WO2004094883A1 - バルブ装着用ヒータユニット - Google Patents

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WO2004094883A1
WO2004094883A1 PCT/JP2004/005567 JP2004005567W WO2004094883A1 WO 2004094883 A1 WO2004094883 A1 WO 2004094883A1 JP 2004005567 W JP2004005567 W JP 2004005567W WO 2004094883 A1 WO2004094883 A1 WO 2004094883A1
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valve
heater
pair
joint
heater unit
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English (en)
French (fr)
Inventor
Akihiko Hiratsuka
Tsuguhiro Nomoto
Original Assignee
Tokyo Technological Labo Co., Ltd.
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K49/00—Means in or on valves for heating or cooling
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
    • F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
    • F16L53/35—Ohmic-resistance heating
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/6416—With heating or cooling of the system
    • Y10T137/6606—With electric heating element

Definitions

  • the present invention relates to a heater mounting for a valve mounted to a valve connected to a fluid pipe via a joint.
  • valve and the joint require separate heater mechanisms as described above not only raises costs and complicates the piping configuration, but also causes uneven heating of the flow path in the valve and the flow path in the joint. The problem also arises.
  • the present invention provides a valve connected to a fluid pipe via a joint. It is an object of the present invention to provide a heater mechanism capable of integrally and uniformly heating not only the valve itself but also the joint.
  • a valve mounting heater unit is a heater unit mounted on a valve connected to a fluid pipe via a joint, and covers a valve flow path component and a joint. It consists of a main body with a housing structure provided with a through hole and an opening for exposing the actuator, and a heater built in the main body.
  • the heater power S and at least a part of the flow path component of the valve are brought into direct contact to heat. It is characterized by comprising a direct heating section and a radiant heating section for heating the inside of the main body by radiant heat.
  • the above-described valve mounting heater unit is a two-way valve in which the valve is connected via a pair of joints between a pair of pipes arranged in a straight line, and the main body power valve is It consists of a pair of housing halves combined with a valve from both sides of the pair of connected pipes described above, and a plurality of notches provided at each edge of the pair of housing halves are combined to form A through hole for piping and an opening for exposing the actuator are formed, and the heater is provided inside each of the pair of housing halves so as to face each other across the valve when the pair of housing halves are combined.
  • It may be a flat heater arranged, and the direct heating unit and the radiant heating unit are provided on each of the opposing surfaces of the flat heater.
  • the direct heating section is provided on each of the surfaces of the flat heater at the same position as the actuator exposure opening in the longitudinal direction of the pair of pipes, and the radiant heating section includes It is preferable to be provided around the direct heating unit.
  • the heater unit for mounting a valve according to the present invention has a main body having a housing structure that covers a flow path component of a valve and a joint, and heats the entire portion covered by the main body by a combination of direct heating and heating by radiant heat. Therefore, it is possible to integrally and uniformly heat the entire flow path included in the flow path constituent part of the valve and the joint. In addition, since it is not necessary to attach separate heaters to the valve itself and the joint, it leads to cost reduction and simplification of the piping configuration. Further, the valve mounting heater unit according to the present invention is provided with a direct heating section for directly contacting and heating at least a part of the flow path constituting section of the valve.
  • the effect of uniform heating can be further enhanced.
  • a heating section is provided directly near the actuator exposure opening provided in the main body of the heater unit. It is possible to make the calorie heat uniform by compensating for the effect.
  • portions other than those directly in contact with the heating part are heated by radiant heat from the radiant heating part. Therefore, for example, a part of the flow path component of the valve that has a shape that is difficult to make direct contact with the direct heating part, a part that would interfere with pulp operation due to friction, etc., if it is in direct contact, a hexagon nut, etc.
  • a joint having a shape can be effectively and uniformly heated by the radiant heat from the radiant heating section.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an open state of a heater unit according to one embodiment of the present invention in which a main body includes a pair of housing halves.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a closed state of the heater unit of FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing an example of a valve connected to a fluid pipe via a joint.
  • FIG. 4 is a front view of the valve of FIG.
  • FIG. 5 is a front view showing a state where the heater unit of FIG. 1 is mounted on the valve of FIG.
