JP6493518B2 - 静電チャック装置 - Google Patents
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Description
本願は、2016年1月19日に、日本に出願された特願2016−007861号、及び2016年1月19日に、日本に出願された特願2016−007862号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
前記静電チャック部を冷却するベース部と、
前記静電チャック部と前記ベース部とを接着して一体化する接着層と、を備え、前記静電チャック部には、第1の貫通孔が設けられ、
前記ベース部には、前記第1の貫通孔と連通する第2の貫通孔が設けられ、
前記第2の貫通孔内には、筒状の絶縁碍子が固定され、
前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面と前記静電チャック部との間には、環状のシール部材が挟み込まれ、かつ、
以下の(a)〜(c)の少なくとも1つを有する、静電チャック装置を提供する。
(a)前記シール部材の径方向内側には、筒状の絶縁壁部材が位置する。
(b)前記第2の貫通孔の前記静電チャック部側の開口には、ザグリ穴が設けられ、前記ザグリ穴の内周面には、前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の端部を径方向外側から囲む絶縁リングが固定されている。
(c)前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面が、内径側が外径側より高い。
すなわち、本発明の第一の態様の静電チャック装置は、板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵する静電チャック部と、前記静電チャック部を冷却するベース部と、前記静電チャック部と前記ベース部とを接着して一体化する接着層と、を備え、前記静電チャック部には、第1の貫通孔が設けられ、前記ベース部には、前記第1の貫通孔と連通する第2の貫通孔が設けられ、前記第2の貫通孔内には、筒状の絶縁碍子が固定され、前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面と前記静電チャック部との間には、環状のシール部材が挟み込まれ、前記シール部材の径方向内側には、筒状の絶縁壁部材が位置する、静電チャック装置である。
前記絶縁壁部材が、前記絶縁碍子の先端面に一体的に形成されている。
前記絶縁碍子が、前記ベース部に着脱可能に固定する固定部を有する。
また以下の例は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。発明を逸脱しない範囲で、数や位置や大きさや数値などの変更や省略や追加をする事ができる。また第一、二及び三の態様は、互いの特徴や、好ましい例を、特に問題の無い限り、互いに組み合わせることができる。
<第1実施形態>
図1は、第1実施形態の静電チャック装置1の断面図である。また、図2は、図1の領域IIの拡大図である。静電チャック装置1は、板状試料Wを載置する載置面2aを有するとともに静電吸着用内部電極13を内蔵する静電チャック部2と、静電チャック部2を下側から冷却するベース部3と、静電チャック部2とベース部3とを接着して一体化する接着層4と、を備える。
なお、本明細書において、載置面2a側を静電チャック装置1の上側とし、ベース部3側を静電チャック装置1の下側として各構成の相対位置を説明するが、使用時の静電チャック装置1の姿勢は、この向きに限定されない。
静電チャック部2は、上側から順に、載置板11と、静電吸着用内部電極13および前記内部電極13の周縁部を囲む絶縁材層14と、支持板12と、が積層された構造を有する。また、静電チャック部2は、接着層4およびベース部3を貫通して、静電吸着用内部電極13に電圧を印加する給電用端子15を有する。
特に、載置板11は、上側に載置面2aを有することから、特に誘電率が高い材質であって、静電吸着する板状試料Wに対して不純物とならない、すなわち不純物と判断されない、材料から構成されることが好ましい。このような観点から、載置板11の構成材料として、炭化ケイ素を4重量%以上かつ20重量%以下含み、残部を酸化アルミニウムとする炭化ケイ素−酸化アルミニウム複合焼結体を採用することが好ましい。
