JPH1047581A

JPH1047581A - 配管用加熱装置

Info

Publication number: JPH1047581A
Application number: JP8216902A
Authority: JP
Inventors: Makoto Morioka; 誠森岡
Original assignee: HIGH METAL KOGYO KK
Current assignee: HIGH METAL KOGYO KK
Priority date: 1996-07-31
Filing date: 1996-07-31
Publication date: 1998-02-20

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体を始め液晶等の製造用装置の配管を長
手方向に均一に加熱することができる配管用加熱装置を
課題とする。【解決手段】加熱される配管６を周回する配管材より
も熱伝導性の良い均熱材２と、該均熱材を周回する発熱
体３と、該発熱体を周回し外部への熱放散を遮断する断
熱材５と、該均熱材、発熱体、及び断熱材からなる積層
体を前記配管に固定するための外被覆材１と、を備えた
ことを特徴とする配管用加熱装置である。前記積層体は
配管の長手方向に２以上に分割されており、前記外被覆
材により該分割された部分を配管に固定することが望ま
しい。また、前記積層体のうち少なくとも均熱材、及び
断熱材が配管の長手方向に割り部７を設け、ここを開い
て配管を均熱材内部に挿入し、前記外被覆材により該積
層体を配管に固定してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガスや液体等の流
体を流通させるパイプ、チューブ等（以下配管という）
を加熱してそのパイプ内面を清浄化、或いは当該配管中
を流通する流体を加熱する配管用加熱装置に関する。

【０００２】

【従来技術】半導体工業、液晶表示デバイス産業、食品
工業、温泉業等においては、熱伝導性に劣るステンレス
鋼製のパイプや樹脂パイプ等を多用しているが、この配
管の内面には水分、空気、その他の不純物が付着してい
る。この付着物により、配管中に流すガスや液体等が汚
染されないように、配管の使用前において配管を例えば
１５０〜３００℃に加熱してクリーニングを行ってい
る。

【０００３】図１１は、従来の配管用加熱装置の１例を
示す。図１１において、１０１はシート状の外被覆材で
あり、一部をスリット１０７で分割した円筒形の断熱材
１０２の外側を被覆している。この円筒形の断熱材内面
には、例えば接着剤付きのアルミテープ等の保護シート
１０４により電気による発熱体１０３が取り付けられて
いる。１０６は、発熱体の電流の導入・導出部である。
１０１’は、外被覆材１０１の延長部であり、その断熱
材側との接触面に接着剤が塗布され、対向する外被覆材
１０１に接着される。本断熱材の内面には発熱体１０３
が保護シート１０４により固定されている。

【０００４】図１２は、従来の配管用加熱装置の別の例
で、図１１とほぼ同じ構造の発熱体の外側に断熱材を備
えた配管の加熱装置である。１２１は外被覆材であり、
１２２は、スリット状の割り部１２７を入れた円筒状断
熱材である。１２３は発熱体であり、固定用シート１２
４で円筒状断熱材１２２の内側に固定されている。

【０００５】１２５は、ファスナーの嵌合歯部であり、
通常の洋服と同様に嵌合用のプラグ１２８により嵌合で
きる。該ファスナーは、円筒状断熱材の長さにほぼ等し
く作られた外被覆材の両端に取り付けられている。１２
６は、発熱体の電流導入・導出部である。そしてこの加
熱装置の配管への固定は上記ファスナーで行われる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記加熱装置は、熱伝
導度の高い配管の場合や高い均熱度があまり要求されな
い場合には問題なく使える。しかし配管の材質が、例え
ばステンレス鋼や樹脂の様に熱伝導度の小さい場合、或
いは高度の均熱性や温度制御が必要な加熱には適用が難
しい。

【０００７】例えば上記加熱装置を１／４インチのステ
ンレス鋼管の加熱に使用した場合、４ｍの長さにおいて
±１０℃、或いはそれ以上の温度差が生じている。特に
半導体製造装置における配管では、±５℃〜±１℃程度
の配管温度の均熱性が必要になる場合があるため前記加
熱装置は使用できない。

【０００８】本発明はかかる配管のクリーニング等を行
うための配管用加熱装置を目的とする。具体的には、半
導体産業や液晶表示デバイス産業においては、半導体製
造装置のガス等の流体を導入系統の配管の内面に吸着し
ている水分等を除去するサ−マルクリ−ニング、或いは
導入ガスの加熱用、又は半導体製造装置の排気側に適用
して反応生成物や未反応生成物を排気管への付着を防止
す装置を目的とする。

