JP2916692B2 - 磁気シールドルームの性能測定法及び測定システム - Google Patents
磁気シールドルームの性能測定法及び測定システムInfo
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- JP2916692B2 JP2916692B2 JP2869890A JP2869890A JP2916692B2 JP 2916692 B2 JP2916692 B2 JP 2916692B2 JP 2869890 A JP2869890 A JP 2869890A JP 2869890 A JP2869890 A JP 2869890A JP 2916692 B2 JP2916692 B2 JP 2916692B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気シールドルームの遮蔽効果を測定する
磁気シールドルームの性能測定法及び測定システムに関
する。
磁気シールドルームの性能測定法及び測定システムに関
する。
医療分野において、生体の微弱な磁場を検出する場合
には、外部の磁場を遮蔽した磁気シールドルームが必要
になる。また、物理計測分野において高性能な測定を行
うために外部の磁場による測定への影響を排除する場合
や、電子顕微鏡その他荷電粒子のビームを扱う分野にお
いて外部の磁場によるビームへの影響を排除する場合に
は、磁気シールドルームが必要になる。このように種々
の分野で磁気シールドルームが必要とされるが、実際に
磁気シールドルームを設置する場合には、まず、その磁
気シールドルームが要求されるシールド性能を満足する
ものであるか否かの評価を行うことが必要になる。
には、外部の磁場を遮蔽した磁気シールドルームが必要
になる。また、物理計測分野において高性能な測定を行
うために外部の磁場による測定への影響を排除する場合
や、電子顕微鏡その他荷電粒子のビームを扱う分野にお
いて外部の磁場によるビームへの影響を排除する場合に
は、磁気シールドルームが必要になる。このように種々
の分野で磁気シールドルームが必要とされるが、実際に
磁気シールドルームを設置する場合には、まず、その磁
気シールドルームが要求されるシールド性能を満足する
ものであるか否かの評価を行うことが必要になる。
磁気シールドルームのシールド性能を評価するための
従来の磁束密度分布等の測定法は、１軸だけの磁気セン
サーを用いて磁気シールドルーム内で地磁気の磁束密度
分布の測定を行い、シールド性能の評価を行っている。
従来の磁束密度分布等の測定法は、１軸だけの磁気セン
サーを用いて磁気シールドルーム内で地磁気の磁束密度
分布の測定を行い、シールド性能の評価を行っている。
しかしながら、従来の磁気シールドルームの性能測定
法では、磁気シールドルーム内で１軸の磁気センサーを
用いて磁束密度を測定しているため、磁束密度分布を把
握するための正確な磁束密度の測定ができなかった。
法では、磁気シールドルーム内で１軸の磁気センサーを
用いて磁束密度を測定しているため、磁束密度分布を把
握するための正確な磁束密度の測定ができなかった。
また、磁場の発生源を特に用いず、直流（地磁気）に
よる遮蔽性能しか測定していないため、周波数に依存し
た信頼性の高い評価を得ることができなかった。
よる遮蔽性能しか測定していないため、周波数に依存し
た信頼性の高い評価を得ることができなかった。
本発明は、上記の課題を解決するものであって、高精
度で磁気シールドルームの性能評価を行うことができる
磁気シールドルームの性能測定法及び測定システムの提
供を目的とする。
度で磁気シールドルームの性能評価を行うことができる
磁気シールドルームの性能測定法及び測定システムの提
供を目的とする。
そのために本発明の磁気シールドルームの性能測定法
は、磁気シールドルームの設置位置にメッシュ状に測定
位置を設定し磁気シールドルームの外側に磁界発生源を
配置して所定の磁界を発生させ、各測定位置において３
軸磁気センサーにより磁気シールドルームの設置前後の
磁束密度分布を測定すると共に測定位置を検出し、磁束
密度分布の測定値を比較することにより磁気シールドル
ームの性能を評価することを特徴とする。また、性能測
定システムは、磁気シールドルームの外側の位置に配置
される磁気発生源、及び内側に３軸磁気センサーを設置
し磁気シールドルームの設置位置床面にメッシュ状に設
定された測定位置に磁気センサーを移動させる機構を備
えると共に測定値と測定位置のデータを蓄積処理するデ
ータ処理装置を備えた測定手段からなることを特徴とす
る。
は、磁気シールドルームの設置位置にメッシュ状に測定
位置を設定し磁気シールドルームの外側に磁界発生源を
配置して所定の磁界を発生させ、各測定位置において３
軸磁気センサーにより磁気シールドルームの設置前後の
磁束密度分布を測定すると共に測定位置を検出し、磁束
