JP6777094B2 - スピン流磁化反転素子、磁気抵抗効果素子および磁気メモリ - Google Patents
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Description
本願は、2015年11月27日に、日本に出願された特願2015−232334号、2016年3月16日に、日本に出願された特願2016−53072号、2016年3月18日に、日本に出願された特願2016−56058号、2016年10月27日に、日本に出願された特願2016−210531号、2016年10月27日に、日本に出願された特願2016−210533号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
磁場を利用する方式では、素子サイズが小さくなると、細い配線に流すことができる電流では書き込みができなくなるという問題がある。
これに対して、スピントランスファートルク(STT)を利用する方式では、一方の強磁性層(固定層、参照層)が電流をスピン分極させ、その電流のスピンがもう一方の強磁性層(自由層、記録層)の磁化に移行され、その際に生じるトルク(STT)によって書き込み(磁化反転)が行われるが、素子サイズが小さくなるほど書き込みに必要な電流が小さくて済むという利点がある。
また、TMR素子への情報の書き込み時に磁化反転を起こすためには読み込み時よりも十分大きな電流を通電する必要がある。TMR素子の耐久性という観点からはTMR素子への情報の書き込み時にTMR素子へ印加する電流は小さい方が望ましい。
従って、TMR素子及びGMR素子のいずれの磁気抵抗効果素子においても、この磁気抵抗効果素子に流れる電流密度を低減することが望まれる。
(2)上記(1)に記載のスピン流磁化反転素子において、前記純スピン流発生部の一端に接続された前記低抵抗部と、前記純スピン流発生部の他端に接続された前記低抵抗部とが、分離されていてもよい。
(3)上記(1)又は(2)のいずれかに記載のスピン流磁化反転素子において、前記純スピン流発生部の前記接合面が、前記第1強磁性金属層の第1面と重なる領域に含まれていてもよい。
本発明のスピン流磁化反転素子は、磁化方向が変化する(可変な)第1強磁性金属層と、第1強磁性金属層の面直方向である第1方向に対して交差する第2方向に延在し、第1強磁性金属層の第1面に接合するスピン軌道トルク配線と、を備え、スピン軌道トルク配線は、第1強磁性金属層に接合する純スピン流発生部と、純スピン流発生部よりも電気抵抗率が小さい材料からなる低抵抗部とからなり、純スピン流発生部は、第1方向に直交する断面の面積が第1方向において第1強磁性金属層に接合する接合面から遠ざかるにつれて、連続的に及び/又は段階的に大きくなるように形成されてなる。
ここで、「連続的に及び/又は段階的に大きくなる」とは、「連続的に大きくなる」場合と、「段階的に大きくなる」場合と、「連続的に大きくなる部分と段階的に大きくなる部分とを有する」場合とを含む。「連続的に大きくなる」場合とは、徐々に大きくなる場合であり、大きくなる程度は特に限定はない(図1、図4〜図8、図12、図13参照)。「段階的に大きくなる」場合とは、所定の大きさが複数段階で大きくなる場合である(図10参照)。「連続的に大きくなる部分と段階的に大きくなる部分とを有する」場合とは、連続的に大きくなる部分と段階的に大きくなる部分の配置順は特に限定はなく、また各部分の数にも限定はないが、第1強磁性金属層に接合する接合面から遠く離れる方向では、遠い側の当該断面積は近い側の当該断面積と同じか、あるいは、大きいかのいずれかである場合である(図9、図11参照)。「連続的に大きくなる部分と段階的に大きくなる部分とを有する」場合の例としては、接合面から遠ざかるについてまず断面積が一定の大きさの部分があり、その後に連続的に大きくなる部分が続く構成である(図9参照)。
スピン軌道トルク配線層と第1強磁性金属層との接合は、「直接」接合してもよいし、後述するようにキャップ層のような「他の層を介して」接合してもよく、スピン軌道トルク配線で発生した純スピン流が第1強磁性金属層に流れ込む構成であれば、スピン軌道トルク配線と第1強磁性金属層との接合(接続あるいは結合)の仕方は限定されない。
図1に示すスピン流磁化反転素子10は、第1面1aと該第1面1aの反対側の第2面1bとを有し、磁化方向が変化する第1強磁性金属層1と、第1強磁性金属層1の面直方向である第1方向(z方向)に対して交差する第2方向(x方向)に延在し、第1強磁性金属層1の第1面1aに接合するスピン軌道トルク配線2と、を備え、スピン軌道トルク配線2は、第1強磁性金属層1に接合する純スピン流発生部2Aと、純スピン流発生部2Aよりも電気抵抗率が小さい材料からなる低抵抗部2Bとからなり、純スピン流発生部2Aは、第1方向に直交する断面の面積が第1方向において第1強磁性金属層1に接合する接合面2Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる。すなわち、純スピン流発生部2Aが、第1方向(z方向)に直交するいずれの断面の面積(例えば、CS1、CS2)も第1強磁性金属層1に接合する接合面2Aaの断面積(接合面積)CS0より小さくなるように形成されてなる。言い換えると、純スピン流発生部2Aが、第1強磁性金属層1に接合する接合面2Aaの断面積(接合面積)CS0が第1方向に直交する断面の面積中で最も小さくなるように形成されてなる。
