JP7430213B2 - 表示装置 - Google Patents
表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7430213B2 JP7430213B2 JP2022065132A JP2022065132A JP7430213B2 JP 7430213 B2 JP7430213 B2 JP 7430213B2 JP 2022065132 A JP2022065132 A JP 2022065132A JP 2022065132 A JP2022065132 A JP 2022065132A JP 7430213 B2 JP7430213 B2 JP 7430213B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transistor
- layer
- display
- insulating layer
- conductive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 39
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 611
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 145
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 145
- 239000010408 film Substances 0.000 description 114
- 230000006870 function Effects 0.000 description 111
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 102
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 70
- 238000000034 method Methods 0.000 description 67
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 64
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 62
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 62
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 60
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 59
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 57
- 239000000463 material Substances 0.000 description 57
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 45
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 28
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 23
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 22
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 20
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 18
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 17
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 15
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 13
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 13
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 10
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 9
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 7
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 7
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 6
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 6
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 6
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 5
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 4
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 4
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 4
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 4
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- UWCWUCKPEYNDNV-LBPRGKRZSA-N 2,6-dimethyl-n-[[(2s)-pyrrolidin-2-yl]methyl]aniline Chemical compound CC1=CC=CC(C)=C1NC[C@H]1NCCC1 UWCWUCKPEYNDNV-LBPRGKRZSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 3
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 3
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 3
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 3
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical group [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004983 Polymer Dispersed Liquid Crystal Substances 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004760 aramid Substances 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003098 cholesteric effect Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000002121 nanofiber Substances 0.000 description 2
- 238000006213 oxygenation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100341026 Caenorhabditis elegans inx-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 229920003043 Cellulose fiber Polymers 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004986 Cholesteric liquid crystals (ChLC) Substances 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005264 High molar mass liquid crystal Substances 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100427344 Mus musculus Usp10 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004990 Smectic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004974 Thermotropic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910009367 Zn M Inorganic materials 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 238000011276 addition treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 208000003464 asthenopia Diseases 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 238000002524 electron diffraction data Methods 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 210000000887 face Anatomy 0.000 description 1
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N iodine Chemical compound II PNDPGZBMCMUPRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005499 laser crystallization Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 229910021392 nanocarbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002159 nanocrystal Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001730 nitrous oxide Drugs 0.000 description 1
- 235000013842 nitrous oxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 239000012508 resin bead Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
- G09G3/3611—Control of matrices with row and column drivers
- G09G3/3674—Details of drivers for scan electrodes
- G09G3/3677—Details of drivers for scan electrodes suitable for active matrices only
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/0418—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers for error correction or compensation, e.g. based on parallax, calibration or alignment
- G06F3/04184—Synchronisation with the driving of the display or the backlighting unit to avoid interferences generated internally
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/13338—Input devices, e.g. touch panels
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/0418—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers for error correction or compensation, e.g. based on parallax, calibration or alignment
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0443—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/046—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by electromagnetic means
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
- G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1222—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer
- H01L27/1225—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or crystalline structure of the active layer with semiconductor materials not belonging to the group IV of the periodic table, e.g. InGaZnO
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
- H10K59/1213—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being TFTs
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
- H10K59/1216—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/40—OLEDs integrated with touch screens
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2310/00—Command of the display device
- G09G2310/02—Addressing, scanning or driving the display screen or processing steps related thereto
- G09G2310/0264—Details of driving circuits
- G09G2310/0286—Details of a shift registers arranged for use in a driving circuit
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2310/00—Command of the display device
- G09G2310/08—Details of timing specific for flat panels, other than clock recovery
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2320/00—Control of display operating conditions
- G09G2320/10—Special adaptations of display systems for operation with variable images
- G09G2320/103—Detection of image changes, e.g. determination of an index representative of the image change
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Geometry (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Control Of El Displays (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
体装置に関する。
術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一形態は
、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マタ
ー)に関するものである。
装置、半導体装置、電子機器、それらの動作方法、または、それらの製造方法を一例とし
てあげることができる。なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用す
ることで機能しうる装置全般を指す。例えば、集積回路、集積回路を備えたチップや、パ
ッケージにチップを収納した電子部品、集積回路を備えた電子機器は、半導体装置の一例
である。
示ユニットの表示領域に、タッチセンサユニットの検出領域を重ねることで、表示領域に
おいて画像の表示を行うとともに、使用者が、表示領域のどの位置を指し示したかを情報
として得ることができる。使用者は、指やスタイラス等を用いて入力を行う。
る。酸化物半導体を用いたトランジスタは、オフ電流が非常に小さいため、表示ユニット
が静止画を表示する際のリフレッシュ頻度を少なくすることができる。本明細書等におい
て、上述のリフレッシュ頻度を少なくする技術を、「アイドリングストップ」または「I
DS駆動」と呼称する(特許文献1、特許文献2)。IDS駆動は、表示ユニットの消費
電力を低減することができる。
0Hz」ともいう)のものが多い一方で、タッチセンサユニットには手書き入力等滑らか
な入力が求められており、タッチセンサユニットの検出動作は、1秒間に80回、より好
ましくは100回以上が必要とされている。
動作を行うと、ノイズの影響を受けて、タッチセンサユニットの検出精度が悪化する問題
がある。本発明の一形態は、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニット
による滑らかな入力とを両立した、表示装置を提供することを課題の一つとする。
の一形態は、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな
入力とを両立した、新規な動作方法を提供することを課題の一つとする。または、本発明
の一形態は、新規な表示装置を使用した、電子機器を提供することを課題の一つとする。
一つの課題を解決できるものであればよい。また、上記の課題の記載は、他の課題の存在
を妨げるものではない。これら以外の課題は、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載
から自ずと明らかになるものであり、明細書、特許請求の範囲、図面などの記載から、こ
れら以外の課題を抽出することが可能である。
ライバは、画素アレイを第1乃至第N(Nは2以上の整数)の画素群に分割して駆動する
機能を有する。また、ゲートドライバは、第1乃至第Nのシフトレジスタを有し、第K(
Kは1以上N以下の整数)のシフトレジスタは、第Kの画素群を駆動する信号を生成する
。ゲートドライバには、第1乃至第M(Mは1以上の整数)のクロックと、第1乃至第L
(Lは1以上の整数)の信号が入力され、ゲートドライバは、第1乃至第Mのクロックと
、第1乃至第Lの信号を用いて、第1乃至第Nのシフトレジスタのそれぞれに、クロック
とスタートパルスを供給する。LはN/M+1以下であることを特徴とする。
ある。タッチセンサユニットは、第1乃至第Nのシフトレジスタが動作を停止している期
間に、タッチを検出することを特徴とする。
装置である。アプリケーションプロセッサは、第1乃至第Mのクロックと、第1乃至第L
の信号を、ゲートドライバに供給する機能を有する。また、アプリケーションプロセッサ
は、第1乃至第Nの画素群のそれぞれにおいて、表示画像に変化があるかないかを判断す
る。アプリケーションプロセッサは、第1乃至第Mのクロックと、第1乃至第Lの信号を
用いて、表示画像に変化がある画素群の表示画像を書き換え、表示画像に変化がない画素
群の表示画像を書き換えない機能を有する。
スタを有する。
に金属酸化物を含むことを特徴とする。
ットの検出精度と、タッチセンサユニットによる滑らかな入力とを両立した、表示装置を
提供することができる。または、タッチセンサユニットの検出精度と、タッチセンサユニ
ットによる滑らかな入力とを、少ない信号数で実現した、表示装置を提供することができ
る。または、消費電力の少ない表示装置を提供することができる。
による滑らかな入力とを両立した、新規な動作方法を提供することができる。または、本
発明の一形態は、新規な表示装置を使用した、電子機器を提供することができる。
他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で
言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書又は
図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。
なお、本発明の一形態は、上記列挙した効果、および他の効果のうち、少なくとも一つの
効果を有するものである。従って本発明の一形態は、場合によっては、上記列挙した効果
を有さない場合もある。
る形態で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及
び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は
、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、以下に示され
る複数の実施の形態は、適宜組み合わせることが可能である。
