JP3383827B2 - 磁気測定方法および磁気測定装置 - Google Patents
磁気測定方法および磁気測定装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気測定方法およ
び磁気測定装置に関し、さらに詳しくは、クリーンルー
ムの内部空間の磁気分布や粒子加速器の周辺空間の磁気
分布などを測定するのに有用な磁気測定方法および磁気
測定装置に関する。
び磁気測定装置に関し、さらに詳しくは、クリーンルー
ムの内部空間の磁気分布や粒子加速器の周辺空間の磁気
分布などを測定するのに有用な磁気測定方法および磁気
測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７に示すクリーンルームＶの内部空間
の磁気を測定する場合、従来は、操作者が、多数の検出
点Ｐ，…に磁気検出器をそれぞれ位置付けて、各検出点
Ｐ，…における磁気情報を収集している。
の磁気を測定する場合、従来は、操作者が、多数の検出
点Ｐ，…に磁気検出器をそれぞれ位置付けて、各検出点
Ｐ，…における磁気情報を収集している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来は上記のように操
作者が各検出点Ｐ，…に磁気検出器を位置付けて磁気情
報を収集する作業を行っていたが、この作業は非常に作
業負担が重い問題点がある。また、全ての検出点Ｐ，…
の磁気情報を収集するのに長時間かかるため、磁気源の
状態が時間的に変化する場合、磁気情報を正確に測定で
きない問題点がある。例えば、検出点Ｐが４５点あり、
１点当たりの測定に約１分かかるとすると、全ての検出
点Ｐの磁気情報を収集するのに約４５分かかる。この約
４５分の間に磁気源の状態が変ると、得られた磁気情報
は不正確なものになってしまう。また、クリーンルーム
Ｖの内部空間や粒子加速器の周辺空間などは、人の出入
りに手間がかかる問題点がある。そこで、本発明の目的
は、操作者の作業負担を大幅に軽減できると共に、全体
としての測定時間を大幅に短縮でき、さらに人の出入り
の手間をなくすことが可能な磁気測定方法および磁気測
定装置を提供することにある。
作者が各検出点Ｐ，…に磁気検出器を位置付けて磁気情
報を収集する作業を行っていたが、この作業は非常に作
業負担が重い問題点がある。また、全ての検出点Ｐ，…
の磁気情報を収集するのに長時間かかるため、磁気源の
状態が時間的に変化する場合、磁気情報を正確に測定で
きない問題点がある。例えば、検出点Ｐが４５点あり、
１点当たりの測定に約１分かかるとすると、全ての検出
点Ｐの磁気情報を収集するのに約４５分かかる。この約
４５分の間に磁気源の状態が変ると、得られた磁気情報
は不正確なものになってしまう。また、クリーンルーム
Ｖの内部空間や粒子加速器の周辺空間などは、人の出入
りに手間がかかる問題点がある。そこで、本発明の目的
は、操作者の作業負担を大幅に軽減できると共に、全体
としての測定時間を大幅に短縮でき、さらに人の出入り
の手間をなくすことが可能な磁気測定方法および磁気測
定装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】第１の観点では、本発明
は、非磁性の支持板上に並ぶ複数の検出点に磁気検出器
と光放射手段とをそれぞれ配設した磁気検出ボードを、
第１の設置位置に設置した状態で、前記磁気検出ボード
の複数の検出点にそれぞれ配設された光放射手段を１画
面に含む第１の画像を撮像手段で撮像し、次に、前記磁
気検出ボードを第ｉ（＝２，３，…）の設置位置に移動
し且つ第１の設置位置に設置した状態と平行になるよう
に設置した状態で、前記磁気検出ボードの複数の検出点
にそれぞれ配設された光放射手段を１画面に含む第ｉの
画像を撮像手段で撮像し、得られた複数の画像から３次
元空間の磁気分布を測定することを特徴とする磁気測定
方法を提供する。
は、非磁性の支持板上に並ぶ複数の検出点に磁気検出器
と光放射手段とをそれぞれ配設した磁気検出ボードを、
第１の設置位置に設置した状態で、前記磁気検出ボード
