JP7487156B2 - 磁場計測装置 - Google Patents
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Description
特許文献1 特開2012-152514号公報
100 本体部
110 磁気センサユニット
120 ヘッド
125 駆動部
130 ベース部
140 ポール部
150 情報処理部
210 磁気センサアレイ
220 磁気センサセル
230 センサデータ収集部
300 センサ部
520 磁気センサ
530 第1の磁場生成部
532 第1の増幅回路
534 第1のコイル
540 出力部
710 磁気抵抗素子
720、730 磁気収束板
910 電流DA変換器
920 第2の磁場生成部
922 第2の増幅回路
924 第2のコイル
1010 磁化自由層
1020 磁化固定層
1700 センサデータ処理部
1710 AD変換器
1712 クロック発生器
1720 計測データ取得部
1721 計測データ演算部
1730 較正演算部
1740 データ出力部
1750 基底ベクトル記憶部
1760 信号空間分離部
1770 指標算出部
1771 基底ベクトル較正部
1780 指標出力部
1790 故障判定部
2000 勾配磁場演算部
2200 コンピュータ
2201 DVD-ROM
2210 ホストコントローラ
2212 CPU
2214 RAM
2216 グラフィックコントローラ
2218 ディスプレイデバイス
2220 入/出力コントローラ
2222 通信インターフェイス
2224 ハードディスクドライブ
2226 DVD-ROMドライブ
2230 ROM
2240 入/出力チップ
2242 キーボード
Claims (11)
- 複数の磁気センサセルを有し、三次元空間内の複数の箇所において3軸方向の入力磁場を検出可能な磁気センサアレイと、
測定対象磁場を含む前記入力磁場に基づく計測データを取得する計測データ取得部と、
前記計測データ取得部が取得した前記計測データを較正する計測データ演算部と、
を備え、
前記計測データ演算部は、
前記計測データ演算部における較正の精度を示す指標を算出する指標算出部と、
を有し、
前記複数の磁気センサセルのそれぞれは、
磁気センサと、
出力信号を出力する出力部と、
前記出力信号に応じた大きさで、前記磁気センサが検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場を発生させる第1の磁場生成部と
を有し、
前記出力部は、前記第1の磁場生成部が前記フィードバック磁場を発生するために流すフィードバック電流に応じた前記出力信号を出力し、
前記磁気センサのそれぞれは、磁気抵抗素子と前記磁気抵抗素子の両端に配置された二つの磁気収束板とを含み、前記磁気抵抗素子は、二つの前記磁気収束板に挟まれた位置に配置され、
前記第1の磁場生成部は、前記磁気抵抗素子および二つの前記磁気収束板を取り囲むように、前記磁気センサが検出対象とする磁場の軸方向に沿って巻かれている第1のコイルを含む、
磁場計測装置。 - 複数の磁気センサセルを有し、三次元空間内の複数の箇所において3軸方向の入力磁場を検出可能な磁気センサアレイと、
測定対象磁場を含む前記入力磁場に基づく計測データを取得する計測データ取得部と、
前記計測データ取得部が取得した前記計測データを較正する計測データ演算部と、
を備え、
前記複数の磁気センサセルのそれぞれは、
磁気センサと、
出力信号を出力する出力部と、
を有し、
前記計測データ演算部は、
前記計測データ演算部における較正の精度を示す指標を算出する指標算出部と、
前記計測データ演算部は、前記計測データから生成した磁場計測データによって示される前記入力磁場の空間分布を、正規直交関数の空間分布を持つ磁場を前記磁気センサアレイで検出したときに前記磁気センサのそれぞれが出力する信号ベクトルを基底ベクトルとして信号分離する信号空間分離部と
を有し、
前記指標算出部は、前記信号空間分離部が信号分離した結果に基づいて、前記指標を算出する、
磁場計測装置。 - 複数の磁気センサセルを有し、三次元空間内の複数の箇所において3軸方向の入力磁場を検出可能な磁気センサアレイと、
測定対象磁場を含む前記入力磁場に基づく計測データを取得する計測データ取得部と、
前記計測データ取得部が取得した前記計測データを較正する計測データ演算部と、
を備え、
前記計測データ演算部は、
前記計測データ演算部における較正の精度を示す指標を算出する指標算出部と、
を有し、
前記複数の磁気センサセルのそれぞれは、
磁気センサと、
出力信号を出力する出力部と、
を有し、
前記計測データ演算部は、前記指標算出部が算出した前記指標に基づいて、前記計測データを再較正する、
磁場計測装置。 - 前記複数の磁気センサセルのそれぞれは、前記出力信号に応じた大きさで、前記磁気センサが検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場を発生させる第1の磁場生成部を更に有し、
前記出力部は、前記第1の磁場生成部が前記フィードバック磁場を発生するために流すフィードバック電流に応じた前記出力信号を出力する、
請求項2または3に記載の磁場計測装置。 - 前記磁気センサのそれぞれは、磁気抵抗素子と前記磁気抵抗素子の両端に配置された二つの磁気収束板とを含み、前記磁気抵抗素子は、二つの前記磁気収束板に挟まれた位置に配置される、請求項4に記載の磁場計測装置。
- 前記第1の磁場生成部は、前記磁気抵抗素子および二つの前記磁気収束板を取り囲むように、前記磁気センサが検出対象とする磁場の軸方向に沿って巻かれている第1のコイルを含む、請求項5に記載の磁場計測装置。
- 前記複数の磁気センサセルのそれぞれは、前記磁気センサが検出する入力磁場に含まれる環境磁場を低減させるキャンセル磁場を発生させる第2の磁場生成部を更に含み、
前記第2の磁場生成部は、前記磁気抵抗素子および二つの前記磁気収束板を取り囲むように、前記磁気センサが検出対象とする磁場の軸方向に沿って巻かれている第2のコイルを含む、請求項1、5、および6のいずれか一項に記載の磁場計測装置。 - 前記複数の磁気センサセルのそれぞれは、前記磁気センサと、前記第1の磁場生成部と、前記出力部とをそれぞれ含む3つのセンサ部を有し、磁場を前記3軸方向で検出可能である、請求項1、および4から7のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
- 前記指標算出部は、前記計測データから生成した前記複数の磁気センサセルにおける磁場計測データの統計に基づいて、前記指標を算出する、請求項1から8のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
- 前記計測データ演算部は、前記指標算出部が算出した前記指標を出力する指標出力部を更に有する、請求項1から9のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
- 前記磁気センサアレイは、曲面状に配置される、請求項1から10のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
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