なお、図1(b)において、符号CS0、CS1、CS2で示した点線矢印の長さは断面積の大きさを模式的に示すものである。第1強磁性金属層1に接合する接合面2Aaの接合面積CS0は離れた位置に示したが、単に図示上の都合による。
図1(a)から図1(b)に延びる4本の点線は、内側の2本の点線は純スピン流発生部2Aの第1強磁性金属層1との接合面2Aaのx方向の長さを示すものであり、外側の2本の点線は純スピン流発生部2Aの第1強磁性金属層1との接合面2Aaの反対側の面2Abのx方向の長さを示すものである。
以下、第1強磁性金属層1の面直方向もしくは第1強磁性金属層1とスピン軌道トルク配線2とが積層する方向(第1方向)をz方向、z方向と垂直でスピン軌道トルク配線2と平行な方向(第2方向)をx方向、x方向及びz方向と直交する方向(第3方向)をy方向とする。
図1を含めて以下では、スピン軌道トルク配線が第1強磁性金属層の面直方向である第1方向に対して交差する方向に延在する構成の例として、第1方向に対して直交する方向に延在する構成の場合について説明する。
スピン軌道トルク配線2は、電流が流れるとスピンホール効果によって純スピン流が生成される材料からなる。本発明のスピン軌道トルク配線2は、第1強磁性金属層1に接合する純スピン流発生部2Aと、第2方向における純スピン流発生部2Aの両端に接続され、純スピン流発生部2Aよりも電気抵抗の小さい材料からなる低抵抗部2Bとからなる。
スピンホール効果とは、材料に電流を流した場合にスピン軌道相互作用に基づき、電流の向きに直交する方向に純スピン流が誘起される現象である。
ここで、純スピン流を生成しやすい材料である重金属は、通常の配線として用いられる金属に比べて電気抵抗率が高い。
そのため、SOT反転電流によるジュール熱を低減する観点では、スピン軌道トルク配線はすべてが純スピン流を生成しうる材料だけからなるよりも、電気抵抗率が小さい部分を有することが好ましい。この観点で、本発明のスピン流磁化反転素子が備えるスピン軌道トルク配線は、純スピン流を発生する材料からなる部分(純スピン流発生部)と、この純スピン流発生部よりも電気抵抗率が小さい材料からなる部分(低抵抗部)とからなる。
純スピン流発生部2Aは、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、及び、それらの金属を少なくとも1つ以上含む合金からなる群から選択された材料からなるものとすることができる。また、タングステン、レニウム、オスミウム及びイリジウムは、最外殻に5dの電子を持ち、d軌道の5つの軌道が縮退している場合に、大きな軌道角運動量を持つ。そのため、スピンホール効果を生じさせるスピン軌道相互作用が大きくなり、効率的にスピン流を発生させることができる。
低抵抗部2Bは、通常の配線として用いられる材料を用いることができる。例えば、アルミニウム、銀、銅、金等を用いることができる。低抵抗部2Bは、純スピン流発生部2Aよりも電気抵抗率が低い材料からなっていればよく、例えば、複数種類の材料部分からなる構成等であってもよい。
なお、低抵抗部において純スピン流が生成されても構わない。この場合、純スピン流発生部と低抵抗部との区別は、本明細書中に純スピン流発生部及び低抵抗部の材料として記載したものからなる部分は純スピン流発生部または低抵抗部であるとして区別できる。また、純スピン流を発生する主要部以外の部分であって、その主要部より電気抵抗率が低い部分は低抵抗部として、純スピン流発生部と区別できる。
ここで、重金属とは、イットリウム以上の比重を有する金属の意味で用いている。
この場合、非磁性の重金属は最外殻にd電子又はf電子を有する原子番号39以上の原子番号が大きい非磁性金属であることが好ましい。かかる非磁性金属は、スピンホール効果を生じさせるスピン軌道相互作用が大きいからである。純スピン流発生部2Aは、最外殻にd電子又はf電子を有する原子番号39以上の原子番号が大きい非磁性金属だけからなってもよい。
通常、金属に電流を流すとすべての電子はそのスピンの向きに関わりなく、電流とは逆向きに動くのに対して、最外殻にd電子又はf電子を有する原子番号が大きい非磁性金属はスピン軌道相互作用が大きいためにスピンホール効果によって電子の動く方向が電子のスピンの向きに依存し、純スピン流が発生しやすい。
仮に、低抵抗部がCu(1.7μΩcm)からなるものとすると、原子番号39以上でかつCuよりも電気抵抗率が2倍以上大きい材料としては、Y,Zr,Nb,Mo,Ru,Pd,Cd,La,Hf,Ta,W,Re,Os,Ir,Pt,Hg,Ce,Pr,Nd, Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Luが挙げられる。