によって構成される。したがって、表示装置を半導体装置、電子機器などと言い換える場
合がある。
がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。図面は、理想的な例を模式的に
示したものであり、図面に示す形状または値などに限定されない。
あるいは同時に形成される要素等には同一の符号を付す場合があり、その繰り返しの説明
は省略する場合がある。
えることが可能である。例えば、「導電層」という用語を、「導電膜」という用語に変更
することが可能な場合がある。または、例えば、「絶縁膜」という用語を、「絶縁層」と
いう用語に変更することが可能な場合がある。
係が、「直上」または「直下」であることを限定するものではない。例えば、「ゲート絶
縁層上のゲート電極」の表現であれば、ゲート絶縁層とゲート電極との間に他の構成要素
を含むものを除外しない。
で配置されている状態をいう。したがって、-5°以上5°以下の場合も含まれる。また
、「垂直」とは、二つの直線が80°以上100°以下の角度で配置されている状態をい
う。したがって、85°以上95°以下の場合も含まれる。
混同を避けるために付したものであり、数的に限定するものではない。
」を介して接続されている場合が含まれる。ここで、「何らかの電気的作用を有するもの
」は、接続対象間での電気信号の授受を可能とするものであれば、特に制限を受けない。
例えば、「何らかの電気的作用を有するもの」には、電極や配線をはじめ、トランジスタ
などのスイッチング素子、抵抗素子、インダクタ、容量素子、その他の各種機能を有する
素子などが含まれる。
電位)との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧、電位、電位差を、各々、電位
、電圧、電圧差と言い換えることが可能である。
、少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン(ドレイン端子、ドレイ
ン領域、またはドレイン電極)とソース(ソース端子、ソース領域、またはソース電極)
の間にチャネル領域を有しており、チャネル領域を介して、ソースとドレインとの間に電
流を流すことができるものである。なお、本明細書等において、チャネル領域とは、電流
が主として流れる領域をいう。
作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細
書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができるものとする
。
態(非導通状態、遮断状態、ともいう)にあるときのドレイン電流をいう。オフ状態とは
、特に断りがない場合、nチャネル型トランジスタでは、ソースに対するゲートの電圧V
gsがしきい値電圧Vthよりも低い状態、pチャネル型トランジスタでは、ソースに対
するゲートの電圧Vgsがしきい値電圧Vthよりも高い状態をいう。つまり、nチャネ
ル型のトランジスタのオフ電流とは、ソースに対するゲートの電圧Vgsがしきい値電圧
Vthよりも低いときのドレイン電流、という場合がある。
は、トランジスタがオフ状態にあるときのソースを流れる電流を言う場合がある。
、本明細書等において、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態にあるときに、ソースと
ドレインの間に流れる電流を指す場合がある。
金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を
含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductor、または単にOSとも
いう)などに分類される。例えば、トランジスタの活性層に金属酸化物を用いた場合、当
該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整
流作用、及びスイッチング作用の少なくとも1つを有する場合、当該金属酸化物を、金属
酸化物半導体(metal oxide semiconductor)、略してOSと
呼ぶことができる。また、OSトランジスタ、またはOS FETと記載する場合におい
ては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
本実施の形態では、表示ユニットと、タッチセンサユニットと、を有する表示装置につい
て説明する。特に、表示ユニットが有するゲートドライバ、および表示ユニットが表示画
像を書き換える動作と、タッチセンサユニットの検出動作(タッチを検出する動作)との
関係について説明する。
図1は、表示装置の構成例を示すブロック図である。表示装置100は、表示ユニット6
0、タッチセンサユニット70、アプリケーションプロセッサ80、を有する。
表示ユニット60は、画素アレイ61、ゲートドライバ62、ゲートドライバ63、およ
びソースドライバIC64を有する。
駆動されるアクティブ型の素子である。また、画素アレイ61は、表示ユニット60の表
示領域を形成し、画像を表示する機能を有する。画素アレイ61のより具体的な構成例に
ついては、実施の形態4にて説明する。
表記する)は、画素10を選択するためのゲート線を駆動する機能を有する。ゲートドラ
イバ62、63は、どちらか一方のみでもよい。なお、図1の例では、ゲートドライバ6
2、63は、画素アレイ61と共に同一基板上に設けられている例を示しているが、ゲー
トドライバ62、63を専用ICとすることもできる。
を有する。ここでは、ソースドライバIC64の実装方式は、COG(Chip on
Glass)方式としているが、実装方式に特段の制約はなく、COF(Chip on
Flexible)方式、TAB(Tape Automated Bonding)
方式などでもよい。後述する、タッチセンサユニット70のICの実装方式についても同
様である。
は、Siトランジスタに比べてオフ電流が低い特徴を有する。
Sトランジスタに適用される金属酸化物は、インジウム(In)および亜鉛(Zn)の少
なくとも一方を含む酸化物であることが好ましい。
In-Zn酸化物(元素Mは、例えば、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、イッ
トリウム(Y)、スズ(Sn)、ホウ素(B)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、鉄
(Fe)、ニッケル(Ni)、ゲルマニウム(Ge)、ジルコニウム(Zr)、モリブデ
ン(Mo)、ランタン(La)、セリウム(Ce)、ネオジム(Nd)、バナジウム(V
)、ベリリウム(Be)、ハフニウム(Hf)、タンタル(Ta)、またはタングステン
(W)など)が代表的である。
10-24)以上1zA/μm(z;ゼプト、10-21)以下程度に低くすることがで
きる。
e)-OSを用いることが好ましい。CAC-OSの詳細については、実施の形態6で説
明する。
スタを適用しないことができる。例えば、バンドギャップが大きい半導体を用いたトラン
ジスタを適用してもよい。バンドギャップが大きい半導体とは、バンドギャップが2.2
eV以上の半導体を指す場合がある。例えば、炭化ケイ素、窒化ガリウム、ダイヤモンド
などが挙げられる。
を書き換える必要がない場合(すなわち静止画を表示している場合)、一時的にゲートド
ライバ62、63、およびソースドライバIC64を、停止することができる(上述した
、「アイドリングストップ」または「IDS駆動」)。
図1に示す、タッチセンサユニット70は、センサアレイ71、およびタッチセンサIC
72を有する。
示装置100の使用者は、この領域に指やスタイラス等を用いて入力を行う。センサアレ
イ71は、画素アレイ61と重なる領域に配置され、表示装置100は、表示ユニット6
0の表示領域において画像の表示を行うとともに、使用者が、表示領域のどの位置を指し
示したかを情報として得ることができる。
センサユニット70が投影型静電容量方式(相互容量方式)のタッチセンサユニットであ
る例を示す。
ること、または、配線CLおよび配線MLが近接して配置されること、で形成される複数
の容量404を有する。
L(1)乃至ML(6)の6本の配線として示しているが、配線の数はこれに限定されな
い。なお、配線CLはパルス電圧が与えられる配線であり、配線MLは電流の変化を検知
する配線である。
量404の容量値が変化し、タッチセンサユニット70はタッチを検出する。
に接続されている。タッチセンサIC72は、駆動回路402と検出回路403を有する
。
路402は、信号Txを出力する機能を有する。駆動回路402としては、例えばシフト
レジスタ回路とバッファ回路を組み合わせた構成を用いることができる。
路403は、信号Rxを検出し、タッチセンサユニット70でタッチが行われたことを検
出する。例えば、検出回路403として、増幅回路と、アナログデジタル変換回路(AD
C:Analog-Digital Converter)を有する構成を用いることが
できる。検出回路403は、センサアレイ71から出力されるアナログ信号を、デジタル
信号に変換して、アプリケーションプロセッサ80に出力する機能を有する。
明する。
アプリケーションプロセッサ80は、ソースドライバIC64、およびタッチセンサIC
72に、電気的に接続されている。
ドライバIC64に供給する機能を有する。また、アプリケーションプロセッサ80は、
表示ユニット60に現在表示している画像データと、次に表示する画像データの変化量を
計算する機能を有する。
イミング、およびタッチセンサユニット70が検出動作を行うタイミングを指示する機能
を有する。表示ユニット60が表示画像を書き換えるタイミングは、アプリケーションプ
ロセッサ80からソースドライバIC64に伝えられ、ソースドライバIC64は、ゲー
トドライバ62、63の動作を制御する機能を有する。タッチセンサユニット70が検出
動作を行うタイミングは、アプリケーションプロセッサ80からタッチセンサIC72に
伝えられる。
は、ソースドライバIC64を経由しなくてもよい。その場合のブロック図を図3に示す
。
して、ソースドライバIC64a乃至ソースドライバIC64d、ゲートドライバ62お
よびゲートドライバ63へ信号を供給している。なお、タイミングコントローラ810は
、アプリケーションプロセッサ80に含まれてもよい。
アレイ61の画素数に応じて設ければよい。
など、画素アレイ61の画素数が大きくなるほど好ましい。ソースドライバICの数を複
数にし、且つ、ゲートドライバを制御する機能をソースドライバICの外に設けられた回
路が有することで、ソースドライバICは端子の数を少なくすることができる。ソースド
ライバICの端子の数が多いと、ソースドライバICを基板に圧着する際に、ソースドラ
イバICに加える力が大きくなり、ソースドライバICが破損してしまうという問題があ
る。そのため、図3に示す構成にすることで、ソースドライバICの破損を防ぐことがで
きる。
図4は、表示ユニット60の構成例を示すブロック図である。
(1)乃至ソース線SL(m)と、ゲート線GL(1)乃至ゲート線GL(n)を有する
。ここで、mおよびnは1以上の整数であり、iは1以上m以下の整数であり、jは1以
上n以下の整数である。なお、図4において、電源線や容量を形成するための定電位線等
は省略している。
アレイ61と電気的に接続され、ソースドライバIC64は、ソース線SL(1)乃至ソ
ース線SL(m)を介して画素アレイ61と電気的に接続される。
)は、ソース線SL(i)と電気的に接続され、矢印R1で示す方向に配設される一群の
画素10(1,j)乃至画素10(m,j)は、ゲート線GL(j)と電気的に接続され
る。
素10(m,j)を選択する。ソースドライバIC64は、ソース線SL(1)乃至ソー
ス線SL(m)を介して、アプリケーションプロセッサ80から供給された画像データの
データ信号を、画素10(1,j)乃至画素10(m,j)に供給する。この動作を、ゲ
ート線GL(1)からゲート線GL(n)まで繰り返すことで、表示ユニット60は、画
素アレイ61に画像を表示することができる。
cence)、QLED(Quantum-dot Light Emitting D
iode)等、様々な表示素子を適用することができる。また、例えば、反射型素子とし
て適用することができる液晶素子と、発光型素子として適用することができる有機EL素
子を組み合わせた、ハイブリッド型素子を画素10に適用することができる。
)と液晶を組みあわせた透過型液晶素子とを組み合わせた、ハイブリッド型素子を画素1
0に適用してもよい。
図5は、ゲートドライバ62、63に適用可能な、ゲートドライバの構成例を示す回路図
である。
て駆動する機能を有する。すなわち、ゲートドライバ62、63は、画素アレイ61を複
数の画素群に分割して駆動する機能を有する。ゲートドライバ62、63は、第1乃至第
Nのシフトレジスタを有し、第K(Kは1以上N以下の整数)のシフトレジスタは、第K
の画素群を駆動する信号を生成する。ゲートドライバ62、63には、第1乃至第M(M
は1以上の整数)のクロック信号と、第1乃至第L(Lは1以上の整数)のサンプリング
信号が入力される。ゲートドライバは、第1乃至第Mのクロック信号と、第1乃至第Lの
サンプリング信号を用いて、第1乃至第Nのシフトレジスタのそれぞれに、クロック信号
とスタートパルスを供給する。
数Nがクロック信号の数Mで割り切れる場合、入力されるサンプリング信号の数LはN/
Mでよいが、シフトレジスタの数Nがクロック信号の数Mで割り切れない場合を想定し、
入力されるサンプリング信号の数LをN/M+1以下とする。この結果、ゲートドライバ
に供給される信号数を少なくすることが可能であり、該信号の供給に伴うノイズを低減で
きる。また、ゲートドライバ62、63の動作を制御するソースドライバIC64やアプ
リケーションプロセッサ80の回路規模を小さくすることができ、表示装置100のコス
トを削減することができる。
=1080とし、矢印C1で示す方向に20の領域に分割して駆動する例を説明する。ま
た、20の領域は均等であり、96×1080個の画素10を有する領域が20あるとす
る。
タ21乃至シフトレジスタ24をそれぞれ5個有する。外部から、クロック信号CLK[
1]乃至CLK[4]、リセット信号RES、サンプリング信号SMP[1]乃至SMP
[5]が入力される。また、ゲートドライバ62、63は、上述したゲート線GL(1)
乃至ゲート線GL(1920)に、それぞれ電気的に接続されている。
に接続され、ゲート線GLを駆動する。なお、図5に示す、「GL(1:96)」は、ゲ
ート線GL(1)乃至ゲート線GL(96)の意味で用いている。
CLK[4]、リセット信号RES、およびスタートパルスが入力される。ここで、スタ
ートパルスは、デマルチプレクサ20が生成する。ゲートドライバ62、63は、シフト
レジスタ21乃至シフトレジスタ24を合わせて20個有するため、デマルチプレクサ2
0は、合計で20個のスタートパルスを生成する。
サンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]が入力され、デマルチプレクサ20は、
シフトレジスタ21乃至シフトレジスタ24のそれぞれにスタートパルスを出力する。デ
マルチプレクサ20は、合計で20個のスタートパルスを生成するが、シフトレジスタ2
1乃至シフトレジスタ24にも入力されるクロック信号CLK[1]乃至CLK[4]を
利用することで、ゲートドライバ62、63に必要な信号数を少なくすることができる。
LK[1]乃至CLK[4]と、5つのサンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]
から生成する。なお、本実施の形態では、領域の数20がクロック信号CLKの数4で割
り切れる場合を示したが、割り切れない場合等、サンプリング信号SMPが追加で必要と
なる場合がある。
1の構成例を、図7はシフトレジスタ22の構成例を、図8はシフトレジスタ23の構成
例を、図9はシフトレジスタ24の構成例を、それぞれ示している。
子を示している。シフトレジスタ21は、入力端子CLK_IN[1]乃至CLK_IN
[4]、RES_IN、SP_INを有し、出力端子CLK_OUT[1]乃至CLK_
OUT[4]、RES_OUT、SR_OUT[1:96]を有する。ここで、SP_I
Nにはスタートパルスが入力され、SR_OUT[1:96]からは、96本のゲート線
GLに信号が出力される。
1は、レジスタ31を95個と、レジスタ32を有する。95個のレジスタ31とレジス
タ32は、それぞれ、CLK_IN[1]乃至CLK_IN[4]のいずれか2つ、およ
びRES_INと電気的に接続され、信号が入力される。また、95個のレジスタ31と
レジスタ32は、それぞれ、SR_OUT[1]乃至SR_OUT[96]と電気的に接
続され、信号を出力する。SR_OUT[1]に信号を出力するレジスタ31は、SP_
INと電気的に接続される。
ているが、図6に示すシフトレジスタ21とは、レジスタ31およびレジスタ32がCL
K_IN[1]乃至CLK_IN[4]のいずれか2つと電気的に接続される部分が異な
る。シフトレジスタ21乃至シフトレジスタ24において、レジスタ31およびレジスタ
32と、CLK_IN[1]乃至CLK_IN[4]との接続を変えることで、異なるス
タートパルスに対応できる。この様子は、図13乃至図16のタイミングチャートを用い
て、後述する。なお、シフトレジスタ22乃至シフトレジスタ24の説明は、シフトレジ
スタ21の説明を援用する。
力の様子を示している。デマルチプレクサ20は、入力端子SMP_IN[1]乃至SM
P_IN[5]、CLK_INを有し、出力端子SP_OUT[1]乃至SP_OUT[
5]を有する。ここで、CLK_INにはクロック信号CLK[1]乃至CLK[4]の
1つが入力され、SP_OUT[1]乃至SP_OUT[5]からは、スタートパルスが
出力される。また、SMP_IN[1]乃至SMP_IN[5]には、サンプリング信号
SMP[1]乃至SMP[5]が入力される。
クサ20は、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5を有し、SMP_IN[1]乃
至SMP_IN[5]に入力される信号に応じて、CLK_INと、SP_OUT[1]
乃至SP_OUT[5]のいずれかとが、トランジスタTr1乃至トランジスタTr5の
いずれかを介して電気的に接続される。
構成例を、図12はレジスタ32の構成例を、それぞれ示している。
いる。レジスタ31は、入力端子CLK_IN[1]、CLK_IN[2]、RES_I
N、L_IN、R_INを有し、出力端子SR_OUT[1]、SR_OUT[2]を有
する。ここで、L_INには前段のレジスタの出力またはスタートパルスが入力され、R
_INには後段のレジスタの出力が入力される(図6乃至図9、参照)。
ンジスタTr6乃至トランジスタTr16と、容量素子C3および容量素子C4を有する
。なお、VDDは高電位電源であり、VSSは低電位電源である。
Nがなく、レジスタ31におけるトランジスタTr8に相当するトランジスタを有してい
ない点以外は同様のため、レジスタ31の説明を援用する。なお、レジスタ32は、トラ
ンジスタTr17乃至トランジスタTr26と、容量素子C5および容量素子C6を有す
る。
好ましい。トランジスタTr1乃至トランジスタTr26は、図10乃至図12ではシン
グルゲートトランジスタとして図示したが、バックゲートを有するデュアルゲートトラン
ジスタでもよい。トランジスタTr1乃至トランジスタTr26がOSトランジスタであ
ることで、トランジスタのオフ電流が低くなり、ゲートドライバの消費電流を低減するこ
とができる。
図13乃至図16は、ゲートドライバ62、63に入力されるクロック信号CLK[1]
乃至CLK[4]、サンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]と、ゲート線GL(
1)乃至ゲート線GL(1920)との関係を示すタイミングチャートである。なお、実
際には、ゲート線GL(1)乃至ゲート線GL(1920)の全てではなく、ゲート線G
L(1)乃至ゲート線GL(1920)の一部についてタイミングチャートを示す。
(96)によって選択される画素10を含む領域である。同様に、第2の領域とは、ゲー
ト線GL(97)乃至ゲート線GL(192)によって選択される画素10を含む領域で
あり、第20の領域とは、ゲート線GL(1825)乃至ゲート線GL(1920)によ
って選択される画素10を含む領域である。つまり、表示領域の全領域を書き換える場合
、第1の領域乃至第20の領域の全てを書き換える必要がある。
乃至第3の領域について、それぞれの領域における5本のゲート線GLを示している。同
様に、図14は、シフトレジスタ22が駆動する第6の領域乃至第10の領域のうち、第
6の領域乃至第8の領域について、図15は、シフトレジスタ23が駆動する第11の領
域乃至第15の領域のうち、第11の領域乃至第13の領域について、図16は、シフト
レジスタ24が駆動する第16の領域乃至第20の領域のうち、第16の領域乃至第18
の領域について、それぞれの領域における5本のゲート線GLを示している。
が重ならないように入力され、サンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]は、クロ
ック信号CLK[1]と重なるタイミングで入力される(図13では、サンプリング信号
SMP[4]およびSMP[5]がHighの状態は省略されている)。クロック信号C
LK[1]と重なるタイミングで、サンプリング信号SMP[1]が入力されると、第1
の領域を駆動するシフトレジスタ21が動作を開始し、ゲート線GL(1)から順にゲー
ト線GLが選択される。同様に、クロック信号CLK[1]と重なるタイミングで、サン
プリング信号SMP[2]が入力されると、第2の領域を駆動するシフトレジスタ21が
動作を開始し、ゲート線GL(97)から順にゲート線GLが選択される。
[1]乃至SMP[5]のどのサンプリング信号が入力されるかによって、第1の領域乃
至第5の領域のうち、駆動される領域を選択することができる。
hの状態が重ならないように入力され、サンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]
は、クロック信号CLK[2]と重なるタイミングで入力される(図14では、サンプリ
ング信号SMP[4]およびSMP[5]がHighの状態は省略されている)。クロッ
ク信号CLK[2]と重なるタイミングで、サンプリング信号SMP[1]が入力される
と、第6の領域を駆動するシフトレジスタ22が動作を開始し、ゲート線GL(481)
から順にゲート線GLが選択される。クロック信号CLK[2]と重なるタイミングで、
サンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]のどのサンプリング信号が入力されるか
によって、第6の領域乃至第10の領域のうち、駆動される領域を選択することができる
。
タイミングで、サンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]のどのサンプリング信号