の複数の検出点にそれぞれ配設された光放射手段を１画
面に含む第１の画像を撮像手段で撮像し、次に、前記磁
気検出ボードを第ｉ（＝２，３，…）の設置位置に移動
し且つ第１の設置位置に設置した状態と平行になるよう
に設置した状態で、前記磁気検出ボードの複数の検出点
にそれぞれ配設された光放射手段を１画面に含む第ｉの
画像を撮像手段で撮像し、得られた複数の画像から３次
元空間の磁気分布を測定することを特徴とする磁気測定
方法を提供する。
【０００５】上記第１の観点による磁気測定方法では、
複数の検出点の磁気情報を各検出点での発光に変換し、
それを撮像手段で撮像するため、検出点から離れた場所
で複数の検出点の磁気情報を一括して収集できる。つま
り、磁気検出ボードの２次元面の磁気分布を測定するこ
とが出来る。そして、磁気検出ボードを移動させて異な
る設置位置でそれぞれ撮像すれば、３次元空間の磁気分
布を測定することが出来る。これにより、操作者の作業
負担を大幅に軽減できると共に全体としての測定時間を
大幅に短縮できる。
複数の検出点の磁気情報を各検出点での発光に変換し、
それを撮像手段で撮像するため、検出点から離れた場所
で複数の検出点の磁気情報を一括して収集できる。つま
り、磁気検出ボードの２次元面の磁気分布を測定するこ
とが出来る。そして、磁気検出ボードを移動させて異な
る設置位置でそれぞれ撮像すれば、３次元空間の磁気分
布を測定することが出来る。これにより、操作者の作業
負担を大幅に軽減できると共に全体としての測定時間を
大幅に短縮できる。
【０００６】
【０００７】
【０００８】
【０００９】第２の観点では、本発明は、非磁性の支持
板上に並ぶ複数の検出点に磁気検出器と光放射手段とを
それぞれ配設した磁気検出ボードと、前記磁気検出ボー
ドの複数の検出点にそれぞれ配設された光放射手段を１
画面に含む画像を撮像しうる撮像手段とを具備したこと
を特徴とする磁気測定装置を提供する。上記第２の観点
による磁気測定装置を用いれば、上記第１の観点による
磁気測定方法を好適に実施できる。
板上に並ぶ複数の検出点に磁気検出器と光放射手段とを
それぞれ配設した磁気検出ボードと、前記磁気検出ボー
ドの複数の検出点にそれぞれ配設された光放射手段を１
画面に含む画像を撮像しうる撮像手段とを具備したこと
を特徴とする磁気測定装置を提供する。上記第２の観点
による磁気測定装置を用いれば、上記第１の観点による
磁気測定方法を好適に実施できる。
【００１０】なお、上記構成において、磁気検出器とし
て、直交する３つの軸の各方向の磁気を検出する３次元
磁気検出器を用いるのが好ましい。３次元磁気検出器を
用いたときには、検出した各方向の磁気を荷重加算する
ことにより、あらゆる方向の磁気を算出することが出来
る。
て、直交する３つの軸の各方向の磁気を検出する３次元
磁気検出器を用いるのが好ましい。３次元磁気検出器を
用いたときには、検出した各方向の磁気を荷重加算する
ことにより、あらゆる方向の磁気を算出することが出来
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図に示す実施形態により本
発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明
が限定されるものではない。
発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明
が限定されるものではない。
【００１２】図１は、本発明の一実施形態にかかる磁気
検出ユニットの構成図である。この磁気検出ユニット１
０は、直交するａ軸，ｂ軸，ｃ軸の各方向の磁気を検出
し電圧に変換するａ軸センサＳａ，ｂ軸センサＳｂ，ｃ
軸センサＳｃと、前記ａ軸センサＳａの出力する電圧を
増幅する増幅器Ａａと、その増幅器Ａａの出力に比例し
た強さの光を放射するａ軸発光ダイオードＬａと、前記
ｂ軸センサＳｂの出力する電圧を増幅する増幅器Ａｂ
と、その増幅器Ａｂの出力に比例した強さの光を放射す
るｂ軸発光ダイオードＬｂと、前記ｃ軸センサＳｃの出
力する電圧を増幅する増幅器Ａｃと、その増幅器Ａｃの
出力に比例した強さの光を発生するｃ軸発光ダイオード