載置板11は、上側に載置面2aを有し、特に誘電率が高い材質であって、静電吸着する板状試料Wに対して不純物とならない材料から構成される。
この絶縁材層14を構成する材料は任意に選択でき、例えば、載置板11及び支持板12と主成分が同一の絶縁性材料が好ましい。例えば、載置板11及び支持板12が炭化ケイ素−酸化アルミニウム複合焼結体により構成されている場合には、材料を酸化アルミニウム(Al2O3)とすることが好ましい。
ベース部3は、静電チャック部2の下側に設けられて、この静電チャック部2の温度を所望の温度に制御する。また、ベース部3は、高周波発生用電極の機能を兼ね備えている。ベース部3の内部には、水や有機溶媒等の冷却用媒体を循環させる流路21が形成されている。この構造により、静電チャック部2を冷却し、載置面2aに載置される板状試料Wの温度を所望の温度に維持する。ベース部3は、アルミニウム(Al)又はアルミニウム合金からなることが好ましい。ベース部3の少なくともプラズマに曝される面は、アルマイト処理が施されているか、あるいはアルミナ等の絶縁膜が成膜されていることが好ましい。このような構造により、耐プラズマ性が向上する他、異常放電が防止され、したがって、耐プラズマ安定性が向上した構成となる。また、表面に傷が付き難くなるので、傷の発生を防止することができる。なお、ベース部3は、熱伝導性のよい金属材料であればその材質が限定されることはない。例えば、銅(Cu)、銅合金、及び/又はステンレス鋼(SUS) 等を採用しもよい。
接着層4は、静電チャック部2の下面2bと、ベース部3の上面3aとの間に介在する。接着層4は、静電チャック部2とベース部3とを接着一体化する。接着層4は、任意に選択される材料から構成できるが、−20℃〜150℃の温度範囲で耐熱性を有する接着剤から形成されることが好ましい。接着層としては、例えば、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂、及びエポキシ系樹脂等が好適である。特に、酸素系プラズマを用いる場合には、酸素系プラズマに対して耐プラズマ性に優れているシリコン系樹脂の使用が好ましい。
この接着層4の形状は任意に選択できる。例えば、液状の熱硬化性接着剤を塗布して得られた塗膜を加熱することにより硬化させた、任意の形状のシート状またはフィルム状の接着剤を、熱圧着等の方法により硬化した、硬化膜であってもよい。
静電チャック部2、ベース部3および接着層4には、これらを上下に貫通する冷却ガス導入孔30Aと、ピン挿通孔30Bとが、それぞれ複数設けられている。冷却ガス導入孔30Aは、静電チャック部2に載置された板状試料Wに向かってヘリウム(He)等の冷却ガスGを供給するために設けられている。また、ピン挿通孔30Bには、載置面2aに吸着された板状試料Wの離脱を補助するリフトピン22が挿通される。リフトピン22の下端には、図示略の駆動部が接続され、ピン挿通孔30Bの貫通方向に沿って、リフトピン22を上下に駆動する。
貫通孔30は、静電チャック部2を貫通する部分である第1の貫通孔31と、ベース部3を貫通する部分である第2の貫通孔32と、を有する。すなわち、静電チャック部2には第1の貫通孔31が設けられ、ベース部3には第2の貫通孔32が設けられ、第1および第2の貫通孔31、32は、互いに連通して貫通孔30を構成する。
絶縁碍子40の静電チャック部2側(すなわち上側)の先端面41aと静電チャック部2との間には、環状のシール部材であるオーリング50が挟み込まれている。オーリング50の径方向内側には、筒状の絶縁壁部材43が設けられている。絶縁壁部材43は、絶縁碍子40の先端面41aに一体的に形成されている。
絶縁碍子40は、例えばセラミックからなる。絶縁碍子40は、プラズマに対する耐久性を有する。絶縁碍子40を構成するセラミックスは任意に選択できる。例えば、窒化アルミニウム(AlN)、酸化アルミニウム(Al2O3)、窒化ケイ素(Si3N4)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、サイアロン、窒化ホウ素(BN)、及び炭化ケイ素(SiC)から選択された1種からなるセラミックス、あるいは2種以上を含む複合セラミックスを採用できる。
