JP2017026312A - 三次元磁気センサー - Google Patents
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Abstract
【課題】三つの磁気センサーの位置ずれに伴う測定誤差を最小限に抑える【解決手段】三次元磁気センサー1が面方向感応型の第一磁気センサー2及び第二磁気センサー3を備えるとともに、垂直方向感応型の第三磁気センサー4を備える。これら第一磁気センサー2、第二磁気センサー3及び第三磁気センサー4が積み重ねられ、第一磁気センサー2、第二磁気センサー3及び第三磁気センサー4の磁界の感応方向が互いに直交する。【選択図】図1
Description
本発明は、三次元磁気センサーに関する。
磁気抵抗効果素子の電気抵抗値が外部の磁界の強度に依存するので、磁気抵抗効果素子に印加される磁界強度が変化すると、その磁気抵抗効果素子の電気抵抗値が変化する。そのような磁気抵抗効果を利用して、磁気抵抗効果素子が磁気センサーとして利用される。磁場はベクトルであり、磁気抵抗効果素子には磁界の感応方向がある。つまり、磁気抵抗効果素子の感応方向に沿った磁界強度が変化すると、磁気抵抗効果素子の抵抗値が大きく変化するが、その感応方向とは異なる方向に沿った磁界強度が変化しても、磁気抵抗効果素子の抵抗値が殆ど変化しない。
特許文献1には、磁界ベクトルセンサー(三次元磁気センサー)が開示されている。この磁界ベクトルセンサーは、三つの磁気抵抗効果素子を球体の表面に貼着して、これら三つの磁気抵抗効果素子の感応方向を互いに直交させたものである。
ところで、特許文献1に記載の技術では、三つの磁気抵抗効果素子が互いに離れているため、これらの磁気抵抗効果素子による磁界の測定箇所がずれていて、これら磁気抵抗効果素子の位置ずれに伴った測定誤差が生じる。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、磁気抵抗効果素子等の三つの磁気センサーの位置ずれに伴う測定誤差を最小限に抑えることである。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、磁気抵抗効果素子等の三つの磁気センサーの位置ずれに伴う測定誤差を最小限に抑えることである。
以上の課題を解決するために、請求項1に係る本発明は、第一磁気センサー、第二磁気センサー及び第三磁気センサーを備え、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが互いに近接して配置され、これら前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーのうち少なくとも二つが重ねられ、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの磁界の感応方向が互いに直交することを特徴とする三次元磁気センサーである。
請求項2に係る発明は、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが板状のチップであり、前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーの磁界の感応方向がそれぞれの主面に対して平行であり、前記第三磁気センサーの磁界の感応方向がその主面に対して垂直であり、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが積み重ねられていることを特徴とする請求項1に記載の三次元磁気センサーである。
請求項3に係る発明は、前記第一磁気センサーと前記第二磁気センサーが隣り合うようにして前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが積み重ねられていることを特徴とする請求項2に記載の三次元磁気センサーである。
請求項4に係る発明は、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが、端子が形成された端子領域と、磁気抵抗効果素子が形成された感応領域とに区分けされ、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの前記感応領域が積み重ねられ、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの前記端子領域が前記感応領域の積層部から主面に沿って異なる方向へはみ出ていることを特徴とする請求項2又は3に記載の三次元磁気センサーである。
請求項5に係る発明は、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが搭載された基材と、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの端子から前記基材まで架け渡されたボンディングワイヤーと、を更に備えることを特徴とする請求項4に記載の三次元磁気センサーである。
請求項6に係る発明は、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが板状のチップであり、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの磁界の感応方向がそれぞれの主面に対して平行であり、前記第一磁気センサー及び前記第二センサーが積み重ねられ、前記第三磁気センサーが前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーに対して垂直となって前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーに近接することを特徴とする請求項1に記載の三次元磁気センサーである。