Ｌｃと、これらを収容するケースＣとを具備して構成さ
れている。
検出ユニットの構成図である。この磁気検出ユニット１
０は、直交するａ軸，ｂ軸，ｃ軸の各方向の磁気を検出
し電圧に変換するａ軸センサＳａ，ｂ軸センサＳｂ，ｃ
軸センサＳｃと、前記ａ軸センサＳａの出力する電圧を
増幅する増幅器Ａａと、その増幅器Ａａの出力に比例し
た強さの光を放射するａ軸発光ダイオードＬａと、前記
ｂ軸センサＳｂの出力する電圧を増幅する増幅器Ａｂ
と、その増幅器Ａｂの出力に比例した強さの光を放射す
るｂ軸発光ダイオードＬｂと、前記ｃ軸センサＳｃの出
力する電圧を増幅する増幅器Ａｃと、その増幅器Ａｃの
出力に比例した強さの光を発生するｃ軸発光ダイオード
Ｌｃと、これらを収容するケースＣとを具備して構成さ
れている。
【００１３】前記ａ軸センサＳａ，ｂ軸センサＳｂ，ｃ
軸センサＳｃは、地磁気の１／１００の磁気（２００〜
３００ｎＴ）に感応する高感度フラックスゲートセンサ
である。
軸センサＳｃは、地磁気の１／１００の磁気（２００〜
３００ｎＴ）に感応する高感度フラックスゲートセンサ
である。
【００１４】図２は、本発明の一実施形態にかかる磁気
検出ボードの構成図である。この磁気検出ボード２０
は、９個の磁気検出ユニット１０を例えば１ｍ×１ｍの
正方形のプラスチック製の支持板Ｂ上に配設したもので
ある。各磁気検出ユニット１０のケースＣから、ａ軸発
光ダイオードＬａ，ｂ軸発光ダイオードＬｂ，ｃ軸発光
ダイオードＬｃの発光部がのぞいている。
検出ボードの構成図である。この磁気検出ボード２０
は、９個の磁気検出ユニット１０を例えば１ｍ×１ｍの
正方形のプラスチック製の支持板Ｂ上に配設したもので
ある。各磁気検出ユニット１０のケースＣから、ａ軸発
光ダイオードＬａ，ｂ軸発光ダイオードＬｂ，ｃ軸発光
ダイオードＬｃの発光部がのぞいている。
【００１５】なお、電源は、磁気検出ボード２０に１つ
設けてもよいし、各磁気検出ユニット１０ごとに１つず
つ設けてもよい。
設けてもよいし、各磁気検出ユニット１０ごとに１つず
つ設けてもよい。
【００１６】図３は、本発明の一実施形態にかかる磁気
測定装置の構成図である。この磁気測定装置１００は、
磁気検出ボード２０と、その磁気ボード２０を撮像する
ＣＣＤカメラ３０と、前記磁気検出ボード２０の位置／
姿勢情報を入力する入力装置４０と、前記ＣＣＤカメラ
３０で撮像した画像から各磁気検出ユニット１０のａ軸
磁気情報，ｂ軸磁気情報，ｃ軸磁気情報を抽出すると共
に前記磁気検出ボード２０の位置／姿勢情報から各磁気
検出ユニット１０の位置情報（検出点の位置情報）を算
出しさらに磁気分布図を作成する情報処理装置５０と、
磁気分布図を表示する表示装置６０とを具備して構成さ
れている。
測定装置の構成図である。この磁気測定装置１００は、
磁気検出ボード２０と、その磁気ボード２０を撮像する
ＣＣＤカメラ３０と、前記磁気検出ボード２０の位置／
姿勢情報を入力する入力装置４０と、前記ＣＣＤカメラ
３０で撮像した画像から各磁気検出ユニット１０のａ軸
磁気情報，ｂ軸磁気情報，ｃ軸磁気情報を抽出すると共
に前記磁気検出ボード２０の位置／姿勢情報から各磁気
検出ユニット１０の位置情報（検出点の位置情報）を算
出しさらに磁気分布図を作成する情報処理装置５０と、
磁気分布図を表示する表示装置６０とを具備して構成さ
れている。
【００１７】図４は、前記ＣＣＤカメラ３０で撮像した
画像Ｇの例示図である。前記情報処理装置５０は、各磁
気検出ユニット１０のａ軸発光ダイオードＬａ，ｂ軸発
光ダイオードＬｂ，ｃ軸発光ダイオードＬｃに対応する
ウィンドウＷを発生し、各ウィンドウＷの画素値からａ
軸磁気情報，ｂ軸磁気情報，ｃ軸磁気情報を抽出する。
画像Ｇの例示図である。前記情報処理装置５０は、各磁
気検出ユニット１０のａ軸発光ダイオードＬａ，ｂ軸発
光ダイオードＬｂ，ｃ軸発光ダイオードＬｃに対応する
ウィンドウＷを発生し、各ウィンドウＷの画素値からａ
軸磁気情報，ｂ軸磁気情報，ｃ軸磁気情報を抽出する。
【００１８】図５の（ａ）は、ａ軸磁気情報に基づく磁
気分布図の例示図である。図５の（ｂ）は、ｂ軸磁気情
