|
JP4529203B2
(ja)
*
|
1999-08-05 |
2010-08-25 |
パナソニック株式会社 |
角速度センサ
|
|
JP4626002B2
(ja)
*
|
2000-01-12 |
2011-02-02 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動型ジャイロスコープ
|
|
JP2002031533A
(ja)
*
|
2000-07-13 |
2002-01-31 |
Microstone Corp |
ジャイロセンサ
|
|
US7028547B2
(en)
*
|
2001-03-06 |
2006-04-18 |
Microstone Co., Ltd. |
Body motion detector
|
|
WO2003031912A2
(en)
*
|
2001-10-05 |
2003-04-17 |
The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. |
Tuning fork gyroscope
|
|
JP4852216B2
(ja)
*
|
2002-01-30 |
2012-01-11 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動型ジャイロスコープ
|
|
JP3601822B2
(ja)
|
2002-09-11 |
2004-12-15 |
東洋通信機株式会社 |
双音さ型振動ジャイロセンサ
|
|
DE10254163A1
(de)
*
|
2002-11-21 |
2004-06-03 |
Eads Deutschland Gmbh |
Mikromechanischer Drehratensensor
|
|
JP4336946B2
(ja)
|
2003-03-20 |
2009-09-30 |
セイコーエプソン株式会社 |
回転角速度の測定方法および装置
|
|
JP4389480B2
(ja)
*
|
2003-05-28 |
2009-12-24 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動子の支持機構及び振動子ユニット
|
|
JP4163067B2
(ja)
*
|
2003-07-14 |
2008-10-08 |
日本碍子株式会社 |
物理量測定方法および装置
|
|
US20050062362A1
(en)
*
|
2003-08-28 |
2005-03-24 |
Hongyuan Yang |
Oscillatory gyroscope
|
|
EP1707919B1
(en)
|
2004-01-20 |
2016-08-24 |
Seiko Epson Corporation |
Physical quantity measuring device
|
|
KR20060129930A
(ko)
|
2004-01-20 |
2006-12-18 |
니뽄 가이시 가부시키가이샤 |
검파 회로, 검파 방법 및 물리량 측정 장치
|
|
JP4859347B2
(ja)
*
|
2004-02-18 |
2012-01-25 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動型ジャイロスコープ
|
|
US7106189B2
(en)
*
|
2004-04-29 |
2006-09-12 |
Tracetech Incorporated |
Tracking system and methods thereof
|
|
US7140251B2
(en)
*
|
2004-05-19 |
2006-11-28 |
Ngk Insulators, Ltd. |
Devices for measuring physical values and vibrators
|
|
JP2006058101A
(ja)
*
|
2004-08-19 |
2006-03-02 |
Seiko Epson Corp |
振動片、振動子および応用機器
|
|
JP4774733B2
(ja)
*
|
2004-12-03 |
2011-09-14 |
パナソニック株式会社 |
複合センサ
|
|
JP2006162314A
(ja)
*
|
2004-12-03 |
2006-06-22 |
Matsushita Electric Ind Co Ltd |
複合センサ
|
|
US7300814B2
(en)
|
2004-12-16 |
2007-11-27 |
The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. |
Method for fabricating micro-mechanical devices
|
|
JP4415382B2
(ja)
*
|
2005-01-20 |
2010-02-17 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ
|
|
JP2006201053A
(ja)
*
|
2005-01-21 |
2006-08-03 |
Seiko Epson Corp |
圧電振動ジャイロ素子、圧電振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ
|
|
JP2006201118A
(ja)
*
|
2005-01-24 |
2006-08-03 |
Seiko Epson Corp |
圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ
|
|
JP4415383B2
(ja)
*
|
2005-01-24 |
2010-02-17 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ
|
|
US7302848B2
(en)
|
2005-03-10 |
2007-12-04 |
The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. |