請求項7に係る発明は、第一基板と、前記第一基板と垂直となるよう前記第一基板に立設された第二基板と、を備え、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第二基板が積み重ねられ、前記第三磁気センサーが前記第一基板に関して前記第二基板の反対側において前記第一基板に搭載されていることを特徴とする請求項6に記載の三次元磁気センサーである。
請求項8に係る発明は、第一基板と、前記第一基板と垂直となるよう前記第一基板に立設された第二基板と、を備え、前記第三磁気センサーが前記第二基板に積み重ねられ、前記第一磁気センサー及び前記第二センサーが前記第一基板に関して前記第二基板の反対側において前記第一基板に搭載されていることを特徴とする請求項6に記載の三次元磁気センサーである。
請求項9に係る発明は、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが、端子が形成された端子領域と、磁気抵抗効果素子が形成された感応領域とに区分けされ、前記第一磁気センサーの主面に対して垂直な方向に向かって見て、前記第一磁気センサーの前記感応領域と前記第二磁気センサーの感応領域が重なり、前記第三磁気センサーの主面に対して垂直な方向に向かって見て、前記第三磁気センサーの前記感応領域が前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーの感応領域に重なっていることを特徴とする請求項6から8の何れか一項に記載の三次元磁気センサーである。
請求項10に係る発明は、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが埋め込まれた封止材を更に備えることを特徴とする請求項1から9の何れか一項に記載の三次元磁気センサーである。
本発明によれば、第一磁気センサー、第二磁気センサー及び第三磁気センサーが互いに近接に配置され、第一磁気センサー、第二磁気センサー及び第三磁気センサーのうち少なくとも二つが重ねられているので、これら磁気センサーの位置的なずれに基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
以下に、本発明を実施するための形態について図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されている。そのため、本発明の技術的範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
〔第1の実施の形態〕
図1は、三次元磁気センサー1の概略斜視図である。
この三次元磁気センサー1は、互いに近接した磁気センサー2,3,4を備えるとともに、それら磁気センサー2,3,4をパッケージしたものである。
図1は、三次元磁気センサー1の概略斜視図である。
この三次元磁気センサー1は、互いに近接した磁気センサー2,3,4を備えるとともに、それら磁気センサー2,3,4をパッケージしたものである。
磁気センサー2,3,4は磁気抵抗効果素子が形成された正方形又は長方形板状のチップ(ダイ)である。磁気センサー2,3,4はベアチップであってもよいし、パッケージされたものでもよい。図面には互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸を図示し、磁気センサー2,3,4の表側及び裏側の主面に平行な方向がX方向及びY方向とし、それら主面に直交する方向をZ方向とする。X方向は磁気センサー2,3,4の長さ方向であり、Y方向が磁気センサー2,3,4の幅方向であり、Z方向は磁気センサー2,3,4の厚み方向である。これら磁気センサー2,3,4は、厚みが長さ及び幅よりも大きいものである。
図2(a)、図2(b)、図2(c)はそれぞれ磁気センサー2,3,4の平面図である。図3は積み重ねられた磁気センサー2,3,4の平面図である。
図2(a)に示すように、磁気センサー2はその主面方向に沿って感応領域2a及び端子領域2bに区分けされている。感応領域2aには磁気抵抗効果素子がパターニングされており、端子領域2bには端子2c,2dがパターニングされ、端子領域2bから感応領域2aにかけて引き回された薄膜配線によって端子2c,2dが磁気抵抗効果素子に電気的に導通する。感応領域2aに形成された磁気抵抗効果素子はトンネル磁気抵抗効果素子(TMR素子)である。その磁気抵抗効果素子の電気抵抗値とその磁気抵抗効果素子に印加される外部磁界の強度が相関関係にあり、外部の磁界強度が変化すると磁気抵抗効果素子の抵抗値が変化する。図2(b)及び図2(c)に示すように、磁気センサー2と同様に磁気センサー3も感応領域3aと端子領域3bに分けられ、磁気センサー4も感応領域4aと端子領域4bに分けられる。符号3c,3d,4c,4dは端子である。なお、感応領域2a,3a,4aに形成された磁気抵抗効果素子が巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)であってもよい。