密度分布の測定値を比較することにより磁気シールドル
ームの性能を評価することを特徴とする。また、性能測
定システムは、磁気シールドルームの外側の位置に配置
される磁気発生源、及び内側に３軸磁気センサーを設置
し磁気シールドルームの設置位置床面にメッシュ状に設
定された測定位置に磁気センサーを移動させる機構を備
えると共に測定値と測定位置のデータを蓄積処理するデ
ータ処理装置を備えた測定手段からなることを特徴とす
る。
本発明の磁気シールドルームの性能測定法及び測定シ
ステムでは、磁気シールドルームの外側の位置に配置さ
れる磁界発生源と３軸の磁気センサーを設置し磁気セン
サーを移動させ測定位置を検出する機構や磁束密度分布
の測定値と測定位置のデータを蓄積処理するデータ処理
装置を備えた測定手段により磁気シールドルームの設置
前後の磁束密度分布を測定するので、それらの測定値の
比較により磁気シールドルームの性能を評価することが
できる。また、測定位置の検出機構を有するので、磁束
密度分布の正確な位置対応で比較を行うことができる。
ステムでは、磁気シールドルームの外側の位置に配置さ
れる磁界発生源と３軸の磁気センサーを設置し磁気セン
サーを移動させ測定位置を検出する機構や磁束密度分布
の測定値と測定位置のデータを蓄積処理するデータ処理
装置を備えた測定手段により磁気シールドルームの設置
前後の磁束密度分布を測定するので、それらの測定値の
比較により磁気シールドルームの性能を評価することが
できる。また、測定位置の検出機構を有するので、磁束
密度分布の正確な位置対応で比較を行うことができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は本発明に係る磁気シールドルームの性能測定
システムの１実施例を示す図、第２図は性能測定装置の
１実施例を示す図、第３図は本発明に係る磁気シールド
ルームの測定法の１実施例を説明するための図である。
図中、１は励磁コイル、２は調整回路、３は励磁電源、
４は磁気センサー、５は位置検出器、６はデータ処理装
置、11はセンサー受け台、12は台固定用フランジ、13は
支柱、14は移動台車、15は座標読取孔、16は車輪を示
す。
システムの１実施例を示す図、第２図は性能測定装置の
１実施例を示す図、第３図は本発明に係る磁気シールド
ルームの測定法の１実施例を説明するための図である。
図中、１は励磁コイル、２は調整回路、３は励磁電源、
４は磁気センサー、５は位置検出器、６はデータ処理装
置、11はセンサー受け台、12は台固定用フランジ、13は
支柱、14は移動台車、15は座標読取孔、16は車輪を示
す。
本発明の磁気シールドルームの性能計測システムは、
磁気シールドルームの外側に配置される磁界発生部と内
側に配置される性能計測部からなり、その構成例を示し
たのが第１図である。第１図において、励磁コイル１
は、磁気シールドルームの外側の位置において交番磁界
を発生するものであり、調整回路２は、交流の励磁電源
３から励磁コイル１に供給する電流を調整し、発生する
磁界の強さを調整するものである。したがって、これら
により外側から磁気シールドルームに対する磁界発生部
を構成する。他方、磁気センサー４は、磁束密度を計測
するものであり、XYZの３軸で同時に計測することがで
きる例えばフラックスゲートタイプや倍周波共振型、ホ
ール素子型の磁気センサーを用いたものである。位置検
出器５は、その計測位置を検出するものであり、データ
処理装置（CPU）６は、記憶手段を有し磁気センサー４
と位置検出器５のデータを蓄積、処理するものである。
したがって、これらにより性能測定部を構成する。
磁気シールドルームの外側に配置される磁界発生部と内
側に配置される性能計測部からなり、その構成例を示し
たのが第１図である。第１図において、励磁コイル１
は、磁気シールドルームの外側の位置において交番磁界
を発生するものであり、調整回路２は、交流の励磁電源
３から励磁コイル１に供給する電流を調整し、発生する
磁界の強さを調整するものである。したがって、これら
により外側から磁気シールドルームに対する磁界発生部
を構成する。他方、磁気センサー４は、磁束密度を計測
するものであり、XYZの３軸で同時に計測することがで
きる例えばフラックスゲートタイプや倍周波共振型、ホ
ール素子型の磁気センサーを用いたものである。位置検
出器５は、その計測位置を検出するものであり、データ
処理装置（CPU）６は、記憶手段を有し磁気センサー４
と位置検出器５のデータを蓄積、処理するものである。
したがって、これらにより性能測定部を構成する。
磁気センサー、位置検出器を含む性能測定装置は、例
えば第２図に示すものであり、センサー受け台11は、台
固定用フランジ12で支柱13に昇降自在に軸支され、座標
読取孔15の真上で磁気センサー４を受けるものである。
移動台車14は、底部に車輪16が、上面に支柱13がそれぞ
