JP2008032562A - 回転検出装置および回転検出装置付き軸受 - Google Patents

Abstract

【課題】時間遅れによる誤差が無い回転検出装置、及びこの回転検出装置を組み込んだ検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】回転側部材に、その回転中心周りの円周方向異方性を有する磁石２を設ける。この磁石２に対し前記回転側部材の回転中心の軸方向に対向して、複数の磁気センサ素子が平面的に並ぶ磁気センサ５を固定側部材に配置する。この磁気センサ５の各磁気センサ素子の出力から前記磁石２の磁界強度を計測し、その計測値を基に回転側部材の回転角度を検出する角度算出手段６を設ける。前記磁石２の磁界が磁気センサ素子で検出されてから前記角度算出手段６で検出角度が出力されるまでの遅延時間を補正する遅延時間補正手段７と、磁界のサンプリング間隔を補間して角度の変化分を演算する補間手段８を設ける。また、これら遅延時間補正手段７による遅延時間補正、および補間手段８による補間処理がされた回転角度を出力する出力手段９を設ける。
【選択図】図６

Description

この発明は、各種の機器における回転角度検出、例えば小型モータの回転制御のための回転角度検出等に用いられる回転検出装置、およびその回転検出装置を組み込んだ検出装置付き軸受に関する。

小型の機器に組み込み可能で、かつ高精度の回転角度検出が可能な回転検出装置として、磁気センサアレイを用いるものが提案されている（例えば特許文献１）。これは、図１２のように、磁気センサ素子（ＭＡＧＦＥＴ）を多数並べて構成した磁気センサアレイ４５を、信号増幅回路、ＡＤ変換回路、デジタル信号処理回路などの回路４６とともにセンサチップ４２に集積し、このセンサチップ４２を、回転側部材４１に配置される磁石４４に対向配置したものである。この場合、磁石４４は回転中心Ｏ回りの円周方向異方性を有するものとされ、前記センサチップ４２上では、仮想の矩形の４辺における各辺に沿って磁気センサアレイ４５が配置される。
このように構成された回転検出装置４３では、各辺の磁気センサアレイ４５の出力を信号増幅回路、ＡＤ変換回路で読み出して前記磁石４４の磁界分布を検出し、その検出結果に基づき磁石４４の回転角度をデジタル信号処理回路により算出する。

特許文献１に開示の回転検出装置４３と検出方法は異なるものの、ホール素子などの磁気センサ素子を複数使用し、それらの出力信号を演算することによって、回転体に固定された磁石の位置や動きを検出する回転検出装置（例えばＡＭＳ社のロータリエンコーダＬＳＩ）なども提案されている。
特開２００３−３７１３３号公報

これらの回転検出装置では、個々の磁気センサ素子の信号を読み出す時間と、読み出した信号から回転角度などの情報を求めるための演算処理時間とが必要であり、検出信号の時間遅れが発生する。このため、回転側部材の回転速度が速いときには、実際の回転速度と検出される回転角度との間にずれが生じ、細かな回転位置情報をリアルタイムで必要する用途では使い難いという課題があった。

この発明の目的は、時間遅れによる誤差がなく、各時刻における正確な回転角度情報を得ることのできる回転検出装置、およびこの回転検出装置を組み込んだ検出装置付き軸受を提供することである。

この発明の回転検出装置は、回転側部材に設けられ回転中心周りの円周方向異方性を有する磁石（２）と、この磁石（２）に対し前記回転側部材の回転中心の軸方向に対向して固定側部材に配置され複数の磁気センサ素子（５ａ）が平面的に並ぶ磁気センサ（５）と、この磁気センサ（５）の各磁気センサ素子（５ａ）の出力から前記磁石（２）の磁界強度を計測し、その計測値を基に回転側部材の回転角度を検出する角度算出手段（６）とを備えた回転検出装置であって、前記磁石（２）の磁界が磁気センサ素子（５ａ）で検出されてから前記角度算出手段（６）で検出角度が出力されるまでの遅延時間を補正する遅延時間補正手段（７）と、磁界のサンプリング間隔を補間して角度の変化分を演算する補間手段（８）と、これら遅延時間補正手段（７）による遅延時間補正、および補間手段（８）による補間処理がされた回転角度を出力する出力手段（９）とを設けたことを特徴とする。前記磁気センサ（５）は例えば磁気センサアレイからなるものであるが、複数のホール素子などの磁気センサを使用し、それらの出力信号から角度を算出するロータリエンコーダであってもよい。
この構成によると、角度算出手段（６）から出力される検出角度を、磁石（２）の磁界が磁気センサ素子（５ａ）で検出されてから角度算出手段（６）で検出角度が出力されるまでの時間遅れ分だけ遅延時間補正手段（７）で補正するようにしているので、出力される角度情報が実際の回転側部材の回転角度にごく近い値になり、正確な角度情報をリアルタイムで得ることができる。
また、補間手段（８）により、磁界のサンプリング間隔を補間して回転角度の変化分を演算するようにしているので、回転側部材の高速回転動作を、サンプリング時間間隔よりも細かく検出することができる。その結果、時間遅れによる誤差がなく、各時刻における正確な回転角度情報を得ることができる。

