이에는 절연 시이트(52) 및 저면 히터(53)의 합계 두께보다도 큰 간극이 벌어져 있고, 저면 히터 수납 오목부(61)의 저면과 저면 히터(53) 사이에 실리콘 스펀지 매트로 이루어지는 쿠션 부재(57)가 수납되어 있다. 쿠션 부재(57)는 쿠션성 및 단열성을 가지고 있고, 쿠션 부재(57)의 두께는 저부 유지 부재(56) 체결용의 육각 구멍 부착 볼트(27)가 비틀어 넣어져 저부 유지 부재(56)가 유체 제어기 본체(42)의 하면에 결합되었을 때에, 쿠션 부재(57)가 얇아져서 저면 히터(53)를 유체 제어기 본체(42) 하면에 가압할 수 있는 탄성력을 얻을 수 있는 두께로 되어 있다. 이로써, 유체 제어기 본체(42)의 하면과 양면 히터(53) 사이에 온도 상승을 나쁘게 하는 공기층이 개재하는 것이 방지된다.
또, 저면 히터의 리드선(28) 등에 관해서는 제1 실시 형태와 동일하므로, 동일한 구성인 것에 같은 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
이 유체 제어기용 가열 장치(51)에 의하면, 유체 제어기 본체(42)를 좌우 양측면측 및 저면측의 세 방면으로부터 가열할 수 있으므로, 열효율이 우수하다. 다만, 저면 히터(53) 및 저부 유지 부재(56)는 반드시 필요한 것이 아니다. 저부 유지 부재(56)를 장치할 때에는 배관전에 장치하여 놓는다. 좌우 유지 부재(54) (55)는 유체 제어기(41)의 액츄에이터 케이스(43,44) 및 출입구 관이음부(45,46)와 간섭하는 일 없이, 유체 제어기(41)의 좌우면측에서 장치할 수 있기 때문에, 유체 제어기(41)의 출입구 관이음부(45,46)에 배관이 접속되어 있더라도 배관을 빼내지 않고서 설치할 수 있다.
제2 실시 형태에서는, 유체 제어기 본체(42)의 온도를 소정 온도로 유지하기위한 온도 제어 방법으로서, 온도 컨트롤러에 의한 전압의 ON-OFF 제어가 바람직하다. 온도 제어용의 센서로는 예컨대, 백금 박막 온도 센서라든지 시스(sheath)형 K 타입 열전대(thermocouple)가 사용된다. 그리고, 한쌍의 측면 히터(12) 및 저면 히터(53)를 전원에 접속하기 위해서는, 예컨대, 3개를 병렬에 접속하거나, 2개를 직렬로, 나머지 1개를 이들과 병렬로 하는 것이 바람직하다. 특히 바람직한 것은, 한쌍의 측면 히터(12)끼리 직렬 접속하고, 저면 히터(53)를 이들과 병렬로 접속하는 것이다.
또한, 제1 및 제2 실시 형태에 있어서, 절연 시이트(13,52), 히터(12,53) 및 쿠션 부재(17,57)는 유지 부재(14,15,54,55,56)의 히터 수납 오목부(20,58,61)에 수납되어 있지만, 아래와 같이 하여, 이들을 유지 부재(14,15,54,55,56)에 고정하여 두는 것이 바람직하다.
도 7 및 도 8에 있어서, 유지 부재(15)의 히터 수납 오목부(20)의 저면에는 전후 2개의 좌우로 신장된 나사 구멍(71)이 뚫어지고, 이것에 대응하여, 절연 시이트(13), 히터(12) 및 쿠션 부재(17)에는 각각 나사삽입 통과 구멍(72,73,74)가 뚫어져 있다. 그리고, 절연 시이트(13) 측에서 접시머리 작은 나사(70)가 삽입 통과되어 유지 부재(15)의 나사 구멍(71)에 나사 맞춤되어 있다. 측면 히터(12)의 나사 삽입 통과 구멍(73) 둘레 가장자리부에는 히터(12)의 표면보다도 오목하게 되어 있는 오목부(73a)가 설치되고 있고, 접시머리 작은 나사(70)의 머리와 유체 제어기 본체(2) 사이에는 도 8에 도시된 바와 같이, 절연성을 확보하기 위한 극간이 형성되어 있다. 접시머리 작은 나사(70)의 체결량을 조정함으로써, 접시머리 작은 나사(70)의 체결후의 쿠션 부재(l7)의 두께가 조정되고, 이로써, 히터(12)를 유체 제어기 본체(2)에 가압하는 쿠션 부재(17)의 탄성력이 조정된다.
본 발명의 유체 제어기용 가열 장치에 의하면, 유체 제어기 본체와 측면 히터 사이에는, 별도의 부재로 된 열전도재를 개재시키는 일 없이, 측면 히터를 쿠션 부재에 의해 유체 제어기 본체 측면에 가압할 수 있으므로, 유체 제어기 본체와 히터 사이에 공기층이 생기는 일이 없고, 열효율이 향상된다.

Claims (5)

  1. 가열해야 할 유체 제어기의 본체의 대향하는 한쌍의 측면에 절연층을 통해 접촉되는 한쌍의 판형 측면 히터와;
    측면 히터 끼워맞춤 오목부를 가지고 또한 서로 나사로 결합되어 유체 제어기 본체를 양측에서 협지하는 한쌍의 측부 유지 부재와;
    상기 측면 히터와 상기 측면 히터 끼워맞춤 오목부의 저면 사이에 개재되어 측면 히터를 상기 유체 제어기 본체 측면에 가압하는 쿠션 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 가열 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 측면 히터는 전압을 인가하기만 해도 일정 온도가 얻어지는 자동 온도 제어 기능이 갖추어진 정온도 발열체인 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 가열 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 유체 제어기 본체의 저면에 절연층을 통해 접촉되는 판형 저면 히터와, 저면 히터 끼워맞춤 오목부를 가지고 또한 유체 제어기 본체의 저면에 나사로 결합되는 저부 유지 부재와, 상기 저면 히터와 상기 저면 히터 끼워맞춤 오목부의 저면 사이에 개재되어 저면 히터를 유체 제어기 본체 저면에 가압하는 쿠션 부재를 추가로 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 가열 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 저면 히터는 전압을 인가하기만 해도 일정 온도가 얻어지는 자동 온도 제어 기능이 갖추어진 정온도 발열체인 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 가열 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 측면 히터끼리 직렬로 접속되고, 이들 측면 히터와 저면 히터가 병렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 가열 장치.
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