【０００９】また、食品産業では配管内を流通する流体
の加熱に利用できる装置である。温泉業においては低い
温度の温泉を入浴に適する温度に加熱する加熱装置とし
ても使用できる装置である。この装置は温泉源から需要
場所まで温泉を流通させる（引き湯）段階で温泉を加熱
できるため需要場所に設置される温泉加熱用のボイラ−
を不要にするか、または小型化できる利点がある装置で
ある。以上述べたように本発明は各種の加熱が必要な配
管の加熱装置を目的とする。

【００１０】更に、本発明がの目的は、流体を流す配管
材料が熱伝導の悪い材料、例えば上記したステンレス鋼
や樹脂であっても、高度の温度均熱性や制御性を実現で
きる加熱装置を提供することである。更に配管の加熱装
置の発熱体が断線する等の不具合が生じたときにメンナ
ンスが容易な構造の配管の加熱装置であって、且つ、既
設の配管にも取付可能な配管の加熱装置を提供すること
にある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】熱伝導性に劣る材料から
なる配管を均一に加熱するためには、熱伝導性の優れた
材料により、発熱体からの熱を均一化させるための均熱
材を配設して配管を加熱すればよい。更に発熱体は、通
常電流通電形のものを使用するため長期的には断線して
初期の作用をなさなくなる可能性が有るため交換自由な
メンテナンス可能で、且つ作業性の良い構造である必要
がある。このような思想に基づき、下記の発明をするに
至った。

【００１２】本発明は、加熱される配管を周回する該配
管よりも熱伝導性の良い均熱材と、該均熱材を周回する
発熱体と、該発熱体を周回し、外部への熱放散を遮断す
る断熱材と、該均熱材、発熱体、及び断熱材からなる積
層体を前記配管に固定するための外被覆材と、を備えた
ことを特徴とする配管用加熱装置である。

【００１３】加熱される配管よりも熱伝導性の良い均熱
材を発熱体と配管との中間に配設することにより、発熱
体が不均一に発熱しても均熱材が長手方向及び周同方向
に配管を均一に加熱する。ここで、配管よりも熱伝導の
高い均熱材は、配管がステンレス鋼或いは樹脂である場
合には、熱伝導率が高いアルミニュウム、純銅、銅合
金、銀、銀合金等が望ましい。

【００１４】上記均熱材、発熱体、及び断熱材からなる
積層体は、管状に形成することができ、配管の長手方向
に２以上に分割し、前記外被覆材により分割された部分
を配管に固定するように構成することができる。

【００１５】また、前記積層体のうち少なくとも均熱
材、及び断熱材が配管の長手方向にスリットにより分割
し、スリットを介して配管を均熱材内部に装入し、前記
外被覆材により該積層体を配管に固定することも可能で
ある。

【００１６】前記外被覆材として、前記断熱材を接着で
きる接着剤が塗布されたアルミ製テープを用いることが
できる。長い配管を均一に加熱する場合には、隣接する
加熱装置との熱的接続を良くするため、前記均熱材を管
状とし、その一端がテーパー状に拡大し、他端は該テー
パー部分が嵌合するように逆テーパ状に減少している管
状の均熱材を用いることができる。

【００１７】前記外被覆材の両端に締結部を取付け、該
締結部を閉じることによって前記均熱材、発熱体、断熱
材を前記配管に固定することは作業性の点で望ましい。
締結部としてファスナーを用いると便利である。前記外
被覆材にかえて、薄い金属板の両端にフックを付け該フ
ックを閉じることにより加熱装置を配管に取り付けるこ
とも可能である。

【００１８】前記発熱体は、断熱材の内側若しくは前記
均熱材の外側に配設されているか、又は前記均熱材に埋
め込まれているようにすることが可能である。また、配
管には種々の接続部、例えばＶＣＲ接続部、Ｌ形接続
部、Ｔ形接続部等があるので、上記配管用加熱装置をこ
れらの接続部に適合したように変形して構成する。

【００１９】

【発明の実施の形態】配管の接する内側より均熱材、発
熱体、断熱材、外被覆とした加熱装置とすることによ
り、均熱に優れる配管の加熱が実現できる。配管よりも
熱伝導の高い均熱材としては、配管がステンレス鋼或い
は樹脂である場合には、熱伝導率が高いアルミニュウ
ム、純銅、銅合金、銀、銀合金等が望ましい。