この発明において、前記磁気センサ（５）の出力から回転パルス信号を生成するパルス生成回路（１４）を設け、前記出力手段（９）は回転角度の出力をパルス信号で出力するものとしても良い。また、前記パルス信号が、互いに９０°位相の異なる二つの回転パルス信号、または回転パルス信号と回転方向信号とからなるものであっても良い。この構成の場合、回転側部材の回転方向も判別することができる。

この発明において、前記パルス信号に加えて、前記磁気センサ（５）の出力から回転側部材の１回転ごとに出力するインデックス信号の生成手段（１６）を設けても良い。この構成の場合、パルスを計数することによってリアルタイムで絶対回転角度情報も得ることができる。

この発明において、インデックス信号を出力する角度値を記憶する記憶手段（１７）を設け、このインデックス信号を出力する角度値を設定する角度値設定手段（１８）を設けても良い。これによって計算時間の遅延が補償された状態で、任意の角度で発生するインデックス信号を得ることができる。角度値設定手段（１８）は通信回路で構成されていても良い。

この発明において、前記遅延時間補正手段（７）および補間手段（８）の機能をそれぞれオン状態とオフ状態とに切り替える機能オンオフ手段（１９）を設けても良い。また、前記遅延時間補正手段（７）のオン状態とオフ状態とを、回転側部材の回転速度が設定速度以上か否かに応じて切り替える自動切替手段（３０）を設け、設定回転速度未満のときにオフ状態とするものとしても良い。また、前記自動切替えを行う設定回転速度を設定する自動切替速度設定手段（３１）を設けても良い。角度値設定手段（１８）は通信回路で構成されていても良い。
回転側部材の回転速度が低速の場合には、角度算出手段（６）における遅延時間の影響が小さいため、遅延時間補正手段（７）による遅延時間補償の処理を行わないほうが安定した検出結果が得られる場合がある。そこで、このような場合に、機能オンオフ手段（１９）により、回転速度に応じて遅延補正機能のオン・オフを自動的に行うようにすると、遅延時間補正手段（７）による遅延時間補償の処理を省略して、安定した検出結果を得ることができる。

この発明において、磁気センサ素子（５ａ）および前記各手段を同一の半導体チップに集積しても良い。この構成の場合、小型で高精度な回転検出装置を実現できる。

この発明の検出装置付き軸受は、この発明の上記いずれかの構成の回転検出装置を軸受に組み込んだものである。
この構成によると、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。

この発明の回転検出装置は、回転側部材に設けられ回転中心周りの円周方向異方性を有する磁石と、この磁石に対し前記回転側部材の回転中心の軸方向に対向して固定側部材に配置され複数の磁気センサ素子が平面的に並ぶ磁気センサと、この磁気センサの各磁気センサ素子の出力から前記磁石の磁界強度を計測し、その計測値を基に回転側部材の回転角度を検出する角度算出手段とを備えた回転検出装置であって、前記磁石の磁界が磁気センサ素子で検出されてから前記角度算出手段で検出角度が出力されるまでの遅延時間を補正する遅延時間補正手段と、磁界のサンプリング間隔を補間して角度の変化分を演算する補間手段と、これら遅延時間補正手段による遅延時間補正、および補間手段による補間処理がされた回転角度を出力する出力手段とを設けたため、時間遅れによる誤差がなく、各時刻における正確な回転角度情報を得ることができる。
この発明の検出装置付き軸受は、この発明の回転検出装置を軸受に組み込んだものであるため、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。

