JP7227614B2 - 磁性体とBiSbの積層構造の製造方法、磁気抵抗メモリ、純スピン注入源 - Google Patents
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Description
IS=(hbar/2e)PI
hbar:プランク定数 h/2π
e:電気素量
I:電流
P:磁性電極材料のスピン分極率
IS=(hbar/2e)・(L/tN)θshI
この条件で製膜することで、良好な結晶性を有するBiSb層を形成でき、ひいては大きなスピン角を有するスピンホール材料を提供できる。
本開示では、重金属の高い伝導性およびトポロジカル絶縁体の高いスピンホール角を両立しうるBiSbに着目した。BiSbという材料自体は従来から知られていたが、それらの研究はアモルファスに限られていた。たとえば、先行研究では、NiFe上に製膜したBi層について報告があるが、アモルファスBiのスピンホール角を評価したところ、非常に小さいθsh=0.02(非特許文献1)あるいは0.00012(非特許文献2)しかなかった。また、BiSbと磁性膜の界面に、磁性を持たないデッド層が存在して、磁性層の磁気特性を著しく低下させる懸念もあり、このこともさらなる研究を阻害する要因となっていた。
BiSb合金は六方晶の結晶構造に対して、MRAMに使われるほとんどの磁性金属は正方晶の結晶構造を持つため、それらの磁性金属層の上に、良好な結晶性を有するBiSbが結晶化できるかどうか自明ではない。そこで、まず磁性材料の上にBiSbの製膜条件を調べた。
(2.1) 電気伝導率
図6(a)、(b)は、作製したBiSb薄膜(厚さ10nm)の電気伝導率σの温度依存性を示す図である。図6(a)と(b)とでは組成比が異なっており、図6(a)には、Bi0.92Sb0.08のサンプルの特性が示される。常温ではσBiSb=3.8×105Ω-1m-1が得られた。また、低温になればなるほど、電気伝導率σが高くなることから、金属的な伝導特性を持つことが分かる。
次に、BiSbのスピンホール角の評価結果を説明する。図7は、一実施例に係るMnGa/BiSbの積層構造の断面図および平面図である。この積層構造は、厚さ3nmの垂直磁化MnGaと厚さ10nmのBiSbを備え、100μm×50μmの素子寸法を有する。この実施例では、磁化が完全に垂直になっているため、BiSbから注入した純スピン流は面内の有効磁場HSOを発生する。この面内有効磁場により、面直方向の保磁力を弱める効果がある。
JS=MMnGatMnGaΔHC …(1)
ここで、MMnGa=250emu/ccはMnGaの磁化、tMnGa=3nmはMnGa磁性層の厚さである。さらに、スピンホール角は次の式(2)で計算できる。
θSH=(2e/hbar)・JS/JBiSb …(2)
JBiSbはBiSbに流れる電流密度で、次の式(3)で計算できる。
JBiSb=IBiSb/W・tBiSb
=(W・tBiSb)-1・σBiSbtBiSb/(σBiSbtBiSb+σMnGatMnGa)I
=(W・tBiSb)-1・σBiSbtBiSb/(σBiSbtBiSb+σMnGatMnGa)×W(tBiSb+tMnGa)J
=σBiSb(tBiSb+tMnGa)/(σBiSbtBiSb+σMnGatMnGa)J …(3)
図12から分かるように、BiSbのスピンホール角が他の材料より高いことから、非常に低電流密度で磁化反転できると考えられる。
図14(a)、(b)は、SOT-MRAMのセル2の構造を模式的に示す図である。図14(a)を参照する。SOT-MRAMのセル2は、MTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子10、純スピン注入源20、書き込みトランジスタ30、読み出しトランジスタ31を備える。MTJ素子10は、磁化自由層12、トンネル層14、磁化固定層16の積層構造を有する。純スピン注入源20は、磁化自由層12と接続される純スピン注入源20と、を備える。磁化自由層12はたとえばMnGaを用いることができるが、その限りでなく、そのほかの強磁性金属を用いることもできる。たとえばCo,Feなどの単元素の磁性金属、CoFe,NiFe,MnAl,MnGe,FePtなどの二元合金、CoFeBやCoMnSiなどの三元合金およびそれらの磁性体を含む多層構造であってもよい。磁化固定層16についても同様である。トンネル層14は、絶縁膜でありMgOが好適に用いられるが、AlOなど別の材料を用いてもよい。
BiSbには、トポロジカル表面状態による2次元の電流が支配的であるという特性がある。この特性を利用して、垂直磁化膜を有するSOT_RAMを実装する場合、2端子化することができる。
10 MTJ素子
12 磁化自由層
14 トンネル層
16 磁化固定層
20 純スピン注入源
30 書き込みトランジスタ
Claims (9)
- 磁化自由層を含むMTJ(磁気トンネル接合)素子と、
前記磁化自由層と界面を介して接続されるトポロジカル表面状態を有するトポロジカル絶縁体のBiSb層を含み、前記界面は前記BiSb層の結晶成長方向と垂直である純スピン注入源と、
を備え、前記BiSb層に面内電流を流し、前記磁化自由層に前記界面と面直方向に純スピン流を供給し、前記磁化自由層の磁化反転が可能であることを特徴とする磁気抵抗メモリ。 - 前記BiSb層はトポロジカル表面状態によるスピンホール効果を有し、当該スピンホール効果により発生した純スピン流を前記磁化自由層に、前記界面と面直方向に供給し、前記純スピン流の注入によるスピン偏極の向きと前記磁化自由層の磁化向きに直交するスピン軌道トルクの成分により前記磁化自由層に作用できる請求項1に記載の磁気抵抗メモリ。
- 前記BiSb層は(012)配向を有することを特徴とする請求項1または2に記載の磁気抵抗メモリ。
- 前記BiSb層のトポロジカル表面状態を利用して、セルが2端子化されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の磁気抵抗メモリ。
- 面内バイアス磁場の印加を行わないことを特徴とする請求項4に記載の磁気抵抗メモリ。
- 磁気抵抗メモリの製造方法であって、
磁化自由層を形成するステップと、
BiSb層を含む純スピン注入源を形成するステップと、
を備え、前記BiSb層は(012)配向を有することを特徴とする製造方法。 - 磁性体に純スピン流を注入する純スピン注入源であって、
前記磁性体と界面を介して接続されるトポロジカル表面状態を有するトポロジカル表面状態を有するトポロジカル絶縁体のBiSb層を含み、前記界面は前記BiSb層の結晶成長方向と垂直であり、前記BiSb層に流れる面内電流に応じて、前記磁性体に前記界面と面直方向に純スピン流を供給することを特徴とする純スピン注入源。 - 前記BiSb層は、結晶化していることを特徴とする請求項7に記載の純スピン注入源。
- 磁化自由層を含むMTJ(磁気トンネル接合)素子と、
前記磁化自由層と接続されるBiSb層を含む純スピン注入源と、
を備え、
前記BiSb層が(012)配向を有するように立方結晶構造の下地層が利用される磁気抵抗メモリ。
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