絶縁碍子40の内径は、第1の貫通孔31の内径と略等しい。第1の貫通孔31の内周面31aと絶縁碍子40の内周面40aとは、段差なく連なることが好ましい。しかしながら、貫通孔30が冷却ガス導入孔30Aである場合は、絶縁碍子40の内径が第1の貫通孔31より大きくてもよい。
絶縁壁部材43の中心軸と絶縁碍子40の中心軸とは、一致している。絶縁壁部材43の内径は、絶縁碍子40の内径と一致している。また、絶縁壁部材43の外径は、絶縁壁部材43の外径より小さい。本実施形態において、絶縁壁部材43の端面41b(上端面2)は、静電チャック部2の下面2bと接触する。しかしながら、端面41bは、静電チャック部2の下面2bに対して離間していてもよい。
本発明において、絶縁碍子の先端面41aは、平面や斜面であってもよく、又は、第六実施形態に例として示したような、断面が弧を描いていたり、上に膨らんだ曲面であってもよい。これらは、突出部(筒状の絶縁壁部材)を有してもよい。
オーリング(シール部材)50は、絶縁碍子40の先端面41aと静電チャック部2の間に挟み込まれている。オーリング50は、プラズマが絶縁碍子40の外周側に回り込むことを遮り、その結果、プラズマによる接着層4および接着剤49の侵食を抑制する。オーリング50は、絶縁碍子40の先端面41aおよび静電チャック部2の下面2bと接触する。また、オーリング50は、絶縁壁部材43の外周面43bと接触してもよく、ベース部3の第2の貫通孔32の内周面32aと接着剤49を介して接触してもよい。
オーリング50が径方向に圧縮される場合、オーリング50は、絶縁壁部材43の外周面43bと第2の貫通孔32の内周面32aとの間に挟み込まれる。これにより、プラズマの侵入経路を狭めてプラズマの侵入を効果的に抑制できる。
一方で、オーリング50が径方向に圧縮されない場合、オーリング50は、上下方向のみから圧縮されるため、捻れなどの無理な負荷が加わりにくい。したがってオーリング50によるシールの信頼性を高めることができる。絶縁壁部材43の外周面と絶縁碍子40の外周面の、径方向距離幅W1は、圧縮前のオーリング50の径方向の幅に対して、0.8倍以上1.2倍以下とすることが好ましい。これにより、捻れなどの無理な応力を生じさせることなく、オーリング50を絶縁碍子40の先端面41aと静電チャック部2との間に介在させることができる。
また本実施形態によれば、接着層4および接着剤49のプラズマ暴露が抑制されるため、接着層4および接着剤49の材料として求められる耐プラズマ性を低くすることができる。すなわち、本実施形態によれば、プラズマに対する耐性を考慮して接着層4および接着剤49の材料を選択する必要がなく材料選定の自由度を高めることができる。一例として、接着層4および接着剤49としてプラズマに対する耐性の有無を問わず、熱弾性に優れた材料を採用し、静電チャック部2とベース部3の熱膨張の差を緩和する構成とすることができる。
また、絶縁壁部材43は、オーリング50が絶縁碍子40の内周側にはみ出すことを抑制する。すなわち、絶縁壁部材43が設けられることで、オーリング50の姿勢を維持させ、オーリング50によるシールの確実性を高めることができる。
また、絶縁壁部材43を設けることで、静電チャック装置1の耐電圧を高めることができる。絶縁壁部材43の端面41bが、静電チャック部2の下面2bと接触する場合には、放電経路を塞いで耐電圧を高めることができる。また、絶縁壁部材43の端面41bが、静電チャック部2の下面2bと接触しない場合であっても、絶縁壁部材43により放電経路を狭めることができる。これにより、放電に至るための経路を長くして静電チャック装置1の耐電圧を高めることができる。
図3は、第1実施形態の変形例1の静電チャック装置1Aの拡大断面図である。なお、上述の実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。本変形例の静電チャック装置1Aは、第1実施形態の静電チャック装置1と比較して、絶縁碍子40Aおよび絶縁壁部材43Aは、別部材であり、絶縁碍子40Aの内側に、絶縁壁部材43Aが入れ子状に配されている点が主に異なる。