図2(a)に示すように、磁気センサー2はその主面方向に沿って感応領域2a及び端子領域2bに区分けされている。感応領域2aには磁気抵抗効果素子がパターニングされており、端子領域2bには端子2c,2dがパターニングされ、端子領域2bから感応領域2aにかけて引き回された薄膜配線によって端子2c,2dが磁気抵抗効果素子に電気的に導通する。感応領域2aに形成された磁気抵抗効果素子はトンネル磁気抵抗効果素子(TMR素子)である。その磁気抵抗効果素子の電気抵抗値とその磁気抵抗効果素子に印加される外部磁界の強度が相関関係にあり、外部の磁界強度が変化すると磁気抵抗効果素子の抵抗値が変化する。図2(b)及び図2(c)に示すように、磁気センサー2と同様に磁気センサー3も感応領域3aと端子領域3bに分けられ、磁気センサー4も感応領域4aと端子領域4bに分けられる。符号3c,3d,4c,4dは端子である。なお、感応領域2a,3a,4aに形成された磁気抵抗効果素子が巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)であってもよい。
図2(a)、図2(b)及び図2(c)に示す矢印は、磁気センサー2,3,4の磁気抵抗効果が最も高く発現する向き、つまり磁気センサー2,3,4によって感応する磁界の向きを表す。矢印向きの磁界強度が増加すれば、磁気センサー2,3,4の磁気抵抗効果素子の抵抗値が増加し、矢印の反対向きの磁界強度が増加すれば、磁気センサー2,3,4の磁気抵抗効果素子の抵抗値が減少する。磁気センサー2は面方向磁気センサーであり、磁気センサー2の磁気抵抗効果素子の感応方向は磁気センサー2の主面に対して平行である。磁気センサー3の磁気抵抗効果素子の感応方向についても同様である。磁気センサー4は垂直方向磁気センサーであり、磁気センサー4の磁気抵抗効果素子の感応方向は磁気センサー4の主面に対して垂直である。
図3に示すように、磁気センサー2,3,4が積み重ねられており、磁気センサー2,3,4の感応方向が互いに直交する。より具体的には、図3に示すように、磁気センサー2,3,4の感応領域2a,3a,4aが積み重ねられており、端子領域2b,3b,4bが感応領域2a,3a,4aの積層部から主面方向に沿ってはみ出ており(延出しており)、端子領域2b,3b,4bが感応領域2a,3a,4aの積層部からはみ出る向きは互いに異なる。感応領域2a,3a,4aの積層部の層間には接着剤又は粘着剤等が挟まれ、接着剤又は粘着剤等によって感応領域2a,3a,4aが接合されている。
磁気センサー2,3,4の積層順はどのような順番でもよい。但し、主面方向に感応する磁気センサー2,3が隣り合うことが好ましい。つまり、磁気センサー4が磁気センサー2,3の間に挟まれないようにすることが好ましい。
図1に示すように、磁気センサー2,3,4のうち最下層の主面が基材5の表面に向けられた状態で、これら磁気センサー2,3,4の積層体が基材5に搭載されており、更にこれら磁気センサー2,3,4が封止材6によって封止されている。磁気センサー2,3,4のうち最下層の主面が接着剤又は粘着剤等によって基材5に接合されていることが好ましい。
磁気センサー2,3,4のパッケージ方式はDIP(Dual Inline Package)、SIP(Single Inline Package)、ZIP(Zigzag Inline Package)、PGA(Pin Grid Array)、SOP(Small Outline Package)、SOJ(Small Outline J-leaded)、CFP(Ceramic Flat Package)、SOT(Small Outline Transistor)、QFP(Quad Flat Package)、PLCC(Plastic leaded chip carrier)、BGA(Ball grid array)、LGA(Land grid array)、LLCC (Lead less chip carrier)、TCP(Tape carrier package)、LLP(Leadless Leadframe Package)、DFN(Dual Flatpack No-leaded)、CSP(Chip size package)などである。
基材5は基板、インターポーザー(多層配線板)又はリードフレーム等であり、磁気センサー2,3,4を封止する方式に応じて基板、インターポーザー(多層配線板)又はリードフレーム等の何れかが選択される。基材5がリードフレームである場合、基材5は磁気センサー2,3,4の搭載部分(ダイパッド)と端子部分(インナーリード・アウターリード)に切断された上で、端子部分の一部(インナーリード)、磁気センサー2,3,4及び搭載部分(ダイパッド)が封止材6に埋め込まれている。基材5が基板又はインターポーザーである場合、封止材6が磁気センサー2,3,4を被覆するようにして基材5の表面に堆積されて、磁気センサー2,3,4が封止材6に埋め込まれている。
また、複数のボンディングワイヤー7,7,…が封止材6に埋め込まれている。ボンディングワイヤー7,7,…は端子2c,2d,3c,3d,4c,4dと基材5との間を架け渡すように設けられ、ボンディングワイヤー7,7,…の一端が端子2c,2d,3c,3d,4c,4dに接合され、ボンディングワイヤー7,7,…の他端が基材5に接合されている。基材5が基板又はインターポーザーであれば、ボンディングワイヤー7,7,…の他端が接合される部分は基材5の表面に設けられたパッド又は配線である。基材5がリードフレームであれば、ボンディングワイヤー7,7,…の他端が接合される部分はインナーフレームである。