この発明の一実施形態を図１ないし図９と共に説明する。図１は、この実施形態の回転検出装置を組み込んだ軸受の断面図を示す。この検出装置付き軸受２０は、内輪２１と外輪２２の転走面間に、保持器２３に保持された転動体２４を介在させた転がり軸受である。転動体２４はボールからなり、この転がり軸受２０は単列の深溝玉軸受とされている。内輪２１には回転側部材である回転軸１０が圧入状態に嵌合しており、外輪２２は軸受使用機器のハウジング（図示せず）に設置されている。

転がり軸受２０に組み込まれる回転検出装置１は、転がり軸受２０の内輪２１側に配置された磁石２と、外輪２２側に配置された回転センサ３とを備える。具体的には、内輪２１と共に回転する回転軸１０に、一対の磁極Ｎ，Ｓが形成された永久磁石２が配置され、外輪２２と固定関係にあるセンサ取付部材２７に回転センサ３が配置される。
磁石２は、図２に示すように、その一対の磁極Ｎ，Ｓから発生する磁気が転がり軸受２０の軸心Ｏの回りの方向性を有するものである。この磁石２は、転がり軸受２０の軸心Ｏが磁石２の中心と一致するように、回転軸１０の一端の中央に固定される。磁石２が回転軸１０と一体に回転することによって、上記軸受軸心Ｏの回りをＮ磁極およびＳ磁極が旋回移動する。

回転センサ３は磁石２の磁気を感知して回転角度の情報を出力するセンサである。回転センサ３は、転がり軸受２０の軸心Ｏの軸方向に向けて磁石２と対面するように、センサ取付部材２７を介して外輪２２側に取付けられる。具体的には、外輪２２に前記センサ取付部材２７が取付けられ、このセンサ取付部材２７に回転センサ３が固定されている。センサ取付部材２７は、外周部の先端円筒部２７ａを外輪２２の内径面に嵌合させ、この先端円筒部２７ａの近傍に形成した鍔部２７ｂを外輪２２の幅面に係合させて軸方向に位置決めがなされている。また、センサ取付部材２７には、回転センサ３の出力を取り出すための出力ケーブル２９も取付けられている。

回転センサ３は、図３に平面図で示すように、１つの半導体チップ４上に大規模集積回路（ＬＳＩ）を集積して構成される。その大規模集積回路は、磁気センサ５を構成する複数の磁気センサ素子５ａと、その磁気センサ素子５ａの出力から前記磁石２の磁界強度を計測し、その計測値に基づき回転側部材である回転軸１０の回転角度を検出する角度算出手段６と、遅延時間補正手段７と、補間手段８と、出力手段９とからなる。なお、図３において、角度算出手段６、遅延時間補正手段７、補間手段８、出力手段９については、概念的な構成をブロックで示しており、これらの各手段６〜９の形状，寸法を示すものではない。半導体チップ４上において、磁気センサ素子５ａは、仮想の矩形上の４辺における各辺に沿って配置されて、４辺の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄとされる。この場合、前記矩形の中心Ｏ’は、転がり軸受２０の軸心Ｏに一致する。４辺の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄは、同図の例ではセンサ素子５ａが一列に並んだものとしているが、センサ素子５ａが複列に平行に並んだものであっても良い。前記角度算出手段６、遅延時間補正手段７、補間手段８、出力手段９などからなる演算回路部は、磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの矩形配置の内部に配置される。半導体チップ４は、その素子形成面が前記磁石２と対向するように前記センサ取付部材２７に固定される。

このように、磁気センサ素子５ａと演算回路部（角度算出手段６、遅延時間補正手段７、補間手段８、出力手段９）とを同じ半導体チップ４上に集積して一体化すると、磁気センサ素子５ａと演算回路部間の配線が不要となり、回転センサ３のコンパクト化が可能で、断線等に対する信頼性も向上し、回転検出装置１の組み立て作業も容易になる。特に、上記したように矩形に配置された磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの内部に演算回路部を配置すると、チップサイズをより小さくすることができる。

図４および図５は、前記角度算出手段６による回転角度算出処理の説明図である。図５（Ａ）〜（Ｄ）は、回転軸１０が回転している時の磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄによる出力波形図を示し、それらの横軸は各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄにおける磁気センサ素子５ａを、縦軸は検出磁界の強度をそれぞれ示す。
いま、図４に示す位置Ｘ１とＸ２に磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの検出磁界のＮ磁極とＳ磁極の境界であるゼロクロス位置があるとする。この状態で、各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄの出力は、図５（Ａ）〜（Ｄ）に示す信号波形となる。したがって、ゼロクロス位置Ｘ１，Ｘ２は、磁気センサアレイ５Ａ，５Ｃの出力から直線近似することで算出できる。
角度計算は、次式（１）で行うことができる。
θ＝ｔａｎ^-1（２Ｌ／ｂ） ……（１）
ここでθは、磁石２の回転角度を絶対角度（アブソリュート値）で示した値である。２Ｌは、矩形に並べられる各磁気センサアレイ５Ａ〜５Ｄより構成される四角形の１辺の長さである。ｂは、ゼロクロス位置Ｘ１，Ｘ２間の横方向長さである。
ゼロクロス位置Ｘ１，Ｘ２が磁気センサアレイ５Ｂ，５Ｄにある場合には、それらの出力から得られるゼロクロス位置データにより、上記と同様にして回転角度θが算出される。