Force compensated comb drive
|
|
JP2007017224A
(ja)
*
|
2005-07-06 |
2007-01-25 |
Sharp Corp |
ジャイロセンサ
|
|
JP4702942B2
(ja)
*
|
2005-10-14 |
2011-06-15 |
Necトーキン株式会社 |
振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ
|
|
JP4968741B2
(ja)
*
|
2006-01-13 |
2012-07-04 |
シチズンホールディングス株式会社 |
角速度センサー用振動体
|
|
US20070163346A1
(en)
*
|
2006-01-18 |
2007-07-19 |
Honeywell International Inc. |
Frequency shifting of rotational harmonics in mems devices
|
|
CN103278147B
(zh)
|
2006-01-24 |
2015-11-04 |
松下电器产业株式会社 |
惯性力传感器
|
|
JP2007322200A
(ja)
*
|
2006-05-31 |
2007-12-13 |
Kyocera Kinseki Corp |
慣性センサ素子
|
|
US20100011859A1
(en)
*
|
2006-09-21 |
2010-01-21 |
Panasonic Corporation |
Angular velocity sensor
|
|
US7975545B2
(en)
*
|
2006-12-08 |
2011-07-12 |
Tdk Corporation |
Angular velocity sensor and angular velocity sensor device
|
|
JP2008145256A
(ja)
*
|
2006-12-08 |
2008-06-26 |
Tdk Corp |
角速度センサ素子および角速度センサ装置
|
|
JP5023708B2
(ja)
*
|
2007-01-17 |
2012-09-12 |
Tdk株式会社 |
角速度センサ素子および角速度センサ装置
|
|
JP2008157810A
(ja)
*
|
2006-12-25 |
2008-07-10 |
Tdk Corp |
角速度センサ素子および角速度センサ装置
|
|
JP2008249489A
(ja)
*
|
2007-03-30 |
2008-10-16 |
Tdk Corp |
角速度センサ素子および角速度センサ装置
|
|
JP2008249490A
(ja)
*
|
2007-03-30 |
2008-10-16 |
Tdk Corp |
角速度センサ素子および角速度センサ装置
|
|
KR101149266B1
(ko)
*
|
2007-12-19 |
2012-07-20 |
가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 |
각속도 센서
|
|
JP5184142B2
(ja)
*
|
2008-02-26 |
2013-04-17 |
セイコーインスツル株式会社 |
圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
|
|
JP5327579B2
(ja)
*
|
2008-03-28 |
2013-10-30 |
Tdk株式会社 |
角速度センサ素子
|
|
JP5012621B2
(ja)
*
|
2008-03-31 |
2012-08-29 |
アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 |
動力伝達装置
|
|
JP2009250859A
(ja)
*
|
2008-04-09 |
2009-10-29 |
Epson Toyocom Corp |
加速度検知装置
|
|
JP5160974B2
(ja)
*
|
2008-06-23 |
2013-03-13 |
北陸電気工業株式会社 |
二軸型角速度センサ
|
|
US8187902B2
(en)
*
|
2008-07-09 |
2012-05-29 |
The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. |
High performance sensors and methods for forming the same
|
|
JP5454134B2
(ja)
*
|
2008-12-27 |
2014-03-26 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動片、振動子、センサー及び電子部品
|
|
JP2010190706A
(ja)
*
|
2009-02-18 |
2010-09-02 |
Panasonic Corp |
慣性力センサ
|
|
JP2009294218A
(ja)
*
|
2009-07-31 |
2009-12-17 |
Seiko Epson Corp |
直線加速度計
|
|
JP4905518B2
(ja)
*
|
2009-08-25 |
2012-03-28 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動型ジャイロスコープ、および振動型ジャイロスコープの製造方法
|
|
JP2011145278A
(ja)
*
|
2009-12-16 |
2011-07-28 |
Seiko Epson Corp |
振動片、振動子、物理量センサー、および電子機器
|
|
CN102334008B
(zh)
|
2010-01-12 |
2015-07-15 |
索尼公司 |
角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法
|
|
JP4670992B2
(ja)
*
|
2010-02-05 |
2011-04-13 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動型ジャイロスコープ