図4は、第1実施形態の変形例2の静電チャック装置1Bの拡大断面図である。なお、上述の実施形態および変形例1と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。本変形例の静電チャック装置1Bは、変形例1の静電チャック装置1Aと比較して、絶縁碍子40Bの先端面41aに筒状の外側絶縁壁(外側絶縁壁部材)44Bが一体的に形成されている。すなわち、本変形例によれば、オーリング50の径方向外側には、絶縁碍子40Bの一部である、筒状の外側絶縁壁44が位置する。
図5は、第2実施形態の静電チャック装置101の断面拡大図である。第2実施形態の静電チャック装置101は、第1実施形態と比較して、絶縁碍子40の第1の端部41を径方向外側から囲む絶縁リング145を有する点が主に異なる。
なお、上述の実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。
なお、静電チャック装置101において、材質および寸法に依存する絶縁リング145の熱伝導性は、ヒータエレメント9の有無およびその発熱性能に応じて設定することが好ましい。静電チャック装置101がヒータエレメント9を有する場合、絶縁リング145の熱伝導性を小さくすることが好ましい。これにより、絶縁リングの断熱性能を高めることができ、静電チャック部2の均熱化を促進できる。一方で、静電チャック装置101がヒータエレメント9を有しない場合、絶縁リング145の熱伝導性を大きくすることが好ましい。これにより、他の領域と比較して冷却が不十分となりやすい貫通孔130の近傍から効率的に熱を逃がすことが可能となり、静電チャック部2の均熱化を促進できる。
図6は、第3実施形態の静電チャック装置201の断面拡大図である。第3実施形態の静電チャック装置201は、第2実施形態と比較して、絶縁碍子240の固定方法が主に異なる。なお、上述の実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。
なお、本実施形態において絶縁碍子240は、フランジ部242aにおいて、ベース部203にネジ246によって固定されている。しかしながら、絶縁碍子240の固定方法は、これに限られない。例えばフランジ部242aの外周面にオネジを形成し、ベース部203の下側ザグリ穴234の内周面にメネジを形成し、これらを螺合することで絶縁碍子240を固定してもよい。この場合、フランジ部242aと絶縁碍子240とは、別体としてもよい。
第二の態様の静電チャック装置は、第一の態様の静電チャック装置と比較して、第一の態様で述べられた筒状の絶縁壁部材を必須の部材としては有しない点、及び、第2の貫通孔の静電チャック部側の開口に設けられたザグリ穴中に設けられる絶縁リングを必須の部材として有する点が、主に異なる。
問題のない限り、第二の態様の装置は、第一や第三の態様で述べられる特徴を有していても良い。第2及び3実施形態や、後述する第6実施形態は、前記絶縁リングを有する場合、第二の態様の静電チャック装置に含まれると考えても良い。
以下に、第二の態様の静電チャック装置の好ましい例を説明する。
上述の第一の態様の第1の実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。
<第4実施形態>
図7は、第4実施形態の静電チャック装置1の断面図である。また、図8は、図7の領域IIの拡大図である。静電チャック装置1は、板状試料Wを載置する載置面2aを有するとともに静電吸着用内部電極13を内蔵する静電チャック部2と、静電チャック部2を下側から冷却するベース部3と、静電チャック部2とベース部3とを接着して一体化する接着層4と、を備える。
静電チャック装置1において、静電チャック部2、ベース部3および接着層4には、これらを上下に貫通する複数の貫通孔が設けられている。貫通孔は、冷却ガス導入又はリフトピンの挿通に用いられる。貫通孔は、静電チャック部2を貫通する部分である第1の貫通孔31と、ベース部3を貫通する部分である第2の貫通孔32と、を有する。
静電チャック部2は、第1の実施形態で述べた静電チャック部2と基本的に同じであるので、同一符号を付し、その説明を省略する。 ベース部3は、第2の貫通孔に関する点以外は、第1の実施形態で述べたベース部3と基本的に同じであるので、同一符号を付し、その説明を省略する。
接着層4は、第1の実施形態で述べた接着層4と基本的に同じであるので、同一符号を付し、その説明を省略する。