【００２０】この結果、高い温度制御性も実現できる。
更にこの加熱装置を分割できる構造、または、スッリト
を設けてこれを介して配管を均熱材で周回させることが
できる。

【００２１】また、外被覆材にファスナーその他の締結
部を取付け、それにより加熱装置を配管に取り付ける構
造とすることにより加熱装置の配管への着脱が容易とな
り、新設時、及び故障時のメンテナンスが容易となる。
また既設配管へも随時適用できるため配管のサーマルク
リーニング等が容易に実現できる。以下、本発明を図面
を参照して説明する。

【００２２】

【実施例】

実施例１図１（Ａ）は、本発明の加熱装置を直線状の配管（以
下、直管と言う）に適用した例を斜視図で示したもので
ある。図中１は、テープ状外被覆材でありその両端には
ファスナー８が取り付けられており、本図例ではファス
ナー８が閉じられている。配管６の外周には均熱材５、
シリコンラバーヒータである発熱体３、断熱材２が積層
された状態になっている。

【００２３】尚、図中７は、均熱材、断熱材の切り割っ
たスリット部分を示し、４は該スリット７の対向側の溝
を示す。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示した配管に取り
付けられた加熱装置のＸ−Ｘ方向断面図である。図中１
はシート状外被覆材、２は断熱材、３は発熱体であり、
本実施例ではシリコンラバーヒーター（ヒーターを埋め
込んだシリコンラバー）を使用している。５は均熱材で
あり、その一部に溝４が設けられている。この溝は加熱
装置の配管への取付を容易にするものである。

【００２４】管状の均熱材を２つに分割し、図中の４に
相当する部分の外周を、例えば接着剤を塗布したアルミ
製テープ等で接続しても良いし、一部開口を持つＣリン
グかそれに近い形状のもので接続しても良い。要は、分
割した後、均熱材５を配管に周回できる構造であれば目
的は達成できる。

【００２５】更に言えば既設配管に適用する場合、２分
割の均熱材では取付が出来ない時は多数個に分割してあ
ってもよい。図１（Ｃ）は、図１（Ａ）の状態になる
前、ファスナーを閉じる前の状態を示す斜視図である。
図中１は外被覆材、２は断熱材、３はシリコンラバーヒ
ータの発熱体。４は溝部であり５は均熱材、６は配管、
７は装置の割り部であり、８はファスナーを示す。ま
た、均熱材５、発熱体３、断熱材２、及び外被覆材１の
全て又は一部を接着材等で相互に接続してもよいことは
いうまでもない。

【００２６】図２は、ＶＣＲ接続部に本加熱装置を適用
した状態の断面図である。図中外被覆材は省略してい
る。図中２ａは、ＶＣＲ部１９の断熱材、３は発熱体で
あり直管部分６の均熱材５上にのみ取り付けられてい
る。５ａはＶＣＲ部１９に適用した均熱材であり、ＶＣ
Ｒ部の均熱材５ａは、均熱材５と熱伝導が確保される状
態で重ね合わせた状態で取り付けられている。

【００２７】この様にすることにより異形部における均
熱性を確保することができる。図３は、多分割形の均熱
材である。図中５は均熱材であり、本例では図から明か
な様に割り部７で８分割されている。１４は接着剤付き
アルミテープであり、８分割した管状の均熱材５を接続
している。但し割り部７の一部は接続されない。尚、分
割した均熱材の接続はアルミテープに限らない。かかる
構造とすることにより発熱体、板状断熱材、外被覆シー
トの組み合わせからなる本発明の配管加熱装置を円弧状
に構成できるので、製作時の作業性が向上する。

【００２８】実施例２図４は、Ｌ形部を有する配管への本加熱装置の適用例を
斜視図で示したものである。図４で外被覆材１はシート
状である。発熱体３はシースヒータを用いた。１４は接
着剤付きアルミ製テープで、管状の均熱材５の割り部７
を接続する。

【００２９】２８は取付固定用ファスナーであり、勿論
Ｌ形部に外被覆材２１を加工し、ファスナーを取り付け
た構造でもよい。図５は、図４に示したＸーＸ方向断面
図である。１６はＬ形マイクロ継ぎ手（以下、Ｌ継ぎ手
という）であり、直角に曲がった配管を接続する。