ここで、純スピン流発生部の主成分よりも純スピン流を生成しうる重金属が十分少ない濃度領域とは、例えば、銅を主成分とする純スピン流発生部において、モル比で重金属の濃度が10%以下を指す。スピン流発生部を構成する主成分が上述の重金属以外からなる場合、純スピン流発生部に含まれる重金属の濃度はモル比で50%以下であることが好ましく、10%以下であることがさらに好ましい。これらの濃度領域は、電子のスピン散乱の効果が有効に得られる領域である。重金属の濃度が低い場合、重金属よりも原子番号が小さい軽金属が主成分となる。なお、この場合、重金属は軽金属との合金を形成しているのではなく、軽金属中に重金属の原子が無秩序に分散していることを想定している。軽金属中ではスピン軌道相互作用が弱いため、スピンホール効果によって純スピン流は生成しにくい。しかしながら、電子が軽金属中の重金属を通過する際に、軽金属と重金属の界面でもスピンが散乱される効果があるため重金属の濃度が低い領域でも純スピン流が効率よく発生させることが可能である。重金属の濃度が50%を超えると、重金属中のスピンホール効果の割合(発生率)は大きくなるが、軽金属と重金属の界面の効果が低下するため総合的な効果が減少する。したがって、十分な界面の効果が期待できる程度の重金属の濃度が好ましい。
スピン軌道相互作用はスピン軌道トルク配線材料の物質の固有の内場によって生じるため、非磁性材料でも純スピン流が生じる。スピン軌道トルク配線材料に微量の磁性金属を添加すると、磁性金属自体が流れる電子スピンを散乱するためにスピン流生成効率が向上する。ただし、磁性金属の添加量が増大し過ぎると、発生した純スピン流が添加された磁性金属によって散乱されるため、結果としてスピン流が減少する作用が強くなる。したがって、添加される磁性金属のモル比は純スピン流発生部2Aの主成分のモル比よりも十分小さい方が好ましい。目安で言えば、添加される磁性金属のモル比は3%以下であることが好ましい。
トポロジカル絶縁体としては例えば、SnTe,Bi1.5Sb0.5Te1.7Se1.3,TlBiSe2,Bi2Te3,(Bi1−xSbx)2Te3などが好ましい。これらのトポロジカル絶縁体は、高効率でスピン流を生成することが可能である。
より詳細には、純スピン流発生部2Aの一端に接続された低抵抗部2Bと、純スピン流発生部2Aの他端に接続された低抵抗部2Bとが、分離されている。
つまり、一端に接続された低抵抗部2Bと他端に接続された低抵抗部2Bとが、純スピン流発生部2A以外の低抵抗部材料ではつながっていない。
この場合、スピン軌道トルク配線を流れる電流が純スピン流発生部2Aの下方から抜けていくことがない。
また、純スピン流発生部2Aの接合面2Aaは、第1強磁性金属層1の第1面1aと重なる領域に含まれている。
点線矢印I0、I1、I2はそれぞれ、接合面積CS0の位置(すなわち、接合面2Aa)、断面積CS1の位置、断面積CS2の位置での電流密度を模式的に示すものである。その点線矢印の太さは電流密度の大きさの違いを模式的に示すものであり、太いほど電流密度が高い。
図1に示すスピン軌道トルク配線2は、その純スピン流発生部2Aを、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向において第1強磁性金属層1に接合する接合面2Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる構成(より具体的には、第1強磁性金属層1との接合面2Aaでの接合面積(「接合面における断面積」に相当)が第1強磁性金属層1との接合面から離れたどの断面の面積よりも小さくなるように形成してなる構成とすること)で、純スピン流発生部2Aのうち第1強磁性金属層1との接合面2Aaで電流を集中させるものである。その結果として、接合面2Aaに接合する第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度が高くなり、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を向上させることができる。
純スピン流発生部の形状としては、z方向から平面視したときに第1強磁性金属層との接合面がその接合面から離れた断面の領域内に含まれる(接合面と当該断面が完全に重畳する場合も含む)形状であることが好ましい。
図1に示す実施形態では、純スピン流発生部2Aは、xz面に平行な断面において、低抵抗部2Bとの界面が直線状となるように形成されているが、曲線状となるように形成されていてもよい。曲線状とは低抵抗部側に凸になるような曲線状、純スピン流発生部側に凸になるような曲線状を含み、製造プロセスに応じた曲線状とすることができる。
以下に示す他の実施形態においても特に断らない限りは、低抵抗部は、純スピン流発生部を挟んで離間する第1低抵抗部と第2低抵抗部からなる構成であるとする。
但し、図4に示すスピン流磁化反転素子20においては、純スピン流発生部2Aの第1強磁性金属層1に接合する接合面2Aaは、第1強磁性金属層11の純スピン流発生部2Aに接合する接合面11aとは一致しておらず、z方向から平面して接合面2Aaは接合面11aよりも大きい。この場合、図1に示すスピン流磁化反転素子10に比べると、純スピン流発生部2Aで発生した純スピン流を十分には第1強磁性金属層11に拡散させることができない。
図5に示すスピン流磁化反転素子30も、スピン軌道トルク配線12の純スピン流発生部12Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面12Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる。すなわち、純スピン流発生部12Aが、第1方向(z方向)に直交するいずれの断面の面積(例えば、CS1、CS2)も第1強磁性金属層1に接合する接合面12Aaの断面積(接合面積)CS0より小さくなるように形成されてなる場合である。言い換えると、純スピン流発生部12Aが、第1強磁性金属層1に接合する接合面12Aaの断面積(接合面積)CS0が第1方向(z方向)に直交する断面の面積中で最も小さくなるように形成されてなる。従って、純スピン流発生部12Aのうち第1強磁性金属層1との接合面12Aaでの電流密度を最も高くするものである。その結果として、その第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度を高くし、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を高くすることができる。
純スピン流発生部12Aのうち、低抵抗部12Bとの境界部分で、かつ接合面12Aa近傍に電流が最も集中するため、純スピン流が発生しやすい。従って、第1強磁性金属層1に効率的に純スピン流を流し込むことができる。純スピン流は拡散し、減衰するため第1強磁性金属層1の近傍で発生した純スピン流が最も第1強磁性金属層1の磁化反転に寄与する。第1強磁性金属層1近傍の純スピン流発生部12Aに電流が集中するため、第1強磁性金属層1に効率的に純スピン流を流し込むことができる。
図6に示すスピン流磁化反転素子40も、純スピン流発生部22Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の断面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面22Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる場合である。すなわち、純スピン流発生部22Aが、第1方向(z方向)に直交するいずれの断面の断面積(例えば、CS1、CS2)も第1強磁性金属層1に接合する接合面22Aaの断面積(接合面積)CS0より小さくなるように形成されてなる場合である。言い換えると、純スピン流発生部22Aが、第1強磁性金属層1に接合する接合面22Aaの断面積(接合面積)CS0が第1方向(z方向)に直交する断面の断面積中で最も小さくなるように形成されてなる。従って、純スピン流発生部22Aのうち第1強磁性金属層1との接合面22Aaでの電流密度を最も高くするものである。その結果として、その第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度を高くし、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を高くすることができる。
また、図6に示すスピン流磁化反転素子40は、純スピン流発生部22Aの第1強磁性金属層1との接合面22Aaの反対側の第2面22Abの面積も図1に示すスピン流磁化反転素子10や図5に示すスピン流磁化反転素子30に比べて大きい。このため、図6に示すスピン流磁化反転素子40は、図1に示すスピン流磁化反転素子10や図5に示すスピン流磁化反転素子30に比べて、純スピン流発生部が増大するため、素子全体の抵抗が上がってしまう。
図7に示すスピン流磁化反転素子50も、スピン軌道トルク配線32の純スピン流発生部32Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面32Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる場合である。すなわち、純スピン流発生部32Aが、第1方向(z方向)に直交するいずれの断面の面積(例えば、CS1、CS2)も、低抵抗部32Bの第1強磁性金属層1側の面32Baで切った断面32Aaaの断面積(接合面積)CS0より小さくなるように形成されてなる場合である。この場合、純スピン流発生部32Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面32Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる場合ではあるが、純スピン流発生部32AにおいてSOT反転電流が流れる部分における最も断面積が小さい断面は、第1強磁性金属層1に接合する接合面32Aaではなく、低抵抗部32Bの第1強磁性金属層1側の面32Baで切った断面32Aaaである点に留意する。従って、純スピン流発生部32Aのうち、SOT反転電流が流れる部分であってかつ第1強磁性金属層1に接合する接合面32Aaに最も近いは低抵抗部32Bの第1強磁性金属層1側の面32Baで切った断面32Aaaであって、この断面32Aaaの電流密度を最も高くするものである。その結果として、その第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度を高くし、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を高くすることができる。
また、図7に示すスピン流磁化反転素子50においては、純スピン流発生部32Aのうち、SOT反転電流が流れる部分の体積が大きいため、図1に示すスピン流磁化反転素子10や図5に示すスピン流磁化反転素子30に比べて、純スピン流発生部が増大するため、素子全体の抵抗が上がってしまう。
図8に示すスピン流磁化反転素子60も、スピン軌道トルク配線42の純スピン流発生部42Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面42Aaから遠ざかるにつれて、連続的に大きくなるように形成されてなる場合である。すなわち、純スピン流発生部42Aが、第1方向(z方向)に直交するいずれの断面の面積(例えば、CS1、CS2)も第1強磁性金属層1に接合する接合面42Aaの断面積(接合面積)CS0より大きくなるように形成されてなる場合である。言い換えると、純スピン流発生部42Aが、第1強磁性金属層1に接合する接合面42Aaの断面積(接合面積)CS0が第1方向(z方向)に直交する断面の面積中で最も小さくなるように形成されてなる。従って、純スピン流発生部42Aのうち第1強磁性金属層1との接合面42Aaでの電流密度を最も高くするものである。その結果として、その第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度を高くし、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を高くすることができる。
図8に示すスピン流磁化反転素子60は図7に示すスピン流磁化反転素子50と同様に、純スピン流発生部を構成する材料のうち、SOT反転電流が流れない部分を有する点が共通であるが、純スピン流発生部42Aが第1強磁性金属層1に接合する接合面42AaにSOT反転電流が流れるため、純スピン流発生部42Aで発生した純スピン流が直接第1強磁性金属層1に拡散していく点では有利である。
図9に示すスピン流磁化反転素子70は、スピン軌道トルク配線52の純スピン流発生部52Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面52Aaから遠ざかるにつれて、「連続的に大きくなる部分と段階的に大きくなる部分とを有する」場合特に、「連続的に大きくなる部分と一定の大きさの部分とを有する」場合である。純スピン流発生部52Aは、その断面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面52Aaから遠ざかるにつれて順に、断面積が一定の大きさの部分52A1と、連続的に大きくなる部分52A2と有する。すなわち、純スピン流発生部52Aが、第1方向(z方向)に直交するいずれの断面の面積(例えば、CS1、CS2)も、低抵抗部52Bの第1強磁性金属層1側の面52Baで切った断面52Aaaの断面積(接合面積)CS0より大きくなるように形成されてなる場合である。この場合、純スピン流発生部52AにおいてSOT反転電流が流れる部分における最も断面積が小さい断面である断面52Aaaの断面積は、第1強磁性金属層1に接合する接合面52Aaの断面積(接合面積)と等しい点に留意する。純スピン流発生部52Aのうち、断面52Aaaの電流密度が最も高いものである。その結果として、その第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度を高くし、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を高くすることができる。
図10に示すスピン流磁化反転素子80は、スピン軌道トルク配線62の純スピン流発生部62Aが、第1方向(z方向)に直交する断面の面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面62Aaから遠ざかるにつれて、段階的に大きくなる場合である。純スピン流発生部62Aは、その断面積が第1方向(z方向)において第1強磁性金属層1に接合する接合面62Aaから遠ざかるにつれて順に、断面積CS3を有する部分62A1と、CS3よりも大きな断面積CS4を有する部分に大きくなる部分62A2と有する。この場合、純スピン流発生部62Aにおいて、断面積が小さい部分62A1を流れる電流密度は断面積が大きい部分62A2を流れる電流密度よりも大きく、その結果として、その第1強磁性金属層1へ拡散していく純スピン流の密度を高くし、第1強磁性金属層1へのスピン注入の効率を高くすることができる。
図11に示すスピン軌道トルク配線72は、純スピン流発生部72Aが、第1強磁性金属層1の第1面1aに接合された、四角錐台状の第1純スピン流発生部72A1と、スピン軌道トルク配線72の第1強磁性金属層1が形成された側と反対側の面側の一面全体に形成された第2純スピン流発生部72A2とからなる構成である点が、図1に示したスピン流磁化反転素子10のスピン軌道トルク配線2との大きな違いである。
スピン軌道トルク配線72は、x方向に沿って、低抵抗部72Bと第2純スピン流発生部72A2とが積層された部分と、低抵抗部72Bと第1純スピン流発生部72A1の傾斜72A1aを含む部分と第2純スピン流発生部72A2とが積層された部分と、第1純スピン流発生部72A1と第2純スピン流発生部72A2が積層された部分と、低抵抗部72Bと第1純スピン流発生部72A1の傾斜72A1bを含む部分と第2純スピン流発生部72A2とが積層された部分と、低抵抗部72Bと第2純スピン流発生部72A2とが積層された部分と、からなる。
スピン軌道トルク配線72においては、第2純スピン流発生部72A2と低抵抗部72Bとが接する面積が広いため、純スピン流発生部72Aと低抵抗部72Bの密着性が高い。
図12に示すスピン軌道トルク配線82においては、純スピン流発生部82Aはz方向の厚みが低抵抗部82Bより薄く、そのため、純スピン流発生部82Aの第1強磁性金属層1との接合面82Aaの反対側の面82Ab側には凹部82cを有する。また、スピン軌道トルク配線82は、純スピン流発生部82Aと、純スピン流発生部82Aを挟んで離間する第1低抵抗部82B1と第2低抵抗部82B2からなる低抵抗部82Bとからなる点は図1と同様である。
スピン軌道トルク配線82においても、純スピン流発生部82Aにおいて第1強磁性金属層1との接合面82Aaで電流密度が最も高いことは図1に示した実施形態と同様である。
図13に示すスピン流磁化反転素子では、純スピン流発生部2Aの第1強磁性金属層21に接合する接合面2Aaは、第1強磁性金属層21の純スピン流発生部2Aに接合する接合面(第1面)21aとは一致する点は図1に示したスピン流磁化反転素子と同様であるが、z方向から平面視して第1強磁性金属層21がスピン軌道トルク配線2より幅狭である点で異なる。
図13に示すスピン流磁化反転素子においても、スピン軌道トルク配線2は図1に示したスピン軌道トルク配線2と同じ構成であるから、純スピン流発生部2Aのうち第1強磁性金属層31との接合面2Aaで電流を集中させるものである点で図1に示したスピン流磁化反転素子と同様である。その結果として、接合面2Aaに接合する第1強磁性金属層31へ拡散していく純スピン流の密度が高くなり、第1強磁性金属層31へのスピン注入の効率を向上させることができる。
図14に示すスピン流磁化反転素子では、純スピン流発生部2Aの第1強磁性金属層31に接合する接合面2Aaは、第1強磁性金属層31の純スピン流発生部2Aに接合する接合面(第1面)31aとは一致する点は図1に示したスピン流磁化反転素子と同様であるが、z方向から平面視して第1強磁性金属層31がスピン軌道トルク配線2より幅広である点で異なる。
図14に示すスピン流磁化反転素子においても、スピン軌道トルク配線2は図1に示したスピン軌道トルク配線2と同じ構成であるから、純スピン流発生部2Aのうち第1強磁性金属層41との接合面2Aaで電流を集中させるものである点で図1に示したスピン流磁化反転素子と同様である。その結果として、接合面2Aaに接合する第1強磁性金属層41へ拡散していく純スピン流の密度が高くなり、第1強磁性金属層31へのスピン注入の効率を向上させることができる。
図15に示すスピン軌道トルク配線92においては、純スピン流発生部92Aは、第1強磁性金属層1に接合する接合面92Aaが楕円状(楕円状の長軸は第1強磁性金属層1のx方向の長さより長い)となるような形状である点で図1に示したスピン軌道トルク配線2と異なる。そのため、純スピン流発生部92Aと低抵抗部92Bとの境界のうち、符号92AB1、92AB2で示した部分は強磁性金属層1の接合面(第1面)1aに接していない。言い換えると、純スピン流発生部92Aと低抵抗部92Bとの境界の少なくとも一部(図15(a)中の境界92AB1、92AB2以外の境界)だけが第1強磁性金属層1の接合面(第1面)1aに接している。
純スピン流発生部92Aのうち、低抵抗部92Bとの境界部分でかつ接合面92Aa近傍に電流が最も集中するため、純スピン流が発生しやすい。従って、第1強磁性金属層1に効率的に純スピン流を流し込むことができる。純スピン流は拡散し、減衰するため第1強磁性金属層1の近傍で発生した純スピン流が最も第1強磁性金属層1の磁化反転に寄与する。第1強磁性金属層1近傍の純スピン流発生部92Aに電流が集中するため、第1強磁性金属層1に効率的に純スピン流を流し込むことができる。
また、スピン軌道トルク配線92は、純スピン流発生部92Aと、純スピン流発生部92Aを挟んで離間する第1低抵抗部92B1と第2低抵抗部92B2からなる低抵抗部92Bとからなる点は図1と同様である。
この構成では、磁気抵抗効果素子やその他の用途に適用する場合に、スピン軌道トルク配線に流す電流が第1強磁性金属層に接合する面の反対側の面から漏れることが防止され、より電流集中効果を高めることができる。
第1強磁性金属層については後述する。
以下、図1に図示したスピン流磁化反転素子10の製造方法について説明する。
まず、スピン流発生部2Aと第1強磁性金属層1は例えば、マグネトロンスパッタ装置を用いて、所定の基板(基材)に成膜することができる。成膜後、スピン流磁化反転素子を作成したい部分にレジストまたは保護膜を設置し、イオンミリング法または反応性イオンエッチング(RIE)法を用いて不要部分を除去する。その際に、イオンミリングまたはRIEのイオン照射方向とスピン流磁化反転素子10の相対角度(z軸からの角度θ)が変えられる機構を有する装置を利用する。スピン流磁化反転素子10に対するイオン照射の相対角度を変化させることで、角形比のよい素子や錐台形状の素子に形成することができることは公知である。
レジストまたは保護膜を設置されたスピン流磁化反転積層膜は、相対角度0度から30度で第1強磁性金属層1をミリングする。これにより角形比のよい第1強磁性金属層1が形成される。その後、相対角度を30度から80度の間で固定し、スピン生成部をミリングすることで傾斜が直線状のスピン生成部を形成することができる。また、相対角度を変化させながらミリングすることで曲線状の傾斜を有するスピン生成部を形成することができる。
その後、低抵抗部を成膜し、レジストまたは保護膜を設置し、ミリングすることでスピン軌道トルク配線形状に形成することができる。