報に基づく磁気分布図の例示図である。図５の（ｃ）
は、ｃ軸磁気情報に基づく磁気分布図の例示図である。
図５の（ｄ）は、ａ軸磁気情報とｂ軸磁気情報とｃ軸磁
気情報とを２乗して加算しその平方根をとった値に基づ
く磁気分布図の例示図である。なお、ａ軸磁気情報とｂ
軸磁気情報とｃ軸磁気情報とを荷重加算すれば任意方向
の磁気情報を算出できるので、任意方向の磁気情報の磁
気分布図を作成することも可能である。
気分布図の例示図である。図５の（ｂ）は、ｂ軸磁気情
報に基づく磁気分布図の例示図である。図５の（ｃ）
は、ｃ軸磁気情報に基づく磁気分布図の例示図である。
図５の（ｄ）は、ａ軸磁気情報とｂ軸磁気情報とｃ軸磁
気情報とを２乗して加算しその平方根をとった値に基づ
く磁気分布図の例示図である。なお、ａ軸磁気情報とｂ
軸磁気情報とｃ軸磁気情報とを荷重加算すれば任意方向
の磁気情報を算出できるので、任意方向の磁気情報の磁
気分布図を作成することも可能である。
【００１９】図６は、前記磁気測定装置１００によりク
リーンルームＶの内部空間の磁気を測定する場合の説明
図である。まず、内部空間Ｖの第１の設置位置ａ１に磁
気検出ボード２０を設置し、その磁気検出ボード２０を
ＣＣＤカメラ３０で撮像する。次に、第２の設置位置ａ
２に磁気検出ボード２０を移動し、その磁気検出ボード
２０をＣＣＤカメラ３０で撮像する。これを最後の設置
位置（図６ではａ５）まで繰り返す。なお、磁気検出ボ
ード２０には、長い信号線が接続されないため、磁気検
出ボード２０を容易に移動できる。
リーンルームＶの内部空間の磁気を測定する場合の説明
図である。まず、内部空間Ｖの第１の設置位置ａ１に磁
気検出ボード２０を設置し、その磁気検出ボード２０を
ＣＣＤカメラ３０で撮像する。次に、第２の設置位置ａ
２に磁気検出ボード２０を移動し、その磁気検出ボード
２０をＣＣＤカメラ３０で撮像する。これを最後の設置
位置（図６ではａ５）まで繰り返す。なお、磁気検出ボ
ード２０には、長い信号線が接続されないため、磁気検
出ボード２０を容易に移動できる。
【００２０】例えば、設置位置が５ヵ所あり、設置位置
１ヵ所当たりの測定に約１分かかるとすると、全ての設
置位置の磁気情報を収集するのに約５分かかる。設置位
置１ヵ所に検出点が９点あるから、全部で４５点の検出
点の磁気情報を約５分で収集できることになる。この約
５分の間に磁気源の状態が変ると、得られた磁気情報は
不正確なものになってしまうが、従来（同一条件で約４
５分）に比べれば格段に正確なものとなる。また、操作
者は磁気検出ボード２０の設置と移動とを５回行う必要
があるが、この作業負担は従来（同一条件で４５回）に
比べれば格段に軽減されている。
１ヵ所当たりの測定に約１分かかるとすると、全ての設
置位置の磁気情報を収集するのに約５分かかる。設置位
置１ヵ所に検出点が９点あるから、全部で４５点の検出
点の磁気情報を約５分で収集できることになる。この約
５分の間に磁気源の状態が変ると、得られた磁気情報は
不正確なものになってしまうが、従来（同一条件で約４
５分）に比べれば格段に正確なものとなる。また、操作
者は磁気検出ボード２０の設置と移動とを５回行う必要
があるが、この作業負担は従来（同一条件で４５回）に
比べれば格段に軽減されている。
【００２１】
【発明の効果】本発明の磁気測定方法および磁気測定装
置によれば、３次元空間の磁気分布を測定する際の操作
者の作業負担を大幅に軽減できる。また、全体としての
測定時間を大幅に短縮できる。
置によれば、３次元空間の磁気分布を測定する際の操作
者の作業負担を大幅に軽減できる。また、全体としての
測定時間を大幅に短縮できる。
【図１】本発明の一実施形態にかかる磁気検出ユニット
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる磁気検出ボードを
示す構成図である。
示す構成図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる磁気測定装置を示
す構成図である。
す構成図である。
【図４】撮像された画像の説明図である。