れ取り付けられている。したがって、移動台車14を移動
することによりXY平面（床面）の位置決めを行い、台固
定用フランジ12を支柱13に沿って昇降させることにより
Ｚ（高さ）方向の位置決めを行い、３次元空間での磁束
測定を行うことができる。そして、XY平面の位置は、例
えば第３図に示すように磁気シールドルームの床面に一
定間隔で目盛りを書いておき、その目盛りを座標読取孔
15から読み取り、また、高さ方向の位置は、支柱３にお
ける台固定用フランジ12の移動長さを測定し、その位置
での磁気センサーによる磁束の測定を行う。目盛りの読
取は、目盛り線を検知してカウントし、そのカウント値
から位置を求めればよいが、計測者が目読してキー入力
するように構成してもよい。
えば第２図に示すものであり、センサー受け台11は、台
固定用フランジ12で支柱13に昇降自在に軸支され、座標
読取孔15の真上で磁気センサー４を受けるものである。
移動台車14は、底部に車輪16が、上面に支柱13がそれぞ
れ取り付けられている。したがって、移動台車14を移動
することによりXY平面（床面）の位置決めを行い、台固
定用フランジ12を支柱13に沿って昇降させることにより
Ｚ（高さ）方向の位置決めを行い、３次元空間での磁束
測定を行うことができる。そして、XY平面の位置は、例
えば第３図に示すように磁気シールドルームの床面に一
定間隔で目盛りを書いておき、その目盛りを座標読取孔
15から読み取り、また、高さ方向の位置は、支柱３にお
ける台固定用フランジ12の移動長さを測定し、その位置
での磁気センサーによる磁束の測定を行う。目盛りの読
取は、目盛り線を検知してカウントし、そのカウント値
から位置を求めればよいが、計測者が目読してキー入力
するように構成してもよい。
また、XY平面での移動台車14の移動は、その底部に爪
（図示省略）を設けると共に、床面に爪が噛み合うガイ
ドレール（図示省略）を敷き、このガイドレールと平行
に移動台車14を移動させると、床面の目盛りに位置決め
する精度を高めることができる。また、パソコンに用い
られるマウスのように回転方向及び回転量を計測できる
車輪を移動台車14の底部に取り付けると、基準位置を決
めて初期設定した後、回転方向及び回転量を計測するこ
とにより床面での位置を求めることができる。また、こ
れにガイドレールを組み合わせ、回転量だけで位置を求
めるようにしてもよい。したがって、これらの場合に
は、座標読取孔15が不要になることはいうまでもない。
（図示省略）を設けると共に、床面に爪が噛み合うガイ
ドレール（図示省略）を敷き、このガイドレールと平行
に移動台車14を移動させると、床面の目盛りに位置決め
する精度を高めることができる。また、パソコンに用い
られるマウスのように回転方向及び回転量を計測できる
車輪を移動台車14の底部に取り付けると、基準位置を決
めて初期設定した後、回転方向及び回転量を計測するこ
とにより床面での位置を求めることができる。また、こ
れにガイドレールを組み合わせ、回転量だけで位置を求
めるようにしてもよい。したがって、これらの場合に
は、座標読取孔15が不要になることはいうまでもない。
本発明の磁気計測システムは、上記計測装置の他、コ
イル、励磁電源等からなる磁束発生手段を組み合わせて
磁気シールドルームの性能計測を行うものである。
イル、励磁電源等からなる磁束発生手段を組み合わせて
磁気シールドルームの性能計測を行うものである。
次に性能計測法について説明する。
まず、第３図に示すように磁気シールドルームの設
置位置の外側に励磁コイルを配置して磁界を発生させ、
磁気シールドルームの設置前に各位置でのレファレンス
データを測定する。
置位置の外側に励磁コイルを配置して磁界を発生させ、
磁気シールドルームの設置前に各位置でのレファレンス
データを測定する。
つまり、磁気シールドルームの遮蔽効果の測定のた
め、予め磁気シールドルームのない環境での磁束密度分
布の測定を行う。
め、予め磁気シールドルームのない環境での磁束密度分
布の測定を行う。
次に磁気シールドルームを設置してと同様に各位
置での磁束密度分布の測定を行う。
置での磁束密度分布の測定を行う。
第４図は励磁コイルの位置を変えて測定した磁束密度
分布グラフの例を示す図である。Ｘ軸の図示上の方を出
入口扉のある位置とし、同図（ａ）は出入口扉のある方
と反対側に励磁コイルを配置した場合の測定例であり、
同図（ｂ）は出入口扉のある方に励磁コイルを配置した
場合の測定例である。これらの例から扉の有無によって
磁束密度の分布が偏っていることがわかる。
分布グラフの例を示す図である。Ｘ軸の図示上の方を出
入口扉のある位置とし、同図（ａ）は出入口扉のある方
と反対側に励磁コイルを配置した場合の測定例であり、
同図（ｂ）は出入口扉のある方に励磁コイルを配置した
場合の測定例である。これらの例から扉の有無によって
磁束密度の分布が偏っていることがわかる。