図7に示すように、静電チャック部2、ベース部3および接着層4には、これらを上下に貫通する冷却ガス導入孔30Aとピン挿通孔30Bとがそれぞれ複数設けられている。冷却ガス導入孔30Aとピン挿通孔30Bは、第1や3の実施形態で述べた冷却ガス導入孔30Aとピン挿通孔30Bと基本的に同じであり、同じである箇所についてはその説明を省略する。
絶縁碍子40の静電チャック部2側(すなわち上側)の先端面41aと静電チャック部2との間には、環状のシール部材であるオーリング50が挟み込まれている。
図8に示すように、第2の貫通孔32の静電チャック部2側(上側)の開口には、ザグリ穴33が設けられている。ザグリ穴33は、第2の貫通孔32より大径であり同心の円形状である。ザグリ穴33の内周面33aには、絶縁リング45が固定されている。
絶縁碍子40は、第1の実施形態で述べた絶縁碍子40と、同じ材料から形成されることができる。
絶縁リング45は、環状に形成された絶縁部材からなる。絶縁リング45は、絶縁碍子40と同材料(例えばセラミックス)からなっていても異なる材料(例えば樹脂材料)から構成されていてもよい。絶縁リング45の外径は、ザグリ穴33の内径より若干小さい。絶縁リング45の外周面45bとザグリ穴33の内周面33aとの間には、接着剤49が介在しこれらを互いに接着固定している。
図8に示すように、オーリング(シール部材)50は、絶縁碍子40の先端面41aと静電チャック部2の間に挟み込まれている。オーリング50は、絶縁碍子40の外周側にプラズマが絶縁碍子40の外周側に回り込むことを遮り、プラズマによる接着層4および接着剤49の侵食を抑制する。オーリング50は、絶縁碍子40の先端面41aおよび静電チャック部2の下面2bと接触する。
また本実施形態によれば、接着層4および接着剤49のプラズマ暴露が抑制されるため、接着層4および接着剤49の材料として求められる耐プラズマ性を低くすることができる。すなわち、本実施形態によれば、プラズマに対する耐性を考慮して接着層4および接着剤49の材料を選択する必要がなく材料選定の自由度を高めることができる。一例として、接着層4および接着剤49としてプラズマに対する耐性の有無を問わず、熱弾性に優れた材料を採用し、静電チャック部2とベース部3の熱膨張の差を緩和する構成とすることができる。
一般的に、ヒータエレメント9を備えた静電チャック装置1によれば、貫通孔30の周辺にはヒータを配することができないため、貫通孔30の近傍の温度は低くなりやすいが、2重構造の絶縁碍子40および絶縁リング45により冷却ベースへの熱逃げを抑えることで貫通孔30の近傍の温度低下を抑制し、静電チャック部2を均熱化することができる。
なお、静電チャック装置1において、材質および寸法に依存する絶縁リング45の熱伝導性は、ヒータエレメント9の有無およびその発熱性能に応じて設定することが好ましい。静電チャック装置1がヒータエレメント9を有する場合、絶縁リング45の熱伝導性を小さくすることが好ましい。これにより、絶縁リングの断熱性能を高めることができ、静電チャック部2の均熱化を促進できる。一方で、静電チャック装置1がヒータエレメント9を有さない場合、絶縁リング45の熱伝導性を大きくすることが好ましい。これにより、他の領域と比較して冷却が不十分となりやすい貫通孔30の近傍から効率的に熱を逃がすことが可能となり、静電チャック部2の均熱化を促進できる。
図9は、第5実施形態の静電チャック装置101の断面拡大図である。第5実施形態の静電チャック装置101は、第4実施形態と比較して、絶縁碍子140の固定方法が主に異なる。なお、上述の実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。なお第5実施形態は、第3実施形態にも類似するが、筒状の絶縁壁部材が無い点で異なる。
なお、本実施形態において絶縁碍子140は、フランジ部142aにおいてベース部103にネジ146によって固定されている。しかしながら、絶縁碍子140の固定方法は、これに限られない。例えばフランジ部142aの外周面にオネジを形成し、ベース部103の下側ザグリ穴134の内周面にメネジを形成し、これらを螺合することで絶縁碍子140を固定してもよい。この場合、フランジ部142aと絶縁碍子140とは、別体としてもよい。
<第6実施形態>
