JP6733822B2 - スピン流磁気抵抗効果素子及び磁気メモリ - Google Patents
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Description
本願は、2017年8月7日に、日本に出願された特願2017−152468号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
図1は、第1実施形態に係るスピン流磁気抵抗効果素子を模式的に示した断面図である。第1実施形態に係るスピン流磁気抵抗効果素子100は、磁気抵抗効果素子10と、スピン軌道トルク配線20と、制御部30とを有する。また図1に示すスピン流磁気抵抗効果素子100は、電気的な接続を補助する電極40と、素子に電流を流すか否かを決定する素子選択部50とを備える。
磁気抵抗効果素子10は、第1強磁性金属層1と、磁化方向が変化する第2強磁性金属層2と、第1強磁性金属層1及び第2強磁性金属層2に挟持された非磁性層3とを有する。第1強磁性金属層1の磁化M1は、第2強磁性金属層2の磁化M2に対して相対的に固定されている。
例えば、非磁性層3が絶縁体からなる場合(トンネルバリア層である場合)、その材料としては、Al2O3、SiO2、MgO、及び、MgAl2O4等を用いることができる。またこれらの他にも、Al,Si,Mgの一部が、Zn、Be等に置換された材料等も用いることができる。これらの中でも、MgOやMgAl2O4はコヒーレントトンネルが実現できる材料であるため、スピンを効率よく注入できる。
非磁性層3が金属からなる場合、その材料としては、Cu、Au、Ag等を用いることができる。
スピン軌道トルク配線20は、x方向に延在する。スピン軌道トルク配線20は、第2強磁性金属層2のz方向の一面に位置する。スピン軌道トルク配線20は、第2強磁性金属層2に直接接続されていてもよいし、他の層を介して接続されていてもよい。
スピンホール効果とは、材料に電流を流した場合にスピン軌道相互作用に基づき、電流の向きに直交する方向に純スピン流が誘起される現象である。
電極40は、磁気抵抗効果素子10及びスピン軌道トルク配線20に流れる電流との接続点に設けられている。図1に示すスピン流磁気抵抗効果素子100は、磁気抵抗効果素子10の第1強磁性金属層1に接続された第1電極41と、スピン軌道トルク配線20の第1点21に接続された第2電極42と、スピン軌道トルク配線20の第2点22に接続された第3電極43と、を備える。電極40は、導電性に優れるものであれば特に問わない。
素子選択部50は、第1トランジスタ51と、第2トランジスタ52と、第3トランジスタ53とを備える。第1トランジスタ51、第2トランジスタ52、第3トランジスタ53は、公知のものを用いることができる。
制御部30は、読み出し時に磁気抵抗効果素子10及びスピン軌道トルク配線20に流れる読み出し電流の向きを制御する。制御部30は、スピン軌道トルク配線20において第1の方向に磁気抵抗効果素子10を挟む位置にある第1点21及び第2点22と、磁気抵抗効果素子10の第1強磁性層1側の第3点11とのうち少なくとも一つに接続されている。図1に示す制御部30は、スピン軌道トルク配線20の第1点21と電気的に接続されたスイッチング素子である。図1に示す制御部30は、第1点21の電位を制御する。制御部30は、スピン軌道トルク配線20の第1点21と第2点22との間の電位を変えることができるものであれば、スイッチング素子に限られず、公知のものを用いることができる。また図1では制御部30は、第1点21と電気的に接続しているが、第2点22と電気的に接続してもよい。
図3は、スピン流磁気抵抗効果素子100が複数配列した磁気メモリの回路図である。図3に示す磁気メモリ200は、複数のスピン流磁気抵抗効果素子100を備える。磁気メモリ200において、複数のスピン流磁気抵抗効果素子100は制御部30を共用している。図3では2つの素子毎に1つの制御部30を設けたが、各素子に一つの制御部30を設けてもよいし、全ての素子で1つの制御部30を共用してもよい。また図3ではそれぞれの素子毎に、第1トランジスタ51を設けたが、第1トランジスタ51は、複数の素子で共用してもよい。図3では、スピン軌道トルク配線20を抵抗20A,20Bとして図示している。以下、図1及び図3を用いて、スピン流磁気抵抗効果素子100への書込み動作及び読出し動作について説明する。
スピン流磁気抵抗効果素子100へのデータ書き込みは、第2強磁性金属層2の磁化M2と、第1強磁性金属層1の磁化M1との相対角の制御により行う。これらの磁化M1,M2の相対角は、第2強磁性金属層の磁化M2の向きにより制御される。第2強磁性金属層2の磁化M2の向きは、スピン軌道相互作用によって生じた純スピン流又は異種材料の界面におけるラシュバ効果が誘起するスピン軌道トルク(SOT)により反転する。
スピン流磁気抵抗効果素子100は、第2強磁性金属層2の磁化M2と、第1強磁性金属層1の磁化M1との相対角によって変化した磁気抵抗効果素子10の抵抗値をデータとして読み出す。