ところで、角度算出手段６が上記した演算を行って回転角度θを出力するまでに時間遅れが発生する。したがって、高速回転状態では検出された回転角度位置は実際の回転角度位置とは異なっていることがある。図９には、時刻ｔ_n-1 ，ｔ_n ，ｔ_n+1 において角度算出手段６で演算出力される各検出角度θ_n-1 ，θ_n ，θ_n+1 と実際の角度との関係を示している。これら検出角度θ_n-1 ，θ_n ，θ_n+1 と実際の角度との角度差が上記遅延によるものである。

図６には、この実施形態の回転検出装置１の概略構成をブロック図で示す。遅延時間補正手段７は、角度算出手段６から出力される検出角度θを前記時間遅れ分だけ補正する手段である。この遅延時間補正手段７は、その詳細な構成をブロック図で示す図７のように、速度検出回路１１、目標値計算回路１２、および前回目標値記憶メモリ１３を有する。 速度検出回路１１では、時刻ｔ_n に角度算出手段６から出力される検出角度θ_n と、時刻ｔ_n-1 に角度算出手段６から出力される検出角度θ_n-1 の差分Δθ_n （＝θ_n −θ_n-1 ）を回転速度として計算する。この差分値Δθ_n は、１回の磁界サンプリング間隔Ｔで回転した角度を示している。差分値Δθ_n のばらつきは大きくなるため、必要に応じて平均化フィルタなどを使用しても良い。
目標値計算回路１２では、速度検出回路１１で検出された回転速度（差分値Δθ_n ）を用いて、次のサンプリング時刻（次に角度算出手段６が検出角度θ_n+1 を出力する時刻）ｔ_n+1 に到達すべき回転角度位置Ｐ_n+1 を計算する。ここでは、目標値計算回路１２は、検出角度出力までの遅延時間を補償する。その補償の計算方法として、例えば一次近似を用いると、ｔ_n+1 に到達すべき回転角度位置Ｐ_n+1 は、
Ｐ_n+1 ＝θ_n ＋α・Δθ_n ……（２）
となる。ここでαは遅延時間を補償する係数で、遅延時間の大きさによって設定され、図９の場合ではα＝２に設定される。このようにして求められた次回の予想検出角度Ｐ_n+1 が目標値となる。このように遅延時間補償を行った場合、Ｐ_n+1 は図９に示す位置となり、実際の回転角度位置に近接した値が目標値となる。このとき、目標値記憶メモリ１３には、目標値計算回路１２が前回計算した目標値Ｐ_n が記憶されている。

補間手段８は、磁界のサンプリング間隔Ｔを補間して回転角度の変化分を演算する手段である。この補間手段８は、その詳細な構成をブロック図で示す図７のように、パルス生成回路１４と現在位置カウンタ１５とを有する。先の目標値計算回路１２では、上記したように求まった目標値Ｐ_n+1 と、目標値記憶メモリ１３に記憶された前回の目標値Ｐ_n とを用いて、次回サンプリング時刻ｔ_n+1 までに変化すべきカウント量Ｃ_n を、
Ｃ_n ＝Ｐ_n+1 −Ｐ_n ……（３）
として求め、補間手段８のパルス生成回路１４に入力する。また、目標値計算回路１２は、前記カウント量Ｃ_n を計算後、現在位置ＡをＰ_n として前回目標値記憶メモリ１３に再記憶する。すると、現在位置カウンタ１５にＣ_n 個のクロックが順次入力される。これにより、現在位置カウンタ１５のカウント値が変化し、補正角度出力（遅延時間補償＋補間）Ａが得られる。
このように補間された角度出力信号Ａはデジタル信号であるが、常に±１ずつしか変化しない動作をする。したがって、現在位置カウンタ１５のカウント値（信号Ａ）の下位２ビットの信号状態から、通常のエンコーダで用いられるＡＢ相などの２相パルス信号を生成することができる。
例えば、信号Ａの下位２ビットをＡ０，Ａ１として、図１０に示す論理回路によって、ＡＢ相の信号を生成することができる。

