JPH10299943A - 流体制御器用加熱装置 - Google Patents

流体制御器用加熱装置

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JPH10299943A
JPH10299943A JP9103394A JP10339497A JPH10299943A JP H10299943 A JPH10299943 A JP H10299943A JP 9103394 A JP9103394 A JP 9103394A JP 10339497 A JP10339497 A JP 10339497A JP H10299943 A JPH10299943 A JP H10299943A
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fluid controller
heater
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controller body
side face
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幸男 皆見
Shinichi Ikeda
信一 池田
Michio Yamaji
道雄 山路
Takeshi Tanigawa
毅 谷川
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
    • F16K49/002—Electric heating means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
    • Y10T137/6606—With electric heating element

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  • Air-Conditioning For Vehicles (AREA)
  • Central Heating Systems (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体制御器ボディとヒータとの間に空気層が
できることを防止し、熱効率の良い流体制御器用加熱装
置を提供する。 【解決手段】 流体制御器用加熱装置は、加熱すべき流
体制御器1 のボディ2 の対向する一対の側面に絶縁層1
3,12aを介して当接される一対の板状側面ヒータ12と、
側面ヒータ嵌入凹所20を有しかつ互いにねじ25で結合さ
れて流体制御器ボディ2 を両側から挟持する一対の側部
保持部材14,15 と、側面ヒータ12と側面ヒータ嵌入凹所
20の底面との間に介在されて側面ヒータ12を流体制御器
ボディ2 側面に押圧するクッション部材17とを備えてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、バルブ等を加熱
する流体制御器用加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置に用いられるバルブ等の
流体制御器では、常温では液体である流体をガス化して
流す際の再液化防止等のために加熱しなければならない
場合がある。加熱装置として例えばテープヒータを用い
たものがあるが、熱効率および設置時の作業性を向上さ
せるため、流体制御器と一体的に組み立てられた専用の
加熱装置が要求される場合がある従来、このような専用
の流体制御器用加熱装置として、筒状のヒータと、筒状
のヒータと流体制御器ボディ間の隙間に介在される熱伝
導材とよりなるもの（特開平４−６４７８８号公報参
照）が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の流体制御器
用加熱装置では、筒状のヒータと流体制御器ボディとの
間に隙間があるため、隙間に熱伝導材を介在させたとし
ても、流体制御器ボディと熱伝導材との間および熱伝導
材とヒータとの間に空気層ができやすく、熱効率が悪い
という問題があった。
【０００４】この発明の目的は、流体制御器ボディとヒ
ータとの間に空気層ができることを防止し、熱効率の良
い流体制御器用加熱装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による流体制御器用加熱装置は、加熱すべき流体制御