このようにして測定した磁束密度分布から、遮蔽性能
の評価では、例えば遮蔽効果を測定したい対象（磁気シ
ールドルーム）があるときとないときの信号レベルの比
を用いて行う。その信号レベルとしては、例えば最大値
或いは最大値から所定点数の平均値、最小値或いは最小
値から所定点数の平均値、全体の平均値等を採用するこ
とができる。まず、遮蔽対象がないときの磁束密度をB0
としてその測定を行い、次に遮蔽対象があるときの遮蔽
密度をB1としてその測定を行ったとすると、この場合の
遮蔽効果Ｓは、 となる。このように低周波磁界の遮蔽効果の測定で
は、磁気シールドルームの形状などのファクターが影響
を及ぼすことが多いため、予め測定しておいた磁束密度
分布（レファレンスデータ）との比較が必要になる。
の評価では、例えば遮蔽効果を測定したい対象（磁気シ
ールドルーム）があるときとないときの信号レベルの比
を用いて行う。その信号レベルとしては、例えば最大値
或いは最大値から所定点数の平均値、最小値或いは最小
値から所定点数の平均値、全体の平均値等を採用するこ
とができる。まず、遮蔽対象がないときの磁束密度をB0
としてその測定を行い、次に遮蔽対象があるときの遮蔽
密度をB1としてその測定を行ったとすると、この場合の
遮蔽効果Ｓは、 となる。このように低周波磁界の遮蔽効果の測定で
は、磁気シールドルームの形状などのファクターが影響
を及ぼすことが多いため、予め測定しておいた磁束密度
分布（レファレンスデータ）との比較が必要になる。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものでは
なく、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例で
は、交流の励磁電源と調整回路とを組み合わせた構成を
示したが、調整回路として周波数を変換、調整できる直
流−交流、或いは交流−交流変換回路を用いてもよい。
また、上記のような励磁コイルによる交流磁界の測定で
はシールド性能が評価できない場合、例えばシールド性
能が高く励磁コイルに大電流を流しても磁気シールドル
ーム内での磁束密度分布の測定ができない場合には、信
号源を地磁気として同様の測定を行うようにしてもよい
ことはいうまでもない。
なく、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例で
は、交流の励磁電源と調整回路とを組み合わせた構成を
示したが、調整回路として周波数を変換、調整できる直
流−交流、或いは交流−交流変換回路を用いてもよい。
また、上記のような励磁コイルによる交流磁界の測定で
はシールド性能が評価できない場合、例えばシールド性
能が高く励磁コイルに大電流を流しても磁気シールドル
ーム内での磁束密度分布の測定ができない場合には、信
号源を地磁気として同様の測定を行うようにしてもよい
ことはいうまでもない。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、磁
界発生手段により磁気シールドルームの外側から磁界を
発生させ、予め設定した各測定位置での磁気シールドル
ームがある場合とない場合の磁束密度分布を測定するの
で、それらの比較により高い精度で外部磁場の遮蔽性能
を評価することができる。しかも、測定手段に位置検出
できる移動機構を設けるので、測定値の比較精度を上げ
ることができる。
界発生手段により磁気シールドルームの外側から磁界を
発生させ、予め設定した各測定位置での磁気シールドル
ームがある場合とない場合の磁束密度分布を測定するの
で、それらの比較により高い精度で外部磁場の遮蔽性能
を評価することができる。しかも、測定手段に位置検出
できる移動機構を設けるので、測定値の比較精度を上げ
ることができる。
第１図は本発明に係る磁気シールドルームの性能測定シ
ステムの１実施例を示す図、第２図は性能測定装置の１
実施例を示す図、第３図は本発明に係る磁気シールドル
ームの測定法の１実施例を説明するための図、第４図は
励磁コイルの位置を変えて測定した磁束密度分布グラフ
の例を示す図である。 １……励磁コイル、２……調整回路、３……励磁電源、
４……磁気センサー、５……位置検出器、６……データ
処理装置、11……センサー受け台、12……台固定用フラ
ンジ、13……支柱、14……移動台車、15……座標読取
孔、16……車輪。
ステムの１実施例を示す図、第２図は性能測定装置の１
実施例を示す図、第３図は本発明に係る磁気シールドル
ームの測定法の１実施例を説明するための図、第４図は
励磁コイルの位置を変えて測定した磁束密度分布グラフ
の例を示す図である。 １……励磁コイル、２……調整回路、３……励磁電源、
４……磁気センサー、５……位置検出器、６……データ
処理装置、11……センサー受け台、12……台固定用フラ
ンジ、13……支柱、14……移動台車、15……座標読取