が入力されるかによって、第11の領域乃至第15の領域のうち、駆動される領域を選択
することができる。図16では、クロック信号CLK[4]と重なるタイミングで、サン
プリング信号SMP[1]乃至SMP[5]のどのサンプリング信号が入力されるかによ
って、第16の領域乃至第20の領域のうち、駆動される領域を選択することができる。
1]乃至SMP[5]の組み合わせによって、第1の領域乃至第20の領域のうち、どの
領域を駆動するかを選択することができる。
次に、図17は、表示ユニットとタッチセンサユニットの動作の関係を示す図である。表
示ユニット60が表示画像を書き換える動作と、タッチセンサユニット70がタッチを検
出する動作(検出動作)との関係を、図17を用いて説明する。
き換える第1のモード(以下、「通常表示」と呼ぶ)と、表示領域の一部領域を書き換え
る第2のモード(以下、「部分IDS駆動」と呼ぶ)と、表示領域の全領域を書き換えな
い第3のモード(以下、「IDS駆動」と呼ぶ)とに分けて、説明する。また、図18(
A)乃至(C)は、表示装置100を、タブレット型情報端末90に適用した例である。
図18(A)は通常表示の場合、図18(B)は部分IDS駆動の場合、図18(C)は
IDS駆動の場合をそれぞれ表している。タブレット型情報端末90は、入力領域を兼ね
る表示領域91を有する。表示領域91には、本発明の一形態である表示装置100が適
用されている。
図17(A)は、通常表示の場合を示している。通常表示は、全表示領域を使った動画表
示など、表示領域の全領域を書き換える必要がある場合に適用される。図18(A)は、
動画表示の例として、タブレット型情報端末90が、サッカーの試合を表示している例を
示している。
ニット70は検出動作を休止している。これは、ゲート線GL(1)乃至ゲート線GL(
1920)が駆動されることによるノイズ、ソース線SL(1)乃至ソース線SL(10
80)にデータ信号が供給されることによるノイズ、ゲートドライバ62およびゲートド
ライバ63が動作することによるノイズ等があり、タッチセンサユニット70が検出動作
を行うタイミングとしては好適でないためである。
ッチセンサユニット70は検出動作を行う。表示ユニット60が動作を休止している期間
は前述のノイズがなく、タッチセンサユニット70は、精度の高い検出動作を行うことが
できる。このように、表示ユニット60が行う表示画像の書き換え動作と、タッチセンサ
ユニット70が行う検出動作を合わせて1フレームとし、この動作を繰り返すことで、動
画等を表示しながら精度の高い検出動作を行うことができる。
部分IDS駆動は、表示領域の一部で動画を表示する場合など、表示領域の一部領域を書
き換える必要がある場合に適用される。
書き込み、特定の文字を強調している例である。この場合、表示画像を書き換える必要が
あるのは、図中に示されている領域A1のみである。ゲートドライバ62およびゲートド
ライバ63は、領域A1のみ、ゲート線GLを駆動すればよい。
うに、表示ユニット60は、書き換えが必要な領域のみ書き換え動作を行う。図17(B
)では、第Pの領域、第P+1の領域、第Qの領域、第Q+1の領域を書き換えている。
ここで、PとQは同じであってもよいし、フレームごとに異なる数の領域を書き換えても
よい。
サユニット70がタッチを検出する動作を行う時間を長くすることができる。このため、
1フレームにおける検出動作を複数回行うことができる。例えば、通常表示の場合、1フ
レームに1回の検出動作を、部分IDS駆動の場合、1フレームに2回とすることができ
る。このように、部分IDS駆動では滑らかな検出動作を行うことができ、手書き入力等
に好適である。また、表示画像の書き換え動作を減らすことで、表示ユニット60の消費
電力を低減することができる。
IDS駆動は、全表示領域で静止画を表示している場合など、表示領域の全領域を書き換
える必要がない場合に適用される。図18(C)は、静止画の例として、花のイラストと
その解説文(図中、点線で省略)を表示している例を示している。この場合、表示ユニッ
トとタッチセンサユニットの動作の関係は、図17(C)に示すように、表示ユニット6
0は書き換え動作を休止し、タッチセンサユニット70は検出動作を行うことができる。
書き換える必要はないが、実際には、オフ電流が低いトランジスタを用いた画素10が電
荷を保持できる時間、画素10の表示素子が液晶素子である場合の反転駆動等を考慮する
必要がある。
る。また、表示ユニット60の消費電力を低減することができるため、携帯型情報端末に
好適である。
次に、表示装置100を適用した電子機器が、アプリケーションを起動させてから、3つ
の動作モード(通常表示、部分IDS駆動、IDS駆動)を切り替える様子を、図19の
フローチャートを用いて説明する。
されると、タッチセンサユニット70は検出動作を休止(ステップS2)し、アプリケー
ションプロセッサ80は、表示領域に書き換えが必要な領域があるか判断(ステップS3
)する。表示領域に書き換えが必要な領域があるかの判断は、表示ユニット60に現在表
示している画像データと、次に表示する画像データの変化量を計算することで行う。
、書き換えに必要なクロック信号の長さや、サンプリング信号のタイミングを計算し、表
示ユニット60に入力する画像データのデータ信号を決定する(ステップS5)。クロッ
ク信号およびサンプリング信号を入力する(ステップS6)。
ート線GLを駆動し、表示ユニット60は書き換え動作を行う(ステップS7)。書き換
え動作が終わると、クロック信号を停止し、リセット信号を入力する(ステップS8)。
テップS10)、ステップS2に戻って検出動作を休止し、表示領域に書き換えが必要な
領域があるか判断(ステップS3)する。書き換えが必要な領域がない場合(ステップS
4)、再びタッチセンサユニット70は検出動作を行う(ステップS9)。
1)、ステップS9に戻ってタッチセンサユニット70は検出動作を行う。ステップS1
0でタッチの検出がなく、1フレームが経過した場合(ステップS11)は、ステップS
2に戻る。
適宜表示ユニット60とタッチセンサユニット70の動作を変えることで、精度が高く滑
らかな検出動作を行うことができる。
書き換える場合、図17(B)における1フレームの長さは、図17(A)における1フ
レームの長さより短いことになる。このことは、タッチセンサユニット70がタッチを検
出すると、すぐに表示画像が書き換わることになり、入力(タッチ)に対して反応のよい
動作(表示画像の書き換え)を行うことができる。手書き入力等に好適である。
図5に示すゲートドライバ62、63は、デコーダ25を有してもよい。図20は、デコ
ーダ25を有する場合の、ゲートドライバの構成例を示す回路図である。
ンプリング信号SMP[6]乃至SMP[8]がデコーダ25に入力される。デコーダ2
5は、サンプリング信号SMP[6]乃至SMP[8]を用いて、図5におけるサンプリ
ング信号SMP[1]乃至SMP[5]を生成することができる。デコーダ25を有する
ことで、ゲートドライバ62、63への入力信号の数を減らすことができる。
ボルであり、デコーダ25の入出力の様子を示している。デコーダ25は、入力端子SM
P_IN[6]乃至SMP_IN[8]を有し、出力端子SMP_OUT[6]乃至SM
P_OUT[10]を有する。図20では、入力端子SMP_IN[6]乃至SMP_I
N[8]にサンプリング信号SMP[6]乃至SMP[8]が入力され、出力端子SMP
_OUT[6]乃至SMP_OUT[10]からサンプリング信号SMP[1]乃至SM
P[5]に相当する信号を出力する。
ンジスタTr27乃至トランジスタTr40と、インバータ33を3個と、ドライバ34
を8個有する。VDDは高電位電源である。
的に接続され、反転信号を生成する。8個のドライバ34のうち5個は、それぞれ、SM
P_OUT[6]乃至SMP_OUT[10]と電気的に接続され、信号を出力する。な
お、トランジスタTr32、トランジスタTr38乃至トランジスタTr40、および、
出力端子SMP_OUT[6]乃至SMP_OUT[10]に接続されていないドライバ
34は、省略することができる。
接続され、出力波形を整える役割、および、トランジスタTr27乃至トランジスタTr
40で高電位電源(VDD)と電気的に接続されなかった出力端子を低電位電源(VSS
)と等しい電位とする役割を有する。
ータ33のシンボルであり、インバータ33の入出力の様子を示している。インバータ3
3は、入力端子INを有し、出力端子OUTを有する。図22(B)は、インバータ33
のシンボルに対する回路図である。インバータ33は、トランジスタTr41およびトラ
ンジスタTr42を有する。VDDは高電位電源であり、VSSは低電位電源である。
34のシンボルであり、ドライバ34の入出力の様子を示している。ドライバ34は、入
力端子INを有し、出力端子OUTを有する。図22(D)は、ドライバ34のシンボル
に対する回路図である。ドライバ34は、トランジスタTr43およびインバータ33を
2個有する。VDDは高電位電源であり、VSSは低電位電源である。
入力される信号(すなわち、サンプリング信号SMP[6]乃至SMP[8])と、デコ
ーダ25の出力端子SMP_OUT[6]乃至SMP_OUT[10]から出力される信
号との関係を示すタイミングチャートである。
に基づいて、図13乃至図16におけるサンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]
と同様の信号を出力することができる。このように、ゲートドライバ62、63は、デコ
ーダ25を有することで、入力される信号の数を少なくすることができる。
が好ましい。トランジスタTr27乃至トランジスタTr43は、図21および図22で
はシングルゲートトランジスタとして図示したが、バックゲートを有するデュアルゲート
トランジスタでもよい。トランジスタTr27乃至トランジスタTr43がOSトランジ
スタであることで、トランジスタのオフ電流が低くなり、ゲートドライバの消費電流を低
減することができる。
]と、5つのサンプリング信号SMP[1]乃至SMP[5]が入力されているが、クロ
ック信号の数を増やしてもよい。クロック信号の数を増やす場合も、互いにHighの状
態が重ならないようにする。クロック信号の数を増やすことで、サンプリング信号の数を
少なくできる場合がある。クロック信号の数と、サンプリング信号の数の双方を検討して
、ゲートドライバ62、63の構成を決めることが好ましい。
ッチセンサユニット70がタッチを検出する動作とを、異なるタイミングで行うことで精
度の高い検出動作を行うことができる。また、表示ユニット60は、書き換えが必要な領
域のみ表示画像を書き換える動作を行うことで、表示ユニット60の消費電力を低減し、
タッチセンサユニット70は滑らかな検出動作を行うことができる。表示ユニット60に
よる、書き換えが必要な領域のみ表示画像を書き換える動作は、本実施の形態で例示した
ゲートドライバ62、63を適用することで、少ない信号数で実現することができる。
本実施の形態では、上記実施の形態に記載のタッチセンサユニット70の構成例について
、図23および図24を用いて説明を行う。
説明を行う。
C)は、図23(A)の一部を説明する投影図である。
接部に生じる電界を模式的に説明する投影図である。
(g)、配線ML(h)および導電膜を備える(図23(A)参照)。なお、g及びhは
2以上の整数である。
3(A)参照)。これにより、同一の電位または異なる電位を、複数の領域のそれぞれに
供給することができる。
とができる導電膜と、に分割された導電膜をセンサアレイ71に用いることができる。ま
た、複数の領域に分割された導電膜のそれぞれに、例えば、櫛歯状の形状を備える導電膜
を用いることができる(図24、電極CE(1)、電極ME(1)および電極ME(2)
参照)。これにより、分割された導電膜を検知素子の電極に用いることができる。
できる導電膜と、配線ML(2)に用いることができる導電膜と、に分割された導電膜は
、隣接部X0において互いに隣接する(図23(A)、図23(C)、または図24参照
)。
る(図23(A)参照)。
れる機能を備える。
,h)は、配線CL(g)と重なる領域を備える。
電膜BR(g,h)の間に挟まれる領域を備える。これにより、配線ML(h)および導
電膜BR(g,h)の短絡を防止することができる。
1)に電気的に接続される(図24参照)。
線ML(h)に電気的に接続される。
の変化を読み取ることで、タッチを検出する(図24参照)。
る容量値の変化を読み取ることで、タッチを検出する。
いることができる。同一の工程で形成することができる導電膜を、配線ML(1)および
電極ME(1)に用いることができる(図24参照)。
g)に用いることができる。同一の工程で形成することができる導電膜を、配線ML(h
)および電極ME(h)に用いることができる。
できる。または、画素と重なる領域に開口部や櫛歯状の形状を備える導電膜を、電極CE
(g)および電極ME(h)に用いることができる。これにより、表示パネルの表示を遮
ることなく、表示パネルと重なる領域に近接するものを検知することができる。
。
本実施の形態では、上記実施の形態に記載のソースドライバIC64の構成例について、
図25を用いて説明を行う。
である。図25(A)および図25(B)に示すソースドライバIC64は、反射型素子
と発光素子を有するハイブリッド型素子を画素10に用いた場合のブロック図である。
フレームメモリ803と、フレームメモリ804と、ゲートドライバ信号生成回路806
と、ゲートドライバ信号生成回路807と、を有する。
バIC64に含まれる各種回路へ信号を供給する機能を有する。なお、制御回路801が
、アプリケーションプロセッサ80から受け取る信号のインターフェース規格として、M
IPI(Mobile Industry Processor Interface)
、SPI(Serial Peripheral Interface)などが挙げられ
る。
ゲートドライバ信号生成回路807はゲートドライバ63へ信号を供給する機能を有する
。
画素10が有する反射型素子を駆動するための信号を生成する機能を有し、ゲートドライ
バ信号生成回路806またはゲートドライバ信号生成回路807の他方は、画素10が有
する発光素子を駆動するための信号を生成する機能を有する。
もよい。その場合のブロック図を図25(B)に示す。
す駆動回路402と検出回路403を加えている。このようにタッチセンサIC72をソ
ースドライバIC64に含めることで、表示装置の製造コストを低減することができる。
に離れた位置に配置されることが好ましい。駆動回路402が検出回路403の近くに配
置されると、駆動回路402から発生するノイズによって、検出回路403の検出感度が
低下し、タッチ検出が困難になる場合がある。そのため、駆動回路402と検出回路40
3は、ゲートドライバ信号生成回路806、ゲートドライバ信号生成回路807およびド
ライバ802等の回路を間に介して、配置されることが好ましい。
すると仮定する。すなわち、ゲートドライバ信号生成回路806は液晶素子を駆動するた
めの信号を生成し、ゲートドライバ信号生成回路807は発光素子を駆動するための信号
を生成すると仮定する。このとき、駆動回路402はゲートドライバ信号生成回路806
の近くに配置し、検出回路403はゲートドライバ信号生成回路807の近くに配置する
ことが好ましい。
イバ信号生成回路807が出力する電圧の振幅は、ゲートドライバ信号生成回路806が
出力する電圧の振幅よりも低い。ゲートドライバ信号生成回路807から発生するノイズ
は、ゲートドライバ信号生成回路806から発生するノイズよりも小さいと言える。その
ため、検出回路403は、ゲートドライバ信号生成回路806よりも、ゲートドライバ信
号生成回路807の近くに配置することが好ましい。
。
本実施の形態は、ハイブリッド型素子を有する表示装置100の一形態について、図面を
用いて説明する。
図26(A)は、表示装置100の斜視概略図である。表示装置100は、基板351と
基板361とが貼り合わされた構成を有する。図26(A)では、基板361を破線で明
示している。
6(A)では表示装置100にソースドライバIC64及びFPC372が実装されてい
る例を示している。
回路領域234に含まれる回路としては、例えば、ゲートドライバ等がある。
能を有する。当該信号及び電力は、FPC372を介して外部から、またはソースドライ
バIC64から配線365に入力される。
ている例を示す。ソースドライバIC64は、実施の形態1に示すソースドライバIC6
4に相当する。例えば走査線駆動回路または信号線駆動回路などを有するICを適用でき
る。なお、ソースドライバIC64は、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
複数の画素10がマトリクス状に配置されている。画素10は、表示素子として発光素子
170および液晶素子180を有する。また、画素10は、表示素子を駆動するための画
素回路236を有する。
液晶素子180は、画素回路236を介して互いに重なる。画素回路236は、発光素子
170を駆動するための第1回路と、液晶素子180を駆動するための第2回路と、を有
する。
して外部に射出される。また、外部から入射した光238は液晶素子180および画素回
路236を通過して発光素子170の電極で反射され、再び画素回路236および液晶素
子180を通過して、反射光として外部に射出される。
6は、トランジスタ271、容量素子272、トランジスタ281、容量素子282、お
よびトランジスタ283などの素子を有する。また、画素回路236は、走査線273の
一部、信号線274の一部、共通電位線275の一部、走査線284の一部、信号線28
5の一部、および電源線286の一部を含む。
を2回透過する。このため、画素回路236は、透光性を有する材料を含むことが好まし
い。
ランジスタ283の少なくとも一は、透光性を有する導電性材料で形成することが好まし
い。また、画素回路236内でこれらに接続する電極を、透光性を有する材料で形成する
ことが好ましい。
ンジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物などを
用いればよい。特に、エネルギーバンドギャップが2.5eV以上の導電性材料は、可視
光の透過率が高いため好ましい。
料と比較して抵抗率が大きい。よって、走査線273、信号線274、走査線284、信
号線285、および電源線286などのバスラインは、信号遅延を防ぐため、抵抗率が小
さい遮光性を有する導電性材料(金属材料)を用いて形成することが好ましい。ただし、
表示領域235の大きさや、バスラインの幅、バスラインの厚さなどによっては、バスラ
インに透光性を有する導電性材料を用いる場合もある。
られ、共通電位線275に大きな電流は流れない。よって、共通電位線275は、抵抗率
が大きい透光性を有する導電性材料で形成することができる。ただし、表示素子の駆動方
法として、共通電位線275の電位を変動させる方法を用いる場合は、共通電位線275
に抵抗率が小さい遮光性を有する金属材料を用いることが好ましい。
。光237および光238は、透過領域291を通過して射出される。よって、平面図に
おいて、画素10の占有面積に対する透過領域291の割合(「開口率」ともいう)が大
きいほど、光237および光238の取り出し効率を高めることができる。すなわち、表
示装置100の消費電力を低減できる。また、表示装置100の視認性を高めることがで
きる。また、表示装置100の表示品位を高めることができる。
る材料で形成することにより、開口率を60%以上さらには80%以上にすることができ
る。また、発光素子170と液晶素子180を重ねて設けることができるため、発光素子
170の発光面積と液晶素子180の反射面積の合計を、画素10の面積以上にすること
ができる。言い換えると、画素10の占有面積を100%とした時に、発光面積と反射面
積の合計面積を100%以上にすることができる。すなわち、開口率を100%以上にす
ることができる、とも言える。
積を広くすることにより、単位面積当たりの発光輝度を下げることができる。よって、発
光素子170の劣化が低減され、表示装置100の信頼性を高めることができる。
g Diode)、QLED、半導体レーザーなどの自発光性の発光素子を用いることが
好ましい。また、発光素子170として、光源(例えばLED)と液晶を組みあわせた透
過型液晶素子を用いてもよい。なお、本実施の形態において、発光素子170は有機EL
素子として説明を行う。
図28に、図26(A)で示した表示装置100の、FPC372を含む領域の一部、周
辺回路領域234を含む領域の一部、および表示領域235を含む領域の一部をそれぞれ
切断したときの断面の一例を示す。
トランジスタ203、トランジスタ205、トランジスタ206、容量素子202、液晶
素子180、発光素子170、絶縁層220、着色層131等を有する。基板361と絶
縁層220は接着層141を介して接着されている。基板351と絶縁層220は接着層
142を介して接着されている。
通電極として機能する電極113、配向膜133b、絶縁層117等が設けられている。
絶縁層121は、平坦化層としての機能を有していてもよい。絶縁層121により、電極
113の表面を概略平坦にできるため、液晶112の配向状態を均一にできる。絶縁層1
17は、液晶素子180のセルギャップを保持するためのスペーサとして機能する。絶縁
層117が可視光を透過する場合は、絶縁層117を液晶素子180の表示領域と重ねて
配置してもよい。
る。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層
(「Anti Reflection層」または「AR層」ともいう)、防眩層(「An
ti Glare層」または「AG層」ともいう)および集光フィルム等が挙げられる。
また、光学部材以外の機能性部材としては、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付
着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜などが挙げら
れる。機能性部材135として、上記部材を組み合わせて用いてもよい。例えば、直線偏
光板と位相差板を組み合わせた円偏光板を用いてもよい。
。機能性部材135としてAR層を用いる場合、AR層は、基板361の屈折率と異なる
屈折率を有する材料で形成される。AR層は、例えば、酸化ジルコニウム、フッ化マグネ
シウム、酸化アルミニウム、酸化シリコンなどの材料を用いて形成することができる。
を設けてもよい。AG層は、入射した外光を拡散させることにより、正反射(鏡面反射)
を低減する機能を有する。
する方法、または、双方を組み合わせる方法などが知られている。例えば、透光性を有す
る樹脂に、セルロース繊維などのナノファイバ、酸化シリコンなどの無機ビーズ、または
樹脂ビーズなどを混合して、AG層を形成することができる。
外光の反射や映り込みを防ぐ機能をより高めることができる。AR層、および/またはA
G層などを用いることにより、表示装置の表面の外光反射率を1%未満、好ましくは0.