図10は、本発明の第6実施形態の静電チャック装置201の断面拡大図である。第6実施形態の静電チャック装置201は、第4実施形態や第2実施形態と比較して、絶縁碍子240の構成が主に異なる。なお、上述の実施形態と同一態様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略する。なお問題のない限り、第三の態様の装置は、第一や第二の態様で述べられる特徴を有しても良い。
先端面241aは、内径側が外径側より高ければ、形状は任意に選択できる。内径側や外径側とは、内径側端部や外径側端部と理解しても良い。例えば、先端面241aは、上側に突出した曲面であり、径方向内側の端部が、径方向外側の端部より高い位置にある面であっても良い。断面が弧や円弧を描き、径方向内側の端部が、径方向外側の端部より高い位置にある面であっても良い。先端面241aは、内径側端部が外径側端部より高い位置にある、傾斜を有する平らな平面(斜面)であっても良い。第1実施形態において、絶縁壁部材が、絶縁碍子の先端面に一体的に形成されている場合、先端面241aの内径側が外径側より高いので、第三の態様の静電チャック装置の絶縁碍子の先端面の範囲に含まれ得る。
なお、本実施形態において、静電チャック装置201には、絶縁碍子240の静電チャック部2側の端部を径方向外側から囲む絶縁リング45が設けられている。しかしながら、先端面241aの内径側が外径側より高いことによる上述の効果は、絶縁リング45の有無に関わらず奏することができる。
例えば、上述した実施形態で、静電チャック装置は、静電チャック部とベース部の間の接着層4に埋め込まれたヒータエレメント9を備えた例を説明した。しかしながら、ヒータエレメントは、静電チャック部の内部又はベース部の内部に位置していてもよい。
2 静電チャック部
2a 載置面
2b 静電チャック部の下面
3、103、203 ベース部
3a、103a ベース部の上面
4 接着層
9 ヒータエレメント
11 載置板
12 支持板13 静電吸着用内部電極
14 絶縁材層
15 給電用端子
16 突起部
21 流路
22 リフトピン
30、130、142b、230、242b 貫通孔
30A 冷却ガス導入孔
30B ピン挿通孔
31 第1の貫通孔
31a、32a,33a、40a,45a、132a、133a、145a、232a、132a、233a 内周面
32、132、232 第2の貫通孔
33、133、233 サグリ穴
40、40A、40B、140、240 絶縁碍子
40a 絶縁碍子の内周面
40b 絶縁碍子の外周面
41、141、241 第1の端部
41a、141a、241a 先端面
41b、241b 端面
42、242 第2の端部、
43、43A、243 絶縁壁部材
43a 絶縁壁部材の上端部
43b 絶縁壁部材の外周面
44B 外側絶縁壁(外側絶縁壁部材)
45、145 絶縁リング
49 接着剤
50 オーリング(シール部材)
45a、145a 絶縁リングの内周面
45b、145b 絶縁リングの外周面
134、234 下側ザグリ穴
134a、234a 固定面
134b、234b ネジ孔
142 第2の端部
142a、242a フランジ部
142b 貫通孔
146、246 ネジ
148、248 絶縁碍子の固定部
148 固定部
G 冷却ガス
P1 上側接点
P2 下側接点
W 板状試料
Claims (15)
- 板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵する静電チャック部と、
前記静電チャック部を冷却するベース部と、
前記静電チャック部と前記ベース部とを接着して一体化する接着層と、を備え、
前記静電チャック部には、第1の貫通孔が設けられ、
前記ベース部には、前記第1の貫通孔と連通する第2の貫通孔が設けられ、
前記第2の貫通孔内には、筒状の絶縁碍子が固定され、
前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面と前記静電チャック部との間には、環状のシール部材が挟み込まれ、
前記シール部材の径方向内側には、筒状の絶縁壁部材が位置し、
前記絶縁壁部材が、前記絶縁碍子と別部材であり、前記絶縁壁部材の少なくとも一部が、前記絶縁碍子の径方向内側に位置する、静電チャック装置。 - 前記絶縁壁部材が、前記絶縁碍子の先端面に一体的に形成されている、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記シール部材の径方向外側には、筒状の外側絶縁壁部材が位置する、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記絶縁壁部材の高さは、前記シール部材の厚さより小さい、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記絶縁壁部材は、前記静電チャック部側の端面で前記静電チャック部と接触する、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記第2の貫通孔の前記静電チャック部側の開口には、ザグリ穴が設けられ、
前記ザグリ穴の内周面には、前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の端部を径方向外側から囲む絶縁リングが固定されている、請求項1に記載の静電チャック装置。 - 前記絶縁碍子が、前記ベース部に着脱可能に固定する固定部を有する、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 前記静電チャック部の内部、前記ベース部の内部、および前記静電チャック部と前記ベース部の間のうち何れかに位置するヒータを備えた、請求項1に記載の静電チャック装置。
- 板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵する静電チャック部と、
前記静電チャック部を冷却するベース部と、
前記静電チャック部と前記ベース部とを接着して一体化する接着層と、を備え、
前記静電チャック部には、第1の貫通孔が設けられ、
前記ベース部には、前記第1の貫通孔と連通する第2の貫通孔が設けられ、
前記第2の貫通孔内には、筒状の絶縁碍子が固定され、
前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面と前記静電チャック部との間には、環状のシール部材が挟み込まれ、
前記第2の貫通孔の前記静電チャック部側の開口には、ザグリ穴が設けられ、
前記ザグリ穴の内周面には、前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の端部を径方向外側から囲む絶縁リングが固定され、
前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面が、内径側が外径側より高い、
静電チャック装置。 - 前記絶縁碍子が、前記ベース部に着脱可能に固定する固定部を有する、請求項9に記載の静電チャック装置。
- 前記静電チャック部の内部、前記ベース部の内部、および前記静電チャック部と前記ベース部の間のうち何れかに位置するヒータを備えた、請求項9又は10に記載の静電チャック装置。
- 前記シール部材の径方向内側には、筒状の絶縁壁部材が位置する、請求項9に記載の静電チャック装置。
- 板状試料を載置する載置面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵する静電チャック部と、
前記静電チャック部を冷却するベース部と、
前記静電チャック部と前記ベース部とを接着して一体化する接着層と、を備え、
前記静電チャック部には、第1の貫通孔が設けられ、
前記ベース部には、前記第1の貫通孔と連通する第2の貫通孔が設けられ、
前記第2の貫通孔内には、筒状の絶縁碍子が固定され、
前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面と前記静電チャック部との間には、環状のシール部材が挟み込まれ、
前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の先端面が、内径側が外径側より高い、静電チャック装置。 - 前記絶縁碍子が、前記ベース部に着脱可能に固定する固定部を有する、請求項13に記載の静電チャック装置。
- 前記第2の貫通孔の前記静電チャック部側の開口には、ザグリ穴が設けられ、
前記ザグリ穴の内周面には、前記絶縁碍子の前記静電チャック部側の端部を径方向外側から囲む絶縁リングが固定されている、請求項13に記載の静電チャック装置。
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