  • FIG. 6 is a side view showing a state where the heater unit of FIG. 1 is mounted on the vanoleb of FIG.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an opened state of a heater unit 10 according to one embodiment of the present invention, in which a main body is formed of a pair of housing halves 12 and 14. Each of the pair of housing halves 12 and 14 has a built-in ceramic heater 16 along the side wall. These ceramic heaters 16 have lead wires 18 with both ends drawn out to the outside. Heat is generated by passing current through the device. A stainless steel plate is attached to the inner surface of the ceramic heater 16 to constitute a flat heater.
  • This flat heater has a shape having a concave portion 20 at an upper portion for accommodating a lower portion of a valve actuator as described later. Insulating material (not shown) is inserted between the ceramic heater 16 and the ⁇ of the housing halves 12 and 14 to prevent the body ⁇
  • On the surface of the stainless steel plate attached to the inner surface of the ceramic heater 16 another stainless steel plate piece is attached below the concave portion 20 to directly constitute the heating section 22.
  • the line indicated by reference numeral 26 is a thermocouple wire for monitoring the temperature of the ceramic heater 16.
  • the housing half 12 has four brackets 28 with four screw holes.
  • the housing half 14 has four screw holes 30.
  • Fig. 2 shows the heater unit 10 of Fig. 1 closed by fixing the housing halves 12 and 14 so that the brackets 28 with screw holes and the screw holes 30 are aligned, and fixing them with the fixing screws 32.
  • FIG. When the heater unit 10 is closed in this way, the semicircular notches provided at the edges of the housing halves 12 and 14 are combined to form two pipe through holes on the opposing side surfaces. 34, one actuator exposure opening 36 is formed on the upper surface. The actuator exposure opening 36 is formed at a position corresponding to the recess 20 for accommodating the lower part of the actuator. In this closed state, the direct heating section 22 and the radiant heating section 24 in the housing halves 12 and 14 are both parallel and symmetrically opposed to each other.
  • FIG. 4 show an example of a valve connected to the fluid piping via a fitting.
  • 3 is a perspective view
  • FIG. 4 is a front view.
  • the entire valve is designated by the reference numeral 40 and comprises a body 42, a diaphragm case 44 having a diaphragm mechanism therein, an actuator 46, and a pair of connections 48.
  • Each connecting portion 48 is connected to a pipe 54 via a hexagon nut-shaped joint 50 and a sleeve 52.
  • the hatched portion in FIG. 4 is the fluid flow path.
  • valve 40 With respect to valve 40, when the vanoleb is opened, fluid flows from one connection 48 to the body 42, the diaphragm case 44, again through the body 42, and the other connection 48. become. Therefore, these parts are the flow path constituting parts of the valve.
  • FIGS. 5 and 6 are views showing a state in which the heater cut 10 of FIG. 1 is attached to the valve 40 of FIG. 3, and FIG. 5 is a front view as viewed from the direction indicated by the arrow V in FIG.
  • FIG. 6 is a side view as viewed from the direction indicated by arrow VI in FIG.
  • the body consisting of the housing halves 12 and 14 of the heater unit 10 is vertically moved from the lower part of the actuator 46 of the valve 40 to the diaphragm case 44 below it. And the entire body 4 2 is covered.
  • the upper part of the actuator 46 protrudes from the opening 36 for exposing the actuator.
  • the lower part of the actuator 46 and the diaphragm case 44 are accommodated in the recess 20.
  • the main body of the heater unit 10 covers from a part of one sleeve 52 to a part of the other sleeve 52.
  • each pipe through-hole 34 has a diameter that matches each sleeve 52.
  • both the direct heating section 22 and the radiant heating section 24 of the heater unit 10 are heated.
  • the direct heating section 22 heats the body 42 of the valve 40 by direct contact.
  • the reason that the body 42 is heated by direct contact, which has a higher calorific heat effect, is that the opening 3 This is because the temperature is easily lowered due to the influence of heat radiation from the actuator 46, which is located below the actuator 46 whose upper part is exposed from 6.