孔、16……車輪。
フロントページの続き (72)発明者 石川 登 東京都中央区京橋２丁目16番１号 清水 建設株式会社内 (72)発明者 西山 允宜 東京都中央区京橋２丁目16番１号 清水 建設株式会社内 (72)発明者 向山 澄夫 東京都中央区京橋２丁目16番１号 清水 建設株式会社内 (72)発明者 石川 敏行 東京都中央区京橋２丁目16番１号 清水 建設株式会社内 (72)発明者 矢花 吉治 東京都中央区京橋２丁目16番１号 清水 建設株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−200075（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 33/00 G12B 17/02
Claims (2)
- 【請求項１】磁気シールドルームの設置位置にメッシュ
状に測定位置を設定し磁気シールドルームの外側に磁界
発生源を配置して所定の磁界を発生させ、各測定位置に
おいて３軸磁気センサーを用いた磁気測定手段により磁
気シールドルームの設置前後の磁束密度分布を測定する
と共に測定位置を検出し、磁束密度分布の測定値を比較
することにより磁気シールドルームの性能を評価するこ
とを特徴とする磁気シールドルームの性能測定法。 - 【請求項２】磁気シールドルームの外側の位置に配置さ
れる磁気発生源、及び３軸磁気センサーを搭載し磁気シ
ールドルーム内にメッシュ状に設定された測定位置に磁
気センサーを移動させ測定位置を検出する機構を備える
と共に磁気センサーによる磁束密度分布の測定値と測定
位置の検出データを蓄積処理するデータ処理装置を備え
た測定手段からなることを特徴とする磁気シールドルー
ムの性能測定システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2869890A JP2916692B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 磁気シールドルームの性能測定法及び測定システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2869890A JP2916692B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 磁気シールドルームの性能測定法及び測定システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03233378A JPH03233378A (ja) | 1991-10-17 |
| JP2916692B2 true JP2916692B2 (ja) | 1999-07-05 |
Family
ID=12255694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2869890A Expired - Lifetime JP2916692B2 (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | 磁気シールドルームの性能測定法及び測定システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2916692B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011022040A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Tsubakimoto Chain Co | 磁場分布測定装置及び磁場分布測定方法 |
| EP3761044A4 (en) * | 2018-03-01 | 2022-03-16 | Yokogawa Electric Corporation | ELECTRIC CURRENT MEASUREMENT DEVICE, ELECTRIC CURRENT MEASUREMENT METHOD AND COMPUTER READABLE NON-TRANSITORY RECORDING MEDIA |
| CN113009242B (zh) * | 2021-02-25 | 2022-10-04 | 西安理工大学 | 一种阵列式磁通门表面电势分布及衰减的测量装置及方法 |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP2869890A patent/JP2916692B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03233378A (ja) | 1991-10-17 |
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