3%未満とするとよい。
用いる反射型の液晶素子である。また、液晶素子180は、電極311、液晶112、電
極113が積層された積層構造を有する。電極311および電極113は可視光を透過す
る。液晶112と電極311の間に配向膜133aが設けられている。液晶112と電極
113の間に配向膜133bが設けられている。
180専用の反射電極を削減できる。よって、表示装置の作製費用が低減される。また、
表示装置の生産性を高めることができる。
た光は、機能性部材135(円偏光板)により偏光され、電極113、液晶112、電極
311を透過し、導電層193で反射する。そして電極311、液晶112、電極113
を再度透過して、機能性部材135(円偏光板)に達する。このとき、電極311と電極
113の間に与える電圧によって液晶の配向を制御し、光の光学変調を制御することがで
きる。すなわち、機能性部材135(円偏光板)を介して射出される光の強度を制御する
ことができる。また光は着色層131によって特定の波長域以外の光が吸収されることに
より、取り出される光は、例えば赤色を呈する光となる。
有する導電層222bと電気的に接続されている。トランジスタ206は、液晶素子18
0の駆動を制御する機能を有する。
2において、電極311と同一の導電膜を加工して得られた導電層と、電極113の一部
が、接続体243により電気的に接続されている。したがって、基板361側に形成され
た電極113に、FPC372から入力される信号または電位を、接続部252を介して
供給することができる。
は、有機樹脂またはシリカなどの粒子の表面を金属材料で被覆したものを用いることがで
きる。金属材料としてニッケルや金を用いると接触抵抗を低減できるため好ましい。また
ニッケルをさらに金で被覆するなど、2種類以上の金属材料を層状に被覆させた粒子を用
いることが好ましい。また接続体243として、弾性変形、または塑性変形する材料を用
いることが好ましい。このとき導電性の粒子である接続体243は、図28に示すように
上下方向に潰れた形状となる場合がある。こうすることで、接続体243と、これと電気
的に接続する導電層との接触面積が増大し、接触抵抗を低減できるほか、接続不良などの
不具合の発生を抑制することができる。
前の接着層141に接続体243を分散させておけばよい。
220側から導電層191、EL層192、および導電層193の順に積層された積層構
造を有する。導電層191は、絶縁層214に設けられた開口を介して、トランジスタ2
05が有する導電層222bと接続されている。トランジスタ205は、発光素子170
の駆動を制御する機能を有する。絶縁層216が導電層191の端部を覆っている。導電
層193は可視光を反射する機能を有し、導電層191は可視光を透過する機能を有する
。導電層193を覆って絶縁層194が設けられている。発光素子170が発する光は、
絶縁層220、電極311、着色層131等を介して、基板361側に射出される。
アン、マゼンタ、または黄などに変化させることができる。また、液晶素子180によっ
て制御される反射光は着色層131を構成する材料によって白、赤、緑、青、シアン、マ
ゼンタまたは黄などに変化させることができる。発光素子170および液晶素子180は
、画素によって制御する光の色を変えることによってカラー表示を実現することができる
。
てもよい。
合わせる着色層の色は、赤、緑、青の組み合わせだけでなく、黄、シアン、マゼンタの組
み合わせであってもよい。組み合わせる着色層の色は、目的または用途などに応じて適宜
設定すればよい。
および容量素子202は、いずれも絶縁層220の基板351側の面上に形成されている
。図28では、トランジスタ201、トランジスタ203、トランジスタ205、および
トランジスタ206としてトップゲート型のトランジスタを図示している。
トランジスタ、または選択トランジスタともいう)である。トランジスタ205は、発光
素子170に流れる電流を制御するトランジスタ(駆動トランジスタともいう)である。
214等の絶縁層が設けられている。絶縁層212、および絶縁層213は、トランジス
タ201、トランジスタ203、トランジスタ205、およびトランジスタ206のゲー
ト電極等を覆って設けられる。絶縁層214は、平坦化層としての機能を有する。なお、
トランジスタを覆う絶縁層の数は限定されず、単層であっても2層以上であってもよい。
材料を用いることが好ましい。これにより、絶縁層をバリア膜として機能させることがで
きる。このような構成とすることで、トランジスタに対して外部から不純物が拡散するこ
とを効果的に抑制することが可能となり、信頼性の高い表示装置を実現できる。
層218を有する。導電層217は、導電層225と同様の材料および方法で形成できる
。導電層218は、導電層223と同様の材料および方法で形成できる。なお、導電層2
23、導電層225、および導電層222aは、透光性を有する材料で形成することが好
ましい。
る材料で形成される。前述したように、透光性を有する導電性材料は、銅やアルミニウム
などの遮光性を有する導電性材料と比較して抵抗率が大きい。よって、高速動作が求めら
れる、周辺回路領域234に含まれるトランジスタ201に用いる導電層は、抵抗率が小
さい遮光性を有する導電性材料(金属材料)を用いて形成する。
機能する導電層223、ゲート絶縁層として機能する絶縁層224、ソースおよびドレイ
ンとして機能する導電層222aおよび導電層222b、並びに、半導体層231を有す
る。ここでは、同一の導電膜を加工して得られる複数の層に、同じハッチングパターンを
付している。また、トランジスタ205はゲートとして機能できる導電層225を有する
。
る絶縁層、ソースおよびドレインとして機能する導電層、および、半導体層を有する。ま
た、トランジスタ201はゲートとして機能できる導電層221aを有する。導電層22
1aと導電層221bは、同一の導電膜を加工して得ることができる。
つのゲートで挟持する構成が適用されている。このような構成とすることで、トランジス
タの閾値電圧を制御することができる。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供
給することによりトランジスタを駆動してもよい。このようなトランジスタは他のトラン
ジスタと比較して電界効果移動度を高めることが可能であり、オン電流を増大させること
ができる。その結果、高速駆動が可能な回路を作製することができる。さらには、回路部
の占有面積を縮小することが可能となる。オン電流の大きなトランジスタを適用すること
で、表示装置を大型化、または高精細化したときに配線数が増大したとしても、各配線に
おける信号遅延を低減することが可能であり、表示ムラを抑制することができる。
のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御することができる。
ジスタと、表示領域235が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構
造であってもよい。周辺回路領域234が有する複数のトランジスタは、全て同じ構造で
あってもよく、2種類以上の構造が組み合わせて用いられていてもよい。同様に、表示領
域235が有する複数のトランジスタは、全て同じ構造であってもよく、2種類以上の構
造が組み合わせて用いられていてもよい。
を、酸素を含む雰囲気下で成膜することで、ゲート絶縁層に酸素を供給することができる
。成膜ガス中の酸素ガスの割合を90%以上100%以下の範囲とすることが好ましい。
ゲート絶縁層に供給された酸素は、後の熱処理により半導体層に供給され、半導体層中の
酸素欠損の低減を図ることができる。
204では、配線365が接続層242を介してFPC372と電気的に接続されている
。接続部204は接続部207と同様の構成を有している。接続部204の上面は、電極
311と同一の導電膜を加工して得られた導電層が露出している。これにより、接続部2
04とFPC372とを接続層242を介して電気的に接続することができる。
t)モードが適用された液晶素子を用いることができる。垂直配向モードとしては、MV
A(Multi-Domain Vertical Alignment)モード、PV
A(Patterned Vertical Alignment)モード、ASV(A
dvanced Super View)モードなどを用いることができる。
VAモードのほかに、TN(Twisted Nematic)モード、IPS(In-
Plane-Switching)モード、VA-IPSモード、FFS(Fringe
Field Switching)モード、ASM(Axially Symmetr
ic aligned Micro-cell)モード、OCB(Optically
Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroe
lectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerr
oelectric Liquid Crystal)モード、ゲスト-ホストモード等
が適用された液晶素子を用いることができる。
。液晶の光学的変調作用は、液晶にかかる電界(横方向の電界、縦方向の電界または斜め
方向の電界を含む)によって制御される。液晶素子に用いる液晶としては、サーモトロピ
ック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶(PDLC:Polymer D
ispersed Liquid Crystal)、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等
を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチ
ック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
るモードや設計に応じて最適な液晶材料を用いればよい。
場合、配向膜を用いないブルー相を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つで
あり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直
前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善
するために数重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶に用いる。ブルー相
を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が短く、光学的等方性である。
また、ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、配向処理が不要であり、
視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるた
め、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の
液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。
光拡散層や偏光板などの機能性部材を省略することができる。よって、表示装置の生産性
を高めることができる。また、偏光板などの機能性部材を設けないことにより、液晶素子
180の反射輝度を高めることができる。よって、表示装置の視認性を高めることができ
る。
と暗状態の切り替え)は、液晶分子の長軸を基板と略垂直な方向にそろえるか、基板と略
水平な方向にそろえるか、によって行なわれる。一般に、IPSモードなどの横電界方式
で動作する液晶素子は、オン状態およびオフ状態ともに液晶分子の長軸が基板と略水平な
方向にそろうため、反射型の液晶表示装置に用いることが難しい。
状態の切り替えを、液晶分子の長軸を基板と略垂直な方向にそろえるか、基板と略水平な
方向にそろえるか、によって行なわれる。このため、反射型の液晶表示装置に横電界方式
で動作する液晶素子を用いる場合は、VA-IPSモードで動作する液晶素子を用いるこ
とが好ましい。
は、エッジライト型のフロントライトを用いることが好ましい。LED(Light E
mitting Diode)を備えるフロントライトを用いると、消費電力を低減でき
るため好ましい。
、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド
樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EV
A(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が
低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用
いてもよい。
ductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic
Conductive Paste)などを用いることができる。
ン型などがある。光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、
光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。発光
素子170は、ボトムエミッション型の発光素子ということができる。
孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質
、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い
物質)等を含む層をさらに有していてもよい。
アン、マゼンタ、または黄などに変化させることができる。
せて行う方法と、副画素毎に発光色の異なる発光素子170を設ける方法がある。前者の
方法は後者の方法よりも生産性が高い。すなわち、後者の方法では副画素毎にEL層19
2を作り分ける必要があるため、前者の方法よりも生産性が劣る。ただし、後者の方法で
は、前者の方法よりも色純度の高い発光色を得ることができる。後者の方法に加えて、発
光素子170にマイクロキャビティ構造を付与することにより色純度をさらに高めること
ができる。
機化合物を含んでいてもよい。EL層192を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸
着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することがで
きる。
を発光層に用いることで、発光材料として機能させることもできる。
を設けない。このため、発光素子170と液晶素子180の厚さ方向の距離を30μm未
満、好ましくは10μm未満、さらに好ましくは5μm未満とすることができる。これに
より、発光素子170および液晶素子180を同時にまたは交互に用いる表示において、
両者の間に生じる視差を少なくすることができる。または、表示装置100の重量を軽く
することができる。または、表示装置100の厚さを薄くすることができる。または、表
示装置100を曲げやすくすることができる。
基板351および基板361に用いる材料に大きな制限はない。目的に応じて、透光性の
有無や加熱処理に耐えうる程度の耐熱性などを勘案して決定すればよい。例えばバリウム
ホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、セラミック基板、石英
基板、サファイア基板などを用いることができる。また、半導体基板、可撓性基板(フレ
キシブル基板)、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどを用いてもよい。
基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、
酸化亜鉛、もしくは酸化ガリウムを材料とした化合物半導体基板などがある。また、半導
体基板は、単結晶半導体であってもよいし、多結晶半導体であってもよい。
板(フレキシブル基板)、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどを用いてもよい。
レンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル
樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリ
レート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポ
リアミド樹脂(ナイロン、アラミド等)、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、
ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポ
リ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)
樹脂、ABS樹脂、セルロースナノファイバーなどを用いることができる。
、基板として上記材料を用いることにより、衝撃に強い表示装置を提供することができる
。また、基板として上記材料を用いることにより、破損しにくい表示装置を提供すること
ができる。
が抑制されて好ましい。基板351および基板361に用いる可撓性基板は、例えば、線
膨張率が1×10-3/K以下、5×10-5/K以下、または1×10-5/K以下で
ある材質を用いればよい。特に、アラミドは、線膨張率が低いため、可撓性基板として好
適である。
トランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、表示装置を構成する各種配線およ
び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム
、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタン
グステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を
含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。
ジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグ
ラフェンを用いることができる。または、透光性を有する導電性材料としては、酸化物導
電体を適用することもできる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タング
ステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、またはチタンなどの金属
材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物
(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれら
の窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすればよい。また、上記材料の
積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウ
ムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これ
らは、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層や、表示素子が有する導電層
(画素電極や共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
Oxide Conductor)と呼称してもよい。酸化物導電体としては、例えば、
金属酸化物に酸素欠損を形成し、該酸素欠損に水素を添加すると、伝導帯近傍にドナー準
位が形成される。この結果、金属酸化物は、導電性が高くなり導電体化する。導電体化さ
れた金属酸化物を、酸化物導電体ということができる。一般に、酸化物半導体は、エネル
ギーギャップが大きいため、可視光に対して透光性を有する。一方、酸化物導電体は、伝
導帯近傍にドナー準位を有する金属酸化物である。したがって、酸化物導電体は、ドナー
準位による吸収の影響は小さく、可視光に対して酸化物半導体と同程度の透光性を有する
。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹
脂材料、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アル
ミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
着色層に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、顔料または染料が含ま
れた樹脂材料などが挙げられる。
遮光層として用いることのできる材料としては、カーボンブラック、チタンブラック、金
属、金属酸化物、複数の金属酸化物の固溶体を含む複合酸化物等が挙げられる。遮光層は
、樹脂材料を含む膜であってもよいし、金属などの無機材料の薄膜であってもよい。また
、遮光層に、着色層の材料を含む膜の積層膜を用いることもできる。例えば、ある色の光
を透過する着色層に用いる材料を含む膜と、他の色の光を透過する着色層に用いる材料を
含む膜との積層構造を用いることができる。着色層と遮光層の材料を共通化することで、
装置を共通化できるほか工程を簡略化できるため好ましい。
表示装置100の変形例である表示装置100Aの断面を図29に示す。表示装置100
Aは、着色層131を有していない点で、表示装置100と異なる。その他の構成につい
ては、表示装置100と同様のため、詳細な説明を省略する。
ないため、表示装置100Aは、液晶素子180を用いて、白黒またはグレイスケールで
の表示を行うことができる。
表示装置100の変形例である表示装置100Bの断面を図30に示す。表示装置100
Bは、基板361と着色層131の間にタッチセンサ370を有する。本実施の形態では
、タッチセンサ370は導電層374、絶縁層375、導電層376a、導電層376b
、導電層377、および絶縁層378を有する。
形成することが好ましい。ただし、一般に、透光性を有する導電性材料は、透光性を有さ
ない金属材料よりも抵抗率が高い。よって、タッチセンサの大型化、高精細化を実現する
ため、導電層376a、導電層376b、および導電層377を抵抗率が低い金属材料で
形成する場合がある。
、外光反射を低減することが好ましい。一般的に金属材料は反射率が大きい材料であるが
、酸化処理などを施すことにより反射率を小さくして、暗色にすることができる。
い層(「暗色層」ともいう)の積層としてもよい。暗色層は抵抗率が高いため、金属層と
暗色層の積層とすることが好ましい。暗色層の一例としては、酸化銅を含む層、塩化銅ま
たは塩化テルルを含む層などがある。また、暗色層を、Ag粒子、Agファイバー、Cu
粒子等の金属微粒子、カーボンナノチューブ(CNT)、またはグラフェン等のナノ炭素
粒子、ならびに、PEDOT、ポリアニリン、またはポリピロールなどの導電性高分子な
どを用いて形成してもよい。
、光電変換素子を用いた光学式のタッチセンサなどを用いてもよい。静電容量方式として
は、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。投影型静電容量方式としては、
主に駆動方式の違いから、自己容量方式、相互容量方式などがある。相互容量方式を用い
ると同時多点検出が可能となるため好ましい。
の基板361と重ねてタッチセンサを設けてもよい。例えば、シート状のタッチセンサ1
76を表示領域235に重ねて設けてもよい。
本発明の一態様において、表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例
えば、プレーナ型のトランジスタとしてもよいし、スタガ型のトランジスタとしてもよい
し、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート構造またはボトムゲー
ト構造のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルの上下にゲート電極
が設けられていてもよい。
トランジスタの半導体層に用いる半導体材料の結晶性について大きな制限はない。非晶質
半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一
部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。なお、結晶性を有する半導体を
用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
ニウム等を用いることができる。また、炭化シリコン、ガリウム砒素、窒化物半導体など
の化合物半導体や、有機半導体などを用いることができる。
非晶質シリコン(アモルファスシリコン)などを用いることができる。
。OSトランジスタを用いると、トランジスタのオフ状態におけるソースとドレインの間
に流れる電流を低減できるため好ましい。
図31は、画素10の回路構成例を示す図である。図31では、隣接する2つの画素10
を示している。
ジスタM、容量素子C9、および発光素子170等を有する。また、画素10には、配線
G1、配線G2、配線ANO、配線CSCOM、配線S1、および配線S2が電気的に接
続されている。また、図31では、液晶素子180と電気的に接続する配線VCOM1、
および発光素子170と電気的に接続する配線VCOM2を示している。