【００３０】該Ｌ継ぎ手１６の部分において、管状の均
熱材は、該Ｌ形部に合うように曲げられており、該均熱
材は、図４で示すように２つに分割されている。そして
本例では接着剤付きアルミ製テープ１４で接続されてお
り、このアルミ製テープを剥がし、分割された部分を開
き、配管への着脱を行うことができる。

【００３１】また、図６に示すようにこの均熱材５がＬ
継ぎ手１６と接する部分は、掘り込んで均熱材の割り部
が相互に接する様な形状となっている。更に均熱材５突
合せ部３１を相互に斜めに切断し、配管に取り付けたと
き互いになす角度が９０度になるようにした。発熱体
３には、シースヒータを使用し、断熱材の長手方向と直
角に折り返して配置した。シースヒータの断熱材への取
付は、一部が開口したＣ字、または似たような形状の金
具（ホッチギスのマックス針等）でシースヒータを締め
付けて固定した。尚、Ｌ形部の内側での発熱体の密度が
高くなるのを防ぐように発熱体の配置を行った。

【００３２】また断熱材２のＬ形部の内側に接する部分
は図６に示すように、発熱体を開いた状態の断熱材上に
配設でき、その作業性は大きく高まった。また図示はし
ないが、切り欠き部に断熱材２の形状にならって外被覆
材１を切りとり、その端部をファスナー８及びコーナー
接続用ファスナー２８等で閉じるようにしてある。

【００３３】尚、均熱材５のＬ形部は、二つの直管の先
端をそれぞれ４５度に切断し、突き合わせて例えば９０
°になるようにして突き合わせることにより、Ｌ形部の
均熱材の接続をやっても良い。また、その突合せ部３１
が相互にはめ合わせる形状にすればＬ形部の突き合わせ
部相互の熱伝導性は高まる。

【００３４】そして発熱体３を均熱材のＬ形内側部まで
配設する。この様にすることにより加熱装置を開いた状
態で作製できる。断熱材２は均熱材５と同様の突き合わ
せの形状にすればよい。勿論、均熱材の斜めに切断した
部分の内側は、Ｌ形継ぎ手が収まるように加工してあ
る。このような構造にすることにより加熱装置の製作が
容易となる。

【００３５】実施例３図７（Ａ）は、Ｔ形部分を有する配管の加熱装置を示し
たものであり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＸーＸ方向
断面図である。図では、均熱材５は、Ｔ形に作られ後、
紙面と平行に溝４が掘られているが、別の形状として紙
面と平行に全部を切り割り、分割され均熱材５のＴ形部
の上部を接着剤が塗布されたアルミテープ等で接続して
もよい。

【００３６】勿論、均熱材５の配管６接続用のＴ形継ぎ
手に接する部分は、Ｔ形継ぎ手４６が収まるよう加工し
てある。断熱材２もＴ形に作られＴ形の上辺のみが接続
されており他の部分は分割された構造となっている。発
熱体３は、本例ではシースヒータ２本を使い、分割した
断熱材２の各々に取り付けた。

【００３７】このシースヒータ同士の接続は、配管６に
該加熱装置を取り付けた後、外部で接続した。シート状
の外被覆材は、十字形に加工しＴ形の下辺部及び垂直部
の両側にファスナー８を取り付けた。故にこのＴ形配管
用加熱装置には加熱装置を配管に固定するためのファス
ナーが２個使用される。

【００３８】図８は、図７（Ａ）に示した加熱装置の他
の構造を示す断面図である。断熱材２と均熱材５はＴ形
の水平部と垂直部に分割されている。更に水平部の左右
からＴ形継ぎ手４６に接続される直管に接する均熱材５
は継ぎ手４６の部分において必要により分割され、垂直
部の直管での均熱管５に接して配設され、互いに熱が伝
わるようになっている。同様にＴ形継ぎ手４６の水平部
の部分にも均熱材５が取り付けられている。そして垂直
部の配管の為の均熱材５が配設されている。

【００３９】各々の均熱材５の外側には発熱体３が配設
されている。なお、図示してないが、外被覆材及び断熱
材については、十字形に加工し、Ｔ形継ぎ手４６の垂直
部と水平部の接する左右にほぼ切り欠きを入れ構造にし
てもよい。なお、４５は継ぎ手４６の均熱部、４２は継
ぎ手４６の断熱材で、１０は断熱材の締具である。