  • other portions included in the main body of the heater unit 10 are heated by the radiant heat from the radiant heating section 24 captured in the main body of the heater unit 10.
  • the wall of the concave portion 20 is also formed of a stainless steel plate and constitutes a part of the radiant heating portion 24, so that the diaphragm case 44 and the like housed in the concave portion 20 are also effectively heated. Is done.
  • the entire flow path included in the pair of joints 50 and the valve 40 is integrally and uniformly heated, and the dew condensation, the generation of attached matter, and the like are prevented in the entire flow path.
  • the heater unit 10 is mounted on a two-way valve
  • a person skilled in the art can refer to the above description to modify the heater unit 10 for mounting a three-way valve. would be easily conceived.

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Abstract

流体用の配管に継手を介して接続されるバルブ(40)について、バルブ(40)自体のみならず継手(50)まで含めて、一体的かつ均一に加熱する。バルブ(40)の流路構成部と継手(50)の全体を覆うハウジング構造の本体(12、14)と、本体に内蔵されたヒータとを有するヒータユニット(10)を、流体用の配管(54)に継手(50)を介して接続されたバルブ(40)に装着する。ヒータは、直接加熱部(22)と輻射加熱部(24)を有する。直接加熱部(22)は、バルブの流路構成部の少なくとも一部を直接接触して加熱し、輻射加熱部(24)は、ヒータユニット(10)の本体内に含まれるその他の部分を、輻射熱により加熱する。

Description

明 細 書 バルブ装着用ヒータユニット [技術分野]
本発明は、 流体用の配管に継手を介して接続されたバルブに装着されるバルブ 装着用ヒータュュットに関する。
[背景技術]
半導体製造装置等のガス供給用配管に取り付けるバルブにおいては、 バルブを 通過する際にガスの温度が下がつてバルブ内部で結露を生じる現象を防止する必 要がある。 また、 液体搬送用の配管に取り付けるバルブでも、 供給する液体が室 温に近い温度で硬化するものである場合は、 力かる硬化によるパルプの詰まりや バルブ内部への付着物の発生を防止する必要がある。 また、 高温ガスや高温液体 をその温度を保ったまま搬送したい場合においても、 バルブ通過時における搬送 流体の温度低下が問題となる。
そこで、 これらの問題を防ぐべく、 従来から、 流体バルブ内の流体が通過する 部分を加熱するために、 流体パルプに内蔵されまたは取り付けられた種々のヒー タ機構が提案されてきた。 たとえば、 日本の特開平 7— 7 1 6 4 8号公報、 特開 2 0 0 1 - 3 4 9 4 6 8号公報および特表平 1 0— 5 0 2 9 9 5号公報等に、 力、 力るヒータ機構に関する記載がある。
しかしながら、 上記の結露や付着物の発生等の問題は、 バルブの部分のみなら ず、そのバルブを配管に接続するための継手の部分においても生ずる。ところが、 従来のパルプ用ヒータ機構は、 いずれもバルブ自体に内蔵されている力 \ バルブ のみに取り付けられるものであったため、 継手部分に対しては、 別途のヒータを 用意して取り付けなければならなかった。