示している。なお、スイッチSW1はトランジスタ271に相当する。スイッチSW2は
トランジスタ281に相当する。トランジスタMはトランジスタ283に相当する。容量
素子C8は、容量素子272に相当する。容量素子C9は、容量素子282に相当する(
図31および図27(A)参照)。
1と接続され、ソースまたはドレインの他方が容量素子C8の一方の電極、および液晶素
子180の一方の電極と接続されている。容量素子C8は、他方の電極が配線CSCOM
と接続されている。液晶素子180は、他方の電極が配線VCOM1と接続されている。
2と接続され、ソースまたはドレインの他方が、容量素子C9の一方の電極、トランジス
タMのゲートと接続されている。容量素子C9は、他方の電極がトランジスタMのソース
またはドレインの一方、および配線ANOと接続されている。トランジスタMは、ソース
またはドレインの他方が発光素子170の一方の電極と接続されている。発光素子170
は、他方の電極が配線VCOM2と接続されている。
る例を示している。これにより、トランジスタMが流すことのできる電流を増大させるこ
とができる。
ができる。配線VCOM1には、所定の電位を与えることができる。配線S1には、液晶
素子180が有する液晶の配向状態を制御する信号を与えることができる。配線CSCO
Mには、所定の電位を与えることができる。
ができる。配線VCOM2および配線ANOには、発光素子170が発光する電位差が生
じる電位をそれぞれ与えることができる。配線S2には、トランジスタMの導通状態を制
御する信号を与えることができる。
S1に与える信号により駆動し、液晶素子180による光学変調を利用して表示すること
ができる。また、発光モードで表示を行う場合には、配線G2および配線S2に与える信
号により駆動し、発光素子170を発光させて表示することができる。また両方のモード
で駆動する場合には、配線G1、配線G2、配線S1および配線S2のそれぞれに与える
信号により駆動することができる。
有する例を示したが、これに限られない。図32は、一つの画素10に一つの液晶素子1
80と4つの発光素子170(発光素子170r、発光素子170g、発光素子170b
、発光素子170w)を有する例を示している。図32に示す画素10は、図31とは異
なり、1つの画素でフルカラーの表示が可能な画素である。
、青色(B)、および白色(W)を呈する発光素子を用いることができる。また液晶素子
180として、白色を呈する反射型の液晶素子を用いることができる。これにより、反射
モードの表示を行う場合には、反射率の高い白色の表示を行うことができる。また発光モ
ードで表示を行う場合には、演色性の高い表示を低い電力で行うことができる。
表示装置100は、3つの表示モードで動作させることができる。第1の表示モード(m
ode1)は、反射型の液晶表示装置として画像を表示する表示モードである。第2の表
示モード(mode2)は、発光表示装置として画像を表示する表示モードである。第3
の表示モード(mode3)は、第1の表示モードと第2の表示モードを同時に作用させ
る表示モードである。
第1の表示モードは光源が不要であるため、極めて低消費電力な表示モードである。例え
ば、外光の照度が十分大きく、且つ外光が白色光またはその近傍の光である場合に特に有
効である。また、第1の表示モードは、照度が300lx程度より大きい環境下、例えば
日中下で使用する場合に特に有効である。ただし、目的または用途などによって、照度が
300lx程度より小さい環境下であっても、表示装置100を第1の表示モードで動作
させる場合がありうる。
である。画像の表示に反射光を用いるため、目に優しい表示を行うことができ、目が疲れ
にくいという効果を奏する。
3(A1)において、電子機器910の表示装置は第1の表示モードで動作する。電子機
器910は、例えば、スマートフォンなどの携帯情報端末である。また、電子機器910
は、本発明の一態様の表示装置100を有している。
置100が反射する反射光902を示している。
第2の表示モードは、外光の照度や色度によらず、極めて鮮やかな(コントラストが高く
、且つ色再現性の高い)表示を行うことができる表示モードである。例えば、夜間や室内
など、外光の照度が小さい場合などに有効である。第2の表示モードは、照度が5000
lx程度より小さい環境下での使用時に特に有効である。ただし、目的または用途などに
よって、照度が5000lx程度より大きい環境下であっても、表示装置100を第2の
表示モードで動作させる場合がありうる。また、外光の照度が小さい場合、明るい表示を
行うと使用者が眩しく感じてしまう場合がある。これを防ぐために、第2の表示モードで
は輝度を抑えた表示を行うことが好ましい。これにより、眩しさを抑えることに加え、消
費電力も低減することができる。第2の表示モードは、鮮やかな画像や滑らかな動画など
を表示することに適したモードである。
、同図中の電子機器920は、デジタルサイネージに用いる電子機器である。図33(B
1)において、電子機器910および電子機器920の表示装置は第2の表示モードで動
作する。また、電子機器920は、本発明の一態様の表示装置100を有している。
機器920の表示装置100から射出される発光903を示している。
第3の表示モードは、第1の表示モードによる反射光と、第2の表示モードによる発光の
両方を利用して表示を行う表示モードである。例えば、第1の表示モードの最大反射輝度
以上の光を表示装置100から射出する必要が生じた場合に、必要な光量を第2の表示モ
ードによる発光で補うことができる。また、例えば、第1の表示モードによる反射光と、
第2の表示モードによる発光を混合することにより、1つの色を表現するように駆動する
ことができる。
よりも消費電力を抑えることができる。例えば、室内照明下や、朝方や夕方の時間帯など
、外光の照度が比較的低い場合や、外光の色度が白色ではない場合などに有効である。
ある。ただし、目的または用途などによって、照度が5000lx程度より大きい環境下
であっても、表示装置100を第3の表示モードで動作させる場合がありうる。
中の電子機器930は、テレビまたはモニタとして機能できる電子機器である。また、同
図中の電子機器940は、ノート型のパーソナルコンピュータである。図33(C1)に
おいて、電子機器910、電子機器930、および電子機器940が有する表示装置は第
3の表示モードで動作する。また、電子機器930および電子機器940は、本発明の一
態様の表示装置100を有している。
器910の表示装置100に入射する入射光901、および電子機器910の表示装置1
00が反射する反射光902を示している。また、電子機器930の表示装置100から
射出される発光903、電子機器930の表示装置100に入射する入射光901、およ
び電子機器930の表示装置100が反射する反射光902を示している。電子機器94
0の表示装置100も、他の表示装置100と同様に機能することができる。
ッド表示とは、1つのパネルにおいて、反射光と、自発光とを併用して、色調または光強
度を互いに補完して、文字および/または画像を表示する方法である。または、ハイブリ
ッド表示とは、同一画素または同一副画素において複数の表示素子から、それぞれの光を
用いて、文字および/または画像を表示する方法である。ただし、ハイブリッド表示を行
っている表示装置(「ハイブリッド表示装置」または「ハイブリッドディスプレイ」とも
いう)を局所的にみると、複数の表示素子のいずれか一を用いて表示される画素または副
画素と、複数の表示素子の二以上を用いて表示される画素または副画素と、を有する場合
がある。
ハイブリッド表示という。
る。なお、複数の表示素子としては、例えば、光を反射する反射型素子と、光を射出する
自発光素子とが挙げられる。なお、反射型素子と、自発光素子とは、それぞれ独立に制御
することができる。ハイブリッドディスプレイは、表示部において、反射光および自発光
のいずれか一方または双方を用いて、文字および/または画像を表示する機能を有する。
可能である。
本実施の形態では、上記実施の形態に記載の表示装置を適用することが可能な情報処理装
置について、図37および図38を参照しながら説明する。
7(A)は情報処理装置のブロック図であり、図37(B)乃至図37(E)は情報処理
装置の構成を説明する斜視図である。また、図38(A)乃至図38(E)は情報処理装
置の構成を説明する斜視図である。
本実施の形態で説明する情報処理装置5200Bは、演算装置5210と、入出力装置5
220とを、有する(図37(A)参照)。
供給する機能を備える。
90、操作情報を供給する機能および画像情報を供給される機能を備える。また、入出力
装置5220は、検知情報を供給する機能、通信情報を供給する機能および通信情報を供
給される機能を備える。
理装置5200Bの使用者の操作に基づいて操作情報を供給する。
、音声入力装置、視線入力装置などを、入力部5240に用いることができる。
施の形態に記載の表示装置100を表示部5230に用いることができる。
いる周辺の環境を検知して、検知情報として供給する機能を備える。
部5250に用いることができる。
通信または有線通信により、他の電子機器または通信網と接続する機能を備える。具体的
には、無線構内通信、電話通信、近距離無線通信などの機能を備える。
例えば、円筒状の柱などに沿った外形を表示部5230に適用することができる(図37
(B)参照)。また、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える。また
、人の存在を検知して、表示内容を変更する機能を備える。これにより、例えば、建物の
柱に設置することができる。または、広告または案内等を表示することができる。または
、デジタルサイネージ等に用いることができる。
例えば、使用者が使用するポインタの軌跡に基づいて画像情報を生成する機能を備える(
図37(C)参照)。具体的には、対角線の長さが20インチ以上、好ましくは40イン
チ以上、より好ましくは55インチ以上の表示パネルを用いることができる。または、複
数の表示パネルを並べて1つの表示領域に用いることができる。または、複数の表示パネ
ルを並べてマルチスクリーンに用いることができる。これにより、例えば、電子黒板、電
子掲示板、電子看板等に用いることができる。
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える(図37(D)参照
)。これにより、例えば、スマートウオッチの消費電力を低減することができる。または
、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をス
マートウオッチに表示することができる。
表示部5230は、例えば、筐体の側面に沿って緩やかに曲がる曲面を備える(図37(
E)参照)。または、表示部5230は表示パネルを備え、表示パネルは、例えば、前面
、側面および上面に表示する機能を備える。これにより、例えば、携帯電話の前面だけで
なく、側面および上面に画像情報を表示することができる。
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える(図38(A)参照
)。これにより、スマートフォンの消費電力を低減することができる。または、例えば、
晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるように、画像をスマートフォ
ンに表示することができる。
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える(図38(B)参照
)。これにより、晴天の日に屋内に差し込む強い外光が当たっても好適に使用できるよう
に、映像をテレビジョンシステムに表示することができる。
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える(図38(C)参照
)。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるよ
うに、画像をタブレットコンピュータに表示することができる。
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える(図38(D)参照
)。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に閲覧できるよ
うに、被写体をデジタルカメラに表示することができる。
例えば、使用環境の照度に応じて、表示方法を変更する機能を備える(図38(E)参照
)。これにより、例えば、晴天の屋外等の外光の強い環境においても好適に使用できるよ
うに、画像をパーソナルコンピュータに表示することができる。
。
合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場
合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする
。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず
、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものと
する。
、など)であるとする。
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に接続されていない場合であ
り、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量
素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など)を介さずに
、XとYとが、接続されている場合である。
とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイ
オード、表示素子、発光素子、負荷など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが
可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイ
ッチは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか
流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選択し
て切り替える機能を有している。なお、XとYとが電気的に接続されている場合は、Xと
Yとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路など)、信号変
換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路など)、電位レベル変換回路(電
源回路(昇圧回路、降圧回路など)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など)
、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量などを大きく出来る
回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など)、信号生成
回路、記憶回路、制御回路など)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能であ
る。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号
がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。なお、XとY
とが機能的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合と、XとY
とが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
が電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟んで
接続されている場合)と、XとYとが機能的に接続されている場合(つまり、XとYとの
間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、XとYとが直接接続されている
場合(つまり、XとYとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合)と
が、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示
的に記載されている場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合
と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
さず)、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z
2を介して(又は介さず)、Yと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソース
(又は第1の端子など)が、Z1の一部と直接的に接続され、Z1の別の一部がXと直接
的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)が、Z2の一部と直接的
に接続され、Z2の別の一部がYと直接的に接続されている場合では、以下のように表現
することが出来る。
の端子など)とは、互いに電気的に接続されており、X、トランジスタのソース(又は第
1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yの順序で電気的に
接続されている」と表現することができる。または、「トランジスタのソース(又は第1
の端子など)は、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など
)はYと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(又は第1の端子など)、トラン
ジスタのドレイン(又は第2の端子など)、Yは、この順序で電気的に接続されている」
と表現することができる。または、「Xは、トランジスタのソース(又は第1の端子など
)とドレイン(又は第2の端子など)とを介して、Yと電気的に接続され、X、トランジ
スタのソース(又は第1の端子など)、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)
、Yは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様な
表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トランジ
スタのソース(又は第1の端子など)と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別し
て、技術的範囲を決定することができる。
は、少なくとも第1の接続経路を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は
、第2の接続経路を有しておらず、前記第2の接続経路は、トランジスタを介した、トラ
ンジスタのソース(又は第1の端子など)とトランジスタのドレイン(又は第2の端子な
ど)との間の経路であり、前記第1の接続経路は、Z1を介した経路であり、トランジス
タのドレイン(又は第2の端子など)は、少なくとも第3の接続経路を介して、Yと電気
的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有しておらず、前記第3の
接続経路は、Z2を介した経路である」と表現することができる。または、「トランジス
タのソース(又は第1の端子など)は、少なくとも第1の接続経路によって、Z1を介し
て、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は、第2の接続経路を有しておらず、前
記第2の接続経路は、トランジスタを介した接続経路を有し、トランジスタのドレイン(
又は第2の端子など)は、少なくとも第3の接続経路によって、Z2を介して、Yと電気
的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有していない」と表現する
ことができる。または、「トランジスタのソース(又は第1の端子など)は、少なくとも
第1の電気的パスによって、Z1を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の電気的パ
スは、第2の電気的パスを有しておらず、前記第2の電気的パスは、トランジスタのソー
ス(又は第1の端子など)からトランジスタのドレイン(又は第2の端子など)への電気
的パスであり、トランジスタのドレイン(又は第2の端子など)は、少なくとも第3の電
気的パスによって、Z2を介して、Yと電気的に接続され、前記第3の電気的パスは、第
4の電気的パスを有しておらず、前記第4の電気的パスは、トランジスタのドレイン(又
は第2の端子など)からトランジスタのソース(又は第1の端子など)への電気的パスで
ある」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成におけ
る接続経路について規定することにより、トランジスタのソース(又は第1の端子など)
と、ドレイン(又は第2の端子など)とを、区別して、技術的範囲を決定することができ
る。
、Y、Z1、Z2は、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、
層、など)であるとする。
る場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もあ
る。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び
電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電
気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場
合も、その範疇に含める。
本実施の形態では、上記実施の形態で示したOSトランジスタの構成例について説明を行
う。
まず、トランジスタの構造の一例として、トランジスタ3200aについて、図34(A
)(B)(C)を用いて説明する。図34(A)はトランジスタ3200aの上面図であ
る。図34(B)は、図34(A)に示す一点鎖線X1-X2間における切断面の断面図
に相当し、図34(C)は、図34(A)に示す一点鎖線Y1-Y2間における切断面の
断面図に相当する。なお、図34(A)において、煩雑になることを避けるため、トラン
ジスタ3200aの構成要素の一部(ゲート絶縁層としての機能を有する絶縁層等)を省
略して図示している。なお、以下において、一点鎖線X1-X2方向をチャネル長方向、
一点鎖線Y1-Y2方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。なお、トランジスタの
上面図においては、以降の図面においても図34と同様に、構成要素の一部を省略して図
示する場合がある。
導電層3221上の絶縁層3211と、絶縁層3211上の金属酸化物層3231と、金
属酸化物層3231上の導電層3222aと、金属酸化物層3231上の導電層3222
bと、金属酸化物層3231、導電層3222a、及び導電層3222b上の絶縁層32
12と、絶縁層3212上の導電層3223と、絶縁層3212及び導電層3223上の
絶縁層3213と、を有する。
は、開口部3235を介して、導電層3221と電気的に接続される。
を有し、絶縁層3212は、トランジスタ3200aの第2のゲート絶縁層としての機能
を有し、絶縁層3213は、トランジスタ3200aの保護絶縁層としての機能を有する
。また、トランジスタ3200aにおいて、導電層3221は、第1のゲートとしての機
能を有し、導電層3222aは、ソースまたはドレインの一方としての機能を有し、導電
層3222bは、ソースまたはドレインの他方としての機能を有する。また、トランジス
タ3200aにおいて、導電層3223は、第2のゲートとしての機能を有する。
ルゲート構造である。
この場合、トランジスタ3200aは、所謂チャネルエッチ型のトランジスタであり、ボ
トムゲート構造である。
層3223と対向するように位置し、2つのゲートの機能を有する導電層に挟まれている
。導電層3223のチャネル長方向の長さ、及び導電層3223のチャネル幅方向の長さ
は、金属酸化物層3231のチャネル長方向の長さ、及び金属酸化物層3231のチャネ
ル幅方向の長さよりもそれぞれ長く、金属酸化物層3231の全体は、絶縁層3212を
介して導電層3223に覆われている。
に設けられる開口部3235において接続され、且つ金属酸化物層3231の側端部より
も外側に位置する領域を有する。
1を、導電層3221及び導電層3223の電界によって電気的に囲むことができる。ト
ランジスタ3200aのように、第1のゲート及び第2のゲートの電界によって、チャネ
ル領域が形成される金属酸化物層を、電気的に囲むトランジスタのデバイス構造をSur
rounded channel(S-channel)構造と呼ぶことができる。
を有する導電層3221によってチャネルを誘起させるための電界を効果的に金属酸化物
層3231に印加することができるため、トランジスタ3200aの電流駆動能力が向上
し、高いオン電流特性を得ることが可能となる。また、オン電流を高くすることが可能で
あるため、トランジスタ3200aを微細化することが可能となる。また、トランジスタ