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏する。
(1) この三次元磁気センサー1を用いれば、三次元の磁界強度(磁場のベクトル)やその変化を測定することができる。
(2) 磁気センサー2,3,4が積み重ねられている。特に、感応領域2a,3a,4aが積み重ねられている。よって、これら磁気センサー2,3,4の位置的なずれに基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
(3) 磁気センサー2の感応軸と磁気センサー3の感応軸がねじれ位置の関係(同一の平面上に無いこと)になってしまうが、磁気センサー2,3が隣り合っているから、そのねじれ位置に基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
(4) 磁気センサー4が垂直方向磁気センサーであるので、磁気センサー4の感応軸と磁気センサー2の感応軸がねじれの位置関係になってしまうことを防止することができる。磁気センサー4の感応軸と磁気センサー3の感応軸についても同様である。よって、測定誤差を最小限に抑えることができる。
(5) 磁気センサー2,3,4が積み重ねられているので、三次元磁気センサー1を小型化することができる。三次元磁気センサー1を小型化にすることで、複数の三次元磁気センサー1を高密度に配列することができ、広い範囲の磁場やその分布を同時に高密度で測定することができる。
(6) 磁気センサー2,3,4の積層方向に向かって見て、端子領域2b,3b,4bが重なっていないので、ワイヤーボンディング法及びワイヤーボンディング装置によってボンディングワイヤー7,7,…を設けることができる。つまり、ボンディングワイヤー7,7,…の設置に障害となるものがない。
(1) この三次元磁気センサー1を用いれば、三次元の磁界強度(磁場のベクトル)やその変化を測定することができる。
(2) 磁気センサー2,3,4が積み重ねられている。特に、感応領域2a,3a,4aが積み重ねられている。よって、これら磁気センサー2,3,4の位置的なずれに基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
(3) 磁気センサー2の感応軸と磁気センサー3の感応軸がねじれ位置の関係(同一の平面上に無いこと)になってしまうが、磁気センサー2,3が隣り合っているから、そのねじれ位置に基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
(4) 磁気センサー4が垂直方向磁気センサーであるので、磁気センサー4の感応軸と磁気センサー2の感応軸がねじれの位置関係になってしまうことを防止することができる。磁気センサー4の感応軸と磁気センサー3の感応軸についても同様である。よって、測定誤差を最小限に抑えることができる。
(5) 磁気センサー2,3,4が積み重ねられているので、三次元磁気センサー1を小型化することができる。三次元磁気センサー1を小型化にすることで、複数の三次元磁気センサー1を高密度に配列することができ、広い範囲の磁場やその分布を同時に高密度で測定することができる。
(6) 磁気センサー2,3,4の積層方向に向かって見て、端子領域2b,3b,4bが重なっていないので、ワイヤーボンディング法及びワイヤーボンディング装置によってボンディングワイヤー7,7,…を設けることができる。つまり、ボンディングワイヤー7,7,…の設置に障害となるものがない。
〔第2の実施の形態〕
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る三次元磁気センサー10の概略斜視図である。
この三次元磁気センサー10は、互いに近接した磁気センサー12,13,14を備えるとともに、それら磁気センサー12,13,14をパッケージしたものである。なお、磁気センサー12が第一磁気センサーであり、磁気センサー13が第二磁気センサーであり、磁気センサー14が第三磁気センサーである。
磁気センサー12,13,14は第1実施形態の磁気センサー2,3と同様に面方向磁気センサーである。つまり、磁気センサー12,13,14の感応方向はそれぞれの主面に対して平行である。ここで、符号12a,12b,12c,12dはそれぞれ磁気センサー12の感応領域、端子領域、端子及び端子であり、符号13a,13bはそれぞれ磁気センサー13の感応領域、端子領域であり、符号14a,14b,14c,14dはそれぞれ磁気センサー14の感応領域、端子領域、端子及び端子である。図4において隠れて見えない二つの端子が端子領域13bにパターニングされている。
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る三次元磁気センサー10の概略斜視図である。
この三次元磁気センサー10は、互いに近接した磁気センサー12,13,14を備えるとともに、それら磁気センサー12,13,14をパッケージしたものである。なお、磁気センサー12が第一磁気センサーであり、磁気センサー13が第二磁気センサーであり、磁気センサー14が第三磁気センサーである。
磁気センサー12,13,14は第1実施形態の磁気センサー2,3と同様に面方向磁気センサーである。つまり、磁気センサー12,13,14の感応方向はそれぞれの主面に対して平行である。ここで、符号12a,12b,12c,12dはそれぞれ磁気センサー12の感応領域、端子領域、端子及び端子であり、符号13a,13bはそれぞれ磁気センサー13の感応領域、端子領域であり、符号14a,14b,14c,14dはそれぞれ磁気センサー14の感応領域、端子領域、端子及び端子である。図4において隠れて見えない二つの端子が端子領域13bにパターニングされている。
