JPH09243725A - 磁気分布測定方法,磁気分布測定装置および磁気検出器板 - Google Patents

磁気分布測定方法,磁気分布測定装置および磁気検出器板

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JPH09243725A
JPH09243725A JP4856696A JP4856696A JPH09243725A JP H09243725 A JPH09243725 A JP H09243725A JP 4856696 A JP4856696 A JP 4856696A JP 4856696 A JP4856696 A JP 4856696A JP H09243725 A JPH09243725 A JP H09243725A
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magnetic
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detector
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Hisashi Kado
久 賀戸
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KANAZAWA KOGYO UNIV
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KANAZAWA KOGYO UNIV
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 空間の磁気分布を測定する作業負担を軽減し
測定時間を短縮する。 【解決手段】 支持板10上に設置した多数の磁気検出
器20,…からの磁気情報をインタフェース装置30を
介して収集し、入力装置40から各磁気検出器20,…
の位置情報を入力する。これを、空間における磁気検出
器板1の設置位置を変えて繰り返す。情報処理装置50
は、磁気検出器20,…の位置情報と磁気情報とから空
間の磁気分布を求め、表示装置60で表示する。 【効果】 操作者の作業負担を軽減できる。測定時間を
短縮でき、磁気源の状態が時間的に変化する場合でも、
磁気分布を正確に測定できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気分布測定方
法,磁気分布測定装置および磁気検出器板に関し、さら
に詳しくは、空間の磁気分布を測定するのに好適な磁気
分布測定方法,磁気分布測定装置および磁気検出器板に
関する。特に、クリーンルームの内部空間の磁気分布や
粒子加速器の周辺空間の磁気分布などを測定するのに有
用である。
【0002】
【従来の技術】従来、磁気クリーンルームの内部空間の
磁気分布を測定する場合、操作者が、図4に示す空間V
内の多数の測定点P,…に磁気検出器を位置付けて、各
測定点P,…における磁気情報を収集している。そし
て、各測定点P,…の位置情報と各測定点P,…で収集
した磁気情報とを計算機に入力し、図5に示す如き空間
Vの磁気分布を計算させている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来は上記のように操
作者が各測定点P,…ごとに磁気検出器を位置付けて磁
気情報を収集する作業を行っていたが、この作業は非常
に作業負担が重い問題点がある。また、全ての測定点
P,…の磁気情報を収集するのに長時間かかるため、磁
気源の状態が時間的に変化する場合、磁気分布を正確に
測定できない問題点がある。例えば、測定点が65点あ
り、1点当たりの測定に約1分かかるとすると、全ての
測定点のデータを収集するのに約65分かかる。この約
65分の間に磁気源の状態が変ると、得られた磁気分布
は不正確なものになってしまう。そこで、本発明の目的
は、操作者の作業負担を大幅に軽減できると共に全体と
しての測定時間を大幅に短縮することができる磁気分布
測定方法,磁気分布測定装置および磁気検出器板を提供
することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】第1の観点では、本発明
は、支持板上に多数の磁気検出器を配設し、各磁気検出
器の位置情報とそれら磁気検出器で検出した磁気情報と
から測定対象空間の磁気分布を測定することを特徴とす
る磁気分布測定方法を提供する。上記第1の観点による
磁気分布測定方法では、支持板の一つの位置で、支持板
に配設した磁気検出器の数の測定点における磁気情報を
一時に収集することが出来る。このため、支持板に配設
した磁気検出器の数をMとするとき、操作者の作業負担
は従来の1/Mに軽減される。また、全体の測定時間も
従来の1/Mに短縮される。
【0005】第2の観点では、本発明は、非磁性体の支
持板と、その支持板上に配設された多数の磁気検出器
と、それら磁気検出器の位置情報とそれら磁気検出器で
検出した磁気情報とから測定対象空間の磁気分布を求め
る情報処理装置とを具備したことを特徴とする磁気分布
測定装置を提供する。上記第2の観点による磁気分布測
定装置では、前記第1の観点の磁気分布測定方法を好適
に実施できるため、操作者の作業負担を大幅に軽減でき
ると共に全体の測定時間を大幅に短縮できる。
【0006】第3の観点では、本発明は、上記構成の磁
気分布測定装置において、前記磁気検出器は、直交する
3つの軸の各方向の磁気を検出する3次元磁気検出器で
あり、前記情報処理装置は、検出した各方向の磁気を荷
重加算して所望の方向の磁気を検出することを特徴とす
る磁気分布測定装置を提供する。上記第3の観点による
磁気分布測定装置では、磁気検出器として3次元磁気検
出器を用い、直交する3つの軸の各方向の出力を荷重加
算して所望の方向の出力を合成するから、各磁気磁気検
出器であらゆる方向の磁気を測定できるようになる。
【0007】第4の観点では、本発明は、直交する3つ
の軸の各方向の磁気を検出する3次元磁気検出器を非磁
性体の支持板上に多数配置したことを特徴とする磁気検
出器板を提供する。上記第4の観点による磁気検出器板
を用いれば、前記第1の観点による磁気分布測定方法を