|
|
EP2876411A1
(en)
*
|
2010-02-18 |
2015-05-27 |
Panasonic Corporation |
Angular speed sensor and composite sensor for detecting angular speed
|
|
JP5560806B2
(ja)
*
|
2010-03-19 |
2014-07-30 |
セイコーエプソン株式会社 |
ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器
|
|
JP2011220997A
(ja)
*
|
2010-03-26 |
2011-11-04 |
Seiko Epson Corp |
物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
|
|
WO2012081457A1
(ja)
*
|
2010-12-15 |
2012-06-21 |
株式会社村田製作所 |
振動ジャイロ
|
|
US8573057B2
(en)
*
|
2011-04-28 |
2013-11-05 |
Custom Sensors & Technologies, Inc. |
Sensor mount vibration reduction
|
|
JP4905601B2
(ja)
*
|
2011-05-27 |
2012-03-28 |
セイコーエプソン株式会社 |
振動型ジャイロスコープの製造方法
|
|
CN102278983B
(zh)
*
|
2011-07-22 |
2014-03-26 |
上海交通大学 |
具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法
|
|
JP5682495B2
(ja)
*
|
2011-07-28 |
2015-03-11 |
セイコーエプソン株式会社 |
物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器
|
|
JP5870532B2
(ja)
*
|
2011-08-09 |
2016-03-01 |
セイコーエプソン株式会社 |
物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器
|
|
EP2607849A1
(en)
*
|
2011-12-22 |
2013-06-26 |
Tronics Microsystems S.A. |
Multiaxial micro-electronic inertial sensor
|
|
JP5982896B2
(ja)
|
2012-03-13 |
2016-08-31 |
セイコーエプソン株式会社 |
センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器
|
|
JP5970699B2
(ja)
*
|
2012-03-29 |
2016-08-17 |
セイコーエプソン株式会社 |
センサーユニット、電子機器
|
|
JP2013213728A
(ja)
*
|
2012-04-02 |
2013-10-17 |
Seiko Epson Corp |
ジャイロセンサーおよび電子機器
|
|
JP2013250220A
(ja)
*
|
2012-06-04 |
2013-12-12 |
Seiko Epson Corp |
振動片、電子デバイス、及び電子機器
|
|
US9702696B2
(en)
|
2012-10-19 |
2017-07-11 |
Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. |
Angular velocity sensor
|
|
CN103197098B
(zh)
*
|
2013-03-01 |
2014-08-20 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
一种高精度有限转角轴系角加速度的测量装置
|
|
JP6329001B2
(ja)
*
|
2014-05-28 |
2018-05-23 |
京セラ株式会社 |
角速度センサ及びセンサ素子
|
|
JP6471467B2
(ja)
*
|
2014-11-13 |
2019-02-20 |
株式会社デンソー |
力学量センサ
|
|
US10352960B1
(en)
*
|
2015-10-30 |
2019-07-16 |
Garmin International, Inc. |
Free mass MEMS accelerometer
|
|
CN109477719A
(zh)
*
|
2016-07-26 |
2019-03-15 |
京瓷株式会社 |
角速度传感器、传感器元件以及多轴角速度传感器
|
|
JP6450060B2
(ja)
*
|
2017-01-24 |
2019-01-09 |
京セラ株式会社 |
センサ素子、角速度センサおよび多軸角速度センサ
|
|
US11525679B2
(en)
*
|
2017-08-29 |
2022-12-13 |
Kyocera Corporation |
Angular velocity sensor and sensor element
|
|
CN107702704B
(zh)
*
|
2017-09-28 |
2021-02-02 |
中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
一种石英微振动陀螺
|
|
TWI738388B
(zh)
*
|
2019-06-21 |
2021-09-01 |
全新光電科技股份有限公司 |
具有複數電流侷限層的垂直共振腔表面放射雷射二極體
|
|
CN113341710B
(zh)
*
|
2021-05-21 |
2023-06-13 |
北京理工大学 |
一种飞行器敏捷转弯复合控制方法和应用
|
|
JPWO2023090349A1
(en:Method)
*
|
2021-11-16 |
2023-05-25 |
|
|