【００４０】実施例４図９（Ａ）は、十字形に接続された配管用の加熱装置の
斜視図であり、図９（Ｂ）は、直線の配管を十字形マイ
クロ継ぎ手６６に接続した例を示したものである。本加
熱装置では、ＹーＹ方向において外被覆材１、断熱材
２、発熱体３、均熱材５のいずれもが、例えばＹ−Ｙ方
向に直角な面で２分割されており、十字形マイクロ継ぎ
手６６を含んだ配管を上下からはさみ付け、ファスナー
で閉じて配管に取り付ける。そのためファスナー８は４
個取り付ける。

【００４１】実施例５図１０はバルブを含む配管への加熱装置の適用例を斜視
図で示したものである。図中９０はバルブ把手であり、
９１は本発明の加熱装置である。又、９は外被膜材を施
された積層体である。

【００４２】本実施例では、均熱材に対応する部分（以
下、均熱体という）、ＶＣＲ継ぎ手接続部分から角形部
分（ＶＣＲ継ぎ手部分を収容してる）、及び反対側のＶ
ＣＲ継ぎ手接続部分まで左右に２分割してある。そして
角形部分の底部の２分割された部分は接着剤が塗布され
たアルミテープ等で接続してある。また発熱体は、本実
施例ではバルブの角形部分の底面と両側面にのみ配設し
た。

【００４３】熱伝導の良い材質のもので可及的に厚い均
熱体を作り、発熱体がＶＣＲ継ぎ手まで配設されている
場合と比較し温度の低下を実用上問題がない程度まで小
さくしたものである。尚、この発熱体の配設構造は、Ｌ
形接続配管、Ｔ字形接続配管や十字形接続配管にも同様
に適用できるのは言うまでもない。また、このバルブ加
熱装置は、その寸法や小さな形状の変更で流量制御器や
その他の配管機材にも適用できる事も言うまでもない。

【００４４】上記説明において熱電対等の測温手段の配
設には特に触れなかったが温度制御と測温のための測温
体手段を取り付けることができる。この測温体の取り付
け位置は、均熱材の表面でも良いし、均熱材に測温手段
の取り付け用の孔等を開け取り付けるか、均熱材を貫通
して配管表面に測温体を配設してもよい。それにより温
度を一定にしての配管加熱ができる。

【００４５】更に、実施例では、外被覆材の閉鎖のため
にファスナーを用いたが、これに限定されず粘着テープ
等を螺旋状巻いてもよい。本発明の実施例では加熱装置
の均熱材は、通常の市販の、例えばアルミ管やアルミ材
を使用したが、射出整形等で作ればよりきれいで作業性
の良い加熱装置が実現できる。更に本発明の加熱装置の
均熱材、均熱体材料としてはアルミに限定されるもので
なく銅、金銀等、配管材の熱伝導率よりも高い熱伝導率
を有する金属であればよい。

【００４６】また、発熱体もテープヒータやシースヒー
タに限定されるものでないし、その配設方法も間隔も必
要に応じて変えることができる。更に加熱ゾーンの分割
も１ゾーンに限らず複数のゾーンに分割して加熱制御で
きる。均熱材をゾーンに合わせて分割し、マルチゾーン
にしてもよい。また断熱材も絶対不可欠な条件でなく１
００℃程度以下の加熱においては、放熱を良くして温度
制御性を良くするため断熱材を除き外被覆材を直接発熱
体の上に取り付けても良い。

【００４７】また発熱体の配設も実施例のように断熱材
側に取り付けても良いし、均熱材、均熱体側に配設して
もよい。また、外被覆材、断熱材、発熱体、及び均熱
材、或いは均熱体の一部、または全部を積層した構造に
してもよいし、個々のものを部品として配管に配設して
もよい。更に申し添えれば、本発明の実施例の加熱装置
は、半導体製造にかかる配管の加熱を中心に例示した
が、本発明の加熱装置は、半導体に限定されるものでも
ない。例えば温泉の引き湯配管における加熱などにも適
用できる。

【００４８】外被覆材の材質には実施例の項で特にふれ
なかったが、好ましい材質・構造としては赤外線、即ち
熱線を反射する材質・構造が望ましい。その例として
は、シートや布状素材にアルミをコーテイングしたもの
や、断熱フィルム、例えば市販されている商品名「レフ
テル」の様な断熱フィルムが望ましい。この様な熱線反
射形断熱フィルムを使用することにより適用する断熱材
の使用枚数を減らす効果も発生する。