磁気センサー12と磁気センサー13は積み重ねられている。より具体的には、磁気センサー12と磁気センサー13はこれらの間に基板15bを挟んで積み重ねられており、これらの磁気センサー12,13の主面に対して垂直な方向に向かって見て、感応領域12aと感応領域13aが重なっている。磁気センサー12,13が接着剤又は粘着剤等によって基板15bに接合されていることが好ましい。
なお、磁気センサー12,13が直接積み重ねられ、磁気センサー12,13の積層体が基板15bのどちらかの面に搭載されていてもよい。この場合、磁気センサー12,13の感応領域12a,13aが積み重ねられており、端子領域12b,13bが感応領域12a,13aの積層部から主面方向に沿ってはみ出ており、端子領域12b,13bが感応領域12a,13aの積層部からはみ出る向きは互いに異なる。
なお、磁気センサー12,13が直接積み重ねられ、磁気センサー12,13の積層体が基板15bのどちらかの面に搭載されていてもよい。この場合、磁気センサー12,13の感応領域12a,13aが積み重ねられており、端子領域12b,13bが感応領域12a,13aの積層部から主面方向に沿ってはみ出ており、端子領域12b,13bが感応領域12a,13aの積層部からはみ出る向きは互いに異なる。
図4に図示された矢印aは磁気センサー12の感応領域12aに形成された磁気抵抗効果素子の感応の向きを表し、矢印bは磁気センサー13の感応領域13aに形成された磁気抵抗効果素子の感応の向きを表す。磁気センサー12の感応方向と磁気センサー13の感応方向は直交する。また、磁気センサー12及び磁気センサー13の感応方向は基板15bに沿う。
基板15bと基板15aによってT字が形作られている。つまり、基板15bが基板15aの一方の面に立てられており、基板15bと基板15aが互いに垂直に設けられている。基板15bと基板15aは一体に設けられている。これら基板15b,15bは配線基板である。なお、基板15bと基板15aが互いに垂直となるようにL字型に組まれてもよい。
基板15a,15bは、プリント配線基板、多層配線基板(インターポーザー)又はMID(Molded Interconnect Device)基板である。MIDとは、射出成形法によって成形された成形品に回路が形成されたものである。具体的には、基板15a,15bは、その内部或いは表面に配線が形成された樹脂基板、強化樹脂基板(例えば、ガラス布強化エポキシ基板、ガラス繊維強化エポキシ基板、炭素繊維エポキシ基板等)、半導体基板、セラミック基板、金属基板その他の基板である。基板15a,15bを別々に形成した上で、これら基板15a,15bをT字型又はL字型に組んでもよいし、基板15a,15bによってT字型又はL字型に成すようにこれら基板15a,15bを形成してもよい。基板15a,15bを別々に形成してこれらをT字型又はL字型に組む際には、基板15aに形成された配線と基板15bに形成された配線をリード線、半田、導電性接着剤又は異方導電性接着剤等によって接続するものとしてもよい。半田、導電性接着剤又は異方導電性接着剤を用いる場合には、半田、導電性接着剤又は異方導電性接着剤を配線同士のボンディングのほか、基板15a,15b同士の接合に用いてもよい。
基板15aの両面のうち基板15bと反対側の面には、磁気センサー14が搭載されている。磁気センサー14が接着剤又は粘着剤等によって基板15aに接合されていることが好ましい。磁気センサー14が磁気センサー12,13に対して垂直となるように配置され、磁気センサー14の主面の法線が磁気センサー12,13の主面の法線に対して直交する。
磁気センサー14の主面に対して垂直な方向に向かって見て、磁気センサー14の感応領域14aが磁気センサー12,13の感応領域12a,13aに重なっている。なお、磁気センサー14が図4に示す位置から基板15aに沿ってずれて配置され、磁気センサー14の主面に対して垂直な方向に向かって見て、磁気センサー14の感応領域14aが磁気センサー12,13からずれていてもよい。
図4に図示された矢印cは磁気センサー14の感応領域14aに形成された磁気抵抗効果素子の感応の向きを表す。磁気センサー14の感応方向は、磁気センサー12の感応方向及び磁気センサー13の感応方向は直交する。また、磁気センサー14の感応方向は基板15aに沿う。
ボンディングワイヤー17,17が端子12c,12dと基板15b(具体的には、基板15bに形成されたパッド)との間を架け渡すように設けられている。同様に、端子領域13bに設けられた二つの端子もボンディングワイヤーによって基板15b(具体的には、基板15bに形成されたパッド)に電気的に接続されている。同様に、端子14c,14dもボンディングワイヤー17,17によって基板15a(具体的には、基板15aに形成されたパッド)に電気的に接続されている。
磁気センサー12,13,14、基板15b,15b及びボンディングワイヤー17,17,…が封止材16によって封止されている。磁気センサー12,13,14、基板15b,15b及びボンディングワイヤー17,17,…が封止材16に埋め込まれている。