3200aは、金属酸化物層3231が、第1のゲートの機能を有する導電層3221及
び第2のゲートの機能を有する導電層3223によって囲まれた構造を有するため、トラ
ンジスタ3200aの機械的強度を高めることができる。
ン、ホウ素、イットリウム、スズ、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル
、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウ
ム、タンタル、タングステン、またはマグネシウム)と、Znと、を有すると好ましい。
好ましい。一例としては、金属酸化物層3231のIn、M、及びZnの原子数の比を、
In:M:Zn=4:2:3近傍とすると好ましい。ここで、近傍とは、Inが4の場合
、Mが1.5以上2.5以下であり、且つZnが2以上4以下を含む。または、金属酸化
物層3231のIn、M、及びZnの原子数の比を、In:M:Zn=5:1:6近傍と
すると好ましい。
1が、Inの原子数比がMの原子数比より多い領域を有し、且つCAC-OSであること
で、トランジスタ3200aの電界効果移動度を高くすることができる。なお、CAC-
OSの詳細については、後述する。
且つ駆動能力が高いので、トランジスタ3200aを駆動回路、代表的にはゲート信号を
生成するゲートドライバに用いることで、額縁幅の狭い(狭額縁ともいう)表示装置を提
供することができる。また、トランジスタ3200aを、表示装置が有する信号線へ信号
の供給を行うソースドライバ(とくに、ソースドライバが有するシフトレジスタの出力端
子に接続されるデマルチプレクサ)に用いることで、表示装置に接続される配線数が少な
い表示装置を提供することができる。
、低温ポリシリコンを用いたトランジスタと比較して、作製工程数が少ない。また、トラ
ンジスタ3200aは、金属酸化物層をチャネル領域に用いているため、低温ポリシリコ
ンを用いたトランジスタのように、レーザ結晶化工程が不要である。これらのため、大面
積基板を用いた表示装置であっても、製造コストを低減することが可能である。さらに、
ウルトラハイビジョン(「4K解像度」、「4K2K」、「4K」)、スーパーハイビジ
ョン(「8K解像度」、「8K4K」、「8K」)のよう高解像度であり、且つ大型の表
示装置において、トランジスタ3200aのように電界効果移動度が高いトランジスタを
駆動回路及び表示部に用いることで、短時間での書き込みが可能であり、表示不良を低減
することが可能であり好ましい。
膜であることが好ましく、化学量論的組成よりも過剰に酸素を含有する領域(過剰酸素領
域)を有することがより好ましい。別言すると、絶縁層3211及び絶縁層3212は、
酸素を放出することが可能な絶縁膜である。なお、絶縁層3211及び絶縁層3212に
過剰酸素領域を設けるには、例えば、酸素雰囲気下にて絶縁層3211及び絶縁層321
2を形成する、もしくは成膜後の絶縁層3211及び絶縁層3212を酸素雰囲気下で熱
処理すればよい。
きる。
ために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、In>Mを満たすこと
が好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:
M:Zn=2:1:3、In:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:4.1
、In:M:Zn=5:1:6、In:M:Zn=5:1:7、In:M:Zn=5:1
:8、In:M:Zn=6:1:6、In:M:Zn=5:2:5等が挙げられる。
グターゲットとしては、多結晶のIn-M-Zn酸化物を含むターゲットを用いると好ま
しい。多結晶のIn-M-Zn酸化物を含むターゲットを用いることで、結晶性を有する
金属酸化物層3231を形成しやすくなる。なお、成膜される金属酸化物層3231の原
子数比は、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイ
ナス40%の変動を含む。例えば、金属酸化物層3231に用いるスパッタリングターゲ
ットの組成がIn:Ga:Zn=4:2:4.1[原子数比]の場合、成膜される金属酸
化物層3231の組成は、In:Ga:Zn=4:2:3[原子数比]の近傍となる場合
がある。
V以上である。このように、エネルギーギャップの広い酸化物半導体を用いることで、ト
ランジスタのオフ電流を低減することができる。
ば、CAAC(C-Axis Aligned Crystalline)、多結晶構造
、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥
準位密度が高く、CAACは最も欠陥準位密度が低い。
用いることで、優れた電気特性を有するトランジスタを作製することができ好ましい。こ
こでは、不純物濃度が低く、欠陥準位密度の低い(酸素欠損の少ない)ことを高純度真性
または実質的に高純度真性とよぶ。なお、金属酸化物膜中の不純物としては、代表的には
水、水素などが挙げられる。本明細書等において、金属酸化物膜中から水及び水素を低減
または除去することを、脱水化、脱水素化と表す場合がある。また、金属酸化物膜、また
は酸化物絶縁膜中に酸素を添加することを、加酸素化と表す場合があり、加酸素化され且
つ化学量論的組成よりも過剰の酸素を有する状態を過酸素化状態と表す場合がある。
め、キャリア密度を低くすることができる。従って、該金属酸化物膜にチャネル領域が形
成されるトランジスタは、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性(ノーマリーオンとも
いう)になることが少ない。また、高純度真性または実質的に高純度真性である金属酸化
物膜は、欠陥準位密度が低いため、トラップ準位密度も低くなる場合がある。また、高純
度真性または実質的に高純度真性である金属酸化物膜は、オフ電流が著しく小さく、チャ
ネル幅が1×106μmでチャネル長Lが10μmの素子であっても、ソース電極とドレ
イン電極間の電圧(ドレイン電圧)が1Vから10Vの範囲において、オフ電流が、半導
体パラメータアナライザの測定限界以下、すなわち1×10-13A以下という特性を得
ることができる。
213は、窒素及びシリコンを有する。また、絶縁層3213は、酸素、水素、水、アル
カリ金属、アルカリ土類金属等のブロッキングできる機能を有する。絶縁層3213を設
けることで、金属酸化物層3231からの酸素の外部への拡散と、絶縁層3212に含ま
れる酸素の外部への拡散と、外部から金属酸化物層3231への水素、水等の入り込みを
防ぐことができる。
としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム
等がある。
次に、トランジスタの構造の一例として、トランジスタ3200bについて、図35(A
)(B)(C)を用いて説明する。図35(A)はトランジスタ3200bの上面図であ
る。図35(B)は、図35(A)に示す一点鎖線X1-X2間における切断面の断面図
に相当し、図35(C)は、図35(A)に示す一点鎖線Y1-Y2間における切断面の
断面図に相当する。
b、および絶縁層3212が積層構造である点において、トランジスタ3200aと異な
る。
の絶縁層3212aと、絶縁層3212aの上の絶縁層3212bを有する。絶縁層32
12は、金属酸化物層3231に酸素を供給する機能を有する。すなわち、絶縁層321
2は、酸素を有する。また、絶縁層3212aは、酸素を透過することのできる絶縁層で
ある。なお、絶縁層3212aは、後に形成する絶縁層3212bを形成する際の、金属
酸化物層3231へのダメージ緩和膜としても機能する。
0nm以下の酸化シリコン、酸化窒化シリコン等を用いることができる。
より、シリコンのダングリングボンドに由来するg=2.001に現れる信号のスピン密
度が3×1017spins/cm3以下であることが好ましい。これは、絶縁層321
2aに含まれる欠陥密度が多いと、該欠陥に酸素が結合してしまい、絶縁層3212aに
おける酸素の透過性が減少してしまう。
層3212aの外部に移動せず、絶縁層3212aにとどまる酸素もある。また、絶縁層
3212aに酸素が入ると共に、絶縁層3212aに含まれる酸素が絶縁層3212aの
外部へ移動することで、絶縁層3212aにおいて酸素の移動が生じる場合もある。絶縁
層3212aとして酸素を透過することができる酸化物絶縁層を形成すると、絶縁層32
12a上に設けられる、絶縁層3212bから脱離する酸素を、絶縁層3212aを介し
て金属酸化物層3231に移動させることができる。
形成することができる。なお、当該窒素酸化物に起因する準位密度は、金属酸化物膜の価
電子帯の上端のエネルギー(Ev_os)と金属酸化物膜の伝導帯の下端のエネルギー(
Ec_os)の間に形成され得る場合がある。上記酸化物絶縁層として、窒素酸化物の放
出量が少ない酸化窒化シリコン膜、または窒素酸化物の放出量が少ない酸化窒化アルミニ
ウム膜等を用いることができる。
:Thermal Desorption Spectroscopy)において、窒素
酸化物の放出量よりアンモニアの放出量が多い膜であり、代表的にはアンモニアの放出量
が1×1018/cm3以上5×1019/cm3以下である。なお、アンモニアの放出
量は、膜の表面温度が50℃以上650℃以下、好ましくは50℃以上550℃以下の加
熱処理による放出量とする。
はNO2またはNOは、絶縁層3212aなどに準位を形成する。当該準位は、金属酸化
物層3231のエネルギーギャップ内に位置する。そのため、窒素酸化物が、絶縁層32
12a及び金属酸化物層3231の界面に拡散すると、当該準位が絶縁層3212a側に
おいて電子をトラップする場合がある。この結果、トラップされた電子が、絶縁層321
2a及び金属酸化物層3231界面近傍に留まるため、トランジスタのしきい値電圧をプ
ラス方向にシフトさせてしまう。
aに含まれる窒素酸化物は、加熱処理において、絶縁層3212bに含まれるアンモニア
と反応するため、絶縁層3212aに含まれる窒素酸化物が低減される。このため、絶縁
層3212a及び金属酸化物層3231の界面において、電子がトラップされにくい。
圧のシフトを低減することが可能であり、トランジスタの電気特性の変動を低減すること
ができる。
cm3以下である。
D法を用いて、上記酸化物絶縁層を形成することで、緻密であり、且つ硬度の高い膜を形
成することができる。
である。上記の酸化物絶縁層は、加熱により酸素の一部が脱離する。なお、TDSにおい
て、上記の酸化物絶縁層は、酸素の放出量が1.0×1019atoms/cm3以上、
好ましくは3.0×1020atoms/cm3以上の領域を有する。また、上記の酸素
の放出量は、TDSにおける加熱処理の温度が50℃以上650℃以下、または50℃以
上550℃以下の範囲での総量である。また、上記の酸素の放出量は、TDSにおける酸
素原子に換算しての総量である。
上400nm以下の、酸化シリコン、酸化窒化シリコン等を用いることができる。
より、シリコンのダングリングボンドに由来するg=2.001に現れる信号のスピン密
度が1.5×1018spins/cm3未満、さらには1×1018spins/cm
3以下であることが好ましい。なお、絶縁層3212bは、絶縁層3212aと比較して
金属酸化物層3231から離れているため、絶縁層3212aより、欠陥密度が多くとも
よい。
2aと絶縁層3212bの界面が明確に確認できない場合がある。したがって、本実施の
形態においては、絶縁層3212aと絶縁層3212bの界面は、破線で図示している。
なお、本実施の形態においては、絶縁層3212aと絶縁層3212bの2層構造につい
て説明したが、これに限定されず、例えば、絶縁層3212aの単層構造、あるいは3層
以上の積層構造としてもよい。
化物層3231_1と、金属酸化物層3231_1上の金属酸化物層3231_2と、を
有する。なお、金属酸化物層3231_1及び金属酸化物層3231_2は、それぞれ同
じ元素を有する。例えば、金属酸化物層3231_1及び金属酸化物層3231_2は、
上述の金属酸化物層3231が有する元素を、それぞれ独立に有することが好ましい。
nの原子数比がMの原子数比より多い領域を有すると好ましい。一例としては、金属酸化
物層3231_1及び金属酸化物層3231_2のIn、M、及びZnの原子数の比を、
In:M:Zn=4:2:3近傍とすると好ましい。ここで、近傍とは、Inが4の場合
、Mが1.5以上2.5以下であり、且つZnが2以上4以下を含む。または、金属酸化
物層3231_1及び金属酸化物層3231_2のIn、M、及びZnの原子数の比を、
In:M:Zn=5:1:6近傍とすると好ましい。このように、金属酸化物層3231
_1及び金属酸化物層3231_2を概略同じ組成とすることで、同じスパッタリングタ
ーゲットを用いて形成できるため、製造コストを抑制することが可能である。また、同じ
スパッタリングターゲットを用いる場合、同一チャンバーにて真空中で連続して金属酸化
物層3231_1及び金属酸化物層3231_2を成膜することができるため、金属酸化
物層3231_1と金属酸化物層3231_2との界面に不純物が取り込まれるのを抑制
することができる。
域を有していてもよい。なお、金属酸化物層3231_1及び金属酸化物層3231_2
の結晶性としては、例えば、X線回折(XRD:X-Ray Diffraction)
を用いて分析する、あるいは、透過型電子顕微鏡(TEM:Transmission
Electron Microscope)を用いて分析することで解析できる。
層3231_1よりも結晶性の高い金属酸化物層3231_2にも過剰酸素を拡散させる
ことができる。このように、結晶構造が異なる金属酸化物層の積層構造とし、結晶性の低
い領域を過剰酸素の拡散経路とすることで、信頼性の高いトランジスタを提供することが
できる。
有することにより、金属酸化物層3231に混入しうる不純物を抑制することができる。
特に、金属酸化物層3231_2の結晶性を高めることで、導電層3222a及び導電層
3222bを加工する際のダメージを抑制することができる。金属酸化物層3231の表
面、すなわち金属酸化物層3231_2の表面は、導電層3222a及び導電層3222
bの加工の際のエッチャントまたはエッチングガスに曝される。しかしながら、金属酸化
物層3231_2は、結晶性が高い領域を有する場合、結晶性が低い金属酸化物層323
1_1と比較してエッチング耐性に優れる。したがって、金属酸化物層3231_2は、
エッチングストッパとして機能する。
を有することで、キャリア密度が高くなる場合がある。
1の伝導帯に対してフェルミ準位が相対的に高くなる場合がある。これにより、金属酸化
物層3231_1の伝導帯の下端が低くなり、金属酸化物層3231_1の伝導帯下端と
、ゲート絶縁膜(ここでは、絶縁層3211)中に形成されうるトラップ準位とのエネル
ギー差が大きくなる場合がある。該エネルギー差が大きくなることにより、ゲート絶縁膜
中にトラップされる電荷が少なくなり、トランジスタのしきい値電圧の変動を小さくでき
る場合がある。また、金属酸化物層3231_1のキャリア密度が高くなると、金属酸化
物層3231の電界効果移動度を高めることができる。
る例を示したが、これに限定されず、3層以上積層する構成にしてもよい。
3222a_1上の導電層3222a_2と、導電層3222a_2上の導電層3222
a_3と、を有する。また、トランジスタ3200bが有する導電層3222bは、導電
層3222b_1と、導電層3222b_1上の導電層3222b_2と、導電層322
2b_2上の導電層3222b_3と、を有する。
電層3222b_3としては、チタン、タングステン、タンタル、モリブデン、インジウ
ム、ガリウム、錫、及び亜鉛の中から選ばれるいずれか一つまたは複数を有すると好適で
ある。また、導電層3222a_2及び導電層3222b_2としては、銅、アルミニウ
ム、及び銀の中から選ばれるいずれか一つまたは複数を有すると好適である。
、及び導電層3222b_3にIn-Sn酸化物またはIn-Zn酸化物を用い、導電層
3222a_2及び導電層3222b_2に銅を用いることができる。
る領域を有し、導電層3222a_3は、導電層3222a_2の上面及び側面を覆い、
且つ導電層3222a_1と接する領域を有する。また、導電層3222b_1の端部は
、導電層3222b_2の端部よりも外側に位置する領域を有し、導電層3222b_3
は、導電層3222b_2の上面及び側面を覆い、且つ導電層3222b_1と接する領
域を有する。
つ金属酸化物層3231への銅の拡散を抑制できるため好適である。
次に、トランジスタの構造の一例として、トランジスタ3200cについて、図36(A
)(B)(C)を用いて説明する。図36(A)はトランジスタ3200cの上面図であ
る。図36(B)は、図36(A)に示す一点鎖線X1-X2間における切断面の断面図
に相当し、図36(C)は、図36(A)に示す一点鎖線Y1-Y2間における切断面の
断面図に相当する。
3221と、導電層3221上の絶縁層3211と、絶縁層3211上の金属酸化物層3
231と、金属酸化物層3231上の絶縁層3212と、絶縁層3212上の導電層32
23と、絶縁層3211、金属酸化物層3231、及び導電層3223上の絶縁層321
3と、を有する。なお、金属酸化物層3231は、導電層3223と重なるチャネル領域
3231iと、絶縁層3213と接するソース領域3231sと、絶縁層3213と接す
るドレイン領域3231dと、を有する。
31s及びドレイン領域3231dと、が接することで、絶縁層3213中の窒素または
水素がソース領域3231s及びドレイン領域3231d中に添加される。ソース領域3
231s及びドレイン領域3231dは、窒素または水素が添加されることで、キャリア
密度が高くなる。
3及び絶縁層3215に設けられた開口部3236aを介して、ソース領域3231sに
電気的に接続される導電層3222aと、絶縁層3213及び絶縁層3215に設けられ
た開口部3236bを介して、ドレイン領域3231dに電気的に接続される導電層32
22bと、を有していてもよい。
しては、酸化物絶縁膜と、窒化物絶縁膜との積層膜を用いることができる。絶縁層321
5として、例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウ
ム、酸化ハフニウム、酸化ガリウムまたはGa-Zn酸化物などを用いればよい。また、
絶縁層3215としては、外部からの水素、水等のバリア膜として機能する膜であること
が好ましい。
ゲート絶縁膜としての機能を有する。また、絶縁層3213及び絶縁層3215は保護絶
縁膜としての機能を有する。
ることで、金属酸化物層3231が有するチャネル領域3231i中に過剰酸素を供給す
ることができる。よって、チャネル領域3231iに形成されうる酸素欠損を過剰酸素に
より補填することができるため、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
の下方に形成される絶縁層3211に過剰酸素を供給してもよい。この場合、絶縁層32
11中に含まれる過剰酸素は、金属酸化物層3231が有するソース領域3231s、及
びドレイン領域3231dにも供給されうる。ソース領域3231s、及びドレイン領域
3231d中に過剰酸素が供給されると、ソース領域3231s、及びドレイン領域32
31dの抵抗が高くなる場合がある。
成とすることで、チャネル領域3231iにのみ選択的に過剰酸素を供給させることが可
能となる。あるいは、チャネル領域3231i、ソース領域3231s、及びドレイン領
域3231dに過剰酸素を供給させたのち、ソース領域3231s及びドレイン領域32
31dのキャリア密度を選択的に高めることで、ソース領域3231s、及びドレイン領
域3231dの抵抗が高くなることを抑制することができる。
は、それぞれ、酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素を有すると好ま
しい。当該酸素欠損を形成する元素、または酸素欠損と結合する元素としては、代表的に
は水素、ホウ素、炭素、窒素、フッ素、リン、硫黄、塩素、チタン、希ガス等が挙げられ
る。また、希ガス元素の代表例としては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、及
びキセノン等がある。上記酸素欠損を形成する元素が、絶縁層3213中に1つまたは複
数含まれる場合、絶縁層3213からソース領域3231s、及びドレイン領域3231
dに拡散する、および/または不純物添加処理によりソース領域3231s、及びドレイ
ン領域3231d中に添加される。
が切断され、酸素欠損が形成される。または、不純物元素が酸化物半導体膜に添加される
と、酸化物半導体膜中の金属元素と結合していた酸素が不純物元素と結合し、金属元素か
ら酸素が脱離され、酸素欠損が形成される。これらの結果、酸化物半導体膜においてキャ
リア密度が増加し、導電性が高くなる。
2のゲート電極としての機能を有し、導電層3222aは、ソース電極としての機能を有
し、導電層3222bは、ドレイン電極としての機能を有する。
7が設けられる。また、導電層3221は、開口部3237を介して、導電層3223と
、電気的に接続される。よって、導電層3221と導電層3223には、同じ電位が与え
られる。なお、開口部3237を設けずに、導電層3221と、導電層3223と、に異
なる電位を与えてもよい。または、開口部3237を設けずに、導電層3221を遮光膜
として用いてもよい。例えば、導電層3221を遮光性の材料により形成することで、チ
ャネル領域3231iに照射される下方からの光を抑制することができる。
して機能する導電層3221と、第2のゲート電極として機能する導電層3223のそれ
ぞれと対向するように位置し、2つのゲート電極として機能する導電膜に挟まれている。
同様にS-channel構造をとる。このような構成を有することで、トランジスタ3
200cに含まれる金属酸化物層3231を、第1のゲート電極として機能する導電層3
221及び第2のゲート電極として機能する導電層3223の電界によって電気的に取り
囲むことができる。
は導電層3223によってチャネルを誘起させるための電界を効果的に金属酸化物層32
31に印加することができるため、トランジスタ3200cの電流駆動能力が向上し、高
いオン電流特性を得ることが可能となる。また、オン電流を高くすることが可能であるた
め、トランジスタ3200cを微細化することが可能となる。また、トランジスタ320
0cは、金属酸化物層3231が、導電層3221、及び導電層3223によって取り囲
まれた構造を有するため、トランジスタ3200cの機械的強度を高めることができる。
、または導電層3223の形成方法から、TGSA(Top Gate Self Al
ign)型のFETと呼称してもよい。
層3231を2層以上積層する構成にしてもよい。
にのみ設けられているが、これに限られることなく、絶縁層3212が金属酸化物層32
31を覆う構成にすることもできる。また、導電層3221を設けない構成にすることも
できる。
可能である。
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC-OS
の構成について説明する。
下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構
成である。なお、以下では、酸化物半導体において、一つあるいはそれ以上の金属元素が
偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm
以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状
ともいう。
よび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イッ
トリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲ
ルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、
タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含
まれていてもよい。
a-Zn酸化物を、特にCAC-IGZOと呼称してもよい)とは、インジウム酸化物(
以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする)、またはインジウム亜鉛酸化物
(以下、InX2ZnY2OZ2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とす
る)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする)、ま
たはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4OZ4(X4、Y4、およびZ4は0
よりも大きい実数)とする)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイ
ク状のInOX1、またはInX2ZnY2OZ2が、膜中に均一に分布した構成(以下
、クラウド状ともいう)である。
またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合酸化物半導体
である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比
が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第