器のボディの対向する一対の側面に絶縁層を介して当接
される一対の板状側面ヒータと、側面ヒータ嵌入凹所を
有しかつ互いにねじで結合されて流体制御器ボディを両
側から挟持する一対の側部保持部材と、側面ヒータと側
面ヒータ嵌入凹所の底面との間に介在されて側面ヒータ
を流体制御器ボディ側面に押圧するクッション部材とを
備えているものである。
【０００６】側面ヒータは、電圧を印加するだけで一定
温度が得られる自動温度制御機能付き定温度発熱体が好
ましい。
【０００７】この発明の流体制御器用加熱装置による
と、流体制御器ボディと側面ヒータとの間には、別部材
とされた熱伝導材を介在させることなく、側面ヒータを
クッション部材により流体制御器ボディ側面に押圧する
ことができるので、流体制御器ボディとヒータとの間に
空気層ができることがなく、熱効率が向上する。
【０００８】流体制御器ボディの底面に絶縁層を介して
当接される板状底面ヒータと、底面ヒータ嵌入凹所を有
しかつ流体制御器ボディの底面にねじで結合される底部
保持部材と、底面ヒータと底面ヒータ嵌入凹所の底面と
の間に介在されて底面ヒータを流体制御器ボディ底面に
押圧するクッション部材とをさらに備えていることが好
ましい。このようにすると、流体制御器ボディを底面側
からも加熱することができるので、より一層熱効率が向
上する。この構成の流体制御器用加熱装置は、ボディの
下部に出入口管継手部があり、側面ヒータをボディの下
部側面に当接させにくいときに、好適である。
【０００９】絶縁層はヒータの表面に絶縁性被膜をコー
ティングしてもよいし、シリコーン製等の絶縁シートを
流体制御器ボディとヒータとの間に介在させるようにし
てもよい。また、絶縁シートとして、表面にアルマイト
処理を施したアルミニウム製の薄板を用いることによ
り、アルマイト処理で絶縁性を確保し、アルミニウムに
よりヒータから流体制御器ボディへの伝熱性を向上させ
るようにしてもよい。保持部材に、絶縁シート、ヒータ
およびクッション部材を固定するには、保持部材のヒー
タ収納凹所の底面にねじ孔をあけ、これに対応して、絶
縁シート、ヒータおよびクッション部材にそれぞれねじ
挿通孔をあけ、絶縁シート側から皿小ねじ等のねじを挿
通して保持部材のねじ孔にねじ合わせればよい。このさ
い、ヒータのねじ挿通孔周縁部は、ヒータの表面よりも
凹まされており、ねじの頭とボディとの間には絶縁性を
確保するための隙間が形成されるようにすることが好ま
しい。
【００１０】ヒータが一対の側面ヒータおよび底面ヒー
タの計３つのときには、３つのヒータがを並列に接続す
るか、側面ヒータ同士を直列に接続し、底面ヒータをこ
れらと並列に接続する。突入電流（電圧印加後に流れる
最大電流）を低くするには、側面ヒータ同士を直列、底
面ヒータをこれらと並列に接続することが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。以下の説明において、左右は図
３の左右をいい、図３の紙面表側を前、この逆を後とい
うものとする。
【００１２】図１から図３までは、この発明の流体制御
器用加熱装置の第１実施形態を示している。
【００１３】同図に示すように、加熱すべき流体制御器
(1) は、直方体ブロック状のボディ(2) と、ボディ(2)
の頂面に設けられかつアクチュエータ部を収めた円筒状
のアクチュエータケース(3) とを備えている。ボディ
(2) とアクチュエータ部とは、一端部がアクチュエータ
ケース(3) 内に挿入されて支持されたボンネットの他端
部がボディ(2) 内に挿入されかつ袋ナット(5) により固
定されることにより接続されており、袋ナット(5) のす
ぐ上にボンネットの一部(4) が露出している。ボディ
(2) の前後面には、ボディ(2) 内の流路に通じる出入口
管継手部(6) がそれぞれ設けられている。
【００１４】そして、加熱装置(11)は、流体制御器ボデ
ィ(2) の左右側面にシリコーン製絶縁シート(13)を介し
て当接される左右の板状側面ヒータ(12)と、左右の側面
ヒータ(12)をそれぞれ保持するとともに互いに結合され
て流体制御器ボディ(2) を左右両側から挟持する左右保
持部材(14)(15)と、流体制御器ボディ(2) の下面にあて
がわれる突出状中央部(16a) および左右保持部材(14)(1
5)の下面にあてがわれる水平断面方形の外周縁部(16b)
よりなる水平板状の底部保持部材(16)とを備えている。
【００１５】左右保持部材(14)(15)および底部保持部材