基板15bには複数のリード端子18,18,…が接続されている。具体的には、リード端子18,18,…の端部が基板15bの一方の面にボンディング(例えば、半田接合)されている。
これらリード端子18,18,…の一部が封止材16に埋め込まれ、残りの一部が封止材16から突き出ている。
これらリード端子18,18,…は基板15a,15bに形成された配線によってボンディングワイヤー17,17,…にそれぞれ接続されている。
なお、リード端子18,18,…が基板15aに接続されていてもよい。また、リード端子18,18,…のうち少なくとも一つが基板15bに接続され、残りが基板15aに接続されていてもよい。
これらリード端子18,18,…の一部が封止材16に埋め込まれ、残りの一部が封止材16から突き出ている。
これらリード端子18,18,…は基板15a,15bに形成された配線によってボンディングワイヤー17,17,…にそれぞれ接続されている。
なお、リード端子18,18,…が基板15aに接続されていてもよい。また、リード端子18,18,…のうち少なくとも一つが基板15bに接続され、残りが基板15aに接続されていてもよい。
この三次元磁気センサー10を用いて、三次元の磁界強度(磁場のベクトル)やその変化を測定することができる。磁気センサー12,13,14が近接して配置されているから、測定誤差を最小限に抑えることができる。特に、磁気センサー12,13の主面に対して直交する方向に向かって見て、磁気センサー12,13の感応領域12a,13aが重なっているから、磁気センサー12,13の位置的なずれに基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。また、磁気センサー14の主面に対して直交する方向に向かって見て、磁気センサー14の感応領域14aが磁気センサー12,13の感応領域12a,13aに重なっているので、磁気センサー12,13,14の位置的なずれに基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
また、三次元磁気センサー10を小型化することができる。
また、三次元磁気センサー10を小型化することができる。
T字に組まれた基板15a,15bを用いたので、ワイヤーボンディング法及びワイヤーボンディング装置によってボンディングワイヤー17,17,…を設けることができる。つまり、磁気センサー12,13を基板15bに搭載し、更に磁気センサー14を基板15aに搭載した後、磁気センサー12を上に向けて磁気センサー12,13,14及び基板15a,15bをワイヤーボンディング装置に設置し、そのワイヤーボンディング装置を用いて端子12c,12dと基板15b(具体的には、基板15bに形成されたパッド)をボンディングワイヤー17,17で電気的に接続する。その後、基板15a,15bを回転させて、磁気センサー13を上に向けて磁気センサー12,13,14及び基板15a,15bをワイヤーボンディング装置に設置する。そして、そのワイヤーボンディング装置を用いて磁気センサー13の二つの端子と基板15b(具体的には、基板15bに形成されたパッド)をボンディングワイヤーで電気的に接続する。その後、基板15a,15bを回転させて、磁気センサー14を上に向けて磁気センサー12,13,14及び基板15a,15bをワイヤーボンディング装置に設置する。そして、そのワイヤーボンディング装置を用いて端子14c,14dと基板15a(具体的には、基板15aに形成されたパッド)をボンディングワイヤー17,17で電気的に接続する。
なお、基板15a,15bの組立前に磁気センサー12,13,14を搭載してもよい。つまり、磁気センサー14を基板15aに搭載した後、ボンディングワイヤー17,17を取り付ける。更に、磁気センサー12,13を基板15bに搭載した後、ボンディングワイヤー17,17によって磁気センサー12と基板15bを接続するとともに、及び隠れて見えない2本のボンディングワイヤーによって磁気センサー13と基板15bを接続する。その後、基板15a,15bをT字型又はL字型に組み付ける。その後、基板15a(具体的には、それに設けられた配線)と基板15b(具体的には、それに設けられた配線)をリード線等で導通させる。なお、基板15a,15bをT字型又はL字型に組み付ける際に、半田、導電性接着剤又は異方導電性接着剤等によって基板15a,15bをT字型又はL字型に組み付けつつ、基板15aの配線と基板15bの配線を半田、導電性接着剤又は異方導電性接着剤等によって導通させてもよい。
〔第3の実施の形態〕
図5は、本発明の第3実施形態に係る三次元磁気センサー20の斜視図である。第3実施形態の三次元磁気センサー20と第2実施形態の三次元磁気センサー10との間で互いに対応する部分が一致して同一に設けられている場合には、それらの説明を可能な限り省略する。以下では、第3実施形態の三次元磁気センサー20と第2実施形態の三次元磁気センサー10の間で相違する部分について主に説明する。第3実施形態では、磁気センサー14が第一磁気センサーであり、磁気センサー13が第二磁気センサーであり、磁気センサー12が第三磁気センサーである。
図5は、本発明の第3実施形態に係る三次元磁気センサー20の斜視図である。第3実施形態の三次元磁気センサー20と第2実施形態の三次元磁気センサー10との間で互いに対応する部分が一致して同一に設けられている場合には、それらの説明を可能な限り省略する。以下では、第3実施形態の三次元磁気センサー20と第2実施形態の三次元磁気センサー10の間で相違する部分について主に説明する。第3実施形態では、磁気センサー14が第一磁気センサーであり、磁気センサー13が第二磁気センサーであり、磁気センサー12が第三磁気センサーである。
第2の実施の形態では、磁気センサー12と磁気センサー13がこれらの間に基板15bを挟んで積み重ねられていた。それに対して、第3の実施の形態では、磁気センサー13が磁気センサー14に積み重ねられ、これらが接着剤又は粘着剤等によって接合されている。具体的には、磁気センサー13,14の感応領域13a,14aが積み重ねられており、端子領域13b,14bが感応領域13a,14aの積層部から主面方向に沿ってはみ出ており(延出しており)、端子領域13b,14bが感応領域13a,14aの積層部からはみ出る向きは互いに異なる。つまり、感応領域13a,14aの積層方向に向かって見て、端子領域13bが端子領域14bに重なっていない。磁気センサー12の主面に対して垂直な方向に向かって見て、磁気センサー12の感応領域12aが磁気センサー13,14の感応領域13a,14aに重なっている。なお、磁気センサー13,14が図4に示す位置から基板15aに沿ってずれて配置され、磁気センサー14の主面に対して垂直な方向に向かって見て、磁気センサー12の感応領域12aが磁気センサー13,14の感応領域13a,14aからずれてもよい。
符号13c,13dは磁気センサー13の端子の符号である。ボンディングワイヤー17,17が端子13c,13dと基板15a(具体的には、基板15aに形成されたパッド)との間を架け渡すように設けられている。
図5に図示された矢印A,B,Cはそれぞれ磁気センサー12,13,14の感応領域12a,13a,14aに形成された磁気抵抗効果素子の感応の向きを表す。磁気センサー12,13,14の感応方向は互いに直交する。
この三次元磁気センサー20では、磁気センサー13,14に対して平行であって磁気センサー13,14に最も近い封止材16の表面16aが測定対象物に接する面となる。
第3の実施の形態では、磁気センサー13の感応軸と磁気センサー14の感応軸がねじれ位置の関係(同一の平面上に無いこと)になってしまうが、磁気センサー13,14が隣り合っているから、そのねじれ位置に基づく測定誤差を最小限に抑えることができる。
また、二次元平面に沿った磁界強度は磁気センサー13,14によって検出し、その二次元平面に直交する磁界強度は磁気センサー12によって検出することによって、三次元の磁場をバランス良く検出することができる。
〔応用例〕
以上の三次元磁気センサー1を複数設け、これら三次元磁気センサー1を平面又は曲面に沿ってアレイ状(例えば、格子状)に配列してもよい。
以上の三次元磁気センサー1を複数設け、これら三次元磁気センサー1を平面又は曲面に沿ってアレイ状(例えば、格子状)に配列してもよい。
一つ又は複数の三次元磁気センサー1は、人体から発せられる生体磁場(脳磁場、心磁場、脊椎磁場、眼球磁場等)を三次元で測定することに利用することができる。また、一つ又は複数の三次元磁気センサー1は、溶接欠陥或いは金属疲労等を検査するための装置、空間磁場(磁場によるノイズ)を測定するための装置、磁場発生装置によって発される磁場を校正するための装置、地磁気などを検出するための装置等にも利用することができる。
以上説明した応用例は、三次元磁気センサー10,20にも適用することができる。
1,10 三次元磁気センサー
2,12 磁気センサー(第一磁気センサー又は第三磁気センサー)
3,13 磁気センサー(第二磁気センサー)
4,14 磁気センサー(第三磁気センサー又は第一磁気センサー)
5 基材
6,16 封止材
7,17 ボンディングワイヤー
15a 基板(第一基板)
15b 基板(第二基板)
2,12 磁気センサー(第一磁気センサー又は第三磁気センサー)
3,13 磁気センサー(第二磁気センサー)
4,14 磁気センサー(第三磁気センサー又は第一磁気センサー)
5 基材
6,16 封止材
7,17 ボンディングワイヤー
15a 基板(第一基板)
15b 基板(第二基板)
Claims (10)
- 第一磁気センサー、第二磁気センサー及び第三磁気センサーを備え、
前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが互いに近接して配置され、これら前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーのうち少なくとも二つが重ねられ、
前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの磁界の感応方向が互いに直交する、
ことを特徴とする三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが板状のチップであり、前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーの磁界の感応方向がそれぞれの主面に対して平行であり、前記第三磁気センサーの磁界の感応方向がその主面に対して垂直であり、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが積み重ねられている、
ことを特徴とする請求項1に記載の三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサーと前記第二磁気センサーが隣り合うようにして前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが積み重ねられている、