2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
合がある。代表例として、InGaO3(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(
1+x0)Ga(1-x0)O3(ZnO)m0(-1≦x0≦1、m0は任意数)で表
される結晶性の化合物が挙げられる。
igned Crystalline、または、C-Axis Aligned and
A-B-plane Anchored Crystalline)構造を有する。な
お、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa-b面にお
いては配向せずに連結した結晶構造である。
a、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観
察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれ
モザイク状にランダムに分散している構成をいう。従って、CAC-OSにおいて、結晶
構造は副次的な要素である。
例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含ま
ない。
主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン
、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネ
シウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC-OSは、一部
に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とする
ナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成を
いう。
することができる。また、CAC-OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスと
して、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、及び窒素ガスの中から選ばれたい
ずれか一つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガ
スの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好まし
くは0%以上10%以下とすることが好ましい。
とつであるOut-of-plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに
、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域
のa-b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リン
グ領域に複数の輝点が観測される。従って、電子線回折パターンから、CAC-OSの結
晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano-cr
ystal)構造を有することがわかる。
分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectros
copy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と
、InX2ZnY2OZ2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合し
ている構造を有することが確認できる。
ZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC-OSは、GaOX3などが主成分で
ある領域と、InX2ZnY2OZ2、またはInOX1が主成分である領域と、に互い
に相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY
2OZ2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、酸化
物半導体としての導電性が発現する。従って、InX2ZnY2OZ2、またはInOX
1が主成分である領域が、酸化物半導体中にクラウド状に分布することで、高い電界効果
移動度(μ)が実現できる。
1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが
主成分である領域が、酸化物半導体中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なス
イッチング動作を実現できる。
InX2ZnY2OZ2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用するこ
とにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することが
できる。
ィスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
ができる。
C1 矢印
C3 容量素子
C4 容量素子
C5 容量素子
C6 容量素子
C8 容量素子
C9 容量素子
G1 配線
G2 配線
G3 配線
R1 矢印
S1 配線
S2 配線
S3 配線
SW1 スイッチ
SW2 スイッチ
Tr1 トランジスタ
Tr5 トランジスタ
Tr6 トランジスタ
Tr8 トランジスタ
Tr16 トランジスタ
Tr17 トランジスタ
Tr26 トランジスタ
Tr27 トランジスタ
Tr32 トランジスタ
Tr38 トランジスタ
Tr40 トランジスタ
Tr41 トランジスタ
Tr42 トランジスタ
Tr43 トランジスタ
VCOM1 配線
VCOM2 配線
X0 隣接部
10 画素
20 デマルチプレクサ
21 シフトレジスタ
22 シフトレジスタ
23 シフトレジスタ
24 シフトレジスタ
25 デコーダ
31 レジスタ
32 レジスタ
33 インバータ
34 ドライバ
60 表示ユニット
61 画素アレイ
62 ゲートドライバ
63 ゲートドライバ
64 ソースドライバIC
64a ソースドライバIC
64d ソースドライバIC
70 タッチセンサユニット
71 センサアレイ
72 タッチセンサIC
80 アプリケーションプロセッサ
90 タブレット型情報端末
91 表示領域
100 表示装置
100A 表示装置
100B 表示装置
112 液晶
113 電極
117 絶縁層
121 絶縁層
131 着色層
132 遮光層
133a 配向膜
133b 配向膜
135 機能性部材
141 接着層
142 接着層
170 発光素子
170b 発光素子
170g 発光素子
170r 発光素子
170w 発光素子
176 タッチセンサ
180 液晶素子
191 導電層
192 EL層
193 導電層
194 絶縁層
201 トランジスタ
202 容量素子
203 トランジスタ
204 接続部
205 トランジスタ
206 トランジスタ
207 接続部
211 絶縁層
212 絶縁層
213 絶縁層
214 絶縁層
216 絶縁層
217 導電層
218 導電層
220 絶縁層
221a 導電層
221b 導電層
222a 導電層
222b 導電層
223 導電層
224 絶縁層
225 導電層
231 半導体層
234 周辺回路領域
235 表示領域
236 画素回路
237 光
238 光
242 接続層
243 接続体
252 接続部
271 トランジスタ
272 容量素子
273 走査線
274 信号線
275 共通電位線
281 トランジスタ
282 容量素子
283 トランジスタ
284 走査線
285 信号線
286 電源線
291 透過領域
292 遮光領域
311 電極
351 基板
361 基板
365 配線
370 タッチセンサ
372 FPC
374 導電層
375 絶縁層
376a 導電層
376b 導電層
377 導電層
378 絶縁層
402 駆動回路
403 検出回路
404 容量
475 検知素子
801 制御回路
802 ドライバ
803 フレームメモリ
804 フレームメモリ
806 ゲートドライバ信号生成回路
807 ゲートドライバ信号生成回路
810 タイミングコントローラ
901 入射光
902 反射光
903 発光
910 電子機器
920 電子機器
930 電子機器
940 電子機器
3200a トランジスタ
3200b トランジスタ
3200c トランジスタ
3211 絶縁層
3212 絶縁層
3212a 絶縁層
3212b 絶縁層
3213 絶縁層
3215 絶縁層
3221 導電層
3222a 導電層
3222a_1 導電層
3222a_2 導電層
3222a_3 導電層
3222b 導電層
3222b_1 導電層
3222b_2 導電層
3222b_3 導電層
3223 導電層
3224 絶縁層
3231 金属酸化物層
3231_1 金属酸化物層
3231_2 金属酸化物層
3231d ドレイン領域
3231i チャネル領域
3231s ソース領域
3235 開口部
3236a 開口部
3236b 開口部
3237 開口部
5200B 情報処理装置
5210 演算装置
5220 入出力装置
5230 表示部
5240 入力部
5250 検知部
5290 通信部
Claims (1)
- 画素アレイと、
ゲートドライバと、を有し、
前記ゲートドライバは、第1乃至第M(Mは2以上の整数)のデマルチプレクサと、第1乃至第N(Nは2以上の整数)のシフトレジスタと、を有し、
前記第1乃至第Nのシフトレジスタのそれぞれは、第1乃至第Mのクロック信号と、リセット信号と、が入力され、
前記第1乃至第Mのデマルチプレクサのそれぞれは、第1乃至第L(LはN/M以上N/M+1以下の整数)のサンプリング信号が入力され、
前記第1乃至第Mのデマルチプレクサのうちの第I(Iは1以上M以下の整数)のデマルチプレクサは、第Iのクロック信号が入力され、
前記第1乃至第Mのデマルチプレクサのそれぞれは、前記第1乃至第Nのシフトレジスタのうち互いに異なる第1乃至第Lのシフトレジスタと常に導通し、
前記サンプリング信号は、前記デマルチプレクサを選択制御する信号であり、
前記第Iのデマルチプレクサは、第J(Jは1以上L以下)のサンプリング信号が入力されると、前記第Iのクロック信号をスタートパルスとして、第Jのシフトレジスタに出力する、表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2024011715A JP2024045356A (ja) | 2016-11-25 | 2024-01-30 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016229326 | 2016-11-25 | ||
JP2016229326 | 2016-11-25 | ||
JP2017225450A JP7058111B2 (ja) | 2016-11-25 | 2017-11-24 | 表示装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017225450A Division JP7058111B2 (ja) | 2016-11-25 | 2017-11-24 | 表示装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024011715A Division JP2024045356A (ja) | 2016-11-25 | 2024-01-30 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022082810A JP2022082810A (ja) | 2022-06-02 |
JP7430213B2 true JP7430213B2 (ja) | 2024-02-09 |
Family
ID=62191022
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017225450A Active JP7058111B2 (ja) | 2016-11-25 | 2017-11-24 | 表示装置 |
JP2022065132A Active JP7430213B2 (ja) | 2016-11-25 | 2022-04-11 | 表示装置 |
JP2024011715A Pending JP2024045356A (ja) | 2016-11-25 | 2024-01-30 | 半導体装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017225450A Active JP7058111B2 (ja) | 2016-11-25 | 2017-11-24 | 表示装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024011715A Pending JP2024045356A (ja) | 2016-11-25 | 2024-01-30 | 半導体装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US11062667B2 (ja) |
JP (3) | JP7058111B2 (ja) |
KR (4) | KR102411585B1 (ja) |
CN (2) | CN114115609A (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10146080B1 (en) * | 2017-11-21 | 2018-12-04 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method for manufacturing display device |
KR102553544B1 (ko) * | 2018-07-20 | 2023-07-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 디스플레이 장치, 터치 회로 및 구동 방법 |
CN109901746B (zh) * | 2019-02-21 | 2022-05-27 | 北京集创北方科技股份有限公司 | 触控显示装置及便携计算终端 |
TWI706305B (zh) * | 2019-04-12 | 2020-10-01 | 英屬開曼群島商敦泰電子有限公司 | 觸控顯示面板的驅動方法以及觸控顯示面板的驅動電路 |
DE112020003300T5 (de) | 2019-07-11 | 2022-08-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Halbleitervorrichtung |
KR20210011563A (ko) * | 2019-07-22 | 2021-02-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 펜 감지 유닛 및 이를 포함하는 표시 장치 |
JP7276053B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2023-05-18 | セイコーエプソン株式会社 | 静電容量タッチパネル付き表示装置 |
CN112785917B (zh) * | 2019-11-04 | 2023-10-10 | 群创光电股份有限公司 | 电子装置 |
TWI711022B (zh) * | 2019-12-03 | 2020-11-21 | 友達光電股份有限公司 | 多工器電路及其顯示面板 |
KR20210086345A (ko) * | 2019-12-31 | 2021-07-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 산화물 반도체 패턴을 포함하는 디스플레이 장치 |
US12001634B2 (en) | 2020-04-24 | 2024-06-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display apparatus and driving method thereof |
US11488531B2 (en) * | 2020-06-22 | 2022-11-01 | Sharp Semiconductor Innovation Corporation | Proximity sensor and electronic device |
KR20230046588A (ko) * | 2021-09-30 | 2023-04-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치표시장치 및 게이트 구동 회로 |
CN114185213B (zh) * | 2021-12-30 | 2023-11-24 | 滁州惠科光电科技有限公司 | 阵列基板、显示面板及显示装置 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003108095A (ja) | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Toshiba Corp | 表示装置 |
JP2004205725A (ja) | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置および電子機器 |
JP2008158439A (ja) | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Eastman Kodak Co | アクティブマトリクス型表示パネル |
JP2009265334A (ja) | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Sharp Corp | 表示装置および表示装置の駆動方法 |
JP2013168083A (ja) | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Sharp Corp | 検出装置、検出方法、及び電子機器 |
JP2013190719A (ja) | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Japan Display West Co Ltd | 表示装置、表示方法、および電子機器 |
JP2013195861A (ja) | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Japan Display West Co Ltd | 表示装置および電子機器 |
JP2013546025A (ja) | 2010-11-30 | 2013-12-26 | エーティーアイ・テクノロジーズ・ユーエルシー | 静的フレームを提供するための方法および装置 |
JP2014182203A (ja) | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Japan Display Inc | 表示装置および電子機器 |
US20160189683A1 (en) | 2014-12-30 | 2016-06-30 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Display panel |
Family Cites Families (147)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2816403B2 (ja) | 1988-11-11 | 1998-10-27 | 株式会社 半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置の駆動方法および液晶表示装置 |
JPH06140631A (ja) | 1992-10-28 | 1994-05-20 | Ryoden Semiconductor Syst Eng Kk | 電界効果型薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JPH06313876A (ja) | 1993-04-28 | 1994-11-08 | Canon Inc | 液晶表示装置の駆動方法 |
JP3630489B2 (ja) | 1995-02-16 | 2005-03-16 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置 |
JP3234131B2 (ja) | 1995-06-23 | 2001-12-04 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置 |
KR100394896B1 (ko) | 1995-08-03 | 2003-11-28 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 투명스위칭소자를포함하는반도체장치 |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
JP3496431B2 (ja) | 1997-02-03 | 2004-02-09 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置及びその駆動方法 |
TWI239997B (en) | 1998-02-04 | 2005-09-21 | Merck Patent Gmbh | Liquid-crystal composition, method of adjusting the resistance of a liquid-crystal composition, liquid-crystal display and substituted phenols |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
US6278428B1 (en) | 1999-03-24 | 2001-08-21 | Intel Corporation | Display panel |
JP3466951B2 (ja) | 1999-03-30 | 2003-11-17 | 株式会社東芝 | 液晶表示装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
CN1220098C (zh) | 2000-04-28 | 2005-09-21 | 夏普株式会社 | 显示器件、显示器件驱动方法和装有显示器件的电子设备 |
JP4212791B2 (ja) | 2000-08-09 | 2009-01-21 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置ならびに携帯電子機器 |
JP2002140052A (ja) | 2000-08-23 | 2002-05-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 携帯情報装置及びその駆動方法 |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP2002207462A (ja) | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Toshiba Corp | 液晶表示素子の駆動方法 |
JP3730159B2 (ja) | 2001-01-12 | 2005-12-21 | シャープ株式会社 | 表示装置の駆動方法および表示装置 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002287681A (ja) | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | 部分ホールド型表示制御装置及び部分ホールド型表示制御方法 |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
EP1443130B1 (en) | 2001-11-05 | 2011-09-28 | Japan Science and Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
JP3980910B2 (ja) | 2002-03-12 | 2007-09-26 | 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 | 液晶表示装置 |
CN1445821A (zh) | 2002-03-15 | 2003-10-01 | 三洋电机株式会社 | ZnO膜和ZnO半导体层的形成方法、半导体元件及其制造方法 |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP4074207B2 (ja) | 2003-03-10 | 2008-04-09 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 液晶表示装置 |
KR100707022B1 (ko) * | 2003-05-19 | 2007-04-11 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 액정표시장치 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