また、第1強磁性金属層を後から成膜、形成することもできる。スピン生成部を上述の方法で錐台形状に形成した後に低抵抗部を成膜、及びスピン軌道トルク配線形状に形成した後、化学的機械研磨(CMP)を施すことにより平坦な面を設け第1強磁性金属層を積層することもできる。
スピン流発生部2A、第1強磁性金属層1の成膜に用いた基板は、通常であれば成膜後に除去するが、必要に応じて残しておいてもよい。
本発明の一実施形態に係る磁気抵抗効果素子は、本発明のスピン流磁化反転素子と、磁化方向が固定されている第2強磁性金属層と、第1強磁性金属層と第2強磁性金属層に挟持された非磁性層とを備えるものである。
図16に示す磁気抵抗効果素子100は、本発明のスピン流磁化反転素子(第1強磁性金属層101と、スピン軌道トルク配線120)と、磁化方向が固定された第2強磁性金属層103と、第1強磁性金属層101及び第2強磁性金属層103に挟持された非磁性層102とを有する。また、図15に示す磁気抵抗効果素子100は、磁気抵抗効果素子部105とスピン軌道トルク配線120とを有するということもできる。
図16においては、磁気抵抗効果素子100の積層方向に電流を流すための配線130と、その配線130を形成する基板110も示している。また、第1強磁性金属層101とスピン軌道トルク配線120との間にキャップ層104を備える。
磁気抵抗効果素子部105は、磁化方向が固定された第2強磁性金属層103と、磁化方向が変化する第1強磁性金属層101と、第2強磁性金属層103及び第1強磁性金属層101に挟持された非磁性層102とを有する。
第2強磁性金属層103の磁化が一方向に固定され、第1強磁性金属層101の磁化の向きが相対的に変化することで、磁気抵抗効果素子部105として機能する。保磁力差型(擬似スピンバルブ型;Pseudo spin valve 型)のMRAMに適用する場合には、第2強磁性金属層の保持力は第1強磁性金属層の保磁力よりも大きいものであり、また、交換バイアス型(スピンバルブ;spin valve型)のMRAMに適用する場合には、第2強磁性金属層では反強磁性層との交換結合によって磁化方向が固定される。
また、磁気抵抗効果素子部105は、非磁性層102が絶縁体からなる場合は、トンネル磁気抵抗(TMR:Tunneling Magnetoresistance)素子であり、非磁性層102が金属からなる場合は巨大磁気抵抗(GMR:Giant Magnetoresistance)素子である。
第2強磁性金属層103は固定層や参照層、第1強磁性金属層101は自由層や記憶層などと呼ばれる。
例えば、非磁性層102が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、Mg、及び、MgAl2O4等を用いることができる。またこれらの他にも、Al,Si,Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入できる。
また、非磁性層102が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。
基板110は、平坦性に優れることが好ましい。平坦性に優れた表面を得るために、材料として例えば、Si、AlTiC等を用いることができる。
例えば1つの例として、下地層には(001)配向したNaCl構造を有し、Ti,Zr,Nb,V,Hf,Ta,Mo,W,B,Al,Ceの群から選択される少なくとも1つの元素を含む窒化物の層を用いることができる。
配線130は、磁気抵抗効果素子部20の第2強磁性金属層21に電気的に接続され、図5においては、配線130とスピン軌道トルク配線120と電源(図示略)とで閉回路を構成し、磁気抵抗効果素子部20の積層方向に電流が流される。
磁気抵抗効果素子部は例えば、マグネトロンスパッタ装置を用いて形成することができる。磁気抵抗効果素子部がTMR素子の場合、例えば、トンネルバリア層は第2強磁性金属層上に最初に0.4〜2.0nm程度のアルミニウム、及び複数の非磁性元素の二価の陽イオンとなる金属薄膜をスパッタし、プラズマ酸化あるいは酸素導入による自然酸化を行い、その後の熱処理によって形成される。成膜法としてはマグネトロンスパッタ法のほか、蒸着法、レーザアブレーション法、MBE法等の薄膜作成法を用いることができる。
磁気抵抗効果素子部の成膜及び形状の形成を行った後、純スピン流発生部を最初に形成することが好ましい。これは純スピン流発生部から磁気抵抗効果素子部に純スピン流の散乱をできるだけ抑制できる構造にすることが高効率化に繋がるからである。
磁気抵抗効果素子部の成膜及び形状の形成を行った後、加工後の磁気抵抗効果素子部の周囲をレジスト等で埋めて、磁気抵抗効果素子部の上面を含む面を形成する。この際、磁気抵抗効果素子部の上面を平坦化することが好ましい。平坦化することで、純スピン流発生部と磁気抵抗効果素子部の界面におけるスピン散乱を抑制することができる。
次に、平坦化した磁気抵抗効果素子部の上面に純スピン流発生部の材料を成膜する。成膜はスパッタ等を用いることができる。
次に、純スピン流発生部を作製したい部分にレジストまたは保護膜を設置し、イオンミリング法または反応性イオンエッチング(RIE)法を用いて不要部を除去する。
次に、低抵抗部を構成する材料をスパッタ等で成膜し、レジスト等を剥離することで、スピン軌道トルク配線を作製する。純スピン流発生部の形状が複雑な場合は、レジストまたは保護膜の形成と、純スピン流発生部の成膜を複数回に分けて形成してもよい。