【図５】磁気分布図の例示図である。
【図６】図３の磁気測定装置によるクリーンルームの磁
気測定の説明図である。
気測定の説明図である。
【図７】クリーンルームの磁気測定の従来方法の説明図
である。
である。
１０ 磁気検出ユニット
２０ 磁気検出ボード
３０ ＣＣＤカメラ
４０ 入力装置
５０ 情報処理装置
６０ 表示装置
１００ 磁気測定装置
Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ 磁気センサ
Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ 発光ダイオード
Ｂ 支持板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 33/02 - 33/10
Claims (2)
- 【請求項１】 非磁性の支持板上に並ぶ複数の検出点に
磁気検出器と光放射手段とをそれぞれ配設した磁気検出
ボードを、第１の設置位置に設置した状態で、前記磁気
検出ボードの複数の検出点にそれぞれ配設された光放射
手段を１画面に含む第１の画像を撮像手段で撮像し、次
に、前記磁気検出ボードを第ｉ（＝２，３，…）の設置
位置に移動し且つ第１の設置位置に設置した状態と平行
になるように設置した状態で、前記磁気検出ボードの複
数の検出点にそれぞれ配設された光放射手段を１画面に
含む第ｉの画像を撮像手段で撮像し、得られた複数の画
像から３次元空間の磁気分布を測定することを特徴とす
る磁気測定方法。 - 【請求項２】 非磁性の支持板上に並ぶ複数の検出点に
磁気検出器と光放射手段とをそれぞれ配設した磁気検出
ボードと、前記磁気検出ボードの複数の検出点にそれぞ
れ配設された光放射手段を１画面に含む画像を撮像しう
る撮像手段とを具備したことを特徴とする磁気測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17502796A JP3383827B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | 磁気測定方法および磁気測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17502796A JP3383827B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | 磁気測定方法および磁気測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1020008A JPH1020008A (ja) | 1998-01-23 |
| JP3383827B2 true JP3383827B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=15988944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17502796A Expired - Fee Related JP3383827B2 (ja) | 1996-07-04 | 1996-07-04 | 磁気測定方法および磁気測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3383827B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001066337A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-03-16 | Sony Corp | 電界／磁界分布可視化装置 |
-
1996
- 1996-07-04 JP JP17502796A patent/JP3383827B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1020008A (ja) | 1998-01-23 |
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