好適に実施することが出来る。また、上記第4の観点に
よる磁気検出器板は、前記第2の観点および第3の観点
による磁気分布測定装置に好適に使用できる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図に示す実施形態により本
発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明
が限定されるものではない。
【0009】図1は、本発明の一実施形態にかかる磁気
分布測定装置の構成図である。この磁気分布測定装置1
00は、例えば1m×1mの正方形のプラスチック製の
支持板10と、その支持板10に配設した例えば13個
の磁気検出器20,…と、それら磁気検出器20,…か
らの磁気情報を受け入れるインタフェース装置30と、
前記支持板10の位置/姿勢情報を入力する入力装置4
0と、前記位置/姿勢情報から各磁気検出器20,…の
位置情報を算出しその位置情報と各磁気検出器20,…
から得られた磁気情報とから測定対象空間の磁気分布を
求める情報処理装置50と、前記求めた磁気分布を表示
する表示装置60とを具備して構成されている。磁気検
出器20,…を配設した支持板10を、磁気検出器板1
という。
【0010】図2は、磁気検出器20の詳細構成図であ
る。この磁気検出器20は、例えば3cm×3cm×3
cmの立方体のプラスチック製のケース21の内部に、
直交するa軸,b軸,c軸の各方向の磁気を検出するa
軸磁気センサCa,b軸磁気センサCb,c軸磁気セン
サCcを収容し、信号線22およびコネクタ23を接続
した構造である。前記a軸磁気センサCa,b軸磁気セ
ンサCb,c軸磁気センサCcは、地磁気の1/100
の磁気(200〜300nT)に感応する高感度トロイ
ダル型フラックスゲートセンサーである。
【0011】前記情報処理装置50は、磁気検出器20
の各磁気センサCa,Cb,Ccの出力を荷重加算し
て、所望の方向の磁気情報を合成する。
【0012】図3に示すように、空間V内の磁気分布を
測定するには、まず、空間V内の第1の設置位置a1に
磁気検出器板1を設置し、その第1の設置位置a1にお
いて各磁気検出器10,…からの磁気情報を収集する。
この収集は、電子的に行われるため、実質的に一時に終
了する。次に、第2の設置位置a2に磁気検出器板1を
移動し、その第2の設置位置a2において各磁気検出器
10,…からの磁気情報を収集する。これを最後の設置
位置(図3ではa5)まで繰り返す。
【0013】例えば、設置位置が5ヵ所あり、設置位置
1ヵ所当たりの測定に約1分かかるとすると、全ての設
置位置のデータを収集するのに約5分かかる。設置位置
1ヵ所に測定点が13点あるから、全部で65点の測定
点のデータを約5分で収集できることになる。この約5
分の間に磁気源の状態が変ると、得られた磁気分布は不
正確なものになってしまうが、従来(同一条件で約65
分)に比べれば格段に正確なものとなる。また、操作者
は磁気検出器板1の設置と平行移動とを5回行う必要が
あるが、この作業負担は従来(同一条件で65回)に比
べれば格段に軽減されている。
【0014】なお、1つの磁気検出器板1を複数の設置
位置に移動するのではなく、全ての設置位置に磁気検出
器板1をそれぞれ設置しておけば、全ての測定点のデー
タを実質的に一時に収集できるため、磁気源の状態が時
間的に変化する場合でも、磁気分布を正確に測定できる
ようになる。
【0015】以上の磁気分布測定装置100によれば、
操作者の作業負担を大幅に軽減できると共に全体として
の測定時間を大幅に短縮でき、正確な磁気分布を得るこ
とが出来る。
【0016】
【発明の効果】本発明の磁気分布測定方法,磁気分布測
定装置および磁気検出器板によれば、支持板に配設した
磁気検出器の数の測定点における磁気情報を一時に収集
することが出来るため、支持板に配設した磁気検出器の
数をMとするとき、操作者の作業負担は従来の1/Mに
軽減される。また、全体の測定時間も従来の1/Mに短
縮される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかる磁気分布測定装置
を示す構成図である。
【図2】磁気検出器の詳細構成図である。
【図3】図1の磁気分布測定装置による測定の説明図で
ある。
【図4】測定点の説明図である。
【図5】磁気分布の説明図である。
【符号の説明】
100 磁気分布測定装置 1 磁気検出器板 10 支持板 20 磁気検出器 30 インタフェース装置 40 入力装置 50 情報処理装置 60 表示装置 V 空間 a1〜a5 設置位置 P 測定点

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持板上に多数の磁気検出器を配設し、
    各磁気検出器の位置情報とそれら磁気検出器で検出した
    磁気情報とから測定対象空間の磁気分布を測定すること
    を特徴とする磁気分布測定方法。
  2. 【請求項2】 非磁性体の支持板と、その支持板上に配
    設された多数の磁気検出器と、それら磁気検出器の位置
    情報とそれら磁気検出器で検出した磁気情報とから測定
    対象空間の磁気分布を求める情報処理装置とを具備した
    ことを特徴とする磁気分布測定装置。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の磁気分布測定装置にお
    いて、前記磁気検出器は、直交する3つの軸の各方向の
    磁気を検出する3次元磁気検出器であり、前記情報処理
    装置は、検出した各方向の磁気を荷重加算して所望の方
    向の磁気を検出することを特徴とする磁気分布測定装
    置。
  4. 【請求項4】 直交する3つの軸の各方向の磁気を検出
    する3次元磁気検出器を非磁性体の支持板上に多数配設
    したことを特徴とする磁気検出器板。
JP4856696A 1996-03-06 1996-03-06 磁気分布測定方法,磁気分布測定装置および磁気検出器板 Pending JPH09243725A (ja)

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