第2電源150は、スピン軌道トルク配線120の両端に接続されている。第2電源150は、磁気抵抗効果素子部105の積層方向に対して直交する方向に流れる電流である、スピン軌道トルク配線120に流れる電流を制御することができる。
また、例えば薄いデバイスを作製する必要があり、非磁性層102の厚みを薄くせざる得ない場合は、非磁性層102に流れる電流を少なくことが求められる。この場合は、第1電源140から流れる電流量を少なくし、第2電源150から流れる電流量を多くし、SOTの寄与率を高めることができる。
本発明の磁気メモリ(MRAM)は、本発明の磁気抵抗効果素子を複数備える。
磁化反転方法は、本発明の磁気抵抗効果素子において、スピン軌道トルク配線に流れる電流密度が1×107A/cm2未満とすることができる。
スピン軌道トルク配線に流す電流の電流密度が大きすぎると、スピン軌道トルク配線に流れる電流によって熱が生じる。熱が第2強磁性金属層に加わると、第2強磁性金属層の磁化の安定性が失われ、想定外の磁化反転等が生じる場合がある。このような想定外の磁化反転が生じると、記録した情報が書き換わるという問題が生じる。すなわち、想定外の磁化反転を避けるためには、スピン軌道トルク配線に流す電流の電流密度が大きくなりすぎないようにすることが好ましい。スピン軌道トルク配線に流す電流の電流密度は1×107A/cm2未満であれば、少なくとも発生する熱により磁化反転が生じることを避けることができる。
SOT磁化反転工程とSTT磁化反転工程は、同時に行ってもよいし、SOT磁化反転工程を事前に行った後にSTT磁化反転工程を加えて行ってもよい。第1電源140と第2電源150から電流を同時に供給してもよいし、第2電源150から電流を供給後に、加えて第1電源140から電流を供給してもよいが、SOTを利用した磁化反転のアシスト効果をより確実に得るためには、スピン軌道トルク配線の電源に電流が印加した後に、磁気抵抗効果素子の電源に電流を印加することが好ましい。すなわち、第2電源150から電流を供給後に、加えて第1電源140から電流を供給することが好ましい。
2、12、22、32、42、52、62、72、82、92 スピン軌道トルク配線
2A、12A、22A、32A、42A、52A、62A、72A、82A、92A 純スピン流発生部
2B、12B、22B、32B、42B、52B、62B、72B、82B、92B 低抵抗部
100 磁気抵抗効果素子
101 第1強磁性金属層
102 非磁性層
103 第2強磁性金属層
Claims (9)
- 磁化方向が可変な第1強磁性金属層と、
前記第1強磁性金属層の面直方向である第1方向に対して交差する第2方向に延在し、前記第1強磁性金属層の第1面に接合するスピン軌道トルク配線と、を備え、
前記スピン軌道トルク配線は、前記第1強磁性金属層の第1面に接合する純スピン流発生部と、前記第2方向における該純スピン流発生部の両端に接続され、該純スピン流発生部よりも電気抵抗率が小さい材料からなる低抵抗部とからなり、
前記純スピン流発生部は、前記第1方向に直交する断面の面積が前記第1方向において前記第1強磁性金属層に接合する接合面から遠ざかるにつれて、連続的に及び/又は段階的に大きくなるように形成されてなり、
前記純スピン流発生部と前記低抵抗部との境界の少なくとも一部は、前記第1強磁性金属層の前記第1面に接しているスピン流磁化反転素子。 - 前記純スピン流発生部の一端に接続された前記低抵抗部と、前記純スピン流発生部の他端に接続された前記低抵抗部とが、分離されている請求項1に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記純スピン流発生部の前記接合面が、前記第1強磁性金属層の第1面と重なる領域に含まれている請求項1又は2のいずれかに記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記低抵抗部は、前記純スピン流発生部を挟んで離間する第1低抵抗部と第2低抵抗部からなる請求項1〜3のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記スピン軌道トルク配線の前記第1強磁性金属層に接合する面の反対側の面に接合する絶縁層をさらに備える請求項1〜4のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記スピン軌道トルク配線の幅と前記第1強磁性金属層の幅とが同じである請求項1〜5のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子。
- 前記純スピン流発生部は、d電子またはf電子を有する原子番号39番以上の非磁性金属を含み、前記純スピン流発生部の電気抵抗率が前記低抵抗部の電気抵抗率の2倍以上大きい請求項1〜6のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のスピン流磁化反転素子と、磁化方向が固定されている第2強磁性金属層と、第1強磁性金属層と第2強磁性金属層に挟持された非磁性層とを備える磁気抵抗効果素子。
- 請求項8に記載の磁気抵抗効果素子を複数備える磁気メモリ。
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