Jc×SSOT<IR<Jc×SMTJ ・・・(1)
上記の関係式(1)においてJcは、磁化反転に必要な閾値反転電流密度であり、SSOTはスピン軌道トルク配線20をx方向と直交するyz面で切断した断面の面積であり、SMTJは磁気抵抗効果素子10をz方向と直交するxy面で切断した断面の面積である。
IR’<Jc×SSOT<Jc×SMTJ ・・・(2)
IRx<Jc×SSOT ・・・(3)
2 第2強磁性金属層
3 非磁性層
10 磁気抵抗効果素子
11 第3点
20 スピン軌道トルク配線
21 第1点
22 第2点
23 重畳部
30 制御部
40 電極
41 第1電極
42 第2電極
43 第3電極
50 素子選択部
51 第1トランジスタ
52 第2トランジスタ
53 第3トランジスタ
M1,M2…磁化
IW 書き込み電流
IR 読出し電流
Claims (10)
- 第1強磁性金属層と、第2強磁性金属層と、前記第1強磁性金属層及び前記第2強磁性金属層に挟持された非磁性層と、を有する磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子の積層方向に対して交差する第1の方向に延在し、前記磁気抵抗効果素子の前記第2強磁性金属層の側に位置するスピン軌道トルク配線と、
読み出し時に前記磁気抵抗効果素子及び前記スピン軌道トルク配線に流れる電流の向きを制御する制御部と、を備え、
前記第2強磁性金属層の前記スピン軌道トルク配線側の第1面の面積が、前記非磁性層側の第2面の面積より大きく、
前記制御部は、前記スピン軌道トルク配線において前記第1の方向に前記磁気抵抗効果素子を挟む位置にある第1点及び第2点と、前記磁気抵抗効果素子の前記第1強磁性層側の第3点と、のうち少なくとも一つに接続され、
前記第1点と前記第2点との位置関係が前記磁気抵抗効果素子に対して非対称であり、
前記制御部は、読み出し時に読み出し電流を、前記第3点から前記第1点及び前記第2点に向かって分流する、または、前記第1点及び前記第2点から前記第3点に向かって合流させる、スピン流磁気抵抗効果素子。 - 前記制御部は、読み出し時に前記第1点及び前記第2点の電位を、前記第3点の電位より高く又は低くする、請求項1に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記第1点と電気的に接続された第2トランジスタと、前記第2点と電気的に接続された第3トランジスタと、をさらに備える、請求項1又は2に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記スピン軌道トルク配線において、前記磁気抵抗効果素子と前記第1点との間の抵抗値が、前記磁気抵抗効果素子と前記第2点との間の抵抗値と等しい、請求項1から3のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記スピン軌道トルク配線を前記第1の方向と直交する面で切断した断面の面積が、前記磁気抵抗効果素子を前記積層方向と直交する面で切断した断面の面積より小さい、請求項1〜4のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記第1強磁性金属層と電気的に接続された整流器をさらに備える、請求項1〜5のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記磁気抵抗効果素子と前記第1点との電流経路の距離と、前記磁気抵抗効果素子と前記第2点との電流経路の距離と、は異なる、請求項1〜6のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記磁気抵抗効果素子と前記第1点との間の抵抗値は、前記磁気抵抗効果素子と前記第2点との間の抵抗値の50%以上150%以下である、請求項1〜7のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子。
- 前記読み出し電流をIRとし、前記スピン軌道トルク配線のうち前記磁気抵抗効果素子と前記積層方向に重なる部分を重畳部とし、前記読み出し電流のうち前記重畳部を前記第1の方向に流れる電流をIRXとし、磁化反転に必要な閾値反転電流密度をJCとし、前記スピン軌道トルク配線を前記第1の方向と直交する面で切断した断面の面積をSSOTとしたとき、下記の関係式(A)を満たす、請求項1〜8のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子;
IRX<JC×SSOT<IR・・・(A)。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載のスピン流磁気抵抗効果素子を複数備える、磁気メモリ。
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