出力手段９は、遅延時間補正手段７による遅延時間補償、および補間手段８による補間処理がされた回転角度Ａを出力する手段である。この出力手段９は、その詳細な構成をブロック図で示す図８のように、インデックス信号生成手段１６、角度値記憶手段１７、および角度値設定手段１８を有する。出力手段９は、補間手段８からの角度信号Ａをそのまま出力する端子の他に、回転側部材である回転軸１０が１回転するごとにインデックス信号Ｚを出力する端子を有する。インデックス信号生成手段１６は、補間手段８における現在位置カウンタ１５のカウント値（信号Ａ）が例えば０になったとき、前記端子にインデクス信号Ｚを出力する。角度値記憶手段１７はインデックス信号Ｚを出力する角度値を記憶するメモリであり、角度値設定手段１８は前記角度値記憶手段１７に記憶させる角度値を設定する手段である。角度値設定手段１８は例えば通信回路で構成され、角度値記憶手段１７に記憶させる角度値を外部から可変設定可能とされる。これにより、補間手段８における現在位置カウンタ１５のカウント値（信号Ａ）が角度値記憶手段１７に記憶された角度値と等しくなったとき、インデックス信号生成手段１６の出力端子にインデックス信号Ｚが出力される。信号Ａは遅延時間補償および補間処理された信号なので、実際の角度との誤差が小さいインデックス信号を出力することができる。

このように、この実施形態の回転検出装置１では、角度算出手段６から出力される検出角度θを、磁石２の磁界が磁気センサ素子５ａで検出されてから角度算出手段６で検出角度θが出力されるまでの時間遅れ分だけ遅延時間補正手段７で補正するようにしているので、出力される角度情報が実際の回転側部材（回転軸１０）の回転角度にごく近い値になり、正確な角度情報をリアルタイムで得ることができる。
また、補間手段８により、磁界のサンプリング間隔Ｔを補間して回転角度の変化分を演算するようにしているので、回転側部材（回転軸１０）の高速回転動作を、サンプリング時間間隔Ｔよりも細かく検出することができる。
また、この実施形態では、補間手段８により補間処理されて出力される角度信号Ａから２相信号を生成しているので、これらの信号を用いて回転側部材（回転軸１０）の回転方向も判別することができる。
また、この実施形態では、インデックス生成手段１６によりインデックス信号Ｚも出力できるので、パルスを計数することによってリアルタイムで絶対回転角度情報も得ることができる。

また、図１の検出装置付き軸受２０では、上記回転検出装置１を転がり軸受２０に組み込んでいるので、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化を図ることができる。

図１１はこの発明の他の実施形態を示す。この実施形態の回転検出装置１は、図６に示す先の実施形態において、遅延時間補正手段７および補間手段８の機能を選択的にオン・オフする機能オンオフ手段１９を付加したものである。機能オンオフ手段１９は自動切替手段３０と自動切替速度設定手段３１とでなる。
自動切替手段３０は、回転側部材（回転軸１０）の回転速度が設定回転速度以上か否かに応じて、例えばスイッチ３２，３３をオン・オフすることにより、遅延時間補正手段７および補間手段８の機能をそれぞれオン状態とオフ状態とに切り換える手段であり、具体的には設定回転速度未満のとき遅延時間補正手段７および補間手段８の機能がオフ状態となるように切り換える。図１１では、説明を簡略化するために遅延時間補正手段７および補間手段８の外部のスイッチ３２，３３をオン・オフする構成としているが、遅延時間補正手段７および補間手段８の回路内部動作を切り換えるようにしても良い。
自動切替速度設定手段３１は、前記自動切替手段３０が自動切替えを行う設定回転速度の値を可変設定する手段であり、例えば通信回路によって構成される。なお、設定回転速度の値の可変設定は、この他、例えばスイッチ端子を外部から操作して行うようにしても良い。その他の構成は図６の場合と同様であり、ここではその説明は省略する。