(16)は、熱可塑性強化ポリエステル樹脂により形成され
ている。
【００１６】左右保持部材(14)(15)は、略直方体ブロッ
ク状とされ、その上面はボンネット露出部(4) の上端部
にあり、その下面は流体制御器ボディ(2) 下面から若干
下方に突出している。左右保持部材(14)(15)の流体制御
器ボディ(2) に対向する面には、上から順に、水平断面
半円のボンネット露出部収納凹所(18)、水平断面半円の
袋ナット収納凹所(19)、水平断面方形の側面ヒータ収納
凹所(20)および水平断面方形の底部保持部材中央部収納
凹所(21)が設けられている。同面には、さらに、垂直断
面半円形で、左右保持部材(14)(15)の前後側面から側面
ヒータ収納凹所(20)の前後側面まで通じている出入口管
継手部収納凹所(22)が設けられている。
【００１７】左の保持部材(14)には、ボルト挿通孔(23)
があけられ、右の保持部材(15)には、ねじ孔(24)があけ
られ、六角孔付きボルト(25)が左の保持部材(14)の左側
から右の保持部材(15)のねじ孔(24)にねじ込まれること
により、左右の保持部材(14)(15)同士が結合されてい
る。底部保持部材(16)には、ボルト挿通孔(16c) があけ
られ、六角孔付きボルト(27)が底部保持部材(16)の下面
側から流体制御器ボディ(2) 底部にあけられたねじ孔(2
6)にねじ込まれることにより、底部保持部材(16)が流体
制御器ボディ(2) に結合されている。こうして、左右保
持部材(14)(15)および底部保持部材(16)により、アクチ
ュエータケース(3) および出入口管継手部(6) を除く流
体制御器(1) の部分(2)(4)(5) がカバーされている。
【００１８】ボンネット露出部収納凹所(18)および袋ナ
ット収納凹所(19)は、いずれも対応するボンネット露出
部(4) および袋ナット(5) との間にわずかに隙間ができ
る程度の大きさとされている。側面ヒータ収納凹所(20)
の底面と流体制御器ボディ(2) の左右側面との間には、
絶縁シート(13)および側面ヒータ(12)の合計厚みよりも
大きい間隙があけられており、側面ヒータ収納凹所(20)
の底面と側面ヒータ(12)との間に、シリコンスポンジマ
ットからなるクッション部材(17)が収められている。ク
ッション部材(17)は、クッション性および断熱性を有し
ており、クッション部材(17)の厚みは、左右保持部材(1
4)(15)締結用の六角孔付きボルト(25)がねじ込まれて左
右の保持部材(14)(15)同士が結合されたさいに、クッシ
ョン部材(17)が薄くなって側面ヒータ(12)を流体制御器
ボディ(2) 側面に押圧し得る弾性力が得られるような厚
みとされている。これにより流体制御器ボディ(2) と側
面ヒータ(12)との間に、温度上昇を悪くする空気層が介
在することが防止される。
【００１９】側面ヒータ(12)は、自動温度制御機能付き
定温度発熱体であり、電圧を印加するだけで一定温度が
得られる。したがって、ニクロムヒータ使用時のよう
に、サーモスタットなどの温度調節器を付加する必要が
なく、また、異常温度上昇やこれによるヒータ自身の断
線などの心配がない。このような発熱体としては、例え
ば、村田製作所製の「ポジスター」がある。側面ヒータ
(12)の表面（流体制御器ボディ(2) に対向する面）およ
び裏面には、絶縁用の３０μｍテフロンコーティング層
(12a) が設けられている。側面ヒータ(12)表面のテフロ
ンコーティング層(12a) および上述した絶縁シート(13)
により、流体制御器ボディ(2) と側面ヒータ(12)の発熱
体との間が二重絶縁構造とされており、安全性向上が図
られている。
【００２０】側面ヒータ(12)のリード線(28)は、側面ヒ
ータ(12)裏面にはんだ付けされており、側面ヒータ収納
凹所(20)内では、側面ヒータ(12)裏面とクッション部材
(17)とに挟まれている。リード線(28)は、左右保持部材
(14)(15)の前面から側面ヒータ収納凹所(20)に通じる貫
通孔から引き出されている。リード線(28)は、ケーブル
クランプ(29)により左右保持部材(14)(15)の前面に支持
されている。したがって、リード線(28)が外から引張ら
れても側面ヒータ収納凹所(20)内のリード線(28)が引張
られることはなく、側面ヒータ(12)のはんだ付け部が引
張られて外れることがない。リード線(28)は、過電流防
止用ヒューズを備えた電源接続用ケーブルとコネクタ(3
1)を介して接続されている。コネクタ(31)には、ヒータ
通電表示用ネオンランプ(30)のリード線も接続されてお
り、側面ヒータ(12)の加熱状態を確認することができ
る。
【００２１】この流体制御器用加熱装置(11)によると、
左右保持部材(14)(15)は、流体制御器(1) の出入口管継
手部(6) と干渉することなく、流体制御器(1) の左右両
側から取り付けることができるので、流体制御器(1) の
出入口管継手部(6) に配管が接続されていても配管を外
さずに加熱装置(11)を設置することができる。
【００２２】なお、底部保持部材(16)は、流体制御器ボ
ディ(2) の底部からの放熱を抑える必要があるときだけ
用いるようにしてもよい。また、左右保持部材(14)(15)
の外面および底部保持部材(16)の内外面に断熱材を取り
付けて、断熱性をより向上させて、流体制御器(1) の加
熱温度を上昇させるようにしてもよい。また、シリコー
ン製絶縁シート(13)に代えて、表面に３０μｍのアルマ
イト処理を施したアルミニウム製のプレートを用いるよ
うにしてもよい。このようにすると、絶縁性が確保され
るのに加えて、側面ヒータ(12)によって熱伝導性のよい
アルミニウム製プレートの全体が加熱され、これによっ
て流体制御器ボディ(2) への熱伝導が広い面積にわたっ
て行われることになり、加熱効果を上げることができ
る。
【００２３】図４から図６までは、この発明の流体制御
器用加熱装置の第２実施形態を示している。
【００２４】同図に示すように、加熱すべき流体制御器
(41)は、垂直断面が五角形であり、左右側面、前後面、
前後幅の短い上面、前後幅の長い下面および上面と前後
面との間に設けられた前後傾斜面を有するブロック状の
ボディ(42)と、ボディ(42)の前後傾斜面にそれぞれ設け
られかつアクチュエータ部を収めた２つの円筒状アクチ
ュエータケース(43)(44)と、ボディ(42)の左右側面下部
にそれぞれ設けられた左右の出入口管継手部(45)と、ボ
ディ(42)の前面中央部に設けられた前部出入口管継手部
(46)とを備えている。
【００２５】そして、加熱装置(51)は、流体制御器ボデ
ィ(42)の左右側面に絶縁シート(13)を介して当接される
左右の板状側面ヒータ(12)と、左右の側面ヒータ(12)を
それぞれ保持するとともに互いに結合されて流体制御器
ボディ(42)の出入口管継手部(45)よりも上の部分を左右
両側から挟持する左右保持部材(54)(55)と、流体制御器
ボディ(42)の下面に絶縁シート(52)を介して当接される
板状底面ヒータ(53)と、底面ヒータ(53)を保持するとと
もに流体制御器ボディ(42)底部に結合される底部保持部
材(56)とを備えている。
【００２６】左右保持部材(54)(55)および底部保持部材
(56)は、熱可塑性強化ポリエステル樹脂により形成され
ている。
【００２７】左右保持部材(54)(55)は、流体制御器ボデ
ィ(42)の出入口管継手部(45)よりも上の部分の形状に対
応した垂直断面が五角形のブロック状とされ、その上面
は、流体制御器ボディ(42)の上面よりも上方に突出して
いる。左右保持部材(54)(55)の流体制御器ボディ(42)に
対向する面には、直方体状の側面ヒータ収納凹所(58)が
設けられている。左右保持部材(54)(55)の上端部には、
流体制御器の２つのアクチュエータケース(43)(44)に干
渉しないように対向する保持部材(55)(54)側にのびる張
出部(59)がそれぞれ設けられ、左右保持部材(54)(55)の
張出部(59)の先端同士が突き合わされている。張出部(5
9)の下面と流体制御器ボディ(42)の上面との間には、隙
間が形成されており、ここに直方体ブロック状のスペー
サ(60)が収められている。
【００２８】底部保持部材(56)は、流体制御器ボディ(4
2)の底面と同じ水平断面形状を有する直方体ブロック状
とされている。底部保持部材(56)の上面には、直方体状
の底面ヒータ収納凹所(61)が設けられている。
【００２９】左の保持部材(54)の上部には、張出部(59)
を貫通するボルト挿通孔(62)があけられ、右の保持部材
(55)の張出部(59)には、ねじ孔(63)があけられ、六角孔
付きボルト(25)が左の保持部材(54)の左側から右の保持
部材(55)のねじ孔(63)にねじ込まれている。また、左右
保持部材(54)(55)の前後面には、両者を結合するための
ブラケット(64)が設けられている。左の保持部材(54)の
ブラケット(64)には、六角孔付きボルト(25)の挿通孔を
有する耳部(65)が設けられ、右の保持部材(55)のブラケ
ット(64)には、六角孔付きボルト(25)をねじ込むねじ孔
を有する耳部(66)が設けられている。こうして、計３本
の六角孔付きボルト(25)により、左右の保持部材(54)(5
5)同士が結合されている。底部保持部材(56)には、ボル
ト挿通孔(67)があけられ、六角孔付きボルト(27)が底部
保持部材(56)の底面側から流体制御器ボディ(42)底部に
あけられたねじ孔(68)にねじ込まれることにより、底部
保持部材(56)が流体制御器ボディ(42)に結合されてい
る。こうして、左右保持部材(54)(55)および底部保持部
材(56)により、アクチュエータケース(43)(44)および出
入口管継手部(45)(46)との干渉を避けて、流体制御器ボ
ディ(42)がカバーされている。
【００３０】側面ヒータ収納凹所(58)の底面と流体制御
器ボディ(42)の左右側面との間には、絶縁シート(13)お
よび側面ヒータ(12)の合計厚みよりも大きい間隙があけ
られており、側面ヒータ収納凹所(58)の底面と側面ヒー
タ(12)との間に、シリコンスポンジマットからなるクッ
ション部材(17)が収められている。ここで、側面ヒータ
収納凹所(58)、絶縁シート(13)、側面ヒータ(12)および
クッション部材(17)の側面から見た大きさはすべてほぼ
同じとされている。クッション部材(17)は、クッション
性および断熱性を有しており、クッション部材(17)の厚
みは、左右保持部材(54)(55)締結用の六角孔付きボルト
(25)がねじ込まれて左右の保持部材(54)(55)同士が結合
されたさいに、クッション部材(17)が薄くなって側面ヒ
ータ(12)を流体制御器ボディ(42)側面に押圧し得る弾性
力が得られるような厚みとされている。これにより流体
制御器ボディ(42)左右側面と側面ヒータ(12)との間に、
温度上昇を悪くする空気層が介在することが防止され
る。また、底面ヒータ収納凹所(61)の底面と流体制御器
ボディ(42)の下面との間には、絶縁シート(52)および底
面ヒータ(53)の合計厚みよりも大きい間隙があけられて
おり、底面ヒータ収納凹所(61)の底面と底面ヒータ(53)
との間に、シリコンスポンジマットからなるクッション
部材(57)が収められている。クッション部材(57)は、ク
ッション性および断熱性を有しており、クッション部材
(57)の厚みは、底部保持部材(56)締結用の六角孔付きボ
ルト(27)がねじ込まれて底部保持部材(56)が流体制御器
ボディ(42)の下面に結合されたさいに、クッション部材
(57)が薄くなって底面ヒータ(53)を流体制御器ボディ(4
2)下面に押圧し得る弾性力が得られるような厚みとされ
ている。これにより流体制御器ボディ(42)の下面と底面
ヒータ(53)との間に、温度上昇を悪くする空気層が介在
することが防止される。
【００３１】なお、底面ヒータのリード線(28)等につい
ては、第１実施形態と同じであり、同じ構成のものに同
じ符号を付して説明を省略する。
【００３２】この流体制御器用加熱装置(51)によると、
流体制御器ボディ(42)を左右両側面側および底面側の三
方から加熱することができるので、熱効率が優れてい
る。ただし、底面ヒータ(53)および底部保持部材(56)
は、必ずしも必要なものではない。底部保持部材(56)を
取り付けるさいには、配管前にを取り付けておく。左右
保持部材(54)(55)は、流体制御器(41)のアクチュエータ
ケース(43)(44)および出入口管継手部(45)(46)と干渉す
ることなく、流体制御器(41)の左右両側から取り付ける
ことができるので、流体制御器(41)の出入口管継手部(4
5)(46)に配管が接続されていても配管を外さずに設置す
ることができる。
【００３３】第２実施形態では、流体制御器ボディ(42)
の温度を所定温度に保つための温度制御方法として、温
度コントローラによる電圧ＯＮ−ＯＦＦ制御が好まし
い。温度制御用のセンサとしては、例えば、白金薄膜温
度センサやシース型Ｋタイプサーモカップルが使用され
る。そして、一対の側面ヒータ(12)および底面ヒータ(5
3)を電源に接続するには、例えば、３つを並列に接続す
るか、２つを直列、残る１つをこれらと並列にすること
が好ましい。特に好ましいのは、一対の側面ヒータ(12)
同士を直列接続し、底面ヒータ(53)をこれらと並列に接
続することである。
【００３４】なお、第１および第２の実施形態におい
て、絶縁シート(13)(52)、ヒータ(12)(53)およびクッシ
ョン部材(17)(57)は、保持部材(14)(15)(54)(55)(56)の
ヒータ収納凹所(20)(58)(61)に収められているが、以下
のようにして、これらを保持部材(14)(15)(54)(55)(56)
に固定しておくことが好ましい。
【００３５】図７および図８において、保持部材(15)の
ヒータ収納凹所(20)の底面には、前後２つのねじ孔(71)
があけられ、これに対応して、絶縁シート(13)、ヒータ
(12)およびクッション部材(17)には、それぞれねじ挿通
孔(72)(73)(74)があけられている。そして、絶縁シート
(13)側から皿小ねじ(70)が挿通されて保持部材(15)のね
じ孔(71)にねじ合わされている。側面ヒータ(12)のねじ
挿通孔(73)周縁部には、ヒータ(12)の表面よりも凹まさ
れている凹所(73a) が設けられており、皿小ねじ(70)の
頭と流体制御器ボディ(2) との間には、図８に示すよう
に、絶縁性を確保するための隙間が形成されている。皿
小ねじ(70)の締付量を調整することにより、皿小ねじ(7
0)の締付け後のクッション部材(17)の厚みが調整され、
これにより、ヒータ(12)を流体制御器ボディ(2) に押圧
するクッション部材(17)の弾性力が調整される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御器用加熱装置の第１実
施形態を示す分解斜視図である。
【図２】同加熱装置の組立て状態を示す斜視図である。
【図３】同加熱装置の一部を切欠いた正面図である。
【図４】この発明による流体制御器用加熱装置の第２実
施形態を示す分解斜視図である。
【図５】同加熱装置の組立て状態を示す斜視図である。
【図６】同加熱装置の一部を切欠いた正面図である。
【図７】この発明による流体制御器用加熱装置における
好ましいヒータ固定手段を示す分解斜視図である。
【図８】同断面図である。
【符号の説明】
(1) 流体制御器 (2) ボディ (12) 側面ヒータ (12a) テフロンコーティング膜 (13) 絶縁シート (14)(15)側部保持部材 (17) クッション部材 (20) 側面ヒータ嵌入凹所 (25)(27)ねじ (41) 流体制御器 (42) ボディ (52) 絶縁層 (53) 底面ヒータ (53a) テフロンコーティング膜 (54)(55)側部保持部材 (56) 底部保持部材 (57) クッション部材 (58) 側面ヒータ嵌入凹所 (61) 底面ヒータ嵌入凹所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷川 毅 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 加熱すべき流体制御器(1)(41) のボディ
    (2)(42) の対向する一対の側面に絶縁層(13)(12a) を介
    して当接される一対の板状側面ヒータ(12)と、側面ヒー
    タ嵌入凹所(20)(58)を有しかつ互いにねじ(25)で結合さ
    れて流体制御器ボディ(2)(42) を両側から挟持する一対
    の側部保持部材(14)(15)(54)(55)と、側面ヒータ(12)と
    側面ヒータ嵌入凹所(20)(58)の底面との間に介在されて
    側面ヒータ(12)を流体制御器ボディ(2)(42) 側面に押圧
    するクッション部材(17)とを備えている流体制御器用加
    熱装置。
  2. 【請求項２】 流体制御器ボディ(42)の底面に絶縁層(5
    2)(53a) を介して当接される板状底面ヒータ(53)と、底
    面ヒータ嵌入凹所(61)を有しかつ流体制御器ボディ(42)
    の底面にねじ(27)で結合される底部保持部材(56)と、底
    面ヒータ(53)と底面ヒータ嵌入凹所(61)の底面との間に
    介在されて底面ヒータ(53)を流体制御器ボディ(42)底面
    に押圧するクッション部材(57)とをさらに備えている請
    求項１の流体制御器用加熱装置。
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