【００４９】

【発明の効果】以上、述べたように本発明の加熱装置を
配管に適用することにより温度分布の均一性に優れた配
管の加熱が実現できる。更に均熱材、均熱体、発熱体、
断熱材の一部、外被覆材の一部を分割するか、いくつか
の部分に分割して配管に配設できる構造としたため着脱
が容易となり、故障時のメンテナンス性にも優れる。更
に既設配管の均熱加熱が実現できる点も本加熱装置の効
果である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の加熱装置を示す図であり、（Ａ）は本
発明の加熱装置を直管適用した例を示す斜視図、（Ｂ）
は本発明の加熱装置を直管適用した例の断面を示す断面
図、（Ｃ）は、本発明の加熱装置を直管適用し、ファス
ナー等で締結する前の状態を示す斜視図である。

【図２】直管と接続金具が接合された場合における本発
明の加熱装置の適用例を示す断面図である。

【図３】均熱材を多分割にした例を示す図である。

【図４】本発明の加熱装置をＬ形部を有する配管に適用
した例を示す図である。

【図５】本発明の加熱装置をＬ形部を有する配管に適用
した例を示す断面図である。

【図６】本発明の加熱構造体をＬ形部に適用した別の実
施例を示す断面図である。

【図７】本発明の加熱装置をＴ形接続部を有する配管に
適用した例を示す図（Ａ）とその断面図（Ｂ）である。

【図８】本発明の加熱装置をＴ形接続部を有する配管に
適用した別の例を示す断面図である。

【図９】十字形の接続を有する配管に本発明の加熱装置
を適用した例を示す斜視図、及び断面図である。

【図１０】本発明の加熱装置をバルブ等の器具類に適用
した例を示す斜視図である。

【図１１】従来の断熱材一体形の加熱装置を示す斜視図
である。

【図１２】従来の断熱材一体形の加熱装置の別の例を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１外被膜材２断熱材２ａＶＣＲ部の断熱材３発熱体４溝５均熱材５ａＶＣＲ部に適用し
た断熱材６配管７割り部８ファスナー９外被膜材を施された積層体１０締具１４接着剤付アルミ製テープ１６Ｌ継ぎ手１８コーナー接続用ファスナー１９ＶＣＲ接続部４６Ｔ形継ぎ手

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】加熱される配管を周回する該配管よりも
熱伝導性の良い均熱材と、該均熱材を周回する発熱体
と、該発熱体を周回し外部への熱放散を遮断する断熱材
と、該均熱材、発熱体、及び断熱材からなる積層体を前
記配管に固定するための外被覆材と、を備えたことを特
徴とする配管用加熱装置。
【請求項２】前記均熱材、発熱体、及び断熱材からな
る積層体が、配管の長手方向に２以上に分割されてお
り、前記外被覆材により該分割された部分を配管に固定
することを特徴とする請求項１記載の配管用加熱装置。
【請求項３】前記積層体のうち少なくとも均熱材、及
び断熱材が配管の長手方向にスリットにより分割されて
おり、該スリットを介して配管を均熱材内部に挿入し、
前記外被覆材により前記積層体を配管に固定することを
特徴とする請求項１記載の配管用加熱装置。
【請求項４】前記外被覆材が、前記断熱材を接着する
接着剤が塗布されたアルミ製テープであることを特徴と
する請求項１記載の配管用加熱装置。
【請求項５】隣接する加熱装置との熱的接続を確保す
るため、前記均熱材を管状とし、その一端がテーパー状
に管径が拡大し、他端は該テーパー部分が嵌合するよう
に逆テーパ状に管径が減少していることを特徴とする請
求項１記載の配管用加熱装置。
【請求項６】前記外被覆材の長手方向の両端にファス
ナーを取付け、該ファスナーを閉じることによって前記
均熱材、発熱体、断熱材を前記配管に固定することを特
徴とする請求項１記載の配管用加熱装置。
【請求項７】前記ファスナーにかえて、金属板の両端
にフックを付け該フックを閉じることにより加熱装置を
配管に取り付けることができる金属板を備えていること
を特徴とする請求項６記載の配管用加熱装置。
【請求項８】前記発熱体が、断熱材の内側若しくは前
記均熱材の外側に配設されているか、又は前記均熱材に
埋め込まれていることを特徴とする請求項１記載の配管
用加熱装置。
【請求項９】前記配管のＶＣＲ接続部、Ｌ形部やＴ形
接続部に適用される配管用加熱装置であることを特徴と
する請求項１記載の配管用加熱装置。