このようにバルブと継手がそれぞれ別のヒータ機構を必要とするという状況は、 コスト増大や配管構成の複雑化の問題のみならず、 バルブ内の流路と継手内の流 路の加熱が不均一になるという問題も生じさせる。
本発明は、 かかる事情に鑑み、 流体用の配管に継手を介して接続されるバルブ について、 バルブ自体のみならず継手まで含めて、 一体的かつ均一に加熱するこ とができるヒータ機構を提供することを目的とするものである。
[発明の開示]
すなわち、 本発明に係るバルブ装着用ヒータユニットは、 流体用の配管に継手 を介して接続されたバルブに装着されるヒータユニットであって、 バルブの流路 構成部と継手とを覆う、 配管用貫通孔とァクチユエータ露出用開口が設けられた ハウジング構造の本体と、 その本体に内蔵されたヒータとからなり、 そのヒータ 力 S、バルブの流路構成部の少なくとも一部を直接接触して加熱する直接加熱部と、 上記本体内を輻射熱により加熱する輻射加熱部とを備えていることを特徴とする ものである。
ここで、 上記のバルブ装着用ヒータユニットは、 バルブが、 直線状に配された 1対の配管の間に 1対の継手を介して接続される 2方バルブであって、 上記本体 力 バルブが接続された上記 1対の配管の両側からバルブを挟んで組み合わされ る 1対のハウジングハーフからなり、 その 1対のハウジングハーフの各々の縁部 に設けられた複数の切欠が組み合わされることにより上記配管用貫通孔とァクチ ユエータ露出用開口が形成され、 上記ヒータが、 上記 1対のハウジングハーフが 組み合わされたときにバルブを挟んで対向するようにその 1対のハウジングハー フの各々の内側に配設された平板状ヒータからなり、 その平板状ヒータの対向す る面の各々の上に、 上記直接加熱部および輻射加熱部が設けられているものであ つてもよい。 この場合において、 直接加熱部は、 平板状ヒータの面の各々の上に おいて、 上記 1対の配管の長手方向に関しァクチユエータ露出用開口と同位置に 設けられており、 輻射加熱部は、 その直接加熱部の周辺に設けられていることが 好ましい。
本発明に係るバルブ装着用ヒータュニットは、 バルブの流路構成部と継手とを 覆うハウジング構造の本体を有し、 その本体に覆われた部分全体を直接加熱と輻 射熱による加熱の組み合わせにより加熱するものであるので、 バルブの流路構成 部と継手に含まれる流路全体を、 一体的かつ均一に加熱することが可能となる。 また、バルブ自体と継手に対して別々のヒータを取り付ける必要がなくなるので、 コストの低減および配管構成の単純化にもつながる。 また、 本発明に係るバルブ装着用ヒータユニットには、 バルブの流路構成部の 少なくとも一部を直接接触して加熱する直接加熱部が設けられているが、 この直 接加熱部を、 バルブの流路構成部の特に温度が低くなりやすい部分に接触するよ うに設けることにより、均一加熱の効果をさらに高めることができる。たとえば、 ヒータュニットの本体に設けられたァクチユエータ露出用開口の近くに直接加熱 部を設け、 ァクチユエータの露出部分を通じた放熱の影響を受けやすい部分を直 接接触によって力 [J熱することにより、 放熱の影響を補って均一なカロ熱を行うこと が可能となる。
さらに、 本発明に係るバルブ装着用ヒータユニットでは、 ヒータユニットの本 体が覆うバルブの流路構成部と継手のうち、 直接加熱部と接する個所以外の部分 は輻射加熱部からの輻射熱により加熱されるので、 たとえば、 バルブの流路構成 部のうち直接加熱部と直接接触させることが難しい形状の部分や、 直接接触させ ると摩擦等によりパルプの操作に支障が生じる部分、 六角ナツト状等の形状を有 する継手等も、 輻射加熱部からの輻射熱により有効かつ均一に加熱することがで きる。
[図面の簡単な説明]
図 1は、本体が 1対のハウジングハーフからなる本発明の 1つの実施形態に係 るヒータュニットの、 開いた状態を示す斜視図である。
図 2は、 図 1のヒータュニットの閉じた状態を示す斜視図である。
図 3は、 流体用の配管に継手を介して接続されたバルブの一例を示す斜視図で ある。
図 4は、 図 3のバルブの正面図である。
図 5は、 図 3のバルブに図 1のヒータュニットを装着した状態を示す正面図で ある。
図 6は、 図 3のバノレブに図 1のヒータユニットを装着した状態を示す側面図で ある。
[発明を実施するための最良の形態]
以下、 図面により、 本宪明の例示的な実施形態を詳細に説明する。 以下の各図 面では、 同一の要素に対しては同一の参照番号を用いるものとする。 図 1は、 本体が 1対のハウジングハーフ 1 2および 1 4からなる本発明の 1つ の実施形態に係るヒータユニット 1 0の、 開いた状態を示す斜視図である。 1対 のハウジングハーフ 1 2および 1 4にはいずれも、 側壁に沿ってセラミックヒー タ 1 6が内蔵されており、 これらのセラミックヒータ 1 6は、 両端が外部に引き 出されたリード線 1 8に電流を流すことにより発熱する。 セラミックヒータ 1 6 の内側の面にはステンレス板が取り付けられ、 これにより平板状ヒータが構成さ れている。 この平板状ヒータは、 後述するようにバルブのァクチユエータの下部 を収容するために、 上部に凹部 2 0を有する形状となっている。 セラミックヒー タ 1 6とハウジングハーフ 1 2および 1 4の ^との間には、 本体^ |gが高温と なり熱が逃げることを防ぐため、 断熱材 （図示せず） が揷入されている。 セラミ ックヒータ 1 6の内側面に取り付けられたステンレス板の表面には、 凹部 2 0の 下方にさらに別のステンレス板片が取り付けられており、 直接加熱部 2 2を構成 している。 セラミックヒータ 1 6の内側面に取り付けられたステンレス板の表面 の、直接加熱部 2 2が設けられた個所以外の部分は、輻射加熱部 2 4を構成する。 参照番号 2 6で示す線は、 セラミックヒータ 1 6の温度を監視するための熱電対 線である。 ハウジングハーフ 1 2と 1 4とを組み合わせるために、 ハウジングハ ーフ 1 2には 4つのねじ孔付ブラケット 2 8力 ハウジングハーフ 1 4には 4つ のねじ孔 3 0が設けられている。
図 2は、 図 1のヒータュニット 1 0を、 各ねじ孔付ブラケット 2 8と各ねじ孔 3 0が合わさるようにハウジングハーフ 1 2と 1 4を組み合わせて、 固定ねじ 3 2で固定することにより閉じた状態を示す斜視図である。 このようにヒータュニ ット 1 0を閉じると、 ハウジングハーフ 1 2と 1 4の各々の縁部に設けられた半 円状の切欠が組み合わされることにより、 対向する側面上に 2つの配管用貫通孔 3 4カ、 上面に 1つのァクチユエータ露出用開口 3 6が形成される。 ァクチユエ —タ露出用開口 3 6は、 ァクチユエータの下部を収容するための凹部 2 0に対応 した位置に形成される。 この閉じた状態では、 ハウジングハーフ 1 2と 1 4内の 直接加熱部 2 2および輻射加熱部 2 4は、 いずれも、 互いに平行かつ対称に対向 している。
図 3および図 4は、 流体用の配管に継手を介して接続されたバルブの一例を示 す図であり、 図 3は斜視図、 図 4は正面図である。 バルブ全体は参照番号 4 0で 示されており、 ボディー 4 2、 内部にダイヤフラム機構を有するダイヤフラムケ ース 4 4、 ァクチユエータ 4 6、 および 1対の接続部 4 8からなる。 各接続部 4 8は、 六角ナット形状の継手 5 0およびスリーブ 5 2を介して、 配管 5 4に接続 されている。 図 4に斜線で示す部分が、 流体の流路となる。 バルブ 4 0に関して 言えば、 バノレブを開くと、 流体は一方の接続部 4 8からボディー 4 2、 ダイヤフ ラムケース 4 4、 再びボディー 4 2、 反対側の接続部 4 8の内部を通って流れる ことになる。 したがって、 これらの部分がバルブの流路構成部である。
図 5および図 6は、 図 3のバルブ 4 0に図 1のヒータュ-ット 1 0を装着した 状態を示す図であり、 図 5は図 2に矢印 Vで示した方向から見た正面図、 図 6は 図 2に矢印 V Iで示した方向から見た側面図である。 図に示されるように、 ヒー タュニット 1 0のハウジングハーフ 1 2および 1 4力 らなる本体は、 上下方向に 関しては、 バルブ 4 0のァクチユエータ 4 6の下部から、 その下のダイヤフラム ケース 4 4およびボディー 4 2の全体を覆っている。 ァクチユエータ 4 6の上部 はァクチユエータ露出用開口 3 6から突出させられている。 ァクチユエータ 4 6 の下部およびダイヤフラムケース 4 4は凹部 2 0内に収容されている。 一方、 左 右方向に関しては、 ヒータユニット 1 0の本体は、 一方のスリーブ 5 2の一部か ら他方のスリーブ 5 2の一部までを覆っている。ここで、各配管用貫通孔 3 4は、 各スリーブ 5 2に合致する直径を有している。 以上の構成により、 1対の継手 5 0およびパルプ 4 0の流路構成部の全体が、 ヒータュニット 1 0の本体により覆 われていることになる。また、ヒータュニット 1 0内の 1対の直接加熱部 2 2は、 バルブ 4 0の両側からボディー 4 2に直接接触している。
次に、 図 5および図 6に示すようにバルブ 4 0にヒータュニット 1 0を装着し た状態でリード線 1 8に電流を流してセラミックヒータ 1 6を発熱させたときの、 ヒータユエット 1 0の作用について説明する。
セラミックヒータ 1 6が発熱させられると、 ヒータュニット 1 0の直接加熱部 2 2と輻射加熱部 2 4の双方が熱せられる。 直接加熱部 2 2は、 バルブ 4 0のポ ディー 4 2を直接接触により加熱する。 このようにボディー 4 2をよりカロ熱効果 の高い直接接触により加熱するのは、 この部分が、 ァクチユエータ露出用開口 3 6から上部が露出させられるァクチユエータ 4 6の下にあり、 ァクチユエータ 4 6からの放熱の影響により温度が低下しやすいためである。 一方、 ヒータュニッ ト 1 0の本体内に含まれるその他の部分は、 ヒータユニット 1 0の本体内に捕捉 される、 輻射加熱部 2 4からの輻射熱により加熱される。 ここで、 凹部 2 0の壁 もステンレス板で形成されており輻射加熱部 2 4の一部を構成しているので、 凹 部 2 0内に収容されているダイヤフラムケース 4 4等も有効に加熱される。 以上 の作用により、 1対の継手 5 0およびバルブ 4 0内に含まれる流路の全体が一体 的かつ均一に加熱され、 これらの流路全体において結露や付着物の発生等が防止 される。
なお、 上記の実施形態に係るヒータユニット 1 0は 2方バルブに装着されるも のであつたが、 当業者であれば、 上記の説明を参照することにより、 3方バルブ 装着用等の変更例も容易に考えられるであろう。
以上、 本発明の実施形態について詳細に述べたが、 上記の実施形態は例示的な ものに過ぎず、 本発明の技術的範囲は、 本明細書中の特許請求の範囲のみによつ て定められるべきものである。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 流体用の配管に継手を介して接続されたバルブに装着されるヒータュニッ トであって、
前記バルブの流路構成部と前記継手とを覆う、 配管用貫通孔とァクチユエータ 露出用開口が設けられたハゥジング構造の本体と、
前記本体に内蔵されたヒータとからなり、
該ヒータが、
前記バルブの前記流路構成部の少なくとも一部を直接接触して加熱する直接加 熱部と、
前記本体内を輻射熱により加熱する輻射加熱部とを備えていることを特徴とす るヒータュュット。
2.前記バルブ力 直線状に配された 1対の配管の間に 1対の継手を介して接 続される 2方バルブであって、
前記本体が、 前記バルブが接続された前記 1対の配管の両側から前記バルブを 挟んで組み合わされる 1対のハウジングハ一フからなり、
該 1対のハウジングハーフの各々の縁部に設けられた複数の切欠が組み合わさ
• れることにより前記配管用貫通孔と前記ァクチユエータ露出用開口が形成され、 前記ヒータが、 前記 1対のハゥジングハーフが,袓み合わされたときに前記バノレ ブを挟んで対向するように前記 1対のハウジングハーフの各々の内側に配設され た平板状ヒータからなり、
前記平板状ヒータの対向する面の各々の上に、 前記直接加熱部および前記輻射 加熱部が設けられていることを特徴とする請求項 1記載のヒータユニット。
3 . 前記直接加熱部が、 前記平板状ヒータの前記面の各々の上において、 前記 1対の配管の長手方向に関し前記ァクチユエータ露出用開口と同位置に設けられ ており、
前記輻射加熱部が、 前記直接加熱部の周辺に設けられていることを特徴とする 請求項 2記載のヒータユニット。
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