CN1998087B (zh) | 2004-03-12 | 2014-12-31 | 独立行政法人科学技术振兴机构 | 非晶形氧化物和薄膜晶体管 |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US20050219224A1 (en) | 2004-03-31 | 2005-10-06 | Frank Liebenow | Electronic ink digitizer |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
KR100911698B1 (ko) | 2004-11-10 | 2009-08-10 | 캐논 가부시끼가이샤 | 비정질 산화물을 사용한 전계 효과 트랜지스터 |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CN101057333B (zh) | 2004-11-10 | 2011-11-16 | 佳能株式会社 | 发光器件 |
AU2005302962B2 (en) | 2004-11-10 | 2009-05-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Amorphous oxide and field effect transistor |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
AU2006223416A1 (en) | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Qualcomm Incorporated | Content adaptive multimedia processing |
US7544967B2 (en) | 2005-03-28 | 2009-06-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage flexible organic/transparent transistor for selective gas sensing, photodetecting and CMOS device applications |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
KR101127853B1 (ko) | 2005-08-11 | 2012-03-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 이의 구동방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP4560502B2 (ja) | 2005-09-06 | 2010-10-13 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US8879856B2 (en) | 2005-09-27 | 2014-11-04 | Qualcomm Incorporated | Content driven transcoder that orchestrates multimedia transcoding using content information |
EP1998375A3 (en) | 2005-09-29 | 2012-01-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method |
US20070075935A1 (en) | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Ralph Mesmer | Flat-panel display with hybrid imaging technology |
US20070206117A1 (en) | 2005-10-17 | 2007-09-06 | Qualcomm Incorporated | Motion and apparatus for spatio-temporal deinterlacing aided by motion compensation for field-based video |
US8948260B2 (en) | 2005-10-17 | 2015-02-03 | Qualcomm Incorporated | Adaptive GOP structure in video streaming |
US8654848B2 (en) | 2005-10-17 | 2014-02-18 | Qualcomm Incorporated | Method and apparatus for shot detection in video streaming |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
US20070171280A1 (en) | 2005-10-24 | 2007-07-26 | Qualcomm Incorporated | Inverse telecine algorithm based on state machine |
US7998372B2 (en) | 2005-11-18 | 2011-08-16 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Semiconductor thin film, method for manufacturing the same, thin film transistor, and active-matrix-driven display panel |
US9922600B2 (en) | 2005-12-02 | 2018-03-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
US9131164B2 (en) | 2006-04-04 | 2015-09-08 | Qualcomm Incorporated | Preprocessor method and apparatus |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
EP2020686B1 (en) | 2006-05-25 | 2013-07-10 | Fuji Electric Co., Ltd. | Thin film transistor and its production method |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
KR100833754B1 (ko) * | 2007-01-15 | 2008-05-29 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 표시 장치 및 그의 구동회로 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
TWI366809B (en) | 2007-03-29 | 2012-06-21 | Chimei Innolux Corp | Flat display and gate driving device |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
WO2008133345A1 (en) | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Oxynitride semiconductor |
JP2009003437A (ja) | 2007-05-18 | 2009-01-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 液晶表示装置およびその作製方法 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
US7661048B2 (en) | 2007-06-29 | 2010-02-09 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Apparatus and method for embedded boundary scan testing |
JP5490393B2 (ja) | 2007-10-10 | 2014-05-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体基板の製造方法 |
JP2009135448A (ja) | 2007-11-01 | 2009-06-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体基板の作製方法及び半導体装置の作製方法 |
JP2009128503A (ja) | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Canon Inc | 薄膜トランジスタ回路とその駆動方法、ならびに発光表示装置 |
US8202365B2 (en) | 2007-12-17 | 2012-06-19 | Fujifilm Corporation | Process for producing oriented inorganic crystalline film, and semiconductor device using the oriented inorganic crystalline film |
WO2009093625A1 (ja) | 2008-01-23 | 2009-07-30 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法、それを用いた表示装置、並びに半導体装置 |
US20090219233A1 (en) * | 2008-03-03 | 2009-09-03 | Park Yong-Sung | Organic light emitting display and method of driving the same |
JP5325446B2 (ja) | 2008-04-16 | 2013-10-23 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
KR101634411B1 (ko) | 2008-10-31 | 2016-06-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 구동 회로, 표시 장치 및 전자 장치 |
US8344996B2 (en) * | 2009-07-27 | 2013-01-01 | Seiko Epson Corporation | Line addressing methods and apparatus for partial display updates |
KR102290831B1 (ko) | 2009-10-16 | 2021-08-19 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 액정 표시 장치 및 이를 구비한 전자 장치 |
KR101801540B1 (ko) | 2009-10-16 | 2017-11-27 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치를 포함한 전자 기기 |
CN102576734B (zh) | 2009-10-21 | 2015-04-22 | 株式会社半导体能源研究所 | 显示装置和包括显示装置的电子设备 |
WO2011065230A1 (en) | 2009-11-30 | 2011-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device, method for driving the same, and electronic device including the same |
US8866783B2 (en) | 2011-04-08 | 2014-10-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device, method for driving same, and electronic apparatus |
CN105022542B (zh) | 2011-09-07 | 2018-06-01 | 辛纳普蒂克斯公司 | 非显示更新时间期间的电容性感测 |
CN103077689B (zh) * | 2013-01-15 | 2015-06-03 | 北京大学深圳研究生院 | 移位寄存器单元、栅极驱动电路、数据驱动电路及显示器 |
US9041453B2 (en) | 2013-04-04 | 2015-05-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Pulse generation circuit and semiconductor device |
TWI666623B (zh) * | 2013-07-10 | 2019-07-21 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置、驅動器電路及顯示裝置 |
US9818765B2 (en) * | 2013-08-26 | 2017-11-14 | Apple Inc. | Displays with silicon and semiconducting oxide thin-film transistors |
CN103680439B (zh) * | 2013-11-27 | 2016-03-16 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种栅极驱动电路和显示装置 |
KR102138865B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2020-07-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
US20150348487A1 (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-03 | Apple Inc. | Electronic Device Display With Display Driver Power-Down Circuitry |
KR102211694B1 (ko) | 2014-07-17 | 2021-02-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 발광소자 표시장치 및 이의 구동 방법 |
CN104240631B (zh) * | 2014-08-18 | 2016-09-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | Goa电路及其驱动方法、显示装置 |
KR102235497B1 (ko) * | 2014-10-20 | 2021-04-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
US9325311B1 (en) * | 2014-11-20 | 2016-04-26 | Innolux Corporation | Gate driver and display device using the same |
KR101658716B1 (ko) * | 2014-12-31 | 2016-09-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
US10163385B2 (en) * | 2015-04-10 | 2018-12-25 | Apple Inc. | Display driver circuitry with selectively enabled clock distribution |
KR102275707B1 (ko) * | 2015-05-04 | 2021-07-09 | 삼성전자주식회사 | 디스플레이 드라이버, 디스플레이 장치 및 디스플레이 시스템 |
US20160365042A1 (en) * | 2015-06-15 | 2016-12-15 | Apple Inc. | Display Driver Circuitry With Gate Line and Data Line Delay Compensation |
KR102343803B1 (ko) * | 2015-06-16 | 2021-12-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 그의 검사방법 |
KR102485454B1 (ko) * | 2015-11-25 | 2023-01-05 | 엘지디스플레이 주식회사 | 게이트 구동회로와 이를 이용한 표시장치 |
WO2017115208A1 (en) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Device, television system, and electronic device |
KR102430433B1 (ko) * | 2016-01-04 | 2022-08-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
CN105632560B (zh) * | 2016-01-04 | 2019-08-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 移位寄存器单元、驱动方法、栅极驱动电路及显示装置 |
US10685614B2 (en) | 2016-03-17 | 2020-06-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device, display module, and electronic device |
-
2017
- 2017-11-09 CN CN202111465912.2A patent/CN114115609A/zh active Pending
- 2017-11-09 CN CN201711097254.XA patent/CN108109592B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2017-11-17 KR KR1020170154135A patent/KR102411585B1/ko active IP Right Grant
- 2017-11-21 US US15/819,347 patent/US11062667B2/en active Active
- 2017-11-24 JP JP2017225450A patent/JP7058111B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-17 US US17/177,445 patent/US11361726B2/en active Active
-
2022
- 2022-04-11 JP JP2022065132A patent/JP7430213B2/ja active Active
- 2022-06-09 US US17/836,244 patent/US11715438B2/en active Active
- 2022-06-15 KR KR1020220072801A patent/KR102528536B1/ko active IP Right Grant
-
2023
- 2023-04-27 KR KR1020230055685A patent/KR102663821B1/ko active IP Right Grant
- 2023-05-02 US US18/142,370 patent/US12008975B2/en active Active
-
2024
- 2024-01-30 JP JP2024011715A patent/JP2024045356A/ja active Pending
- 2024-04-30 KR KR1020240057881A patent/KR20240060780A/ko active Application Filing
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003108095A (ja) | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Toshiba Corp | 表示装置 |
JP2004205725A (ja) | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置および電子機器 |
JP2008158439A (ja) | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Eastman Kodak Co | アクティブマトリクス型表示パネル |
JP2009265334A (ja) | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Sharp Corp | 表示装置および表示装置の駆動方法 |
JP2013546025A (ja) | 2010-11-30 | 2013-12-26 | エーティーアイ・テクノロジーズ・ユーエルシー | 静的フレームを提供するための方法および装置 |
JP2013168083A (ja) | 2012-02-16 | 2013-08-29 | Sharp Corp | 検出装置、検出方法、及び電子機器 |
JP2013190719A (ja) | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Japan Display West Co Ltd | 表示装置、表示方法、および電子機器 |
JP2013195861A (ja) | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Japan Display West Co Ltd | 表示装置および電子機器 |
JP2014182203A (ja) | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Japan Display Inc | 表示装置および電子機器 |
US20160189683A1 (en) | 2014-12-30 | 2016-06-30 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Display panel |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102411585B1 (ko) | 2022-06-20 |
US11062667B2 (en) | 2021-07-13 |
US20180151144A1 (en) | 2018-05-31 |
JP2022082810A (ja) | 2022-06-02 |
KR102663821B1 (ko) | 2024-05-03 |
US12008975B2 (en) | 2024-06-11 |
KR20240060780A (ko) | 2024-05-08 |
KR20180059358A (ko) | 2018-06-04 |
JP2024045356A (ja) | 2024-04-02 |
US20210193071A1 (en) | 2021-06-24 |
JP7058111B2 (ja) | 2022-04-21 |
US20230298537A1 (en) | 2023-09-21 |
KR20230058605A (ko) | 2023-05-03 |
US20220319462A1 (en) | 2022-10-06 |
KR102528536B1 (ko) | 2023-05-02 |
CN108109592B (zh) | 2022-01-25 |
CN108109592A (zh) | 2018-06-01 |
US11715438B2 (en) | 2023-08-01 |
CN114115609A (zh) | 2022-03-01 |
KR20220084005A (ko) | 2022-06-21 |
JP2018092161A (ja) | 2018-06-14 |
US11361726B2 (en) | 2022-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7430213B2 (ja) | 表示装置 | |
US20210373372A1 (en) | Touch panel | |
US11256361B2 (en) | Display device and operating method thereof | |
TWI777984B (zh) | 觸控感測器、顯示裝置、顯示模組以及電子裝置 | |
JP2018097363A (ja) | 表示装置およびその動作方法 | |
JP2018060179A (ja) | 表示装置および電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231218 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7430213 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |