JP2007508533A - 磁場測定プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
同じ半導体基板に形成され、お互いが直交するように配設された、選択された検出軸を有する少なくとも二個の磁気抵抗または磁気誘導センサを備える。
選択された測定軸が二つ1組の対で直交する少なくとも三個の磁気抵抗または磁気誘導センサを備える。
少なくとも二対の磁気抵抗または磁気誘導センサを備え、それぞれの同じ対のセンサは、平行かつ、その選択された測定軸に関して横方向にお互いにずらされた選択された軸を有し、二つの分離した対のセンサの選択された測定軸の角度がずらされている。
三個のセンサを一つの組(三個組)として、三つの組として分布された少なくとも九個の磁気抵抗または磁気誘導センサを備え、同じ三個組の三個のセンサは、平行かつ、その選択された測定軸に関して横方向にお互いにオフセットされた選択された軸を有し、分離した三個組のセンサの選択された測定軸の角度がずらされている。
プローブのすべての磁気抵抗または磁気誘導センサは、二つの層に従って分布されている。
異なる層のセンサの選択された測定軸の角度がずらされている。
同じ層のセンサは、平行な選択された測定軸を有する。
プローブのすべての磁気抵抗または磁気誘導センサは、同じ層上に分布されている。
Jx=dBz/dy−dBy/dz
Jy=dBx/dz−dBz/dx
Jz=dBy/dx−dBx/dy
ここにおいて、Jx、Jy、Jzはセンサ102、104、および106の三つの選択された測定軸に沿う電流の三成分である。
Jx=−dBy/dz=By1−By2/z2−z1
Jx=dBz/dy−dBy/dz
Jy=dBx/dz−dBz/dx
Jz=dBy/dx−dBx/dy
Jx=−dBy/dz
Jy=−dBx/dz
Claims (10)
- 所定の選択された測定軸に沿う磁場を感知する少なくとも一個の磁気抵抗または磁気誘導センサ(102,104、106)を備える、磁場を測定するプローブにおいて、該プローブは、一つの場所においてお互いが固定して接続された少なくとも二個の磁気抵抗または磁気誘導センサ(102,104、106)であって、それらの選択された測定軸の角度がずらされるような前記の磁気抵抗または磁気誘導サンサを備え、かつ前記プローブは、前記の選択された測定軸に沿う各センサにより測定された磁場を表わす信号を提供するために、各磁気抵抗または磁気誘導センサ(102,104、106)に固有な出力端子を備えることを特徴とする測定プローブ。
- 同じ半導体基板に形成され、お互いが直交するように配設された、選択された検出軸を有する少なくとも二個の磁気抵抗または磁気誘導センサ(102,104)を備えることを特徴とする請求項1に記載の測定プローブ。
- 選択された測定軸が対同士で直交する少なくとも三個の磁気抵抗または磁気誘導センサ(102,104、106)を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の測定プローブ。
- 少なくとも二対の磁気抵抗または磁気誘導センサ(802,804、806、808)を備え、それぞれの同じ対の前記センサは、平行かつ、それらの選択された測定軸に関して横方向にお互いにずらされた選択された軸を有し、二つの分離した対の前記センサの前記選択された測定軸の角度がずらされていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の測定プローブ。
- 三個のセンサを一つの組(三個組)として、三つの組として分布された少なくとも九個の磁気抵抗または磁気誘導センサ(1002A、1002B、1002C、1004A、1004B、1004C、1006A、1006B、1006C)を備え、同じ三個組の三個のセンサは、平行かつ、その選択された測定軸に関して横方向にお互いにずらされた選択された軸を有し、分離した三個組の前記センサの前記選択された測定軸の角度がずらされていることを特徴とする請求項4に記載の測定プローブ。
- 前記プローブのすべての前記磁気抵抗または磁気誘導センサ(1206、1208)は、二つの層(1202、1204)に従って分布されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の測定プローブ。
- 異なる層(1202、1204)の前記センサの前記選択された測定軸の角度がずらされていることを特徴とする請求項6に記載の測定プローブ。
- 同じ層(1202、1204)の前記センサは、平行な選択された測定軸を有することを特徴とする請求項6または7に記載の測定プローブ。
- 前記プローブのすべての前記磁気抵抗または磁気誘導センサ(1304、1308)は、同じ層(1302)上に分布されている請求項1〜5のいずれか一項に記載の測定プローブ。
- 請求項1〜9のいずれか一項に記載の少なくとも一つのプローブ(100)と、各磁気抵抗センサに固有な処理チェーン(28)と、前記種々の処理チェーンからの信号を処理する手段(18)と、を備える磁場を測定する装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0311773 | 2003-10-08 | ||
FR0311773A FR2860879B1 (fr) | 2003-10-08 | 2003-10-08 | Sonde de mesure d'un champ magnetique. |
PCT/FR2004/002560 WO2005036193A2 (fr) | 2003-10-08 | 2004-10-08 | Sonde de mesure d'un champ magnetique |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007508533A true JP2007508533A (ja) | 2007-04-05 |
JP2007508533A5 JP2007508533A5 (ja) | 2007-11-29 |
JP4871725B2 JP4871725B2 (ja) | 2012-02-08 |
Family
ID=34355326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006530428A Active JP4871725B2 (ja) | 2003-10-08 | 2004-10-08 | 磁場測定プローブ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7408342B2 (ja) |
EP (1) | EP1702220B1 (ja) |
JP (1) | JP4871725B2 (ja) |
CN (1) | CN100559206C (ja) |
FR (1) | FR2860879B1 (ja) |
WO (1) | WO2005036193A2 (ja) |
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US10132843B2 (en) | 2013-07-11 | 2018-11-20 | Infineon Technologies Austria Ag | Detector and a voltage converter |
CN104062512B (zh) * | 2014-06-11 | 2017-02-15 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 双向板级射频磁场探头 |
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-
2003
- 2003-10-08 FR FR0311773A patent/FR2860879B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-10-08 EP EP04791507.9A patent/EP1702220B1/fr active Active
- 2004-10-08 JP JP2006530428A patent/JP4871725B2/ja active Active
- 2004-10-08 US US10/575,012 patent/US7408342B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-10-08 WO PCT/FR2004/002560 patent/WO2005036193A2/fr active Application Filing
- 2004-10-08 CN CNB2004800330932A patent/CN100559206C/zh not_active Expired - Fee Related
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FR2860879B1 (fr) | 2006-02-03 |
US20070108975A1 (en) | 2007-05-17 |
JP4871725B2 (ja) | 2012-02-08 |
EP1702220B1 (fr) | 2018-08-08 |
CN1879031A (zh) | 2006-12-13 |
WO2005036193A3 (fr) | 2005-06-30 |
FR2860879A1 (fr) | 2005-04-15 |
CN100559206C (zh) | 2009-11-11 |
EP1702220A2 (fr) | 2006-09-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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