回転側部材（回転軸１０）の回転速度が低速の場合には、角度算出手段６における遅延時間の影響が小さいため、遅延時間補正手段７による遅延時間補償の処理を行わないほうが安定した検出結果が得られる場合がある。この実施形態の回転検出装置１では、機能オンオフ手段１９の自動切替手段３０により、回転速度に応じて遅延補正のオン・オフを自動的に行うようにしているため、このような場合に、遅延時間補正手段７による遅延時間補償の処理を省略して、安定した検出結果を得ることができる。
なお、遅延時間補正手段７の機能をオフ状態とした場合には、角度算出手段６が検出角度θ_n+1 を出力する次のサンプリング時刻ｔ_n+1 に到達すべき回転角度位置Ｐ_n+1 は、次式（２’）として計算される。
Ｐ_n+1 ＝θ_n ＋Δθ_n ……（２’）

この発明の一実施形態に係る回転検出装置を組み込んだ検出装置付き軸受の断面図である。 同軸受における回転検出装置設置部を示す拡大側面図である。 同軸受における回転センサの一例を構成する半導体チップの平面図である。 同回転センサの角度算出手段による角度算出処理の説明図である。 同回転センサにおける磁気センサアレイの出力を示す波形図である。 前記回転検出装置の概略構成を示すブロック図である。 同回転検出装置における遅延時間補正手段および補間手段の詳細な構成を示すブロック図である。 同回転検出装置における出力手段の詳細な構成を示すブロック図である。 同回転検出装置における遅延時間補正手段の処理動作を示す説明図である。 同回転検出装置における出力手段から出力されるＡＢ相信号の論理説明図である。 この発明の他の実施形態に係る回転検出装置の概略構成を示すブロック図である。 従来例の斜視図である。

符号の説明

１…回転検出装置
２…磁石
３…回転センサ
４…半導体チップ
５…磁気センサ
５ａ…磁気センサ素子
５Ａ〜５Ｄ…磁気センサアレイ
６…角度算出手段
７…遅延時間補正手段
８…補間手段
９…出力手段
１０…回転軸
１６…インデックス信号生成手段
１７…角度値記憶手段
１８…角度値設定手段
１９…機能オンオフ手段
３０…自動切替手段
３１…自動切替速度設定手段

Claims (11)

1. 回転側部材に設けられ回転中心周りの円周方向異方性を有する磁石と、この磁石に対し前記回転側部材の回転中心の軸方向に対向して固定側部材に配置され複数の磁気センサ素子が平面的に並ぶ磁気センサと、この磁気センサの各磁気センサ素子の出力から前記磁石の磁界強度を計測し、その計測値を基に回転側部材の回転角度を検出する角度算出手段とを備えた回転検出装置であって、
   前記磁石の磁界が磁気センサ素子で検出されてから前記角度算出手段で検出角度が出力されるまでの遅延時間を補正する遅延時間補正手段と、磁界のサンプリング間隔を補間して角度の変化分を演算する補間手段と、これら遅延時間補正手段による遅延時間補正、および補間手段による補間処理がされた回転角度を出力する出力手段とを設けたことを特徴とする回転検出装置。
2. 請求項１において、前記磁気センサの出力から回転パルス信号を生成するパルス生成回路を設け、前記出力手段は回転角度の出力をパルス信号で出力するものとした回転検出装置。
3. 請求項２において、前記パルス信号が、互いに９０°位相の異なる二つの回転パルス信号、または回転パルス信号と回転方向信号とからなる回転検出装置。
4. 請求項２または請求項３において、前記パルス信号に加えて、前記磁気センサの出力から回転側部材の１回転ごとに出力するインデックス信号の生成手段を設けた回転検出装置。
5. 請求項４において、インデックス信号を出力する角度値を記憶する記憶手段を設け、このインデックス信号を出力する角度値を設定する角度値設定手段を設けた回転検出装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか１項において、前記遅延時間補正手段および補間手段の機能をそれぞれオン状態とオフ状態とに切り替える機能オンオフ手段を設けた回転検出装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか１項において、前記遅延時間補正手段のオン状態とオフ状態とを、回転側部材の回転速度が設定速度以上か否かに応じて切り替える自動切替手段を設け、設定回転速度未満のときにオフ状態とするものとした回転検出装置。
8. 請求項７において、前記自動切替えを行う設定回転速度を設定する自動切替速度設定手段を設けた回転検出装置。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか１項において、磁気センサ素子および前記各手段を同一の半導体チップに集積した回転検出装置。
10. 請求項１ないし請求項９のいずれか１項において、前記磁気センサが磁気センサアレイからなる回転検出装置。
11. 請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記載の回転検出装置を軸受に組み込んだ回転検出装置付き軸受。
    
    

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