ことを特徴とする請求項2に記載の三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが、端子が形成された端子領域と、磁気抵抗効果素子が形成された感応領域とに区分けされ、
前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの前記感応領域が積み重ねられ、
前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの前記端子領域が前記感応領域の積層部から主面に沿って異なる方向へはみ出ている、
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが搭載された基材と、
前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの端子から前記基材まで架け渡されたボンディングワイヤーと、を更に備える、
ことを特徴とする請求項4に記載の三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが板状のチップであり、前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーの磁界の感応方向がそれぞれの主面に対して平行であり、
前記第一磁気センサー及び前記第二センサーが積み重ねられ、前記第三磁気センサーが前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーに対して垂直となって前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーに近接する、
ことを特徴とする請求項1に記載の三次元磁気センサー。 - 第一基板と、
前記第一基板と垂直となるよう前記第一基板に立設された第二基板と、を備え、
前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第二基板が積み重ねられ、
前記第三磁気センサーが前記第一基板に関して前記第二基板の反対側において前記第一基板に搭載されている、
ことを特徴とする請求項6に記載の三次元磁気センサー。 - 第一基板と、
前記第一基板と垂直となるよう前記第一基板に立設された第二基板と、を備え、
前記第三磁気センサーが前記第二基板に積み重ねられ、
前記第一磁気センサー及び前記第二センサーが前記第一基板に関して前記第二基板の反対側において前記第一基板に搭載されている、
ことを特徴とする請求項6に記載の三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが、端子が形成された端子領域と、磁気抵抗効果素子が形成された感応領域とに区分けされ、
前記第一磁気センサーの主面に対して垂直な方向に向かって見て、前記第一磁気センサーの前記感応領域と前記第二磁気センサーの感応領域が重なり、
前記第三磁気センサーの主面に対して垂直な方向に向かって見て、前記第三磁気センサーの前記感応領域が前記第一磁気センサー及び前記第二磁気センサーの感応領域に重なっている、
ことを特徴とする請求項6から8の何れか一項に記載の三次元磁気センサー。 - 前記第一磁気センサー、前記第二磁気センサー及び前記第三磁気センサーが埋め込まれた封止材を更に備える、
ことを特徴とする請求項1から9の何れか一項に記載の三次元磁気センサー。
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JP2011220772A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Fujikura Ltd | 磁場検出装置 |
JP2011220977A (ja) * | 2010-04-14 | 2011-11-04 | Fujikura Ltd | 磁場検出装置 |
US20120299587A1 (en) * | 2011-05-26 | 2012-11-29 | Honeywell International Inc. | Three-axis magnetic sensors |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018199067A1 (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-01 | コニカミノルタ株式会社 | 磁気センサー |
US11237227B2 (en) | 2017-04-25 | 2022-02-01 | Konica Minolta, Inc. | Magnetic sensor |
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US11497425B2 (en) | 2019-03-08 | 2022-11-15 | Asahi Kasei Microdevices Corporation | Magnetic field measurement apparatus |
WO2022131060A1 (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 磁気センサ |
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